JPH01185836A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH01185836A JPH01185836A JP849588A JP849588A JPH01185836A JP H01185836 A JPH01185836 A JP H01185836A JP 849588 A JP849588 A JP 849588A JP 849588 A JP849588 A JP 849588A JP H01185836 A JPH01185836 A JP H01185836A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空蒸着装置に係り、特にフィルム状の被蒸着
物に対する真空蒸着装置に関するものである。
物に対する真空蒸着装置に関するものである。
従来のこの種の蒸着装置は第２図に構成された如く、フ
ィルム（Ｂ）が金属蒸気（Ｖ）をコーティングローラー
（７）の上にて蒸着された後、フィルム巻取軸（１））
に巻取られる間、蒸着面が何等の保護もなく、出側案内
ローラー（８）や巻取ローラー（１０）に接触して送ら
れるために、夫々のローラー上の僅かな圧痕によって蒸
着層並びにフィルム（Ｂ）にピンホールを発生させたり
する。また未蒸着金属微粉や繊維屑等のダストが、蒸着
層表面にフィルム（Ｂ）に帯電する静電気のために付着
し、フィルム巻取軸（１））に巻取られる際にこれらの
ダストを同時に巻込み、巻取りロールフィルムの外観に
ダストによる粒状突起を多数形成し、蒸着フィルムの商
品価値を著しくｌ員害するのみか、テープヘットとの接
触をＩｔｓ ｂ Ｎ、ノイズ信号の原因となる。
ィルム（Ｂ）が金属蒸気（Ｖ）をコーティングローラー
（７）の上にて蒸着された後、フィルム巻取軸（１））
に巻取られる間、蒸着面が何等の保護もなく、出側案内
ローラー（８）や巻取ローラー（１０）に接触して送ら
れるために、夫々のローラー上の僅かな圧痕によって蒸
着層並びにフィルム（Ｂ）にピンホールを発生させたり
する。また未蒸着金属微粉や繊維屑等のダストが、蒸着
層表面にフィルム（Ｂ）に帯電する静電気のために付着
し、フィルム巻取軸（１））に巻取られる際にこれらの
ダストを同時に巻込み、巻取りロールフィルムの外観に
ダストによる粒状突起を多数形成し、蒸着フィルムの商
品価値を著しくｌ員害するのみか、テープヘットとの接
触をＩｔｓ ｂ Ｎ、ノイズ信号の原因となる。
この発明は、上記従来装置の持っていたフィルム（Ｂ）
上の蒸着膜上に付着するダストにより、蒸着膜のｔ員傷
又はフィルム（Ｂ）の彼れが発生すると言う欠点を解決
し、表面の平滑で無疵な蒸着フィルムが得られる金属蒸
着装置を促供することにある。
上の蒸着膜上に付着するダストにより、蒸着膜のｔ員傷
又はフィルム（Ｂ）の彼れが発生すると言う欠点を解決
し、表面の平滑で無疵な蒸着フィルムが得られる金属蒸
着装置を促供することにある。
前述の目的を達成するため、本発明は、ローティングロ
ーラーの出口側にて蒸着両側にその表面を保護するため
に、別個の表面保護フィルムを重ねて供給し、蒸着フィ
ルムが巻取られる直前に表面保護フィルムを分離して巻
取る保護フィルム機構を設けたことを特徴とするもので
ある。
ーラーの出口側にて蒸着両側にその表面を保護するため
に、別個の表面保護フィルムを重ねて供給し、蒸着フィ
ルムが巻取られる直前に表面保護フィルムを分離して巻
取る保護フィルム機構を設けたことを特徴とするもので
ある。
次に本発明の実施例を第１図ならびに第２図とともに説
明する。
明する。
第１図及び第３図に示すごとく、コーティングローラー
（５７）の出側に配置された出側案内ローラー（５８）
に保護フィルム巻出軸に懸架された巻出し保護ロールフ
ィルム（Ｇ）から繰出された保護フィルム（Ｄ）をフィ
ルム（Ｂ）の蒸着面側に重ねて通過させ、出側センタリ
ングローラー（５９）、巻取案内ローラー（６０）及び
巻取ローラー（６４）を通して、蒸着されたフィルムは
フィルム巻取軸（６１）に巻取って巻取ロールフィルム
（Ｃ）と成し、保護フィルム（Ｇ）は保護フィルム案内
ローラー（７１）を介して保護フィルム（Ｈ）となる。
（５７）の出側に配置された出側案内ローラー（５８）
に保護フィルム巻出軸に懸架された巻出し保護ロールフ
ィルム（Ｇ）から繰出された保護フィルム（Ｄ）をフィ
ルム（Ｂ）の蒸着面側に重ねて通過させ、出側センタリ
ングローラー（５９）、巻取案内ローラー（６０）及び
巻取ローラー（６４）を通して、蒸着されたフィルムは
フィルム巻取軸（６１）に巻取って巻取ロールフィルム
（Ｃ）と成し、保護フィルム（Ｇ）は保護フィルム案内
ローラー（７１）を介して保護フィルム（Ｈ）となる。
このためにローティングローラー（５７）を出たフィル
ム（Ｂ）は巻取られる迄の間その蒸着面が各案内ローラ
ー（５８）。
ム（Ｂ）は巻取られる迄の間その蒸着面が各案内ローラ
ー（５８）。
（６０）、 （６４）を通過する間、直接金属又はプ
ラスチックローラー面に接触することが無く表面を保護
され、且つ第３図に示される如く、保護フィルム（Ｄ）
は除電力−ポンブラツシ（８１）及び（８２）により接
地線（９０）を通して、フィルムに帯電する静電気を大
地にアースすることに依って、真空槽（５１）内に存在
するダストの付着を防止すると共に、蒸着されたフィル
ム（Ｂ）の除電を伴せて行うことにより、フィルム（Ｂ
）の裏面に静電気によってダストが付着することをも防
止するものである。
ラスチックローラー面に接触することが無く表面を保護
され、且つ第３図に示される如く、保護フィルム（Ｄ）
は除電力−ポンブラツシ（８１）及び（８２）により接
地線（９０）を通して、フィルムに帯電する静電気を大
地にアースすることに依って、真空槽（５１）内に存在
するダストの付着を防止すると共に、蒸着されたフィル
ム（Ｂ）の除電を伴せて行うことにより、フィルム（Ｂ
）の裏面に静電気によってダストが付着することをも防
止するものである。
更に保護フィルム巻出軸（７０）と巻取軸（７２）には
夫々除電スリップリング（８０）及び（８３）を設け、
接地線（９１）を通して大地にアースし、保護フィルム
（Ｄ）の除電効果を完璧にしている。
夫々除電スリップリング（８０）及び（８３）を設け、
接地線（９１）を通して大地にアースし、保護フィルム
（Ｄ）の除電効果を完璧にしている。
尚、フィルム（Ｂ）の反蒸着面側に保護フィルムの除電
と同じ目的の除電力−ボンブラッシを取付け、更にフィ
ルム巻出軸（５３）及びフィルム巻取軸（６１）に除電
スリップリングを備え静電気をアースしても構わない。
と同じ目的の除電力−ボンブラッシを取付け、更にフィ
ルム巻出軸（５３）及びフィルム巻取軸（６１）に除電
スリップリングを備え静電気をアースしても構わない。
図中の５２は真空ポンプ、５３はフィルム巻出軸、５４
は巻出ローラ、５５は入側センタリングローラー、５６
は入側案内ローラー、６２は坩堝、６３は電子銃、７１
は保護フィルム案内ローラー、Ａは巻出ロールフィルム
、Ｅは電子ビーム、Ｍは溶解金属、■は金属蒸気である
。
は巻出ローラ、５５は入側センタリングローラー、５６
は入側案内ローラー、６２は坩堝、６３は電子銃、７１
は保護フィルム案内ローラー、Ａは巻出ロールフィルム
、Ｅは電子ビーム、Ｍは溶解金属、■は金属蒸気である
。
次に具体例を示せば以下の通りである。
フィルム材質；ポリエチレンテレフタレートフィルム寸
法；厚さ８．４〜１２．０μｍ×幅７５勤ｌ×長さ２０
０ｍ 保護フィルム材質；ポリエチレンテレフタレート フィルム寸法；厚さ１２．０〜２０．０μｍ×幅７５１
ｍ×長さ２００ｍ 蒸着金属；Ｃｏ−Ｎｉ （８０−２０重量％）蒸着速
度；０，５〜５ ｍ ／ ｍ ｉ ｎ蒸着膜厚；８００
〜２，０００人 蒸着用電子銃；１）Ｋ″′ 蒸着用真空ポンプ；クライオポンプ（１，５００Ｎ／
ｓ ｅ ｃ ＞ 溶解用坩堝；マグネシア製坩堝 真空槽真空度； ５ ｘ ｌ Ｏ−’ｍｂａｒ〜５ ｘ
ｌ Ｏ−ｂｂａｒ 上記の蒸着装置を使用して真空蒸着を行った結果、従来
の方式に比し、蒸着面に付着するダストの壇は約１／１
５に低下しく１５々−／３０ｏＡから１ケ／３０ｃＪに
なる）、極めて美麗な蒸着フィルムが製造出来た。
法；厚さ８．４〜１２．０μｍ×幅７５勤ｌ×長さ２０
０ｍ 保護フィルム材質；ポリエチレンテレフタレート フィルム寸法；厚さ１２．０〜２０．０μｍ×幅７５１
ｍ×長さ２００ｍ 蒸着金属；Ｃｏ−Ｎｉ （８０−２０重量％）蒸着速
度；０，５〜５ ｍ ／ ｍ ｉ ｎ蒸着膜厚；８００
〜２，０００人 蒸着用電子銃；１）Ｋ″′ 蒸着用真空ポンプ；クライオポンプ（１，５００Ｎ／
ｓ ｅ ｃ ＞ 溶解用坩堝；マグネシア製坩堝 真空槽真空度； ５ ｘ ｌ Ｏ−’ｍｂａｒ〜５ ｘ
ｌ Ｏ−ｂｂａｒ 上記の蒸着装置を使用して真空蒸着を行った結果、従来
の方式に比し、蒸着面に付着するダストの壇は約１／１
５に低下しく１５々−／３０ｏＡから１ケ／３０ｃＪに
なる）、極めて美麗な蒸着フィルムが製造出来た。
尚、保護フィルムはポリエチレンテレフタレートでなく
ても、ポリエステルフィルム等蒸着フィルム材質と異質
なものであっても構わない。
ても、ポリエステルフィルム等蒸着フィルム材質と異質
なものであっても構わない。
又、蒸着後に保護フィルムを挿入するだけでなく蒸着前
の巻出ローラー（５４）から入側案内ローラ（５６）の
間に、第１図に示すのと左右対称に入側に保護フィルム
挿入、巻取機構を設けても良い。
の巻出ローラー（５４）から入側案内ローラ（５６）の
間に、第１図に示すのと左右対称に入側に保護フィルム
挿入、巻取機構を設けても良い。
以上の説明の如く、本発明では、蒸着装置のコーティン
グローラーの出側に保護フィルムをフィルムの蒸着面側
に重ねて通過させる構成をとったことにより、蒸着フィ
ルム表面に金属粒子や繊維屑等のダストの付着が極めて
少くなり、且つフィルムの蒸着面とローラーの直接接触
が無くなり、ローラー疵によるピンホールの発生やスリ
ップ疵の発生のない、高品質な蒸着フィルム製造が可能
になった、
グローラーの出側に保護フィルムをフィルムの蒸着面側
に重ねて通過させる構成をとったことにより、蒸着フィ
ルム表面に金属粒子や繊維屑等のダストの付着が極めて
少くなり、且つフィルムの蒸着面とローラーの直接接触
が無くなり、ローラー疵によるピンホールの発生やスリ
ップ疵の発生のない、高品質な蒸着フィルム製造が可能
になった、
第１図は本発明による蒸着装置の原理図、第２５７・・
・・・・コーティングローラー、５８・・・・・・出側
案内ローラー、５９・・・・・・出側センターリングロ
ーラー、６４・・・・・・巻取ローラー、７０・・・・
・・保護フィルム巻出側、７１・・・・・・保護フィル
ム案内ローラー、７２・・・・・・保護フィルタ巻取軸
、８０．８３・・・・・・除電スプリング、８１．８２
・・・・・・除電力−ボンブラツシ、Ｂ・・・・・・フ
ィルム、Ｄ・・・・・・保護フィルム。 第１図 第２図 ′△ 第３図
・・・・コーティングローラー、５８・・・・・・出側
案内ローラー、５９・・・・・・出側センターリングロ
ーラー、６４・・・・・・巻取ローラー、７０・・・・
・・保護フィルム巻出側、７１・・・・・・保護フィル
ム案内ローラー、７２・・・・・・保護フィルタ巻取軸
、８０．８３・・・・・・除電スプリング、８１．８２
・・・・・・除電力−ボンブラツシ、Ｂ・・・・・・フ
ィルム、Ｄ・・・・・・保護フィルム。 第１図 第２図 ′△ 第３図
Claims (2)
- （１）真空中にてフィルムの片面又は両面に金属を蒸着
する真空蒸着装置において、蒸着ドラムの出口側にて蒸
着両側にその表面を保護するために、別個の表面保護フ
ィルムを重ねて供給し、蒸着フィルムが巻取られる直前
に表面保護フィルムを分離、巻取る機構を有することを
特徴とする真空蒸着装置。 - （２）特許請求の範囲第（１）項記載において、前記表
面保護フィルムの巻出、巻取り工程間においてフィルム
の表面に帯電する静電気を除去する除電機構を備えたこ
とを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP849588A JPH01185836A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP849588A JPH01185836A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185836A true JPH01185836A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11694699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP849588A Pending JPH01185836A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01185836A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150165749A1 (en) * | 2012-08-07 | 2015-06-18 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel. Ltd.) | Glass film conveying device |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP849588A patent/JPH01185836A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150165749A1 (en) * | 2012-08-07 | 2015-06-18 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel. Ltd.) | Glass film conveying device |
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