JPH01127676A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH01127676A JPH01127676A JP28411087A JP28411087A JPH01127676A JP H01127676 A JPH01127676 A JP H01127676A JP 28411087 A JP28411087 A JP 28411087A JP 28411087 A JP28411087 A JP 28411087A JP H01127676 A JPH01127676 A JP H01127676A
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- film
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- coating roller
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属蒸着装置に係り、特にテープ状あるいは長
尺シート状の被蒸着物に対する真空蒸着装置に関する。
尺シート状の被蒸着物に対する真空蒸着装置に関する。
従来の真空蒸着技術、例えばＶＴＲ用テープの真空蒸着
装置は第３図に示すように、真空チャンバー１の一側面
下方に室内を減圧排気する真空ポンプ２を設け、チャン
バー１内中央にコーティングローラー７、その上部両側
に巻出ロールフィルムＡ、巻取りロールフィルムＣを設
け、更に底部に坩堝１２を設けるとともに、真空ポンプ
２とは反対側の側面に電子銃１３を設けている。
装置は第３図に示すように、真空チャンバー１の一側面
下方に室内を減圧排気する真空ポンプ２を設け、チャン
バー１内中央にコーティングローラー７、その上部両側
に巻出ロールフィルムＡ、巻取りロールフィルムＣを設
け、更に底部に坩堝１２を設けるとともに、真空ポンプ
２とは反対側の側面に電子銃１３を設けている。
蒸着されるフィルムＢはフィルム巻出軸３にロール状に
巻かれた巻出ロールフィルムＡとして懸架され、コーテ
ィングローラー７に対して巻出ローラー４、入側センタ
リングローラー５、入側案内ローラー６を介して巻出さ
れ、コーティングローラー７の外周を概ね２／３周以上
する内に金属蒸気Ｖを蒸着され、さらに出側案内ローラ
ー８、出側センタリングローラー９、巻取ローラー１０
等を経てフィルム巻取り軸１１に巻き取られ、巻取ロー
ルフィルムＣとなる。電子銃１３から発せられる電子ビ
ームＥによって坩堝１２内のＭ着金属インゴットは最高
１９００℃まで加熱溶解され、溶解金属Ｍとなり、高度
の減圧下にあるために金属蒸気Ｖとなって上昇し、コー
ティングローラー７によって送られるフィルムＢ上に対
して斜め方向から蒸着金属薄膜を形成するものである。
巻かれた巻出ロールフィルムＡとして懸架され、コーテ
ィングローラー７に対して巻出ローラー４、入側センタ
リングローラー５、入側案内ローラー６を介して巻出さ
れ、コーティングローラー７の外周を概ね２／３周以上
する内に金属蒸気Ｖを蒸着され、さらに出側案内ローラ
ー８、出側センタリングローラー９、巻取ローラー１０
等を経てフィルム巻取り軸１１に巻き取られ、巻取ロー
ルフィルムＣとなる。電子銃１３から発せられる電子ビ
ームＥによって坩堝１２内のＭ着金属インゴットは最高
１９００℃まで加熱溶解され、溶解金属Ｍとなり、高度
の減圧下にあるために金属蒸気Ｖとなって上昇し、コー
ティングローラー７によって送られるフィルムＢ上に対
して斜め方向から蒸着金属薄膜を形成するものである。
ところで、従来のこの種装置においては第３図に示すよ
うに、コーティングローラー７の円周蒸着又はスパッタ
リング部にマスキングプレート１４を設は第４図に示す
ごとくフィルムＢ上にフィルム巾Ｗよりも狭い巾ＷＯに
蒸着層を形成せしめているが、一部未蒸着の金属蒸気Ｖ
がマスキングプレート１４のコーティングローラ７側の
裏側に付着又は落下し、金属ダストＹとなり、これが蒸
着又はスパッタリング後フィルムＢの表面にフィルムＢ
自身に帯電した静電気により吸着され、後続の出側案内
ローラー８や巻取ローラー１０にフィルムＢが巻付けら
れる際、前記の金属ダス）Ｙが蒸着層Ｚに圧入され、蒸
着層を破壊したりフィルムＢを破って、ピンホールを作
るとう欠点があった。
うに、コーティングローラー７の円周蒸着又はスパッタ
リング部にマスキングプレート１４を設は第４図に示す
ごとくフィルムＢ上にフィルム巾Ｗよりも狭い巾ＷＯに
蒸着層を形成せしめているが、一部未蒸着の金属蒸気Ｖ
がマスキングプレート１４のコーティングローラ７側の
裏側に付着又は落下し、金属ダストＹとなり、これが蒸
着又はスパッタリング後フィルムＢの表面にフィルムＢ
自身に帯電した静電気により吸着され、後続の出側案内
ローラー８や巻取ローラー１０にフィルムＢが巻付けら
れる際、前記の金属ダス）Ｙが蒸着層Ｚに圧入され、蒸
着層を破壊したりフィルムＢを破って、ピンホールを作
るとう欠点があった。
この発明は上記製品が持っていた蒸着層２の破壊やフィ
ルムＢの破れ現象によるピンホールの形成という欠点を
解決し、信幀性の高い蒸着層を備えるフィルムを形成で
きる真空蒸着装置を提供することを目的とする。
ルムＢの破れ現象によるピンホールの形成という欠点を
解決し、信幀性の高い蒸着層を備えるフィルムを形成で
きる真空蒸着装置を提供することを目的とする。
本発明は第１図に示すコーティングローラー７の外周上
に備えられるマスキングプレート１４の後面にマグネッ
トプレート３０を設け、フィルムＢがコーティングロー
ラー７に送られながら、その円周上の一部にて蒸着又は
スパッタリングされた後、マスキングプレート１４の内
周部に沿って通過する際、マスキングプレート１４上に
存在する金属ダストＹを吸着しても、その出口部に設け
られたマグネットプレート３０により吸着捕獲されるこ
とにより、マグネットプレート３０を通過したフィルム
Ｂ上のダストは無くなり、クリーンな蒸着フィルムが送
り出される。又フィルムＢに帯電する静電気ならびに電
子線Ｅによる二次電子を除くため、カーボンブラッシュ
２０ａ、２０ｂをコーティングローラー７に接近する人
出側案内ローラー６．８に接して配置し、接地線２１を
介して大地にアースさせ、よりマグネットプレート３０
の金属ダスト吸着効果を増大せしめる。
に備えられるマスキングプレート１４の後面にマグネッ
トプレート３０を設け、フィルムＢがコーティングロー
ラー７に送られながら、その円周上の一部にて蒸着又は
スパッタリングされた後、マスキングプレート１４の内
周部に沿って通過する際、マスキングプレート１４上に
存在する金属ダストＹを吸着しても、その出口部に設け
られたマグネットプレート３０により吸着捕獲されるこ
とにより、マグネットプレート３０を通過したフィルム
Ｂ上のダストは無くなり、クリーンな蒸着フィルムが送
り出される。又フィルムＢに帯電する静電気ならびに電
子線Ｅによる二次電子を除くため、カーボンブラッシュ
２０ａ、２０ｂをコーティングローラー７に接近する人
出側案内ローラー６．８に接して配置し、接地線２１を
介して大地にアースさせ、よりマグネットプレート３０
の金属ダスト吸着効果を増大せしめる。
尚カーボンブラッシュをカーボン、銅、アルミ等の小径
ローラーに変えても良い。
ローラーに変えても良い。
第２図（ａ） 、 ｌｂ）はマグネットプレート３０の
縦断面図及び側面図である。３０ａはマグネット、３ｏ
ｂはカバー、３０ｃはベースプレート、３０ｄは固定ビ
スである。
縦断面図及び側面図である。３０ａはマグネット、３ｏ
ｂはカバー、３０ｃはベースプレート、３０ｄは固定ビ
スである。
次に本実施例の実施条件について下記に記す。
フィルム材質：ポリエチレンテレフタレートフィルム寸
法：８．４〜１２μｍ×巾５１０龍蒸着金属： Ｃｏ
−Ｎｔ （８０〜２０重量％）蒸着速度： ５０〜１
００ｍ／ｍｉｎ 莫着膜厚：８００〜２０００人 チャンバー真空度： ５Ｘ１０−ｊｍｂａｒ〜５Ｘ１０
−ｈｍｂａｒマグネット寸法＝ ７關厚さ×２０鶴巾Ｘ
５４０ｍ長さマグネット材質：フェライト（高磁束密
度材）〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では蒸着装置のコーティング
ローラーの出口側にマグネットプレートをフィルムの蒸
着面に対向して取付け、且つフィル・ムの静電気をカー
ボンブラッシュにて除電する構成をとったからフィルム
及び蒸着層上の金属ダストが吸着でき、フィルムのピン
ホール等が僅少となり、製品の信転性、歩留まりを著し
く改善する効果がある。
法：８．４〜１２μｍ×巾５１０龍蒸着金属： Ｃｏ
−Ｎｔ （８０〜２０重量％）蒸着速度： ５０〜１
００ｍ／ｍｉｎ 莫着膜厚：８００〜２０００人 チャンバー真空度： ５Ｘ１０−ｊｍｂａｒ〜５Ｘ１０
−ｈｍｂａｒマグネット寸法＝ ７關厚さ×２０鶴巾Ｘ
５４０ｍ長さマグネット材質：フェライト（高磁束密
度材）〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では蒸着装置のコーティング
ローラーの出口側にマグネットプレートをフィルムの蒸
着面に対向して取付け、且つフィル・ムの静電気をカー
ボンブラッシュにて除電する構成をとったからフィルム
及び蒸着層上の金属ダストが吸着でき、フィルムのピン
ホール等が僅少となり、製品の信転性、歩留まりを著し
く改善する効果がある。
第１図は本発明による蒸着装置原理図、第２図（ａ）は
マグネットプレート断面図、（ｂ）は同、側面図、第３
図は従来型蒸着装置原理図、第４図はフィルム断面図で
ある。 ２０ａ、２０ｂ・・・除電カーボンブラッシュ、３０・
・・マグネットプレート。 第 １ 図 （Ｃン （ｂ）第 ３ 図 ！ ノ 第４１！ｉ Ｊ−−ｗ−一！
マグネットプレート断面図、（ｂ）は同、側面図、第３
図は従来型蒸着装置原理図、第４図はフィルム断面図で
ある。 ２０ａ、２０ｂ・・・除電カーボンブラッシュ、３０・
・・マグネットプレート。 第 １ 図 （Ｃン （ｂ）第 ３ 図 ！ ノ 第４１！ｉ Ｊ−−ｗ−一！
Claims (2)
- （１）真空蒸着又はスパッタリング法により、フィルム
上に金属を蒸着又はスパッタリングする装置に於いて、
蒸着又はスパッタリング後に蒸着面上の金属ダストを吸
着するためにフィルムの全幅に亘つて電磁石又は永久磁
石からなるマグネットプレートをフィルムの進行方向に
１個乃至複数個配置したことを特徴とする真空蒸着装置
。 - （２）特許請求の範囲第（１）項記載において、カーボ
ンブラッシュの如き除電システムを併設することを特徴
とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28411087A JPH01127676A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28411087A JPH01127676A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127676A true JPH01127676A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17674324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28411087A Pending JPH01127676A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127676A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5240171A (en) * | 1987-05-21 | 1993-08-31 | Lanxide Technology Company, Lp | Method for surface bonding of ceramic bodies |
| JP2007204823A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 成膜装置 |
| CN109686573A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-26 | 贾松 | 一种无线充电超级电容器 |
| CN110536765A (zh) * | 2017-06-08 | 2019-12-03 | 株式会社日立制作所 | 附加制造装置 |
| CN113652664A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-16 | 苏州沃伦工业成套设备有限公司 | 一种全自动真空镀膜涂装线 |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP28411087A patent/JPH01127676A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5240171A (en) * | 1987-05-21 | 1993-08-31 | Lanxide Technology Company, Lp | Method for surface bonding of ceramic bodies |
| JP2007204823A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 成膜装置 |
| CN110536765A (zh) * | 2017-06-08 | 2019-12-03 | 株式会社日立制作所 | 附加制造装置 |
| CN109686573A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-26 | 贾松 | 一种无线充电超级电容器 |
| CN113652664A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-16 | 苏州沃伦工业成套设备有限公司 | 一种全自动真空镀膜涂装线 |
| CN113652664B (zh) * | 2021-07-21 | 2023-05-02 | 苏州沃伦工业成套设备有限公司 | 一种全自动真空镀膜涂装线 |
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