JPH0125143B2 - - Google Patents
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- JPH0125143B2 JPH0125143B2 JP11506982A JP11506982A JPH0125143B2 JP H0125143 B2 JPH0125143 B2 JP H0125143B2 JP 11506982 A JP11506982 A JP 11506982A JP 11506982 A JP11506982 A JP 11506982A JP H0125143 B2 JPH0125143 B2 JP H0125143B2
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- Japan
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- crawler
- ferromagnetic metal
- magnetic recording
- bag
- substrate
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- Expired
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
- C23C14/025—Metallic sublayers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、２層の磁性層を形成しうる磁気記録
媒体の製造装置に関するものである。
媒体の製造装置に関するものである。
プラスチツクフイルム等の基体に強磁性体金属
を斜めに付着した磁気記録媒体は、従来の塗布型
に比べて、抗磁力や角形比、磁気記録密度等が優
れており、最近、実用化されるようになつてき
た。
を斜めに付着した磁気記録媒体は、従来の塗布型
に比べて、抗磁力や角形比、磁気記録密度等が優
れており、最近、実用化されるようになつてき
た。
ところで、このような磁気記録媒体の製造装置
は、一般に強磁性体金属の大部分が基体に付着せ
ず、付着効率が低いという欠点があつた。
は、一般に強磁性体金属の大部分が基体に付着せ
ず、付着効率が低いという欠点があつた。
このような欠点を改良するために、通常のバツ
クローラの他に、より径の小さいバツクローラを
下方に配置して、基体をこれ等両方のバツクロー
ラの周側面に沿つて走行させ、その途中において
強磁性体金属を斜めに付着させるようにした装置
もある。この装置は一つの蒸発源から蒸発した強
磁性体金属を２個のバツクローラで受けるので付
着効率が従来の２倍以上なり、付着効率が向上す
る。
クローラの他に、より径の小さいバツクローラを
下方に配置して、基体をこれ等両方のバツクロー
ラの周側面に沿つて走行させ、その途中において
強磁性体金属を斜めに付着させるようにした装置
もある。この装置は一つの蒸発源から蒸発した強
磁性体金属を２個のバツクローラで受けるので付
着効率が従来の２倍以上なり、付着効率が向上す
る。
しかしながら、一方のバツクローラの下方に他
方のバツクローラを配置するために、上方のバツ
クローラと蒸発源との間の距離が長く、そのため
に上方のバツクローラにおける強磁性体金属の付
着強度が低く、磁性層が剥れ易い欠点があつた。
方のバツクローラを配置するために、上方のバツ
クローラと蒸発源との間の距離が長く、そのため
に上方のバツクローラにおける強磁性体金属の付
着強度が低く、磁性層が剥れ易い欠点があつた。
本発明は以上の欠点を改良し、基体に対する強
磁性体金属の付着強度を改良しうる磁気記録媒体
の製造装置の提供を目的とするものである。
磁性体金属の付着強度を改良しうる磁気記録媒体
の製造装置の提供を目的とするものである。
本発明は、上記の目的を達成するために、第１
バツクローラあるいは第２バツクローラの少なく
とも一方の周側面の前面に設けられ、強磁性体金
属をイオン化して基体に付着しうるコイルを有す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置を提
供するものである。
バツクローラあるいは第２バツクローラの少なく
とも一方の周側面の前面に設けられ、強磁性体金
属をイオン化して基体に付着しうるコイルを有す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置を提
供するものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
図において、１は真空槽であり、10-5Torr程
度の真空度に保持されている。２は原反ローラで
あり、ポリエステル等の高分子フイルムからなる
基体３を供給する。４は径大の第１バツクローラ
であり、その周側面に沿つて基体３が走行させら
れる。５は径小の第２バツクローラであり、第１
バツクローラ４の下方に緩和可能に配置され、第
１バツクローラ４を通過後の基体３が周側面に沿
つて走行させられる。６は巻取ローラであり、第
２バツクローラ５を通過後の基体３を最終的に巻
取るものである。７は第２バツクローラ６の下方
に配置されている蒸発源であり、鉄やコバルト、
ニツケル等の強磁性体金属８が収容されている。
９は第１バツクローラ４の周側面の前面に設けら
れた高周波コイルであり、蒸発した強磁性体金属
をイオン化しうるものである。１１は第２バツク
ローラ５と蒸発源７との間に配置させられたマス
クである。
度の真空度に保持されている。２は原反ローラで
あり、ポリエステル等の高分子フイルムからなる
基体３を供給する。４は径大の第１バツクローラ
であり、その周側面に沿つて基体３が走行させら
れる。５は径小の第２バツクローラであり、第１
バツクローラ４の下方に緩和可能に配置され、第
１バツクローラ４を通過後の基体３が周側面に沿
つて走行させられる。６は巻取ローラであり、第
２バツクローラ５を通過後の基体３を最終的に巻
取るものである。７は第２バツクローラ６の下方
に配置されている蒸発源であり、鉄やコバルト、
ニツケル等の強磁性体金属８が収容されている。
９は第１バツクローラ４の周側面の前面に設けら
れた高周波コイルであり、蒸発した強磁性体金属
をイオン化しうるものである。１１は第２バツク
ローラ５と蒸発源７との間に配置させられたマス
クである。
すなわち、蒸発源７から蒸発した強磁性体金属
は、高周波コイル９によりイオン化され、第１バ
ツクローラ４において基体３に所定の入射角で斜
めに付着し、下層の磁性層を形成する。次に、第
２バツクローラ６において、強磁性体金属が基体
３に所定の入射角で付着し上層の磁性層を形成す
る。
は、高周波コイル９によりイオン化され、第１バ
ツクローラ４において基体３に所定の入射角で斜
めに付着し、下層の磁性層を形成する。次に、第
２バツクローラ６において、強磁性体金属が基体
３に所定の入射角で付着し上層の磁性層を形成す
る。
従つて、基体３に形成される磁性層の下層は、
基体３との付着強度の大きい強磁性体金属によつ
て形成されており、下層と上層は強磁性体金属で
あるから、磁性層全体と基体との付着強度が向上
し剥離強度が大きくなる。
基体３との付着強度の大きい強磁性体金属によつ
て形成されており、下層と上層は強磁性体金属で
あるから、磁性層全体と基体との付着強度が向上
し剥離強度が大きくなる。
なお、基体の走行方向が逆の場合には、下層の
磁性層の付着強度を増加するために、下方の第２
バツクローラの周側面に沿つてコイルを配置して
もよい。
磁性層の付着強度を増加するために、下方の第２
バツクローラの周側面に沿つてコイルを配置して
もよい。
また、以上の各実施例において、コイルをどち
らか一方のバツクローラの周側面にもつて配置し
たが、両バツクローラの周側面に沿つて配置して
もよい。この場合には、独立にコイルのパワーを
制御できるので、第１バツクローラと第２バツク
ローラでの強磁性体金属の付着条件を個々に制御
でき、磁気特性をより改善できる。
らか一方のバツクローラの周側面にもつて配置し
たが、両バツクローラの周側面に沿つて配置して
もよい。この場合には、独立にコイルのパワーを
制御できるので、第１バツクローラと第２バツク
ローラでの強磁性体金属の付着条件を個々に制御
でき、磁気特性をより改善できる。
以上の通り、本発明によれば強磁性体金属の付
着効率及び付着強度の高い磁気記録媒体の製造装
置が得られる。
着効率及び付着強度の高い磁気記録媒体の製造装
置が得られる。
図は本発明の実施例の断面図を示す。
３……基体、４……第１バツクローラ、５……
第２バツクローラ、８……強磁性体金属、９……
高周波コイル。
第２バツクローラ、８……強磁性体金属、９……
高周波コイル。
Claims (1)
- １ 径大の第１バツクローラと、該第１バツクロ
ーラの下方に配置された径小の第２バツクローラ
とを有し、基体を前記第１バツクローラ及び前記
第２バツクローラの周側面に沿つて走行させ、前
記基体に強磁性体金属を斜めに付着する磁気記録
媒体の製造装置において、第１バツクローラある
いは第２バツクローラの少なくとも一方の周側面
の前面に設けられ、強磁性体金属をイオン化して
基体に付着しうるコイルを有することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11506982A JPS595436A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11506982A JPS595436A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS595436A JPS595436A (ja) | 1984-01-12 |
| JPH0125143B2 true JPH0125143B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=14653406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11506982A Granted JPS595436A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595436A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2689289B2 (ja) * | 1990-10-08 | 1997-12-10 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置 |
| US6294479B1 (en) | 1992-05-21 | 2001-09-25 | Nissin Electric Co., Ltd | Film forming method and apparatus |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP11506982A patent/JPS595436A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS595436A (ja) | 1984-01-12 |
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