JPS60125934A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気記録媒体の！ｌｌｌｌ法に関するものであ
る。

磁気テープ等の磁気記録媒体として、鉄等の強磁性金属
を真空蒸着法やイオンブレーティング法、スパッタリン
グ法等により基体に付着して強磁性金属ＲＩｌ！Ｉを形
成した薄膜型のものが用いられるようになってきた。

ところで、このような薄膜型の磁気記録媒体は、従来の
塗布型に比べて、記録密度が非常に高く、小型化が可０
ヒであるという長所を有している反１ｍ、走行中に磁気
ヘッド等により擦られて損傷し易く、また、腐食し易い
という欠点を有している。

そのために、従来は、強磁性金属薄膜の表面に、高級脂
肪酸等をイ」着したりして保護層を形成したものもある
。しかしながら、従来のこれ等の保護層は強磁性金属薄
膜との密着性が弱く、走行中等に容易に剥＃４る欠点が
あった。

本発明は、以上の欠点を改良し、強磁性金属薄膜と保ｉ
層との密着性を向上１ノつる磁気記録媒体の製造装置の
提供を目的とするものである。

本発明は、上記の目的を達成するために、基体の表面に
強磁性金属薄膜と保護層とを形成しうる磁気記録媒体の
製造方法において、基体の表面にスパッタ速度の比較的
大きい物質からなる第１層を形成する工程と、該工程後
に該第１層表面にスパッタ速度の比較的小さい物質を分
散して付着した第２層を形成づる工程と、該工程後に前
記第１層をスパッタリング処理して凹部を段【プる工程
と、該スパッタリング処理後に強磁性金属を付着するこ
とを特徴とづる磁気記録媒体の製造方法を提供プるもの
である。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

先ず、第１図に示す通り、ポリエステルやポリエチレン
等の高分子フィルムからなる基体１上に、△夕やＣｏ　
、　（／　ｒ等の比較的スパッタ速度の大きい物質を蒸
９′ｉシて第１層２を形成する。次に、第２図に示づ通
り、第１層２０表面に、３ｉやＴａ。

ＴＩ＋、ｌ’ｉ等の比較的スパッタ速度の小さい物質を
分散して蒸着し、第２１台３を形成づる。そして、第３
図に示す通り、主として第１ｆｆ２の表面をスパッタリ
ング処理して凹部４を設け、基体１の表面を凹凸状に形
成する。スパッタリング処理後、第４図に示す通り、こ
の凹凸状の表面に、鉄やコバルト、ニッケル等の強磁性
金属を真空蒸着等により蒸着して強磁性金属ａ膜５を形
成する。強磁性金属薄膜５形成後は、第５図に示す通り
、強磁性金属薄膜５表面に高級脂肪酸等の物質を蒸着し
たり塗布したりして保護層６を形成する。

りなわら、本発明にＪ、れは、強磁性金属薄膜５の表面
が凹凸状になっているために、その上に積層される保護
層６の一部がイの凹部４に入り込み、強磁性金属薄膜５
と保護層６との密着性が向上する。

なお、凸部の高さは３００Ａ１度までが好ましく、これ
より高くなると、密着性が向上するが、スペーシングロ
スが増大し、出力が減少する。

以上の通り、本発明により、強磁性金属薄膜と保護層と
の密着性が良くなり、耐摩耗性や耐候性を向上しうる磁
気記録媒体の製造方法が行られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明により製造された磁気記録
媒体の製造過程を示し、第１図は第１層を形成した状態
の断面図、第２図は第２層を形成した状態の断面図、第
３図はイオンブレーティング処理した状態の断面図、第
４図は強磁性金属薄膜を形成した状態の断面図、第５図
は保護層を形成した状態の断面図を示づ゛。 １・・・基体、　２・・第１層、　３・・・第２層、４
・・・凹部、　５・・・強磁性金属薄膜、６・・・保護
層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　基体の表面に強磁性金属薄膜どその保護層とを
   形成しうる磁気記録媒体の製造方法において、基体の表
   面にスパッタ速度の比較的大きい物質からなる第１層を
   形成ブる工程と、該工程後に該第１層表面にスパッタ速
   度の比較的小さい物質を分散してイリ着した第２層を形
   成ηる上程と、該工Ｐｉ！後に前記第１＠をスパッタリ
   ング処理して凹部を設【プる工程と、該スパッタリング
   処耶後に強磁性金属をｆυ着づることを特徴とする磁気
   記録媒体の製造方ン人