JPS6326827A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体の製造方法に係シ、特に強磁性金
属薄膜を用いた磁気記録媒体の耐食性を向上させるのに
好適な磁気記録媒体の製造方法に関する。
属薄膜を用いた磁気記録媒体の耐食性を向上させるのに
好適な磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の磁気記録媒体においては、記録密度を高めるため
に、磁気６己録媒体自体の特性向上や薄層化が進められ
ている。また、同じく、磁気記録媒体の６ｒ２録密度を
高めるために、磁気ＢＧ録媒体と記録再生ヘッドとの間
のスペーシング低下の工夫が進められている。特に、磁
気記録媒体の特性向上と薄層化において優れたものとし
てス・セクタ・蒸着により形成する強磁性金属薄膜を用
いた磁気記録媒体がある。しかし、これらの磁気記録媒
体は、６ピ録媒体としての性能を維持するため、耐食性
や耐摺動強度を向上させる保護層・潤滑層・あるいは両
者の複合層を必要としていた。
に、磁気６己録媒体自体の特性向上や薄層化が進められ
ている。また、同じく、磁気記録媒体の６ｒ２録密度を
高めるために、磁気ＢＧ録媒体と記録再生ヘッドとの間
のスペーシング低下の工夫が進められている。特に、磁
気記録媒体の特性向上と薄層化において優れたものとし
てス・セクタ・蒸着により形成する強磁性金属薄膜を用
いた磁気記録媒体がある。しかし、これらの磁気記録媒
体は、６ピ録媒体としての性能を維持するため、耐食性
や耐摺動強度を向上させる保護層・潤滑層・あるいは両
者の複合層を必要としていた。
以上に説明した保護層や潤滑層を積層して信頼性を向上
させた磁気ｄＣ録媒体は、例えば特開昭５８−９２１６
号公報及び特開昭５７−１８０２８号公報及び特開昭５
６−１１４１３１号公報及び特開昭５７−１３８０５４
号公報に開示されている。
させた磁気ｄＣ録媒体は、例えば特開昭５８−９２１６
号公報及び特開昭５７−１８０２８号公報及び特開昭５
６−１１４１３１号公報及び特開昭５７−１３８０５４
号公報に開示されている。
上記した様に、従来技術においては、強磁性金属薄膜の
耐食性を向上きせるため保護層を必要としている。しか
し、従来技術においては、強磁性金属薄膜と保護層との
密着力及び形成工程の−貫性について、配慮がされてい
ない。即ち、保膜層は一般に強磁性金属薄膜の材料と全
く異なる材料で形成されているため、両者の密着性が悪
く、保護層が剥離する現象が生じる。それＫよって、強
磁性金属薄膜が腐食し、磁気８ピ録媒体の性能が維持で
きず、信頼性の乏しい磁気ＡＣ録媒体となる問題点があ
った。
耐食性を向上きせるため保護層を必要としている。しか
し、従来技術においては、強磁性金属薄膜と保護層との
密着力及び形成工程の−貫性について、配慮がされてい
ない。即ち、保膜層は一般に強磁性金属薄膜の材料と全
く異なる材料で形成されているため、両者の密着性が悪
く、保護層が剥離する現象が生じる。それＫよって、強
磁性金属薄膜が腐食し、磁気８ピ録媒体の性能が維持で
きず、信頼性の乏しい磁気ＡＣ録媒体となる問題点があ
った。
また、強磁性金属薄膜と保護層の形成方法が異なるため
、形成プロセス及び形成装置の一貫性がなく、形成プロ
セスや形成装置の複雑化を招き、製造効率を低下させる
という問題点があった。
、形成プロセス及び形成装置の一貫性がなく、形成プロ
セスや形成装置の複雑化を招き、製造効率を低下させる
という問題点があった。
本発明は、上自己した従来技術の問題点に鑑みなされた
もので、耐食性に優れ、かつ形成プロセス・形成装置を
簡単化することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供
することを目的としている。
もので、耐食性に優れ、かつ形成プロセス・形成装置を
簡単化することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供
することを目的としている。
本発明の磁気ｃｆｃｊ録媒体の製造方法は、基体上にコ
バルトを含む強磁性金属薄膜をス・ぜツタ・蒸着によっ
て形成する行程を有するものであり、特に所定の厚さま
で基体上に上記強磁性金属薄膜を形成した後、基体側に
バイアスを印加して、更に上記強磁性金属薄膜を形成す
ることを特徴としている。
バルトを含む強磁性金属薄膜をス・ぜツタ・蒸着によっ
て形成する行程を有するものであり、特に所定の厚さま
で基体上に上記強磁性金属薄膜を形成した後、基体側に
バイアスを印加して、更に上記強磁性金属薄膜を形成す
ることを特徴としている。
本発明によれば、スパッタ、蒸着により強磁性金属薄膜
を形成する場合に、必要な記録媒体膜厚を形成し、その
表層部に引きつづき、基体にバイアスを印加しながら強
磁性金属薄膜が形成される。
を形成する場合に、必要な記録媒体膜厚を形成し、その
表層部に引きつづき、基体にバイアスを印加しながら強
磁性金属薄膜が形成される。
ここで、基体にバイアスを印加しなから成膜を行なうこ
とは、成膜と同時に膜表面に種々の衝撃を与えながら成
膜することになるため、形成された膜は・ぐイアスを印
加しないで形成した膜に比べ、ある程度変質した緻密な
膜が形成されることになる。このようなバイアスを印加
した膜の耐食性を調べた所、非常に腐食しにくいことが
わかったため、耐食保護層としての効果を得ることがで
きる。
とは、成膜と同時に膜表面に種々の衝撃を与えながら成
膜することになるため、形成された膜は・ぐイアスを印
加しないで形成した膜に比べ、ある程度変質した緻密な
膜が形成されることになる。このようなバイアスを印加
した膜の耐食性を調べた所、非常に腐食しにくいことが
わかったため、耐食保護層としての効果を得ることがで
きる。
また、本発明によれば１強磁性金属薄膜の保護層が、同
じ材料でちゃ、かつ同一装置の中で両者形成の時間的イ
ンターバルがなく、連続的に形成されるため、層間の汚
染による密着力低下や両者の界面発生による密着力低下
は発生しない。
じ材料でちゃ、かつ同一装置の中で両者形成の時間的イ
ンターバルがなく、連続的に形成されるため、層間の汚
染による密着力低下や両者の界面発生による密着力低下
は発生しない。
以下、添付の図面に示す実施例により、更に詳細に１本
発明について説明する。
発明について説明する。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法を用いて製造
した磁気ディスクの一例を示す断面図である。第１図に
おいて、１はアルミニウム合金基板、２はＮｉＰメツキ
下地層、３はＣｒスノｆツタ下地層、４，５は本発明に
より設けた強磁性金属薄膜であり、強磁性金属薄膜５が
耐食性に優れたものとなっている。まだ、６は耐食性の
向上と潤滑性の向上を得るだめのカーダンス・平ツタ層
である。
した磁気ディスクの一例を示す断面図である。第１図に
おいて、１はアルミニウム合金基板、２はＮｉＰメツキ
下地層、３はＣｒスノｆツタ下地層、４，５は本発明に
より設けた強磁性金属薄膜であり、強磁性金属薄膜５が
耐食性に優れたものとなっている。まだ、６は耐食性の
向上と潤滑性の向上を得るだめのカーダンス・平ツタ層
である。
次に、第１図に示す構造の磁気ディスクの製造方法につ
いて説明する。アルミニウム合金基板１上にＮ ｉ Ｐ
メッキ下地層２を設け、更にＮｉＰメツキ下地層２上に
Ｃｒスパッタ下地層３を設ける行程は、従来のものと同
様である。
いて説明する。アルミニウム合金基板１上にＮ ｉ Ｐ
メッキ下地層２を設け、更にＮｉＰメツキ下地層２上に
Ｃｒスパッタ下地層３を設ける行程は、従来のものと同
様である。
Ｃｒス・ンノタ下地層３上に強磁性金属薄ｉ４，５を設
ける行程は、次の様なものである。即ち、強磁性金属薄
膜４．５は、基本的にはＣｏ 、 Ｃｏ−Ｃｒ 。
ける行程は、次の様なものである。即ち、強磁性金属薄
膜４．５は、基本的にはＣｏ 、 Ｃｏ−Ｃｒ 。
Ｃｏ−Ｎｉ 、 Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等のＣｏ合金をス・
ぞツタリングすることにより形成される。先ず、上♂己
Ｃｏ合金をターグットとして、時間Ｔ１だけスノｅツタ
リングし、所定の厚さの強磁性金属薄膜４を形成する。
ぞツタリングすることにより形成される。先ず、上♂己
Ｃｏ合金をターグットとして、時間Ｔ１だけスノｅツタ
リングし、所定の厚さの強磁性金属薄膜４を形成する。
Ｔ１以後は、アルミニウム合金基板１側に高周波電力を
印加し、時間Ｔ２だけス・！ツタリングし、所定の厚さ
の強磁性薄膜５を形成する。高周波電力としては、周波
数が１３．５６ ｋＨｚで電力が１〜５Ｗ７．１ の
範囲のものを用いた。また、強磁性薄膜５は、その膜厚
が５０１程度になるまで形成された。
印加し、時間Ｔ２だけス・！ツタリングし、所定の厚さ
の強磁性薄膜５を形成する。高周波電力としては、周波
数が１３．５６ ｋＨｚで電力が１〜５Ｗ７．１ の
範囲のものを用いた。また、強磁性薄膜５は、その膜厚
が５０１程度になるまで形成された。
この様に形成された強磁性金属薄膜５は緻密で耐食性に
優れたものとなる。上記の強磁性金属薄膜４．５は１時
間ＴＩ、Ｔ２に亘って、連続形成される。
優れたものとなる。上記の強磁性金属薄膜４．５は１時
間ＴＩ、Ｔ２に亘って、連続形成される。
このように、本発明の磁気記録媒体を用いた磁気ディス
クにすれば、強磁性金属薄膜自身の表層部が耐食性に優
れているため、カーｎζンスパソタ層６の形成時にビッ
ト欠陥が発生して、大気中のＨ，ＯやＣｔ、などに、強
磁性金属薄膜４，５がさらされたとしても、表層部の緻
密で腐食されにくい強磁性金属薄膜５があるため、腐食
によるデータの記録再生エラーが起こる心配はない。ま
た、磁気ヘッドとカーボンスパッタ層６が接触した場合
に、カーデン層が削れる、若くは、はがれる等の事が発
生しても同じ効果を有する。加えて、強磁性金属薄膜４
，５は、同じ材料で、かつ同時に連続的に形成するため
、眉間の界面がなく、金属結合の強さで接着されている
。従りて、磁気ヘッドと接触する様な状態においてもは
がれる心配はない。
クにすれば、強磁性金属薄膜自身の表層部が耐食性に優
れているため、カーｎζンスパソタ層６の形成時にビッ
ト欠陥が発生して、大気中のＨ，ＯやＣｔ、などに、強
磁性金属薄膜４，５がさらされたとしても、表層部の緻
密で腐食されにくい強磁性金属薄膜５があるため、腐食
によるデータの記録再生エラーが起こる心配はない。ま
た、磁気ヘッドとカーボンスパッタ層６が接触した場合
に、カーデン層が削れる、若くは、はがれる等の事が発
生しても同じ効果を有する。加えて、強磁性金属薄膜４
，５は、同じ材料で、かつ同時に連続的に形成するため
、眉間の界面がなく、金属結合の強さで接着されている
。従りて、磁気ヘッドと接触する様な状態においてもは
がれる心配はない。
このため、本実施例の磁気ディスクは、強磁性金属薄膜
の腐食発生による記録再生エラーの発生がないことにつ
いて高い信頼性を確保できる。
の腐食発生による記録再生エラーの発生がないことにつ
いて高い信頼性を確保できる。
尚、上記した実施例においては、アルミニウム合金基板
１側に高周波電力を印加する場合について説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、例えばマイナ
ス電圧等の何等かのバイアスを印加して、ターグットか
ら飛来する金属を制御し、緻密で耐食性の優れた強磁性
金属薄膜を形成することも可能である。
１側に高周波電力を印加する場合について説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、例えばマイナ
ス電圧等の何等かのバイアスを印加して、ターグットか
ら飛来する金属を制御し、緻密で耐食性の優れた強磁性
金属薄膜を形成することも可能である。
第２図は、Ｃｏを材料とした場合の本実施例による磁気
記録媒体と従来の磁気記録媒体について、２５ ｖｏｌ
ｌ ＨＮＯｓ液に対するエツチング状態を比較した結
果を示すものである。図から明らかな様に、本実施例の
磁気記録媒体は、Ｃｏを強力に腐食させるＨＮＯ３液に
対しても非常に耐食性が優れていることがわかる。
記録媒体と従来の磁気記録媒体について、２５ ｖｏｌ
ｌ ＨＮＯｓ液に対するエツチング状態を比較した結
果を示すものである。図から明らかな様に、本実施例の
磁気記録媒体は、Ｃｏを強力に腐食させるＨＮＯ３液に
対しても非常に耐食性が優れていることがわかる。
以上説明したように、本発明によれば、高記録密度用磁
気記録媒体において、強磁性金属薄膜表層部にバイアス
を印加してスパッタ蒸着形成することによシ、磁気記録
媒体の腐食発生による記録再生エラーの発生が低減でき
、かつ保獲膜の剥離が防止できるので、信頼性の高い磁
気記録媒体を提供できる効果がある。
気記録媒体において、強磁性金属薄膜表層部にバイアス
を印加してスパッタ蒸着形成することによシ、磁気記録
媒体の腐食発生による記録再生エラーの発生が低減でき
、かつ保獲膜の剥離が防止できるので、信頼性の高い磁
気記録媒体を提供できる効果がある。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法を用いて製造
した磁気ディスクの断面図、第２図は本発明の磁気記録
媒体の製造方法を用いて製造した磁気記録媒体と従来技
術によって製造した磁気記録媒体との耐食性の比較結果
を示す図である。 １・・アルミニウム合金基板、２・・・ＮｉＰメツキ下
地層、３・・・Ｃｒス・母ツタ下地層、４．５・・・強
磁性金ｆｉ［，６・・・カーゴンスノぐツタ層。
した磁気ディスクの断面図、第２図は本発明の磁気記録
媒体の製造方法を用いて製造した磁気記録媒体と従来技
術によって製造した磁気記録媒体との耐食性の比較結果
を示す図である。 １・・アルミニウム合金基板、２・・・ＮｉＰメツキ下
地層、３・・・Ｃｒス・母ツタ下地層、４．５・・・強
磁性金ｆｉ［，６・・・カーゴンスノぐツタ層。
Claims (1)
- １、基体上にコバルトを含む強磁性金属薄膜をスパッタ
蒸着によって形成する行程を有する磁気記録媒体の製造
方法において、所定の厚さまで基体上に上記強磁性金属
薄膜を形成した後、基体側にバイアスを印加した状態で
、更に上記強磁性金属薄膜を形成することを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61169911A JPS6326827A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
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