JPH0450649B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0450649B2 JPH0450649B2 JP60062805A JP6280585A JPH0450649B2 JP H0450649 B2 JPH0450649 B2 JP H0450649B2 JP 60062805 A JP60062805 A JP 60062805A JP 6280585 A JP6280585 A JP 6280585A JP H0450649 B2 JPH0450649 B2 JP H0450649B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- substrate
- soft magnetic
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、垂直磁気記録用の記録媒体に関す
るものである。
るものである。
従来、垂直磁気記録媒体には、その電磁変換特
性等の電気磁気的特性向上の為、垂直磁化膜のみ
ならず、例えばFe−Ni等の軟磁性膜を持つ、い
わゆる二層膜垂直磁気記録媒体と呼ばれる構造を
持つものがあつた。第２図はその１例の断面図で
ある。アルミ基板１上に、表面平坦性等機械的特
性向上の為にNi−Ｐメツキ膜２を設け、更にNi
−Ｐ膜２上に軟磁性膜としてのFe−Ni膜４を設
け、されに磁性膜体としてCo−Cr膜３を設けて
ある。
性等の電気磁気的特性向上の為、垂直磁化膜のみ
ならず、例えばFe−Ni等の軟磁性膜を持つ、い
わゆる二層膜垂直磁気記録媒体と呼ばれる構造を
持つものがあつた。第２図はその１例の断面図で
ある。アルミ基板１上に、表面平坦性等機械的特
性向上の為にNi−Ｐメツキ膜２を設け、更にNi
−Ｐ膜２上に軟磁性膜としてのFe−Ni膜４を設
け、されに磁性膜体としてCo−Cr膜３を設けて
ある。
従来の垂直磁気記録媒体、いわゆる磁気デイス
クは以上のような構造になつているので製造時に
工程が複雑になる等の問題点があつた。
クは以上のような構造になつているので製造時に
工程が複雑になる等の問題点があつた。
ところがNi−Ｐは熱処理を行なうことにより
軟磁性をもつことが知られており、Ni−Ｐ膜２
を軟磁性膜として用いることが出来れば、Fe−
Ni膜は不要となり工程が省略される。
軟磁性をもつことが知られており、Ni−Ｐ膜２
を軟磁性膜として用いることが出来れば、Fe−
Ni膜は不要となり工程が省略される。
一方、軟磁性膜として必要とされる厚さは薄く
（例えば0.5〜1μｍ程度）、Ni−Ｐ膜は後でCo−Cr
膜を設けるべき面の表面付近のみが軟磁性化され
れば十分である。
（例えば0.5〜1μｍ程度）、Ni−Ｐ膜は後でCo−Cr
膜を設けるべき面の表面付近のみが軟磁性化され
れば十分である。
この発明は以上のような点に鑑みなされたもの
で、垂直磁気記録用の磁性体膜の下地層たる軟磁
性膜を新たに設けること無く、基板に設けた非磁
性Ni−Ｐ膜の表面付近を軟磁性化することによ
り軟磁性膜を設けたのと同様の効果を有する垂直
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的と
している。
で、垂直磁気記録用の磁性体膜の下地層たる軟磁
性膜を新たに設けること無く、基板に設けた非磁
性Ni−Ｐ膜の表面付近を軟磁性化することによ
り軟磁性膜を設けたのと同様の効果を有する垂直
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的と
している。
この発明に係る磁気デイスクの製造方法は、基
板に非磁性Ni−Ｐ膜を設ける工程、このNi−Ｐ
膜の逆スパツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁
性化する工程、この軟磁性化したNi−Ｐ膜に垂
直磁気記録用のCo−Crを主成分とする磁性体膜
を設ける工程を施すようにしたものである。
板に非磁性Ni−Ｐ膜を設ける工程、このNi−Ｐ
膜の逆スパツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁
性化する工程、この軟磁性化したNi−Ｐ膜に垂
直磁気記録用のCo−Crを主成分とする磁性体膜
を設ける工程を施すようにしたものである。
この発明においては、非磁性Ni−Ｐ膜に逆ス
パツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁性化する
ようにしたので、軟磁性膜としてのFe−Ni膜を
設けるのと同様の働きを有すると共に、Fe−Ni
膜作成工程が簡略化される。
パツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁性化する
ようにしたので、軟磁性膜としてのFe−Ni膜を
設けるのと同様の働きを有すると共に、Fe−Ni
膜作成工程が簡略化される。
第１図はこの発明の一実施例により得られた磁
気記録媒体を示す断面図であり、図において１は
アルミ基板、２はアルミ基板１上に設けたNi−
Ｐ膜、３はNi−Ｐ膜２上に設けた垂直磁気記録
用のCo−Cr膜であり、Ni−Ｐ膜２のCo−Cr膜側
表面は軟磁性化されている。
気記録媒体を示す断面図であり、図において１は
アルミ基板、２はアルミ基板１上に設けたNi−
Ｐ膜、３はNi−Ｐ膜２上に設けた垂直磁気記録
用のCo−Cr膜であり、Ni−Ｐ膜２のCo−Cr膜側
表面は軟磁性化されている。
次にその製造方法について説明する。アルミ基
板１の表面を周知の方法を用いて前処理洗浄し、
その上に非磁性Ni−Ｐの無電解メツキを厚く、
例えば数十ミクロン付ける。この非磁性Ni−Ｐ
膜２の表面を機械加工により表面粗さの小さい平
面平坦化仕上げする。しかる後、スパツタ装置で
５×10-7Torr以下に排気し、上記非磁性Ni−Ｐ
膜２の付いた基板１を逆スパツタする。例えば基
板電極間距離40mm、Arガス圧30ｍTorr、入力電
力400Wで10分程度基板側をスパツタすれば、面
内異方性の無い保磁力10Oe程度の軟磁性膜が非
磁性Ni−Ｐ膜表面に得られる。その後、再度５
×10-7Torr以下に排気し、スパツタ法によりCo
−Cr膜３を例えば基板電極間距離80mm、Ar圧ガ
ス５ｍTorr、入力電圧200Wで0.2μｍ程度作製す
る。
板１の表面を周知の方法を用いて前処理洗浄し、
その上に非磁性Ni−Ｐの無電解メツキを厚く、
例えば数十ミクロン付ける。この非磁性Ni−Ｐ
膜２の表面を機械加工により表面粗さの小さい平
面平坦化仕上げする。しかる後、スパツタ装置で
５×10-7Torr以下に排気し、上記非磁性Ni−Ｐ
膜２の付いた基板１を逆スパツタする。例えば基
板電極間距離40mm、Arガス圧30ｍTorr、入力電
力400Wで10分程度基板側をスパツタすれば、面
内異方性の無い保磁力10Oe程度の軟磁性膜が非
磁性Ni−Ｐ膜表面に得られる。その後、再度５
×10-7Torr以下に排気し、スパツタ法によりCo
−Cr膜３を例えば基板電極間距離80mm、Ar圧ガ
ス５ｍTorr、入力電圧200Wで0.2μｍ程度作製す
る。
なお、上記実施例では基板はアルミ基板とした
が、アルミ以外でも可能であり、又、基板両面に
この発明を適用しても良い。
が、アルミ以外でも可能であり、又、基板両面に
この発明を適用しても良い。
また、磁性体膜であるCo−Cr膜３に、例えば
ロジジウム、タンタルなどを少量添加しても良
い。
ロジジウム、タンタルなどを少量添加しても良
い。
この発明は以上説明したとおり、基板に非磁性
Ni−Ｐ膜を設ける工程、このNi−Ｐ膜の逆スパ
ツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁性化する工
程、この軟磁性化したNi−Ｐ膜に垂直磁気記録
用のCo−Crを主成分とする磁性体膜を設ける工
程を施すようにしたので、平面平坦性等機械的特
性向上を得るためのNi−Ｐ膜に軟磁性を持たせ
ることが出来、Fe−Ni膜などの別組の軟磁性膜
を設ける必要がなくなり、それだけ工程を簡略化
することのできる垂直磁気記録媒体の製造方法が
得られるという効果がある。
Ni−Ｐ膜を設ける工程、このNi−Ｐ膜の逆スパ
ツタを行なつてNi−Ｐ膜表面を軟磁性化する工
程、この軟磁性化したNi−Ｐ膜に垂直磁気記録
用のCo−Crを主成分とする磁性体膜を設ける工
程を施すようにしたので、平面平坦性等機械的特
性向上を得るためのNi−Ｐ膜に軟磁性を持たせ
ることが出来、Fe−Ni膜などの別組の軟磁性膜
を設ける必要がなくなり、それだけ工程を簡略化
することのできる垂直磁気記録媒体の製造方法が
得られるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例により得られた垂
直磁気記録媒体の断面図、第２図は従来の製法に
よる垂直磁気記録媒体の断面図である。 １……アルミ基板、２……Ni−Ｐ膜、３……
Co−Cr膜、４……Fe−Ni膜。なお、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
直磁気記録媒体の断面図、第２図は従来の製法に
よる垂直磁気記録媒体の断面図である。 １……アルミ基板、２……Ni−Ｐ膜、３……
Co−Cr膜、４……Fe−Ni膜。なお、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 基板に非磁性Ni−Ｐ膜を設ける工程、この
Ni−Ｐ膜の逆スパツタを行なつてNi−Ｐ膜表面
を軟磁性化する工程、この軟磁性化したNi−Ｐ
膜に垂直磁気記録用のCo−Crを主成分とする磁
性体膜を設ける工程を施す垂直磁気記録媒体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6280585A JPS61220132A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6280585A JPS61220132A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220132A JPS61220132A (ja) | 1986-09-30 |
| JPH0450649B2 true JPH0450649B2 (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=13210915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6280585A Granted JPS61220132A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61220132A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP6280585A patent/JPS61220132A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61220132A (ja) | 1986-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5851656A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPS60239916A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2780588B2 (ja) | 積層型磁気ヘッドコア | |
| JPH0323972B2 (ja) | ||
| JPH10214719A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0450649B2 (ja) | ||
| JPS58166531A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH05258274A (ja) | 垂直磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JP3833335B2 (ja) | 磁性記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0323967B2 (ja) | ||
| JP2001250223A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JPS63220411A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH08329442A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61267923A (ja) | 磁気記憶体 | |
| JPH05258275A (ja) | 垂直磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JPH0421921A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05266455A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2770588B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2593590B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造法 | |
| JPH0514967B2 (ja) | ||
| JPS62291719A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63193324A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH05291039A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0935236A (ja) | 磁気記録媒体 |