JPS63220411A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS63220411A JPS63220411A JP5234087A JP5234087A JPS63220411A JP S63220411 A JPS63220411 A JP S63220411A JP 5234087 A JP5234087 A JP 5234087A JP 5234087 A JP5234087 A JP 5234087A JP S63220411 A JPS63220411 A JP S63220411A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気テープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体
に関し、特に垂直磁気記録媒体に関するものである。
に関し、特に垂直磁気記録媒体に関するものである。
磁気記録において、従来用いられている長手記録方式を
越える高密度記録として、垂直磁気記録方式が提案され
、精力的に研究開発が進められている。
越える高密度記録として、垂直磁気記録方式が提案され
、精力的に研究開発が進められている。
この垂直磁気記録を実現するには、磁気記録媒体として
、磁性膜面に対して垂直方向の磁化容易軸を有する磁性
膜を設けた媒体が必要である。現在、そのような磁気特
性を持つ磁性膜としては、主成分のＣｏ（ｈｃｐ構造）
のＣ軸を膜面に垂直に配向させ、それを容易軸とすると
いう結晶磁気異方性を利用したＣｏＣｒ、ＣｏＴｉ、Ｃ
ｏＶ。
、磁性膜面に対して垂直方向の磁化容易軸を有する磁性
膜を設けた媒体が必要である。現在、そのような磁気特
性を持つ磁性膜としては、主成分のＣｏ（ｈｃｐ構造）
のＣ軸を膜面に垂直に配向させ、それを容易軸とすると
いう結晶磁気異方性を利用したＣｏＣｒ、ＣｏＴｉ、Ｃ
ｏＶ。
ＣｏＭｏ、ＣｏＷ、ＣｏＭｎ、ＣｏＲｕ等が知られてい
る（日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ、８．Ｎｏ、１．１９
８４．１７Ｐ）。
る（日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ、８．Ｎｏ、１．１９
８４．１７Ｐ）。
上述の従来の垂直磁気記録媒体は希少な資源であるＣｏ
が必要である。Ｃｏ以外に常温で強磁性を示す元素は一
最にＦｅ、Ｎｌが知られている。
が必要である。Ｃｏ以外に常温で強磁性を示す元素は一
最にＦｅ、Ｎｌが知られている。
しかしながらＦｅはｂｃｃ構造であり、ＮｉはｆＣＣ構
造であるのでＣＯのようにｈｃｐのＣ軸方向という一軸
異方性は存在しない、このため、従来は、Ｆｅ又はＮｉ
を主成分とした垂直磁気記録媒体が容易に作製されると
いうことはなかった。
造であるのでＣＯのようにｈｃｐのＣ軸方向という一軸
異方性は存在しない、このため、従来は、Ｆｅ又はＮｉ
を主成分とした垂直磁気記録媒体が容易に作製されると
いうことはなかった。
本発明の垂直磁気記録媒体は、基板と、この基板上に被
覆された非磁性相（常磁性相又は後記強磁性相より磁化
が低いものを含む）と、この非磁性相中に分散され前記
基板の表面に垂直な方向に長い針状又は柱状の形状の強
磁性相とを含んで構成される。
覆された非磁性相（常磁性相又は後記強磁性相より磁化
が低いものを含む）と、この非磁性相中に分散され前記
基板の表面に垂直な方向に長い針状又は柱状の形状の強
磁性相とを含んで構成される。
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性相が非晶質であり
かつ強磁性相が結晶質であるように構成されることもで
きる。
かつ強磁性相が結晶質であるように構成されることもで
きる。
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性相が非晶質のＦｅ
Ｔｉでありかつ強磁性相がｂｃｃのＦｅＴｉであるよう
に構成されることもできる。
Ｔｉでありかつ強磁性相がｂｃｃのＦｅＴｉであるよう
に構成されることもできる。
〔作用〕
本発明は強磁性相が非磁性相の母体により磁気的に分離
されかつ該強制相の断面が針状又は柱状の形状を有する
という形状磁気異方性を利用することにより、良好な磁
気特性を持つ垂直磁気記録媒体を提供する。
されかつ該強制相の断面が針状又は柱状の形状を有する
という形状磁気異方性を利用することにより、良好な磁
気特性を持つ垂直磁気記録媒体を提供する。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（１）および（２）はそれぞれ本発明の一実施例
の垂直磁気記録媒体の表面を示す平面図および断面図で
ある９本実施例において基板３としてガラスを用い、母
体である非磁性相１と母体中の強磁性相２から成る磁性
膜をＲＦマグネトロンスパッタ法により成膜したＦ ｅ
Ｔ ｉ合金にて実現した。非磁性相１は非晶質のＦ
ｅ Ｔ ｉからなり、強磁性相２はｂｃｃの結晶質のＦ
ｅＴｉからなる。
の垂直磁気記録媒体の表面を示す平面図および断面図で
ある９本実施例において基板３としてガラスを用い、母
体である非磁性相１と母体中の強磁性相２から成る磁性
膜をＲＦマグネトロンスパッタ法により成膜したＦ ｅ
Ｔ ｉ合金にて実現した。非磁性相１は非晶質のＦ
ｅ Ｔ ｉからなり、強磁性相２はｂｃｃの結晶質のＦ
ｅＴｉからなる。
作製条件は次の通りである。ターゲットは４インチファ
イの純Ｆｅターゲットとその上に８ｍ＋ａ角のＴｉチッ
プを６個を組み合わせた複合ターゲットである。そして
致達真空度７Ｘ１０−’）−ル以下の高真空状態にて投
入電力３００Ｗ、アルゴン圧力５×１０−３トールのス
パッタ条件でガラス基板上に膜厚的０．８μｍ成膜した
。尚、基板３は水冷した。このように作製した磁性膜に
ついて透過型電子顕微鏡により膜の微細構造を観察した
ところ、第１図（１）および（２）に示す表面および断
面の形状であることを確認した。
イの純Ｆｅターゲットとその上に８ｍ＋ａ角のＴｉチッ
プを６個を組み合わせた複合ターゲットである。そして
致達真空度７Ｘ１０−’）−ル以下の高真空状態にて投
入電力３００Ｗ、アルゴン圧力５×１０−３トールのス
パッタ条件でガラス基板上に膜厚的０．８μｍ成膜した
。尚、基板３は水冷した。このように作製した磁性膜に
ついて透過型電子顕微鏡により膜の微細構造を観察した
ところ、第１図（１）および（２）に示す表面および断
面の形状であることを確認した。
本実施例の磁気特性を試料振動型磁力計によ？評価した
。第２図はその結果で磁化曲線を示す。
。第２図はその結果で磁化曲線を示す。
これから、飽和磁化Ｍ ｓ ２６０ ｅ ｍ ｕ ／
ｃ ｃ 。
ｃ ｃ 。
垂直異方性磁界Ｈｋ２．７ｋＯｅ、垂直保磁力Ｈｃｈ
Ｏ，１７ｋ Ｏｅ 、面内保磁力ＨＣ／／ 、 ０
．１６ｋＯｅという良好な磁気特性が得られた。なお、
この時、Ｘ線マイクロアナライザーによるとＴｉの組成
は１７ａｔ％であった。
Ｏ，１７ｋ Ｏｅ 、面内保磁力ＨＣ／／ 、 ０
．１６ｋＯｅという良好な磁気特性が得られた。なお、
この時、Ｘ線マイクロアナライザーによるとＴｉの組成
は１７ａｔ％であった。
また、更にＲＦマグネトロンスパッタ法におけるアルゴ
ン圧力を高くしたところ、断面図を第１図（３）に示す
ように強磁性相２が柱状となり、これも良好な磁気特性
が得られた。さらに、次に基板３として有機フィルムを
用い、垂直磁気記録媒体を作製した。そして、記録再生
評価したところ、この場合も垂直媒体として良好な特性
が得られた。
ン圧力を高くしたところ、断面図を第１図（３）に示す
ように強磁性相２が柱状となり、これも良好な磁気特性
が得られた。さらに、次に基板３として有機フィルムを
用い、垂直磁気記録媒体を作製した。そして、記録再生
評価したところ、この場合も垂直媒体として良好な特性
が得られた。
なお、上記の実施例において磁性膜としてＦｅＴｉ合金
を用いたが他の合金（例えばＦｅと他の元素、Ｎｉと他
の元素、Ｃｏと他の元素など）でもよい、また、作製法
も、上記の実施例においてＲＦマグネトロンスパッタ法
を用いたが、ＲＦスハッタ法、ＤＣスパッタ法、ＭＢＥ
法、ＣＶＤ法。
を用いたが他の合金（例えばＦｅと他の元素、Ｎｉと他
の元素、Ｃｏと他の元素など）でもよい、また、作製法
も、上記の実施例においてＲＦマグネトロンスパッタ法
を用いたが、ＲＦスハッタ法、ＤＣスパッタ法、ＭＢＥ
法、ＣＶＤ法。
蒸着法など従来周知のいずれの薄膜形成技術も使用可能
である。
である。
本発明は、非磁性相と強磁性相から成る磁性膜で強磁性
相が非磁性相の母体中に分散され、かつ強磁性相の断面
が針状または柱状の形状を有する垂直磁気記録媒体を作
製することにより、以下に示す効果がある。
相が非磁性相の母体中に分散され、かつ強磁性相の断面
が針状または柱状の形状を有する垂直磁気記録媒体を作
製することにより、以下に示す効果がある。
（１）ｈｃｐ構造であるＣｏ以外の常温で強磁性を示す
Ｆｅ、Ｎｉを主成分とした磁性膜においても垂直磁気記
録媒体の作製が可能となった。
Ｆｅ、Ｎｉを主成分とした磁性膜においても垂直磁気記
録媒体の作製が可能となった。
（２）豊富な資源であるＦｅを主成分とする垂直磁気記
録媒体の作製が可能となったので垂直磁気記録媒体の価
格が安くなった。
録媒体の作製が可能となったので垂直磁気記録媒体の価
格が安くなった。
第１図（１）および（２）はそれぞれ本発明の一実施例
の垂直磁気記録媒体の平面図および断面図、第１図（３
）は本発明の他の実施例の断面図、第２図は第１図（１
）、（２）に示す実施例の磁気特性を示した図である。 ＣＩ） 。 牛 ｔ’。
の垂直磁気記録媒体の平面図および断面図、第１図（３
）は本発明の他の実施例の断面図、第２図は第１図（１
）、（２）に示す実施例の磁気特性を示した図である。 ＣＩ） 。 牛 ｔ’。
Claims (3)
- （１）基板と、この基板上に被覆された非磁性相と、こ
の非磁性相中に分散され前記基板の表面に垂直な方向に
長い針状又は柱状の形状の強磁性相とを含むことを特徴
とする垂直磁気記録媒体。 - （２）非磁性相が非晶質でありかつ強磁性相が結晶質で
ある特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒体。 - （３）非磁性相が非晶質のＦｅＴｉでありかつ強磁性相
がｂｃｃのＦｅＴｉである特許請求の範囲第２項記載の
垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62052340A JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62052340A JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63220411A true JPS63220411A (ja) | 1988-09-13 |
| JPH0775063B2 JPH0775063B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=12912066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62052340A Expired - Lifetime JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775063B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003078685A1 (fr) * | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Dispositif fonctionnel et procede de fabrication du dispositif, support d'enregistrement magnetique vertical, dispositif d'enregistrement et de lecture magnetique, et dispositif de traitement d'information |
| US7070855B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous material and production process thereof |
| US7074480B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-07-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous body and method of manufacturing the same |
| CN100382146C (zh) * | 2005-01-25 | 2008-04-16 | 日立环球储存科技荷兰有限公司 | 制造磁阻磁头的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59154631A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS6064413A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP62052340A patent/JPH0775063B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59154631A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS6064413A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003078685A1 (fr) * | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Dispositif fonctionnel et procede de fabrication du dispositif, support d'enregistrement magnetique vertical, dispositif d'enregistrement et de lecture magnetique, et dispositif de traitement d'information |
| US7070855B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous material and production process thereof |
| US7074480B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-07-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous body and method of manufacturing the same |
| US7081303B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Function device and method for manufacturing the same, perpendicular magnetic recording medium, magnetic recording/reproduction apparatus and information processing apparatus |
| US7393458B2 (en) | 2002-03-15 | 2008-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous material and production process thereof |
| US7879734B2 (en) | 2002-03-15 | 2011-02-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing porous body |
| CN100382146C (zh) * | 2005-01-25 | 2008-04-16 | 日立环球储存科技荷兰有限公司 | 制造磁阻磁头的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0775063B2 (ja) | 1995-08-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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