JPH0775063B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0775063B2 JPH0775063B2 JP62052340A JP5234087A JPH0775063B2 JP H0775063 B2 JPH0775063 B2 JP H0775063B2 JP 62052340 A JP62052340 A JP 62052340A JP 5234087 A JP5234087 A JP 5234087A JP H0775063 B2 JPH0775063 B2 JP H0775063B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- phase
- magnetic recording
- magnetic
- perpendicular magnetic
- Prior art date
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気テープ，磁気ディスク等の磁気記録媒体
に関し、特に垂直磁気記録媒体に関するものである。
に関し、特に垂直磁気記録媒体に関するものである。
磁気記録において、従来用いられている長手記録方式を
越える高密度記録として、垂直磁気記録方式が提案さ
れ、精力的に研究開発が進められている。
越える高密度記録として、垂直磁気記録方式が提案さ
れ、精力的に研究開発が進められている。
この垂直磁気記録を実現するには、磁気記録媒体とし
て、磁性膜面に対して垂直方向の磁化容易軸を有する磁
性膜を設けた媒体が必要である。現在、そのような磁気
特性を持つ磁性膜としては、主成分のCo（hcp構造）の
ｃ軸を膜面に垂直に配向させ、それを容易軸とするとい
う結晶磁気異方性を利用したCoCr,CoTi,CoV,CoMo,CoW,C
oMn,CoRu等が知られている（日本応用磁気学会誌,Vol.
8,No.1,1984,17P）。
て、磁性膜面に対して垂直方向の磁化容易軸を有する磁
性膜を設けた媒体が必要である。現在、そのような磁気
特性を持つ磁性膜としては、主成分のCo（hcp構造）の
ｃ軸を膜面に垂直に配向させ、それを容易軸とするとい
う結晶磁気異方性を利用したCoCr,CoTi,CoV,CoMo,CoW,C
oMn,CoRu等が知られている（日本応用磁気学会誌,Vol.
8,No.1,1984,17P）。
上述の従来の垂直磁気記録媒体は希少な資源であるCoが
必要である。Co以外に常温で強磁性を示す元素は一般に
Fe,Niが知られている。しかしながらFeはbcc構造であ
り、Niはfcc構造であるのでCoのようにhcpのｃ軸方向と
いう一軸異方性は存在しない。このため、従来は、Fe又
はNiを主成分とした垂直磁気記録媒体が容易に作製され
るということはなかった。
必要である。Co以外に常温で強磁性を示す元素は一般に
Fe,Niが知られている。しかしながらFeはbcc構造であ
り、Niはfcc構造であるのでCoのようにhcpのｃ軸方向と
いう一軸異方性は存在しない。このため、従来は、Fe又
はNiを主成分とした垂直磁気記録媒体が容易に作製され
るということはなかった。
本発明の垂直磁気記録媒体は、基板と、この基板上に被
覆された非磁性相（常磁性相又は後記強磁性相より磁化
が低いものを含む）と、この非磁性相中に分散され前記
基板の表面に垂直な方向に長い針状又は柱状の形状の強
磁性相とを含んで構成される。
覆された非磁性相（常磁性相又は後記強磁性相より磁化
が低いものを含む）と、この非磁性相中に分散され前記
基板の表面に垂直な方向に長い針状又は柱状の形状の強
磁性相とを含んで構成される。
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性相が非晶質であり
かつ強磁性相が結晶質であるように構成されることもで
きる。
かつ強磁性相が結晶質であるように構成されることもで
きる。
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性相が非晶質のFeTi
でありかつ強磁性相がbccのFeTiであるように構成され
ることもできる。
でありかつ強磁性相がbccのFeTiであるように構成され
ることもできる。
本発明は強磁性相が非磁性相の母体により磁気的に分離
されかつ該強制相の断面が針状又は注状の形状を有する
という形状磁気異方性を利用することにより、良好な磁
気特性を持つ垂直磁気記録媒体を提供する。
されかつ該強制相の断面が針状又は注状の形状を有する
という形状磁気異方性を利用することにより、良好な磁
気特性を持つ垂直磁気記録媒体を提供する。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（１）および（２）はそれぞれ本発明の一実施例
の垂直磁気記録媒体の表面を示す平面図および断面図で
ある。本実施例において基板３としてガラスを用い、母
体である非磁性相１と母体中の強磁性相２から成る磁性
膜をRFマグネトロンスパッタ法により成膜したFeTi合金
にて実現した。非磁性相１は非晶質のFeTiからなり、強
磁性相２はbccの結晶質のFeTiからなる。
の垂直磁気記録媒体の表面を示す平面図および断面図で
ある。本実施例において基板３としてガラスを用い、母
体である非磁性相１と母体中の強磁性相２から成る磁性
膜をRFマグネトロンスパッタ法により成膜したFeTi合金
にて実現した。非磁性相１は非晶質のFeTiからなり、強
磁性相２はbccの結晶質のFeTiからなる。
作製条件は次の通りである。ターゲットは４インチファ
イの純Feターゲットとその上に8mm角のTiチップを６個
を組み合わせた複合ターゲットである。そして到達真空
度７×10-7トール以下の高真空状態にて投入電力300W,
アルゴン圧力５×10-3トールのスパッタ条件でガラス基
板上に膜厚約0.8μｍ成膜した。尚、基板３は水冷し
た。このように作製した磁性膜について透過型電子顕微
鏡により膜の微細構造を観察したところ、第１図（１）
および（２）に示す表面および断面の形状であることを
確認した。
イの純Feターゲットとその上に8mm角のTiチップを６個
を組み合わせた複合ターゲットである。そして到達真空
度７×10-7トール以下の高真空状態にて投入電力300W,
アルゴン圧力５×10-3トールのスパッタ条件でガラス基
板上に膜厚約0.8μｍ成膜した。尚、基板３は水冷し
た。このように作製した磁性膜について透過型電子顕微
鏡により膜の微細構造を観察したところ、第１図（１）
および（２）に示す表面および断面の形状であることを
確認した。
本実施例の磁気特性を試料振動型磁力計により評価し
た。第２図はその結果で磁化曲線を示す。これから、飽
和磁化Ms260emu/cc,垂直異方性磁界Hk2.7kOe,垂直保磁
力Hc⊥0.17kOe,面内保磁力Hc ,0.16kOeという良好な
磁気特性が得られた。なお、この時、Ｘ線マイクロアナ
ライザーによるとTiの組成は17at％であった。
た。第２図はその結果で磁化曲線を示す。これから、飽
和磁化Ms260emu/cc,垂直異方性磁界Hk2.7kOe,垂直保磁
力Hc⊥0.17kOe,面内保磁力Hc ,0.16kOeという良好な
磁気特性が得られた。なお、この時、Ｘ線マイクロアナ
ライザーによるとTiの組成は17at％であった。
また、更にRFマグネトロンスパッタ法におけるアルゴン
圧力を高くしたところ、断面図を第１図（３）に示すよ
うに強磁性相２が柱状となり、これも良好な磁気特性が
得られた。さらに、次に基板３として有機フィルムを用
い、垂直磁気記録媒体を作製した。そして、記録再生評
価したところ、この場合も垂直媒体として良好な特性が
得られた。
圧力を高くしたところ、断面図を第１図（３）に示すよ
うに強磁性相２が柱状となり、これも良好な磁気特性が
得られた。さらに、次に基板３として有機フィルムを用
い、垂直磁気記録媒体を作製した。そして、記録再生評
価したところ、この場合も垂直媒体として良好な特性が
得られた。
なお、上記の実施例において磁性膜としてFeTi合金を用
いたが他の合金（たとえばFeと他の元素,Niと他の元素,
Coと他の元素など）でもよい。また、作製法も、上記の
実施例においてRFマグネトロンスパッタ法を用いたが、
RFスパッタ法,DCスパッタ法,MBE法,CVD法，蒸着法など
従来周知のいずれの薄膜形成技術も使用可能である。
いたが他の合金（たとえばFeと他の元素,Niと他の元素,
Coと他の元素など）でもよい。また、作製法も、上記の
実施例においてRFマグネトロンスパッタ法を用いたが、
RFスパッタ法,DCスパッタ法,MBE法,CVD法，蒸着法など
従来周知のいずれの薄膜形成技術も使用可能である。
本発明は、非磁気相と強磁性相から成る磁性膜で強磁性
相が非磁性相の母体中に分散され、かつ強磁性相の断面
が針状または柱状の形状を有する垂直磁気記録媒体を作
製することにより、以下に示す効果がある。
相が非磁性相の母体中に分散され、かつ強磁性相の断面
が針状または柱状の形状を有する垂直磁気記録媒体を作
製することにより、以下に示す効果がある。
（１）hcp構造であるCo以外の常温で強磁性を示すFe,Ni
を主成分とした磁性膜においても、垂直磁気記録媒体の
作製が可能となった。
を主成分とした磁性膜においても、垂直磁気記録媒体の
作製が可能となった。
（２）豊富な資源であるFeを主成分とする垂直磁気記録
媒体の作製が可能となったので垂直磁気記録媒体の価格
が安くなった。
媒体の作製が可能となったので垂直磁気記録媒体の価格
が安くなった。
第１図（１）および（２）はそれぞれ本発明の一実施例
の垂直磁気記録媒体の平面図および断面図、第１図
（３）は本発明の他の実施例の断面図、第２図は第１図
（１），（２）に示す実施例の磁気特性を示した図であ
る。 １……非磁性相、２……強磁性相、３……基板。
の垂直磁気記録媒体の平面図および断面図、第１図
（３）は本発明の他の実施例の断面図、第２図は第１図
（１），（２）に示す実施例の磁気特性を示した図であ
る。 １……非磁性相、２……強磁性相、３……基板。
Claims (3)
- 【請求項１】基板と、この基板上に被覆された非磁性相
と、この非磁性相中に分散され前記基板の表面に垂直な
方向に長い針状又は柱状の形状の強磁性相とを含むこと
を特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】非磁性相が非晶質でありかつ強磁性相が結
晶質である特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気記録媒
体。 - 【請求項３】非磁性相が非晶質のFeTiでありかつ強磁性
相がbccのFeTiである特許請求の範囲第２項記載の垂直
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62052340A JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62052340A JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63220411A JPS63220411A (ja) | 1988-09-13 |
| JPH0775063B2 true JPH0775063B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=12912066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62052340A Expired - Lifetime JPH0775063B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775063B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003078685A1 (fr) | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Dispositif fonctionnel et procede de fabrication du dispositif, support d'enregistrement magnetique vertical, dispositif d'enregistrement et de lecture magnetique, et dispositif de traitement d'information |
| WO2003078687A1 (fr) | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Materiau poreux et son procede de production |
| AU2003221365A1 (en) | 2002-03-15 | 2003-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Porous material and process for producing the same |
| JP2006209816A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59154631A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS6064413A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP62052340A patent/JPH0775063B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63220411A (ja) | 1988-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |