JP2775877B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は記録層の層厚方向の磁化によって情報記録が
なされる垂直磁気記録媒体に関し、特にCo−Pt−Ｂ−Ｏ
系磁性層を使用した垂直磁気記録媒体に関する。
なされる垂直磁気記録媒体に関し、特にCo−Pt−Ｂ−Ｏ
系磁性層を使用した垂直磁気記録媒体に関する。
本発明は、非磁性支持体上にCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層
を形成し、しかも該Co−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層を構成する
結晶の形状，大きさ，配向状態および配列状態を最適に
制御することにより、保磁力の大幅な向上を図るもので
ある。
を形成し、しかも該Co−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層を構成する
結晶の形状，大きさ，配向状態および配列状態を最適に
制御することにより、保磁力の大幅な向上を図るもので
ある。
近年の情報記録の分野においては、高記録密度化，高
記録容量化への要求に応えるべく、垂直磁気記録に関す
る研究が各所で進められている。垂直磁気記録は、記録
波長が磁性層の層厚と同等以下の短波長となっても異極
が近接することにより減磁が抑制されて静磁気学的な安
定化が達成されること、急峻な磁化転移領域が形成され
るために再生ヘッドの誘導起電力を大きくできること等
の長所を有しており、本質的に高密度記録に適した方式
と言える。
記録容量化への要求に応えるべく、垂直磁気記録に関す
る研究が各所で進められている。垂直磁気記録は、記録
波長が磁性層の層厚と同等以下の短波長となっても異極
が近接することにより減磁が抑制されて静磁気学的な安
定化が達成されること、急峻な磁化転移領域が形成され
るために再生ヘッドの誘導起電力を大きくできること等
の長所を有しており、本質的に高密度記録に適した方式
と言える。
この垂直磁気記録を実現するための磁性層としては、
これまでにCo−Cr合金,Co−Mo合金,Co−Ｖ合金,Co−Ru
合金等からなるものが知られている。これらの中でも、
高周波スパッタリングにより成膜されたCo−Cr合金磁性
層は、最も垂直磁気特性に優れる材料として知られてい
る。
これまでにCo−Cr合金,Co−Mo合金,Co−Ｖ合金,Co−Ru
合金等からなるものが知られている。これらの中でも、
高周波スパッタリングにより成膜されたCo−Cr合金磁性
層は、最も垂直磁気特性に優れる材料として知られてい
る。
しかし、Co−Cr合金磁性層には、そのままでは磁気ヘ
ッドとの摺接に際して耐久性が不足するので保護潤滑層
を要すること、しかもスペーシングロスを小さくするた
めに上記保護潤滑層の膜厚を極めて薄く形成する必要が
あるが、これが困難であること、飽和磁束密度が比較的
低いこと、成膜時の基板温度を高くしないと高保磁力が
得られないこと等の問題点がある。
ッドとの摺接に際して耐久性が不足するので保護潤滑層
を要すること、しかもスペーシングロスを小さくするた
めに上記保護潤滑層の膜厚を極めて薄く形成する必要が
あるが、これが困難であること、飽和磁束密度が比較的
低いこと、成膜時の基板温度を高くしないと高保磁力が
得られないこと等の問題点がある。
そこで本発明は、主として保磁力の改善された垂直磁
気記録媒体の提供を目的とする。
気記録媒体の提供を目的とする。
本発明者らは上述の目的を達成するために鋭意検討を
行った結果、Co,Pt,B,Oの４元系からなる磁性層が極め
て良好な垂直磁気特性を有することを見出した。さら
に、この磁性層の磁気特性は、磁性層を構成する結晶の
形状，大きさ，配向状態，配列状態等の微細構造に関連
していることが明らかとなり、これらを最適に制御する
ことにより常に安定した特性を有する垂直磁気記録媒体
が提供されることも見出した。
行った結果、Co,Pt,B,Oの４元系からなる磁性層が極め
て良好な垂直磁気特性を有することを見出した。さら
に、この磁性層の磁気特性は、磁性層を構成する結晶の
形状，大きさ，配向状態，配列状態等の微細構造に関連
していることが明らかとなり、これらを最適に制御する
ことにより常に安定した特性を有する垂直磁気記録媒体
が提供されることも見出した。
本発明にかかる垂直磁気記録媒体はかかる知見にもと
づいて提案されるものであり、非磁性支持体状上にCo−
Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層が形成されてなり、上記Co−Pt−Ｂ
−Ｏ系磁性層が面心立方構造を有する直径50〜100Åの
針状晶から構成され、各針状晶が＜111＞方向を非磁性
支持体面に垂直に向けて配向されると共に、隣接する針
状晶間に８〜12Åの間隙を介して配列されていることを
特徴とするものである。
づいて提案されるものであり、非磁性支持体状上にCo−
Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層が形成されてなり、上記Co−Pt−Ｂ
−Ｏ系磁性層が面心立方構造を有する直径50〜100Åの
針状晶から構成され、各針状晶が＜111＞方向を非磁性
支持体面に垂直に向けて配向されると共に、隣接する針
状晶間に８〜12Åの間隙を介して配列されていることを
特徴とするものである。
本発明の垂直磁気記録媒体を構成するCo−Pt−Ｂ−Ｏ
系磁性層は、典型的には次の組成式 （CoaPtbBc）100-xOx 〔ただし、式中a,b,cは組成を原子％で表し、40≦ａ≦8
0,15≦ｂ≦50,5≦ｃ≦10,a＋ｂ＋ｃ＝100なる条件を満
たす。また、ｘは組成を重量％で表し、０＜ｘ≦15なる
条件を満たす。〕 で表される垂直磁性材料からなるものである。上記組成
範囲は、垂直磁性特性を最適化する観点から設定された
ものであり、いずれかひとつの条件が満足されなくても
好適な垂直磁気特性は得られない。
系磁性層は、典型的には次の組成式 （CoaPtbBc）100-xOx 〔ただし、式中a,b,cは組成を原子％で表し、40≦ａ≦8
0,15≦ｂ≦50,5≦ｃ≦10,a＋ｂ＋ｃ＝100なる条件を満
たす。また、ｘは組成を重量％で表し、０＜ｘ≦15なる
条件を満たす。〕 で表される垂直磁性材料からなるものである。上記組成
範囲は、垂直磁性特性を最適化する観点から設定された
ものであり、いずれかひとつの条件が満足されなくても
好適な垂直磁気特性は得られない。
本発明者らは、良好な垂直磁気特性を示すCo−Pt−Ｂ
−Ｏ系磁性層の微細構造を透過型電子顕微鏡観察および
制限視野電子線回折により調べた結果、磁性層が連続的
な多結晶構造を呈する場合には良好な垂直磁気特性が現
れず、面心立方構造を有する個々の針状晶が一定の隙間
を介してその長軸方向、すなわち＜111＞方向を膜面に
垂直に向けて配向している場合に良好な垂直磁気特性が
現れることを見出した。
−Ｏ系磁性層の微細構造を透過型電子顕微鏡観察および
制限視野電子線回折により調べた結果、磁性層が連続的
な多結晶構造を呈する場合には良好な垂直磁気特性が現
れず、面心立方構造を有する個々の針状晶が一定の隙間
を介してその長軸方向、すなわち＜111＞方向を膜面に
垂直に向けて配向している場合に良好な垂直磁気特性が
現れることを見出した。
ここで、上記＜111＞方向の配向の強さは、制限視野
電子線回折において（111）面回折弧の広がり角度θの
値により判定した。値が小さいほど、配向は強いと言え
る。
電子線回折において（111）面回折弧の広がり角度θの
値により判定した。値が小さいほど、配向は強いと言え
る。
ところで上記の配向の強さは、Co−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性
層の形成に先立って予め非磁性支持体上に下地膜を形成
しておくことによっても制御することができる。配向性
を高める観点からは、下地膜として格子定数がCo−Pt系
合金に近く、面心立方構造をとる材料が選ばれ、たとえ
ばPtは実用上好ましい例である。格子定数が近くてもCo
等のように六方晶構造をとりやすいものは不適当であ
る。
層の形成に先立って予め非磁性支持体上に下地膜を形成
しておくことによっても制御することができる。配向性
を高める観点からは、下地膜として格子定数がCo−Pt系
合金に近く、面心立方構造をとる材料が選ばれ、たとえ
ばPtは実用上好ましい例である。格子定数が近くてもCo
等のように六方晶構造をとりやすいものは不適当であ
る。
上記Co−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層は、一般にスパッタリン
グにより形成することができる。スパッタリングに用い
るターゲットとしては、始めから所望の組成に調製され
たCo−Pt−Ｂターゲットか、ある金属成分の扇型チップ
を他の成分からなるターゲットの上に載置した複合ター
ゲットが使用される。本発明では、たとえばCo−Ｂター
ゲットの上にPtチップを載置した複合ターゲットが使用
される。いまひとつの磁性層の構成成分である酸素は、
スパッタリング雰囲気中に所定の分圧をもって気体状で
供給され、この時の分圧に応じて決まる分量にて磁性層
中に取り込まれる。
グにより形成することができる。スパッタリングに用い
るターゲットとしては、始めから所望の組成に調製され
たCo−Pt−Ｂターゲットか、ある金属成分の扇型チップ
を他の成分からなるターゲットの上に載置した複合ター
ゲットが使用される。本発明では、たとえばCo−Ｂター
ゲットの上にPtチップを載置した複合ターゲットが使用
される。いまひとつの磁性層の構成成分である酸素は、
スパッタリング雰囲気中に所定の分圧をもって気体状で
供給され、この時の分圧に応じて決まる分量にて磁性層
中に取り込まれる。
本発明では、非磁性支持体上に形成されたCo−Pt−Ｂ
−Ｏ系磁性層の内部において、Co−Pt−Ｂ−Ｏ系の針状
晶がその＜111＞方向を上記非磁性支持体の面に垂直に
向けて配向している。この＜111＞方向とは、面心立方
晶における磁化容易軸であると同時に、上記Co−Pt−Ｂ
−Ｏ系針状晶の長軸方向でもある。したがって、本発明
におけるCo−Pt−Ｂ−Ｏ系針状晶の配向は、結晶磁気異
方性，形状磁気異方性の両面から垂直磁気記録を行うに
あたり理想的な配向であると言える。
−Ｏ系磁性層の内部において、Co−Pt−Ｂ−Ｏ系の針状
晶がその＜111＞方向を上記非磁性支持体の面に垂直に
向けて配向している。この＜111＞方向とは、面心立方
晶における磁化容易軸であると同時に、上記Co−Pt−Ｂ
−Ｏ系針状晶の長軸方向でもある。したがって、本発明
におけるCo−Pt−Ｂ−Ｏ系針状晶の配向は、結晶磁気異
方性，形状磁気異方性の両面から垂直磁気記録を行うに
あたり理想的な配向であると言える。
さらに、上記各針状晶は直径が50〜100Åであり、個
々の針状晶は隣接する針状晶と互いに８〜12Åの間隙を
介して配列されている。このような結晶の形状および配
列状態は、大幅な保磁力の増大をもたらす。つまり、従
来のたとえばCo−Cr磁性層では柱状晶が密に配列されて
いたのに対し、本発明では微細な針状晶が個々に隙間を
保ちながら配列されていることから、単磁区が微小化さ
れると共に減磁が抑制されるからである。
々の針状晶は隣接する針状晶と互いに８〜12Åの間隙を
介して配列されている。このような結晶の形状および配
列状態は、大幅な保磁力の増大をもたらす。つまり、従
来のたとえばCo−Cr磁性層では柱状晶が密に配列されて
いたのに対し、本発明では微細な針状晶が個々に隙間を
保ちながら配列されていることから、単磁区が微小化さ
れると共に減磁が抑制されるからである。
以下、本発明の好適な実施例について実験結果にもと
づいて説明する。
づいて説明する。
実施例 本実施例は、非磁性支持体となるポリアミド基板上に
Pt下地膜とCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層を順次形成した垂直
磁気記録媒体の例である。
Pt下地膜とCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層を順次形成した垂直
磁気記録媒体の例である。
垂直磁気記録媒体は以下のようにして作成した。
まず、高周波マグネトロン・スパッタリング装置のバ
ックグラウンド真空度を4.0×10-6Torr,アルゴンガス圧
を５×10-3Torr,アルゴン流量を60ml/分とし、投入パワ
ー300Wにてポリアミド基板のエッチングを５分間行っ
た。これは、表面の粗化とクリーニングを目的として行
われるものである。
ックグラウンド真空度を4.0×10-6Torr,アルゴンガス圧
を５×10-3Torr,アルゴン流量を60ml/分とし、投入パワ
ー300Wにてポリアミド基板のエッチングを５分間行っ
た。これは、表面の粗化とクリーニングを目的として行
われるものである。
次に、基板温度を150℃としてPtを0.13μｍの厚さに
被着し、Pt下地膜を形成した。
被着し、Pt下地膜を形成した。
続いて、Co71Pt22B7の組成を有する３元系ターゲット
を使用し、基板温度を150℃，酸素分圧を89×10-6Torr
としてスパッタリングを行い、厚さ0.6μｍのCo−Pt−
Ｂ−Ｏ系磁性層を形成した。
を使用し、基板温度を150℃，酸素分圧を89×10-6Torr
としてスパッタリングを行い、厚さ0.6μｍのCo−Pt−
Ｂ−Ｏ系磁性層を形成した。
ここで、上記の磁性層中の酸素含有量は次の方法によ
り求めた。すなわち、予備実験によりスパッタリング雰
囲気中の酸素分圧（×10-6Torr）もしくは酸素流量（SC
CM）と形成されたCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層中の酸素含有
量（重量％）との間には第５図に示すような良い相関関
係が成立することが確認されたので、あとはこの図にも
とづいて酸素供給条件から磁性層中の含有量を算出し
た。
り求めた。すなわち、予備実験によりスパッタリング雰
囲気中の酸素分圧（×10-6Torr）もしくは酸素流量（SC
CM）と形成されたCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層中の酸素含有
量（重量％）との間には第５図に示すような良い相関関
係が成立することが確認されたので、あとはこの図にも
とづいて酸素供給条件から磁性層中の含有量を算出し
た。
さらに電子線ブローブ・マイクロアナリシス（EPMA）
および誘導結合プラズマ（ICP）発光分析による組成分
析を併用した結果、上記磁性層は、（Co71Pt22B7）97O3
なる組成を有することがわかった。
および誘導結合プラズマ（ICP）発光分析による組成分
析を併用した結果、上記磁性層は、（Co71Pt22B7）97O3
なる組成を有することがわかった。
比較例１ 比較のために、酸素を含まないCo−Pt−Ｂ系磁性層を
有する垂直磁気記録媒体を作成した。
有する垂直磁気記録媒体を作成した。
この垂直磁気記録媒体は、磁性層の形成に際してスパ
ッタリング雰囲気中に酸素を供給しなかった以外は、上
述の実施例１と同様にして作成した。形成された磁性層
の組成はCo71Pt22B7で表されることがわかった。
ッタリング雰囲気中に酸素を供給しなかった以外は、上
述の実施例１と同様にして作成した。形成された磁性層
の組成はCo71Pt22B7で表されることがわかった。
比較例２ 比較のために、ホウ素（Ｂ）を含まないCo−Pt−Ｏ系
磁性層を有する垂直磁気記録媒体を作成した。
磁性層を有する垂直磁気記録媒体を作成した。
この垂直磁気記録媒体は、磁性層の形成に際してCO68
Pt32の組成を有するターゲットを使用した他は、上述の
実施例１と同様にして作成した。形成された磁性層の組
成は（Co68Pt32）97O3で表されることがわかった。
Pt32の組成を有するターゲットを使用した他は、上述の
実施例１と同様にして作成した。形成された磁性層の組
成は（Co68Pt32）97O3で表されることがわかった。
比較例３ 比較のために、ホウ素（Ｂ）および酸素を含まないCo
−Pt系磁性層を有する垂直磁気記録媒体を作成した。
−Pt系磁性層を有する垂直磁気記録媒体を作成した。
この垂直磁気記録媒体は、磁性層の形成に際してスパ
ッタリング雰囲気中に酸素を導入しなかった以外は、比
較例２と同様にして作成した。形成された磁性層の組成
はCo68Pt32であることがわかった。
ッタリング雰囲気中に酸素を導入しなかった以外は、比
較例２と同様にして作成した。形成された磁性層の組成
はCo68Pt32であることがわかった。
以上の実施例および比較例において得られた各垂直磁
気記録媒体の垂直方向保磁力ＨＣ⊥，面内方向保磁力Ｈ
Ｃ，面内異方性磁界ＨＫおよび飽和磁束密度BSを試
料振動型磁力計により測定した。結果を第１表に示す。
気記録媒体の垂直方向保磁力ＨＣ⊥，面内方向保磁力Ｈ
Ｃ，面内異方性磁界ＨＫおよび飽和磁束密度BSを試
料振動型磁力計により測定した。結果を第１表に示す。
この表をみると、実施例の垂直方向保磁力ＨＣ⊥は他
のいかなる比較例よりも際立って大きいことが明らかで
あり、ホウ素，酸素のいずれか一方が欠けても良好な垂
直磁気特性は達成されないことがわかる。特に、実施例
と比較例１との間には垂直方向磁力ＨＣ⊥に50倍以上も
の差があり、磁性層中の酸素の存在が極めて重要である
ことを示唆している。
のいかなる比較例よりも際立って大きいことが明らかで
あり、ホウ素，酸素のいずれか一方が欠けても良好な垂
直磁気特性は達成されないことがわかる。特に、実施例
と比較例１との間には垂直方向磁力ＨＣ⊥に50倍以上も
の差があり、磁性層中の酸素の存在が極めて重要である
ことを示唆している。
垂直磁気特性を判断する尺度としては、面内異方性磁
界ＨＫ役立つ。この値が大きいことは、それだけ面内
磁化に強い磁界を要することを意味し、垂直磁化の方が
有利であることを間接的に示す。面内異方性磁界ＨＫ
をみる限りでは比較例３も実施例と同様、良好な垂直磁
気特性を示すように思われるが、実際の垂直方向保磁力
ＨＣ⊥はわずかに190Oeと低い。
界ＨＫ役立つ。この値が大きいことは、それだけ面内
磁化に強い磁界を要することを意味し、垂直磁化の方が
有利であることを間接的に示す。面内異方性磁界ＨＫ
をみる限りでは比較例３も実施例と同様、良好な垂直磁
気特性を示すように思われるが、実際の垂直方向保磁力
ＨＣ⊥はわずかに190Oeと低い。
このように、面内異方性磁界ＨＫが高いにもかかわ
らず垂直方向保磁力ＨＣ⊥が低くなる場合が生ずる原因
を解明するため、本発明者らは形成された各磁性層の微
細構造を検討した。
らず垂直方向保磁力ＨＣ⊥が低くなる場合が生ずる原因
を解明するため、本発明者らは形成された各磁性層の微
細構造を検討した。
まず、磁性層の膜面方向からの観察を行うために、上
述の実施例および各比較例にて得られた垂直磁気記録媒
体のポリアミド基板を有機溶剤を用いて溶解除去し、ア
ルゴンイオンによるイオンミリングにより局部的に薄膜
化させた試料片を作成した。
述の実施例および各比較例にて得られた垂直磁気記録媒
体のポリアミド基板を有機溶剤を用いて溶解除去し、ア
ルゴンイオンによるイオンミリングにより局部的に薄膜
化させた試料片を作成した。
また、磁性層の断面方向からの観察を行うために、超
ミクロトーム法により上述の実施例および各比較例にて
得られた垂直磁気記録媒体の薄膜切片を作成した。
ミクロトーム法により上述の実施例および各比較例にて
得られた垂直磁気記録媒体の薄膜切片を作成した。
これらの試料片および薄膜切片を透過型電子顕微鏡に
より観察した際の写真を第１図ないし第４図に示す。第
１図は実施例、第２図は比較例１、第３図は比較例２、
第４図は比較例３にそれぞれ対応しており、（Ａ）の図
は試料片を用いた膜面方向からの観察結果、（Ｂ）の図
は薄膜切片を用いた断面方向からの観察結果をそれぞれ
表す。倍率はいずれも52,500倍である。
より観察した際の写真を第１図ないし第４図に示す。第
１図は実施例、第２図は比較例１、第３図は比較例２、
第４図は比較例３にそれぞれ対応しており、（Ａ）の図
は試料片を用いた膜面方向からの観察結果、（Ｂ）の図
は薄膜切片を用いた断面方向からの観察結果をそれぞれ
表す。倍率はいずれも52,500倍である。
さらに、＜111＞方向の配向の強さを調べるために、
制限視野電子線回折を行い、（111）面回折弧の広がり
角度θを測定した。
制限視野電子線回折を行い、（111）面回折弧の広がり
角度θを測定した。
これらの結果を第２表にまとめる。
実施例の磁性層では、直径50〜100Åの針状晶が＜111
＞方向をポリアミド基板に垂直に向けて配向しており、
個々の針状晶の間には約10Åの間隙が存在している。
（111）面回折弧の広がり角度θをみる限りでは、比較
例１も高い配向性を示しているが、結晶粒径が小さすぎ
る上に連続的な多結晶構造を有しているので、垂直方向
よりも面内方向の磁気特性の方が卓越している。比較例
２は磁性層の微細構造が比較例と同様である上に、＜11
1＞方向の垂直配向も弱く、垂直磁気記録における実用
性能には劣る。比較例３は高い配向性を有しているが、
直径の比較的大きな柱状晶が間隙を介することなく密に
配列しているので、単磁区の微小化に限度があり、保磁
力は低い。
＞方向をポリアミド基板に垂直に向けて配向しており、
個々の針状晶の間には約10Åの間隙が存在している。
（111）面回折弧の広がり角度θをみる限りでは、比較
例１も高い配向性を示しているが、結晶粒径が小さすぎ
る上に連続的な多結晶構造を有しているので、垂直方向
よりも面内方向の磁気特性の方が卓越している。比較例
２は磁性層の微細構造が比較例と同様である上に、＜11
1＞方向の垂直配向も弱く、垂直磁気記録における実用
性能には劣る。比較例３は高い配向性を有しているが、
直径の比較的大きな柱状晶が間隙を介することなく密に
配列しているので、単磁区の微小化に限度があり、保磁
力は低い。
以上のことから、上述の実施例のように磁性層の組成
や微細構造のすべてが最適化された場合にはじめて、実
用性能に優れる垂直磁気記録媒体が実現されることがわ
かる。
や微細構造のすべてが最適化された場合にはじめて、実
用性能に優れる垂直磁気記録媒体が実現されることがわ
かる。
以上の説明からも明らかなように、本発明の垂直磁気
記録媒体は磁性層の組成，結晶の形状，大きさ，配向状
態，配列状態が最適に制御されているため、垂直方向保
磁力の大幅な増大が可能となる。したがって、高密度記
録に極めて好適な垂直磁気記録媒体が提供される。
記録媒体は磁性層の組成，結晶の形状，大きさ，配向状
態，配列状態が最適に制御されているため、垂直方向保
磁力の大幅な増大が可能となる。したがって、高密度記
録に極めて好適な垂直磁気記録媒体が提供される。
第１図（Ａ）および第１図（Ｂ）は本発明の好適な一実
施例におけるCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層の金属組織を示す
透過型電子顕微鏡写真であり、第１図（Ａ）は膜面方
向、第１図（Ｂ）は断面方向から観察した状態をそれぞ
れ表す。第２図（Ａ）および第２図（Ｂ）は一比較例に
おけるCo−Pt−Ｂ系磁性層の金属組織を示す透過型電子
顕微鏡写真であり、第２図（Ａ）は膜面方向、第２図
（Ｂ）は断面方向から観察した状態をそれぞれ表す。第
３図（Ａ）および第３図（Ｂ）は他の比較例におけるCo
−Pt−Ｏ系磁性層の金属組織を示す透過型電子顕微鏡写
真であり、第３図（Ａ）は膜面方向、第３図（Ｂ）は断
面方向から観察した状態をそれぞれ表す。第４図（Ａ）
および第４図（Ｂ）はさらに他の比較例におけるCo−Pt
系磁性層の金属組織を示す透過型電子顕微鏡写真であ
り、第４図（Ａ）は膜面方向、第４図（Ｂ）は断面方向
から観察した状態をそれぞれ表す。第５図はスパッタリ
ング雰囲気中の酸素分圧または酸素流量と磁性層中の酸
素含有量との関係を示す特性図である。
施例におけるCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層の金属組織を示す
透過型電子顕微鏡写真であり、第１図（Ａ）は膜面方
向、第１図（Ｂ）は断面方向から観察した状態をそれぞ
れ表す。第２図（Ａ）および第２図（Ｂ）は一比較例に
おけるCo−Pt−Ｂ系磁性層の金属組織を示す透過型電子
顕微鏡写真であり、第２図（Ａ）は膜面方向、第２図
（Ｂ）は断面方向から観察した状態をそれぞれ表す。第
３図（Ａ）および第３図（Ｂ）は他の比較例におけるCo
−Pt−Ｏ系磁性層の金属組織を示す透過型電子顕微鏡写
真であり、第３図（Ａ）は膜面方向、第３図（Ｂ）は断
面方向から観察した状態をそれぞれ表す。第４図（Ａ）
および第４図（Ｂ）はさらに他の比較例におけるCo−Pt
系磁性層の金属組織を示す透過型電子顕微鏡写真であ
り、第４図（Ａ）は膜面方向、第４図（Ｂ）は断面方向
から観察した状態をそれぞれ表す。第５図はスパッタリ
ング雰囲気中の酸素分圧または酸素流量と磁性層中の酸
素含有量との関係を示す特性図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/66 H01F 10/16
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性支持体上にCo−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層
が形成されてなり、 上記Co−Pt−Ｂ−Ｏ系磁性層が面心立方構造を有する直
径50〜100Åの針状晶から構成され、各針状晶が＜111＞
方向を非磁性支持体面に垂直に向けて配向されると共
に、隣接する針状晶間に８〜12Åの間隙を介して配列さ
れていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19347589A JP2775877B2 (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19347589A JP2775877B2 (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0358316A JPH0358316A (ja) | 1991-03-13 |
| JP2775877B2 true JP2775877B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=16308638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19347589A Expired - Fee Related JP2775877B2 (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775877B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3104328B2 (ja) * | 1991-10-22 | 2000-10-30 | ソニー株式会社 | 垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置 |
| JPH08147665A (ja) | 1994-11-11 | 1996-06-07 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 |
| US7494726B2 (en) | 2004-07-07 | 2009-02-24 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium, method of manufacturing same, and magnetic recording device |
| CN107727476A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-02-23 | 西安诺博尔稀贵金属材料有限公司 | 一种等原子比的PtCo合金金相组织的观测方法 |
-
1989
- 1989-07-26 JP JP19347589A patent/JP2775877B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0358316A (ja) | 1991-03-13 |
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