JPS6218624A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS6218624A JPS6218624A JP15695185A JP15695185A JPS6218624A JP S6218624 A JPS6218624 A JP S6218624A JP 15695185 A JP15695185 A JP 15695185A JP 15695185 A JP15695185 A JP 15695185A JP S6218624 A JPS6218624 A JP S6218624A
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- JP
- Japan
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- layer
- recording medium
- magnetic recording
- magnetic
- carbon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は磁気記録媒体に関するものであり、とくに１表
面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層を有する磁気デ
ィスクに関するものである。
面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層を有する磁気デ
ィスクに関するものである。
現在実用化されている磁気記録媒体の主流は。
磁気記録層に不連続磁性媒体を有するものである。
この不連続磁性層はＦｅ、 Ｆｅ−Ｃｏ、 Ｆｅ、Ｏ，
、Ｃｒｙ、等の磁性体粒子を有機樹脂からなるバインダ
ーに混合分散させ、基板上に塗布後、乾燥・焼成したも
のである。
、Ｃｒｙ、等の磁性体粒子を有機樹脂からなるバインダ
ーに混合分散させ、基板上に塗布後、乾燥・焼成したも
のである。
しかし、近年、記録媒体の高密度化が進むに伴って、磁
性体が媒体中で連続している連続薄膜媒体、即ち、保磁
力の大きくなるような磁性層の薄膜化が進んでおり、従
来の塗布型から、メッキ型あるいはスパッタリング型へ
と成膜方式が変化しつつある。
性体が媒体中で連続している連続薄膜媒体、即ち、保磁
力の大きくなるような磁性層の薄膜化が進んでおり、従
来の塗布型から、メッキ型あるいはスパッタリング型へ
と成膜方式が変化しつつある。
そのような状況の下で磁気記録媒体に対しなされる要求
は、磁性層は薄く、しかも十分な再生出力が得られるこ
とである。そのような媒体として最も注目されているの
がＮｉを２０〜３０ａｔ％含有するＧｏ−Ｎｉ系合金、
あるいはＣｒを１８〜２０ａｔ％含有するＣｏ−Ｃｒ
系合金を磁性層とするものである。
は、磁性層は薄く、しかも十分な再生出力が得られるこ
とである。そのような媒体として最も注目されているの
がＮｉを２０〜３０ａｔ％含有するＧｏ−Ｎｉ系合金、
あるいはＣｒを１８〜２０ａｔ％含有するＣｏ−Ｃｒ
系合金を磁性層とするものである。
この種の磁気記録媒体は通常、非磁性の基板上に平滑層
を形成した上に下地層を形成し、その上に磁性層を形成
して、途中さらに金属中間層を介して、あるいは直接、
最表面に保護、潤滑層を設けた構造を有している。
を形成した上に下地層を形成し、その上に磁性層を形成
して、途中さらに金属中間層を介して、あるいは直接、
最表面に保護、潤滑層を設けた構造を有している。
最表面に形成される保護・潤滑層は磁気ヘッドとの衝突
・摩耗から磁気ディスクの情報を守る約割を果しており
、当然のことながら、極めて薄い膜で、しかも十分な潤
滑性、もしくは堅牢さを備えたものでなければならない
。この目的にかなった最良のものとして炭素を主成分と
する被膜が用いられている。
・摩耗から磁気ディスクの情報を守る約割を果しており
、当然のことながら、極めて薄い膜で、しかも十分な潤
滑性、もしくは堅牢さを備えたものでなければならない
。この目的にかなった最良のものとして炭素を主成分と
する被膜が用いられている。
しかしながら、炭素を主成分とする層を保護・潤滑層に
用いた場合にも、ＣＳＳ （コンタクト・スタート・ア
ンド・ストップ）試験による摩耗程度の大きい場合や、
高温高湿環境下での潤滑寿命の劣化が起こることがあっ
た。このため、安定な保護・潤滑層の開発が望まれてい
た。
用いた場合にも、ＣＳＳ （コンタクト・スタート・ア
ンド・ストップ）試験による摩耗程度の大きい場合や、
高温高湿環境下での潤滑寿命の劣化が起こることがあっ
た。このため、安定な保護・潤滑層の開発が望まれてい
た。
本発明は、以上の問題点に鑑みなされたもので、保護・
潤滑層に炭素を主成分とする被膜を採用しながら、下地
との密着性を上げる改良を施したもので、高性能の磁気
媒体を提供することを目的とするものである。
潤滑層に炭素を主成分とする被膜を採用しながら、下地
との密着性を上げる改良を施したもので、高性能の磁気
媒体を提供することを目的とするものである。
本発明は、薄膜堆積法によって磁性層、並びに保護・潤
滑層が形成される磁気記録媒体において、保護・潤滑層
に炭素を主成分とする被膜を採用するのは従来通りであ
るが、その下地に炭化（カーバイド）層を介在せしめ密
着性を向上させたものである。
滑層が形成される磁気記録媒体において、保護・潤滑層
に炭素を主成分とする被膜を採用するのは従来通りであ
るが、その下地に炭化（カーバイド）層を介在せしめ密
着性を向上させたものである。
以下、本発明に到るところの従来技術の欠陥の観察によ
り得られた知見について述べる。
り得られた知見について述べる。
Ｃ８Ｓ耐久試験並びに高温高湿環境試験での特性低下サ
ンプルについてＢ察を行ったところ、炭素を主成分とす
る被膜の剥離が生じていることがわかった。また、テー
プによる引きはがし試験によれば、剥離は保護・潤滑被
膜とその直下にある下地膜との界面で起っており、剥離
片や剥離部分の詳細な観察によれば膜自身の弱さや形成
時のピンホール、異物に帰因するものでないことが判明
した。
ンプルについてＢ察を行ったところ、炭素を主成分とす
る被膜の剥離が生じていることがわかった。また、テー
プによる引きはがし試験によれば、剥離は保護・潤滑被
膜とその直下にある下地膜との界面で起っており、剥離
片や剥離部分の詳細な観察によれば膜自身の弱さや形成
時のピンホール、異物に帰因するものでないことが判明
した。
そこで膜の密着性をいかにして上げるかの実験を行い、
最上部の保護・潤滑層と金属層の間にその金属の炭化物
（カーバイド）の層を挿入することが効果的であること
をつきとめた。特に、本発明に用いるようなＣｏｔ Ｃ
ｒ、 Ｎｉ等遷移金属上に、炭素を主成分とする薄い膜
（１００〜５００人）をつける場合には、遷移金属の炭
化（カーバイド）層の存在が密着性に著しい効果をもた
らし、ｃｓｓ試験での明確な差となってあられれること
がねがった。
最上部の保護・潤滑層と金属層の間にその金属の炭化物
（カーバイド）の層を挿入することが効果的であること
をつきとめた。特に、本発明に用いるようなＣｏｔ Ｃ
ｒ、 Ｎｉ等遷移金属上に、炭素を主成分とする薄い膜
（１００〜５００人）をつける場合には、遷移金属の炭
化（カーバイド）層の存在が密着性に著しい効果をもた
らし、ｃｓｓ試験での明確な差となってあられれること
がねがった。
例えばｆ：、ｏＮｉよりなる合金磁性層上にＣｏＣを２
００人形成し、 その上にカーボンを３００人形成した
磁気記録媒体はＣ８Ｓ耐性３万回以上となり、ＣｏＣ層
のない場合の１万回以下に比べて大幅な特性向上を示し
た。 またＣｏＮｉ上に耐食性の為にＣｒを３００人形
成し、その上にＣｒＣを２００人形成した後カーボンを
３００人形成したものも３万回以上の良好なＣ８Ｓ特性
を示した。
００人形成し、 その上にカーボンを３００人形成した
磁気記録媒体はＣ８Ｓ耐性３万回以上となり、ＣｏＣ層
のない場合の１万回以下に比べて大幅な特性向上を示し
た。 またＣｏＮｉ上に耐食性の為にＣｒを３００人形
成し、その上にＣｒＣを２００人形成した後カーボンを
３００人形成したものも３万回以上の良好なＣ８Ｓ特性
を示した。
カーバイド層の形成は蒸着やスパッタリング法等、他の
磁性層や保護・潤滑層を形成するのと同一の薄膜堆積法
により容易にできる。
磁性層や保護・潤滑層を形成するのと同一の薄膜堆積法
により容易にできる。
また、別の方法として、金属上にカーボン被膜を形成し
、熱拡散によりカーバイド層を形成することもできる。
、熱拡散によりカーバイド層を形成することもできる。
炭素を主成分とする保護・潤滑層の下にカーバイドの層
が形成されていることは、表面分析手段例えばイオンエ
ツチングとオージェ電子分光法を組み合わせた深さ方向
の分析で各元素が同一層から検出されること、更にはカ
ーボンのオージェピークのカーバイド化することによる
変形から良くわかる。
が形成されていることは、表面分析手段例えばイオンエ
ツチングとオージェ電子分光法を組み合わせた深さ方向
の分析で各元素が同一層から検出されること、更にはカ
ーボンのオージェピークのカーバイド化することによる
変形から良くわかる。
〔発明の実施例１〕
次に本発明の実施例を図を参照して詳細に説明する。第
１図は本発明の磁気記録媒体の部分断面図である。
１図は本発明の磁気記録媒体の部分断面図である。
第１図において非磁性基体ωとして表面にＮ１−Ｐのメ
ッキを施し、表面研磨した３、５インチ径のアルミニウ
ム合金板を用いた。この非磁性基体■上に高周波マグネ
トロンスパッタ装置により所定の６膜を形成した。成膜
条件としては、初期到達真空度５ Ｘ １Ｏ−７Ｔ’ｇ
ｒで導入Ａｒガス圧を４ Ｘ １０−’Ｔ’８ｒとし、
スパッタリングパワー２ｋｌｉ１で、室温下において行
った。まず、磁性層の結晶性を良くする為の下地層■と
してＣｒを３０００人形成し、その上に記録層となる強
磁性金属層０として２０〜３０ｗｔ％のＮｉを含むＣｏ
−Ｎｉ合金を７００人形成した。更にその上に金属中間
層（４）としてＣｒを２００人形成、 その上に炭化（
カーバイド）層（ハ）としてＣｒＣを２００人形成し、
最表面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層・としてグ
ラファイト状のカーボン層を２００人形成した。
ッキを施し、表面研磨した３、５インチ径のアルミニウ
ム合金板を用いた。この非磁性基体■上に高周波マグネ
トロンスパッタ装置により所定の６膜を形成した。成膜
条件としては、初期到達真空度５ Ｘ １Ｏ−７Ｔ’ｇ
ｒで導入Ａｒガス圧を４ Ｘ １０−’Ｔ’８ｒとし、
スパッタリングパワー２ｋｌｉ１で、室温下において行
った。まず、磁性層の結晶性を良くする為の下地層■と
してＣｒを３０００人形成し、その上に記録層となる強
磁性金属層０として２０〜３０ｗｔ％のＮｉを含むＣｏ
−Ｎｉ合金を７００人形成した。更にその上に金属中間
層（４）としてＣｒを２００人形成、 その上に炭化（
カーバイド）層（ハ）としてＣｒＣを２００人形成し、
最表面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層・としてグ
ラファイト状のカーボン層を２００人形成した。
こうして作成した磁気記録媒体の磁気特性を測定したと
ころ、面内保磁カフ００エルステツドを得、飽和磁化量
その他の磁気特性に関しても優れた結果を得た。
ころ、面内保磁カフ００エルステツドを得、飽和磁化量
その他の磁気特性に関しても優れた結果を得た。
更に電磁変換特性および、ヘッドとの摩耗試験、および
環境試験を行った結果、次の特性を得た。
環境試験を行った結果、次の特性を得た。
電磁変換特性については、２０Ｋｂｐｉ〜４０にｂｐｉ
の高密度記録が可能であった。ヘッドとの摩耗試験では
通常行なわれている２万回のｃｓｓ試験を行い、ディス
ク表面に傷のつかないことを確認した。これらにより保
護・潤滑層が下地との密着性に優れている結果と判断で
きる。さらに耐環境性については、 温度８０℃、相対
湿度８０％で７００時間放置したが、外観上の変化は全
黙認められず、欠陥箇所の増加も全く無かった。即ち十
分な耐環境性が確認された。
の高密度記録が可能であった。ヘッドとの摩耗試験では
通常行なわれている２万回のｃｓｓ試験を行い、ディス
ク表面に傷のつかないことを確認した。これらにより保
護・潤滑層が下地との密着性に優れている結果と判断で
きる。さらに耐環境性については、 温度８０℃、相対
湿度８０％で７００時間放置したが、外観上の変化は全
黙認められず、欠陥箇所の増加も全く無かった。即ち十
分な耐環境性が確認された。
〔発明の実施例２〕
本発明の別の実施例を示す。第２図は本発明の磁気記録
媒体の部分断面図である。
媒体の部分断面図である。
第２図において非磁性基体（２１）として１表面に陽極
酸化膜を施し、表面研磨した３、５インチ径のアルミニ
ウム合金板を用いた。この非磁性基体（２１）上に直流
マグネトロンスパッタ装置により６膜を形成した。まず
磁性層の結晶性を良くする為の下地層（２２）としてＴ
１を１０００人形成し、その上に記録層となる強磁性金
属層（２３）として１８〜２０ｔｉｔ％のＣｒを含むＣ
ｏ−Ｃｒ合金を５ｏｏｏ人形成した。更にその上に炭化
（カーバイド）層（２４）としてＣｒＣを２００人形成
し、最表面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層（２５
）としてダイヤモンド状のカーボン膜を２００人形成し
た。
酸化膜を施し、表面研磨した３、５インチ径のアルミニ
ウム合金板を用いた。この非磁性基体（２１）上に直流
マグネトロンスパッタ装置により６膜を形成した。まず
磁性層の結晶性を良くする為の下地層（２２）としてＴ
１を１０００人形成し、その上に記録層となる強磁性金
属層（２３）として１８〜２０ｔｉｔ％のＣｒを含むＣ
ｏ−Ｃｒ合金を５ｏｏｏ人形成した。更にその上に炭化
（カーバイド）層（２４）としてＣｒＣを２００人形成
し、最表面に炭素を成分元素とする保護・潤滑層（２５
）としてダイヤモンド状のカーボン膜を２００人形成し
た。
こうして作成した磁気記録媒体の磁気特性、電磁変換特
性等を評価したところ、垂直保磁力６００エルステツド
を得、また前記第１の実施例同様、優れた特性が確認さ
れた。
性等を評価したところ、垂直保磁力６００エルステツド
を得、また前記第１の実施例同様、優れた特性が確認さ
れた。
〔発明の実施例３〕
本発明の、さらに別の実施例を示す。第３図は本発明の
磁気記録媒体の部分断面図である。
磁気記録媒体の部分断面図である。
第３図において非磁性基体（３１）として、表面性の良
いガラス板を用いた。この非磁性基体（３１）上に高周
波マグネトロンスパッタ装置により６膜を形成した。ま
ず強磁性金属層（３２）としてＳｍを１８〜２０ｗｔ％
含むＧｏ−３ｍを７００人形成、 その上にＣｏＣより
成る炭化（カーバイド）層（３３）を１００人形成、
さらにその上に炭素を成分元素とする保護・潤滑層（３
４）としてグラファイト状カーボン膜を３００人形成し
た。
いガラス板を用いた。この非磁性基体（３１）上に高周
波マグネトロンスパッタ装置により６膜を形成した。ま
ず強磁性金属層（３２）としてＳｍを１８〜２０ｗｔ％
含むＧｏ−３ｍを７００人形成、 その上にＣｏＣより
成る炭化（カーバイド）層（３３）を１００人形成、
さらにその上に炭素を成分元素とする保護・潤滑層（３
４）としてグラファイト状カーボン膜を３００人形成し
た。
このようにして作成した磁気記録媒体は面内保磁７５０
エルステツドが得られ、 また摩耗試験および環境試験
においても前述の実施例と同様優れた特性が確認された
。上記二つの実施例に比べて本実施例では下地層を必要
としない。下地層を必要としない強磁性金属層の材料と
しては、ｐｔ、ｙ。
エルステツドが得られ、 また摩耗試験および環境試験
においても前述の実施例と同様優れた特性が確認された
。上記二つの実施例に比べて本実施例では下地層を必要
としない。下地層を必要としない強磁性金属層の材料と
しては、ｐｔ、ｙ。
Ｌａ、 Ｃｅ、 Ｐｒ、 Ｓｍ、 Ｎｄ、 Ｐｍの少く
とも一〇の元素とＣＯとの合金が使用でき、 第３の実
施例のＣｏ−３ｍをこれに置きかえても同様の特性が得
られることがてＰｔ、 Ｙ 、 Ｌａ、 Ｃｅ、 Ｐｒ
、 Ｓｍ、 Ｎｄ、 Ｐａの少くとも一つの元素とＣｏ
との合金膜を形成する。この実施例ではＣｏ−Ｐｔを用
いた。続いて基板温度を２００〜４００℃に昇温した状
態でカーボンをスパッタすると、ＣｏＣよりなる炭化（
カーバイド）層が形成される。
とも一〇の元素とＣＯとの合金が使用でき、 第３の実
施例のＣｏ−３ｍをこれに置きかえても同様の特性が得
られることがてＰｔ、 Ｙ 、 Ｌａ、 Ｃｅ、 Ｐｒ
、 Ｓｍ、 Ｎｄ、 Ｐａの少くとも一つの元素とＣｏ
との合金膜を形成する。この実施例ではＣｏ−Ｐｔを用
いた。続いて基板温度を２００〜４００℃に昇温した状
態でカーボンをスパッタすると、ＣｏＣよりなる炭化（
カーバイド）層が形成される。
１００人程度のＣｏＣ層を形成後、温度を下げてカーボ
ンのスパッタを行い、３００人のグラファイト層を形成
した。
ンのスパッタを行い、３００人のグラファイト層を形成
した。
以上により得られた磁気記録媒体は前記第３の実施例と
同様の構造を有し１面内保磁カフ００エルステッドが得
られ、また摩耗試験、環境試験においても優れた特性が
得られた。
同様の構造を有し１面内保磁カフ００エルステッドが得
られ、また摩耗試験、環境試験においても優れた特性が
得られた。
以上のように本発明によれば、保護・潤滑層である炭素
を主成分とする被膜の下に炭化（カーバイド）層を介在
させることにより、密着性の優れた耐久性の良い、高性
能の磁気記録媒体を提供することができる。
を主成分とする被膜の下に炭化（カーバイド）層を介在
させることにより、密着性の優れた耐久性の良い、高性
能の磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は、それぞれ本発明の実施例の磁気記
録媒体の部分断面図である。 ■、 （２１） 、 （３１，）・・・非磁性基体、■
、 （２２）・・・下地層、 （３） 、 （２３） 、 （３２）・・・強磁性金属
層（ハ）、 （２４） 、 （３３）・・炭化（カーバ
イド）層、（ｅ 、 （２５） 、 （３４）・・・炭
素を成分元素とする層、（４）・・・金属中間層。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 大胡典夫
録媒体の部分断面図である。 ■、 （２１） 、 （３１，）・・・非磁性基体、■
、 （２２）・・・下地層、 （３） 、 （２３） 、 （３２）・・・強磁性金属
層（ハ）、 （２４） 、 （３３）・・炭化（カーバ
イド）層、（ｅ 、 （２５） 、 （３４）・・・炭
素を成分元素とする層、（４）・・・金属中間層。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 大胡典夫
Claims (5)
- （１）非磁性基体上に金属層と、炭素を成分元素とする
保護・潤滑層とを備えた磁気記録媒体において、前記金
属層と前記保護・潤滑層との間に、前記金属層の成分元
素の炭化（カーバイト）層を有することを特徴とする磁
気記録媒体。 - （２）前記金属層は強磁性金属層であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。 - （３）前記磁気記録媒体は強磁性金属層を有し、前記金
属層は前記強磁性金属層の上に形成された中間金属層で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
記録媒体。 - （４）前記非磁性基体がガラスよりなり、また前記強磁
性金属層がＰｔ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｓｍ、Ｎｄ、
Ｐｍの少なくとも一つの元素とＣｏとの合金層よりなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の磁気記録
媒体。 - （５）前記金属層は成分元素としてクロムを含み・前記
炭化層がクロムカーバイトであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15695185A JPS6218624A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15695185A JPS6218624A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6218624A true JPS6218624A (ja) | 1987-01-27 |
| JPH0513333B2 JPH0513333B2 (ja) | 1993-02-22 |
Family
ID=15638896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15695185A Granted JPS6218624A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6218624A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4820584A (en) * | 1986-06-12 | 1989-04-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US4840843A (en) * | 1986-10-17 | 1989-06-20 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61229229A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-13 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP15695185A patent/JPS6218624A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61229229A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-13 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4820584A (en) * | 1986-06-12 | 1989-04-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US4840843A (en) * | 1986-10-17 | 1989-06-20 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513333B2 (ja) | 1993-02-22 |
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