CN103958425B - 强化玻璃的加工方法及强化玻璃用加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能确保加工自由度、同时可简单且准确地加工的强化玻璃的加工方法。其中，以加工工具的振幅及振动数接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具的励振，同时将该目标振幅及目标振动数设定为不属于品质恶化发生值的范围。而且作为上述反馈控制的采样周期，采用0.3msec以下的采样周期。

Description

强化玻璃的加工方法及强化玻璃用加工装置
技术领域
本发明涉及强化玻璃的加工方法及强化玻璃用加工装置。
背景技术
在便携式终端、路牌（tablet）、触摸面板、PDA（PersonalDigitalAssistant）等显示装置中，一般采用经过化学强化的强化玻璃。此种强化玻璃形成为在玻璃母材的表面侧设有表面强化层（化学强化层）的构成，以此谋求强化玻璃的薄板化，同时相对于弯曲应力、冲击显示出高强度。
可是，作为这样的强化玻璃的加工方法，对于表面强化层的厚度为一定厚度以上，表面压缩应力为规定值以上的强化玻璃（例如，表面强化层40μm以上、表面压缩应力600MPa以上的强化玻璃），其加工是不容易的，所以正如专利文献1所示的那样，提出了作为要加工的强化玻璃，准备将表面强化层规定为30μm以下、同时使表面压缩应力在600MPa以下的强化玻璃，采用现有的切割方法（激光加工等）对其进行切割，或者正如专利文献2所示的那样，提出了在强化玻璃（表面强化层40μm以上、表面压缩应力600MPa以上）上，为了将其切割预定部位的加工强度减弱，以预先将表面强化层的一部分除去的状态在该表面强化层形成切割预定槽，然后利用激光等切割该切割预定槽。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-83378号公报
专利文献2：日本特开2012-31018号公报
发明内容
发明所要解决的课题
可是，在专利文献1中，只重视强化玻璃的加工性，采用该专利文献1的方法，不能满足近来所要求的进一步的薄板化和进一步的强度化。
此外，在专利文献2中，必须在表面强化层形成切割预定槽，不仅工序数增加，而且该切割预定槽只能形成为直线状，成为对加工强化玻璃的限制。
在这样的状况下，作为加工方法，本发明人着眼于一边使迄今为止认为难以加工上述强化玻璃的加工工具励振一边使其旋转的加工方法，在该加工方法中，首次发现了能够准确加工强化玻璃本身的条件，由此完成了本发明。
本发明是鉴于这样的情况而完成的，其第1目的在于提供一种即便是通过表面强化层而提高了强度的强化玻璃，也能够在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，在确保加工自由度的同时简单且准确地进行加工的强化玻璃的加工方法。
第2目的在于提供一种采用上述强化玻璃的加工方法的强化玻璃用加工装置。
用于解决课题的手段
为达到上述第1目的，在本发明（第1实施方式的发明）中，提供一种强化玻璃的加工方法，其在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，用该加工工具对具有表面强化层的强化玻璃进行加工，其构成如下：
以该加工工具的振幅及振动数（即频率）分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制所述加工工具对所述强化玻璃的励振，同时将该目标振幅及目标振动数分别设定为不属于伴随该强化玻璃的加工而在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围；
而且构成为：作为所述反馈控制的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期。作为该实施方式1的优选的方式，如实施方式2～4所述。
为达到上述第2目的，在本发明（实施方式5的发明）中，提供一种强化玻璃用加工装置，其在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，用该加工工具对具有表面强化层的强化玻璃进行加工，其构成具备：
励振机构，其使所述加工工具朝所述强化玻璃励振；
励振调整机构，用于调整所述励振机构；
控制机构，其通过控制所述励振调整机构而以该加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制所述加工工具对所述强化玻璃的励振，同时将该目标振幅及目标振动数设定为不属于伴随所述强化玻璃的加工而在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围，而且在每个0.3msec以下的规定采样周期执行所述反馈控制。作为该实施方式5的优选的方式，如实施方式6所述。
发明的效果
根据本发明（实施方式1的发明），由于进行使加工工具一边励振一边旋转这种状态的超声波振动加工，所以即便是具有强度高的表面强化层的强化玻璃（具体地说，表面强化层40μm以上、表面压缩应力600MPa以上的强化玻璃），也能够不受加工进路（route）等的限制而自由地进行加工。
其另一方面，由于以该加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具的励振，同时将该目标振幅及目标振动数设定为不属于伴随强化玻璃的加工而在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围，所以在加工工具的励振时，基本上能够使加工工具的振幅及振动数不属于品质恶化发生值的范围。而且由于作为上述反馈控制的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期，所以能够在非常快的时机谋求重新研究，即使加工工具的振幅或振动数为品质恶化发生值的范围内的值，也能够在该非常快的时机将加工工具的振幅及振动数分别恢复到目标振幅及目标振动数（品质恶化发生值的范围外）。因此，即使伴随着强化玻璃的加工，产生该强化玻璃内部的拉伸应力的释放等加工中的微细的状态变化，也能够对此进行应对（追踪），从而加工中能够准确地抑制强化玻璃的裂纹、规定以上的碎屑等的发生。其结果是，能够简单且可靠地进行强化玻璃的加工。
因此，即便是具有表面强化层而提高了强度的强化玻璃，也能够一边确保加工自由度一边简单且可靠地进行加工。
这里，作为所述反馈控制的采样周期，之所以采用0.3msec以下的规定采样周期，是因为基于本发明人所得到的见解，如果超过0.3msec，则不能追踪强化玻璃内部的应力变化，强化玻璃的加工精度下降（强化玻璃产生裂纹、以及规定以上的碎屑）的可能性增高。
根据实施方式2的发明，由于将目标振幅规定为3μm～9μm的范围的规定振幅，同时将目标振动数规定为60kHz～64kHz的范围的规定振动数，所以基于本发明人发现的见解，作为加工工具的具体的振幅及振动数，能够提供从强化玻璃的加工精度的角度考虑优选的振幅及振动数。
在此种情况下，之所以将目标振幅规定为3μm～9μm，是因为在低于3μm时，因加工能力并不充分（切削屑等残留，切削阻力等增大）而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面在超过9μm时，因不能追踪与加工相伴的强化玻璃内部的应力变化而使强化玻璃产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。此外，之所以将目标振动数规定为60kHz～64kHz，是因为与目标振幅的情况同样，在低于60kHz时，因加工能力并不充分而在强化玻璃上产生裂纹等，另一方面在超过64kHz时，不能追踪与加工相伴的强化玻璃内部的应力变化，强化玻璃产生裂纹等的可能性增大。
根据实施方式3的发明，由于将加工工具的转速规定为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速，所以基于本发明人的见解，在所述励振条件下，从对具有强度高的表面强化层的强化玻璃进行加工的角度考虑，能够使加工工具的转速成为优选的转速。
在此种情况下，之所以将加工工具的转速规定为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速，是因为在低于2000rpm时，对强化玻璃的加工效果并不充分，另一方面如果超过30000rpm，则产生相对于加工面的滑移现象（加工阻力下降），使加工效果降低，同时在耐久性方面出现问题。
根据实施方式4的发明，由于具有表面强化层的强化玻璃包含通过层叠多片该强化玻璃而构成的层叠玻璃组，因而通过切割层叠玻璃组而能够一举得到多片层叠玻璃，从而能够提高生产效率。
根据实施方式5的发明，由于在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，用该加工工具对具有表面强化层的强化玻璃进行加工的强化玻璃用加工装置中，具备：励振机构，其使加工工具朝强化玻璃励振；励振调整机构，用于调整励振机构；以及控制机构，其通过控制励振调整机构而以加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具对强化玻璃的励振，同时将该目标振幅及目标振动数设定为不属于伴随该强化玻璃的加工而在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围，进而在每个0.3msec以下的规定采样周期执行反馈控制；因而通过进行使加工工具一边励振一边旋转这种状态的超声波振动加工，即便是具有表面强化层的强化玻璃（具体地说，表面强化层40μm以上、表面压缩应力600MPa以上的强化玻璃），也能够不受加工进路等的限制而自由地进行加工。此外，即使伴随着强化玻璃的加工而进行强化玻璃内部的拉伸应力的释放等，也能够基于上述励振控制，准确地抑制在强化玻璃上产生裂纹等。因此，能够提供采用上述实施方式1的强化玻璃的加工方法的强化玻璃用加工装置。
根据实施方式6的发明，由于控制机构将目标振幅设定在3μm～9μm的范围的规定振幅，同时将目标振动数设定在60kHz～64kHz的范围的规定振动数，因而能够提供采用上述实施方式2的强化玻璃的加工方法的强化玻璃用加工装置。
根据实施方式7的发明，由于控制机构被设定为使加工工具的转速达到2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速，因而能够提供采用上述实施方式3的强化玻璃的加工方法的强化玻璃用加工装置。
附图说明
图1是用于说明具有表面强化层的强化玻璃的说明图。
图2是表示实施方式的超声波振动加工装置的整体构成图。
图3是用于说明实施方式的超声波振动加工装置中的控制关系的说明图。
图4是表示在加工工具的目标振幅固定为8μm、反馈的采样周期（响应速度）固定为0.2msec的条件下，使加工工具的目标振动数变化时的实验结果（加工实验1的实验结果）的图示。
图5是表示在加工工具的目标振动数固定为63kHz、反馈的采样周期（响应速度）固定为0.2msec的条件下，使加工工具的目标振幅变化时的实验结果（加工实验2的实验结果）的图示。
图6是表示在加工工具的目标振幅固定为8μm、加工工具的目标振动数固定为63kHz的条件下，使反馈控制的采样周期（响应速度）变化时的实验结果（加工实验3的实验结果）的图示。
图7是表示反馈的采样周期（响应速度）和加工成功率之间的关系的图示。
图8是用于说明作为加工对象的强化玻璃的层叠体的说明图。
图9是用于说明将强化玻璃的层叠体放置在固定台上的状态的说明图。
图10是用于说明对强化玻璃层叠体进行切割加工的说明图。
图11是用于说明对层叠块进行长孔、方孔加工的说明图。
图12是用于说明对层叠块的外周面等进行磨削加工的说明图。
图13是表示便携式终端用保护玻璃的图示。
图14是表示图13的A部的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图15是表示图13的B部的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图16是表示图13的C部的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图17是表示图13的D部的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图18是表示图13的E部的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图19是表示与比较例的便携式终端用保护玻璃中的图13的A部相当的部分的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图20是表示与比较例的便携式终端用保护玻璃中的图13的B部相当的部分的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图21是表示与比较例的便携式终端用保护玻璃中的图13的C部相当的部分的放大照片图（放大倍数：270倍）。
图22是表示与比较例的便携式终端用保护玻璃中的图13的D部相当的部分的放大照片图（放大倍数：90倍）。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
1.首先，在对强化玻璃的加工方法进行说明之前，对成为该加工方法的加工对象的强化玻璃、作为使用该加工方法的强化玻璃用加工装置的超声波振动加工装置进行说明。
（1）强化玻璃
强化玻璃1如图1所示，其构成为在玻璃母材（例如铝硅酸盐玻璃）2的正面侧（背面侧）设有表面强化层（化学强化层）3。通过该表面强化层3而使强化玻璃1可谋求薄板化，同时相对于弯曲应力、冲击可确保高强度。具体地说，作为强化玻璃1，将母材2的厚度δ1为0.7mm左右、表面强化层3的厚度δ2为40μm以上（目前正在开发70μm的，当然可作为加工对象）、表面压缩应力为600MPa～700MPa的强化玻璃作为对象。当然，不仅强化玻璃1，通常的玻璃也能成为超声波振动加工装置的加工对象。
（2）超声波振动加工装置
（i）超声波振动加工装置4如图2所示，具备加工装置主体5。
加工装置主体5如图2所示，具有较长尺寸的有底筒状的外罩6、保持在该外罩6内的励振装置（励振机构）7、安装在该励振装置7上的加工工具8、以及作为旋转驱动该励振装置7的旋转驱动源的电动机9。
（a）所述外罩6以使其轴心延伸方向朝上下方向且使其开口朝下侧的状态，安装在升降装置（图2中只图示了一部分（安装外罩6的安装部））10上。升降装置10具有在使外罩6朝上下方向升降运动的同时，还能够调整此时的升降速度的功能（参照箭头），通过该升降装置10的功能，外罩6在加工时以规定的设定速度（进给速度）下降。
（b）所述励振装置7具有圆柱状的躯干部11、保持于该躯干部11并产生超声波振动的圆柱状的超声波振动发生单元12。躯干部11以使其轴心朝上下方向的状态通过轴承13保持在所述外罩6的内周面，通过该轴承13，躯干部11被设定为能够以其轴心为中心相对旋转，且不能向轴心延伸方向（上下方向）位移。在该躯干部11的上端部形成有用于安装电动机9的驱动轴9a的圆筒状的安装筒部14，在该躯干部11的下端面形成有保持孔（图示略）。超声波振动发生单元12被保持在躯干部11下端面的保持孔内。该超声波振动发生单元12正如已知的那样，以串联连结超声波振子、振动传递部、放大部的状态构成，它们从躯干部11的保持孔的内部朝开口侧，以超声波振子、振动传递部、放大部的顺序配置。其中，超声波振子具有压电体和将其螺栓紧固的金属块，在压电体之间及压电体与金属块之间配置有电极（未图示），通过对该电极间施加直流电压的脉冲电压，使压电体产生纵向振动。该超声波振子如果将施加的直流电压的脉冲电压的频率设定为超声波振子的共振频率，则通过共振现象产生强力的超声波振动。振动传递部具有将超声波振子的振动传递给放大部的功能，放大部具有将从振动传递部传递的振动放大的功能。
（c）所述加工工具8为了通过所述超声波振动发生单元12的振动产生振动，如图2所示，在超声波振动发生单元12的轴心上与其放大部连结。加工工具8通过与强化玻璃直接接触而对该强化玻璃进行加工，在本实施方式中，采用轴状的金刚石磨石，该轴状的加工工具8从超声波振动发生单元12朝下方延伸。该加工工具8不仅进行作为加工对象的强化玻璃的加工，而且还作为检测该强化玻璃的压力变动的传感器发挥作用。
（d）所述电动机9被安装在所述外罩6的底部6a外表面（上端面）上。在外罩6的底部6a形成有贯通外罩6内外的贯通孔15，电动机9的驱动轴9a贯通该贯通孔15而嵌合保持（固定）在所述躯干部11中的安装筒部14上。由此，电动机9的驱动力经由躯干部11、超声波振动发生单元12传递给加工工具8，加工工具8能够以其轴心为中心旋转。
（ii）超声波振动加工装置4如图2、图3所示，具备用于调整所述超声波振动发生单元12的振幅及振动数的超声波振荡器（励振调整机构）16。
超声波振荡器16调整输入电信号（具体地说为电压或电流），然后将该调整电信号输送给超声波振动发生单元12（超声波振子）。在本实施方式中，在电流恒定（例如1～2A的规定值）下调整来自电源的输入电压的振幅、振动数（频率），将该调整的电压信号（例如300～400V）输送给超声波振动发生单元12（超声波振子）。当然在此种情况下，也可以在电压恒定下，向超声波振子输送电流信号以代替电压信号。
（iii）超声波振动加工装置4如图2、图3所示，具备作为反馈控制所述超声波振荡器16（超声波振动发生单元12）及所述电动机9的控制机构的控制单元U。
（a）向控制单元U输入来自超声波振荡器16的电压信号（电压的振幅、频率信号）、电动机9的转速信号（电压信号），另一方面，从控制单元U分别向超声波振荡器16、电动机9输出控制信号。
（b）控制单元U具备：为反馈控制设定目标值的设定部（设定机构）、基于设定部的目标值和控制变量的偏差判断操作变量的判断部（判断机构）、为执行来自判断部的操作变量而输出控制信号的执行控制部（执行控制机构）。
设定部在本实施方式中，作为用于反馈控制的目标值，对超声波振动发生单元12（超声波振子）的输入电压设定目标振幅、目标频率，它们被设定为不属于伴随强化玻璃的加工在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值（产生裂纹、规定以上的碎屑等的值）的范围。这是为了考虑到伴随着强化玻璃加工的该强化玻璃内部的拉伸应力的释放等伴随着加工的强化玻璃内部的应力变化。此外，关于电动机9的输入电流，从规定为对加工有效果的旋转的角度来设定目标电流。
作为上述超声波振动发生单元12的输入电压的目标振幅，以最终加工工具8的振幅达到3μm～9μm的范围（不属于品质恶化发生值的范围）的规定振幅（优选为8μm）的方式进行设定，关于加工工具8的振幅低于3μm及超过9μm者，被设定为品质恶化发生值的范围。在此种情况下，之所以在加工工具8的最终的振幅中将目标振幅规定为3μm～9μm的范围，是因为基于本发明人得到的见解，在低于3μm时，因加工能力并不充分（因切削屑等残留而使切削阻力等增大）而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面，在超过9μm时，因不能追踪与加工相伴的强化玻璃内部的应力变化而使强化玻璃产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。
作为上述超声波振动发生单元12（超声波振子）的输入电压的目标频率，以最终加工工具8的振动数达到60kHz～64kHz的范围（不属于品质恶化发生值的范围）的规定振动数（优选为63kHz）的方式进行设定，关于加工工具8的振动数低于60kHz及超过64kHz者，被设定为品质恶化发生值的范围。在此种情况下，之所以在加工工具8的最终的振动数中将目标频率规定为60kHz～64kHz，是因为基于本发明人的见解，在低于60kHz时，因加工能力并不充分而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面，在超过64kHz时，因不能追踪与加工相伴的强化玻璃内部的应力变化而使强化玻璃产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。
作为上述电动机9的目标电流，以最终加工工具8的转速达到2000rpm～30000rpm的范围的规定转速（优选为5000rpm）的方式进行设定。在此种情况下，之所以将加工工具8的转速规定为2000rpm～30000rpm的范围，是因为在低于2000rpm时，对强化玻璃的加工效果并不充分，另一方面，如果超过30000rpm，则产生相对于加工面的滑移现象（加工阻力下降），使加工效果下降，而且在耐久性方面也产生问题。
再者，在图3中，符号18为用于向设定部输入设定值的设定值输入部。
在判断部中，对于加工工具8的振幅，从来自超声波振荡器16的电压（返回电压：returnvoltage）的振幅和设定部的目标振幅的偏差来判断操作变量，对于加工工具8的振动数，从来自超声波振荡器16的电压（返回电压）的频率和设定部的目标频率的偏差来判断操作变量。此外，对于加工工具8的转速，从来自电动机9的电流信号和设定部的目标电流的偏差来判断操作变量。
执行控制部将来自所述判断部的各操作变量作为控制信号向超声波振荡器16及电动机9输出。由此，通过调整来自超声波振荡器16的输出电压（振幅、频率），以达到规定的上下振幅且规定振动数的方式反馈控制加工工具8，关于电动机9，对其转速进行反馈控制，可将加工工具8维持在规定转速。
（iii）控制单元U被设定成以采样周期（响应速度）为0.3msec以下即0.3msec～0.2msec的范围内的规定采样周期（优选为0.2msec）的方式进行反馈控制。之所以设定为0.3msec～0.2msec的范围内的规定采样周期，是因为基于本发明人得到的见解，如果超过0.3msec，则不能追踪强化玻璃加工中的微细的应力变化，在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增高。此外，之所以作为下限设定0.2msec，是因为它是现时能够得到的最下限，在现实中不能以低于该值的采样周期进行反馈控制。今后，如果开发了低于0.2msec的值的采样周期，则是更为优选的。
因此，在控制单元U中，为了谋求反馈控制的采样周期的高速化，与以往相比，正在谋求模/数转换功能及CPU的运算处理能力的高速化。由此，具体地说，在将加工工具8的振动数（频率）规定为80kHz，将采样周期规定为0.2msec的情况下，能够直至与负荷变动相适应而在最佳环境产生振荡，将施加给强化玻璃的振动冲击抑制在16次。此外，在30mm/min的加工工具8的进给速度下，在按0.2msec的采样周期使振荡环境最佳化时，能够每加工前进0.1μm进行反馈控制，从而能够对加工中的微细的状态变化（应力变化）进行应对（追踪）。
与此相对照，在加工工具8的振动数（频率）为80kHz时，能够以0.0000125秒（0.0125ms）对强化玻璃施加一次振动冲击，但在其下将采样周期（振荡响应速度）规定为10msec时（以往的控制单元时），直至与负荷变动相适应而在最佳环境产生振荡，将向强化玻璃施加800次的振动冲击。此外，在30mm/min的加工工具8的进给速度下，在按10msec的采样周期使振荡环境最佳化的情况下，加工的前进为5μm。这样的5μm相对于几十μm的表面强化层为相对过大的值，在该每5μm的响应中，不能追踪强化玻璃的状态变化。其结果是，必须一边对强化玻璃施加应力一边进行加工，从而在强化玻璃上产生裂纹等。
（iv）控制的目标值等
上述控制的目标值等得到本发明人进行的下述加工实验1～3的支持。在此种情况下，在下述共同实验条件下对强化玻璃进行加工实验1～3，基于下述共同的评价基准对其进行评价。
（a）共同实验条件
作为加工对象的强化玻璃
母材材质：铝硅酸盐玻璃
母材厚度δ1：0.70mm
表面强化层的厚度δ2：40μm（0.04mm）
表面强化层的压缩残留应力：600MPa～700MPa
加工工具8
加工进给速度：60mm/分钟
转速：5000rpm
轴状的加工工具直径：1.5mm
加工工具8的粒度：#600号
（b）共同的评价基准
×：强化玻璃开裂
△：碎屑100～150μm（为能够加工但品质差的状态）
○：碎屑30μm以下（为加工、品质均良好的状态）
（c）加工实验1
（c-1）为了得到加工工具8相对于1块强化玻璃的良好的振动数，在加工工具8的目标振幅固定在8μm、反馈的采样周期（响应速度）固定在0.2msec的条件下，进行通过调整电压而使加工工具8的目标振动数（目标频率）变化的实验。
（c-2）加工实验1的结果，得到了图4所示的内容。根据该图4所示的内容，已经判明：加工工具8的目标振动数优选为60kHz～64kHz（特别优选为63kHz）（低于60kHz、超64kHz者在品质恶化发生值的范围）。
（d）加工实验2
（d-1）为得到加工工具8相对于1块强化玻璃的良好的目标振幅，在加工工具8的目标频率固定在63kHz、反馈的采样周期（响应速度）固定在0.2msec的条件下，进行通过调整电压而使加工工具8的目标振幅变化的实验。
（d-2）加工实验2的结果，得到了图5所示的内容。根据该图5所示的内容，已经判明：加工工具8的振幅优选为3μm～9μm（特别优选为8μm）（低于3μm、超过9μm者在品质恶化发生值的范围）。
（e）加工实验3
（e-1）对于加工中发生微细的状态变化的强化玻璃，其加工的反馈控制的采样周期是重要的，着眼于这一点，在加工工具8的目标振幅固定在8μm、加工工具8的目标频率固定在63kHz的条件下，进行使反馈控制的采样周期（响应速度）变化的实验。
（e-2）加工实验3的结果，得到了图6所示的内容。根据该图6所示的内容，已经判明：反馈控制的采样周期优选为0.3msec以下（特别优选为0.2msec）。再者，下限值（0.2msec）为目前开发的极限值。
（e-3）图7示出了反馈控制的采样周期（响应速度）和加工成功率之间的关系。根据该图7，示出了响应速度越小，加工成功率越高，特别是在0.5ms以下时，加工成功率以急剧上升的态势得以提高。再者，加工成功的评价与上述的评价（○）相同，在图6中，对于加工成功率87%以上者，评价为“○”。
2.接着，与上述控制单元U的控制内容一起说明实施方式的强化玻璃的加工方法的一个例子。
（1）首先，如图8所示，准备具有表面强化层3的强化玻璃（具体地说，母材厚度0.7mm、表面强化层的厚度40μm以上、表面压缩应力600MPa以上的强化玻璃）1作为大板基板。为了制作便携式终端、路牌等的保护用玻璃，从大板基板上切割出具有规定形状的玻璃。在本实施方式中，为提高生产效率，准备通过粘合剂20（粘接层80μm～100μm）将多块（例如12块）大板基板（强化玻璃1）以层叠状态粘接而成的层叠体（层叠玻璃组）1A。在此种情况下，作为粘合剂20，优选的是UV固化粘合剂等通过紫外线固化、且通过热水可将其溶解的粘合剂。因为需要使粘合剂迅速固化，然后最终将切割出的各强化玻璃剥离。在此种情况下，对于构成层叠体1A的最外表面（表面、背面）的玻璃1n，也可以不采用强化玻璃而采用成本廉价的普通玻璃。因为层叠体1A的最外表面有特别容易产生碎屑的倾向。此外，对于母材厚度0.5mm的大板基板（强化玻璃1），也可以准备将16块粘接而成的层叠体1A。
（2）接着，如图9所示，将上述层叠体1A放置在厚板状的固定台21上。该固定台21在上面形成有多个槽（图示略），另一方面，与其各槽相连的连通孔22经由固定台21的内部从其侧面开口。在该各连通孔22上连接图示省略的吸引装置（图示略），经由固定台21上面的槽、连通孔22吸引固定台21上方侧的空气。由此，基于该吸引作用将放置在固定台21上的层叠体1A固定在固定台21上。
（3）接着，如图10所示，通过采用上述超声波振动加工装置4，从上述层叠体1A上切出多块尺寸如便携式终端用保护玻璃的玻璃（层叠块1a），同时如图11所示，为了在该各层叠块1a上形成长孔23、方孔24而进行磨削加工。然后，如果从层叠体1A上切割层叠块1a等的操作结束，就将层叠体1A中的层叠块1a以外的东西除去，如图12所示，对各层叠块1a的外周、长孔23、方孔24进行精磨削加工。此时，各层叠块1a维持基于吸引作用而被固定在固定台21上的状态。再有，在图12中，为方便起见，以缩小固定台21的状态示出，将形成于层叠块1a上的长孔23、方孔24予以省略。
在采用该超声波振动加工装置4的上述层叠块的切割加工、磨削加工等中，以分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具8的振幅及振动数，作为此时的目标振幅及目标振动数，即使加工中的强化玻璃有微细的应力变化，也能基本防止强化玻璃产生裂纹、碎屑等，为此可以采用伴随强化玻璃的加工在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的品质恶化发生值（强化玻璃的裂纹、规定以上的碎屑的发生基准）的范围外的值。
具体地说，将加工工具8的目标振幅规定为3μm～9μm的范围内的优选的振幅，例如8μm，同时将加工工具8的目标振动数设定在60kHz～64kHz的范围内的优选的振动数，例如63kHz。使加工工具8的目标振幅在3μm～9μm的范围内的理由、使加工工具8的目标振动数在60kHz～64kHz的范围内的理由如上所述。而且，作为此时的反馈控制中的采样周期，可采用0.3msec以下的0.2msec。这是为了尽快捕捉在强化玻璃的内部发生的应力变化，减小施加给强化玻璃的应力，从而确实防止强化玻璃裂纹的发生等。
此外，在此种情况下，加工工具8以其转速为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速5000rpm旋转。因为这样可以充分发挥超声波振动加工的效果，同时得到加工工具8旋转带来的优选的效果。关于其它的加工条件，可采用一般的条件。
此后，将经过抛光加工而结束加工的层叠块1a在经过氢氟酸等用于玻璃端面强化的化学处理后浸渍于热水中，从而使各强化玻璃1剥离。由此，作为制品（便携式终端用保护玻璃等），得到被加工的强化玻璃。
实施例
3.对采用本方法（上述加工装置）制作的试验用玻璃的品质和采用以往的方法制作的比较例的试验用玻璃的品质进行了比较评价。
（1）采用本方法制作的试验用玻璃的情况
（i）试验用玻璃的制作
作为试验用玻璃，试制了图13所示的便携式终端用保护玻璃1P。
（ii）根据本方法的试验用玻璃的具体的制作方法及制作条件
试验用玻璃的制作方法与上述的强化玻璃的加工方法同样。也就是说，将具有表面强化层的强化玻璃（具体地说，母材材质：铝硅酸盐玻璃、母材厚度0.7mm、表面强化层40μm、表面压缩应力600MPa）作为大板基板，将12块采用UV固化粘合剂等形成层叠固定状态，从而准备出层叠玻璃组，然后从其上切出尺寸如便携式终端用保护玻璃的小块（层叠块1a），对该切出的小块进行长孔23、方孔24的磨削加工（一次加工），从而制作出一次加工品（层叠体）。接着，对一次加工品中的外周、长孔23、方孔24进行倒角精加工（二次加工），从而制作出二次加工品（层叠体）。接着，对二次加工品进行抛光加工，然后将结束加工的层叠块1a的各玻璃板浸渍在热水中进行剥离，从而得到试验用（评价用）玻璃。
在此种情况下，在一次加工、二次加工中，采用上述超声波振动加工装置4，其一次加工、二次加工中的加工条件如下。
一次加工条件
加工工具8
种类：轴状的金刚石磨石（粒度：#320号）
直径：1.5mm
进给速度：60mm/min
振幅：8μm
振动数：63kHz
反馈控制的采样周期（响应速度）：0.2msec
转速：5000rpm
二次加工条件
加工工具8
种类：轴状的金刚石磨石（粒度：#600号）
直径：1.5mm
进给速度：60mm/min
振幅：5μm
振动数：63kHz
反馈控制的采样周期（响应速度）：0.2msec
转速：5000rpm
（iii）根据本方法的试验用玻璃的评价方法及评价结果
确认了图13所示的试验用玻璃的各部A～E中的一次加工后、二次加工后、抛光加工后的加工状态。
据此，正如由图14～图18所示的放大照片图（270倍）所表明的那样，试验用玻璃的各部A～E在任何加工阶段（一次加工后、二次加工后、抛光加工后）的状态下都显示出良好的加工状态。
（2）采用以往的方法制作的试验用玻璃的情况
（i）试验用玻璃的制作
与根据本方法的试验用玻璃的情况同样，作为试验用玻璃，试制了图13所示的便携式终端用保护玻璃。
（ii）根据以往方法的试验用玻璃的具体的制作方法及制作条件
与上述的本方法同样，准备以层叠状态粘接12块大板基板（具有表面强化层的强化玻璃）而成的层叠体，与此相对照，在下述一次加工条件下对其进行一次加工（层叠块1a的切割，长孔23、方孔24的加工）。可是，在层叠块1a的切割后，在一次加工中的长孔23的加工初期，早早地产生了多条裂纹。因此，对于比较例的试验用玻璃的孔加工的部分（D部、E部（参照图13）），包含一次加工中的方孔24的加工，放弃了以后进行的加工。此外，对于比较例的试验用玻璃的外周面的部分（A部～C部（参照图13））中的B部、C部，虽进行了二次加工、抛光加工，但因裂纹进入A部而放弃了以后的加工。
一次加工条件
加工工具8
种类：轴状的金刚石磨石（粒度：#320号）
直径：1.5mm
进给速度：60mm/min
振幅：8μm
振动数：50kHz
反馈控制的采样周期（响应速度）：10msec
转速：5000rpm
（iii）比较例的试验用玻璃的评价方法及评价结果
在比较例的试验用玻璃的各部A～D（参照图13）中，确认了一次加工后的加工状态，结果为图19～图21（270倍）、图22（90倍）的放大照片所示的结果。也就是说，在比较例的试验用玻璃的各部A～C中，产生了裂纹或规定以上的碎屑，在D部发生多条大的裂纹，为作为制品不能成立的品质。在图22中，中央的大孔为达到长孔23之前的加工初期的孔。
符号说明
1强化玻璃
1A层叠体（层叠玻璃组）
1a层叠块（层叠玻璃组）
3表面强化层
4超声波振动加工装置
7励振装置（励振机构）
8加工工具
9电动机（旋转驱动源）
16超声波振荡器（励振调整机构）
U控制单元（控制机构）

Claims (5)

1.一种强化玻璃的加工方法，其在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，用该加工工具对具有表面强化层的化学强化玻璃进行加工，其特征在于：
以所述加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制所述加工工具对所述化学强化玻璃的励振，同时将该目标振幅及目标振动数分别设定为不属于伴随该化学强化玻璃的加工而在该化学强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该化学强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围；
作为所述反馈控制的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期；
而且将所述目标振幅规定为3μm～9μm的范围的规定振幅，同时使所述目标振动数为60kHz～64kHz的范围的规定振动数。
2.根据权利要求1所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，将所述加工工具的转速规定为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速。
3.根据权利要求1或2所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，所述具有表面强化层的化学强化玻璃包含通过层叠多片该化学强化玻璃而构成的层叠玻璃组。
4.一种强化玻璃用加工装置，其在使加工工具一边励振一边旋转的状态下，用该加工工具对具有表面强化层的化学强化玻璃进行加工，其特征在于，所述加工装置具备：
励振机构，其使所述加工工具朝所述化学强化玻璃励振；
励振调整机构，用于调整所述励振机构；
控制机构，其通过控制所述励振调整机构而以该加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制所述加工工具对所述化学强化玻璃的励振，同时将该目标振幅及目标振动数设定为不属于伴随所述化学强化玻璃的加工而在该化学强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值、且不属于使该化学强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值的范围，而且在每个0.3msec以下的规定采样周期执行所述反馈控制；
其中，所述控制机构将所述目标振幅设定为3μm～9μm的范围的规定振幅，同时将所述目标振动数设定为60kHz～64kHz的范围的规定振动数。
5.根据权利要求4所述的强化玻璃用加工装置，其特征在于，所述控制机构将所述加工工具的转速设定为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5422756B1 (ja) * 2012-08-31 2014-02-19 博則 南 強化ガラスの加工方法及び強化ガラス用加工装置
CN104973763B (zh) * 2014-04-11 2018-02-27 深圳市远东皓星科技有限公司 玻璃叠合机及玻璃叠合方法
KR101703029B1 (ko) 2014-08-29 2017-02-07 주식회사 태성기연 샌드 브라스트방식의 강화유리 절단장치
CN112250313A (zh) 2015-02-02 2021-01-22 康宁股份有限公司 强化层压玻璃制品边缘的方法及由此形成的层压玻璃制品
TW201632272A (zh) * 2015-03-04 2016-09-16 中原大學 超音波輔助加工感測及傳動系統
RU2671239C1 (ru) * 2015-06-10 2018-10-30 Бандо Кико Ко., Лтд. Способ вырезания листового стекла и позиционирования вырезанного листового стекла и устройство для его осуществления
KR101819608B1 (ko) 2015-07-31 2018-01-17 코닝정밀소재 주식회사 유리 접합체 커팅 방법 및 커팅 장치
EP3433065A1 (en) * 2016-03-24 2019-01-30 Corning Incorporated Laminated glass article with aperture formed therein and methods for forming the same
JP6939581B2 (ja) * 2018-01-10 2021-09-22 Ａｇｃ株式会社 曲面ガラス基板の加工方法及び製造方法
CN108640494B (zh) * 2018-04-24 2020-02-14 昆山国显光电有限公司 显示屏开槽方法及显示屏
CN109485246A (zh) * 2018-10-23 2019-03-19 意力(广州)电子科技有限公司 一种小型玻璃的数控加工工艺
DE102018132320A1 (de) * 2018-12-14 2020-06-18 Bohle Ag Schneidewerkzeugeinheit für eine Glasschneide-Werkzeugmaschine und entsprechende Glasschneide-Werkzeugmaschine
DE202018006838U1 (de) 2018-12-14 2023-07-18 Bohle Ag Schneidewerkzeugeinheit für eine Glasschneide-Werkzeugmaschine und entsprechende Glasschneide-Werkzeugmaschine
KR102505511B1 (ko) * 2020-08-13 2023-03-03 (주)피엔피 초박형 유리 박리 전처리장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008213073A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Institute Of National Colleges Of Technology Japan 振動加工装置とホルダー
JP2009241226A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Masahiko Jin 超音波スピンドル装置、超音波スピンドル装置の工具連結方法、工具連結装置、工具連結方法及び工具交換システム
TW201202155A (en) * 2010-07-09 2012-01-16 Easy Field Corp Method of using ultrasonic pulse to process glass substrate

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02109667A (ja) * 1988-10-13 1990-04-23 Office Natl Etud Rech Aerospat <Onera> 超音波研削機械
JPH0463668A (ja) * 1990-07-03 1992-02-28 Brother Ind Ltd 超音波加工機の振幅制御装置
SE514525E (sv) * 1998-10-22 2006-02-22 Staffansboda Cie Ab Anordning och metod för styrning av vibrationer samt verktygshållare
DE19851353C1 (de) * 1998-11-06 1999-10-07 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines Laminats aus einem sprödbrüchigen Werkstoff und einem Kunststoff
JP2002160932A (ja) * 2000-11-17 2002-06-04 Sony Corp ガラス基板の製造方法、ガラス基板、およびガラス基板を有する電子機器
JP3806603B2 (ja) * 2001-02-23 2006-08-09 Ｔｏｗａ株式会社 楕円振動装置及び楕円振動装置の制御方法
JP3766291B2 (ja) * 2001-05-21 2006-04-12 正夫 村川 超音波ミリング装置
US7259496B2 (en) * 2002-04-08 2007-08-21 University Of North Carolina At Charlotte Tunable vibratory actuator
JP2003305716A (ja) 2002-04-16 2003-10-28 Asahi Techno Glass Corp 脆性材料用孔明け装置
JP2004083378A (ja) 2002-08-29 2004-03-18 Central Glass Co Ltd 化学強化ガラス
JP2006018922A (ja) * 2004-07-01 2006-01-19 Hoya Corp 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法
ES2308193T3 (es) * 2004-07-02 2008-12-01 Sauer Gmbh Herramienta de cabeza oscilante.
KR100637803B1 (ko) * 2004-12-02 2006-10-23 씨티에스(주) 초음파진동을 이용한 유리절단장치
EP1669148B1 (de) * 2004-12-13 2018-01-17 Fritz Studer AG Werkzeugeinheit zur ultraschallunterstützten rotativen Bearbeitung
KR100712544B1 (ko) * 2006-01-10 2007-05-02 삼성전자주식회사 직류 모터의 반복적 허위 속도 오차 보상 장치 및 방법과이를 이용한 디스크 드라이브
JP5115198B2 (ja) * 2006-02-08 2013-01-09 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 切削用振動体及び加工装置
US7819009B2 (en) * 2006-02-28 2010-10-26 Frederic Borah Vibration Monitoring System
JP2008007384A (ja) * 2006-06-30 2008-01-17 Optrex Corp ガラス基板の製造方法
JP2010001160A (ja) * 2006-10-16 2010-01-07 Panasonic Corp ガラス切断方法およびその装置
TWI337559B (en) * 2007-12-20 2011-02-21 Ind Tech Res Inst Spindle and flexure hinge used in ultrasonic machine
TW200932468A (en) * 2008-01-21 2009-08-01 Grain Electronics Inc Glass processing apparatus and method
JP2009184878A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Shuko Denshi Kogyo Yugenkoshi ガラス加工装置及びガラス加工方法
JP2009256125A (ja) 2008-04-15 2009-11-05 Shoda Techtron Corp 板ガラスの加工方法
TW201036735A (en) * 2009-04-14 2010-10-16 lu-jia Liao Glass processing equipment and processing method
KR101048069B1 (ko) * 2009-06-30 2011-07-11 세메스 주식회사 초음파를 이용한 스크라이빙 유닛
JP2012031018A (ja) 2010-07-30 2012-02-16 Asahi Glass Co Ltd 強化ガラス基板及び強化ガラス基板の溝加工方法と強化ガラス基板の切断方法
WO2012096053A1 (ja) * 2011-01-11 2012-07-19 旭硝子株式会社 強化ガラス板の切断方法
JP4891445B1 (ja) * 2011-03-17 2012-03-07 パナソニック電工株式会社 超精密複合加工装置および超精密複合加工方法
DE102011016210B3 (de) * 2011-04-06 2012-03-08 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Ablängen eines Float-Glas-Bandes mit normaler oder strukturierter Oberfläche, Computerprogramm und maschinenlesbarer Träger
AT511551B1 (de) * 2011-05-18 2013-10-15 Univ Wien Tech Vorrichtung und verfahren zur mechanischen bearbeitung eines werkstücks
JP5908342B2 (ja) * 2012-05-17 2016-04-26 オークマ株式会社 工作機械の加工振動抑制方法及び加工振動抑制装置
JP5422756B1 (ja) * 2012-08-31 2014-02-19 博則 南 強化ガラスの加工方法及び強化ガラス用加工装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008213073A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Institute Of National Colleges Of Technology Japan 振動加工装置とホルダー
JP2009241226A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Masahiko Jin 超音波スピンドル装置、超音波スピンドル装置の工具連結方法、工具連結装置、工具連結方法及び工具交換システム
TW201202155A (en) * 2010-07-09 2012-01-16 Easy Field Corp Method of using ultrasonic pulse to process glass substrate

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