CN104603073A - 强化玻璃的加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够在确保制品玻璃的品质的同时使生产1块制品玻璃所需的时间极力缩短的强化玻璃的加工方法。本发明的强化玻璃的加工方法是在使加工工具(8)一边旋转一边励振的状态下用加工工具(8)对作为化学强化玻璃(1)的层叠块(1a)进行加工，其中，在加工工具(8)对层叠块(1a)进行加工之前，使用切割刀片(84)从作为化学强化玻璃的层叠体(1A)切出层叠块(1a)，在加工工具(8)对层叠块(1a)进行加工时，也对层叠块(1a)的外周面进行精加工。

Description

强化玻璃的加工方法

技术领域

本发明涉及强化玻璃的加工方法。

背景技术

在便携式终端、标牌(tablet)、触摸面板、PDA(个人数字助理)等显示装置中，一般采用经过化学强化的强化玻璃。此种强化玻璃被形成为在玻璃母材的表面侧设置有表面强化层(化学强化层)的构成，基于此来谋求强化玻璃的薄板化，同时对于弯曲应力、冲击显示出高强度。

作为这样的强化玻璃的加工方法，对于表面强化层的厚度为一定厚度以上且表面压缩应力为规定值以上的强化玻璃(例如，表面强化层为40μm以上、表面压缩应力为600MPa以上的强化玻璃)，其加工是不容易的，所以正如专利文献1所示的那样，提出了如下加工方法：作为要加工的强化玻璃，准备将表面强化层规定为30μm以下、同时使表面压缩应力为600MPa以下的强化玻璃，采用现有的切割方法(激光加工等)对其进行切割；或者正如专利文献2所示的那样，提出了如下加工方法：在强化玻璃(表面强化层为40μm以上、表面压缩应力为600MPa以上)上，为了将其预定切割部位的加工强度减弱，以预先将表面强化层的一部分除去的状态在该表面强化层形成预定切割槽，然后利用激光等切割该预定切割槽。

可是，在专利文献1中，只重视强化玻璃的加工性，采用该专利文献1的方法，不能满足近来所要求的进一步的薄板化和进一步的强度化。

此外，在专利文献2中，必须在表面强化层形成预定切割槽，不仅工序数增加，而且该预定切割槽只能形成为直线状，成为对加工强化玻璃的限制。

在这样的状况下，作为加工方法，本申请发明人着眼于使迄今为止被认为难以加工上述强化玻璃的加工工具一边励振一边使其旋转的加工方法，在该加工方法中，首次发现了能够准确加工强化玻璃本身的条件。

可是，作为制品的制品玻璃，具体地说，其是通过从由强化玻璃构成的大板基板切出制品形状的多个制品用坯板、对该切出的各制品用坯板进行孔加工等加工来形成的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-83378号公报

专利文献2：日本特开2012-31018号公报

发明内容

发明所要解决的课题

不过，在如上所述以使加工工具一边旋转一边励振的加工方法对进行了从大板基板切出多个制品用坯板、对该切出来的各制品用坯板实施孔加工等全部加工的情况下，虽然能够获得适合作为制品的制品玻璃，但对于生产1块制品玻璃所需的时间(平均周期时间(时间/个))未必短。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够在确保制品玻璃的品质的同时使生产1块制品玻璃所需的时间极力缩短的强化玻璃的加工方法。

用于解决课题的手段

为了达到所述目的，本发明(技术方案1的发明)提供一种强化玻璃的加工方法，其被构成为：在使加工工具一边旋转一边励振的状态下，用该加工工具对作为具有表面强化层的化学强化玻璃的制品用坯板进行加工，其中，在所述加工工具对所述制品用坯板进行加工之前，通过采用了切割刀片的切割加工从作为具有表面强化层的化学强化玻璃的大板基板切出所述制品用坯板，在所述加工工具对所述制品用坯板进行加工时，也对该制品用坯板的外周面进行精加工。作为该技术方案1的优选方案，如技术方案2以后的方案所述。

发明效果

根据本发明(技术方案1的发明)，通过采用了切割刀片的切割加工从大板基板切出制品用坯板，因此，与采用一边旋转一边励振的加工工具从大板基板切出制品用坯板的情况相比，能够迅速地进行制品用坯板的切出操作。另一方面，即使由于切割加工而在所切出来的制品用坯板的外周面上产生了碎屑，用一边旋转一边励振的加工工具不仅进行孔加工等加工，而且也对制品用坯板的外周面进行精加工，从而能够准确地进行制品用坯板的外周面的修补。特别是，精加工本来就是对包含制品用坯板的外周面在内的加工面进行的，并不是要特别进行的加工。因此，能够在确保制品玻璃的品质的同时使生产1块制品玻璃所需的时间极力缩短。

根据技术方案2的发明，在切割加工用基台上，多个独立基座以隔开间隙地排列的状态配置，在该切割加工用基台中的各相邻独立基座之间的间隙的上方区域中，用切割刀片对大板基板进行切割，因此，从被安装在多个独立基座的上表面上的大板基板切出多个制品用坯板时，基于预先把握的独立基座的大小、切割加工用基台上的独立基座的间距等信息，能够反复进行单纯的切割加工。因此，能够准确地切出制品用坯板，同时能够谋求切割加工控制的简化。

另外，将安装有制品用坯板的各独立基座保持于加工用基台上，接着，利用加工工具对加工用基台上的各独立基座上的制品用坯板进行加工，从而在各独立基座上分别形成制品玻璃，因此，在该情况下，也能够预先把握独立基座的大小、切割加工用基台上的独立基座的间距等信息，能够使加工工具的加工为单纯的加工的反复。因此，即使不采用高性能、高价的照相机系统，也能够将制品用坯板准确加工成制品玻璃，同时能够谋求加工控制的简化。

根据技术方案3的发明，作为大板基板，即使预先印刷有框状花纹组，也能够在多个独立基座被保持于切割加工用基台上的状态下，多个定位部相对于以适合的状态重叠在该多个独立基座上的大板基板的框状花纹组的配置位置被反映为定位参与部相对于被调整用基台定位的大板基板1的框状花纹组的配置位置，在调整用基台上载置大板基板，使该大板基板的多个各对位标记与多个各对位部进行对位，在该状态下，只要在维持在将移载部件的多个各定位相关部和多个各定位参与部定位了的状态的同时，将移载部件安装于调整用基台上的大板基板上，将其搬运到切割加工用基台，在维持在将移载部件的多个各定位相关部和切割加工用基台上的多个各定位部定位了的状态的同时，将安装有移载部件的大板基板安装在被保持于切割加工用基台上的多个独立基座，就能够将大板基板的框状花纹组以不倾斜且适合的状态重叠在被保持于切割加工用基台上的多个独立基座上。因此，能够从大板基板准确地切出制品用坯板，与此同时能够防止不合格品发生。

另外，在将大板基板的框状花纹组以不倾斜且适合的状态重叠在被保持于切割加工用基台上的多个独立基座上时，作为大板基板，只要具有以适合的状态重叠在切割加工用基台上的多个独立基座的框状花纹组和相对于该框状花纹组具有规定的配置关系的多个对位标记即可；作为切割加工用基台，只要具有相对于以适合的状态重叠在多个独立基座上的大板基板的框状花纹组处于规定的位置关系的多个定位部即可；作为调整用基台，只要具有如下各部即可：能够载置大板基板的载置面；对载置在载置面上的大板基板的多个对位标记进行对位的多个对位部；和定位参与部，在将多个各对位标记与多个各对位部对位了的状态下，该定位参与部相对于该大板基板的框状花纹组的位置关系与在切割加工用基座上多个定位部相对于以适合的状态重叠在多个独立基座上的大板基板的框状花纹组的位置关系相同，作为移载部件，只要具有相对于多个定位部及多个定位参与部能够使定位关系成立的多个定位相关部即可。因此，能够采用低廉部件来实施该方法。而且，不会像照相机、传感器类那样产生故障，在该方法中，能够采用耐久性高的部件。

根据技术方案4的发明，在将移载部件安装于大板基板上时，采用粘接剂，因此，能够不相互阻碍地同时进行移载部件粘接到大板基板的操作、移载部件的多个各定位相关部与调整用基台中的多个各定位参与部之间的定位操作，能够提高操作性。另一方面，关于粘接剂，就粘接强度而言，存在多种粘接剂，另外，粘接强度也能够适当调整，作为粘接剂，可以容易地选择下述粘接剂：能够以恒定的粘接强度使移载部件和大板基板一体化，另一方面，通过由操作者施加外力而能够使移载部件和大板基板之间的粘接剥离。

根据技术方案5的发明，在将移载部件粘接于大板基板上之前，将罩面玻璃粘接于大板基板上，将移载部件隔着罩面玻璃粘接于大板基板上，因此，伴随着移载部件的安装、卸下，即使产生污垢、损伤等，也能够使其停留在罩面玻璃上，能够防止给作为最终制品玻璃的原材料的大板基板带来污垢、损伤等损害。

根据技术方案6的发明，在将罩面玻璃粘接于大板基板上时，采用通过热水就能溶化的粘接剂，因此，在加工结束后，通过采用热水，不施加外力就能够将罩面玻璃容易地从制品玻璃上剥离。

根据技术方案7的发明，作为大板基板，采用多块大板基板层叠并配有各大板基板的框状花纹组而成的层叠体，在形成层叠体时，对层叠体中的各大板基板的多个各对位标记与调整用基台中的多个各对位部进行对位，因此，通过利用各大板基板的多个各对位标记和调整用基台中的多个各对位部，能够准确地获得配有各大板基板的框状花纹组而成的层叠体。

根据技术方案8的发明，调整用基台中的各对位部分别由配置在沿着上下方向延伸的轴线上的一对检测照相机构成，因此即使在大板基板间采用粘接剂而导致大板基板的透明性下降，也能够利用同一轴线上的下侧、上侧的检测照相机依次准确地检测各大板基板的对位标记而进行对位。

另外，粘接剂只要不照射特定照射光就不固化，因此，通过调整粘接剂的固化的时机而能够容易地进行各大板基板的对位标记之间的对位。

根据技术方案9的发明，以该加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具对作为强化玻璃的制品用坯板的励振，同时将该目标振幅及目标振动数分别设定为不属于伴随着该制品用坯板的加工而在该制品用坯板的厚度方向各部发生变化的值且不属于使该制品用坯板的品质恶化的品质恶化发生值的范围，而且，作为反馈控制中的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期，因此，即使制品用坯板是具有强度高的表面强化层的强化玻璃(具体地说，表面强化层为40μm以上、表面压缩应力为600MPa以上的强化玻璃)，也能够不受加工路径等的限制而自由地进行加工，而在加工工具励振时，能够基本上使加工工具的振幅及振动数不属于品质恶化发生值的范围。

而且作为上述反馈控制中的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期，所以能够在非常快的时机谋求重新研究评价反馈控制，即使加工工具的振幅或振动数成为品质恶化发生值的范围内的值，也能够以该非常快的时机将加工工具的振幅及振动数分别恢复为目标振幅及目标振动数(品质恶化发生值的范围以外)。因此，伴随着作为化学强化玻璃的制品用坯板的加工，即使产生该制品用坯板内部的拉伸应力的释放等加工中的微细状态变化，也能够对该状态变化进行应对(追踪)，在加工中，能够准确地抑制制品用坯板的裂纹、规定以上的碎屑等的产生。其结果，能够简单且确实地进行制品用坯板的加工。

因而，即使制品用坯板是具有表面强化层而使强度提高了的化学强化玻璃，也能够在确保加工自由度的同时简单且确实地进行加工。

在此，作为所述反馈控制中的采样周期，之所以采用0.3msec以下的规定采样周期，是因为基于本申请发明人所获得的见解，如果超过0.3msec，则无法追踪作为化学强化玻璃的制品用坯板内部的应力变化，制品用坯板的加工精度下降(制品用坯板的裂纹、规定以上的碎屑的产生)的可能性增大。

附图说明

图1是说明具有表面强化层的强化玻璃的说明图。

图2是表示实施方式的超声波振动加工装置的整体构成图。

图3是说明实施方式的超声波振动加工装置中的控制关系的说明图。

图4是表示在加工工具的目标振幅固定为8μm、反馈的采样周期(响应速度)固定为0.2msec的条件下，使加工工具的目标振动数变化时的实验结果(加工实验1的实验结果)的图示。

图5是表示在加工工具的目标振动数固定为63kHz、反馈的采样周期(响应速度)固定为0.2msec的条件下，使加工工具的目标振幅变化时的实验结果(加工实验2的实验结果)的图示。

图6是表示在加工工具的目标振幅固定为8μm、加工工具的目标振动数固定为63kHz的条件下，使反馈控制的采样周期(响应速度)变化时的实验结果(加工实验3的实验结果)的图示。

图7是表示反馈的采样周期(响应速度)和加工成功率之间的关系的图示。

图8是说明作为加工对象的强化玻璃的层叠体的说明图。

图9是说明将强化玻璃的层叠体布置在固定台上的状态的说明图。

图10是说明对强化玻璃层叠体进行切割加工的说明图。

图11是说明对层叠块进行长孔、方孔加工的说明图。

图12是说明对层叠块的外周面等进行磨削加工的说明图。

图13是表示便携式终端用保护玻璃的图示。

图14是表示图13的A部的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图15是表示图13的B部的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图16是表示图13的C部的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图17是表示图13的D部的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图18是表示图13的E部的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图19是表示比较例的便携式终端用保护玻璃中的与图13的A部相当的部分的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图20是表示比较例的便携式终端用保护玻璃中的与图13的B部相当的部分的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图21是表示比较例的便携式终端用保护玻璃中的与图13的C部相当的部分的放大照片图(放大倍数：270倍)。

图22是表示比较例的便携式终端用保护玻璃中的与图13的D部相当的部分的放大照片图(放大倍数：90倍)。

图23是表示其他实施方式的工序的工序图。

图24是表示印刷有框状花纹组及对准标记的大板基板(化学强化玻璃)的立体图。

图25是说明“对罩面玻璃进行的印刷工序”的说明图。

图26是说明在“粘接剂的涂敷工序”中对罩面玻璃涂敷有粘接剂的状态的说明图。

图27是说明“玻璃的粘合及粘接剂的压延工序”的说明图。

图28是说明“层叠对位及粘接剂的临时固化工序”的说明图。

图29是说明在“粘接剂的涂敷工序”对大板基板涂敷粘接剂的状态的说明图。

图30是说明对层叠体进行的“正式固化工序”的说明图。

图31是说明“移载板的安装工序”的说明图。

图32是表示夹具板及被保持于该夹具板上的布置夹具的立体图。

图33是表示布置夹具的背面的图示。

图34是说明为了进行切割加工而使层叠体被移载板移载到夹具板上的状态的说明图。

图35是说明由切割刀片进行的“切割加工工序”的说明图。

图36是表示结束由切割刀片进行的“切割加工工序”并从夹具板将粘接有层叠块的布置夹具的一部分取出的状态的说明图。

图37是表示粘接有层叠块的布置夹具的立体图。

图38是表示为了进行超声波振动加工而将粘接有层叠块的布置夹具保持于加工用夹具板上的状态的说明图。

图39是说明“超声波振动加工工序”的说明图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。

在说明本实施方式时，以如下的顺序进行说明：作为加工对象的强化玻璃、对该强化玻璃进行加工的作为强化玻璃用加工装置的超音波振动加工装置、采用了该超音波振动加工装置的强化玻璃的加工方法、加工品质的比较。

1.强化玻璃

强化玻璃1如图1所示，其被构成为在玻璃母材(例如铝硅酸盐玻璃)2的表面侧(背面侧)设置有表面强化层(化学强化层)3。通过该表面强化层3而使强化玻璃1可谋求薄板化，同时对于弯曲应力、冲击可确保高强度。具体地说，作为强化玻璃1，从母材2的厚度δ1为0.7mm左右、表面强化层3的厚度δ2为40μm以上(目前正在开发70μm的，当然可作为加工对象)、表面压缩应力为600MPa～700MPa的强化玻璃作为对象。当然，不仅强化玻璃1，通常的玻璃也能成为超声波振动加工装置的加工对象。

2.超声波振动加工装置

(1)超声波振动加工装置4如图2所示，具备加工装置主体5。

加工装置主体5如图2所示，具有：较长尺寸的有底筒状的外罩6、保持在该外罩6内的励振装置(励振机构)7、安装在该励振装置7上的加工工具8和作为用于旋转驱动该励振装置7的旋转驱动源的电动机9。

(a)所述外罩6以使其轴心延伸方向朝上下方向且使其开口朝下侧的状态安装在升降装置(图2中只图示了一部分(安装外罩6的安装部))10上。升降装置10具有在使外罩6朝上下方向升降运动的同时还能够调整此时的升降速度的功能(参照箭头)，通过该升降装置10的功能，外罩6在加工时以规定的设定速度(进给速度)下降。

(b)所述励振装置7具有圆柱状的躯干部11、保持于该躯干部11上并产生超声波振动的圆柱状的超声波振动发生单元12。躯干部11以使其轴心朝上下方向的状态通过轴承13而被保持在所述外罩6的内周面上，通过该轴承13，躯干部11被设定为能够以其轴心为中心相对旋转且不能向轴心延伸方向(上下方向)位移。在该躯干部11的上端部形成有用于安装电动机9的驱动轴9a的圆筒状的安装筒部14，在该躯干部11的下端面形成有保持孔(图示略)。超声波振动发生单元12被保持在躯干部11下端面的保持孔内。该超声波振动发生单元12正如已知的那样，以串联连结超声波振子、振动传递部、放大部的状态构成，它们从躯干部11的保持孔的内部朝开口侧，以超声波振子、振动传递部、放大部这样的顺序配置。其中，超声波振子具有压电体和将其螺栓紧固的金属块，在压电体之间及压电体与金属块之间配置有电极(未图示出)，通过对该电极间施加直流电压的脉冲电压，使压电体产生纵向振动。当将施加的直流电压的脉冲电压的频率设定为超声波振子的共振频率，则该超声波振子通过共振现象而产生强力的超声波振动。振动传递部具有将超声波振子的振动传递给放大部的功能，放大部具有将从振动传递部传递的振动放大的功能。

(c)所述加工工具8为了通过所述超声波振动发生单元12的振动而产生振动，如图2所示，在超声波振动发生单元12的轴心上与其放大部连结。加工工具8通过与强化玻璃直接接触而对该强化玻璃进行加工，在本实施方式中，采用轴状的金刚石磨石，该轴状的加工工具8从超声波振动发生单元12朝下方延伸。该加工工具8不仅进行作为加工对象的强化玻璃的加工，而且还作为检测该强化玻璃的压力变动的传感器发挥作用。

(d)所述电动机9被安装在所述外罩6的底部6a外表面(上端面)上。在外罩6的底部6a形成有贯通外罩6内外的贯通孔15，电动机9的驱动轴9a贯通该贯通孔15而嵌合保持(固定)在所述躯干部11中的安装筒部14上。由此，电动机9的驱动力经由躯干部11、超声波振动发生单元12传递给加工工具8，加工工具8能够以其轴心为中心旋转。

(2)超声波振动加工装置4如图2、图3所示，具备用于调整所述超声波振动发生单元12的振幅及振动数的超声波振荡器(励振调整机构)16。

超声波振荡器16调整输入电信号(具体地说为电压或电流)，然后将该调整电信号输送给超声波振动发生单元12(超声波振子)。在本实施方式中，在电流恒定(例如1～2A的规定值)下调整来自电源的输入电压的振幅、振动数(频率)，将该调整的电压信号(例如300～400V)输送给超声波振动发生单元12(超声波振子)。当然在此种情况下，也可以在电压恒定下，向超声波振子输送电流信号以代替电压信号。

(3)超声波振动加工装置4如图2、图3所示，具备作为反馈控制所述超声波振荡器16(超声波振动发生单元12)及所述电动机9的控制机构的控制单元U。

(i)向控制单元U输入来自超声波振荡器16的电压信号(电压的振幅、频率信号)、电动机9的转速信号(电压信号)，另一方面，从控制单元U分别向超声波振荡器16、电动机9输出控制信号。

(ii)控制单元U具备：用于为反馈控制设定目标值的设定部(设定机构)；基于设定部的目标值和控制变量的偏差来判断操作变量的判断部(判断机构)；和为执行来自判断部的操作变量而输出控制信号的执行控制部(执行控制机构)。

(a)关于设定部，在本实施方式中，作为用于反馈控制的目标值，对超声波振动发生单元12(超声波振子)的输入电压设定目标振幅、目标频率，它们被设定为不属于伴随强化玻璃的加工在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的值且不属于使该强化玻璃的品质恶化的品质恶化发生值(产生裂纹、规定以上的碎屑等的值)的范围。这是因为考虑到与强化玻璃加工相伴随的该强化玻璃内部的拉伸应力的释放等与加工相伴随的强化玻璃内部的应力变化。此外，关于电动机9的输入电流，从成为对加工来说有效果的旋转的观点来设定目标电流。

作为上述超声波振动发生单元12的输入电压的目标振幅，以最终加工工具8的振幅达到3μm～9μm的范围(不属于品质恶化发生值的范围)的规定振幅(优选为8μm)的方式进行设定，关于加工工具8的振幅低于3μm及超过9μm者，被设定为品质恶化发生值的范围。在此种情况下，之所以在加工工具8的最终的振幅中将目标振幅规定为3μm～9μm的范围，是因为基于本申请发明人得到的见解，在低于3μm时，因加工能力并不充分(因切削屑等残留而使切削阻力等增大)而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面，在超过9μm时，因不能追踪与加工相伴随的强化玻璃内部的应力变化而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。

作为上述超声波振动发生单元12(超声波振子)的输入电压的目标频率，以最终加工工具8的振动数达到60kHz～64kHz的范围(不属于品质恶化发生值的范围)的规定振动数(优选为63kHz)的方式进行设定，关于加工工具8的振动数低于60kHz及超过64kHz者，被设定为品质恶化发生值的范围。在此种情况下，之所以在加工工具8的最终的振动数中将目标频率规定为60kHz～64kHz，是因为基于本申请发明人的见解，在低于60kHz时，因加工能力并不充分而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面，在超过64kHz时，因不能追踪与加工相伴随的强化玻璃内部的应力变化而在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。

作为上述电动机9的目标电流，以最终加工工具8的转速达到2000rpm～30000rpm的范围的规定转速(优选为5000rpm)的方式进行设定。在此种情况下，之所以将加工工具8的转速规定为2000rpm～30000rpm的范围，是因为在低于2000rpm时，对强化玻璃的加工效果并不充分，另一方面，如果超过30000rpm，则产生相对于加工面的滑移现象(加工阻力下降)，使加工效果下降，而且在耐久性方面也产生问题。

再者，在图3中，符号18为用于向设定部输入设定值的设定值输入部。

(b)在判断部中，对于加工工具8的振幅，从来自超声波振荡器16的电压(返回电压：return voltage)的振幅与设定部的目标振幅的偏差来判断操作变量；对于加工工具8的振动数，从来自超声波振荡器16的电压(返回电压)的频率与设定部的目标频率的偏差来判断操作变量。此外，对于加工工具8的转速，从来自电动机9的电流信号与设定部的目标电流的偏差来判断操作变量。

(c)执行控制部将来自所述判断部的各操作变量作为控制信号向超声波振荡器16及电动机9输出。由此，通过调整来自超声波振荡器16的输出电压(振幅、频率)，以达到规定的上下振幅且规定振动数的方式反馈控制加工工具8，关于电动机9，也对其转速进行反馈控制，从而可将加工工具8维持在规定转速。

(iii)控制单元U被设定成以采样周期(响应速度)为0.3msec以下即0.3msec～0.2msec的范围内的规定采样周期(优选为0.2msec)的方式进行反馈控制。之所以设定为0.3msec～0.2msec的范围内的规定采样周期，是因为基于本申请发明人得到的见解，如果超过0.3msec，则不能追踪强化玻璃加工中的微细的应力变化，在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。此外，之所以设定0.2msec作为下限，是因为它是目前能够得到的最下限，在现实中不能以低于该值的采样周期进行反馈控制。今后，如果开发了低于0.2msec的值的采样周期，则是更为优选的。

因此，在控制单元U中，为了谋求反馈控制的采样周期的高速化，与以往相比，正在谋求模/数转换功能及CPU的运算处理能力的高速化。由此，具体地说，在将加工工具8的振动数(频率)规定为80kHz、将采样周期规定为0.2msec的情况下，能够直至与负荷变动相适应地在最佳环境产生振荡，将施加给强化玻璃的振动冲击抑制在16次。此外，在30mm/分钟的加工工具8的进给速度下，在按0.2msec的采样周期使振荡环境最佳化的情况下，加工每前进0.1μm就进行反馈控制，从而能够对加工中的微细状态变化(应力变化)进行应对(追踪)。

与此相对照，在加工工具8的振动数(频率)为80kHz时，能够以0.0000125秒(0.0125ms)对强化玻璃施加一次振动冲击，但在其下将采样周期(振荡响应速度)规定为10msec的情况下(以往的控制单元的情况下)，直至与负荷变动相适应地在最佳环境产生振荡，将向强化玻璃施加800次的振动冲击。此外，在30mm/分钟的加工工具8的进给速度下，在按10msec的采样周期使振荡环境最佳化的情况下，加工的前进为5μm。这样的5μm相对于几十μm的表面强化层为相对过大的值，通过该每5μm的响应，不能追踪强化玻璃的状态变化。其结果是，必须在对强化玻璃施加应力的同时进行加工，从而在强化玻璃上产生裂纹等。

(iv)控制的目标值等

上述控制的目标值等得到本申请发明人进行的下述加工实验1～3的支持。在此种情况下，在下述共同实验条件下对强化玻璃进行加工实验1～3，基于下述共同的评价基准对其进行评价。

(a)共同实验条件

作为加工对象的强化玻璃

母材材质：铝硅酸盐玻璃

母材厚度δ1：0.70mm

表面强化层的厚度δ2：40μm(0.04mm)

表面强化层的压缩残留应力：600MPa～700MPa

加工工具8

加工进给速度：60mm/分钟

转速：5000rpm

轴状的加工工具直径：1.5mm

加工工具8的粒度：#600号

(b)共同的评价基准

×：强化玻璃开裂

△：碎屑为100～150μm(为能够加工但品质差的状态)

○：碎屑为30μm以下(为加工、品质均良好的状态)

(c)加工实验1

(c-1)为了得到加工工具8相对于1块强化玻璃的良好振动数，在加工工具8的目标振幅固定在8μm、反馈的采样周期(响应速度)固定在0.2msec的条件下，进行通过调整电压而使加工工具8的目标振动数(目标频率)变化的实验。

(c-2)加工实验1的结果是得到了图4所示的内容。根据该图4所示的内容，判明了：加工工具8的目标振动数优选为60kHz～64kHz(特别优选为63kHz)(低于60kHz、超64kHz者处于品质恶化发生值的范围)。

(d)加工实验2

(d-1)为得到加工工具8相对于1块强化玻璃的良好目标振幅，在加工工具8的目标频率固定在63kHz、反馈的采样周期(响应速度)固定在0.2msec的条件下，进行通过调整电压而使加工工具8的目标振幅变化的实验。

(d-2)加工实验2的结果是得到了图5所示的内容。根据该图5所示的内容，判明了：加工工具8的振幅优选为3μm～9μm(特别优选为8μm)(低于3μm、超过9μm者处于品质恶化发生值的范围)。

(e)加工实验3

(e-1)对于加工中发生微细的状态变化的强化玻璃，着眼于其加工的反馈控制的采样周期是重要的这一点，在加工工具8的目标振幅固定在8μm、加工工具8的目标频率固定在63kHz的条件下，进行使反馈控制的采样周期(响应速度)变化的实验。

(e-2)加工实验3的结果是得到了图6所示的内容。根据该图6所示的内容，判明了：反馈控制的采样周期优选为0.3msec以下(特别优选为0.2msec)。再者，下限值(0.2msec)为目前开发的极限值。

(e-3)图7示出了反馈控制的采样周期(响应速度)和加工成功率之间的关系。根据该图7，示出了响应速度越小，加工成功率越高，特别是在0.5ms以下时，加工成功率以急剧上升的态势得以提高。再者，加工成功的评价与上述的评价(○)相同，在图6中，对于加工成功率为87％以上者，评价为“○”。

3.接着，与上述控制单元U的控制内容一起说明实施方式的强化玻璃的加工方法的一个例子。

(1)首先，如图8所示，准备具有表面强化层3的强化玻璃(具体地说，母材厚度为0.7mm、表面强化层的厚度为40μm以上、表面压缩应力为600MPa以上的强化玻璃)1作为大板基板。为了制作便携式终端、标牌等的保护用玻璃，从大板基板上切割出具有规定形状的玻璃。在本实施方式中，为提高生产效率，准备通过粘接剂20(粘接层为80μm～100μm)将多块(例如12块)大板基板(强化玻璃1)以层叠状态粘接而成的层叠体(层叠玻璃组)1A。在此种情况下，作为粘接剂20，优选的是UV固化粘接剂等通过紫外线固化且通过热水就能将其溶化的粘接剂。这是因为，需要使粘接剂迅速固化，然后最终将切割出的各强化玻璃剥离。在此种情况下，关于构成层叠体1A的最外表面(表面、背面)的玻璃1n，也可以不采用强化玻璃而采用成本廉价的普通玻璃。这是因为，层叠体1A的最外表面有特别容易产生碎屑的倾向。此外，关于母材厚度为0.5mm的大板基板(强化玻璃1)，也可以准备将16块该大板基板粘接而成的层叠体1A。

(2)接着，如图9所示，将上述层叠体1A布置在厚板状的固定台21上。该固定台21在上表面形成有多个槽(图示略)，而与该各槽相连的连通孔22经由固定台21的内部从其侧面开口。在该各连通孔22上连接未图示出来的吸引装置(图示略)，经由固定台21上表面的槽、连通孔22吸引固定台21上方侧的空气。由此，被布置在固定台21上的层叠体1A基于该吸引作用而被固定在固定台21上。

(3)接着，如图10所示，通过采用上述超声波振动加工装置4，从上述层叠体1A上切出多块尺寸如便携式终端用保护玻璃的玻璃(层叠块1a)，同时如图11所示，为了在该各层叠块1a上形成长孔23、方孔24而进行磨削加工。然后，当从层叠体1A上切割层叠块1a等操作结束，就将层叠体1A中的层叠块1a以外的东西除去，如图12所示，对各层叠块1a的外周、长孔23、方孔24进行精磨削加工。此时，各层叠块1a基于吸引作用而被固定在固定台21上的状态得以维持。再有，在图12中，为方便起见，固定台21以被缩小的状态示出，形成于层叠块1a上的长孔23、方孔24被予以省略。

在采用了该超声波振动加工装置4的上述层叠块的切割加工、磨削加工等中，以分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制加工工具8的振幅及振动数，作为此时的目标振幅及目标振动数，为了即使加工中的强化玻璃有微细的应力变化，也基本上能防止强化玻璃产生裂纹、碎屑等，采用伴随着强化玻璃的加工而在该强化玻璃的厚度方向各部发生变化的品质恶化发生值(强化玻璃的裂纹、规定以上的碎屑的发生基准)的范围以外的值。

具体地说，将加工工具8的目标振幅规定为3μm～9μm的范围内的优选的振幅，例如8μm，同时将加工工具8的目标振动数设定在60kHz～64kHz的范围内的优选的振动数，例如63kHz。使加工工具8的目标振幅在3μm～9μm的范围内的理由、使加工工具8的目标振动数在60kHz～64kHz的范围内的理由如上所述。而且，作为此时的反馈控制中的采样周期，可采用0.3msec以下的0.2msec。这是为了尽快捕捉在强化玻璃的内部发生的应力变化，减小施加给强化玻璃的应力，从而确实防止强化玻璃裂纹的发生等。

此外，在此种情况下，加工工具8以其转速为2000rpm～30000rpm的范围内的规定转速5000rpm旋转。这是因为，这样可以充分发挥超声波振动加工的效果，同时得到由加工工具8旋转所带来的优选的效果。关于其它的加工条件，可采用一般的条件。

(4)此后，将经过抛光加工而结束加工的层叠块1a在经过氢氟酸等用于玻璃端面强化的化学处理后浸渍于热水中，从而使各强化玻璃1剥离。由此，作为制品(便携式终端用保护玻璃等)，得到被加工的强化玻璃。

实施例

4.对采用本申请方法(上述加工装置)制作的试验用玻璃的品质和采用以往的方法制作的比较例的试验用玻璃的品质进行了比较评价。

(1)采用本申请方法制作的试验用玻璃的情况

(i)试验用玻璃的制作

作为试验用玻璃，试制了图13所示的便携式终端用保护玻璃1P。

(ii)根据本申请方法得到的试验用玻璃的具体制作方法及制作条件

试验用玻璃的制作方法与上述的强化玻璃的加工方法同样。也就是说，将具有表面强化层的强化玻璃(具体地说，母材材质：铝硅酸盐玻璃、母材厚度为0.7mm、表面强化层为40μm、表面压缩应力为600MPa)作为大板基板，将12块该大板基板采用UV固化粘接剂等形成层叠固定状态，从而准备出层叠玻璃组，然后从其上切出尺寸如便携式终端用保护玻璃的小块(层叠块1a)，对该切出的小块进行长孔23、方孔24的磨削加工(一次加工)，从而制作出一次加工品(层叠体)。接着，对一次加工品中的外周、长孔23、方孔24进行倒角精加工(二次加工)，从而制作出二次加工品(层叠体)。接着，对二次加工品进行抛光加工，然后将结束加工的层叠块1a的各玻璃板浸渍在热水中进行剥离，从而得到试验用(评价用)玻璃。

在此种情况下，在一次加工、二次加工中，采用上述超声波振动加工装置4，其一次加工、二次加工中的加工条件被设定为如下。

一次加工条件

加工工具8

种类：轴状的金刚石磨石(粒度：#320号)

直径：1.5mm

进给速度：60mm/分钟

振幅：8μm

振动数：63kHz

反馈控制的采样周期(响应速度)：0.2msec

转速：5000rpm

二次加工条件

加工工具8

种类：轴状的金刚石磨石(粒度：#600号)

直径：1.5mm

进给速度：60mm/分钟

振幅：5μm

振动数：63kHz

反馈控制的采样周期(响应速度)：0.2msec

转速：5000rpm

(iii)根据本申请方法得到的试验用玻璃的评价方法及评价结果

确认了图13所示的试验用玻璃的各部A～E中的一次加工后、二次加工后、抛光加工后的加工状态。

据此，正如由图14～图18所示的放大照片图(270倍)所表明的那样，试验用玻璃的各部A～E在任何加工阶段(一次加工后、二次加工后、抛光加工后)的状态下都显示出良好的加工状态。

(2)采用以往的方法制作的试验用玻璃的情况

(i)试验用玻璃的制作

与根据本申请方法得到的试验用玻璃的情况同样，作为试验用玻璃，试制了图13所示的便携式终端用保护玻璃。

(ii)根据以往方法得到的试验用玻璃的具体制作方法及制作条件

与上述的本申请方法同样，准备以层叠状态粘接12块大板基板(具有表面强化层的强化玻璃)而成的层叠体，对该层叠体想要在下述一次加工条件下对其进行一次加工(层叠块1a的切割，长孔23、方孔24的加工)。可是，在层叠块1a的切割后，在一次加工中的长孔23的加工初期，早早地产生了多条裂纹。因此，对于比较例的试验用玻璃的孔加工相关的部分(D部、E部(参照图13))，放弃了包含一次加工中的方孔24的加工在内的以后进行的加工。此外，关于比较例的试验用玻璃的外周面相关的部分(A部～C部(参照图13))中的B部、C部，进行了二次加工、抛光加工，但关于A部因产生了裂纹而放弃了以后的加工。

一次加工条件

加工工具8

种类：轴状的金刚石磨石(粒度：#320号)

直径：1.5mm

进给速度：60mm/分钟

振幅：8μm

振动数：50kHz

反馈控制的采样周期(响应速度)：10msec

转速：5000rpm

(iii)比较例的试验用玻璃的评价方法及评价结果

对于比较例的试验用玻璃的各部A～D(参照图13)，确认了一次加工后的加工状态，结果为图19～图21(270倍)、图22(90倍)所示的放大照片所示的结果。也就是说，在比较例的试验用玻璃的各部A～C中，产生了裂纹或规定以上的碎屑，在D部发生了多条大的裂纹，成为作为制品不能成立的品质。在图22中，中央的大孔为形成长孔23之前的加工初期的孔。

图23～图39表示其他实施方式。在该其他实施方式中，对与上述实施方式相同的构成元件标注同一符号，省略其说明。

该实施方式表示有效地利用于上述的超声波振动加工装置4等来高效地生产作为制品玻璃的便携式终端、标牌等的保护用玻璃的具体加工方法(制造方法)，图23表示该加工方法的工序图。

(1)在该加工方法中，作为具有表面强化层3的强化玻璃(具体地说，母材厚度为0.7mm、表面强化层的厚度为40μm以上、表面压缩应力为600MPa以上的强化玻璃)1，准备了将该强化玻璃的大小增大而成的大板基板(以下采用符号1)。该大板基板1如后所述那样为了在加工时用作层叠体1A，将多块该大板基板1以层叠了的状态粘接起来，因此，预先准备大量大板基板1。如图24所示，该各大板基板1被形成为俯视为长方形状，在该各大板基板1上预先印刷有大量框状花纹50(框状花纹组)和作为两个对位标记的对准标记(对位标记)51。框状花纹50占有便携式终端、标牌等的保护用玻璃的周缘部，在该保护用玻璃用于便携式终端、标牌等的情况下，利用该保护用玻璃的框状花纹50，在该便携式终端、标牌等中划分出长方形状的显示画面。在各大板基板1中，相同的该大量框状花纹50以在大板基板1上纵横排列的方式构成多列，为了由切割(dicing)刀片进行的切割加工，在该框状花纹50的各列间隔开有呈直线状延伸的少许间隔52。对准标记51分别设置在大板基板1的周缘部中的一组的一对对置边(长边)附近，该两对准标记51以在另一组的一对对置边(短边)的排列方向上分开的状态配置。该两个对准标记51相对于大量框状花纹50成为规定的配置关系，该大量框状花纹50和两个对准标记51之间的规定的配置关系在各大板基板1中是通用的。

另外，在本实施方式中，为了构成上述的层叠体1A的最外表面(表面、背面)，准备了罩面玻璃1n。罩面玻璃1n采用与化学强化玻璃不同且不具有表面强化层的普通玻璃，该罩面玻璃1n的大小为与所述大板基板1相同的大小。该罩面玻璃1n是透明的，在其外表面上什么也没有印刷。

(2)在这样的准备的条件下，在本实施方式的加工方法中，如图23、图25所示，首先，执行“对罩面玻璃1n进行的印刷工序”。

在该工序中，为了执行该工序，设置有：俯视为长方形状的第1基台54；设于该第1基台54上的两个定位销55；在第1基台54的下方侧且在该第1基台54的宽度方向两侧配置的两台检测照相机56；和分别与所述各检测照相机56对应地设置在第1基台54的上方侧的两台标记印刷用喷墨头57。

第1基台54具有能够载置大板基板1的平坦的上表面，该上表面形状与大板基板1等的形状(板面形状)相似，同时使其比该大板基板1稍大。因此，在操作者看到该第1基台54的上表面形状的情况下，能够把握如何在该上表面上配置大板基板1。

两个定位销55位于第1基台54的上表面上，其中一个定位销55配置在一组的一对对置边(长边)中的一个边附近，另一定位销55配置在另一组的一对对置边(短边)中的一个边附近。由此，在将大板基板1载置在第1基台54上、使该大板基板1的外周面与两个定位销55抵接了时，一个定位销55与大板基板1的长边部分抵接，另一个定位销55与大板基板1的短边部分抵接，大板基板1被定位于第1基台54上的规定位置。

各检测照相机56被分别搭载于能够通过操作者的手工操作而移动的移动单元58上，通过该各移动单元58的移动，各检测照相机56能够在第1基台54的下方侧移动。各检测照相机56具有拍摄上方区域的功能，该拍摄出的内容与表示拍摄中心(位于检测照相机的轴线上)的基准标记一起显示在监视器(图示略)上。

各标记印刷用喷墨头57分别搭载于所述各移动单元58上。各喷墨头57以与各检测照相机56对置的状态分别配置在所述各检测照相机56的上方(配置于同一轴线上)，各喷墨头57通过各移动单元58的移动而在第1基台54的上方与各检测照相机56同步地移动。

在这样的构成下，在执行该工序时，首先，在第1基台54上载置大板基板1(印刷有大量框状花纹50的大板基板)，在该大板基板1上载置罩面玻璃1n。然后，使该重叠后的大板基板1及罩面玻璃1n的两外周面与第1基台54上表面上的两个定位销55抵接，利用该两定位销55将重叠后的大板基板1及罩面玻璃1n定位于第1基台54上的规定位置。

当大板基板1及罩面玻璃1n被定位在第1基台54上的规定位置，则操作者使各移动单元58移动，使各检测照相机56(轴心)和大板基板1的各对准标记51位于沿着上下方向延伸的同一轴线上。

在该情况下，在第1基台54上，在大板基板1中的各对准标记51的预想配置区域中预先形成有开口(图示略)，各检测照相机56能够透过该开口进行各对准标记51的检测操作。另外，在操作者确定移动单元58的移动位置时，基于来自检测照相机56的输出信号来进行被显示在监视器上的对准标记51和基准标记(表示拍摄中心的监视器上的标记：图示略)之间的对位。

当进行各检测照相机56(监视器上的基准标记)相对于各对准标记51的对位，则利用移动单元58使喷墨头57下降，利用该喷墨头57在罩面玻璃1n上印刷对位标记53。由此，印刷在罩面玻璃1n上的对位标记53与大板基板1的对准标记51重叠地配置。

另外，在该工序中，如图25所示，也设置有能够沿着第1基台54的长度方向及宽度方向移动的印刷单元59。印刷单元59具有对罩面玻璃1n进行打印的喷墨头60和使墨固化的固化灯单元61，该印刷单元59基于上述的检测照相机56的位置信息(对准标记51位置)来在罩面玻璃1n上按照每个大板基板1的框状花纹50进行移动，同时在该各框状花纹50内，为了打印及其固化而能够细微地移动。该印刷单元59的喷墨头60在罩面玻璃1n上的该各框状花纹50内除了打印制品管理编号之外还打印被输入到未图示出来的控制单元(存储机构)中的预定加工条件等，通过对该打印内容和最终的加工结果(超声波振动加工结束后的加工结果)进行比较，大量地获得用于得到良好的制品玻璃的加工条件。

当对这样的罩面玻璃1n进行了对位标记53的印刷等，就去除该罩面玻璃1n，向载置到第1基台54上的大板基板1上载置下一个新的罩面玻璃1n。然后，对该新的罩面玻璃1n进行与上述同样的操作，在该新的罩面玻璃1n上印刷对位标记53等。

此外，在图25中，罩面玻璃1n是透明的，因此，能够隔着罩面玻璃1n看到被印刷在大板基板1上的大量框状花纹50。

(3)接着，如图23所示，执行“粘接剂的涂敷工序”。其原因在于，加工对象为由多块大板基板1层叠而成的层叠体1A。特别是在本实施方式中，作为层叠体1A，可形成最上层和最下层为罩面玻璃1n的结构。

因此，在该工序中，如图26所示，在第2基台63上，首先，载置成为层叠体1A的最下层的罩面玻璃1n(印刷有对位标记53的罩面玻璃)，使该罩面玻璃1n与在第2基台63上在其半周长的范围内配置的定位块64抵接而定位。然后，采用可移动的粘接剂涂敷用喷涂器65并以规定的图案在该第2基台63上的罩面玻璃1n上涂敷粘接剂。

作为该粘接剂，采用UV固化粘接剂等通过紫外线固化且通过热水就能将其溶化的粘接剂。其原因在于，既要迅速地使粘接剂固化，又需要在最终形成了制品玻璃的层叠体1A之后将该层叠体1A作为各制品玻璃而剥离。

此外，虽然在图26中为了明确地表示罩面玻璃1n的存在，以罩面玻璃1n的下方侧看不透的方式表示，但罩面玻璃1n具有透明性。

(4)接着，如图23所示，执行“玻璃的粘合及粘接剂的压延工序”。

在该工序中，如图27所示，首先，将在前面的工序中进行了粘接剂涂敷的罩面玻璃1n以使其粘接剂涂敷面朝向上侧的方式载置在第3基台67上，在将该罩面玻璃1n利用未图示出来的定位销定位之后，利用真空吸引装置(图示略)将其吸引固定于第3基台67上。接下来，将大板基板1层叠在该第3基台67上的罩面玻璃1n上，使载置有它们的第3基台67利用输送单元68而朝向压延辊69移动。利用该移动，罩面玻璃1n和大板基板1之间的粘接剂被压延，从该两玻璃1n、1露出来的粘接剂被回收于刮板/粘接剂回收托盘70中。

(5)接着，如图23所示，执行“层叠对位调整及粘接剂的临时固化工序”。

在该工序中，为了执行该工序，如图28所示，设置有：作为调整用基台的俯视为长方形状的第4基台72；将第4基台72夹在中间地上下配置的两组的一对检测照相机73a、73b(对位部)；和使粘接剂临时固化的临时固化用灯装置74。

第4基台72具有能够载置所述大板基板1及罩面玻璃1n的平坦的上表面，为了使操作者知晓大板基板1等的概略的配置朝向、配置区域等，在所述上表面上设置有配置区域导向块(图示略)。基于此，考虑大板基板1的各对准标记51的想定配置区域，在第4基台72上分别形成有比该想定配置区域稍宽的开口(图示略)。另外，在第4基台72上，除了上述开口之外还适当地形成有开口(图示略)，该开口与真空吸引装置(图示略)相连。

如图28所示，各组的一对检测照相机73a、73b分别安装于相对于第4基台72处于固定关系的支承部件75，各组的一对检测照相机73a、73b相对于第4基台72为固定状态。各组的一对检测照相机73a、73b中的一个作为下侧检测照相机73a配置于第4基台72的下侧，另一个作为上侧检测照相机73b配置于第4基台72的上侧。该下侧检测照相机73a和上侧检测照相机73b以彼此对置的方式配置，被设定为：两照相机73a、73b的拍摄中心被配置在沿着上下方向延伸的同一轴线上。

该两组的检测照相机73a、73b从平面上来看以沿着其长度方向分开的方式配置在第4基台72的宽度方向两侧，该两组的检测照相机73a、73b之间的平面上的距离(连结各组中的下侧检测照相机73a和上侧检测照相机73b的轴线与第4基台72的交点之间的距离)与上述的大板基板1中的两个对准标记51间的距离相等。由此，在将大板基板载置在第4基台72上、使该各对准标记51位于将各组中的下侧检测照相机73a和上侧检测照相机73b连结的轴线上时，如图28所示，成为如下配置：大板基板1收纳于第4基台72内，同时大板基板1的短边沿着第4基台72的短边，大板基板1的长边沿着第4基台72的长边。

临时固化用灯装置74是照射用于促进粘接剂的固化的照射光的装置。在本实施方式中，作为用于罩面玻璃1n和大板基板1之间的粘接剂，采用UV固化粘接剂，因此，临时固化用灯装置74照射紫外线。在该情况下，由临时固化用灯装置74进行的紫外线照射虽然使UV固化粘接剂固化到某种程度，但还不至于完全固化。

在这样的构成下，在执行该工序时，首先，将在前面的工序中粘合后的罩面玻璃1n和大板基板1以罩面玻璃1n处于下侧的方式载置于第4基台72上。然后，使罩面玻璃1n在第4基台72上移动，使其各对位标记53位于各组的下侧检测照相机73a的轴线上。当该对位结束，则利用真空吸引装置(图示略)将罩面玻璃1n吸引固定于第4基台72上。

另一方面，对于载置在罩面玻璃1n上的大板基板1，此时，粘接剂还未固化，大板基板1能够在罩面玻璃1n上移动，因此利用这样的移动，使其各对准标记51位于各组的上侧检测照相机73b的轴线上。当然，作为上述各对位，操作者一边观察监视器一边进行使各标记51(53)与检测照相机73的基准标记对齐的操作。这样，对于在配置于下侧的罩面玻璃1n的对位，采用下侧检测照相机73a；对于配置于上侧的大板基板1的对位，采用上侧检测照相机73b，因此，即使由于介于罩面玻璃1n和大板基板1之间的粘接剂而使它们的透明性下降，对位精度也不会如仅使用下侧或上侧检测照相机73中的任一个时那样地下降，能够确保高的对位精度。

当罩面玻璃1n的对位标记53和大板基板1的对准标记51被对位，则利用临时固化用灯装置74照射紫外线，使粘接剂临时固化，罩面玻璃1n和大板基板1以某种程度以上的粘接力被临时一体化。虽然该临时一体化基于粘接剂的临时固化，但是在人力的作用下，罩面玻璃1n和大板基板1无法容易地剥离或者错开。

(6)接着，当罩面玻璃1n和大板基板1之间的临时固化处理结束，则如图23、图29所示，将它们再次返回到“粘接剂涂敷工序”。

在该工序中，使将罩面玻璃1n和大板基板1临时一体化而成的物品(以下称为临时一体化物)1A’以罩面玻璃1n处于下侧的状态载置在第2基台63上，与上述的“粘接剂涂敷工序”情况同样(参照图26)地对大板基板1进行粘接剂的涂敷(参照图29)。

(7)接着，如图23所示，将在大板基板1上涂敷有粘接剂的临时一体化物1A’再次搬运到“玻璃的粘合及粘接剂的压延工序”。

在该工序中，将临时一体化物以涂敷有粘接剂的大板基板1处于上侧的状态载置在第3基台67上，在该大板基板1上重叠新的大板基板1之后，与上述同样地通过压延辊69来压延大板基板1间的粘接剂(参照图27)。

(8)接着，如图23所示，将结束了前面的工序的临时一体化物1A’再次搬运到“层叠对位调整及粘接剂的临时固化工序”。

在该工序中，首先，将在前面的工序中新层叠了大板基板1而成的临时一体化物以罩面玻璃处于下侧的状态载置在第4基台72上。然后，与上述同样地将最下层的罩面玻璃1n的对位标记对位在下侧检测照相机73a的轴线上，当该对位结束，就利用真空吸引装置(图示略)将罩面玻璃1n吸引固定于第4基台72上。

当罩面玻璃1n被吸引固定于第4基台72上，就使当前配置在最上层的大板基板1移动以使得其各对准标记51位于各组的上侧检测照相机73b的轴线上。

当该对位结束，就再次利用由临时固化用灯装置74照射的照射光使新的大板基板1和其下侧的大板基板1之间的粘接剂临时固化，将临时一体化物制成罩面玻璃1n、大板基板1及大板基板1这3块。

(8)这样一来，如图23所示，反复进行“粘接剂的涂敷工序”、“玻璃的粘合及粘接剂的压延工序”、“层叠对位调整及粘接剂的临时固化工序”，由此，多块大板基板1被层叠并被粘接。然后，最终罩面玻璃1n以层叠的状态粘接于大板基板1上，最下层以及最上层均配置有罩面玻璃1n。

当然，此时，各大板基板1的框状花纹50、进而各大板基板1的对准标记51和罩面玻璃1n的对位标记53以对齐的状态重叠。

(9)当制成最上层和最下层为罩面玻璃1n、它们之间层叠规定块数的大板基板1的物品，则如图23所示，将该临时一体化物1A’搬运到正式固化工序。

在该正式固化工序中，如图30所示，设置有滑动式的拉出单元76，在该各拉出单元76中分别设置有正式固化用灯77。

在该工序中，将结束了作为前面的工序的“层叠对位调整及粘接剂的临时固化工序”的临时一体化物1A’以拉出到各拉出单元76内的状态进行设置，将其恢复原状之后，使正式固化用灯77点亮。正式固化用灯77在点亮开始后点亮规定时间，以该点亮使临时一体化物1A’的粘接剂完全固化。由此，可获得层叠体1A。

(10)当层叠体1A被形成，则如图23所示，将该层叠体1A搬运到“移载板的安装工序”。

在该移载板安装工序中，利用在“层叠对位调整及粘接剂的临时固化工序”中所采用的装置类，但在该装置类中也设置有用于执行该工序的独自结构，该独自结构与新的相关部件一起被利用。

具体地说，在作为装置类之一的第4基台72上立设有筒状的第1定位筒部78a、第2定位筒部78b(定位参与部)，为了利用该第1定位筒部78a、第2定位筒部78b，准备了作为移载部件的移载板80和定位销81a、81b(参照图28、图31)。

第1定位筒部78a、第2定位筒部78b被配置在第4基台72的宽度方向两侧，该第1定位筒部78a、第2定位筒部78b位于被定位在第4基台72上的大板基板1的外侧区域。在本实施方式中，第1定位筒部78a、第2定位筒部78b以将第4基台72(定位后的大板基板1)的长度方向中央作为基准呈交错的配置关系而对称地配置。这如后述那样，将第1、第2定位筒部86a、86b相对于恰当地配置在夹具板82上的大板基板1的框状花纹50组的配置位置反映为第1定位筒部78a、第2定位筒部78b相对于被定位在第4基台72上的大板基板1的框状花纹50组的配置位置。

移载板80呈俯视为长方形状，其长度方向长度少许超过大板基板1的宽度方向长度。在该移载板80上，在其长度方向两侧分别形成有第1定位孔80a、第2定位孔80b(定位相关部)，该两定位孔80a、80b位于移载板80的构成对角的角部。该两定位孔80a、80b与所述第1、第2定位筒部78a、78b相对应，在第1定位筒部78a的开口和第1定位孔80a的开口重叠时，能够将第2定位筒部78b的开口和第2定位孔80b的开口重叠。

第1定位销81a、第2定位销81b是与上述的第1定位筒部78a、第2定位筒部78b、第1定位孔80a、第2定位孔80b协同动作而将移载板80定位于第4基台72上，在该定位时，第1定位销81a向第1定位筒部78a和定位孔80a中插入，第2定位销81b向第2定位筒部78b和定位孔80b中插入。

在这样的构成下，在执行该工序时，首先，将层叠体1A载置在第4基台72上，与上述的层叠对位调整工序的情况同样地利用各下侧检测照相机73a，使罩面玻璃1n的各对位标记(大板基板1的对准标记)位于该各下侧检测照相机的各轴线上。当该定位结束，就利用未图示出来的真空吸引装置将该定位后的层叠体1A吸引固定在第4基台72上。

接下来，将涂敷有粘接剂的移载板80以使其存在粘接剂的那一侧朝向层叠体1A的状态层叠于该层叠体1A(罩面玻璃1n(最上层玻璃))上，同时将移载板80中的第1定位孔80a的开口与第1定位筒部78a的开口重叠，将第2定位孔80b的开口与第2定位筒部78b的开口层叠。当该操作结束，则向第1定位筒部78a和第1定位孔80a插入第1定位销81a，同时向第2定位筒部78b和第2定位孔80b插入第2定位销81b，将移载板80以定位后的状态粘接于层叠体1A(罩面玻璃1n)上(参照图31)。

在该情况下，在本实施方式中，将移载板80粘接于层叠体1A的粘接剂采用与将大板基板1等彼此粘接的粘接剂不同的粘接剂。其原因在于，如后所述，将移载板80从层叠体1A切下来的时机与将大板基板1等彼此剥离的时机不同。因此，作为粘接剂，例如采用由丙烯酸樹脂和丙烯酸聚合体构成的改性丙烯酸脂系结构粘接剂。

(11)当移载板80被粘接在层叠体1A的上表面，则如图23所示，将粘接有该移载板80的层叠体1A搬运到“切割加工(切割加工)工序”。

在该工序中，如图32所示，设置有夹具板82、能够以可装卸的方式保持于该夹具板82上的大量布置夹具83和切割刀片84(参照图35)。

如图32所示，夹具板82以与上述的第1～第4基台54、63、67、72同样的大小被形成为俯视为长方形状，在该夹具板82的上表面上设置有大量的凹处85、筒状的第1定位筒部86a、筒状的第2定位筒部86b和定位孔87。关于大量的凹处85，以使该各凹处85的在平面上的大小小于上述的大板基板1的框状花纹50，并且与该大板基板1中的大量框状花纹50相对应的状态配置，该大量凹处85沿着夹具板82的长度方向及宽度方向排列而构成多列。第1定位筒部86a、第2定位筒部86b立设在夹具板82上的宽度方向两侧，该第1定位筒部86a、第2定位筒部86b以将第4基台72的长度方向中央作为基准呈交错的状态对称地配置。更具体地说，第1定位筒部86a、第2定位筒部86b相对于恰当地配置在夹具板82上的大板基板1的框状花纹50组的配置位置与第1定位筒部78a、第2定位筒部78b相对于被定位在第4基台72上的大板基板1的框状花纹50组的配置位置相同。因此，该第1定位筒部86a、第2定位筒部86b的开口被设定为：在上述的移载板80的第1定位孔80a与其中的第1定位筒部86a的开口重叠时，能够使移载板80的第2定位孔80b与第2定位筒部86b的开口重叠。在夹具板82的上表面上针对各凹处85形成有两个定位孔87，该两个定位孔87在夹具板82的宽度方向上针对各凹处85的每个以夹着该各凹处85的方式配置。

如图32所示，大量各布置夹具83能够以可装卸的方式嵌合在上述各凹处85内。如图33所示，在该各布置夹具83上，设置有嵌合凸部88、设于该嵌合凸部88的基端侧且表面(外表面、上表面)为平坦面的支承台部89和形成于该支承台部89的背面上的定位孔90。嵌合凸部88与凹处85的大小相对应地形成，嵌合凸部88和凹处85能够以可装卸的方式嵌合。因此，通过该嵌合凸部88和凹处85之间的嵌合，在夹具板82上进行布置夹具83的定位。支承台部89被形成为比嵌合凸部88大且比大板基板1的框状花纹50稍微缩小的俯视为长方形状，在嵌合凸部88与凹处85嵌合了时，与支承台部89的壁厚相应的量从夹具板82的上表面突出来。在支承台部89的背面的周缘部与夹具板82的定位孔87相对应地形成有两个定位孔90，在嵌合凸部88与凹处85嵌合了时，支承台部89背面的各定位孔90和夹具板82的各定位孔87重叠。

对于这样的大量布置夹具83，在该各布置夹具83的嵌合凸部88与各凹处85嵌合了时，该各布置夹具83中的支承台部89的表面采用比大板基板1的框状花纹50的面积稍微缩小的面积形成与该大板基板1的大量框状花纹相同的图案；在使大板基板1的各框状花纹50与夹具板82上的各布置夹具83相匹配地将大板基板1重叠到大量布置夹具83上时，各布置夹具83的支承台部89收纳在各框状花纹50的下方区域内。

另外，布置夹具83排列而形成多列，在其相邻的各列间分别形成有间隙91。因此，为了进行切割加工，可以使切割刀片84进入各间隙91。

在本实施方式中，如图32所示，在夹具板82的下侧设置有电磁吸盘92。该电磁吸盘92利用电磁铁而构成，在布置夹具83(嵌合凸部88)与夹具板82中的各凹处85嵌合的情况下，在电磁吸盘92工作了时，该布置夹具83被牢固地保持于夹具板82上。

切割刀片84(参照图35)是着眼于基于其刚性等能够比采用超声波振动加工装置4中的轴状的加工工具8时更快地进行切割加工等而被采用的。作为该切割刀片84，可以采用例如金刚石刀片等。该切割刀片84的该移动驱动源等由未图示出来的控制单元控制，该控制单元基于夹具板82的位置、夹具板82上的布置夹具83的配置位置、布置夹具83的大小、相邻的布置夹具83之间的间隙91等信息使切割刀片84从层叠体1A切出层叠块1a。

在这样的构成下，在执行该工序时，首先，将未图示出来的定位销插入在夹具板82上针对各凹处85的每个设置的定位孔87，在将该定位销立设在夹具板82上之后，将布置夹具83分别嵌合于各凹处85，同时将上述定位销插入布置夹具83的定位孔90。然后，使电磁吸盘92工作，使各布置夹具83吸附于夹具板82上。由此，各布置夹具83在预先确定的规定位置被牢固地保持于夹具板82上(参照图32)。

另一方面，当各布置夹具83被牢固地保持于夹具板82上，则在将粘接剂涂敷到粘接有移载板80的层叠体1A的下表面之后，将该层叠体1A搬运到夹具板82上。然后，使移载板80中的第1定位孔80a与第1定位筒部86a的开口对准，同时使移载板80中的第2定位孔80b与第2定位筒部86b的开口对准，并且使层叠体1A下降到夹具板82上，向第1定位孔80a和第1定位筒部86a插入第1定位销81a，向第2定位孔80b和第2定位筒部86b插入第2定位销81b。由此，移载板80被定位于夹具板82上，在层叠体1A的各框状花纹50分别恰当地配置在各布置夹具83上的状态下，层叠体1A被粘接于各布置夹具83。其原因在于，第1定位筒部86a、第2定位筒部86b相对于恰当地配置在大量布置夹具83上的大板基板1的大量框状花纹50组的配置位置被反映为第1定位筒部78a、第2定位筒部78b相对于被定位在第4基台72上的层叠体1A中的大量框状花纹50组的配置位置。

在本实施方式中，作为在粘接有移载板80的层叠体1A的下表面所采用的粘接剂，不采用上述的UV固化粘接剂。其原因在于，在采用了UV固化粘接剂的情况下，在夹具板82附近，必须设置使粘接剂固化的固化用灯装置。因此，作为粘接剂，采用即使没有固化用灯装置的照射也固化的粘接剂，例如上述的改性丙烯酸脂系结构粘接剂等。

当粘接有移载板80的层叠体1A被粘接于各布置夹具83，则将移载板80从层叠体1A卸下。在该情况下，在将移载板80从层叠体1A卸下时，施加使移载板80和层叠体1A之间的粘接破坏的外力。此时，移载板80被粘接在层叠体1A中的最上层的罩面玻璃1n上，因此，即使该罩面玻璃1n损伤也不会成为问题。

接下来，如图35所示，采用切割刀片84，在考虑布置夹具83间的间隙91的同时沿层叠体1A中的框状花纹50的列间进行切割加工。之所以采用切割刀片84来进行切割加工，是因为切割刀片84的刚性比超声波振动加工装置4中的轴状的加工工具8的刚性高，以该切割刀片84的切割加工从层叠体1A(大板基板1)切出层叠块1a(从层叠体1A切出的物品：制品用坯板)比采用超声波振动加工装置4中的轴状的加工工具8切出层叠块1a更快速。

如图36、图37所示，切割加工如下所述：在层叠体1A中切出各框状花纹50，在各布置夹具83上以被粘接在布置夹具83的上表面上的状态切出层叠块1a。

(12)当被粘接于布置夹具83上的层叠块1a被切出，则如图23所示，将粘接于该布置夹具83上的层叠块1a搬运到“超声波振动加工工序”。

在该工序中，设置有作为加工用基台的加工用夹具板96和上述的超声波振动加工装置4。

加工用夹具板96为与所述夹具板82基本上相同的构成，该加工用夹具板96与夹具板82的不同点仅在于下述两点：省略了第1、第2定位筒部86a；和相邻的凹处85之间的间隔被增大从而在使粘接有层叠块1a的布置夹具83与各凹处85嵌合时，在相邻的层叠块1a间确保了规定的间隙97以便能够进行超声波振动加工。因此，对于与夹具板82相同的构成元件，标注同一符号而省略其说明。

上面已经详细地描述了超声波振动加工装置4，在超声波振动加工装置4中，不仅设置有使外罩6沿着上下方向升降运动的升降装置10(参照图2)，而且还设置有使包括升降装置10的外罩6沿着前后左右移动的移动装置(图示略)。该移动装置的移动、升降装置10的升降运动是基于考虑了被布置于加工用夹具板96上的布置夹具83、被粘接在该布置夹具83上的层叠块1a等的信息的设定内容，由控制单元U(参照图3)来控制。

在这样的构成下，在执行该工序时，如图36、图38所示，将粘接有已切出的层叠块1a的布置夹具83从夹具板82取出，将它们布置于加工用夹具板96的各凹处85内(使嵌合凸部88与凹处85嵌合等)，同时利用电磁吸盘92将各布置夹具83牢固地保持于加工用夹具板96上。

在这样的状态下，如图39所示，采用超声波振动加工装置4对层叠块1a进行孔等的加工(包含精加工)、对层叠块1a的外周面进行加工(包含精加工)。

(13)当超声波振动加工装置4的加工结束，则粘接有层叠块1a的布置夹具83如图23所示那样被搬运到“剥离操作工序”。其原因在于，需要在将层叠块1a从布置夹具83剥离的同时，将罩面玻璃1n和制品玻璃、制品玻璃彼此之间剥离，从而获得制品玻璃(制品)。

因此，在该工序中，首先，通过对层叠块1a和布置夹具83施加剥离的外力，将这两者1a、83剥离。接下来，将层叠块1a放入加入有热水的温浴槽，使层叠块1a等中的粘接剂溶化。由此，可获得作为制品的制品玻璃。

因而，在上述实施方式中，通过采用切割刀片84对层叠体1A进行切割加工，从而切出层叠块1a，因此，与采用超声波振动加工装置4的轴状的加工工具8来切出层叠块1a时相比，能够较快地切出层叠块1a。另一方面，关于外周面，因为采用超声波振动加工装置4的轴状的加工工具8对层叠块1a的外周面进行加工、精加工，因此，即使因切割刀片84的切割加工而在层叠块1a的外周面产生了碎屑，基本上也可通过将要进行的超声波振动加工装置4的加工工具8的加工来修补。因此，能够在确保制品玻璃的品质的同时极力缩短生产1块制品玻璃所需的时间。

另外，通过能够将大量布置夹具83规则地配置在夹具板82上的规定位置并且采用移载板80等，从而形成为大板基板1的各框状花纹50恰当地配置在该各布置夹具83上的状态，并且能够将大板基板1粘接于大量布置夹具83上，因此，能够使由切割刀片84进行的切割加工为单纯的动作的反复，作为层叠块1a，能够确实地从大板基板1切出相同的层叠块1a，同时能够简化切割刀片84的切割加工控制。

在该情况下，能够不采用照相机、传感器类等而仅采用移载板80、定位筒部78a、78b、86a、86b等就将大板基板1的各框状花纹50恰当地配置在夹具板82的布置夹具83上，能够不需要复杂且高价的设备。另外，能够采用不会像照相机、传感器类那样产生故障、耐久性高的构件。

而且，将粘接有上述层叠块1a的布置夹具83分别保持于加工用夹具板96的规则的各凹处85，因此，相同形状的层叠块1a规则地排列在加工用夹具板96上，能够使超声波振动加工装置4进行规则的操作。因此，也能够简化超声波振动加工装置4的控制。

以上对实施方式进行了说明，但在本发明中包含如下方案。

(1)在技术方案9的构成下，将目标振幅设定在3μm～9μm的范围的规定振幅的同时，将目标振动数设为60kHz～64kHz的范围的规定振动数。由此，基于本申请发明人所发现的见解，作为加工工具的具体的振幅及振动数，能够提供从强化玻璃的加工精度的观点来看优选的振幅及振动数。

在该情况下，之所以将目标振幅设为3μm～9μm，是因为在低于3μm时，加工能力并不充分(由于切削屑等残留而会增大切削阻力等)，因此，会在强化玻璃上也产生裂纹、规定以上的碎屑等，另一方面，在超过了9μm的情况下，无法追踪与加工相伴随的强化玻璃内部的应力变化，因此，在强化玻璃上产生裂纹、规定以上的碎屑等的可能性增大。另外，之所以将目标振动数设为60kHz～64kHz，是因为与目标振幅的情况同样，在低于60kHz时，加工能力并不充分，因此，会在强化玻璃产生裂纹等，另一方面，在超过了64kHz的情况下，无法追踪与加工相伴随的强化玻璃内部的应力变化，在强化玻璃上产生裂纹等的可能性增大。

(2)在技术方案9的构成下，将加工工具的转速设定为2000rmp～30000rmp的范围内的规定转速。由此，基于本申请发明人的见解，在上述的励振条件下，能够使加工工具的转速从对具有强度高的表面强化层的强化玻璃进行加工的观点来看为优选的转速。

在该情况下，之所以将加工工具的转速设为2000rmp～30000rmp的范围内的规定转速，是因为在低于2000rmp时，对强化玻璃的加工效果并不充分，另一方面，若超过30000rmp，则相对于加工面产生滑移现象(加工阻力下降)从而加工的效果下降，同时在耐久性方面产生问题。

符号的说明

1    大板基板(强化玻璃)

1A   层叠体(大板基板)

1a   层叠块

1n   罩面玻璃

3    表面强化层

4    超声波振动加工装置

7    励振装置(励振机构)

8    加工工具

50   框状花纹

51   对准标记(对位标记)

53   对位标记

72   第4基台(调整用基台)

73a  检测照相机(对位部)

73b  检测照相机(对位部)

78a  第1定位筒部(定位参与部)

78b  第2定位筒部(定位参与部)

80   移载板(移载部件)

80a  第1定位孔(定位相关部)

80b  第2定位孔(定位相关部)

82   夹具板(切割加工用基台)

83   布置夹具(独立基座)

84   切割刀片

86a  第1定位筒部(定位部)

86b  第2定位筒部(定位部)

91   间隙

96   加工用夹具板(加工用基台)

U    控制单元(控制手段)

Claims (9)

1.一种强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，在使加工工具一边旋转一边励振的状态下，用所述加工工具对作为具有表面强化层的化学强化玻璃的制品用坯板进行加工，其中，

在所述加工工具对所述制品用坯板进行加工之前，通过采用了切割刀片的切割加工从作为具有表面强化层的化学强化玻璃的大板基板切出所述制品用坯板，

在所述加工工具对所述制品用坯板进行加工时，也对所述制品用坯板的外周面进行精加工。

2.根据权利要求1所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

准备：切割加工用基台，在该切割加工用基台的上表面上能够使多个独立基座以隔开间隙地排列的状态按照可装卸的方式保持；和加工用基台，在该加工用基台的上表面上能够使所述多个独立基座以用比所述切割加工用基台中的相邻独立基座之间的间隙更大的间隙排列的状态按照可装卸的方式保持，

首先，在将所述多个独立基座保持在所述切割加工用基台上之后，将所述大板基板以覆盖所述多个独立基座的方式安装在所述多个独立基座的上表面上，

接着，在所述切割加工用基台中的各相邻独立基座之间的间隙的上方区域中，用所述切割刀片切割所述大板基板，从而以分别安装在所述各独立基座上表面上的状态切出所述各制品用坯板，

接着，将安装有所述制品用坯板的各独立基座保持在所述加工用基台上，

接着，利用所述加工工具对所述加工用基台上的各独立基座上的制品用坯板进行加工，从而在所述各独立基座上分别形成制品玻璃，

之后，从所述各独立基座卸下所述各制品玻璃。

3.根据权利要求2所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

作为所述大板基板，准备印刷有框状花纹组和多个对位标记的大板基板，所述框状花纹组在所述多个独立基座被保持在所述切割加工用基台上的状态下以适合的状态重叠在所述多个独立基座上，所述多个对位标记相对于所述框状花纹组具有规定的配置关系，

作为所述切割加工用基台，准备具有多个定位部的切割加工用基台，所述多个定位部在所述切割加工用基台上保持有所述多个独立基座的状态下相对于以适合的状态重叠在所述多个独立基座上的所述大板基板的框状花纹组为规定的位置关系，

而且，准备调整用基台和移载部件，

作为所述调整用基台，准备如下调整用基台，其具有：能够载置所述大板基板的载置面；对载置在所述载置面上的大板基板的多个对位标记进行对位的多个对位部；定位参与部，在所述多个各对位标记与所述多个各对位部对位了的状态下该定位参与部相对于所述大板基板的框状花纹组的位置关系与在所述切割加工用基台上所述多个定位部相对于以适合的状态重叠在所述多个独立基座上的所述大板基板的框状花纹组的位置关系相同，

作为所述移载部件，准备具有相对于所述多个定位部及所述多个定位参与部能够使定位关系成立的多个定位相关部的移载部件，

并且，在所述调整用基台上载置所述大板基板，从而使所述大板基板的多个各对位标记与所述多个各对位部对位，

接着，在使所述多个各对位标记与所述多个各对位部对位了的状态下，在维持在将所述移载部件的多个各定位相关部与所述多个各定位参与部定位了的状态的同时，将所述移载部件安装于所述调整用基台上的所述大板基板上，

接着，将安装有所述移载部件的大板基板搬运到所述切割加工用基台上，在维持在将所述移载部件的多个各定位相关部与所述切割加工用基台上的多个各定位部定位了的状态的同时，将安装有所述移载部件的大板基板安装于被保持在所述切割加工用基台上的多个独立基座上，

之后，将所述移载部件从所述大板基板卸下。

4.根据权利要求3所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

在将所述移载部件安装于所述大板基板上时，采用粘接剂。

5.根据权利要求4所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

在将所述移载部件粘接于所述大板基板上之前，将罩面玻璃粘接于所述大板基板上，

将所述移载部件隔着所述罩面玻璃粘接于所述大板基板上。

6.根据权利要求5所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

在将罩面玻璃粘接于所述大板基板上时，采用通过热水就能溶化的粘接剂。

7.根据权利要求3所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

作为所述大板基板，采用多块大板基板层叠并配有该各大板基板的框状花纹组而成的层叠体，

在形成所述层叠体时，对所述层叠体中的各大板基板的多个各对位标记与所述调整用基台中的多个各对位部进行对位。

8.根据权利要求7所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

所述调整用基台中的各对位部分别由配置在沿着上下方向延伸的轴线上的一对检测照相机构成，

构成所述层叠体的各大板基板利用通过特定照射光固化的粘接剂彼此粘接起来，

在形成所述层叠体时，使配置于最下层的大板基板的对位标记位于下侧的检测照相机的轴线上，另一方面，对于层叠于所述最下层的大板基板上的大板基板，在每次进行各层叠时，在使所述大板基板的对位标记位于上侧的检测照相机的轴线上之后，对介于该层叠后的大板基板及其下侧的大板基板之间的粘接剂照射特定照射光。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的强化玻璃的加工方法，其特征在于，其特征在于，

以所述加工工具的振幅及振动数分别接近于目标振幅及目标振动数的方式反馈控制所述加工工具对作为所述强化玻璃的制品用坯板的励振，同时将所述目标振幅及目标振动数分别设定为不属于伴随着所述制品用坯板的加工而在所述制品用坯板的厚度方向各部发生变化的值且不属于使所述制品用坯板的品质恶化的品质恶化发生值的范围，

而且，作为所述反馈控制中的采样周期，采用0.3msec以下的规定采样周期。