CN103553058A - 一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201310555329.XA CN103553058B (zh) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103553058A true CN103553058A (zh) | 2014-02-05 |
CN103553058B CN103553058B (zh) | 2015-07-22 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN201310555329.XA Active CN103553058B (zh) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN103553058B (zh) |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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