CN103159027B - 顶板设置型的物品运送设备 - Google Patents

Abstract

提供一种行进路径的布置的制约少的顶板设置型的物品运送设备。具备沿轨道横宽方向隔开间隔的左右一对的轨道部（1a）地配设物品运送车（2）的导轨（1）。导轨（1）在行进路径（4）的三方向分支部（M3）处分支为直进路径（DS）、左侧分支路（DL）、右侧分支路（DR）。沿着直进路径（DS）的左右一对的轨道部（1a）相对于沿着三方向分支部（M3）的上游侧行进路径（DK）的左右一对的轨道部（1a）以沿路径长度方向分离的状态设置。进而，设置有承接支承在上游侧行进路径的左右一对的轨道部（1a）和直进路径（DS）的左右一对的轨道部（1a）之间行进的物品运送车（2）的辅助承接机构。

Description

顶板设置型的物品运送设备

技术领域

本发明涉及一种顶板设置型的物品运送设备。

背景技术

顶板设置型的物品运送设备设置在例如洁净室内的顶板部，用于将收纳半导体基板等的基板的收纳容器作为物品进行运送的用途。而且，在这样的物品运送设备中，在行进路径上设置分支部及合流部，以各种方式令物品运送车行进。例如，设置从环状的行进路径分支而经由对基板进行多种的处理的多个基板处理装置的运出运入部、然后再次合流到环状的行进路径的U字状的行进路径等，在行进路径上设置分支部及合流部而令物品运送车行进。

一般地，物品运送车具备能够升降（升降自如）的物品把持部，在对基板处理装置的运出运入部移载物品时，在停止于与基板处理装置的运出运入部对应的位置的状态下，令物品把持部升降。

日本特开2002-37059号公报（专利文献1）中公开了一种顶板设置型的物品运送设备，在行进路径中设置两方向分支部，其具有直进路径和向左右的一方侧分支的分支路径。例如，也可以使用与该两方向分支部的构成同样的构成而在行进路径中设置两方向合流部，其具有直进合流路和从左右的一方侧合流的合流路。

在顶板设置型的物品运送设备中，设置于行进路径的分支部是两方向分支部、此外设置于行进路径的合流部为两方向合流部，此时，在设定用于令物品运送车行进的行进路径的布置时，在其设定中产生制约。

例如，在行进路径的分支部中，如果能够向左右的两侧分支，则能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。同样地，在行进路径的合流部中，如果能够从左右的两侧合流，则能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。因而，对于专利文献1所公开的那样的顶板设置型的运送设备，期望进一步进行改善。

即，期望提供一种能够制约较少地进行行进路径的布置的设定的顶板设置型的物品运送设备。

发明内容

本发明的顶板设置型的物品运送设备的第1特征构成在于，

具备：物品运送车，具有行进部和位于该行进部的下方的物品保持部，在上述行进部的前后两侧位置的各自上具有左右的行进轮；和

导轨，沿上述物品运送车的行进路径配设，

上述导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具有左右一对的轨道部，上述左右一对的轨道部具有上述行进轮所行进的行进面，

上述导轨具有：将上述行进路径在该行进路径延伸的方向上从上游侧行进路径向下游侧行进路径分支为三方向的三方向分支部、和以从上述三方向分支部分别分支而延伸的状态设置的直进路径、左侧分支路、右侧分支路，

上述直进路径以下述状态构成：沿上述直进路径配设的上述左右一对的轨道部与沿上述三方向分支部中的上述上游侧行进路径配设的上述左右一对的轨道部不连续，沿路径长度方向隔开既定的直进轨道W间隔，

上述左侧分支路以下述状态构成：沿上述左侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部相连，

上述右侧分支路构成为下述状态：沿上述右侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部相连，

上述物品运送车具有：装备在比上述行进部的上述行进轮还靠上方侧位置的路径切换用的被引导体、和切换上述被引导体被引导的状态的行进方向切换机构，

该物品运送设备还具有：承接上述被引导体的上部导轨、承接支承在上述三方向分支部中在上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部与上述直进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车的辅助承接机构，

上述上部导轨以下述状态设置，具备：用于切换为令上述物品运送车沿上述左侧分支路分支行进的左分支行进状态的左分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车沿上述右侧分支路分支行进的右分支行进状态的右分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车直进行进的非分支行进状态的非分支用引导面，

上述行进方向切换机构构成为，将上述被引导体被引导的状态切换为上述被引导体被上述左分支用引导面引导的左分支引导状态、上述被引导体被上述右分支用引导面引导的右分支引导状态、以及上述被引导体被上述非分支用引导面引导的非分支引导状态，

上述左分支用引导面设置为，以抑制上述左分支行进状态的上述物品运送车向右侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述右分支用引导面设置为，以抑制上述右分支行进状态的上述物品运送车向左侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述辅助承接机构设置为，在上述非分支行进状态下承接支承在上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部与上述直进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车。

本发明的顶板设置型的物品运送设备的第2特征构成在于，

具备：物品运送车，具有行进部和位于该行进部的下方的物品保持部，在上述行进部的前后两侧位置的各自上具有左右的行进轮；和

导轨，沿上述物品运送车的行进路径配设，

上述导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具备左右一对的轨道部，上述左右一对的轨道部具有上述行进轮所行进的行进面，

上述导轨具有：将上述行进路径向该行进路径延伸的方向从上游侧行进路径朝向下游侧行进路径从三方向合流的三方向合流部、和以分别与上述三方向合流部连接的状态设置的直进合流路、左侧合流路、右侧合流路，

上述直进合流路以下述状态构成：沿上述直进合流路配设的上述左右一对的轨道部与沿上述三方向合流部的上述下游侧行进路径配设的上述左右一对的轨道部不连续，沿路径长度方向离开既定的直进轨道间隔，

上述左侧合流路以下述状态构成：沿上述左侧合流路配设的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部相连，

上述右侧合流路以下述状态构成：沿上述右侧合流路配设的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部相连，

上述物品运送车具有：装备在比上述行进部的上述行进轮还靠上方侧位置的合流用的被引导体、和切换上述被引导体被引导的状态的合流状态切换机构，

该物品运送设备进而具有：承接上述被引导体的合流用上部导轨、和承接支承在上述三方向合流部中在上述直进合流路的上述左右一对的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车的合流用辅助承接机构，

上述合流用上部导轨以下述状态设置，具备：从上述左侧合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的左合流用引导面、从上述右侧合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的右合流用引导面、从上述直进合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的直进合流用引导面，

上述合流状态切换机构构成为，切换为上述被引导体被上述左合流用引导面引导的左合流引导状态、上述被引导体被上述右合流用引导面引导的右合流引导状态、以及上述被引导体被上述直进合流用引导面引导的直进合流引导状态，

上述左合流用引导面设置为，以抑制从上述左侧合流路向上述下游侧行进路径合流的左合流行进状态的上述物品运送车向右侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述右合流用引导面设置为，以抑制从上述右侧合流路向上述下游侧行进路径合流的右合流行进状态的上述物品运送车向左侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述合流用辅助承接机构设置为，承接支承以从上述直进合流路向上述下游侧行进路径合流的直进合流行进状态在上述直进合流路的上述左右一对的轨道部和上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车。

根据上述第1特征构成，能够令物品运送车在三方向分支部中以非分支行进状态直进行进，此外能够令其以左分支行进状态分支行进、以及能够令其以右分支行进状态分支行进。此外，根据上述第2特征构成，在三方向合流部中，能够以从直进合流路向下游侧行进路径合流的直进合流行进状态令物品运送车行进、以从左侧合流路向下游侧行进路径合流的左合流行进状态令物品运送车行进、以及以从右侧合流路向下游侧行进路径合流的右合流行进状态令物品运送车行进。

即，当令物品运送车在行进路径中的三方向分支部中行进时，能够借助行进方向切换机构切换为左分支引导状态、右分支引导状态、非分支引导状态，从而能够在三方向分支部中左分支行进、右分支行进、以及直进行进。此外，当物品运送车在直进合流路中行进时，切换为由直进合流用引导面引导被引导体的直进合流引导状态，在物品运送车在左侧合流路中行进时，切换为由左合流用引导面引导被引导体的左合流引导状态，在物品运送车在右侧合流路中行进时，切换为由右合流用引导面引导被引导体的右合流引导状态，从而能够令物品运送车以直进合流行进状态、左合流行进状态、以及右合流行进状态行进。

物品运送车的行进部是沿着沿行进路径配设的导轨行进的部件。而且，导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具备左右一对的轨道部，所以将左右一对的轨道部之间的空间用作以悬吊状态相对于行进部支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间，同时令物品运送车沿导轨行进。

因而，在物品运送车在行进路径的三方向分支部中以非分支行进状态直进行进时、以左分支行进状态分支行进时、以及以右分支行进状态分支行进时的任一情况下，都需要确保相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间。同样地，在物品运送车在行进路径的三方向合流部中以直进合流行进状态行进时、以左合流行进状态行进时、以及以右合流行进状态行进时的任一情况下，也都需要确保相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间。

根据上述第1特征构成，直进路径的左右一对的轨道部和上游侧行进路径的左右一对的轨道部之间的空间当在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿左侧分支路径分支行进时及在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿右侧分支路径分支行进时作为相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间起作用。当然，直进路径的左右一对的轨道部和上游侧行进路径之间的空间在物品运送车直进行进时作为相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间起作用。

此外，根据第2特征构成，直进合流路的左右一对的轨道部和下游侧行进路径的左右一对的轨道部之间的空间在物品运送车以左合流行进状态行进时及物品运送车以右合流行进状态行进时作为相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间起作用。当然，直进合流路的左右一对的轨道部和下游侧行进路径之间的空间在物品运送车以直进合流行进状态行进时作为相对于行进部以悬吊状态支承物品保持部的支承部、或者物品保持部的上方部分所插通的空间起作用。

这样地，根据第1特征构成，在三方向分支部中，无法借助导轨的左右的轨道部来承接支承物品运送车的行进部的左右的行进轮，但能够将物品运送车保持为适当的状态。同样地，根据第2特征构成，在三方向合流部中，无法利用导轨的左右的轨道部来承接支承物品运送车的行进部的左右的行进轮，但能够将物品运送车保持为适当的状态。

例如，当在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿左侧分支路径分支行进时，行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮维持载置在轨道部的行进面上的状态，但行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮成为没有被轨道部承接的浮起状态，所以物品运送车会向右侧倾斜。同样地，当在左侧合流路中行进的物品运送车以左合流行进状态行进时，行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮维持载置于轨道部的行进面的状态，但行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮变为没有被轨道部承接的浮起状态，所以物品运送车会向右侧倾斜。

与此对应，根据第1特征构成，左分支用引导面设置为以抑制左分支行进状态的物品运送车向右侧倾斜的状态承接被引导体。因而，物品运送车为，当在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿左侧分支路径分支行进时，在行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮为载置于轨道部的行进面的状态、行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮变为没有被轨道部承接的浮起状态时，能够抑制物品运送车向右侧倾斜。此外，根据第2特征构成，左合流用引导面设置为以抑制左合流行进状态的物品运送车向右侧倾斜的状态承接被引导体。因而，在物品运送车以左合流行进状态行进时，在行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮为载置于轨道部的行进面的状态、行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮变为没有被轨道部承接的浮起状态时，能够抑制物品运送车向右侧倾斜。

与上述的向左方向的分支以及从左方向的合流同样地，当在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿右侧分支路径分支行进时，行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮维持载置于轨道部的行进面的状态，但行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮变为不被轨道部承接的浮起状态，所以物品运送车会向左侧倾斜。同样地，在右侧合流路中行进的物品运送车以右合流行进状态行进时，行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮维持载置于轨道部的行进面的状态，但行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮变为不被轨道部承接的浮起状态，所以物品运送车会向左侧倾斜。

与此对应，根据第1特征构成，右分支用引导面设置为以抑制右分支行进状态的物品运送车向左侧倾斜的状态承接被引导体。因而，物品运送车为，当在上游侧行进路径中行进的物品运送车沿右侧分支路径分支行进时，在行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮为载置于轨道部的行进面的状态、行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮为不被轨道部承接的浮起状态时，能够抑制物品运送车向左侧倾斜。此外，根据第2特征构成，右合流用引导面设置为以抑制右合流行进状态的物品运送车向左侧倾斜的状态承接被引导体。因而，当物品运送车以右合流行进状态行进时，在行进部的左右的行进轮中的右方的行进轮为载置于轨道部的行进面的状态、行进部的左右的行进轮中的左方的行进轮为不被轨道部承接的浮起状态时，能够抑制物品运送车向左侧倾斜。

在三方向分支部中，当在上游侧行进路径中行进的物品运送车直进行进时，若行进部的左右的行进轮变为不被上游侧行进路径的左右一对的轨道部承接支承，则在直到被直进路径的左右一对的轨道部承接支承期间为浮起状态。同样地，在三方向合流部中，当物品运送车以直进合流行进状态行进时，若行进部的左右的行进轮变为不被直进合流路的左右一对的轨道部承接支承，则直到被下游侧行进路径的左右一对的轨道部承接支承期间为浮起状态。

与之对应，根据第1特征构成，由于设置辅助承接机构，所以当在上游侧行进路径中行进的物品运送车以非分支行进状态直进行进时，即便行进部的左右的行进轮变为不被上游侧行进路径的左右一对的轨道部及直进路径的左右一对的轨道部承接支承，辅助承接机构也能够承接支承物品运送车。此外，根据第2特征构成，由于设置了辅助承接机构，所以当物品运送车以直进合流行进状态行进时，即便行进部的左右的行进轮变为不被直进合流路的左右一对的轨道部及下游侧路径的左右一对的轨道部承接支承，也能够借助辅助承接机构承接支承物品运送车。

如上所述，根据第1特征构成，能够令物品运送车在三方向分支部中直进行进、还能令其左分支行进和右分支行进，所以能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。此外，根据第2特征构成，能够令物品运送车在三方向合流部中以从直进合流路向下游侧行进路径合流的直进合流行进状态行进、以从左侧合流路向下游侧行进路径合流的左合流行进状态行进、以及以从右侧合流路向下游侧行进路径合流的右合流行进状态行进，所以能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。

即，根据第1以及第2特征构成，能够提供一种能够制约较少地进行行进路径的布置的设定的顶板设置型的物品运送设备。

作为一个方案，优选构成为上述物品运送车在上述行进部的上方位置进而具有辅助车轮，上述辅助车轮设置为能够切换为被设置于上述三方向分支部的上方位置的辅助导轨承接支承的被承接位置、和不被上述辅助导轨承接的退避位置，上述辅助承接机构通过由上述辅助导轨承接上述辅助车轮而相对于上述辅助导轨悬吊支承上述物品运送车。此外，优选构成为上述物品运送车在上述行进部的上方位置进而具有辅助车轮，上述辅助车轮设置为能够切换为被设置于上述三方向合流部的上方位置的辅助导轨承接支承的被承接位置、和不被上述辅助导轨承接的退避位置，上述合流用辅助承接机构通过由上述辅助导轨承接上述辅助车轮而相对于上述辅助导轨悬吊支承上述物品运送车。

即，当令在上游侧行进路径中行进的物品运送车直进行进时，将设置于行进部的上方位置的辅助车轮切换为被承接位置，由辅助导轨承接支承辅助车轮，从而即便行进部的左右的行进轮变为不被上游侧行进路径的左右一对的轨道部及直进路径的左右一对的轨道部承接支承，也能够相对于辅助导轨悬吊支承物品运送车。另一方面，当令在上游侧行进路径中行进的物品运送车左分支行进及右分支行进时，将设置于行进部的上方位置的辅助车轮切换为退避位置，使得不借助辅助导轨承接支承辅助车轮，从而能够以避免辅助导轨和辅助车轮的干涉的状态令物品运送车左分支行进及右分支行进。

此外，当令在直进合流路中行进的物品运送车以直进合流行进状态行进时，将设置于行进部的上方位置的辅助车轮切换为被承接位置，利用辅助导轨承接支承辅助车轮，从而行进部的左右的行进轮即便不被直进合流路的左右一对的轨道部及下游侧行进路径的左右一对的轨道部承接支承，也能够相对于辅助导轨悬吊支承物品运送车。另一方面，在令物品运送车以左合流行进状态及右合流行进状态行进时，将设置于行进部的上方位置的辅助车轮切换为退避位置，不借助辅助导轨承接支承辅助车轮，从而能够在避免辅助导轨和辅助车轮的干涉的状态下进行左合流行进状态及右合流行进状态下的物品运送车的行进。

而且，辅助承接机构作为借助辅助导轨承接辅助车轮而相对于辅助导轨悬吊支承物品运送车的机构构成，所以容易实现设备的整体构成的简单化。

例如，作为辅助承接机构，考虑将承接行进部的左右的行进轮的可动轨道设置为能够切换为承接作用位置和退避位置而构成为承接支承左右的行进轮的机构。但是，该构成的的情况下，当在行进路径中设置多个三方向分支部及三方向合流部时，在该三方向分支部及三方向合流部的各自中装备可动轨道以及将该可动轨道切换为承接作用位置和退避位置的致动器，有可能设备的整体构成变得复杂。

但是，相对于行进路径中的三方向分支，通过采用以固定状态设置辅助导轨而在物品运送车上能够切换为被承接位置和退避位置地装备辅助车轮的构成，即便在行进路径中设置多个三方向分支部时，只要在这些三方向分支部的各自中以固定状态设置辅助导轨即可，容易实现设备的整体构成的简单化。同样地，对于行进路径中的三方向合流部，通过采用以固定状态设置辅助导轨而在物品运送车能够切换为被承接位置和退避位置地装备辅助车轮，当在行进路径中设置多个三方向合流部时，只要在这些三方向合流部的各自中以固定状态设置辅助导轨即可，容易实现设备的整体构成的简单化。

其结果，能够提供一种容易实现设备的整体构成的简单化的顶板设置型的物品运送设备。

作为一个方案，优选上述非分支用引导面构成为在垂直于沿上述上部导轨的延伸方向的方向的剖视中为向上的倾斜面，上述被引导体由绕在该剖视中与上述非分支用引导面平行的旋转轴心旋转的轮体构成，上述上部导轨作为上述辅助导轨起作用，并且，上述被引导体作为上述辅助车轮起作用。同样地，优选上述直进合流用引导面构成为在垂直于沿上述合流用上部导轨的延伸方向的方向的剖视中为向上的倾斜面，上述被引导体由绕在该剖视中与上述直进合流用引导面平行的旋转轴心旋转的轮体构成，上述合流用上部导轨作为上述辅助导轨起作用，并且，上述被引导体作为上述辅助车轮起作用。

将为了切换物品运送车的行进方向及为了令物品运送车合流行进而设置的上部导轨及被引导体用作辅助承接机构的构成部件，所以能够以实现物品运送车的构成的简单化的方式来构成辅助承接机构。

其结果，进而能够提供能够以实现物品运送车的构成的简单化的方式来构成辅助承接机构的顶板设置型的物品运送设备。

此外，作为一个方案，优选作为上述辅助车轮起作用的上述被引导体构成为，通过向与上述非分支用引导面平行的上述旋转轴心方向的移动而被切换为上述被承接位置和上述退避位置。同样地，作为一个方案，优选作为上述辅助车轮起作用的上述被引导体通过向与上述直进合流用引导面平行的上述旋转轴心方向的移动而被切换为上述被承接位置和上述退避位置。

即，通过令作为辅助车轮起作用的被引导体向与非分支用引导面及直进合流用引导面平行的旋转轴心方向移动，能够将其切换为被承接位置和退避位置。

因而，例如在令物品运送车在三方向分支部及三方向合流部停止的状态下，如出于维护等的目的将被引导体切换为被承接位置和退避位置等，能够良好地将被引导体切换为被承接位置和退避位置。另外，在令物品运送车在三方向分支部及三方向合流部停止的状态中，在被引导体被切换为被承接位置和退避位置时，当然需要由其他的机构来承接支承物品运送车。

根据这样的构成，进而能够提供能够良好地进行将被引导体切换为被承接位置和退避位置的操作的顶板设置型的物品运送设备。

另外，作为一个方案，优选上述直进轨道间隔设定为比设置于上述物品运送车的上述行进部的上述行进轮的前后方向的间隔即车轮前后间隔短的长度。能够以简单的构成良好并且可靠地构成辅助承接机构。

附图说明

图1是顶板设置型的物品运送设备的概略俯视图。

图2是物品运送车的侧视图。

图3是物品运送车的主视图。

图4是第1实施方式的三方向分支部的俯视图。

图5是表示物品运送车的三方向分支部处的直进行进状态的主视图。

图6是表示物品运送车的三方向分支部处的右分支行进状态的主视图。

图7是第1实施方式的三方向合流部的俯视图。

图8是表示物品运送车的三方向合流部处的直进合流行进状态的主视图。

图9是物品运送车的三方向合流部处的右合流行进状态的主视图。

图10是表示第2实施方式的上部导轨的纵剖主视图。

图11是表示第3实施方式的直进用轨道的纵剖主视图。

图12是第4实施方式的三方向分支部的俯视图。

图13是该实施方式的要部的立体图。

图14是该实施方式的要部的主视图。

图15是第5实施方式的三方向分支部的俯视图。

图16是第6实施方式的三方向分支部的俯视图。

图17是该实施方式的要部的主视图。

图18是该实施方式的要部的立体图。

附图标记说明

1…导轨、1a…轨道部、1g…引导面、1r…行进面、2…物品运送车、4…行进路径、10…行进部、14…行进轮、18…第3轮体（辅助车轮)、DS…直进路径、DL…左侧分支路、DR…右侧分支路、DK…上游侧行进路径、E…辅助承接机构、F…合流用辅助承接机构、GS…直进合流路、GL…左侧合流路、GR…右侧合流路、GJ…下游侧行进路径、M3…三方向分支部、N3…三方向合流部、P…物品保持部、R…轮体（被引导体）、SL…左分支用引导面、SR…右分支用引导面、SS…非分支用引导面、TL…左合流用引导面、TR…右合流用引导面、TS…直进合流用引导面、U…上部导轨、US…直进用轨道（辅助导轨）、W…合流用上部导轨、WS…直进合流用轨道（辅助导轨)。

具体实施方式

〔第1实施方式〕

以下，基于附图说明本发明的顶板设置型的物品运送设备的第1实施方式。如图2以及图3所示，具备导轨1的行进导件部L设置于洁净室的顶板侧，设置沿行进导件部L行进的多个物品运送车2。在本实施方式中，物品运送车2构成为将收纳半导体基板的容器作为物品B运送。

如图1所示，行进导件部L形成经由多个物品处理部P的多个环状的子行进路径3、以及环状的行进路径4，进而设置为下述状态，形成有：令在行进路径4中行进的物品运送车2向子行进路径3分支行进的分支连接路径5A、令在子行进路径3中行进的物品运送车2向行进路径4合流行进的合流连接路径5B、以及连接环状的行进路径4中的左右一对的直线状的路径（路径的一部分）的短接路径6。另外，在本实施方式中，环状的子行进路径3以及环状的行进路径4形成为将左右一对的直线状的路径以圆弧状的路径连接而成的长圆状（运动场的跑道形状）。

物品运送车2一边朝向一方向行进，一边进行在行进路径4及子行进路径3中的循环行进、从行进路径4向子行进路径3的分支行进、从子行进路径3向行进路径4的合流行进、以及通过短接路径6的短接行进。另外，在图1中，用箭头表示物品运送车2的行进方向。

即，在本实施方式中，各物品运送车2一边如上所述地向一方向行进，一边进行将从物品处理部P接收的物品B向进行其他的处理的物品处理部P运送的作业。另外，虽未图示，一般地，在子行进路径3及行进路径4的一部分的位置设置暂时保管物品B的多个保管部。因而，各物品运送车2也进行将从物品处理部P接收的物品B运送到保管部的作业、以及将从保管部接收的物品B向物品处理部P运送的作业。

在图1中，作为分支部M，存在于对行进路径4连接分支连接路径5A的位置、以及对子行进路径3连接合流连接路径5B的位置，作为合流部N，存在于对子行进路径3连接分支连接路径5A的位置、以及对行进路径4连接合流连接路径5B的位置。

而且，在本实施方式中，短接路径6以下述状态设置：连接分支部M中的对行进路径4连接分支连接路径5A的分支部M和合流部N中的对行进路径4连接合流连接路径5B的合流部N。因而，分支部M中的分支短接路径6的分支部M为三方向分支部M3，合流部N中的合流短接路径6的合流部N为三方向合流部N3。

如图4所示，三方向分支部M3中以延伸的状态设置直进路径DS、左侧分支路DL、以及右侧分支路DR，在本实施方式中，直进路径DS相当于行进路径4，左侧分支路DL相当于分支连接路径5A，右侧分支路DR相当于短接路径6。

如图7所示，在三方向合流部N3中，直进合流路GS、左侧合流路GL以及右侧合流路GR以连接的状态设置，在本实施方式中，直进合流路G3相当于行进路径4，左侧合流路GL相当于合流连接路径5B，右侧合流路GR相当于短接路径6。

接着说明各部的构成。行进导件部L的导轨1配设为沿着行进路径4及子行进路径3延伸，如图3所示，借助行进轨道用支承体8以悬吊状态设置于顶板部，此外，如图3以及图4所示，构成为以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具备左右一对的轨道部1a。

另外，在以下的说明中，将物品运送车2的横宽方向简称为车体横宽方向，将物品运送车2的前后宽度方向简称为车体前后宽度方向，将物品运送车2的上下幅度方向简称为车体上下幅度方向。

物品运送车2如图2以及图3所示，包括位于行进导件部L的下方的车体本体部9和沿行进导件部L行进的行进部10，在车体本体部9中，具备以悬吊状态把持物品B的把持部11。行进部10包括前后地并列的前方行进部10F和后方行进部10R，从该前方行进部10F以及后方行进部10R的各自向下方延伸的沿上下方向的连结轴12以通过左右一对的轨道部1a、1a之间而向下方延伸的状态设置。而且，车体本体部9相对于前方行进部10F以及后方行进部10R的各自，以能够绕连结轴12的轴心相对旋转（相对旋转自如）的状态被连结轴12悬吊支承。

在前方行进部10F以及后方行进部10R的各自上，如图3所示，被电动式的驱动马达13驱动旋转的左右的行进轮14被装备为在形成于左右一对的轨道部1a、1a各自的上表面的行进面1r上行进的状态，此外，绕沿车体上下幅度方向的轴心（绕上下轴心）自由旋转的左右的引导轮15被装备为与形成于左右一对的轨道部1a、1a的内方侧的侧面的引导面1g抵接的状态。另外，左右的引导轮15对于前方行进部10F以及后方行进部10R的各自以沿台车前后方向并列的状态各配设两个。

因而，物品运送车2构成为，前方行进部10F以及后方行进部10R的引导轮15被一对的轨道部1a、1a引导，从而车体横宽方向上的位置被限制，同时，通过驱动前方行进部10F以及后方行进部10R的行进轮14旋转，沿导轨1行进。此外，物品运送车2为，相对于车体本体部9，前方行进部10F以及后方行进部10R绕连结轴12的轴心（绕沿车体上下幅度方向的轴心）弯曲，从而即便在行进路径4的圆弧状的路径及子行进路径3的圆弧状的路径等的圆弧状路径中也能够良好地行进。

车体本体部9以能够升降操作（升降操作自如）且能够旋转操作（旋转操作自如）的方式配备上述的把持部11，由于该构成为公知构成，所以在本实施方式中省略其说明。另外，物品运送车2具备控制前方行进部10F以及后方行进部10R的行进动作、把持部11的升降动作以及旋转动作等而控制物品运送车2的运转的台车侧控制部（未图示），该台车侧控制部如果从管理多个物品运送车2的运行的设备管理用计算机借助无线通信等接收到指定运送起点的位置以及运送目的地的位置的运送指令，则进行从由该运送指令指定的运送起点的位置向运送目的地的位置运送物品6的运送处理。

另外，虽未图示，在行进导件部L中，用于向物品运送车2供给驱动用电力的左右一对的供电线与左右一对的轨道部1a、1a同样地以沿行进路径4及子行进路径3等延伸的状态设置，与此相对应，在物品运送车2的车体本体部9上设置有从左右的供电线无接触地被供给驱动用电力的受电部（受电线圈）。而且，通过向供电线通电交流电流而产生磁场，利用该磁场令受电部产生驱动用电力，从而以无接触状态向物品运送车2进行供电。

接着，说明用于令物品运送车2在分支部M分支行进且在合流部N合流行进的构成。另外，在向两方向分支的分支部M中，是使用在三方向分支部M3中令物品运送车2分支行进用的一部分的构成而令物品运送车2分支行进，此外，在从两方向合流的合流部N中，是使用在三方向合流部N3中令物品运送车2合流行进用的一部分的构成而令物品运送车2合流行进，所以首先说明在三方向分支部M3中用于令物品运送车2分支行进的构成、以及在三方向合流部N3中用于令物品运送车2合流行进的构成。

如图4所示，在三方向分支部M3中，沿从该三方向分支部M3延伸的直进路径DS配设的左右一对的轨道部1a、1a以相对于行进路径4中沿三方向分支部M3的上游侧行进路径DK配设的左右一对的轨道部1a、1a沿路径长度方向（行进路径的直进延伸方向）分离的状态设置。另外，沿直进路径DS配设的左右一对的轨道部1a、1a和沿上游侧行进路径DK配设的左右一对的轨道部1a、1a的间隔（直进轨道间隔）是比前方行进部10F装备的行进轮14和后方行进部10R装备的行进轮14的间隔（车轮前后间隔）小的间隔。

此外，沿从三方向分支部M3延伸的左侧分支路DL配设的左右一对的轨道部1a、1a中的左方的轨道部1a以与上游侧行进路径DK的左右一对的轨道部1a、1a中的左方的轨道部1a相连的状态设置。另外，在本实施方式中，沿从三方向分支部M3延伸的左侧分支路DL配设的左右一对的轨道部1a、1a中的右方的轨道部1a以与沿直进路径DS配设的左右一对的轨道部1a、1a中的左方的轨道部1a连接的状态设置，但也可以以不进行该连接的方式实施。

此外，沿从三方向分支部M3延伸的右侧分支路DR配设的左右一对的轨道部1a、1a中的右方的轨道部1a以与上游侧行进路径DK的左右一对的轨道部1a、1a中的右方的轨道部1a相连的状态设置。另外，在本实施方式中，沿从三方向分支部M3延伸的右侧分支路DR配设的左右一对的轨道部1a中的左方的轨道部1a以与沿直进路径DS配设的左右一对的轨道部1a中的右方的轨道部1a连接的状态设置，但也可以以不进行该连接的方式实施。

如图7所示，在三方向合流部N3中，沿与该三方向合流部N3连接的直进合流路GS配设的左右一对的轨道部1a、1a以与沿行进路径4的三方向合流部N3的下游侧行进路径GJ配设的左右一对的轨道部1a、1a沿路径长度方向分离的状态设置。

此外，沿与三方向合流部N3连接的左侧合流路GL配设的左右一对的轨道部1a、1a中的左方的轨道部1a以与下游侧行进路径GJ的左右一对的轨道部1a、1a中的左方的轨道部1a相连的状态设置。另外，在本实施方式中，沿与三方向合流部N3连接的左侧合流路GL配设的左右一对的轨道部1a中的右方的轨道部1a以与沿直进合流路GS配设的左右一对的轨道部1a中的左方的轨道部1a连接的状态设置，但也可以以不进行该连接的方式实施。

此外，沿与三方向合流部N3连接的右侧合流路GR配设的左右一对的轨道部1a中的右方的轨道部1a以与下游侧行进路径GJ的左右一对的轨道部1a中的右方的轨道部1a相连的状态设置。另外，在本实施方式中，沿从三方向合流部N3连接的右侧合流路GR配设的左右一对的轨道部1a中的左方的轨道部1a以与沿直进合流路GS配设的左右一对的轨道部1a中的右方的轨道部1a连接的状态设置，但也可以以不进行该连接的方式实施。

如图2以及图3所示，在前方行进部10F以及后方行进部10R中的比行进轮14靠上方侧位置处，装备有在分支部M中作为路径切换用的被引导体起作用且在合流部N中作为合流用的被引导体起作用的轮体R。

即，作为上述轮体R，沿车体横宽方向并列设置有：在三方向分支部M3中作为左分支用起作用且在三方向合流部N3中作为左合流用起作用的第1轮体16、在三方向分支部M3中作为右分支用起作用且在三方向合流部N3中作为右合流用起作用的第2轮体17、和在三方向分支部M3中作为直进用起作用且在三方向合流部N3中作为直进流用起作用的左右一对的第3轮体18。

即，在令第1轮体16位于车体横宽方向的左方侧、令第2轮体17位于车体横宽方向的右方侧、而且令第3轮体18位于在第1轮体16和第2轮体17之间的状态下，将第1轮体16、第2轮体17、以及第3轮体18沿车体横宽方向并列地设置。

而且，第1轮体16能够绕越靠上方越向车体内方侧倾斜的第1旋转轴心X1旋转（旋转自如）地、且能够沿该第1旋转轴心X1升降操作地设置，同样地，第2轮体17能够绕越靠上方越向车体内方侧倾斜的第2旋转轴心X2旋转地、且能够沿该第2旋转轴心X2升降操作地设置。

此外，在一对的第3轮体18中左方的第3轮体18能够绕越靠上方越向右方侧倾斜的右倾斜旋转轴心Y1旋转、且能够沿该右倾斜旋转轴心Y1升降操作地设置，且一对的第3轮体18中右方的第3轮体18能够绕越靠上方越向左方侧倾斜的左倾斜旋转轴心Y2旋转且能够沿该左倾斜旋转轴心Y2升降操作地设置。

能够沿第1旋转轴心X1升降操作地支承第1轮体16的构成为，将第1轮体16的支承轴16A能够生降地插入设置于行进部10的筒体19，令与形成于支承轴16A的齿条卡合的小齿轮20借助电动马达（未图示）向正方向以及反方向驱动。而且，没有详述，对于第2轮体17以及第3轮体18也构成为借助同样的构成被升降操作。即，对于第2轮体17以及第3轮体18，也以将升降操作用的小齿轮20借助电动马达（未图示）向正方向以及反方向驱动的状态设置。

如图3以及图4所示，在三方向分支部M3中，承接轮体R的上部导轨U以被支承于导轨1的顶板部的状态设置。在本实施方式中，上部导轨U具备左分支用轨道UL、右分支用轨道UR、以及直进用轨道US。即，左分支用轨道UL配设在行进路径4的左方侧，右分支用轨道UR配设在行进路径4的右方侧，直进用轨道US配设在左分支用轨道UL和右分支用轨道UR之间。

另外，在此，作为上部导轨U说明了在三方向分支部M3中承接轮体R的轨道，但如后所述，也可以包含在三方向合流部N3中承接轮体R的轨道（合流用上部轨道W）而称为“上部导轨”。即，也可以将用符号“U”表示的上部导轨称作“分支用上部轨道”，将后述的用符号“W”表示上部导轨称作“合流用上部轨道”，将两者总称为“上部导轨”。此外，在此，将三方向分支部中直进的上部导轨U作为直进用轨道US而进行了说明，但也可以如后所述，也包含在三方向合流部N3中直进而合流的导轨（直进合流用轨道WS）而称作“直进用轨道”。即，也可以将用符号“US”表示的上部导轨称作“直进分支用轨道W，将后述的用符号“WS”表示的上部导轨称作“直进合流用轨道”，将两者总称为“直进用轨道”。

左分支用轨道UL的俯视形状以从上游侧行进路径DK沿左侧分支路DL弯曲状地延伸的方式构成。右分支用轨道UR的俯视形状以从上游侧行进路径DK沿右侧分支路DR弯曲状地延伸的方式构成。直进用轨道US的俯视形状为从上游侧行进路径DK沿直进路径DS直线状地延伸的方式构成。此外，如图3所示，直进用轨道US、左分支用轨道UL、右分支用轨道UR的各自为，垂直于沿延伸方向的方向的截面形状形成为类似等腰三角形的形状。因而，直进用轨道US、左分支用轨道UL、右分支用轨道UR的侧面在垂直于沿上部导轨U的延伸方向的方向的剖视（上部导轨U的长度方向视）中为向上的倾斜面。

进而，左右的第3轮体18的右倾斜旋转轴心Y1以及左倾斜旋转轴心Y2在垂直于沿上部导轨U的延伸方向的方向的剖视（上部导轨U的长度方向视）中，构成为与直进用轨道US的左右的侧面平行的状态。同样地，第1轮体16的第1旋转轴心X1构成为与左分支用轨道UL的侧面平行的状态，第2轮体17的第2旋转轴心X2构成为与右分支用轨道UR的侧面平行的状态。

而且，构成为左分支用轨道UL的左侧的侧面形成用于切换为令物品运送车2沿左侧分支路DL分支行进的左分支行进状态的左分支用引导面SL。此外，右分支用轨道UR的右侧的侧面形成用于切换为令物品运送车2沿右侧分支路DR分支行进的右分支行进状态的右分支用引导面SR。进而，直进用轨道US的左右的侧面形成用于切换为令物品运送车2直进行进的非分支行进状态的非分支用引导面SS。

因而，前方行进部10F以及后方行进部10R的各自的第1轮体16构成为被由电动马达被向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作，从而被切换为被左分支用轨道UL的左分支用引导面SL承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。同样地，第2轮体17构成为被由电动马达向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作，从而被切换为被右分支用轨道UR的右分支用引导面SR承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。

进而，左右一对的第3轮体18被由电动马达向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作，从而被切换为被左右的非分支用引导面SS承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。

即，构成为通过将第1轮体16、第2轮体17、以及左右的第3轮体18的一个切换至被承接位置、并且将其余的切换为退避位置，能够切换为第1轮体16被左分支用引导面SL引导的左分支引导状态、第2轮体17被右分支用引导面SR引导的右分支引导状态、以及第3轮体18被非分支用引导面SS引导的非分支引导状态。另外，在本实施方式中，向左分支引导状态、右分支引导状态、以及非分支引导状态进行切换的行进方向切换机构（行进方向切换机构）将升降操作第1轮体16、第2轮体17、以及第3轮体18的小齿轮20作为主要部件构成。

此外，在本实施方式中，左分支用引导面SL构成为以抑制左分支行进状态的物品运送车2向右侧倾斜的状态承接第1轮体16。即，左分支行进状态的物品运送车2为，前方行进部10F以及后方行进部10R的各自的左右的行进轮14中的左侧的行进轮14载置于轨道部1a，但右侧的行进轮14没有载置于轨道部1a，所以向右侧倾斜，但通过由左分支用引导面SL承接第1轮体16，能够抑制左分支行进状态的物品运送车2向右侧倾斜。

此外，在本实施方式中，右分支用引导面SR构成为以抑制右分支行进状态的物品运送车2向左侧倾斜的状态承接第2轮体17。即，右分支行进状态的物品运送车2为，左右的行进轮14中的右侧的行进轮14载置于轨道部1a，但左侧的行进轮14没有载置于轨道部1a，所以向左侧倾斜，但通过利用右分支用引导面SR承接第2轮体17，抑制右分支行进状态的物品运送车2向左侧倾斜。

进而，在本实施方式中，如图5所示，使用非分支用引导面SS以及左右一对的第3轮体18构成承接支承在非分支行进状态下在上游侧行进路径DK的左右一对的轨道部1a、1a和直进路径DS的左右一对的轨道部1a、1a之间行进的物品运送车2的辅助承接机构E（辅助承接手段）。即，左右的非分支用引导面SS如上所述地在上部导轨U的长度方向视中为向上的倾斜面，并且左右的第3轮体18在上部导轨U的长度方向视中为绕与非分支用引导面SS平行的旋转轴芯旋转的轮体，所以在非分支引导状态下，利用上部导轨U的直进用轨道US承接左右的第3轮体18，从而将物品运送车2悬吊支承于上部导轨U的直进用轨道US。另外，在此，作为三方向分支部M3的机构说明了辅助承接机构E，但也可以包含如后所述的设置于三方向合流部N3的机构（合流用辅助承接机构F）而称作“辅助承接机构”。即，将用符号“E”表示的机构称为“分支用辅助承接机构”，将后述的用符号“F”表示的机构称为“合流用辅助承接机构”，将两者总称为“辅助承接机构”。

如果进一步说明，则辅助承接机构E构成为下述机构（手段），令左右的第3轮体18作为装备于行进部10的上方位置的辅助车轮起作用，令上部导轨U的直进用轨道US作为设置于三方向分支部M3的上方位置的辅助导轨起作用，通过由上部导轨U的直进用轨道US承接左右的第3轮体18，将物品运送车2相对于上部导轨U的直进用轨道US悬吊支承。

如图7以及图8所示，在三方向合流部N3中，承接轮体R的合流用上部导轨W以支承于导轨1的顶板部的状态设置。在本实施方式中，合流用上部导轨W具备左合流用轨道WL、右合流用轨道WR、以及直进合流用轨道WS。即，左合流用轨道WL配设在行进路径4的左方侧，右合流用轨道WR配设在行进路径4的右方侧，直进合流用轨道WS配设在左合流用轨道WL和右合流用轨道WR之间。

左合流用轨道WL的俯视形状以从左侧合流路GL沿下游侧行进路径GJ弯曲状地延伸的方式构成。右合流用轨道WR的俯视形状以从右侧合流路GR沿下游侧行进路径GJ弯曲状地延伸的方式构成。直进合流用轨道WS的俯视形状以从直进合流路GS沿下游侧行进路径GJ直线状地延伸的方式构成。

如图8以及图9所示，直进合流用轨道WS、左合流用轨道WL、以及右合流用轨道WR的各自为，垂直于沿延伸方向的方向的截面形状形成为类似等腰三角形的形状。因而，直进合流用轨道WS、左合流用轨道WL、右合流用轨道WR的侧面在垂直于沿合流用上部导轨W的延伸方向的方向的剖视（合流用上部导轨W的长度方向视）中为向上的倾斜面。

进而，左右的第3轮体18的右倾斜旋转轴心Y1以及左倾斜旋转轴心Y2在垂直于沿合流用上部导轨W的延伸方向的方向的剖视（合流用上部导轨W的长度方向视）中，构成为与直进合流用轨道WS的左右的侧面平行的状态。同样地，第1轮体16的第1旋转轴心X1构成为与左合流用轨道WL的侧面平行的状态，第2轮体17的第2旋转轴心X2构成为与右合流用轨道WR的侧面平行的状态。

而且，构成为左合流用轨道WL的左侧的侧面形成从左侧合流路GL向下游侧行进路径GJ令物品运送车2合流的左合流用引导面TL。此外，构成为右合流用轨道WR的右侧的侧面形成从右侧合流路GR向下游侧行进路径GJ令物品运送车2合流的右合流用引导面TR。进而，构成为直进合流用轨道WS的左右的侧面形成从直进合流路GS向下游侧行进路径GJ令物品运送车2合流的直进合流用引导面TS。

因而，第1轮体16构成为被由电动马达向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作从而被切换为被左合流用轨道WL的左合流用引导面TL承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。同样地，第2轮体17构成为被由电动马达向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作从而被切换为被右合流用轨道WR的右合流用引导面TR承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。

进而，左右一对的第3轮体18构成为被由电动马达向正方向以及反方向驱动的小齿轮20升降操作从而被切换为被左右的直进合流用引导面TS承接的被承接位置和没有被承接的退避位置。

即，构成为通过将第1轮体16、第2轮体17、以及左右的第3轮体18的一个切换为被承接位置且将其余的切换为退避位置，能够切换为第1轮体16被左合流用引导面TL引导的左合流引导状态、第2轮体17被右合流用引导面TR引导的右合流引导状态、以及第3轮体18被直进合流用引导面TS引导的直进合流引导状态。另外，在本实施方式中，向左合流引导状态、右合流引导状态、以及直进合流引导状态的合流状态切换的切换机构（合流状态切换手段）将升降操作第1轮体16、第2轮体17、以及第3轮体18的小齿轮20作为主要部件构成。

此外，在本实施方式中，左合流用引导面TL构成为以抑制从左侧合流路GL向下游侧行进路径GJ合流的物品运送车2向右侧倾斜的状态承接第1轮体16。即，左合流行进状态的物品运送车2为，左右的行进轮14中的左侧的行进轮14被载置于轨道部1a，但右侧的行进轮14没有被载置于轨道部1a，所以会向右侧倾斜，但通过由左合流用引导面TL承接第1轮体16，抑制左合流行进状态的物品运送车2向右侧倾斜。

此外，在本实施方式中，右合流用引导面TR构成为以抑制从右侧合流路GR向下游侧行进路径GJ合流的物品运送车2向左侧倾斜的状态承接第2轮体17。即，右合流行进状态的物品运送车2为，左右的行进轮14中的右侧的行进轮14载置于轨道部1a，但左侧的行进轮14没有载置于轨道部1a，所以向左侧倾斜，但通过由右合流用引导面TR承接第2轮体17，抑制右合流行进状态的物品运送车2向左侧倾斜。

进而，在本实施方式中，使用直进合流用引导面TS以及左右一对的第3轮体18构成承接支承以从直进合流路GS向下游侧行进路径GJ合流的直进合流状态在直进合流路GS的左右一对的轨道部1a、1a和下游侧行进路径GJ的左右一对的轨道部1a、1a之间行进的物品运送车2的合流用辅助承接机构F（合流用辅助承接手段）。即，左右的直进合流用引导面TS如上所述，在合流用上部导轨W的长度方向视中为向上的倾斜面，且左右的第3轮体18在合流用上部导轨W的长度方向视中为绕与直进合流用引导面TS平行的旋转轴芯旋转的轮体，所以在直进合流引导状态中，由合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS承接左右的第3轮体18，从而将物品运送车2悬吊支承于合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS。

如果进一步说明，则合流用辅助承接机构F构成为下述机构（手段）：令左右的第3轮体18作为装备在行进部10的上方位置的辅助车轮起作用，令合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS作为设置于三方向合流部N3的上方位置的辅助导轨起作用，通过由合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS来承接左右的第3轮体18而将物品运送车2悬吊支承于合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS。

接着，说明对行进路径4连接分支连接路径5A的位置的两方向的分支部M及对子行进路径3连接合流连接路径5B位置的两方向的分支部M。即，三方向分支部M3如上所述地具备具有左分支用轨道UL、右分支用轨道UR、以及直进用轨道US的上部导轨U。相对于此，在对行进路径4连接分支连接路径5A的位置的两方向的分支部M中，设置具有左分支用轨道UL以及直进用轨道US的上部导轨U，此外，在对子行进路径3连接合流连接路径5B的位置的两方向的分支部M中，设置具有右分支用轨道UR以及直进用轨道US的上部导轨U。

此外，在两方向的分支部M中，将导轨1的左右一对的轨道部1a、1a中的存在左侧分支路DL或者右侧分支路DR的分支路侧的轨道部1a在分支部M的形成位置处断开，并且将位于从左侧分支路DL或者右侧分支路DR分离侧的分支路离开侧的轨道部1a形成为在分支部M的形成位置处也连续地相连。而且，将左侧分支路DL或者右侧分支路DR中的左右一对的轨道部1a、1a与左右一对的轨道部1a、1a中的分支路侧的轨道部1a连接。

因而，在直进行进时，由直进用轨道US承接引导第3轮体18，而且，在分支行进时，由左分支用轨道UL或者右分支用轨道UR承接引导第1轮体16或者第2轮体17。另外，在两方向的分支部M处，左右一对的轨道部1a、1a中的分支路离开侧的轨道部1a以在分支部M的形成位置处也连续地相连的状态设置，所以在直进行进时，为了抑制物品运送车2向分支路侧的轨道部1a的位置侧倾斜，仅将左右的第3轮体18中的一方切换为由直进用轨道US承接引导的状态。

接着，说明对子行进路径3连接分支连接路径5A的位置的两方向的合流部N、以及对行进路径4连接合流连接路径5B的位置的两方向的合流部N。即，三方向合流部N3具备具有左合流用轨道WL、右合流用轨道WR、以及直进合流用轨道WS的合流用上部导轨W。相对于此，在对子行进路径3连接分支连接路径5A的位置的两方向的合流部N中，设置具备右合流用轨道WR以及直进合流用轨道WS的合流用上部导轨W，此外，在对行进路径4连接合流连接路径5B的位置的两方向的合流部N中，设置具备左合流用轨道WL以及直进合流用轨道WS的合流用上部导轨W。

此外，在两方向的合流部N中，将导轨1的左右一对的轨道部1a、1a中的存在左侧合流路GL或者右侧合流路GR的合流路侧的轨道部1a在合流部N的形成位置处断开，并且令位于从左侧合流路GL或者右侧合流路GR分离侧的合流路离开侧的轨道部1a在合流部N的形成位置处也连续地相连。而且，令左侧合流路GL或者右侧合流路GR的左右一对的轨道部1a、1a与左右一对的轨道部1a、1a中的合流路侧的轨道部1a连接。

因而，在令物品运送车2直进合流行进时，由直进合流用轨道WS承接引导第3轮体18，而且，在令物品运送车2左合流行进或者右合流行进时，由左合流用轨道WL或者右合流用轨道WR承接引导第1轮体16或者第2轮体17。另外，在两方向的合流部N中，将左右一对的轨道部1a、1a中的合流路离开侧的轨道部1a设置为即便在合流部N的形成位置也连续地相连的状态，所以在直进合流行进时，为了抑制物品运送车2向合流路侧的轨道部1a的位置侧倾斜，仅将左右的第3轮体18中的一方切换为由直进合流用轨道WS承接引导的状态。

如以上所述，在本第1实施方式中，通过设置三方向分支部M3以及三方向合流部N3，在令物品运送车2从运送起点向运送目的地行进时，能够作为该行进路线而设定短的路线而高效地令其行进。

在本实施方式中，例示了将左分支用引导面SL以及左合流用引导面TL形成为向上的倾斜面而令第1轮体16绕倾斜的轴芯旋转的情况，但也可以将左分支用引导面SL以及左合流用引导面TL形成为沿铅直方向的面而令第1轮体16绕沿铅直方向的轴芯旋转。

同样地，在本实施方式中，例示了将右分支用引导面SR以及右合流用引导面TR形成为向上的倾斜面而令第2轮体17绕倾斜的轴芯旋转的情况，但也可以令右分支用引导面SR以及右合流用引导面TR形成为沿铅直方向的面，令第2轮体17绕沿铅直方向的轴芯旋转。

〔第2实施方式〕

接着，基于图10说明第2实施方式，该第2实施方式除了上部导轨U以及合流用上部导轨W的构成不同以外与第1实施方式同样地构成。因而，为了省略重复的记载而仅对上部导轨U以及合流用上部导轨W的构成进行说明。

在该第2实施方式中，上部导轨U在长度方向视中形成为十字状的框体，在上部侧，左分支用轨道UL和右分支用轨道UR以左右并列的状态形成，在下部侧，形成有直进用轨道US。

此外，虽未图示，与上部导轨U同样地，合流用上部导轨W在长度方向视中形成为十字状的框体，在上部侧，左合流用轨道WL和右合流用轨道WR以左右并列的状态形成，在下部侧形成直进合流用轨道WS。

在该第2实施方式中，上部导轨U形成为具备左分支用轨道UL、右分支用轨道UR、以及直进用轨道US的一个的框体状，同样地，合流用上部导轨W形成为具备左合流用轨道WL、右合流用轨道WR、以及直进合流用轨道WS的一个的框体状，所以上部导轨U及合流用上部导轨W的设置容易进行。

〔第3实施方式〕

接着，说明第3实施方式，该第3实施方式除了上部导轨U的直进用轨道US以及合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS的构成、及第3轮体18的构成不同以外，与第1实施方式同样地构成。因而，为了省略重复的记载而仅对上部导轨U的直进用轨道US以及合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS的构成、及第3轮体18的构成进行说明。

在该第3实施方式中，如图11所示，上部导轨U的直进用轨道US在长度方向视中形成为倒T字状，构成为具有左右一对的向上表面E1及左右一对的横向面E2。而且，左右一对的第3轮体18的各自包括绕沿水平方向的轴心旋转而在向上表面E1上行进的第1轮体部分18A和绕沿铅直方向的轴心旋转而与横向面E2抵接的第2轮体部分18B。

此外，虽未图示，合流用上部导轨W的直进合流用轨道WS与上部导轨U的直进用轨道US同样地，在长度方向视中形成为倒T字状，构成为具备第3轮体18的第1轮体部分18A所行进的左右一对的向上表面和第3轮体18的第2轮体部分18B所抵接的左右一对的横向面。

因而，辅助承接机构E构成为下述机构：由直进用轨道US承接支承第3轮体18的第1轮体部分18A从而悬吊支承物品运送车2，此外，合流用辅助承接机构F构成为下述机构：由直进合流用轨道WS承接支承第3轮体18的第1轮体部分18A从而悬吊支承物品运送车2。

〔第4实施方式〕

接着，说明第4实施方式，该第4实施方式除了辅助承接机构E的构成不同以外与第1实施方式同样地构成。因而，为了省略重复记载而以下仅对不同于第1实施方式的部分进行说明，对于与第1实施方式相同的部分省略说明。

如图12～图14所示，在从三方向分支部M3以直进状态延伸的直进路径DS的左右的轨道部1a的各自上装备滑动式的可动轨道21。即，可动轨道21构成为能够被电动压力缸等的致动器21A滑动操作为与三方向分支部M3的上游侧行进路径DK的轨道部1a相连的突出状态、和退回到直进路径DS的左右的轨道部1a的内部的状态。

此外，可动轨道21具备位于行进轮14的横宽内的左右一对的轨道部分21a，该轨道部分21a能够滑动移动（滑动移动自如）地插入在形成于导轨1的轨道部1a的上表面部的槽内。进而，轨道部分21a的纵剖面形状为下方部分比上方部分宽度大的形状，阻止轨道部分21a从轨道部1a浮起。

因而，辅助承接机构E为，在令物品运送车2直进行进的非分支引导状态下，将可动轨道21切换为突出状态而构成由可动轨道21承接行进轮14的机构（手段）。

另外，在该第4实施方式中，将上部导轨U的直进用轨道US的非分支用引导面SS形成为沿铅直方向的面，令第3轮体18绕沿铅直方向的轴心旋转。

另外，虽未图示，也可以将合流用辅助承接机构F与辅助承接机构E同样地使用可动轨道21而构成。

〔第5实施方式〕

接着，说明第5实施方式，该第5实施方式除了辅助承接机构E的构成不同以外与第1实施方式同样地构成。因而，为了省略重复的记载而以下仅说明不同于第1实施方式的部分，对于与第1实施方式相同的部分省略说明。

如图15所示，左侧分支路DL的左右一对的轨道部1a中的左侧的轨道部1a的接近三方向分支部M3的部分构成为能够切换（切换自如）为沿左侧分支路DL弯曲的弯曲状态、和朝向直进路径DS直线状地延伸的直线状态。此外，右侧分支路DR的左右一对的轨道部1a中的右侧的轨道部1a的接近三方向分支部M3的部分构成为能够切换为沿右侧分支路弯曲的弯曲状态、和朝向直进路径DS直线状地延伸的直线状态。

另外，作为将轨道部1a切换为弯曲状态和直线状态的具体构成，轨道部1a将多个轨道构成部件能够弯曲（弯曲自如）地连结而构成，而且，虽未图示，装备向弯曲状态和直线状态切换操作的致动器。

因而，辅助承接机构E构成为下述机构：在令物品运送车2直进行进的非分支引导状态下，将左侧分支路DL的左侧的轨道部1a的接近三方向分支部M3的部分、以及右侧分支路DR的右侧的轨道部1a的接近三方向分支部M3的部分切换为直线状态而承接行进轮14。

另外，虽未图示，也可以将合流用辅助承接机构F与该第5实施方式的辅助承接机构E同样地构成。

〔第6实施方式〕

接着说明第6实施方式，该第6实施方式除了辅助承接机构E的构成不同以外与第1实施方式同样地构成。因而，为了省略重复记载而以下仅说明不同于第1实施方式的部分，对于与第1实施方式相同的部分省略说明。

如图16～图18所示，在物品运送车2的行进轮14的横侧部以与行进轮14一体旋转的方式设置有比行进轮14小径的小型轮23。此外，在三方向分支部M3的上游侧行进路径DK的左右的轨道部1a的上部，以能够被电动压力缸等的致动器（未图示）滑动操作为跨越上游侧行进路径DK的左右的轨道部1a和直进路径DS的左右的轨道部1a的突出状态、和退回到上游侧行进路径DK的左右的轨道部1a的上方的退回状态的状态设置小型轮23所行进的滑动轨道24。

因而，辅助承接机构E构成为下述机构（手段）：在令物品运送车2直进行进的非分支引导状态下，将滑动轨道24切换为突出状态而承接小型轮23。

另外，虽未图示，也可以将合流用辅助承接机构F与该第6实施方式的辅助承接机构E同样地构成。

〔其他实施方式〕

（1）在上述第1～第6实施方式中，例示了物品运送车2的行进部10由分割的前方行进部10F以及后方行进部10R构成的情况，但也可以以不分割的方式构成行进部10。

（2）在上述第1～第6实施方式中，例示了在环状的行进路径4的横侧部配置经由物品处理部P的子行进路径3的情况，但也可以令用于令物品运送车2行进的路径的方式进行各种变更。

（3）在上述第1～第6实施方式中，例示了并设三方向分支部M3和三方向合流部N3的情况，但也可以以仅设置三方向分支部M3的方式、及仅设置三方向合流部N3的方式实施。

（4）在上述第1～第6实施方式中，例示了具备第1轮体16、第2轮体17、以及一对的第3轮体18的情况，但也可以将一对的第3轮体18设置为能够沿车体横宽方向移动操作（移动操作自如）等，从而将左侧的第3轮体18兼用于第1轮体16，将右侧的第3轮体18兼用于第2轮体17。

（5）在上述第1实施方式中，令第1轮体16、第2轮体17、以及一对的第3轮体18沿旋转轴心方向滑动从而切换为被承接位置和退避位置，但也能够以组合车体横宽方向的移动和车体上下幅度方向的移动的方式切换为被承接位置和退避位置等，切换为被承接位置和退避位置的具体构成能够进行各种变更。

Claims (8)

1.一种顶板设置型的物品运送设备，

具备：

物品运送车，具有行进部和位于该行进部的下方的物品保持部，在上述行进部的前后两侧位置的各自上具有左右的行进轮；

导轨，沿上述物品运送车的行进路径配设，

上述导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具有左右一对的轨道部，上述左右一对的轨道部具有上述行进轮所行进的行进面，

上述导轨具有：将上述行进路径在该行进路径延伸的方向上从上游侧行进路径向下游侧行进路径分支为三方向的三方向分支部、和以从上述三方向分支部分别分支延伸的状态设置的直进路径、左侧分支路、右侧分支路，

上述直进路径以下述状态构成：沿上述直进路径配设的上述左右一对的轨道部与沿上述三方向分支部的上述上游侧行进路径配设的上述左右一对的轨道部不连续，沿路径长度方向隔开既定的直进轨道间隔，

上述左侧分支路以下述状态构成：沿上述左侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部相连，

上述右侧分支路以下述状态构成：沿上述右侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部相连，

上述物品运送车具有：装备在比上述行进部的上述行进轮还靠上方侧位置的路径切换用的被引导体、和切换上述被引导体被引导的状态的行进方向切换机构，

该物品运送设备还具有：承接上述被引导体的上部导轨、承接支承在上述三方向分支部中在上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部与上述直进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车的辅助承接机构，

上述上部导轨以下述状态设置，具备：用于切换为令上述物品运送车沿上述左侧分支路分支行进的左分支行进状态的左分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车沿上述右侧分支路分支行进的右分支行进状态的右分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车直进行进的非分支行进状态的非分支用引导面，

上述行进方向切换机构构成为，将上述被引导体被引导的状态切换为上述被引导体被上述左分支用引导面引导的左分支引导状态、上述被引导体被上述右分支用引导面引导的右分支引导状态、以及上述被引导体被上述非分支用引导面引导的非分支引导状态，

上述左分支用引导面设置为，以抑制上述左分支行进状态的上述物品运送车向右侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述右分支用引导面设置为，以抑制上述右分支行进状态的上述物品运送车向左侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述辅助承接机构设置为，在上述非分支行进状态下承接支承在上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部与上述直进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车，

上述物品运送车在上述行进部的上方位置还具有辅助车轮，

上述辅助车轮设置成，能够切换为被设置于上述三方向分支部的上方位置的辅助导轨承接支承的被承接位置、和不被上述辅助导轨承接的退避位置，

上述辅助承接机构通过由上述辅助导轨承接上述辅助车轮而相对于上述辅助导轨悬吊支承上述物品运送车。

2.根据权利要求1所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

上述非分支用引导面构成为，在垂直于沿上述上部导轨的延伸方向的方向的剖视中，为向上的倾斜面，

上述被引导体由绕在该剖视中与上述非分支用引导面平行的旋转轴心旋转的轮体构成，

上述上部导轨作为上述辅助导轨起作用，并且，上述被引导体作为上述辅助车轮起作用。

3.根据权利要求2所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

作为上述辅助车轮起作用的上述被引导体构成为，通过向与上述非分支用引导面平行的上述旋转轴心方向的移动而被切换为上述被承接位置和上述退避位置。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

上述直进轨道间隔设定为比设置于上述物品运送车的上述行进部的上述行进轮的前后方向的间隔即车轮前后间隔短的长度。

5.一种顶板设置型的物品运送设备，

具备：

物品运送车，具有行进部和位于该行进部的下方的物品保持部，在上述行进部的前后两侧位置的各自上具有左右的行进轮；

导轨，沿上述物品运送车的行进路径配设，

上述导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具备左右一对的轨道部，上述左右一对的轨道部具有上述行进轮所行进的行进面，

上述导轨具有：将上述行进路径沿该行进路径延伸的方向从上游侧行进路径朝向下游侧行进路径从三方向合流的三方向合流部、和以分别与上述三方向合流部连接的状态设置的直进合流路、左侧合流路、右侧合流路，

上述直进合流路以下述状态构成：沿上述直进合流路配设的上述左右一对的轨道部与沿上述三方向合流部的上述下游侧行进路径配设的上述左右一对的轨道部不连续，沿路径长度方向离开既定的直进轨道间隔，

上述左侧合流路以下述状态构成：沿上述左侧合流路配设的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部相连，

上述右侧合流路以下述状态构成：沿上述右侧合流路配设的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部相连，

上述物品运送车具有：装备在比上述行进部的上述行进轮还靠上方侧位置的合流用的被引导体、和切换上述被引导体被引导的状态的合流状态切换机构，

该物品运送设备进而具有：承接上述被引导体的合流用上部导轨、和承接支承在上述三方向合流部中在上述直进合流路的上述左右一对的轨道部与上述下游侧行进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车的合流用辅助承接机构，

上述合流用上部导轨以下述状态设置，具备：从上述左侧合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的左合流用引导面、从上述右侧合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的右合流用引导面、从上述直进合流路向上述下游侧行进路径令上述物品运送车合流的直进合流用引导面，

上述合流状态切换机构构成为，切换为上述被引导体被上述左合流用引导面引导的左合流引导状态、上述被引导体被上述右合流用引导面引导的右合流引导状态、以及上述被引导体被上述直进合流用引导面引导的直进合流引导状态，

上述左合流用引导面设置为，以抑制从上述左侧合流路向上述下游侧行进路径部分合流的左合流行进状态的上述物品运送车向右侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述右合流用引导面设置为，以抑制从上述右侧合流路向上述下游侧行进路径部分合流的右合流行进状态的上述物品运送车向左侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述合流用辅助承接机构设置为，承接支承以从上述直进合流路向上述下游侧行进路径合流的直进合流行进状态在上述直进合流路的上述左右一对的轨道部和上述下游侧行进路径部分的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车，

上述物品运送车在上述行进部的上方位置还具有辅助车轮，

上述辅助车轮设置成，能够切换为被设置于上述三方向合流部的上方位置的辅助导轨承接支承的被承接位置、和不被上述辅助导轨承接的退避位置，

上述合流用辅助承接机构通过由上述辅助导轨承接上述辅助车轮而相对于上述辅助导轨悬吊支承上述物品运送车。

6.根据权利要求5所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

上述直进合流用引导面构成为在垂直于沿上述合流用上部导轨的延伸方向的方向的剖视中为向上的倾斜面，

上述被引导体由绕在该剖视中与上述直进合流用引导面平行的旋转轴心旋转的轮体构成，

上述合流用上部导轨作为上述辅助导轨起作用，并且，上述被引导体作为上述辅助车轮起作用。

7.根据权利要求6所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

作为上述辅助车轮起作用的上述被引导体通过向与上述直进合流用引导面平行的上述旋转轴心方向的移动而被切换为上述被承接位置和上述退避位置。

8.根据权利要求5至7的任意一项所述的顶板设置型的物品运送设备，其特征在于，

上述直进轨道间隔设定为比设置于上述物品运送车的上述行进部的上述行进轮的前后方向的间隔即车轮前后间隔短的长度。