CN102077155A - 与显示窗一体的电容式接触感应器以及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种电容式接触感应器，更详细而言，涉及一种与显示窗一体的电容式接触感应器。根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器，包括：显示窗基板，其为透明材料制备；绝缘性不透明装饰层，其配置在所述基板的一面的边缘使得在所述基板划分透明显示窗区域(W)；透明电极图案层，其配置在所述基板的显示窗区域(W)和装饰层的上部；导电性布线图案层，其配置于所述透明电极图案层的上部边缘。所述导电性布线图案层以由所述不透明装饰层隐藏的方式配置。根据本发明的接触感应器，在显示窗下部面一体形成接触感应器，从而不需要另外透明电极图案化的基板(PET)，能够提供薄型接触感应器。而且，根据本发明的接触感应器不需要粘接基板和感应器的压合胶粘剂，因此可以减低制造费用。

Description

与显示窗一体的电容式接触感应器以及其制造方法
技术区域
本发明涉及一种电容式接触感应器，更详细而言，涉及一种与显示窗一体的电容式接触感应器。
接触感应器多用作手机、PDA(Personal Digital Assistance)、MP3等便携式电子设备的输入装置。接触感应器公知的有电阻膜式和电容式。电容式接触感应器，其耐久性出色、具有多点触控功能，最近广泛适用在手机。
背景技术
图1是安装了现有电容式接触感应器组件110的手机的透视图，图2是表示在手机内部设置了接触感应器的状态的截面图。
现有手机100包括上部壳体101、接触感应器组件110以及下部壳体102。上部壳体101在其中央开口形成有支撑部101a，并在该支撑部101a设置接触感应器组件110。并且，在上部壳体101的前面设置开关120。在下部壳体102设置如LCD等显示装置140和主PCB150。显示装置140配置在接触感应器110的下部，虽未图示，用于传输信号的柔性电路基板(FPC：flexible printed circuit)连接于接触感应器组件110和主PCB150。并且，在上部壳体101设有扬声器130，在侧面设有麦克风140。
最近，为了容易组装且外观美丽，将结构设计成接触感应器的前面与上部壳体的前面相同的高度。即，在上部壳体101的中央开口部周围形成具有段差的支撑部101a，该段差与接触感应器组件110的厚度相同。通常，接触感应器组件110的前面区分为由显示装置140输出的图像的透明显示窗区域W和围绕显示窗区域的装饰区域D。显示窗区域W是触摸的部分。装饰区域D是印刷手机的商标或图形标志的位置，同时发挥隐藏接触感应器边缘的不透明导电性布线图案的功能。
发明内容
图3表示用于制造现有接触感应器组件200的工序。如图所示，接触感应器组件200包括显示窗211和附着于显示窗211下部的接触感应器220。
显示窗211通常使用强化玻璃或者透明压克力板(acrylic panel)。在显示窗211的下部面涂布不透明装饰层212(图3(h))。不透明装饰层212的涂布可通过丝网等方法印刷或者可由绝缘性物质的蒸镀等形成。
制造电容式接触感应器220的工序如下，首先，在由玻璃或者PET薄膜而成的基板216的上面涂布透明导电性薄膜215。透明导电性薄膜215的涂布由溅射或蒸镀氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镉锡(CTO)等完成(图3(b))。接着除去涂布的透明导电性薄膜215的一部分形成透明电极图案215(图3(c))。透明电极图案可利用公知的光刻技术或者激光加工形成。然后，涂布与透明电极图案电连接的导电性电路布线214(图3(d))。导电性电路布线214的涂布可通过丝网印刷法涂布导电性油墨。涂布用于与显示窗基板211结合的压合胶粘剂213(PSA，Pressure Sensitive Adhesive)，结合显示窗基板211和接触感应器220。然后，将用于与接触感应器200电连接的FPC218用异方性导电胶膜(ACF：anisotropic conductive film)连接在导电性布线图案214的端部。
粘合如所述制造的电容式接触感应器220和印刷了装饰层212的显示窗211完成接触感应器组件200。此时，接触感应器的不透明导电性布线图案214或接触感应器的死区(Dead zone)配置在装饰区域D的下部。
通过所述工序制造的接触感应器组件200存在如下问题。
第一，在粘合显示窗211和接触感应器220的工序中，在显示窗区域残留气泡217，或进入异物，这会导致接触感应器组件200的瑕疵。发生气泡而引起的瑕疵，是因被印刷在显示窗下部面的不透明装饰层212和没有印刷装饰层的显示窗区域W之间发生高度之差而发生的。
第二，在粘合显示窗和接触感应器时发生位置不准。这是因显示窗和接触感应器的收缩率之差和对准误差而导致的。
第三，需要结合显示窗211和接触感应器200的工序和为此工序所需的设备投资。由此，制造工序变长，瑕疵发生率变高，需要很多工作人力，从而制造费用上升。
第四，虽然仅由显示窗211的强度能保护显示装置140，但是由于使用另外的基板216，因此，接触感应器组件的厚度变厚，材料费用上升。而且，由于接触感应器组件的厚度变厚，因此其接触感应度以及光透射率变低。
本发明为解决所述问题点而提出的。本发明的目的在于，提供一种能够提供薄型电子装置的新构造接触感应器。本发明的第二目的在于，提供一种制造薄型新构造接触感应器的方法。
如以下说明，所述本发明的目的可通过在显示窗一体形成接触感应器的方法所达成。
根据本发明的一侧面的与显示窗一体的电容式接触感应器，包括：显示窗基板，其为透明材料制备；绝缘性不透明装饰层，其配置在所述基板的一面边缘使得在所述基板划分透明显示窗区域W；导电性透明电极图案层，其配置在所述基板的显示窗区域W和装饰层的上部；导电性电路布线层，其配置于所述导电性透明电极图案层的上部边缘。
为了防止因透明电极图案层和显示窗基板折射率之差可见透明电极图案，可在透明电极图案层的上部进一步涂布抗反射层。
另外，在形成有装饰层的显示窗基板涂布SiO2薄膜来代替涂布抗反射层，由此能减少可见电极图案的现象。此时，在所述SiO2薄膜的上部形成透明导电性电极图案。所述SiO2薄膜的厚度在30～2000Ω范围。
为了保护所述导电性透明电极图案层和导电性布线层，并防止在显示窗基板破碎时碎片散射，在抗反射层的上部或导电性透明电极图案层的上部进一步涂布散射防护层。
所述绝缘性不透明装饰层将绝缘性油墨丝网印刷在显示窗基板上而形成或者将绝缘性金属合金或者绝缘性金属氧化物或者绝缘性金属氮化物涂布在显示窗基板后，使得在涂膜上划分显示窗区域W丝网印刷绝缘性油墨所形成。
所述导电性透明电极图案层在由氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镉锡(CTO)而成的群中选择适当的氧化物而使用。
根据本发明另一侧面的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，包括：提供透明材质的显示窗基板的步骤；使得在所述显示窗基板划分透明显示窗区域W，在所述接触显示窗基板的一面的边缘提供绝缘性不透明装饰层的步骤；除去所述导电性电极薄膜的一部分形成预定导电性电极图案的步骤；在所述显示窗区域和装饰层的上部涂布透明导电性电极薄膜的步骤；除去局部所述导电性电极薄膜形成规定导电性电极图案的步骤；在所述导电性电极图案的边缘涂布导电性电路布线层的步骤。
所述绝缘性不透明装饰层可在显示窗基板直接丝网印刷绝缘性油墨所形成。并且，为了使装饰层的外观更加美丽，在显示窗基板涂布绝缘性金属合金或者绝缘性金属氧化物或者绝缘性金属氮化物之后，使得在涂膜上划分显示窗区域W丝网印刷绝缘性油墨所形成。此时，通过蚀刻工序去除显示窗区域的绝缘性涂膜。所述绝缘性金属氧化物包括二氧化钛(Tio2)或者二氧化硅(SiO2)。并且，所述绝缘性金属合金包括锡或者硅铝合金。
根据本发明的另一方法，进一步包括在所述透明电极图案和导电性电极图案的上部涂布抗反射层的步骤。抗反射层的涂布可以使用溅射法或者蒸镀法。
在涂布导电性电极薄膜之前，可进进行在形成有装饰层的显示窗基板涂布SiO2薄膜的步骤。若在SiO2薄膜的上部形成电极图案，则不需另外涂布抗反射层也可以防止可见电极图案的现象。SiO2薄膜的厚度优选在30～2000Ω范围。
根据本发明的另一方法，在使用强化玻璃时，优选进一步包括在涂布所述抗反射层之后涂布散射防护层115的步骤。涂布散射防护层可以使用丝网印刷法。
根据本发明的接触感应器，由于在显示窗下面一体形成有接触感应器，因此不需另外使用基板(涂布ITO的PET膜或者涂布ITO的玻璃基板)可提供薄型接触感应器。即，提供比现有接触感应器更薄且光透射率更出色的接触感应器。并且，根据本发明的接触感应器不需要粘接基板和感应器的压合胶粘剂因此可以减低制造费用。
根据本发明的接触感应器的制造方法，通过将电容式接触感应器直接形成在涂布装饰层的显示窗基板的下部，由此可以解除按照现有方法在感应器粘接在显示窗时发生的气泡或者异物的混入而引起的不良。并根本解除按照现有方法制造时粘合工序中发生的对准不良。而且，根据本发明的接触感应器的制造方法，解除粘接显示窗基板和接触感应器的工序，由此缩短生产工序，减少不良的发生并减低制造费用。另外，由于不需要用于粘接显示窗和接触感应器的其他设备，因此可以减低因设备投资而引起的制造费用。
附图说明
图1是安装了电容式接触感应器的手机的透视图。
图2是表示在手机设置了接触感应器的截面图。
图3是制造现有接触显示窗和电容式接触感应器的工序的说明图。
图4是用于说明根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器的结构的概略图。
图5是用于说明根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器的结构的展开透视图。
图6是说明制造根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器的方法的工序图。
200：接触感应器组件，211、311：显示窗基板，212、312：装饰层，213：压合胶粘剂(PSA)，214：布线图案层，215：导电性电极图案层，216：基板(PET薄膜)，310：与显示窗一体的接触感应器，313：导电性电极图案层，314：电路布线层，315：抗反射层，316：散射防护层
具体实施方式
图4是用于说明根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器的结构的概略图，图5是用于说明根据本发明的与显示窗一体的电容式接触感应器的结构的展开透视图。
根据图4及图5，说明根据本发明的与显示窗一体的接触感应器的一实施例。
本实施例的接触感应器310包括：强化玻璃构成的显示窗基板311、涂布于显示窗基板311的上表面边缘的装饰层312、被涂布于显示窗基板311的上表面的导电性透明电极图案层313。而且，在电极图案层313的边缘上部涂布导电性电路布线层314。本实施例的接触感应器，在电极图案层313的上部涂布抗反射层315，在抗反射层的上部涂布散射防护层315。
显示窗基板311使用透明压克力板或强化玻璃基板。将压克力板用作显示窗基板311时可以不涂布散射防护层315。在显示窗基板311的上表面边缘形成涂布绝缘性物质的不透明装饰层312，使得在显示窗基板311的中央部划分透明接触区域W。装饰层312构成显示窗311的装饰区域D。
本实施例中，装饰层312以薄膜形式涂布锡或者硅铝合金等绝缘性金属或者涂布绝缘性氧化物(TiO2以及SiO2的层叠)，在装饰区域D印刷绝缘性油墨后，通过蚀刻工序去除涂布于显示窗区域W的绝缘性薄膜。在装饰层312可以形成表示产品的商标或图形标志等装饰图案。在装置区域D形成商标或图形标志等装饰图案时，可以用形成显示窗区域的方法来形成。在装饰图案也可以进一步附加彩色印刷形成彩色图案。与本实施例不同，也可以在显示窗基板311的上表面直接印刷绝缘性油墨来形成装饰层312。
本实施例中，透明电极图案层313涂布于显示窗区域W和装饰层312的局部。当然，电极图案层313也可以涂布于整个显示窗区域W和整个装饰层312。电极图案层313是通过光刻技术去除由溅射形成的ITO薄膜(参照图6(d))的一部分而形成的。而且，在形成电极图案层313时，除氧化铟锡(ITO)外还可以在氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镉锡(CTO)中适当选择使用。
用于连接电极图案层313的导电性电路布线层314涂布在位于装饰区域D的电极图案层313的上部。不透明装饰层312被不透明导电性电路布线层314隐藏，使得在外部看不见。导电性电路布线层314通过丝网印刷导电性油墨而形成。并且，为了使显示窗区域W最大，通过溅射工序涂布金属薄膜之后，通过光刻技术形成电路布线层314。为了确保透明显示窗区域W，印刷不透明导电性油墨而成的电路布线层314仅在装饰区域D配置。由此，透明电极图案层313的一部分边缘延伸到装饰区域D，配置于装饰区域D的导电性布线层314涂布于透明电极图案层313的边缘。
为了利用光的相消干涉现象，防止因透明电极图案313和显示窗基板311的折射率之差而使得电极图案可以被看见的现象，抗反射层(AR层，Anti Reflection layer)涂布于导电性透明电极图案层313上。抗反射层在真空中利用TiO2或SiO2通过溅射或蒸镀而形成。
如本实施例，代替在透明电极图案313的上部蒸镀抗反射层315，也可以在形成有装饰层312的显示窗基板311的上表面蒸镀SiO2薄膜，在该薄膜上也可以形成ITO电极图案。
散射防护层316保护透明电极图案层313和电路布线层314，在由强化玻璃而成的显示窗基板311破损时防止碎片散射。散射防护层316是印刷UV硬化性树脂后照射UV而形成的。
未说明符号317是用于电连接接触感应器的柔性电路基板(FPC)，通过异方导电性膜(ACF)连接于电路布线层314的终端部。
本实施例的与显示窗一体的感应器310可以比现有接触感应器组件200更薄，降低工艺瑕疵，缩短工序时间数并减低制造费用。即，现有接触感应器组件200从下部以基板(涂布ITO的PET薄膜或涂布ITO的玻璃基板)、ITO图案层、电极图案层、抗反射层、压合胶粘剂层(PSA)、装饰印刷层、显示窗基板的顺序层叠，因此其制造工序繁杂且又厚。相反，本实施例的接触感应器310通过将接触感应器一体型成在显示窗基板，省略将感应器粘接在显示窗基板的工序，由此不需要压合胶粘剂层(PSA)和基板(涂布ITO的PET薄膜或涂布ITO的玻璃基板)而成为薄型，解决粘接时发生的气泡而引起的瑕疵、进入异物而引起的瑕疵、位置不准引起的对准瑕疵。
以下，说明制造本实施例的与显示窗一体的接触感应器的工序。图6是概略地表示图4所示的与显示窗一体的电容式接触感应器的制造工序。
首先，准备适当尺寸的强化玻璃基板或压克力基板(图6(a))。
接着，涂布用于形成装饰层312的绝缘性材质薄膜312′(图6(b))。绝缘性材质薄膜312′在真空中蒸镀绝缘性金属或者绝缘性氧化物或者氮化物。
然后，利用丝网印刷机在绝缘性材质的薄膜312′上印刷绝缘性油墨形成装饰层312之后，用热风干燥器在80度下干燥60分钟。干燥印刷的装饰层312后，除涂布于被印刷的装饰层312下部的绝缘性薄膜外，利用蚀刻溶液去除蒸镀于显示窗区域W的绝缘性薄膜(图6(c))。实际上，被印刷的装饰层312的厚度比绝缘性材质薄膜312′的厚度厚数百倍以上，在图6中，为了方便，不考虑厚度比例而进行图示。
本实施例中说明了在蒸镀绝缘性材质薄膜312′后印刷装饰层312进行蚀刻的方法，但是，也可以不蒸镀绝缘性材质薄膜312′，可以利用丝网印刷机直接将绝缘性油墨印刷在显示窗基板而印刷装饰层。被印刷的装饰层312在热风干燥器中在80度下干燥60分钟或者可以使用近红外线(IR)进行干燥。
接着，在显示窗区域W和装饰层312涂布透明导电性薄膜(ITO薄膜)313′(图6(d))。ITO薄膜313′，优选其表面电阻为100至700Ω范围，可见光线透射率为87％以上。涂布ITO薄膜313′的工序可以利用与现有电容式接触感应器相同的工序，因此省略详细说明。此处，装饰层312在被印刷的显示窗基板311直接涂布ITO而形成电极图案制造接触感应器的方法需要转换构思。尤其，被印刷的装饰层312的厚度为10μm左右，相反，ITO薄膜313′的厚度为0.01～0.1μm左右。即，ITO薄膜313′的厚度比装饰印刷层的厚度薄很多。因此，在印刷了装饰层的显示窗基板上直接涂布ITO薄膜然后选择性地蚀刻形成图案从来没有被探究过。为了制作与显示窗一体的接触感应器，在涂布ITO薄膜313′时，被印刷的装饰层312和显示窗区域W之间有很大的厚度之差，应精细地涂布ITO薄膜使得具有均匀的表面电阻和透射率。
然后，部分地去除透明导电性薄膜313′形成规定透明电极图案313(图6(e))。在ITO薄膜313′上形成电极图案的工序与制造现有电容式接触感应器的工序相同，因此省略详细说明。
其次，在配置于装饰层312上部的透明导电性电极图案313的边缘部形成导电性电路布线层314(图6(f))。电路布线层314通过丝网印刷法印刷导电性油墨而形成。布线层314使用丝网上图案化的罩子，利用印刷设备印刷银浆形成。布线层314的布线宽度在50～200μm范围。另外，为了使显示窗区域最大，在真空中蒸镀金属薄膜之后通过光刻技术形成布线层。此时，布线宽度可在5～10μm范围。
接着，在电极图案313的上部涂布抗反射层315(图6(g))。由于透明电极图案313和显示窗基板311具有折射率之差，因此发生显示窗区域W的电极图案可以看见的现象。由此，为了隐藏透明电极图案313并提高光透射率进行低反射涂布处理。低反射涂布主要利用溅射法和真空蒸镀法。使用二氧化钛、二氧化硅、氟化镁等作为抗反射层，也可以以两层或四层层叠氧化钛和氧化硅形成抗反射层315，从而，隐藏透明电极图案，并在可见光区域减低反射率提高透射率。
然后，显示窗基板为强化玻璃时涂布散射防护层316，该散射防护层用于保护透明电极图案层313以及布线层314，并且在显示窗基板311破碎时防止碎片散射。抗放射层311利用丝网印刷涂布热硬化性树脂后在80度下干燥60分钟。
最后，在导电性电极图案层314的终端部连结PCB317。
根据本实施例的方法，提供制造工序简单的与显示窗一体的接触感应器。尤其，与现有接触感应器组件的制造工序相比，省略了接合显示窗和接触感应器的工序，因此提高生产性，并且由于除去压合胶粘剂层(PSA层)，因此可以薄型化，从而可以提供光投射率出色的与显示窗一体的接触感应器。并且，由于省略了显示窗和接触感应器的结合工序，因此，也解决了因装饰层的段差而发生的气泡所引起的不良、进入异物而引起的不良以及对准不良。
在根据本发明的实施例中举例说明了制造接触感应器的工序，虽未图示在大面积圆盘同时制造多个接触感应器的方法，但，此对本技术人员来说是自明的。
所述本发明的实施例不能解释为限定本发明的技术思想。本发明的保护范围仅通过权利要求范围来限定，对于本发明的技术思想属于本发明的技术领域中的技术人员可以改变为各种形态。这些改良以及变更对本技术领域的技术人员来说是自明的，因此应理解为属于本发明的保护范围。
根据本发明的与显示窗一体的接触感应器可以用作手机、照相机等便携式电子装置的输入装置。尤其，使用根据本发明的接触感应器，可以使便携式电子装置薄型化。而且，具有可以提高透射率的优点。

Claims (18)

1.一种与显示窗一体的电容式接触感应器，其包括：
显示窗基板(311)，其为透明材料；
绝缘性不透明装饰层(312)，其配置在所述基板一表面的边缘以在所述基板划分出透明显示窗区域(W)；
导电性透明电极图案层(313)，其配置在所述基板的显示窗区域(W)和装饰层的上部；
导电性电路布线层(314)，其配置于所述导电性透明电极图案层(313)上表面的边缘。
2.根据权利要求1所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于进一步包括：
抗反射层(315)，其配置于所述导电性透明电极图案层(313)的上部。
3.根据权利要求1所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于进一步包括：
SiO2层，其涂布于所述显示窗基板(311)和透明电极图案层(313)之间。
4.根据权利要求2所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于进一步包括：
散射防护层(316)，其配置于所述抗反射层(315)的上部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于：
所述绝缘性不透明装饰层(112)是用绝缘性油墨通过丝网印刷而形成的。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于：
所述绝缘性不透明装饰层(112)包括由绝缘性金属合金或者绝缘性金属氧化物构成的涂层，绝缘性油墨被印刷在所述涂层上。
7.根据权利要求6所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于：
所述绝缘性金属氧化物包括二氧化钛(TiO2)或者二氧化硅(SiO2)。
8.根据权利要求6所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于：
所述绝缘性金属合金包括锡或者硅铝合金。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的与显示窗一体的电容式接触感应器，其特征在于：
所述导电性电极图案层由选自氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镉锡(CTO)所组成的组中的氧化物形成。
10.一种制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其包括：
提供透明材质的显示窗基板(311)的步骤；
在所述显示窗基板一表面的边缘提供绝缘性不透明装饰层(312)以在所述显示窗基板划分出透明显示窗区域(W)的步骤；
在所述显示窗区域(W)和装饰层(D)上涂布透明导电性电极薄膜(313′)的步骤；
部分地除去所述导电性电极薄膜以形成预定透明导电性电极图案(313)的步骤；
在所述透明导电性电极图案(313)的边缘涂布导电性电路布线层(314)的步骤。
11.根据权利要求10所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于进一步包括：
在透明电极图案和导电性布线层的上部涂布抗反射层(315)的步骤。
12.根据权利要求11所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于进一步包括：
在所述抗反射层的上部涂布散射防护层(316)的步骤。
13.根据权利要求10所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于进一步包括：
在涂布所述透明导电性电极薄膜(313′)之前涂布二氧化硅层(SiO2)的步骤。
14.根据权利要求10至13中的任一项所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于提供绝缘性不透明装饰层(312)的步骤进一步包括：
在所述显示窗基板(311)的一面涂布绝缘性金属合金层(312′)或者绝缘性金属氧化层(312′)的步骤；
在装饰区域(D)的所述绝缘性金属合金层或者金属氧化物层上的涂布绝缘性油墨以在所述显示窗基板(311)划分出显示窗区域(W)的步骤；
通过蚀刻除去涂布于所述显示窗区域(W)的金属合金层或者绝缘性金属氧化物层的步骤。
15.根据权利要求14所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于：
所述绝缘性金属氧化物包括二氧化钛(Tio2)或者二氧化硅(SiO2)。
16.根据权利要求14所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于：
所述绝缘性金属合金包括锡或者硅铝合金。
17.根据权利要求10至13中的任一项所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于：
提供所述绝缘性不透明装饰层(112)的步骤通过丝网印刷绝缘性油墨来完成。
18.根据权利要求10至13中的任一项所述的制造与显示窗一体的电容式接触感应器的方法，其特征在于：
所述透明电极薄膜的涂布是通过溅射选自由氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化镉锡(CTO)所组成的组中的一种氧化物而形成的。
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