JP5834488B2 - タッチパネルセンサー付液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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前記共用するガラス基板のカラーフィルタから見て裏面側に直接一体的に形成された静電容量方式のタッチパネルセンサーの容量検出用電極の前記金属酸化物がIn 2 O 3 とZnOの混合比が重量%で90:10から80:20の範囲のIZO金属酸化物であることを特徴とするタッチパネルセンサー付液晶表示装置としたものである。
特に、液晶パネルの表裏からフッ化水素酸でウエットエッチングが可能となるので薄いタッチパネルセンサー付液晶表示装置が提供できる。
また、容量検出用電極材料であるIZO(インジウム亜鉛酸化物)のスパッタ成膜は、ITO(インジウム錫酸化物)に比べると120℃以下の低温で堆積できるので、液晶表示装置自体に与えるダメージが低減され、特にシール材の接着力を劣化させることがない。また,IZOはスパッタ装置内でのノジュール発生が少なくメンテンスフリーで実施できる結果、タッチパネルセンサー部の製造コストを下げられるという効果を奏する。
ず)を形成し、UV硬化させた。オーバーコートの目的は、枠状加飾部の凸状を低減して平坦化することと、均一に加飾部を被覆して加飾部からの出ガスを防止することである。オーバーコート材は、エポキシ系の熱硬化樹脂、もしくは可視光領域において高透過率を有するノボラック系のポジ型材料を使用することもできる。但し、オーバーコート層は必ずしも必須ということはなく、そのため図面上では省略してある。
極14とを同一レイヤに配列する場合、交差部分が生じるため、いずれか一方向の接続を行うためにジャンパー線18のような配線部が必要となる。本実施形態に係る静電容量型タッチパネルでは、ジャンパー線18をオーバーコート層5の表面に形成し、その上方に絶縁膜16と第1及び第2のIZO電極13及びIZO透明14を形成しているため、表面側から見た際にジャンパー線8を目立ちにくくすることができる。
尚、IZOは、アニール温度に対する表面抵抗と透過率の変化が少なく、100℃で表面抵抗210Ω/□、透過率は87%(λ=550nm)程度であった。
尚、ITOは、アニール温度100℃で表面抵抗400Ω/□、透過率は89%(λ=550nm)程度であった。
したがって、IZOは、容量検出用電極としてアニール処理を格段行わずとも250Ω/□程度の表面抵抗を有しており十分実用的であった。
以上から総合的に判断して、IZOの、ITOのような高温アニールが不要であるというメリットは、表面抵抗値と透過率が若干ITOを下回るデメリットを凌ぐものであった。
2、TFT側基板
3、TFT(Thin film Transistor)
4、液晶
5、カラーフィルタ
6、シール材
7、カラー液晶表示装置
10、タッチパネルセンサー
12、基板
13、第1の透明電極
14、第2の透明電極
15、接続部
16、(透明)絶縁膜
17、スルーホール
18、ジャンパー線
Claims (3)
- 液晶を狭持する一対のガラス基板のうちカラーフィルタを備える側のガラス基板をタッチパネルセンサーの支持基板として共用し、前記タッチパネルセンサーの容量検出用電極が120℃以下の低温で形成された金属酸化物からなるタッチパネルセンサー付液晶表示装置において、
前記共用するガラス基板のカラーフィルタから見て裏面側に直接一体的に形成された静電容量方式のタッチパネルセンサーの容量検出用電極の前記金属酸化物がIn 2 O 3 とZnOの混合比が重量%で90:10から80:20の範囲のIZO金属酸化物であることを特徴とするタッチパネルセンサー付液晶表示装置。 - 前記IZO金属酸化物のシート抵抗が300Ω/□以下で、透過率が80%以上であることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネルセンサー付液晶表示装置。
- 少なくとも、カラー液晶表示装置を製造する工程と、前記液晶表装置を構成する2枚のガラス基板をウエットエッチングにより薄くする工程と、カラーフィルタを裏面に備えるガラス基板の表面に静電容量型タッチパネルセンサーを形成する工程と、をこの順で有するタッチパネルセンサー付液晶表示装置の製造方法であって、前記タッチパネルセンサーの形成工程は、スパッタ法でIn2O3とZnOの混合比が重量%で90:10から80:20の範囲のスパッタ用ターゲットをスパッタしてIZO金属酸化物を成膜する工程と、IZO金属酸化物を120℃以下の温度でアニールする工程と、IZO金属酸化物をパターニング処理する工程と、を有することを特長とするタッチパネルセンサー付液晶表示装置の製造方法。
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