JP5659684B2 - タッチパネル基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記ジャンパーは、金属薄膜の上に透明導電性薄膜が積層された導電性材料から形成され、
前記金属薄膜は、MAM(Moモリブデン/Alアルミニウム/Moモリブデン)であり、前記透明導電性薄膜は、ITO(酸化インジウムすず)であり、前記ITO(酸化インジウムすず)の膜厚は52.5nm±17.5nmであることを特徴とするタッチパネル基板である。
と直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極3と、X軸方向及びY軸方向に配列されると共に各々が第1の透光性電極3の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極4とを備える。まず、ITO等インジウム、スズ、ガリウム、亜鉛などの金属酸化物の複合酸化物の透光性導電材料を用いて、蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の真空成膜手法を用いた同一工程で透明基板2上全面に透明導電膜を形成する。その後、この透明導電膜を公知の手法でパターニングして、所定形状の第1の透光性電極と第2の透光性電極を形成する。
4・・・第2の透光性電極 5・・・(第2の透光性電極の)接続部 6・・・絶縁膜
7・・・ジャンパー 8・・・金属電極 9・・・保護膜
Claims (3)
- 透明基板の表面の同一レイヤーに、X軸方向及びこれと直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極と前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列されると共に各々が前記第1の透光性電極の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極とを備え、前記第1の透光性電極と第2の透光性電極とは透明絶縁膜によって互いに絶縁され、X軸方向に整列する前記第1の透光性電極の各々は前記第1の透光性電極上の前記透明絶縁膜のコンタクトホールを通じて前記X軸方向及び前記Y軸方向に配列される導電性材料からなる複数のジャンパーによって相互に電気的に接続され、前記第1の透光性電極と第2の透光性電極とのパネル端部のそれぞれには電気信号を検出するための検出器に接続されている金属電極とを備えるタッチパネル基板において、前記ジャンパーは、金属薄膜の上に透明導電性薄膜が積層された導電性材料から形成され、
前記金属薄膜は、MAM(Moモリブデン/Alアルミニウム/Moモリブデン)であり、
前記透明導電性薄膜は、ITO(酸化インジウムすず)であり、
前記ITO(酸化インジウムすず)の膜厚は52.5nm±17.5nmであることを特徴とするタッチパネル基板。 - 前記ジャンパーと前記金属電極とが同じ導電性材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載するタッチパネル基板。
- 請求項1または2に記載するタッチパネル基板の製造方法であって、前記ジャンパーと前記金属電極とを一括して所定の位置に形成する工程を含むことを特徴とするタッチパネル基板の製造方法。
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