CN101825843B - 感光性树脂组合物、tft-lcd及tft-lcd用层间有机绝缘膜形成方法 - Google Patents

感光性树脂组合物、tft-lcd及tft-lcd用层间有机绝缘膜形成方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种感光性树脂组合物，其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是，是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物，含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂。

Description

感光性树脂组合物、TFT-LCD及TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成方法
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物，更详细地涉及这样的感光性树脂组合物：用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。 
背景技术
TFT型液晶显示元件或者集成电路元件为了使配置于层间的配线之间绝缘而使用有机绝缘膜。 
尤其，为了TFT-LCD用光取向，必须使用非常多的曝光能，以免发生残像等问题。作为为了光取向而使用的层间有机绝缘膜，使用以往的感光性树脂时，由于耐光性差而使层间有机绝缘膜因过曝光而老化并产生升华物或者产生分解物而污染液晶，如果由这种现象使液晶受到污染，就会产生像素内的液晶不足的领域，因此需要切实改善该问题。 
发明内容
发明要解决的问题 
为了解决这样的现有技术中所存在的问题，本发明以提供一种感光性树脂组合物为目的，该感光性树脂组合物用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。 
解决问题的手段 
为了达到上述目的，本发明提供一种用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成的感光性树脂组合物，其特征在于含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂。 
并且，本发明提供一种利用了上述感光性树脂组合物的TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成方法。 
并且，本发明提供一种作为层间有机绝缘膜含有所述感光性树脂组合物的固化物的TFT-LCD。 
发明效果 
根据本发明的感光性树脂组合物，通过用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。 
具体实施方式
以下，详细说明本发明。 
本发明人确认在作为层间有机绝缘膜使用的感光性树脂组合物中含有UV稳定剂或者自由基清除剂(radical scavenger)0.01至20重量％时，不仅在光取向用液晶工序中进行过曝光时可以改善液晶偏置现象，而且还容易调解图案的分辨率，特别适合TFT-LCD的层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成，从而完成了本发明。 
本发明的感光性树脂组合物以含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂为特征。 
本发明的UV稳定剂或者自由基清除剂通过在光取向用液晶工序中吸收过曝光能，并使其变成无害的动能或者热能，起到抑制层间有机绝缘膜由于光而分解以及产生变色有机物的升华物的作用。即，所述UV稳定剂和自由基清除剂吸收并除去对于过曝光的紫外线，在必须通过过曝光来进行液晶的交联、取向的液晶模式中，起到可以确保层间有机绝缘膜的可靠性的作用。 
具体为，上述UV稳定剂或者自由基清除剂可以将苯并三唑及其衍生物、三嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物单独或者将两种以上混合使用，并且可以在感光性树脂组合物中含有0.01至20重量％，进一步优选在感光性树脂组合物中含有0.1至10重量％。并且，最好是分别含有0.1至10重量％的UV稳定剂和自由基清除剂。 
更具体的，作为上述苯并三唑及其衍生物可以使用羟基苯基苯并三唑、2，2’-亚甲基-双(6-(2H-苯并三唑-2-基)-4-(1，1，3，3-四甲基丁基)-苯酚、2-(2’-羟基甲基苯基)苯并三唑、2-[2’-羟基-3’，5’-双(α，α-二甲基苄基苯基]苯并三唑、2-(2’-羟基-3’，5’-二丁基苯基)苯并三唑、2-(2’-羟基-3’-叔丁基-5’-甲基苯基)-5- 氯苯并三唑、2-(2’-羟基-3’，5’-二叔丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’-羟基-3’，5’-二叔戊基)苯并三唑、2-(2’-羟基-5’-叔辛基苯基)苯并三唑、或者2，2’-亚甲基双[4-(1，1，3，3-四甲基丁基)-6-(2-N-苯并三唑-2-基)苯酚]等。 
并且，作为上述三嗪及其衍生物可以使用羟基苯基均三嗪、2-(4’-甲氧基苯基)-4，6-双(2’-羟基-4’-正辛基氧苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(3-(2-丙基氧)-2-羟基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(2-乙基-己基氧)-2-羟基]-苯基}-6-[4-(2-甲氧基乙基-羧基)-苯基氨基]-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(三(三甲基甲硅烷基氧-甲硅烷基丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(2’-甲基丙烯基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(1’，1’，1’，3’，5’，5’，5’-七甲基三甲硅烷基-2’-甲基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双{[4-(4-(2-丙基氧)-2-羟基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-[4-乙基羧基)-苯基氨基]-1，3，5-三嗪、或者2，4，6-三苯胺-(对羰基-2’-乙基-1’-氧)-1，3，5-三嗪等。 
并且，作为上述哌啶及其衍生物可以使用4-苯甲酰-2，2，6，6-四甲基哌啶或者4-硬脂酰氧-2，2，6，6-四甲基-哌啶等。 
并且，还可以使用市售的UV稳定剂或者自由基清除剂，例如，作为UV稳定剂可以使用汽巴(Ciba)公司的TINUVIN 109、171、384-2、400、405、411L、328、900、928、384-2、460、477、479、CGL77MPA-D型等，并且可以将与此类似系统的衍生物单独或者将两种以上混合使用，作为自由基清除剂可以使用汽巴(Ciba)公司的TINUVIN 123、292、292HP、144型和CGL 052等，并且可以将与此类似系统的衍生物单独或者将两种以上混合使用。 
并且，除了上述UV稳定剂或者自由基清除剂以外，本发明的感光性树脂组合物可以使用公知的用于有机绝缘膜形成的感光性树脂组合物，作为优选例，由下述物质组成：a)共聚物树脂5至40重量％、b)光引发剂0.01至30重量％、c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体0.5至40重量％、d)所述UV稳定剂或者自由基清除剂0.01至20重量％、以及e)余量的溶剂。 
上述a)的共聚物树脂可以使用用于负型感光性树脂组合物的公知的共聚物树脂，优选使用丙烯酸系共聚物树脂或者聚酰亚胺系共聚物树脂。所述共聚物树脂的聚苯乙烯换算重均分子量优选为5000～20000，在所述范围内时，可 以同时满足有机绝缘膜的显像性、残膜率、耐热性、灵敏度等。 
上述a)共聚物树脂的含量为感光性树脂组合物的5至40重量％较好。在所述范围内时，不仅是灵敏度，还可以同时满足平坦度、分辨率、耐热性、透过率、抗冲击性。 
作为具体的例子，所述丙烯酸系共聚物可以通过将i)不饱和羧酸或其酐、ii)含环氧基不饱和化合物以及iii)烯烃系不饱和化合物作为单体，在溶剂和聚合引发剂的存在下进行自由基合成后，通过沉淀和过滤、真空干燥(VacuumDrying)工序除去未反应单体来获得。 
本发明中使用的上述a)i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物，可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸等不饱和一元羧酸，马来酸、富马酸、柠康酸、甲基富马酸、衣康酸等不饱和二元羧酸，或者这些不饱和二元羧酸的酐等，并且，这些化合物可以单独或者将两种以上混合使用，尤其是，从共聚反应性和对作为显像液的碱性水溶液的溶解性考虑，进一步优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、或者马来酸酐。 
上述不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物，相对于全部总单体，优选含有15至45重量份。其含量在所述范围内时，在碱性水溶液中的溶解性最为理想。 
在本发明中使用的上述a)ii)含环氧基不饱和化合物可以使用丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3，4-环氧基丁酯、甲基丙烯酸-3，4-环氧基丁酯、丙烯酸-6，7-环氧基庚酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧基庚酯、α-乙基丙烯酸-6，7-环氧基庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、或者对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3，4-环氧基环己酯等，并且，所述化合物可以单独或者将两种以上混合使用。 
尤其是，从提高共聚反应性和所得图案的耐热性上考虑，所述含环氧基不饱和化合物进一步优选使用甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧基庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄 基缩水甘油醚、或者对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3，4-环氧基环己酯等。 
上述含环氧基不饱和化合物，相对于全部总单体，优选含有15至45重量份。其含量在所述范围内时，可以同时满足有机绝缘膜的耐热性和感光性树脂组合物的保存稳定性。 
本发明中使用的所述a)iii)的烯烃系不饱和化合物可以使用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸二环戊酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊酯、丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸二环戊基氧乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊基氧基乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1，3-丁二烯、异戊二烯、或者2，3-二甲基-1，3-丁二烯等，并且，所述化合物可以单独或者将两种以上混合使用。 
尤其是，从共聚反应性和对于作为显像液的碱性水溶液的溶解性上考虑，所述烯烃系不饱和化合物进一步优选使用苯乙烯、甲基丙烯酸二环戊酯或者对甲氧基苯乙烯。 
上述烯烃系不饱和化合物，相对于全部总单体，优选含有25至70重量份，进一步优选含有25至45重量份。其含量在所述范围内时，可以使显像后不发生膨胀(Swelling)，且可以理想地维持对作为显像液的碱性水溶液的溶解性。 
为了用如上所述的单体进行溶液(Solution)聚合而使用的溶剂，可以使用甲醇、四氢呋喃、甲苯、二噁烷等。 
为了用如上所述的单体进行溶液(Solution)聚合而使用的聚合引发剂可以使用自由基聚合引发剂，具体可以使用2，2-偶氮二异丁腈、2，2-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2-偶氮二(4-甲氧基2，4-二甲基戊腈)、1，1-偶氮二(环己烷-1-腈)、或者2，2’-偶氮二异丁酸二甲酯等。 
将如上所述的单体在溶剂和聚合引发剂的存在下进行自由基反应后，通过 沉淀和过滤、真空干燥(Vacuum Drying)工序除去未反应单体而获得的丙烯酸系共聚物优选聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为5,000～20,000。 
作为本发明中使用的上述b)的光引发剂的例子，可以使用三嗪系、苯偶因、苯乙酮系、咪唑系、呫吨酮或者肟酯系等化合物，作为具体例子，可以使用2，4-双三氯甲基-6-对甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2-对甲氧基苯乙烯基-4，6-双三氯甲基-均三嗪、2，4-三氯甲基-6-三嗪、2，4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、二苯甲酮、对(二乙基氨基)二苯甲酮、2，2-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、2-十二烷基硫杂蒽酮、2，4-二甲基硫杂蒽酮、2，4-二乙基硫杂蒽酮、2，2-双-2-氯苯基-4，5，4，5-四苯基-2-1，2-二咪唑、汽巴精化公司的Irgacure 369、Irgacur 651、Irgacure 907、Darocur TPO、Irgacure 819、OXE-01、OXE-02，艾迪科(Adeka)公司的N-1919、NCI-831等化合物，并且，所述化合物可以单独或者将两种以上混合使用。 
上述光引发剂的含量不足0.01重量％时，由于灵敏度低而存在残膜率变差的问题，超过30重量％时，保存稳定性会出现问题，且由于高固化度而存在显像时图案的接着力降低的问题。 
并且，本发明中使用的所述c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体，一般是至少具有2个以上的乙烯系双键的交联性单体，可以使用二丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、二季戊四醇六二丙烯酸酯、二季戊四醇三二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、双酚A二丙烯酸酯衍生物、聚丙烯酸二季戊四醇酯、或者它们的甲基丙烯酸酯类等。 
优选含有0.5至40重量％的所述具有乙烯性不饱和键的多官能性单体，进一步优选含有5至20重量％。该含量不足0.5重量％时，由于与感光性树脂的低固化度而存在难以实现接触孔以及图案的问题，超过40重量％时，由于高固化度而存在显像时接触孔以及图案的分辨率低的问题。 
本发明中使用的上述d)UV稳定剂或者自由基清除剂如上所述。 
并且，本发明中使用的所述e)溶剂使有机绝缘膜平坦以及不产生涂料渗 透，从而形成均一的图案轮廓(pattern profile)。 
上述溶剂有甲醇、乙醇、苄醇、己醇等醇类，乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类，乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯类，乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇一烷基醚类，二乙二醇一甲基醚、二乙二醇一乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚类，丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯类，丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类，丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇一烷基醚类，二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚类，丁二醇一甲基醚、丁二醇一乙基醚等丁二醇一甲基醚类，二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇烷基醚类等。 
上述溶剂的含量是全体感光性树脂组合物的余量，优选为50至90重量％。在所述范围内时，可以同时提高感光性树脂组合物的涂布性和保存稳定性。 
包含如上所述的成分的本发明的感光性树脂组合物可以根据需要选择性地进一步含有环氧树脂、粘接剂、增敏剂或者表面活性剂。 
上述环氧树脂起到提高由感光性树脂组合物获得的图案的耐热性、灵敏度等的作用。 
上述环氧树脂可以使用双酚A型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、环状脂肪族环氧树脂、缩水甘油酯型环氧树脂、缩水甘油胺型环氧树脂、杂环式环氧树脂、或者将与a)的丙烯酸系共聚物不同的甲基丙烯酸缩水甘油酸酯(共)聚合了的树脂等，特别优选使用双酚A型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、或者缩水甘油酯型环氧树脂。 
上述环氧树脂相对于本发明的感光性树脂组合物优选含有0.01至10重量％，该含量在所述范围内时，可以提高涂布性和粘接性。 
并且，所述粘接剂起到提高与基板的粘接性的作用，相对于本发明的感光性树脂组合物优选含有0.01至10重量％。 
上述粘接剂可以使用具有羧基、甲基丙烯酰基、异氰酸酯基、或者环氧基等反应性取代基的硅烷偶合剂等。具体可以使用γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧 基硅烷、乙烯基三乙酸基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、或者β-(3，4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷等。 
并且，作为上述增敏剂可以使用从由邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二异壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、以及2，2，4-三甲基-1，3-戊二醇一异丁酸酯组成的组中选择的1种以上的化合物，其含量较好为感光性树脂组合物的0.1至10重量％。 
并且，上述表面活性剂起到提高感光性组合物的涂布性或者显像性的作用。 
上述表面活性剂可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名，大日本油墨公司)、FC430、FC431(商品名，住友3M公司)、或者KP341(商品名，信越化学工业公司)等 
上述表面活性剂相对于本发明的感光性树脂组合物优选含有0.0001至2重量％，该含量在所述范围内时，对于感光性组合物的涂布性或者显像性的提高会更加有益。 
由如上所述的成分组成的本发明的感光性树脂组合物的固体成分浓度优选10至50重量％，具有所述范围的固体成分的组合物，用0.1～0.2μm的微孔滤膜等过滤后再使用较好。 
并且，本发明提供利用了上述感光性树脂组合物的TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成方法以及将所述感光性树脂组合物的固化物作为TFT-LCD用层间有机绝缘膜而含有的显示器。 
本发明的TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成方法，是利用感光性树脂组合物形成TFT-LCD的层间有机绝缘膜图案的方法，以使用上述感光性树脂组合物为特征，使用在基材上涂布感光性树脂组合物-预烘焙-曝光-显像等公知的图案形成方法。 
作为具体例子，形成TFT-LCD用层间有机绝缘膜的方法如下。 
首先，将本发明的所述感光性树脂组合物用喷雾法、辊涂法、旋涂法等涂布于基板表面，通过预烘除去溶剂，形成涂布膜。此时，所述预烘优选在80～115℃的温度中实施1～15分钟。 
然后，通过预先准备的光掩模将可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等照射到上述形成的涂布膜上，通过用显像液显像除去不必要的部分来形成规定的图案。 
上述显像液使用碱性水溶液较好，具体可以使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠等无机碱类，乙胺、正丙胺等伯胺类，二乙胺等仲胺类，三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺类，二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺类，或者四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐的水溶液等。此时，所述显像液是将碱性化合物以0.1～10重量％的浓度溶解而使用，也可以适量添加甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂以及表面活性剂。 
并且，用如上所述的显像液显像后，用超纯水清洗30～90秒以除去不必要的部分并干燥而形成图案，向所述形成的图案照射紫外线等光后，将图案通过烘箱等加热装置在150～250℃的温度中加热处理30～90分钟，就可以获得最终图案。 
以下，为了理解本发明而表示优选实施例，但是下述实施例仅是本发明的例示，本发明的范围并不限定于下述的实施例。 
实施例 
实施例1 
在具备冷凝器和搅拌机的2L的烧瓶(Flask)中投入异丙醇400重量份、甲基丙烯酸30重量份和苯乙烯30重量份、甲基丙烯酸缩水甘油酯25重量份、丙烯酸2-羟基乙酯15重量份的混合溶液。将所述液态组合物在混合容器中以600rpm充分混合后，添加2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)15重量份。将所述聚合混合溶液缓慢升温至50℃，并将该温度维持6小时而得到了共聚物溶液。在所得聚合物中添加阻聚剂。将所述聚合被中止了的烧瓶的温度降至18℃，停滞1小时后，得到生成的析出物并过滤。将所述过滤得到的析出物85重量份加入到作为溶剂的丙二醇一乙基醚丙酸酯中，使析出物的含量达到45重量％，得到了丙烯酸系共聚物。此时得到的聚合物溶液的丙烯酸系共聚物的重均分子量(Mw)为9,000。 
将100重量份的含上述制造的丙烯酸系共聚物的聚合物溶液、10重量份的作为光引发剂的OXE-02、40重量份的作为交联性单体的二季戊四醇六二丙 烯酸酯、以及10重量份的作为UV稳定剂的TINUVIN 400进行混合。在所述混合物中加入二乙二醇二甲基醚并溶解，使固体成分浓度达到35重量％，然后以0.2μm的微孔滤膜过滤，制造了负型感光性树脂组合物。 
实施例2 
将100重量份的上述实施例1中制造的含有丙烯酸系共聚物的聚合物溶液、5重量份的作为光引发剂的N-1919、30重量份的作为交联性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、作为UV稳定剂以及自由基清除剂的5重量份的TINUVIN460、5重量份的TINUVIN 292进行混合。在所述混合物中加入PGMEA并溶解，使固体成分浓度达到35重量％，然后以0.2μm的微孔滤膜过滤，制造了负型感光性树脂组合物涂料溶液。 
实施例3 
在具备冷凝器和搅拌机的烧瓶中加入2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷50重量份、4，4-(六氟亚异丙基)邻苯二甲酸酐50重量份，在常温下添加NMP并搅拌24小时来进行反应。为了除去在酰亚胺化反应中生成的水，在生成的聚酰胺酸中添加与NMP等量的二甲苯，在160℃反应5小时而制造了聚酰亚胺。将可溶性聚酰亚胺(6FDA/BAPAF)在氮气氛围下溶于DMAc后，滴入与作为感光性基团的甲基丙烯酰氯等当量的三乙胺，并在0℃下反应12小时，制造了感光性聚酰亚胺系共聚物。制造的聚酰亚胺系共聚物的分子量为15000。 
将100重量份的上述制造的含有聚酰亚胺系共聚物的聚合物溶液、作为光引发剂的OXE-02和NCI-831各5重量份、20重量份的作为交联性单体的二季戊四醇六二丙烯酸酯、作为UV稳定剂以及自由基清除剂的5重量份的TINUVIN 479、5重量份的TINUVIN 292HP进行混合。在所述混合物中加入PGMEA并溶解，使固体成分的浓度达到35重量％，然后以0.2μm的微孔滤膜过滤，制造了负型感光性树脂组合物涂料溶液。 
比较例1 
除了按照下表1所示的组成制造负型感光性树脂组合物以外，按照与上述实施例1相同的方法制造负型感光性树脂组合物。下表1中的单位为重量份。 
表1 
    共聚物树脂   光引发剂   交联结合剂   UV稳定剂   自由基清除剂
 实施例1   100   10   40   10   -
 实施例2   100   5   30   5   5
 实施例3   100   10   20   5   5
 比较例1   100   10   40   -   -
对上述实施例1～3和比较例1，将感光性树脂组合物的物性如下进行评价。
对液晶偏置现象(AUA)的评价：使用上述实施例1～3和比较例1的感光性树脂组合物形成TFT基板的有机绝缘膜部分后，与CF基板接合。通过毛细管现象注入液晶后，通过曝光引起液晶的反应后，将面板以密封的状态共观察500小时，每100小时掌握一次面板的液晶偏置现象发生程度。只有在直到500小时也没有发生液晶偏置现象的情况下，才可以确认为是具有可靠性的有机绝缘膜感光性树脂组合物的构成。 
对分辨率的评价：采用设有下部TFT金属配线的膜，将上述实施例1～3和比较例1的感光性树脂组合物以掩模尺寸(Mask Size)10×12μm的大小形成图案，将Bias为1以下的情况表示为分辨率优秀，将Bias为2以下的情况表示为良好，将Bias为3以上的情况表示为差。 
对平坦度的评价：将上述实施例1～3和比较例1的感光性树脂组合物曝光后，形成图案，然后在玻璃(Glass)的各48部分上测定厚度，将均一性(Uniformity)在2％以内的情况表示为优秀，2～5％的情况表示为良好，5％以上的情况表示为差。 
根据上述方法测定的结果如表2所示。 
表2 
    液晶偏置现象   分辨率   平坦度
 实施例1   直到500小时也没有发生   优秀   优秀
 实施例2   直到500小时也没有发生   优秀   优秀
 实施例3   直到500小时也没有发生   优秀   优秀
 比较例1   在100小时左右发生   差   良好
根据上述表2可知，本发明的实施例1～3的感光性树脂组合物与比较例1相比，液晶偏置现象得到显著的改善，并且，在分辨率和平坦度上也有所提高。 

Claims (5)

1.一种感光性树脂组合物，用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成，其特征在于，含有a)苯乙烯换算重均分子量为5000～20000的聚酰亚胺系共聚物树脂5～40重量%、b)光引发剂0.01～30重量%、c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体0.5～40重量%、d)作为UV稳定剂或者自由基清除剂的4-苯甲酰-2,2,6,6-四甲基哌啶或者4-硬脂酰氧-2,2,6,6-四甲基哌啶1至10重量%、以及e)余量的溶剂。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述UV稳定剂或者自由基清除剂进一步包括从由羟基苯基苯并三唑、2,2’-亚甲基-双(6-(2H-苯并三唑-2-基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)-苯酚、2-(2’-羟基甲基苯基)苯并三唑、2-[2’-羟基-3’,5’-双(α,α-二甲基苄基苯基]苯并三唑、2-(2’-羟基-3’,5’-二丁基苯基)苯并三唑、2-(2’-羟基-3’-叔丁基-5’-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’-羟基-3’,5’-二叔丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’-羟基-3’,5’-二叔戊基)苯并三唑、2-(2’-羟基-5’-叔辛基苯基)苯并三唑、或者2,2’-亚甲基双[4-(1,1,3,3-四甲基丁基)-6-(2-N-苯并三唑-2-基)苯酚]组成的组中选择的苯并三唑及其衍生物；或者从由羟基苯基均三嗪、2-(4’-甲氧基苯基)-4,6-双(2’-羟基-4’-正辛基氧苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(3-(2-丙基氧)-2-羟基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(2-乙基-己基氧)-2-羟基]-苯基}-6-[4-(2-甲氧基乙基-羧基)-苯基氨基]-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(三(三甲基甲硅烷基氧-甲硅烷基丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(2’-甲基丙烯基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(1’,1’,1’,3’,5’,5’,5’-七甲基三甲硅烷基-2’-甲基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双{[4-(4-(2-丙基氧)-2-羟基-丙基氧)-2-羟基]-苯基}-6-[4-乙基羧基)-苯基氨基]-1,3,5-三嗪、或者2,4,6-三苯胺-(对羰基-2’-乙基-1’-氧)-1,3,5-三嗪组成的组中选择的三嗪及其衍生物。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物进一步含有环氧树脂、粘接剂、增敏剂或者表面活性剂。
4.一种TFT-LCD用层间有机绝缘膜形成方法，其特征在于，利用了权利要求1至3中的任一项所述的感光性树脂组合物。
5.一种TFT-LCD，其特征在于，将权利要求1至3中的任一项所述的感光性树脂组合物的固化物作为层间有机绝缘膜来含有。
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