CN101674029A - 振动波驱动装置 - Google Patents

Abstract

一种振动波驱动装置，所述驱动装置包括：具有电机械转换装置的振子、支承所述振子的支承构件、以及与所述振子的一部分接触并被所述振子中激起的振动摩擦驱动的被驱动构件，在所述振动波驱动装置中，所述支承构件包括：与所述振子一起振动的振动部、用于固定所述支承构件的固定部、以及用于将所述振动部与所述固定部连接起来并支承所述振子的支承部；所述支承部由片材的叠层体构成。

Description

振动波驱动装置

技术领域

本发明涉及振动波驱动装置(典型地，振动波马达)。特别是，本发明涉及以其支承结构为特征的振动波马达。

本发明还涉及一种振动波驱动装置的结构，特别是，涉及一种不会引起吱吱声等噪音的结构。

背景技术

已知有各种类型的振动波驱动装置，典型的有超声波马达(振动波马达)，包括旋转型的和直线型的。

振动波驱动装置，作为其基本结构部件，包括：形成振子的弹性构件、电机械转换装置(或者磁致伸缩元件)、用于支承所述振子的支承器、通过与一对振子接触而被摩擦驱动的被驱动构件、施加压力单元、以及轴承导向构件。

图8A和8B表示传统的直线型振动波马达的结构(U.S.Patent7,432,633)。图8A是正视图，图8B是侧视图。

水平方向长的矩形的压电元件被保持构件19所保持，由片簧20向被驱动构件17加载，并且借助驱动接触部16与被驱动构件17接触。

保持构件19具有：用于在Y方向上保持压电元件15的侧壁22、保持构件基部23、以及在Y方向上从侧壁22突出的圆柱形的销18。

销18大致呈圆柱形，支承着压电元件15使之能够围绕销18旋转，以便顺滑地跟随被驱动构件17的运动。

通过借助图中未示出的电源和电源供应机构向压电元件15施加交变电场，同时激起包括压电元件15的振子在X-Z平面内的弯曲振动模式和在X方向上的伸缩模式，以使驱动接触部16进行椭圆运动。结果，与驱动接触部16接触的被驱动构件17被片簧20在X方向上摩擦驱动。

在上述传统的振动波马达中，尽管在图中未示出直线轴承导向构件，但是，通过将从压电元件15起的上部部件(构件15-23)固定，引导被驱动构件17只在X方向(驱动力的方向)上移动。

这种利用直线型振动波马达的驱动系统的优点在于，与将电磁马达的旋转运动转换成直线运动的传统的驱动系统相比，其结构简单，并且，能够通过直接驱动来改进定位精度。

U.S.Patent 7,425,770揭示了一种利用磁力施加压力的直线型振动波马达。

已知有各种类型的超声波马达，包括旋转型和直线型的。

根据驱动原理，超声波马达大致分为驻波型的和行波型的。驻波型的振子，作为驱动振动的模式，通过叠加同时激起的弯曲振动和伸缩振动，形成驻波。另一方面，行波型的振子，通过多个驻波振动的叠加，类似地形成行波。

日本专利申请公开No.2006-271143揭示了一种行波型的超声波马达，该马达具有图22所示的结构。

在图22中，超声波马达包括：振子101，所述振子101具有压电构件102和弹性构件103；移动构件105，所述移动构件105与弹性构件103的驱动面压力接触。位于振子101的内周的凸缘103c被保持并固定于支承构件106a、106b之间，以便能够驱动移动构件105。

移动构件105通过诸如橡胶等缓冲构件107的插入而被接合到轴108上，压力弹簧109和固定到轴108上的输出齿轮110向移动构件105与振子101之间的摩擦面施加压力。

具有这种结构的超声波马达能够以较低的速度输出较大的转矩，而产生的噪音很小。

日本专利申请公开No.2001-268949揭示了一种超声波马达，如图23所示，该超声波马达具有盘状的振子113，所述振子113在中心处被支承构件114支承。

在该超声波马达中，振子113由弹性构件111和压电元件112组合起来构成，并以在径向方向上进行主振动的振动模式振动，其中，盘的中心成为振动中心，盘的最外周成为腹点。从而，在这种结构中，将振动的波节、即盘的中心固定，以便不妨碍振子的振动。

(专利文献1)JP-A 2006-211839；US 7,432,633

(专利文献2)JP-A 2006-340443；US 7,425,770

(专利文献3)JP-A 2006-271143

(专利文献4)JP-A 2001-268949

在上述U.S.7,432,633中，支承部由销18、与该销接合以便控制振子位置和方向的保持构件19、以及片簧20构成。振子被压到被驱动构件17上，借此，控制振子的位置和方向。这导致装置的厚度大，不适合于整个马达的小型化。

这种结构，在振子、保持构件和片簧的组合中不包含阻尼构件。从而，在驱动过程中，振子振动的轻微泄漏或者从摩擦部传递的不希望有的振动会不利地导致诸如吱吱声等不正常的噪音。

上述传统的超声波马达存在以下的问题。

在日本专利申请公开No.2006-271143描述的超声波马达中，由于利用振动和摩擦的驱动原理上的特点，振动构件采用阻尼小的材料制成。进而，采用具有高摩擦系数的摩擦材料，这会导致不希望有的振动和噪音。

在为了降低振子或者移动构件的成本时，由于滑动面的表面精度降低，这种现象变得很明显。

这阻碍了诸如降低噪音等功能上的改进和降低成本的同时实现。

为了克服上述缺点，在振子的背面(在柔性基板的接合面上)安装阻尼橡胶。但是，阻尼橡胶同时也衰减了振子的驱动振动，降低了马达的效率，存在不利的方面。

进而，在上面的日本专利申请公开No.2001-268949号公报中揭示的超声波马达，也具有由于在滑动部处的爬行等原因导致的发生的吱吱声等噪音等缺点。

为了解决上述问题，本发明意图提供一种振动波驱动装置，所述驱动装置具有简单的和薄的支承结构，以便使所述驱动装置小型化，并降低成本。

本发明还意图提供一种振动波驱动装置，所述驱动装置在不衰减振子的驱动振动的情况下，有效地衰减在滑动面激起的不需要的振动，并且防止诸如吱吱声等噪音的发生。

发明内容

本发明提供一种振动波驱动装置，所述振动波驱动装置包括：具有电机械转换装置的振子、支承所述振子的支承构件、以及与所述振子的一部分接触、被所述振子中激起的振动摩擦驱动的被驱动构件，在所述振动波驱动装置中，

所述支承构件包括：与所述振子一起振动的振动部、用于固定所述支承构件的固定部、以及用于将所述振动部与所述固定部连接起来并支承所述振子的支承部；并且

所述支承部由片材的叠层体构成。

构成所述支承部的片材可以由有机物材料构成，并且，所述支承部进一步包括弹性模量比所述叠层体的弹性模量高的加强构件。

所述叠层体可以由树脂构成。

所述加强构件可以由铜类的引线材料等构成。

所述支承构件可以是连接到电机械能量转换元件上的柔性印刷基板。

所述加强构件可以设置在用于摩擦驱动被驱动构件的振动的节点，该点同时也是与有用的振动不同的不需要的振动的波腹。

本发明提供一种振动波驱动装置，所述振动波驱动装置具有：振子，所述振子至少由压电元件和接触构件构成，能够通过将多个驻波振动合成而引起椭圆运动；支承构件，所述支承构件用于支承所述振子；所述振动波驱动装置用于借助所述振子的椭圆运动驱动与所述振子的接触构件接触的被驱动构件，

其中，所述振动波驱动装置具有振动防止构件，所述振动防止构件与在振子中激起的多个驻波振动的波节圆或者波节线的共同波节当中与振子的支承部不同的波节接触。

振动防止构件可以由振动阻尼构件构成。

振动阻尼构件可以具有用于与所述振子近似于点接触的形状。

所述振动阻尼构件的与所述振子接触的部分，可以具有半球体或者圆锥体的形状。

所述振动阻尼构件可以由弹性橡胶或者具有高阻尼特性的弹性体构成。

所述振动防止构件可以由用于在所述振子与所述被驱动构件之间进行压力接触的加压单元构成。

所述振动防止构件可以由用于传递在所述振子与所述被驱动构件之间产生的驱动力的传递构件构成。

根据本发明，通过简化并减薄所述振子的所述支承结构，能够将振动波马达小型化，并以较低的成本制造。

根据本发明，可以制造一种振动波驱动装置，在所述振动波驱动装置中，能够衰减振子中的不需要的振动，以便防止诸如吱吱声等噪音的发生，而不会对所述振子中的驱动振动模式产生有害影响，不会降低马达的效率。

通过下面参照附图对示范性的实施形式的描述，本发明的进一步的特征将会变得更加清楚。

附图说明

图1是本发明的第一种实施形式的振动波马达的透视图。

图2是图1所示的振动波马达的剖视图。

图3表示本发明的第二种实施形式的振动波马达的主要部分的结构。

图4是沿着线4-4截取的图3所示的振动波马达的主要部分的剖视图。

图5表示本发明的第三种实施形式的振动波马达的主要部分的结构。

图6表示本发明的第四种实施形式的振动波马达的主要部分的结构。

图7表示本发明的第五种实施形式的振动波马达的主要部分的结构。

图8A和8B表示传统的直线型振动波马达的结构。

图9A和9B是用于描述本发明的例1的超声波马达的结构的剖视图。

图10是用于描述本发明的例1的超声波马达的振动模式的图示。

图11是用于描述本发明的例1的超声波马达的振动模式的图示。

图12是用于描述本发明的例1的超声波马达中的阻尼构件的设置点的图示。

图13A和13B是用于描述本发明的例1的超声波马达的阻尼橡胶的结构的图示。

图14是用于描述本发明的例1的超声波马达中将被衰减的不需要的模式的图示。

图15是用于描述本发明的例1的超声波马达中将被减弱的不需要的模式的图示。

图16A和16B分别是用于描述本发明的例2的超声波马达的剖视图和底视图。

图17A和17B分别是用于描述本发明的例3的超声波马达的剖视图和底视图。

图18A和18B分别是用于描述本发明的例4的超声波马达的剖视图和底视图。

图19A和19B分别是用于描述本发明的例5的超声波马达的剖视图和底视图。

图20A和20B分别是用于描述本发明的例6的超声波马达的剖视图和底视图。

图21A和21B分别是用于描述本发明的例7的超声波马达的剖视图和底视图。

图22是用于描述专利文献3中所述的传统超声波马达的图示。

图23是用于描述专利文献4中所述的传统超声波马达的图示。

具体实施方式

下面参照附图详细描述本发明的第一种结构。

(第一种实施形式)

图1是本发明的第一种实施形式的振动波马达的透视图。图2是图1所示的振动波马达的剖视图。

在图1和2中，作为电-机械能量转换元件的压电元件2，被接合到由如铁等软磁材料构成的矩形弹性构件1上。将具有由树脂(例如，聚酰亚胺膜)构成的基部401的柔性印刷基板4(下面称之为柔性基板)接合到压电元件2的另一个面上。弹性构件1和压电元件2构成振子。

弹性构件1在其一个面上具有突起301、302。使这些突起与被驱动构件5的接触面501接触，以便借助摩擦驱动力驱动所述被驱动构件5。

该被驱动构件5由永久磁铁构成，所述永久磁铁在接触面侧具有N极(或者S极)，在相反面上具有S极(或者N极)。从而，向着弹性构件1和突起3(301、302)产生吸引力和压力。

柔性基板4由上述基部401、连接到压电元件2的电极端子上的电极402、用于与外部电源(图中未示出)电连接的连接器404、用于电极和连接器之间的电连接的电导体403a和403b构成。

本实施形式中的柔性基板4，在连接器404与电极402之间的固定部，被螺钉6(601、602)固定到壳体7上，以便将振子固定。

在从图中未示出的电源向柔性基板4施加交变电场时，振子被激发而进行振动，引起突起301、302的椭圆运动，以便沿X轴方向摩擦驱动被驱动构件5。

在上述结构中，柔性基板4向压电元件2提供电力，并支承所述振子。

柔性基板4由下面所述的三个部分构成：振动部V，所述振动部V与压电元件2接合，并和压电元件2一起振动；固定部C，所述固定部C将该柔性基板4固定到壳体上；支承部S，所述支承部S位于振动部V与固定部C之间，将这两个部分接合起来，并支承压电元件2(振子)(图1)。

在上述三个部分中，支承部S在本发明中是重要的。在最初组装时，该支承部S确定相对于被驱动构件5的位置，并且反抗诸如驱动力的反作用力或者在运动反转时的惯性力等外力，将振子保持在规定的位置和方向。

进而，支承部S应当是柔性的，以便与接触面501的起伏无关地保持压电元件2与被驱动构件5稳定接触。

为了满足上述要求，将支承部S制造成围绕X轴的旋转刚性和在Z轴方向上的方向变化刚性小，并且，在X-Y平面内的刚性增高。

为此，以支承部S的导体403a和403b在宽度方向上向外延伸的方式，将形成在片状基部401上的导体403a和403b(在本实施形式中为铜箔)作为加强件使用。从而，作为薄膜片的柔性基板的刚性在X-Y平面内增大。

进而，利用一个或者多个膜覆盖支承部S，形成叠层结构，以便通过在界面上滑动，使通过柔性基板4传递的不需要的振动衰减。

这将防止由柔性基板4的振动引起的通常的噪音的产生，并防止由于从振子泄漏的振动向壳体传递而引起噪音的放大，并防止给予传感器等部件造成有害的影响。

在传统的振动波马达中，用于传递驱动力的支承构件由诸如金属等刚性材料构成，这使得部件的尺寸增大，并使得马达结构变得复杂。与此相反，在本实施形式的振动波马达中，构成振子的压电元件2被片材(柔性基板4的支承部S)支承，以便简化马达的结构，并将振动马达小型化。

(第二种实施形式)

图3表示作为本发明的第二种实施形式的振动波马达的主要部分的振子部分的结构。

在本实施形式中，柔性构件4向振子的两侧(Y方向)及X方向延伸，将支承功能给予Y方向上的两侧、通过在X方向上延伸的部分提供电力。

在本实施形式中，在柔性基板4的两侧，利用螺钉6将柔性基板4固定，并通过用加压板8(801、802)推压，将柔性基板4固定到壳体7(701、702)上，以便防止振子在X-Y平面内的位移。

图4是沿着线4-4截取的图3的振动波马达的主要部分的剖视图。

如图4所示，允许连接器404在X方向上延伸，然后，将其卷曲，用以连接到图中未示出的电源上。连接器404及其周围部分被固定到壳体等上。从而，由多个层构成的连接器404起着阻尼器的作用，以便有效地阻止从构成振子的压电元件2向柔性基板4传递的不需要的振动。

(第三种实施形式)

图5表示作为本发明的第三种实施形式的振动波马达的主要部分的振子部分的结构。

在本实施形式中，将在第二种实施形式中的壳体的一侧制成可动的，并向柔性基板4施加张力。

一个壳体7是固定的，而将另一个壳体9制成可动的。壳体9具有用于支持片簧10的弹簧支座11。由片簧10在-Y方向上向被保持在加压板8与壳体9之间的柔性基板4的固定部C施加弹簧力。从而，在Y方向上向柔性基板4的支承部S施加张力。

这能够增大薄片状的支承部S在X-Y平面内的刚性，能够稳定地支承振子。

(第四种实施形式)

图6表示作为本发明的第四种实施形式的振动波马达的主要部分的振子部分的结构。

在上述实施形式中，通过衰减由振子的支承部(柔性基板4的支承部S)中的片材的叠层结构引起的振动，防止噪音的产生。在本实施形式中，进一步改进振动部中的片材的叠层式样，以便衰减振子的不需要的振动。

振子由压电元件2、具有突起301、302的弹性构件1、以及柔性基板4构成。当振子被驱动时，通过平面外弯曲的二次模式运动和伸缩的一次模式运动的合成，所述振子激起椭圆运动的振动。

在作为驱动模式的二次模式中，如图6的下部所示，振动变形成具有三个波节(M2)。众所周知，优选地形成用于激起这种二次模式的压电元件2的电极式样，如图中的虚线所示，使得电极的中心位于振动的波腹的中心(箭头666)。

在图中，符号“+”和“-”表示在压电元件的厚度方向上的极化方向。

另一方面，在本实施形式的振子中，容易被摩擦驱动激起的不需要的振动之一，是平面外弯曲的一次模式振动。在本模式中的变形，如在图6下部用符号M1所示那样，具有对应于压电元件2的中心的振动的波腹。该部分的位置在振动的激发中以及在振动的衰减中是有效的。

该部分对应于驱动模式的振动的波节，不容易受到影响。

从而，在本实施形式中，将由铜箔等形成的导电构件叠层到压电元件2的中心或中心的附近，以便形成电极，从该电极向柔性基板4的支承部S配置引线构件，在支承部S的宽度方向上的中心或者中心的附近形成叠层部。

如上所述，与传统的振子不同，即使当振子被激起平面外弯曲的一次模式时，叠层的振动部分和支承部S也会选择性地将该振动模式衰减，以便防止噪音的产生。

顺便提及，在本实施形式中，加强构件12配置在两个端面上，以便加强柔性基板4的支承部S，同时，改进由支承部S进行的衰减的效果。

(第五种实施形式)

图7表示作为本发明的第五种实施形式的振动波马达的主要部分的振子部分的结构。

在本实施形式中，将多个振子配置在一个片材上，以便简化多振子驱动的结构。

利用粘结剂等，将压电元件2010-2013接合到环形树脂片13上，由铜箔等导电材料构成的电极和引线构件的一部分被接合到片材13与压电元件2010-2013之间。

由导电材料形成的引线构件分别沿径向延伸，以便通过借助粘结剂等接合到与片材13成一体地形成的四个窄的片材部分3110-3113上，形成支承部，并进一步向外延伸，以便形成连接端子4010-4013。

通过保持在环形的固定构件14之间，将沿径向延伸的支承部的一部分固定到壳体上或者主体的一部分上，以便将四个振子支承在所希望的位置。

借助上述简单的结构，可以驱动多个振动波马达。

如上所述，通过用叠层的薄片构成振子的支承部，可以简化支承部的结构，以便进行小型化，并且通过积极地利用叠层体的振动阻尼效应，可以降低噪音的产生。

在上述实施形式中，柔性基板中包含聚酰亚胺片材。但是，也可以利用有机薄膜作为片材。在上述实施形式中，利用铜类的引线材料作为加强材料。但是，利用弹性模量高于柔性基板的树脂的叠层片，也可以达到同样的加强效果。

下面参照附图详细说明本发明的第二种结构。由压电元件等振动构件激发的驻波具有波节，所述波节具有波节圆或者波节线。所述波节圆或者波节线的共同交点被称为节点。

在本发明的结构中，使振动阻尼构件与不同于振子的支承部的波节的节点接触。

下面，参照例子说明实施本发明的最佳形式。

实施例

在不对本发明进行任何限制的情况下，参照实施例对本发明进行说明。

例1

本例1描述一种采用振动波驱动装置的直线型超声波马达的结构，所述振动波驱动装置包括：通过将多个驻波合成而形成椭圆运动的振子、以及用于支承所述振子的支承构件。

图9A和9B是用于描述本例1的超声波马达的结构的剖视图。在图9A和9B中，参考标号表示：20，振动板；21，压电元件；22，振子；23，振动阻尼器；24，保持器(支承构件)；25，被驱动构件(滑动件)。

图10和11分别是用于说明本例1的超声波马达的振动模式的图示。

图12是用于说明在本例的超声波马达中的阻尼构件的配置点的图示。

图13A和13B是用于说明在本例1的超声波马达中的阻尼橡胶的结构的图示。

图14和15是用于说明在本例的超声波马达中的要被衰减的不需要的模式的图示。

如图9A和9B所示，本例的超声波马达具有由铁类金属(例如，SUS420j2)制成的振动板20，所述振动板通过压力加工等，被加工成图10至12所示的形状。

如图12所示，在振动板20的主体2001的中心附近形成摩擦接触突起2002、2003。

经由从主体2001的四个角伸出的两组支承部(2004、2005，和2006、2007)，将固定部2008、2009连接到振动板的主体2001上。

借助粘结剂等将压电元件21接合到振动板的主体2001的背面上。将电源供应柔性基板(图中未示出)接合到该压电元件的电极面上，以便形成振子22。

将振子22固定到具有由树脂等形成的固定部2008、2009的保持器24上，并接合到图中未示出的托架等上。

与振子22接触的被驱动构件25由磁性材料制成，并且，在其与振子22接触的面上施行耐磨性处理。

这种轨道形的被驱动构件25在其两端被固定到壳体上。由磁性材料构成的振子22借助该磁铁的吸引力与被驱动构件25进行压力接触。

当经由电源供应柔性基板从图中未示出的电源向振子22施加电场时，如图10和11所示，在振子22中激起两个弯曲振动。

图10表示在垂直于上述面的方向上在上推振动模式中的变形状态：振动构件的主体2001的弯曲振动的驻波振动模式之一。在图10中，由弯曲振动引起的位移在振动构件的主体的中间部分处最大(振动的振幅最大)。将该位置称为振动的波腹。在图10中，在位置L1和L2处，振动位移接近于零。这一位置通常称为波节。波节所处的点称为节点。在如本例所述的矩形板的振动中，波节形成直线，而不是点。在本发明中，将这种直线型的波节称为波节线。当振动板是圆盘状时，沿径向方向形成的波节线是同心的：这种波节线称为波节圆。

图11表示在振动构件的主体中形成的另一种驻波振动模。在垂直于上述波节线L1和L2的方向上形成波节线L3-L5。

通过将上述两个振动模式以π/2的时间相位差叠加，摩擦接触突起2002、2003被以椭圆运动驱动，以便相对于被驱动构件25驱动振子22和连接于其上的保持器24。

如上所述，本例的直线型超声波振子，通过引起具有所述压电元件和接触构件的所述振子的椭圆运动，驱动与所述振子的接触构件接触的被驱动构件25。

如上所述，具有上述结构的直线型超声波马达，由于借助摩擦进行驱动，所以常常引起吱吱声等噪音。

这种吱吱声(噪音)是由于产生除了用于马达驱动的振动模式之外的不需要的振动模式(如在本例中图14所示的振动)而引起的。这种不需要的振动模式，作为不需要的振动的固有频率与用于驱动的频率之差，产生吱吱声。

从而，在本例中，为了防止产生这种吱吱声，在支承构件与振子之间配置振动阻尼器，以便在不阻碍驱动模式的情况下，有效地衰减不需要的振动模式。

图12表示阻尼器的设置点。

从图10所示的振动模式可以明确，在L1-L2和L3-L5的交点(Q1-Q6)处，存在对于两个驱动模式共同的六个波节。

另一方面，如图14和15所示，要被衰减的不需要的模式具有三个波节线(L6-L8)。

这些波节线不与上述点Q1-Q6精确地一致。从而，在任何这样的点处的衰减都可以相应地达到阻尼效果。

然而，在本实施例中，为了有效地衰减不需要的振动，从六个点Q1-Q6中选出不需要的振动的振幅比较大的点Q1和Q2。将振动阻尼器23配置在所述两个点上。

图13A和13B表示振动阻尼器23的形状。

如图13A和13B所示，在平板状的基部2323上形成两个半球状的突起(P1-P2)。该阻尼器可以由诸如弹性橡胶(丁基橡胶)等高阻尼材料和高阻尼弹性体等构成。

突起P1、P2分别形成在对应于上述Q1、Q2的位置处。该振动阻尼器23被保持在保持器24与振动构件22之间，以便使所述压电元件表面的上述两个点与P1、P2接触。借此，可以有效地防止上述吱吱声噪音。

例2

在本例2中，描述一种与例1不同的直线型超声波马达的另外一种结构。

图16A和16B分别是用于描述本发明的例2的超声波马达的的剖视图和底视图。

在本例中，振动构件与作为被驱动构件的滑动件接触并被驱动。从而，为了在大的跨度上稳定地保持接触状态，利用均衡弹簧26对它们进行支承。

均衡弹簧26限制振动构件在图中的Y方向上的自由度，对于围绕X轴和Y轴的自由度，具有小的刚性，不会影响施加到振动构件和滑动件上的压力。

从而，均衡弹簧26通常呈薄板的形状。由于该板簧的多种共振模式，会导致产生噪音。

为了解决上述问题，在本例中，将作为振动阻尼构件的阻尼橡胶的一个面接合到均衡弹簧上，使形成在另一个面上的突起与对应于Q1-Q6的点接触。

这种结构防止导致吱吱声的不需要的模式的产生，并消除在驱动过程中被均衡弹簧激起的噪音的产生。

例3

在本例3中，将作为振动阻尼构件的阻尼橡胶形成与均衡弹簧成为一体的形状。

图17A和17B分别是用于描述本例的超声波马达的结构的剖视图和底视图。

在本例的超声波马达中，如图17A和17B所示，整个均衡弹簧通过外嵌(outsert)成形，涂敷具有高阻尼系数的丁基橡胶。在所述振子的波节Q1和Q2的位置，类似地成一体地形成与上面所述的突起具有相同形状的突起。

利用橡胶涂敷整个均衡弹簧，加强了橡胶与弹簧之间的粘着，以便显著地改善弹簧的阻尼效果和稳定性，达到更可靠地降低噪音的效果。

例4

在本例4中，压力弹簧构成用于使振动阻尼构件与振动构件22和滑动件25在共同的波节处压力接触的压力施加单元。

图18A和18B分别是用于描述本例的超声波马达的结构的剖视图和底视图。

在本例中，将板状压力弹簧28在其两端固定到诸如托架等主体的一部分上。设置在其中心附近的两个突起2801、2802与振动构件22的压电元件部分直接接触，以便向振动构件施加压力。

两个突起2801、2802的接触位置与共同波节Q1和Q2的位置相一致，其中，在上面的例子中，使阻尼构件与所述波节Q1、Q2接触。

如上所述，通过加压单元与振动构件中的共同波节的直接接触施加压力，能够极大地减少由于限制驱动构件的振动引起的损失(支承损失)，并且只抑制不需要的模。

例5

在本例5中，与压力弹簧分开地设置例4中的加压构件的突起(突起29)。

图19A和19B分别是用于说明本例的超声波马达的结构的剖视图和底视图。

根据本例，突起29分别具有尖锐的顶端，用于和振动构件的压电元件21接触。借此，突起与部分Q1或Q2接触的区域非常小(接近于一个点)，以便减少对于驱动模式的有害影响。

例6

在本例6中，在加压突起29与压电元件21之间的接触力，在驱动力产生方向(垂直于加压方向)上被加强。如下面所述，驱动力经由突起29传递。

图20A和20B分别是用于说明本例的超声波马达的结构的剖视图和放大图。

在本例中，例如，在对应于压电元件21的位置Q1和Q2的位置处，形成深度为0.2～0.3mm的孔2101。突起29的顶端2901与所述孔接合。

借助这种结构，在不会对驱动振动模式产生有害影响的情况下，由压力弹簧28和突起29施加压力，并且能够通过这些构件向托架或者主体的其它部分传递驱动力。从而，可以简化结构。

例7

在本例7中，由用于在振子与被驱动构件之间传递驱动力的构件构成振动阻尼器。

图21A和21B分别是用于说明本例的超声波马达的结构的剖视图和底视图。

在本例中，馈电器(柔性印刷基板，下面称之为柔性基板)31被连接到接合到振子上的压电元件21上，并被螺钉33在两侧固定到固定构件上。

固定构件具有定位销34，用于将柔性基板定位，以便精确地决定接合到柔性基板上的振子的固定位置。

该柔性基板在背面被压力弹簧32推压。弹簧的半球状的顶端以预定的压力推压振子的驱动模式的共同波节Q1、Q2。

具有由诸如聚酰亚胺等薄的树脂形成的基部的上述柔性基板31，在加压方向(Z方向)上具有极低的刚性，表现出相对于滑动件25的滑动面的顺从性(tractability)。

另一方面，柔性基板具有大的宽度，以便在驱动方向(X方向)上具有高的抗弯刚性，以便有效地传递驱动力。

从而，柔性基板起着馈电器的作用，并具有支承振子的功能和输出传递的功能。

如上所述，在本发明中，使振动阻尼器与用于驱动的驻波振动的共同的波节的中不需要的振动具有大的振幅的点接触。

换句话说，使作为振动限制构件的阻尼构件或者加压构件与对于驱动模式是共同的波节、但是是不需要的振动的波腹(较大振幅的点)的点接触，以便只衰减不需要的振动模式。

如上所述，可以在不降低马达的效率的情况下，有效地降低吱吱声等噪音。

在上述实施例中，阻尼器的突起是半球形的，但是，当然突起的形状并不局限于此，只要阻尼器以较小的接触面积与振子的波节接触即可：例如，可以是锥形。

类似地，接触部(2801、2802、29)的顶端的形状并不局限于半球形或锥形，只要具有尽可能小的接触面积，可以是具有尖锐的顶端的任何形状。

尽管上面参照示范性的实施形式对本发明进行了描述，但是，应当理解，本发明并不局限于所揭示的示范性的实施形式。下面所附权利要求，给出了最广泛的解释，从而包含了所有改型和等价的结构和功能。

Claims (13)

1.一种振动波驱动装置，包括：具有电机械转换装置的振子、支承所述振子的支承构件、以及与所述振子的一部分接触并被所述振子中激起的振动摩擦驱动的被驱动构件，在所述振动波驱动装置中，

所述支承构件包括：与所述振子一起振动的振动部、用于固定所述支承构件的固定部、以及用于将所述振动部与所述固定部连接起来并支承所述振子的支承部；以及

所述支承部由片材的叠层体构成。

2.如权利要求1所述的振动波驱动装置，其特征在于，构成所述支承部的片材由有机材料构成，并且，所述支承部还包括弹性模量比叠层体的弹性模量高的加强构件。

3.如权利要求2所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述叠层体由树脂构成。

4.如权利要求2所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述加强构件由铜类引线材料构成。

5.如权利要求1所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述支承构件是连接到电机械能量转换元件上的柔性印刷基板。

6.如权利要求2所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述加强构件设置在用于摩擦驱动被驱动构件的振动的波节、同时也是与有用的振动不同的不需要的振动的波腹的点处。

7.一种振动波驱动装置，包括：振子，所述振子至少由压电元件和接触构件构成，通过将驻波振动合成，所述振子能够引起椭圆运动；以及，支承构件，所述支承构件用于支承所述振子；所述振动波驱动装置，借助所述振子的椭圆运动，驱动与振子的接触构件接触的被驱动构件，

其中，所述振动波驱动装置具有振动防止构件，所述振动防止构件与在振子中激起的多个驻波振动的波节圆或者波节线的共同波节当中的不同于振子的支承部的波节接触。

8.如权利要求7所述的振动波驱动装置，其特征在于，振动防止构件由振动阻尼构件构成。

9.如权利要求8所述的振动波驱动装置，其特征在于，振动阻尼构件具有用于和所述振子近似于点接触的形状。

10.如权利要求9所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述振动阻尼构件的与所述振子接触的部分具有半球形或者圆锥形的形状。

11.如权利要求8所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述振动阻尼构件由弹性橡胶或者具有高阻尼特性的弹性体构成。

12.如权利要求8所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述振动防止构件由用于在所述振子与所述被驱动构件之间进行压力接触的加压单元构成。

13.如权利要求7所述的振动波驱动装置，其特征在于，所述振动防止构件由用于传递在所述振子与所述被驱动构件之间产生的驱动力的传递构件构成。

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