JP6308801B2 - 駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージ - Google Patents

Description

本発明は、振動型駆動装置、及び、該振動型駆動装置を備える二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージに関する。
Ｄｅｓｃｒｉｐｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ Ｒｅｌａｔｅｄ Ａｒｔ

振動子に振動を励起し、これに加圧接触された移動体を移動する振動型駆動装置が数多く提案されている。

これらは特に精密な動作が求められる光学機器において、重要な機能部品として位置付けられている。その中に、直動型（直線状に移動体を移動可能な形式）の振動型駆動装置を複数配置して駆動を組み合わせ、移動体の２次元方向への移動を可能にして、二次元駆動装置を実現しているものがある。

さらに、この二次元駆動装置を用いて画像触れ補正装置を構成したものが知られている（例えば、特許文献１）。

しかし、これらの複数の振動型駆動装置による駆動を組み合わせる方法は、つぎのような課題を有している。

例えば、移動体の移動方向によっては、この移動体の移動方向と、複数の振動型駆動装置のうち、いずれかの振動型駆動装置の駆動方向とが直交、又は直交に近い角度で交差する場合がある。

この場合には、この移動方向と駆動方向が直交、又は直交に近い角度で交差する振動型駆動装置は駆動に寄与できないばかりか、移動体と振動型駆動装置の接触による摩擦力が移動体の移動の負荷となり、エネルギー的に損失を生じるため、出力ロスとなる。

そして例えば、二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置や、自動ステージとして使用する場合には、特性低下を引き起こしてしまう。

このような課題に対して、先の特許文献１では、駆動方向と交差する方向（かわし方向）に、振動子が移動可能な移動機構（かわし機構）を有する構成が開示されている。

これによって、振動子と移動体は、かわし方向に相対的に動かない構成となっている。

かわし機構を、摺動損失の非常に小さいガイド機構や、剛性の低い弾性的なバネで構成することで、移動体に作用する負荷を非常に小さくする事が可能となっている。これにより、出力ロスを大きく低減している。

特開２０１２−４４８３２号公報

しかしながら、上記従来例の振動型駆動装置、二次元駆動装置、または画像振れ補正装置での出力ロスの低減手段では、つぎのような課題を有している。

その一つは、占有スペースが大きいことである。

上記従来例では、固定された振動子の振動によって、振動子に接触する部材を振動型駆動装置の駆動方向に移動させ、これに固定された移動体を移動させている。

移動体の既定の移動量の動作を可能とするためには、振動子に接触する部材の駆動方向の寸法（長さ）と移動量（異動距離）を足し合わせた寸法（長さ）が、占有スペースとして必要となり、装置が大型化してしまうことになる。

また、他の一つは、振動子に接触する部材に、不要な振動が起こり易いことである。

不要な振動が起こってしまうと、振動子と振動子に接触する部材の接触状態が不安定になり、安定した出力が得られないことになる。

本発明の一様態は、少なくとも占有スペースが大きくなること、または不要な振動が起こることを抑制して出力ロスを小さくすることを可能とする振動型駆動装置、二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、又は自動ステージに関する。

本発明の一様態は、移動体を相対移動する駆動装置であって、電気機械エネルギー変換素子を有する第１の振動子と、前記第１の振動子と接触する第１の接触体と、前記第１の接触体を支持する第１の支持部材と、前記第１の支持部材に対して前記移動体を相対移動させる第１の移動機構と、電気機械エネルギー変換素子を有する第２の振動子と、前記第２の振動子と接触する第２の接触体と、前記第２の接触体を支持する第２の支持部材と、前記第２の支持部材に対して前記移動体を相対移動させる第２の移動機構と、を備え、前記第１の振動子と前記第２の振動子とは、前記移動体に設けられており、前記第１の振動子と前記第１の接触体は、前記第１の振動子が前記第１の接触体に対して第１の方向に相対移動するように配置され、前記第２の振動子と前記第２の接触体は、前記第２の振動子が前記第２の接触体に対して前記第１の方向と交差する第２の方向に相対移動するように配置され、前記第１の移動機構は、前記第１の振動子と前記第１の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第１の方向と交差する第３の方向に、前記第１の支持部材に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されており、前記第２の移動機構は、前記第２の振動子と前記第２の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第２の方向と交差する第４の方向に、前記第２の支持部材に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されている駆動装置に関する。

また、本発明の一様態は、移動体を相対移動する駆動装置であって、電気機械エネルギー変換素子を有する第１の振動子と、前記第１の振動子と接触する第１の接触体と、前記第１の振動子を固定する第１の振動子固定部材と、前記第１の振動子に対して前記移動体を相対移動させる第１の移動機構と、電気機械エネルギー変換素子を有する第２の振動子と、前記第２の振動子と接触する第２の接触体と、前記第２の振動子を固定する第２の振動子固定部材と、前記第２の振動子に対して前記移動体を相対移動させる第２の移動機構と、を備え、前記第１の振動子と前記第２の振動子とは、前記移動体に設けられており、前記第１の振動子と前記第１の接触体は、前記第１の振動子が前記第１の接触体に対して第１の方向に相対移動するように配置され、前記第２の振動子と前記第２の接触体は、前記第２の振動子が前記第２の接触体に対して前記第１の方向と交差する第２の方向に相対移動するように配置され、前記第１の移動機構は、前記第１の振動子と前記第１の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第１の方向と交差する第３の方向に、前記第１の振動子に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されており、前記第２の移動機構は、前記第２の振動子と前記第２の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第２の方向と交差する第４の方向に、前記第２の振動子に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されている駆動装置に関する。

本発明によれば、占有スペースが大きくなること及び不要な振動が起こることを抑制し、出力ロスを小さくすることを可能とする振動波駆動装置、二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージを実現することができる。

撮像装置としてのカメラの構成を示す図。 レンズ鏡筒及びカメラボディの内部を模式的に示した図。 画像振れ補正装置の斜視図。 振動子の斜視図。 振動モードを説明する図。 振動型駆動装置の斜視図。 画像振れ補正装置の正面図。 光学レンズを保持した移動体を、Ｘの正の方向に移動させるようにした画像振れ補正装置の動作を示した正面図。 移動体をＹの正の方向に移動させるようにした画像振れ補正装置の動作を示した正面図。 全ての振動型駆動装置を駆動させて、ＸとＹの間の方向に、移動体を移動させるようにした画像振れ補正装置の動作を示した正面図。 振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図。 振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図。 振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図。 振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図。 画像振れ補正装置の正面図。 画像振れ補正装置の動作を示した正面図。 振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図。 撮像装置としての顕微鏡の構成例を説明する斜視図。

つぎに、本発明の実施形態について説明する。

本実施形態の振動型駆動装置は、電気機械エネルギー変換素子を有する振動子と、前記振動子に励起された振動によって第１の方向に、相対駆動される接触体と、を備える。

また、この接触体を支持する支持部材と、前記相対駆動が伝達される移動体と、前記移動体を、前記支持部材に対して第２の方向に相対移動可能とする移動機構と、を備える。そして、前記第２の方向が、前記振動子と前記接触体とが接触する面と平行な平面において、前記第１の方向と交差する方向となるように構成されている。

また、ここでの「振動子と接触体とが接触する面」とは、振動子と接触体とが接触する複数の接触点を含む仮想的な平面を意味する。

そして「振動子と接触体とが接触する面と平行な平面」とは前記した仮想的な「振動子と接触体とが接触する面」と概略平行な仮想的な平面を意味しており、無数に存在する。

これらの平面は、本発明の移動機構の移動方向を規定するための面であり、振動子と接触体とが接触する面と厳密に平行な面だけでなく、実質的に平行な面も含み、第１の方向と第２の方向とを明確に把握するために規定する平面である。

さらに、ここでの、前記第１の方向とは、前記振動子が接触体を駆動する方向であり、駆動方向ともいう。また、前記第２の方向とは移動機構により移動体が支持部材に対して移動可能な方向であり、「かわし方向」ともいう。

なお、「かわす」とは、本来の振動型駆動装置の駆動方向（第１の方向）と交差する方向（第２の方向）の力が移動体に作用した場合に、当該力に抗することなく移動することを意味する。

そして、本実施形態の振動型駆動装置は、接触体が支持部材によって支持され、振動子が自らの振動によって駆動し、この駆動を移動体に伝達する構成を特徴とするものである。

本実施形態において、移動体を支持部材に対して選択的に第２の方向に移動可能とする（振動子停止時に、接触体を第１の方向には実質的に移動しない）構成としては、支持部材と接触体の間に、第２の方向のみに移動可能な移動機構を設けることにより実現できる。

また、振動子と移動体の間に、第２の方向のみに移動可能な移動機構を設けることにより実現できる。さらに、移動機構としては、ガイド部材や、特定の方向のみ変位しやすい弾性部材（典型的にはバネ部材）を用いることが可能である。

また、ここでの「駆動方向（第１の方向）と交差する方向（第２の方向）の力」が存在する状態とは、第１の方向である駆動方向とは異なる方向の成分の力が存在している（第１の方向とは異なる方向に移動する力が生じている）状態を意味する。

このように駆動方向とは異なる方向に移動する力が働いている状態は、前述したように出力ロスの原因となる。

第１の方向と第２の方向との交差する角度は典型的には９０°の時が最も出力ロスを生じる可能性が高いが、わずかでも交差していれば、その交差角度に応じた出力ロスが発生し得る。

本実施形態の振動子は、振動板（振動体ともいう）と、電気機械エネルギー変換素子（代表的には圧電セラミックス等の圧電素子）と、から構成され、電気機械エネルギー変換素子に所定の電界を印加することにより、所望の振動を励振させることができる。
また、ここでの直動型振動型駆動装置とは、直線状に駆動可能な振動型駆動装置を意味しており、リニア型振動型駆動装置ともいう。

そして単体では、振動子を支持部材に対して直線的に駆動する構成となるが、複数の直動型の振動型駆動装置を組み合わせることで、移動体を、所望の方向に多次元的に移動させることができる。

以上の本実施形態の構成によれば、移動体の移動に寄与しない振動型駆動装置において、振動子と接触体の接触による摩擦力の負荷によって起こる出力ロスの低減を行う際の、小型化と出力安定化を実現することが可能となる。

以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明は実施例の構成によって何ら限定されるものではない。

［実施例１］
図１は、本発明の実施例１における撮像装置としてのカメラの構成を示す図である。

図１のカメラは、動画及び静止画の撮影機能を有する。１は画像振れ補正装置を備えたレンズ鏡筒で、２は撮像素子３６（光電変換素子等）を有するカメラボディである。
図２は、レンズ鏡筒１及びカメラボディ２の内部を模式的に示した図である。

図２において、３は画像振れ補正装置である。

４は光学レンズで、５は振動型駆動装置である。６は移動体であり、ここでは光学レンズ４が取り付けられている例を示す。

１８は接触体で、８の振動子と加圧接触している。振動子８に楕円軌跡を描く振動を起こす事で、接触体１８との摩擦力により、振動子８は接触体１８に対して駆動される。

振動子８は移動体６に変位及び力を伝達する構成を有している。この構成において、振動子８によって光学レンズ４を移動できる。

この図２で示したレンズ鏡筒１の部分は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて、適した交換レンズをカメラボディに取り付けることができる。

また、レンズ鏡筒１には、光学レンズ４以外の光学系３７が設けられている。さらに、図２には示していないが、レンズ鏡筒１の振れを検出する加速度センサ、移動体６の２次元の移動を検出するエンコーダが設けられる。

さらに、振動型駆動装置５に電気エネルギーを供給する電源３８、加速度センサから出力される信号とエンコーダから出力される信号とを処理して電源を操作する制御方法を内蔵した制御部が設けられる。

被写体からの光が、レンズ鏡筒１内の光学レンズ４を含む光学系を透過し、カメラボディ２内の撮像素子３６に入射する。

加速度センサの信号に基づき、画像振れ補正装置３により光学レンズ４を移動させることで、手振れ等による、画像の振れを補正する事が可能となっている。

ここでは、光学レンズ４が移動体に取り付けられている例を示すが、本発明はこれに限定されず、例えば、移動体に撮像素子が取り付けられ、画像振れ補正装置３により撮像素子を移動させることで、画像の振れを補正する場合も含む。

また、ここでは画像振れ補正装置３がレンズ鏡筒１に設けられている例を示すが、本発明はこれに限定されない。例えば、レンズ鏡筒がカメラボディと別に設けられておらず、レンズや画像振れ補正装置が、カメラボディ内部に設けられる場合も含む。
図３は、画像振れ補正装置３の斜視図である。９は、レンズ鏡筒の一部である。

レンズ鏡筒１は、４つの振動型駆動装置２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ）を有している。振動型駆動装置２４ａ〜２４ｄは移動体１９を共有している。移動体１９は、光学レンズ４を保持している。振動型駆動装置２４は、直動駆動が可能なアクチュエータである。

２４ａと２４ｂの振動型駆動装置２４は、駆動方向（第１の方向）が図中のＸ方向となっている。

一方、２４ｃと２４ｄの振動型駆動装置２４は、駆動方向（第２の方向）が図中のＹ方向となっている。この４つの振動型駆動装置２４の駆動を組み合わせる事で、移動体１９の二次元の駆動（Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ軸回り）が可能な二次元駆動装置となっている。これに、画像振れ補正のための光学レンズ４や加速度センサ、エンコーダ、制御部が設けられる事で、画像振れ補正装置となっている。

本実施例における振動型駆動装置２４は、振動子８、接触体１８、移動機構２５、支持部材２００、及び移動体１９で構成されている。移動機構２５は、接触体伝達部２３とガイド部材２０により構成されている。

４つの振動子８は、光学レンズ４を保持した移動体１９に固定されている。４つの接触体１８があり、各々、振動子８と加圧接触している。各々の接触体１８には、穴形状の接触体伝達部２３が２つ設けられている。

各々の接触体伝達部２３に挿入された棒形状のガイド部材２０がある。ガイド部材２０は、両端部において支持部材２００に固定され、さらに、支持部材２００が、レンズ鏡筒９に固定されている。接触体１８は、移動機構２５を介して支持部材２００によって支持されている。

振動子８の接触体１８との接触箇所に楕円軌跡を描く振動を起こすことで、接触体１８との摩擦力により、振動子８が接触体１８に対して駆動される。この駆動によって、振動子８が固定された移動体１９の光学レンズ４を移動させる。

ここで振動子８の構成について述べる。図４（Ａ）及び（Ｂ）は、振動子の斜視図である。振動子８は、矩形板状の電気機械エネルギー変換素子である圧電セラミックス１１と、板状の磁性を有する金属の振動板１２と、圧電素子に電気エネルギーを供給するための導電部材であるフレキシブルプリント基板１３とで構成されている。振動板１２は、二つの突起部１４と二つの振動子固定部１５と４つの振動子支持梁部１６と振動子基部１７を有しており、これらは一体的に形成されている。

振動板１２の振動子基部１７が、圧電セラミックス１１に接着剤により固着されている。フレキシブルプリント基板１３は、圧電セラミックス１１に、接着剤により固着されている。

圧電セラミックス１１は、厚さ方向に積層された内部電極と、内部電極とフレキシブルプリント基板１３の有する配線とを電気的に接続するための外部電極を有している。フレキシブルプリント基板１３は、電源と電気的に接続されている。

つぎに、振動子８の動作について説明する。

圧電セラミックス１１に交番電圧を印加し、振動子８に二つの振動モードの振動を励起する。図５の（Ａ）と（Ｂ）に二つの振動モードを示す。

図５（Ａ）の振動モードはＡモードともいう。また図５（Ｂ）の振動モードはＢモードともいう。

図５（Ａ）に示す振動モードは、突起部１４の先端面が、振動子８の長手方向（送り方向ともいう：図中Ｘ方向）に振動する振動モード（Ａモード）である。

図５（Ｂ）に示す振動モードは、突起部１４の先端面が、接触体１８との接触方向（突き上げ方向ともいう：図中Ｚ方向）に振動する振動モード（Ｂモード）である。

これら二つの振動モードの振動を、時間位相を略９０°で励起するように、交番電圧を設定している。

ここで略９０°と記載した意味は、正確に９０°でなくても、必要な振動が合成される範囲で許容するという意味である。

以下での説明における「略〜」という表現は同様の意味である。

これにより、突起部１４の先端面は、図中ＸＺ平面に平行な平面内を、楕円軌跡で運動する。また、二つの振動モードの振動の位相差を略−９０°とすると、楕円軌跡の進行の向きを逆にする事ができる。

ここでは、振動子８に、二つの振動モードを励起して突起部１４の先端面を楕円運動させる場合を説明したが、振動子８の振動モードや振動子の形態はこれに限定されない。

例えば、突起部を１つ有し、図中Ｚ方向に振動する振動モードを有する振動子を用いることもできる。

この場合、突起部を、接触体１８の、振動子８との接触面に対して、垂直から傾けて接触させることで、接触体１８に対して振動子８を駆動することができる。

ここで、振動型駆動装置２４の構成と駆動動作について説明する。

図６は振動型駆動装置２４の斜視図である。振動型駆動装置２４は、振動子８、接触体１８、移動機構２５、支持部材２００、及び移動体１９で構成されている。

接触体１８は、接触体本体２１と耐摩耗性の高い材料で構成された耐摩耗部材２２で構成されている。

接触体本体２１と耐摩耗部材２２は、不図示のねじにて固定されている。耐摩耗部材２２が、振動子８の突起部１４の先端面に当接するように、接触体１８と振動子８が配置されている。

接触体本体２１は、ネオジウム磁石で出来ており、磁性を有する振動板１２との間に、吸引力を発生している。

これにより、突起部１４と耐摩耗部材２２が加圧接触している。先述したように、振動子に二つの振動モードの振動を励起すると、突起部１４の先端面に楕円軌跡の運動を起こす事ができる。これにより、振動子８及び振動子８の振動子固定部１５に固定された移動体１９を支持部材２００に対して、図中Ｘ方向に駆動する事が可能である。

ここでは、振動板１２が磁性を有する金属から成り、振動板１２とネオジウム磁石からなる接触体本体２１との吸引力によって、突起部１４と耐摩耗部材２２が加圧接触している例を示したが、本発明の振動型駆動装置２４はこれに限定されない。例えば、振動板１２及び接触体本体２１に非磁性材料を用いて形成してもよい。この場合、例えば、コイルバネ等の加圧部材を設けることで、突起部と耐摩耗部材を加圧接触させることができる。

つぎに、移動機構２５の構成について説明する。

振動子８が接触体１８に対して、駆動する駆動方向（第１の方向）は、図６において、図中のＸ方向（第１の方向）である。図中Ｙ方向（第２の方向、かわし方向）は、図中Ｘ方向（第１の方向）と直交している。

接触体１８の接触体本体２１には、図中Ｙ方向（第２の方向）が軸方向となっている丸穴形状の開口が、接触体伝達部２３として設けられている。

開口の内周面には、耐摩耗性向上のための硬質メッキが施されている。この開口（接触体伝達部２３）を貫通するように、耐摩耗性材料でできたガイド部材２０が配置されている。

ガイド部材２０は、支持部材２００に固定され、図中Ｙ方向（第２の方向）を長手方向（軸方向）とする丸棒形状を有する。

接触体伝達部２３の丸穴形状の内周面とガイド部材２０の丸棒形状の外周面は、図中Ｙ方向（第２の方向、かわし方向）に相対移動する面である。

これらの面には、摺動時の負荷が小さくなるように、潤滑剤が塗布されている。移動機構２５である、ガイド部材２０と接触体伝達部２３を、上述のように構成することで、接触体１８と支持部材２００は、図中Ｙ方向（第２の方向、かわし方向）に、小さな負荷で相対移動可能となっている。移動機構２５は、支持部材２００と移動体１９の間に設けられている。このため、移動機構２５によって、支持部材２００に対して移動体１９が、図中Ｙ方向（第２の方向、かわし方向）に、小さな負荷で相対移動可能となっている。

また、この移動機構２５は、振動型駆動装置２４が駆動して振動子８及び移動体１９が支持部材２００に対して移動した際の、駆動方向（第１の方向）の反力を受けることができる。

ここで、本実施例の小型化の効果について説明する。

本実施例の振動子８を含めて多くの直動型振動型駆動装置の振動子は、突起部を有して、その先端部が接触体との接触部となっている。

これは、振動子の表面の所望の変形の箇所の変位を拡大し、接触体に伝達する事が目的となっている。振動型駆動装置が機能する上では、既定の動作量の分だけ振動子と接触体が相対移動しても、振動子の突起部の先端面と接触体が接触している事が、必須である。
このことから、振動子と接触体の、駆動方向の長さ（寸法）は、接触体の方が必然的に大きくなる。

駆動方向の寸法（長さ）が大きい接触体を移動させるよりも、駆動方向の寸法（長さ）が小さい振動子を移動させる事で、動作時に他の部品との干渉を避けるためのスペースを小さくでき、振動型駆動装置の占有スペースを小さくできている。

つぎに、二次元駆動装置における振動型駆動装置２４の動作について説明する。

図７は画像振れ補正装置の正面図である。図中の座標系の原点は、鏡筒外周の中心位置に位置している。

振動型駆動装置２４ａと２４ｂは、駆動方向（第１の方向）が図中Ｘ方向となっており、移動機構による、かわし方向（第２の方向）が、図中Ｙ方向となっている。

振動型駆動装置２４ｃと２４ｄは、駆動方向（第１の方向）が図中Ｙ方向となっており、移動機構による、かわし方向（第２の方向）が図中Ｘ方向となっている。

振動型駆動装置２４ａと２４ｂを駆動すると、図８のように、光学レンズ４を保持した移動体１９を、Ｘの正の方向に移動させることができる。

振動型駆動装置２４ｃと２４ｄは、駆動方向（第１の方向）がＹ方向である為、移動体１９の移動には寄与しない。

この際、移動体１９は、移動機構２５によって、振動型駆動装置２４ｃと２４ｄの支持部材２００に対してＸ方向（第２の方向）において相対的に動くことができるため、移動体１９のＸ方向の移動を阻害する負荷を発生しない。

振動型駆動装置２４ｃと２４ｄを駆動した際、図９のように、移動体１９をＹの正の方向に移動させることができる。

したがって、前述と同様の原理により、振動型駆動装置２４ａと２４ｂは、移動機構によって、移動体のＹ方向の移動を阻害する負荷を発生しない。

図１０は、全ての振動型駆動装置（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ）を駆動させて、ＸとＹの間の方向に、移動体１９を移動させた図である。

この場合には、全ての振動型駆動装置（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ）の移動機構２５が相対的に動き、Ｘ方向においてもＹ方向においても、移動体１９の移動を、振動型駆動装置２４が阻害しないようになっている。

また、接触体伝達部２３を、Ｚ軸回りの回転自由度を有する構造とすることにより、移動体１９を、図中、Ｘ軸及びＹ軸と直交するＺ軸回りに移動させる事も可能である。例えば、振動型駆動装置２４ａをＸの正の方向に、振動型駆動装置２４ｂをＸの負の方向に、振動型駆動装置２４ｃをＹの負の方向に、振動型駆動装置２４ｄをＹの正の方向に、それぞれ駆動することで実現できる。

振動型駆動装置２４（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ）の各々の駆動量を調整する事で、移動体をＸＹ平面内のいずれの位置に移動させる事も可能である。また、これに紙面上の回転移動も付加する事ができる。

ここで、本発明の出力の安定化の効果について説明する。

振動子に接触する部材である接触体１８は、無数の共振モードを有しており、その共振周波数も様々である。

接触体１８が受ける力の周波数と、共振モードの共振周波数が略合致すると、共振現象により接触体１８に不要な振動が大きく発生してしまう。

この振動によって、接触体１８の振動子８との接触部分が大きく振動してしまうと、振動子８との接触状態が不安定になってしまう。

これにより、振動型駆動装置２４の出力が不安定になってしまう事がある。一方、振動子８も同様に、無数の共振モードを有しており、接触体１８と同様に、振動子８にも不要な振動が発生する事が有る。

しかし、振動子８は、所定の交番電圧によって、所定の振動モードの振動が大きい状態であるので、不要な振動が発生しても、接触体１８に不要な振動が発生した場合と比較すると、悪影響は軽微である。

つまり、接触体１８と振動子８の良好な接触状態を維持するためには、振動子に接触する部材である接触体１８に発生してしまう不要な振動を如何に抑えるかが、重要である。

振動子に接触する部材が動くと、その際に摺動する箇所の、形状寸法の不均一や面粗さ等による接触状態のムラに起因して、様々な周波数の加振力が発生する。

この加振力によって、振動子に接触する部材に不要な振動が起こり易くなる。従来技術での振動子と接触する部材である接触体（被駆動体）は、駆動方向（第１の方向）にも、駆動方向に直交したかわし方向（第２の方向）にも、２方向に動く構成となっている。

それに対し、本発明の本実施例では、振動子に接触する部材である接触体１８は、駆動方向（第１の方向）には動かず、かわし方向（第２の方向）の１方向にのみに動く。振動子に接触する部材が、従来技術では２方向に動くのに対し、本発明では１方向のみに動く。このことから、振動子に接触する部材の、摺動する部分を減少できるばかりか、摺動の方向も減らす事が出来ている。

これによって、振動子が接触する部材が受ける力の原因を減らす事が可能で、不要な振動の発生要因を減らして、振動型駆動装置の出力安定化が実現できている。

つまり、このように、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な振動型駆動装置を実現することができる。

また、上記振動型駆動装置を有することで、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、及び撮像装置を実現することができる。

以上の本実施例の説明では、駆動方向（第１の方向）が直交するように、４つの振動型駆動装置２４を配置しているが、本発明はこのような構成に限られるものではない。

振動型駆動装置２４の駆動方向が交差するように配置されていれば、本実施例と同じく移動体１９の２次元の移動が可能である。また、この際の、移動機構２５の効果は同様である。

また、本実施例では、振動型駆動装置２４のみを用いて、移動体１９の２次元の移動を実現しているが、その一部を、接触を用いないボイスコイルモータのような駆動装置に置き換えても良い。

例えば、ボイスコイルモータと振動型駆動装置２４を、駆動方向が異なるように配置しても移動体１９の２次元方向の移動を行うことができる。

［実施例２］
つぎに、実施例２について説明する。本実施例が実施例１と異なっている点は、移動機構２５の構成である。

以下、実施例１と異なっている点の構成について説明する。

図１１は、実施例２の撮像装置に用いられる振動型駆動装置２４の斜視図である。

図中のＸ方向が、振動型駆動装置２４の駆動方向（第１の方向）である。
Ｙ方向が、移動体１９と支持部材２００が移動機構２５により相対移動可能となっている、かわし方向（第２の方向）である。

移動機構２５は、二つの薄い矩形の板状形状のステンレス鋼の弾性部材である。板厚方向がＹ方向（かわし方向、第２の方向）となっている。

一方の端部が、プレス加工によって直角に曲げられており、この部分が支持部材２００に固定されている。他方の端部が、接触体１８に固定されている。二つの弾性部材は、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に並んでいる。

移動機構２５は、薄い板厚方向が、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）であるので、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）の曲げ剛性が小さい。

移動体１９が、他の振動型駆動装置２４によってＹ方向に移動された際、移動機構２５はＹ方向（かわし方向、第２の方向）に変形する。

これにより、接触体１８は支持部材２００に対して、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に相対的な移動が可能である。

従って、移動体１９は、支持部材２００に対して、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に相対的に移動が可能となっている。

この移動機構２５は、１部品であり、かつプレス加工での形成が可能であるため、構成が簡素かつ製造安価という効果がある。

また、移動機構２５のＸ方向（駆動方向、第１の方向）の寸法（長さ）は、板厚方向（Ｙ方向、かわし方向、第２の方向）の寸法（長さ）よりも大きくなっている。

これによって、Ｘ方向（駆動方向、第１の方向）の剛性は、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）の剛性よりも、高くなっている。

Ｘ方向（駆動方向、第１の方向）の剛性が高いので、この方向に変位や力を伝達できるようになっている。

また、移動機構２５は、この方向のクリアランスが無く、移動体１９の移動精度が高い移動機構となっている。

移動機構２５の板状形状の弾性部材は、板厚方向がＹ方向（かわし方向、第２の方向）で、且つ２枚がＹ方向（かわし方向、第２の方向）に並んだ構成になっている。

本実施例の構成では、移動機構２５は、主たる変形方向がＹ方向（かわし方向、第２の方向）となっている弾性リンクとして機能する。

移動体１９がＹ方向（かわし方向、第２の方向）に移動した際、接触体１８が受けるＺ軸回りの力は極めて小さくなる。

これにより、実施例１と同様に、振動子８と接触体１８のＺ軸回りの相対位置が安定化し、性能安定化に繋がる効果が得られる。

また、本実施例においても、実施例１と同様の効果を得ることができる。

［実施例３］
つぎに、実施例３について説明する。本実施例が実施例１と異なる点は、移動機構２５の構成である。

以下、実施例１と異なっている点の構成について説明する。

図１２の（Ａ）は本実施例の振動型駆動装置２４の構成例を説明する斜視図である。（Ｂ）は上面図で、（Ｃ）は側面図である。

図中のＸ方向が振動型駆動装置２４の駆動方向（第１の方向）である。Ｙ方向が、移動体１９と支持部材２００が移動機構２５により相対移動可能となっている、かわし方向（第２の方向）である。

接触体１８は、耐摩耗部材２２とネオジウム磁石でできた接触体本体２１と接触体伝達部２３により構成されている。

移動機構２５は、接触体伝達部２３と、セラミック製の転動可能な曲面形状（曲線部）である球形状のボール３４と、支持部材２００の支持部材伝達部２０１により構成されている。

接触体伝達部２３と支持部材伝達部２０１は共に、ＸＺ方向の断面において台形形状であり、且つＹ方向（かわし方向、第２の方向）に延在する溝部を有している。

これらの溝部の間に、ボール３４が配置されている。移動機構２５は、接触体１８のＸ方向（駆動方向、第１の方向）の両端部に設けられている。

支持部材２００は強磁性を有する材料でできており、ネオジウム磁石でできた接触体１８の本体との間に、吸引力が作用している。

これにより、接触体１８と支持部材２００の間には、図中Ｚ方向に予圧力が掛けられている。この予圧力によって、接触体伝達部２３の溝部の斜面とボール３４は、加圧接触している。

同様に、支持部材伝達部２０１の溝部の斜面とボール３４は、加圧接触している。

以上の本実施例における構成により、ボール３４は、接触体伝達部２３及び支持部材伝達部２０１の相方の溝部上をＹ方向（かわし方向、第２の方向）に転動する事が可能となっている。

これにより、接触体１８は支持部材２００に対して、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に相対的な移動が可能となっている。

従って、移動体１９は支持部材２００に対して、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に相対的な移動が可能となっている。

ボールが転動する際の抵抗は極めて小さく、相対移動時の負荷が極めて小さい移動機構２５となっている。

また、ボールが常に加圧接触状態となっているので、クリアランスのない移動機構となっている。一方、Ｘ方向（駆動方向、第１の方向）には、接触体１８は支持部材２００に対して、相対的な移動ができず、この方向の変位及び力を移動体１９に伝達できる様になっている。こちらの方向にもクリアランスのない移動機構となっている。

接触体伝達部２１の製造方法は、薄板形状のステンレス材料に、プレス加工の一種である鍛造で溝部を形成している。

その後、表面に窒化処理を施し、その表面を耐摩耗部材とする。これを、接着等によって接触体１８の本体に固定している。

支持部材２００の製造方法は、薄板形状のステンレス材料に、プレス加工の一種である鍛造で溝部を形成し、その後、Ｘ方向の両端部をプレス加工で曲げる。

その後、表面に窒化処理を施し、その表面を耐摩耗部材とする。プレス加工は、安価な製造方法であるので、接触体伝達部２１も支持部材２００も安価に製造できる。

また、本実施例においても、実施例１と同様の効果を得ることができる。

［実施例４］
つぎに、実施例４について説明する。本実施例が実施例３と異なっている点は、振動型駆動装置における振動子８と接触体１８のＹ方向（かわし方向、第２の方向）の相対変位量を制限する制限機構２６が追加されている構成である。

以下、実施例３と異なっている点の構成について説明する。

図１３（Ａ）は本実施例の振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図である。

図１３（Ｂ）及び（Ｃ）は制限機構２６の構成が分かり易いように、Ｚ方向に部品を展開した展開斜視図である。

接触体１８の耐摩耗部材２２に、ＹＺ方向の断面において台形形状であり、且つＸ方向（駆動方向、第１の方向）に延在する溝部である台形溝部３０１が３つ設けられている。

移動体溝部材３０３は、振動子８のＹ方向の両サイドに配置されており、移動体１９に固定されている。

一方の移動体溝部材３０３は、ＹＺ方向の断面において台形形状であり、且つＸ方向（駆動方向、第１の方向）に延在する溝部である台形溝部３０１が２つ設けられている。

他方の移動体溝部材３０３は、ＹＺ方向の断面において長方形であり、且つＸ方向（駆動方向、第１の方向）に延在する溝部である方形溝部３０２が１つ設けられている。

３つのボール３４の内の２つは、耐摩耗部材２２と移動体溝部材３０３の台形溝部３０１の台形の斜面に接触して配置されている。これらで、振動子８及び移動体１９と接触体１８が、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に相対移動量を制限する制限機構２６を構成している。

一方で、Ｘ方向（第１の方向）の相対移動量は制限されない。残りの１つのボール３４は、耐摩耗部材２２の台形溝部３０１の台形の斜面と、移動体溝部材３０３の方形溝部３０２の低面に接触して配置されている。

３つのボール３４共に、振動子８と接触体１８を加圧する力によって、加圧されている。これらの構成によって、振動子８と接触体１８の相対移動が可能な方向は、Ｘ方向（駆動方向、第１の方向）にのみになっている。

ここで、制限機構２６の効果について説明する。

振動子８の駆動方向（第１の方向）が、取付位置の誤差等によってＸ方向に角度を有するように、ずれると、振動子８の駆動により、振動子８はＹ方向（第２の方向）の力も受ける。

これにより、振動子８がＹ方向（第２の方向）に動いてしまうと、振動子８と接触体１８が所定の範囲で接触できずに、接触が不安定になってしまう。あまりにズレが大きいと、振動子８と接触体１８が接触しなくなってしまう。

しかし、本実施例では、先の制限機構２６を設けているために、振動子８と接触体１８は、常に所定範囲で接触する事が可能である。

また、駆動方向のズレでは無く、外部からの衝撃等によっても、振動子８と接触体１８のＹ方向（第２の方向）のズレが起こる可能性があるが、この場合にも、振動子８と接触体１８は、制限機構２６により、所定範囲で接触を保つ事が可能となっている。

本実施例においても、実施例１と同様の効果を得ることができる。

［実施例５］
つぎに、実施例５について説明する。本実施例が実施例４と異なっている点は、振動型駆動装置における移動体１９の構成である。

以下、実施例４と異なっている点の構成について説明する。

図１４は、本実施例の振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図である。

Ｘ方向は、振動型駆動装置２４の駆動方向（第１の方向）である。

Ｙ方向は、かわし方向（第２の方向）である。Ｚ方向は、振動子８と接触体１８の接触方向である。部品を図中Ｚ方向に展開したものとなっている。

移動体１９は、振動子固定部材４０１と出力伝達機構である回転機構４０５と移動体本体４０４で構成される。振動子固定部材４０１には、振動子８が固定されている。振動子固定部材４０１は、長手方向がＹ方向（かわし方向、第２の方向）かつ深さ方向がＺ方向となっているガイド部（例えば長穴４０２）を有している。

移動体本体４０４には、光学レンズ４が固定されている。移動体本体４０４は、軸方向がＺ方向となっている棒状部材（例えば丸棒４０３）を有している。長穴４０２と丸棒４０３の各々の表面には、硬質膜が設けられていると共に、潤滑剤が塗布されている。長穴４０２に丸棒４０３が挿入され、回転機構４０５を構成している。

丸棒４０３の中心軸が、回転機構４０５の回転軸（第１の軸）４０６となっている。

回転軸（第１の軸）４０６は図中Ｚ方向に平行である。この回転機構４０５によって、移動体本体４０４と振動子固定部材４０１は、回転軸４０６（第１の軸）に相対回転可能となっている。駆動方向（第１の方向）であるＸ方向には、力及び変位の伝達が可能となっている。

また、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）の移動機構も兼ねている。つまり、ガイド部と棒状部材は、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）の移動機構としても機能する。
ここで、この回転機構４０５による、二次元駆動装置の回転動作について説明する。
図１５は、画像振れ補正装置の正面図である。

図中の座標系の原点は、鏡筒外周の中心位置に一致している。振動型駆動装置２４ａにＸ方向の負の向きに駆動力を発生させる。

振動型駆動装置２４ｂにはＸ方向の正の向きに、振動型駆動装置２４ｃにはＹ方向の正の向きに、振動型駆動装置２４ｄにはＹ方向の負の向きに、駆動力を発生させる。

つまり、紙面上、時計回りに駆動力を発生させる。この動作によって、図１６に示すように、移動体本体４０４を時計回りに移動することができる。

この際、回転機構４０５によって、移動体本体４０４と振動子固定部材４０１の相対回転が可能となっているので、振動子固定部材４０１に固定されている振動子８と、接触体１８は回転力をほぼ受けることなく、制限機構２６によって、所定の位置関係が保たれる。仮に、回転機構４０５が無い場合には制限機構２６によって接触体１８と振動子８の相対的な回転が拘束されるため、移動体本体４０４の回転動作の量が小さくなってしまう。

なお、回転機構４０５は本実施例の構成に限定される事は無く、例えばベアリングを用いた回転機構でも良いし、移動体本体と振動子固定部材に相当する部材の相対回転を可能とする機構で有れば、如何なる機構であっても良い。

また、回転機構の配置も、支持部材に相当する部材と接触体の間にあっても良いし、他の箇所に配置されていても良い。

本実施例では、棒状部材として丸棒、ガイド部として長穴を例として説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、棒状部材として丸棒、ガイド部として移動体に設けられたスリットを用いることもできる。

本実施例においても、実施例１乃至５と同様に、振動子に接触する部材が、１方向のみに動く。このことから、振動子に接触する部材の、摺動する部分を減少できるばかりか、摺動の方向も減らす事が出来ている。

これによって、振動子が接触する部材が受ける力の原因を減らす事が可能で、不要な振動の発生要因を減らして、振動型駆動装置の出力安定化が実現できている。

つまり、このように、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な振動型駆動装置を実現することができる。

また、上記振動型駆動装置を有することで、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、及び撮像装置を実現することができる。

［実施例６］
つぎに、実施例６について説明する。本実施例が実施例５と異なっている点について以下に説明する。

図１７は、実施例６の振動型駆動装置の構成例を説明する斜視図である。図中のＸ方向が駆動方向（第１の方向）で、Ｙ方向がかわし方向（第２の方向）で、Ｚ方向が振動子８と接触体１８の接触方向である。

接触体１８が支持部材２００のレンズ鏡筒との結合の機能を兼ねている。

これによって、支持部材２００が無くなっている。また、支持部材２００と接触体１８の間にあった移動機構２５が無くなっている。

移動体１９が有する回転機構４０５が、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）の移動機構も兼ねている。また、制限機構２６も無くなっている。

本実施例においても、振動子に接触する部材の、摺動する部分を減少できるばかりか、摺動の方向も減らす事が出来ている。

これによって、振動子が接触する部材が受ける力の原因を減らす事が可能で、不要な振動の発生要因を減らして、振動型駆動装置の出力安定化が実現できている。

つまり、このように、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な振動型駆動装置を実現することができる。

また、上記振動型駆動装置を有することで、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、及び撮像装置を実現することができる。

ここで、本実施例の上記構成における移動機構の機能や特有の効果について説明する。本実施例では、支持部材に相当する接触体１８と移動体本体４０４がＹ方向（かわし方向、第２の方向）に相対移動可能とする機構は回転機構４０５である。

実施例５で述べたとおり、回転機構４０５はＹ方向（かわし方向、第２の方向）の移動機構の機能を有している。

回転機構４０５は、振動子８と移動体本体４０４の間に配置されている。移動体本体４０４がレンズ鏡筒９に対して、Ｙ方向（かわし方向、第２の方向）に移動する際には、接触体１８も振動子８もＹ方向（かわし方向、第２の方向）に動かない。

これにより、これまでの実施例に追加される、つぎのような４つの効果が有る。

１つ目の効果は、光学レンズ４を移動させる際に、伴って移動させる必要がある質量を減らせる事である。

不図示の振動型駆動装置によって、移動体本体４０４をＹ方向に移動させる際には、図中の振動型駆動装置の接触体１８及び振動子８はＹ方向に動かない。

つまり、接触体１８及び振動子８、さらにはこれらに固定された部材の質量を、動かさなくて済むため、二次元駆動装置の出力が増加される事になる。

２つ目の効果は、装置の小型化である。接触体１８及び振動子８とそれらに固定された部材がＹ方向（かわし方向、第２の方向）に動いた場合には、他の部品との空間的干渉を避けるために、これらが動く空間を空けておく必要がある。

しかしながら本実施例では、これらは動かないので、Ｙ方向に空間を空けなくて良く、装置の小型化が可能である。

３つ目の効果は、振動子８に電気エネルギーを供給する導電部材（例えばフレキシブルプリント基板）の破損信頼性の向上である。

本実施例では振動子８は、駆動方向（第１の方向）のＸ方向には動くが、かわし方向（第２の方向）のＹ方向に動かない。

これによって、導電部材の動きの方向及び量を減らす事が出来ており、動きに伴って発生する応力を低減出来ている。

このため、応力による導電部材の配線破断のリスク低減が可能となっている。

４つ目の効果は、接触体１８が駆動方向（Ｘ方向、第１の方向）に加えて、かわし方向（Ｙ方向、第２の方向）にも、動かない事である。

実施例１でも述べたとおり、振動型駆動装置の出力の安定化には、接触体１８の不要な振動を抑える事が重要である。接触体１８が動く事に伴う摺動などの加振要因が、本実施例では無いため、振動型駆動装置の出力の安定化に繋がっている。

［実施例７］
つぎに、実施例７について説明する。図１８は、本実施例の撮像装置としての顕微鏡の構成例を説明する斜視図である。

図１８の顕微鏡は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部３０と、二次元駆動装置３２を有した自動ステージ３１を有する。

被観察物を二次元駆動装置３２上に置いて、拡大画像を撮像部３０で撮影する。観察範囲が広範囲に有る場合には、二次元駆動装置３２で、被観察物を図中のＸ方向やＹ方向に移動させて、多数の撮影画像を取得する。

不図示のコンピュータにて、撮影画像を結合し、観察範囲が広範囲で、かつ、高精細な１枚の画像を取得できる。

二次元駆動装置３２は、実施例６で述べた物と同じである。

ただし、移動体１９に取り付けられる部品が、光学レンズ４から被観察物設置部に変っている。

この被観察物設置部に、被観察物を設置して被観察物の２次元移動を行いながら、撮像画像を取得する。

なお、二次元駆動装置３２は、実施例６の物と同様に、図中のｚ軸回りの回転運動が可能である。この動作を被観察物の位置調整などに用いることができる。

本実施例では、本発明の振動型駆動装置を有する２次元駆動装置を顕微鏡の自動ステージに適用する例を説明したが、本発明はこれに限定されず、様々な装置のステージに応用することが出来る。

このように、実施例１乃至６に記載の振動型駆動装置をもちいることで、占有スペース及び不要振動を抑制し、出力ロスを小さくすることが可能な自動ステージを実現することができる。

８ 振動子
１８ 接触体
１９ 移動体
２４ 振動波駆動装置
２５ 移動機構
２００ 固定部材

Claims (21)

1. 移動体を相対移動する駆動装置であって、
   電気機械エネルギー変換素子を有する第１の振動子と、
   前記第１の振動子と接触する第１の接触体と、
   前記第１の接触体を支持する第１の支持部材と、
   前記第１の支持部材に対して前記移動体を相対移動させる第１の移動機構と、電気機械エネルギー変換素子を有する第２の振動子と、
   前記第２の振動子と接触する第２の接触体と、
   前記第２の接触体を支持する第２の支持部材と、
   前記第２の支持部材に対して前記移動体を相対移動させる第２の移動機構と、を備え、前記第１の振動子と前記第２の振動子とは、前記移動体に設けられており、
   前記第１の振動子と前記第１の接触体は、前記第１の振動子が前記第１の接触体に対して第１の方向に相対移動するように配置され、
   前記第２の振動子と前記第２の接触体は、前記第２の振動子が前記第２の接触体に対して前記第１の方向と交差する第２の方向に相対移動するように配置され、
   前記第１の移動機構は、前記第１の振動子と前記第１の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第１の方向と交差する第３の方向に、前記第１の支持部材に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されており、
   前記第２の移動機構は、前記第２の振動子と前記第２の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第２の方向と交差する第４の方向に、前記第２の支持部材に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されている駆動装置。
2. 前記第１の振動子を駆動すると、前記移動体と前記第１の振動子と前記第２の振動子と、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材と、が相対移動し、
   前記第２の振動子を駆動すると、前記移動体と前記第１の振動子と前記第２の振動子と、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材と、が相対移動する請求項１に記載の駆動装置。
3. 前記第１の振動子を駆動すると、前記移動体と前記第１の振動子と前記第２の振動子と前記第２の接触体と、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材と、が相対移動し、前記第２の振動子を駆動すると、前記移動体と前記第１の振動子と前記第２の振動子と前記第１の接触体と、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材と、が相対移動する請求項１に記載の駆動装置。
4. 前記第１の振動子の長さは、前記第１の方向において前記第１の接触体の長さよりも小さい請求項１から３のいずれか１項に記載の駆動装置。
5. 前記第１の移動機構が、前記第１の支持部材と前記第１の接触体の間にある請求項１から４のいずれか１項に記載の駆動装置。
6. 前記第１の移動機構が、前記第３の方向に移動可能なガイド部材を含む請求項１から５のいずれか１項に記載の駆動装置。
7. 前記ガイド部材が、転動可能な曲線部を備える部材を有する請求項６に記載の駆動装置。
8. 前記転動可能な曲線部が、球形状を有する請求項７に記載の駆動装置。
9. 前記第１の移動機構が、弾性部材を含む請求項１から８のいずれか１項に記載の駆動装置。
10. 前記弾性部材は、前記第３の方向における剛性が前記第１の方向の剛性よりも小さい剛性を有している請求項９に記載の駆動装置。
11. 前記弾性部材が、板状の弾性部材を含む請求項９または１０に記載の駆動装置。
12. 前記第１の振動子と前記第１の接触体の、前記第３の方向における相対移動量を制限する制限機構を有する請求項１から１１のいずれか１項に記載の駆動装置。
13. 前記第１の支持部材に対して前記移動体を、相対回転可能とする回転機構を有する請求項１から１２のいずれか１項に記載の駆動装置。
14. 移動体を相対移動する駆動装置であって、
    電気機械エネルギー変換素子を有する第１の振動子と、
    前記第１の振動子と接触する第１の接触体と、
    前記第１の振動子を固定する第１の振動子固定部材と、
    前記第１の振動子に対して前記移動体を相対移動させる第１の移動機構と、電気機械エネルギー変換素子を有する第２の振動子と、
    前記第２の振動子と接触する第２の接触体と、
    前記第２の振動子を固定する第２の振動子固定部材と、
    前記第２の振動子に対して前記移動体を相対移動させる第２の移動機構と、を備え、
    前記第１の振動子と前記第１の接触体は、前記第１の振動子が前記第１の接触体に対して第１の方向に相対移動するように配置され、
    前記第２の振動子と前記第２の接触体は、前記第２の振動子が前記第２の接触体に対して前記第１の方向と交差する第２の方向に相対移動するように配置され、
    前記第１の移動機構は、前記第１の振動子と前記第１の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第１の方向と交差する第３の方向に、前記第１の振動子に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されており、
    前記第２の移動機構は、前記第２の振動子と前記第２の接触体とが接触する面と平行な平面において前記第２の方向と交差する第４の方向に、前記第２の振動子に対して前記移動体を相対移動可能とするように構成されている駆動装置。
15. 前記第１の移動機構は、前記移動体に設けられたガイド部及び丸棒を含む請求項１４に記載の駆動装置。
16. 前記第１の方向と前記第２の方向とが直交している請求項１から１５のいずれか１項に記載の駆動装置。
17. 前記第１の接触体と前記第２の接触体とが配置されている部材を有し、その部材と前記移動体との間に前記第１の振動子と前記第２の振動子とが配置されている請求項１から１６のいずれか１項に記載の駆動装置。
18. 請求項１から１７のいずれか１項に記載の駆動装置と、前記駆動装置の前記移動体に取り付けられている光学レンズまたは撮像素子を含む画像振れ補正装置。
19. 請求項１から１７のいずれか１項に記載の駆動装置と、前記駆動装置の前記移動体に取り付けられている光学レンズを含む交換レンズ。
20. 請求項１から１７のいずれか１項に記載の駆動装置と、前記駆動装置の前記移動体に取り付けられている光学レンズまたは撮像素子を含む撮像装置。
21. 請求項１から１７のいずれか１項に記載の駆動装置を有し、前記移動体に被観察物設置部が取り付けられている自動ステージ。

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