JPH0635677Y2 - 超音波リニアモータ - Google Patents
超音波リニアモータInfo
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- JPH0635677Y2 JPH0635677Y2 JP1988158158U JP15815888U JPH0635677Y2 JP H0635677 Y2 JPH0635677 Y2 JP H0635677Y2 JP 1988158158 U JP1988158158 U JP 1988158158U JP 15815888 U JP15815888 U JP 15815888U JP H0635677 Y2 JPH0635677 Y2 JP H0635677Y2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
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- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
-
- H—ELECTRICITY
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、電子機器や精密機械における駆動源として
好適な超音波リニアモータに関する。
好適な超音波リニアモータに関する。
［従来の技術］ 電子機器や精密機械においては、取付のためのスペース
が少なくてすみかつ厳密な位置決めが可能であるような
アクチュエータが要求される。特に直線的な移動が要求
される場合には、回転型のアクチュエータよりリニアモ
ータの方が、運動方向の変換機構が不要であるからより
好ましい。
が少なくてすみかつ厳密な位置決めが可能であるような
アクチュエータが要求される。特に直線的な移動が要求
される場合には、回転型のアクチュエータよりリニアモ
ータの方が、運動方向の変換機構が不要であるからより
好ましい。
第２図（ａ）に示すのは、このようなリニアモータとし
て提案されているインチワーム（尺取り虫）機構であ
る。これは、軸31と、この軸31の回りに貫挿された管状
の走行体32とから構成されている。この走行体32は、３
つの管体（圧電アクチュエータ）33,34,35が接着剤など
により軸方向に接合されているもので、中央の管体33は
軸方向に伸縮する圧電アクチュエータ、両側の管体34,3
5は半径方向に伸縮する圧電アクチュエータである。こ
の走行体32を右に進めるときには、中央の管体33が収縮
した状態で、左側の管体34を収縮して軸31を把持し、右
の管体35を拡張して緩めておき、中央の管体33を伸張さ
せる（ｂ）。これにより右側の管体34が右へ移動し、そ
の後右側の管体35を収縮させて軸31を把持させる
（ｃ）。次に、左の管体34を拡張して緩め（ｄ）、中央
の管体33を収縮させる（ｅ）と、左の管体34が右に移動
する。従って、上記過程を順次繰り返せば走行体32が右
に移動する。
て提案されているインチワーム（尺取り虫）機構であ
る。これは、軸31と、この軸31の回りに貫挿された管状
の走行体32とから構成されている。この走行体32は、３
つの管体（圧電アクチュエータ）33,34,35が接着剤など
により軸方向に接合されているもので、中央の管体33は
軸方向に伸縮する圧電アクチュエータ、両側の管体34,3
5は半径方向に伸縮する圧電アクチュエータである。こ
の走行体32を右に進めるときには、中央の管体33が収縮
した状態で、左側の管体34を収縮して軸31を把持し、右
の管体35を拡張して緩めておき、中央の管体33を伸張さ
せる（ｂ）。これにより右側の管体34が右へ移動し、そ
の後右側の管体35を収縮させて軸31を把持させる
（ｃ）。次に、左の管体34を拡張して緩め（ｄ）、中央
の管体33を収縮させる（ｅ）と、左の管体34が右に移動
する。従って、上記過程を順次繰り返せば走行体32が右
に移動する。
ところで、上記のようなインチワーム機構においては、
尺取り虫運動による移動を行うためには、軸31と両側の
圧電アクチュエータ34,35との隙間の寸法が厳密に管理
されていなければならず、そのためには軸31の加工精度
が高くなければならない。しかし、精度の高い長い軸の
加工は非常に困難であり、従って、非常に製造コストが
高くなるか、あるいは移動距離が限定されてしまうこと
になる。
尺取り虫運動による移動を行うためには、軸31と両側の
圧電アクチュエータ34,35との隙間の寸法が厳密に管理
されていなければならず、そのためには軸31の加工精度
が高くなければならない。しかし、精度の高い長い軸の
加工は非常に困難であり、従って、非常に製造コストが
高くなるか、あるいは移動距離が限定されてしまうこと
になる。
また、管体33の圧縮応力によって軸を把持する構造であ
るから、部材の共振周波数のような高い周波数で振動さ
せると管体33が破損するため、モータとしての効率が低
いという不利点もある。
るから、部材の共振周波数のような高い周波数で振動さ
せると管体33が破損するため、モータとしての効率が低
いという不利点もある。
そこで、出願人は、第４図に示すような、製造において
加工精度を上げる必要がなく長い距離の移動ができ、か
つ構成部材の共振状態を利用した効率のよいリニアモー
タを出願した（特開昭63-60714号）。これは、レールＲ
に直交する方向に平行に配置された一対の脚部21,22
と、これらの脚部21,22を連結する胴部23とを弾性体に
よりコ字状に形成して走行体（振動体）24を構成し、こ
の走行体24の両角部の外側の取付面25に圧電素子26,27
を走行体24から突出させて接着剤等により接合したもの
で、圧電素子26,27により脚部21,22と胴部23とを適度に
位相が異なるように振動させ、レールＲ上を走行させる
ようにしたものである。
加工精度を上げる必要がなく長い距離の移動ができ、か
つ構成部材の共振状態を利用した効率のよいリニアモー
タを出願した（特開昭63-60714号）。これは、レールＲ
に直交する方向に平行に配置された一対の脚部21,22
と、これらの脚部21,22を連結する胴部23とを弾性体に
よりコ字状に形成して走行体（振動体）24を構成し、こ
の走行体24の両角部の外側の取付面25に圧電素子26,27
を走行体24から突出させて接着剤等により接合したもの
で、圧電素子26,27により脚部21,22と胴部23とを適度に
位相が異なるように振動させ、レールＲ上を走行させる
ようにしたものである。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上記のようなリニアモータにおいては、
圧電素子26,27が走行体24から突出しているので、走行
中に、圧電素子26,27における走行体24の移動する方向
の前方の部分が、壁等の外部の部材に衝突して破損する
恐れがあった。
圧電素子26,27が走行体24から突出しているので、走行
中に、圧電素子26,27における走行体24の移動する方向
の前方の部分が、壁等の外部の部材に衝突して破損する
恐れがあった。
この考案は、上記事情に鑑みなされたもので、その目的
とするところは、圧電素子の破損を防止することができ
る超音波リニアモータを提供することにある。
とするところは、圧電素子の破損を防止することができ
る超音波リニアモータを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記のような課題を解決するために、この考案は、一対
の平行な脚部とこれら脚部を一端で連結する胴部とが弾
性体からコ字状に形成されて走行体が構成され、この走
行体の両角部の外側には脚部及び胴部の双方に振動を付
与する圧電素子が取り付けられてなる超音波リニアモー
タにおいて、走行体に、圧電素子よりも走行体の移動方
向前方に突出するカバーを設けたことを特徴とするもの
である。
の平行な脚部とこれら脚部を一端で連結する胴部とが弾
性体からコ字状に形成されて走行体が構成され、この走
行体の両角部の外側には脚部及び胴部の双方に振動を付
与する圧電素子が取り付けられてなる超音波リニアモー
タにおいて、走行体に、圧電素子よりも走行体の移動方
向前方に突出するカバーを設けたことを特徴とするもの
である。
また、上記構成に加え、カバーと圧電素子との間に、軟
質材からなる緩衝部材を介在させたものである。
質材からなる緩衝部材を介在させたものである。
［作用］ このように構成されたリニアモータにおいて、圧電素子
により脚部と胴部とを適度に位相が異なるように振動さ
せると、脚部の先端は胴部の中心に対して同一の向きに
回転する楕円の軌跡を描く。脚部の先端が交互にレール
に押し付けられ、押し付けられた脚部は常に一方に向け
て移動しているので、走行体はレールに対してその逆方
向に移動されることになる。
により脚部と胴部とを適度に位相が異なるように振動さ
せると、脚部の先端は胴部の中心に対して同一の向きに
回転する楕円の軌跡を描く。脚部の先端が交互にレール
に押し付けられ、押し付けられた脚部は常に一方に向け
て移動しているので、走行体はレールに対してその逆方
向に移動されることになる。
そして、壁等の外部の部材に衝突した場合には、カバー
が当り、圧電素子には直接当たらないので、圧電素子が
破損することがない。
が当り、圧電素子には直接当たらないので、圧電素子が
破損することがない。
また、カバーと圧電素子との間に緩衝部材を介在させた
場合には、圧電素子が緩衝部材によって保持されるた
め、走行中に圧電素子が走行体から離脱してしまうこと
がない。しかも、緩衝部材が柔軟材で形成されているの
で、衝突時に万一カバーが移動することがあっても、緩
衝部材が変形してこの移動分を吸収するため、圧電素子
が損傷することがない。
場合には、圧電素子が緩衝部材によって保持されるた
め、走行中に圧電素子が走行体から離脱してしまうこと
がない。しかも、緩衝部材が柔軟材で形成されているの
で、衝突時に万一カバーが移動することがあっても、緩
衝部材が変形してこの移動分を吸収するため、圧電素子
が損傷することがない。
［実施例］ 以下、この考案の超音波リニアモータの一実施例を第１
図および第２図に基づいて説明する。
図および第２図に基づいて説明する。
これらの図において、1,2は互いに平行な脚部、３はこ
れらの脚部1,2の一端を連結する胴部であり、弾性材料
を各部の断面がほぼ正方形でかつ全体がコ字状となるよ
うに成形して走行体４を構成している。この走行体４
は、架設された鋼鉄製のレールＲの上面に配置されてい
る。走行体４の寸法は適宜設計されるが、例示のものは
アルミニウムを材質とし、胴部5mm□×26mmL、脚部5mm
□×10mmLとしている。走行体４の材質は、この他、ジ
ュラルミン、鉄、真鍮あるいはステンレス鋼などの金属
材料、アルミナ、ガラスあるいは炭化珪素などの無機材
料、ポリイミド系樹脂あるいはナイロンなどの有機材料
などが使用できる。
れらの脚部1,2の一端を連結する胴部であり、弾性材料
を各部の断面がほぼ正方形でかつ全体がコ字状となるよ
うに成形して走行体４を構成している。この走行体４
は、架設された鋼鉄製のレールＲの上面に配置されてい
る。走行体４の寸法は適宜設計されるが、例示のものは
アルミニウムを材質とし、胴部5mm□×26mmL、脚部5mm
□×10mmLとしている。走行体４の材質は、この他、ジ
ュラルミン、鉄、真鍮あるいはステンレス鋼などの金属
材料、アルミナ、ガラスあるいは炭化珪素などの無機材
料、ポリイミド系樹脂あるいはナイロンなどの有機材料
などが使用できる。
この走行体４の角の部分は、脚部1,2及び胴部３に対し
て45度の角度をなすように面取りされており、その取付
面５に圧電素子6,7が接着剤などを用いて接合されてい
る。この圧電素子6,7は、積層型圧電アクチュエータあ
るいは単板の圧電セラミックスが使用され、上記取付面
５に直交する方向に伸縮するようになっている。圧電素
子6,7としては、5mm□×9mmLのものを用いた。
て45度の角度をなすように面取りされており、その取付
面５に圧電素子6,7が接着剤などを用いて接合されてい
る。この圧電素子6,7は、積層型圧電アクチュエータあ
るいは単板の圧電セラミックスが使用され、上記取付面
５に直交する方向に伸縮するようになっている。圧電素
子6,7としては、5mm□×9mmLのものを用いた。
走行体４の上部には、押圧部材８が配設されている。こ
の押圧部材８は、走行体４の上方に配置され、胴部３の
長手方向において圧電素子6,7よりも外方に突出する平
板部９とこの平板部９の両端部から垂下され、レールＲ
の近くまで延びた鉛直部10,10とからなるコ字板状のカ
バー11と、平板部９の下面中央部に固定された直方体状
の押圧部12とから構成されている。カバー11の両角部の
内側には、ゴム，ウレタン等の軟質材からなる三角柱状
の緩衝部材13,13が固定されている。また、押圧部12の
下面には、走行体４の胴部３の幅寸法よりも若干広い幅
寸法に設定された直線溝12Aが形成されており、この直
線溝12Aの底面中央部には、走行体４の胴部３の上面中
央部の凹所3Aに嵌合する突起12Bが形成されている。そ
して、押圧部材８は、直線溝12Aを走行体４の胴部３に
嵌入させ、さらに突起12Bを凹所3Aに嵌入させるととも
に、各緩衝部材13を圧電素子6,7の先端に当接させて走
行体４上に載置されている。
の押圧部材８は、走行体４の上方に配置され、胴部３の
長手方向において圧電素子6,7よりも外方に突出する平
板部９とこの平板部９の両端部から垂下され、レールＲ
の近くまで延びた鉛直部10,10とからなるコ字板状のカ
バー11と、平板部９の下面中央部に固定された直方体状
の押圧部12とから構成されている。カバー11の両角部の
内側には、ゴム，ウレタン等の軟質材からなる三角柱状
の緩衝部材13,13が固定されている。また、押圧部12の
下面には、走行体４の胴部３の幅寸法よりも若干広い幅
寸法に設定された直線溝12Aが形成されており、この直
線溝12Aの底面中央部には、走行体４の胴部３の上面中
央部の凹所3Aに嵌合する突起12Bが形成されている。そ
して、押圧部材８は、直線溝12Aを走行体４の胴部３に
嵌入させ、さらに突起12Bを凹所3Aに嵌入させるととも
に、各緩衝部材13を圧電素子6,7の先端に当接させて走
行体４上に載置されている。
一方、レールＲの下面には、支持枠14に車軸15を支持さ
れた前後一対の車輪16が設けられている。そして、支持
枠14の中央部と上記カバー11の平板部９との間に、弾性
部材（コイルばね）17が張設され、このコイルばね17に
より、脚部1,2の下面がレールＲの上面に、また車輪16
がレールＲの下面にそれぞれ圧接されている。このコイ
ルばね13は負荷される荷重に応じて適当な弾性係数を有
するものが選ばれる。
れた前後一対の車輪16が設けられている。そして、支持
枠14の中央部と上記カバー11の平板部９との間に、弾性
部材（コイルばね）17が張設され、このコイルばね17に
より、脚部1,2の下面がレールＲの上面に、また車輪16
がレールＲの下面にそれぞれ圧接されている。このコイ
ルばね13は負荷される荷重に応じて適当な弾性係数を有
するものが選ばれる。
このようなリニアモータにおいて、第１の圧電素子６
（第１図において左側）に付与する電圧を、 Va＝Ｅ・sinωｔ とし、第２の圧電素子７には Vb＝Ｅ・sin（ωｔ−π/2） の電圧を付与する。すると、各端部は圧電素子6,7によ
って次のような振動を受ける。第１の脚部１において
は、 X1＝Ａ・sin（ωｔ＋π/2） Y1＝Ｂ・sin（ωｔ＋π） 一方、第２の脚部２においては、 X2＝Ａ・sinωｔ Y2＝Ｂ・sin（ωｔ＋π/2） のように振動する。
（第１図において左側）に付与する電圧を、 Va＝Ｅ・sinωｔ とし、第２の圧電素子７には Vb＝Ｅ・sin（ωｔ−π/2） の電圧を付与する。すると、各端部は圧電素子6,7によ
って次のような振動を受ける。第１の脚部１において
は、 X1＝Ａ・sin（ωｔ＋π/2） Y1＝Ｂ・sin（ωｔ＋π） 一方、第２の脚部２においては、 X2＝Ａ・sinωｔ Y2＝Ｂ・sin（ωｔ＋π/2） のように振動する。
すなわち、脚部1,2の下端は楕円振動をし、第１の脚部
１と第２の脚部２の振動は、位相が90度異なるものであ
るから、レールＲに沿って一定の方向に走行する。な
お、移動の方向を変えるときには、第２の圧電素子７に
付与する電圧を、 Vb＝Ex・sin（ωｔ＋π/2） とすればよい。
１と第２の脚部２の振動は、位相が90度異なるものであ
るから、レールＲに沿って一定の方向に走行する。な
お、移動の方向を変えるときには、第２の圧電素子７に
付与する電圧を、 Vb＝Ex・sin（ωｔ＋π/2） とすればよい。
このような超音波リニアモータにあっては、壁等の外部
の部材に衝突した場合には、カバー11の垂下部10が当
り、圧電素子6,7には直接当たらないので、圧電素子6,7
が破損するのを防止することができる。
の部材に衝突した場合には、カバー11の垂下部10が当
り、圧電素子6,7には直接当たらないので、圧電素子6,7
が破損するのを防止することができる。
さらに、カバー11の内側に緩衝部材13を取り付け、この
緩衝部材13を圧電素子6,7に当接させたので、圧電素子
6,7が緩衝部材13と走行体４の取付面５とで挾持される
ため、走行中に圧電素子6,7が走行体４の取付面５から
離脱してしまうのを防止することができる。
緩衝部材13を圧電素子6,7に当接させたので、圧電素子
6,7が緩衝部材13と走行体４の取付面５とで挾持される
ため、走行中に圧電素子6,7が走行体４の取付面５から
離脱してしまうのを防止することができる。
さらには、緩衝部材13を柔軟材で形成したので、衝突時
に万一カバー11が移動しても、緩衝部材13が変形してこ
の移動分を吸収するため、圧電素子6,7が損傷すること
がない。
に万一カバー11が移動しても、緩衝部材13が変形してこ
の移動分を吸収するため、圧電素子6,7が損傷すること
がない。
加えて、弾性部材17によって走行体４がレールＲの上面
に常に圧接されているから、走行体４に付与する振動の
周波数を高くしても脚部1,2とレール８との相対的面間
距離が大きく変動せず、走行体４を構成する部材が破損
することもない。従って、周波数を適宜選択することが
可能である。
に常に圧接されているから、走行体４に付与する振動の
周波数を高くしても脚部1,2とレール８との相対的面間
距離が大きく変動せず、走行体４を構成する部材が破損
することもない。従って、周波数を適宜選択することが
可能である。
なお、上記実施例においては、弾性部材17を配したこと
によって、例えばレールＲが傾斜し、あるいは垂直にな
っていても使用でき、さらにはレールＲの下面をも走行
させることができる。しかし、通常のようにレールＲの
上面を走行させるには、リニアモータ自体の自重により
脚部1,2がレールＲに付勢されるから、この場合にはリ
ニアモータ自体が付勢手段となり、特別な部材を必要と
しない。
によって、例えばレールＲが傾斜し、あるいは垂直にな
っていても使用でき、さらにはレールＲの下面をも走行
させることができる。しかし、通常のようにレールＲの
上面を走行させるには、リニアモータ自体の自重により
脚部1,2がレールＲに付勢されるから、この場合にはリ
ニアモータ自体が付勢手段となり、特別な部材を必要と
しない。
また、上記実施例では、水平部９と垂下部10とからなる
カバー11を用いたが、これに限られず、カバーは、圧電
素子6,7よりも走行体４の移動方向前方に突出したもの
であれば、壁等の外部の部材に衝突した場合には、カバ
ーが当り、圧電素子6,7には直接当たらないので、圧電
素子6,7が破損するのを防止することができる。このよ
うなカバーとしては、たとえば、水平部９のみからなる
カバー11が考えられる。
カバー11を用いたが、これに限られず、カバーは、圧電
素子6,7よりも走行体４の移動方向前方に突出したもの
であれば、壁等の外部の部材に衝突した場合には、カバ
ーが当り、圧電素子6,7には直接当たらないので、圧電
素子6,7が破損するのを防止することができる。このよ
うなカバーとしては、たとえば、水平部９のみからなる
カバー11が考えられる。
また、上記実施例では、カバー11をコ字板状に形成した
が、これに代えて箱状に形成して走行体４の全体を覆う
ようにしてもよい。この場合には、走行体４、圧電素子
6,7の防塵等を図ることができる。
が、これに代えて箱状に形成して走行体４の全体を覆う
ようにしてもよい。この場合には、走行体４、圧電素子
6,7の防塵等を図ることができる。
第３図はこの考案の他の実施例を示すものである。
この実施例においては、緩衝部材13の代わりに、カバー
11の両角部に合成樹脂等からなるボルト（保持部材）18
がその先端を圧電素子6,7の先端面に当接させて螺合さ
れている。
11の両角部に合成樹脂等からなるボルト（保持部材）18
がその先端を圧電素子6,7の先端面に当接させて螺合さ
れている。
このように構成された超音波リニアモータにあっても、
圧電素子6,7がボルト18と走行体４の取付面５とで挾持
されるため、走行中に圧電素子6,7が走行体４の取付面
５から離脱してしまうのを防止することができる。
圧電素子6,7がボルト18と走行体４の取付面５とで挾持
されるため、走行中に圧電素子6,7が走行体４の取付面
５から離脱してしまうのを防止することができる。
［考案の効果］ 以上詳述したように、この考案は、一対の平行な脚部と
これら脚部を一端で連結する胴部とが弾性体からコ字状
に形成されて走行体が構成され、この走行体の両角部の
外側には脚部及び胴部の双方に振動を付与する圧電素子
が取り付けられてなる超音波リニアモータにおいて、走
行体に、圧電素子よりも走行体の移動方向前方に突出す
るカバーを設けたものであるから、走行中に、壁等の外
部の部材に衝突した場合、カバーにより圧電素子が直接
壁等に当たるのを阻止されるため、圧電素子が破損する
のを防止することができる。
これら脚部を一端で連結する胴部とが弾性体からコ字状
に形成されて走行体が構成され、この走行体の両角部の
外側には脚部及び胴部の双方に振動を付与する圧電素子
が取り付けられてなる超音波リニアモータにおいて、走
行体に、圧電素子よりも走行体の移動方向前方に突出す
るカバーを設けたものであるから、走行中に、壁等の外
部の部材に衝突した場合、カバーにより圧電素子が直接
壁等に当たるのを阻止されるため、圧電素子が破損する
のを防止することができる。
さらに、カバーと圧電素子との間に軟質材からなる緩衝
部材を介在させたものでは、圧電素子が緩衝部材によっ
て保持されるため、走行中に圧電素子が走行体から離脱
してしまうのを防止することができ、しかも緩衝部材を
柔軟材で形成したので、衝突時に万一カバーが移動する
ことがあっても、緩衝部材が変形することにより圧電素
子が損傷するのを防止できる等の効果等が得られる。
部材を介在させたものでは、圧電素子が緩衝部材によっ
て保持されるため、走行中に圧電素子が走行体から離脱
してしまうのを防止することができ、しかも緩衝部材を
柔軟材で形成したので、衝突時に万一カバーが移動する
ことがあっても、緩衝部材が変形することにより圧電素
子が損傷するのを防止できる等の効果等が得られる。
第１図はこの考案の超音波リニアモータの一実施例を示
す正面図、第２図は第１図のII−II線に沿う断面図、第
３図はこの考案の他の実施例を示す正面図、第４図は従
来の超音波リニアモータを示す正面図、第５図は従来の
リニアモータの構造と作動を示す図である。 1,2……脚部、３……胴部、４……走行体、6,7……圧電
素子、９……平板部、10……垂下部、11……カバー、13
……緩衝部材、18……ボルト（保持部材）。
す正面図、第２図は第１図のII−II線に沿う断面図、第
３図はこの考案の他の実施例を示す正面図、第４図は従
来の超音波リニアモータを示す正面図、第５図は従来の
リニアモータの構造と作動を示す図である。 1,2……脚部、３……胴部、４……走行体、6,7……圧電
素子、９……平板部、10……垂下部、11……カバー、13
……緩衝部材、18……ボルト（保持部材）。
Claims (2)
- 【請求項１】一対の平行な脚部とこれら脚部を一端で連
結する胴部とが弾性体からコ字状に形成されて走行体が
構成され、この走行体の両角部の外側には上記脚部及び
上記胴部の双方に振動を付与する圧電素子が取り付けら
れてなる超音波リニアモータにおいて、上記走行体に、
上記圧電素子よりも上記走行体の移動方向前方に突出す
るカバーを設けたことを特徴とする超音波リニアモー
タ。 - 【請求項２】カバーと圧電素子との間に、軟質材からな
る緩衝部材を介在させた請求項（１）に記載の超音波リ
ニアモータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158158U JPH0635677Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 超音波リニアモータ |
| US07/435,321 US5036245A (en) | 1988-12-05 | 1989-11-13 | Ultrasonic linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158158U JPH0635677Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 超音波リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279195U JPH0279195U (ja) | 1990-06-18 |
| JPH0635677Y2 true JPH0635677Y2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=15665537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988158158U Expired - Lifetime JPH0635677Y2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 超音波リニアモータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0635677Y2 (ja) |
Families Citing this family (25)
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|---|---|---|---|---|
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| JPH03155375A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-03 | Canon Inc | リニアモータ装置 |
| DE4315238A1 (de) * | 1993-05-07 | 1994-11-17 | Physik Instr Pi Gmbh & Co | Verstelleinrichtung mit Piezoantrieb |
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| US5629577A (en) | 1994-07-15 | 1997-05-13 | Micro Medical Devices | Miniature linear motion actuator |
| US5444324A (en) * | 1994-07-25 | 1995-08-22 | Western Atlas International, Inc. | Mechanically amplified piezoelectric acoustic transducer |
| DE4445642A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement |
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| JP3184117B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2001-07-09 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 |
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| JP2001178161A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ |
| US6373170B1 (en) | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Edo Electro-Ceramic Products | Piezo-electric motor |
| US6936951B1 (en) | 2000-11-27 | 2005-08-30 | Grq Instruments, Inc. | Smart sonic bearings and method for frictional force reduction and switching |
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| US7170214B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7309943B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-12-18 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7548303B2 (en) | 2004-09-04 | 2009-06-16 | Nikon Corporation | Cooling assembly for a stage |
| US6938905B1 (en) | 2004-11-05 | 2005-09-06 | Haiming Tsai | Hand truck |
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| US7545076B1 (en) | 2005-07-11 | 2009-06-09 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | System and method for tracking drive frequency of piezoelectric motor |
| DE102005053018A1 (de) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Präzisionsminiaturultraschalllinearmotor |
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| JP6049277B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-12-21 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
| JP6869727B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2021-05-12 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE222466C (ja) * | ||||
| US2278966A (en) * | 1938-11-14 | 1942-04-07 | Brush Dev Co | Piezoelectric apparatus |
| US3375707A (en) * | 1965-04-15 | 1968-04-02 | Paul D. Neitz | Transducer driver |
| CA1208269A (en) * | 1982-02-25 | 1986-07-22 | Toshiiku Sashida | Motor device utilizing ultrasonic oscillation |
| JP2525019B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP1988158158U patent/JPH0635677Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-13 US US07/435,321 patent/US5036245A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5036245A (en) | 1991-07-30 |
| JPH0279195U (ja) | 1990-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |