WO2019003873A1

WO2019003873A1 - アクチュエータ

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Publication number: WO2019003873A1
Application number: PCT/JP2018/022169
Authority: WO
Inventors: 北原　裕士; 正武田; 将生土橋
Original assignee: 日本電産サンキョー株式会社
Priority date: 2017-06-30
Filing date: 2018-06-11
Publication date: 2019-01-03
Also published as: DE112018003334T5; JP2019013086A; CN110800200A; US20200161955A1; CN110800200B; US11271465B2; JP6944287B2

Abstract

アクチュエータ１Ａは、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、磁気駆動回路６は、可動体３を第１方向Ｚと交差する第２方向Ｘに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として第２方向Ｘに延在する状態で第１方向Ｚに対向する可動体３と支持体２とを接続する。従って、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制できる。また、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させ、微妙なニュアンスで振動させることができる。更に、粘弾性部材９が厚さ方向に押圧されて大きく変形することを抑制でき、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

Description

アクチュエータ

　本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。

　磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、コイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して軸線方向に振動させるアクチュエータが提案されている。また、この種のアクチュエータにおいて、可動体を適正に駆動するために、支持体と可動体を粘弾性部材で接続することが提案されている。例えば、特許文献１では、可動体が支持体（固定体）に対して軸線方向に移動可能に支持され、支持体と可動体との間にシリコーンゲル（ゲル状ダンパー部材）が挟まれている。シリコーンゲルなどの粘弾性部材を用いることにより、可動体を駆動した際の共振が抑制される。

特開２０１７－６０２０７号公報

　特許文献１のアクチュエータにおいて、磁気駆動回路は、同軸に配置される磁石とコイルを備えている。粘弾性部材は、支持体（固定体）の内周面と、可動体の外周面との間に挟まれており、可動体の中心軸線を囲むように配置されている。

　一方、コイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって振動を発生させるアクチュエータの構造として、扁平なコイルと平板状の磁石を第１方向に対向させ、第１方向と直交する第２方向に可動体を振動させる磁気駆動回路を用いるものが提案されている。そこで、この種のアクチュエータにおいても、粘弾性部材の特性を適正に利用して可動体を適正に駆動することが望ましい。

　以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体と可動体との間に粘弾性部材を適正に配置して可動体を適正に駆動することが可能なアクチュエータを提供することにある。

　上記問題を解決するために、本発明を適用したアクチュエータは、支持体と、前記支持体に移動可能に支持された可動体と、コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動回路と、前記支持体と前記可動体とが前記第１方向で対向する個所に配置された粘弾性部材と、を有し、前記粘弾性部材は、前記第１方向を厚み方向として配置され、前記可動体が前記支持体に対して前記第２方向に移動する際、せん断方向に変形することを特徴とする。

　本発明では、支持体と可動体とが第１方向で対向する個所に粘弾性部材が配置されており、磁気駆動回路は、可動体を第１方向に交差する第２方向に駆動する。また、粘弾性部材は、前記第１方向を厚み方向として配置され、可動体が支持体に対して第２方向に移動する際、粘弾性部材は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、可動体を第１方向に交差する方向に駆動する際、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができる。よって、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

　また、本発明では、粘弾性部材が可動体と支持体との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できるので、可動体と支持体とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　本発明において、前記コイルは、前記第１方向を厚み方向とする扁平コイルであり、前記磁石は、前記第１方向を厚み方向とする平板状の磁石であり、前記粘弾性部材は、前記第１方向と直交する方向に延在する構成を採用することができる。このようにすると、磁気駆動回路および粘弾性部材が第１方向で薄型になるため、駆動方向（第２方向）と直交する方向（第１方向）の寸法を薄型化したアクチュエータを構成することができる。

　本発明において、前記支持体は、前記可動体の前記第１方向の一方側に配置される第１カバー部材と、前記可動体の前記第１方向の他方側に配置される第２カバー部材を備え、前記粘弾性部材は、前記可動体と前記第１カバー部材との間、および、前記可動体と前記第２カバー部材との間に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体が第２方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材を配置することができる。また、可動体の第１方向の両側で均等に可動体を支持することができる。

　本発明において、前記可動体は、前記第１方向から見て重なる複数のヨークと、前記複数のヨークを前記第１方向で位置決めして連結する連結部材を備え、前記支持体は、前記複数のヨークの前記第１方向の一方側に配置される第１カバー部材と、前記複数のヨークの前記第１方向の他方側に配置される第２カバー部材を備え、前記粘弾性部材は、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第１カバー部材との間、および、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第２カバー部材との間に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体が第２方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材を配置することができる。また、複数のヨークを組み立てた組立体の第１方向の両側で均等に組立体を支持することができる。更に、複数のヨークを１部材（連結部材）の寸法公差の範囲内で位置決めすることができ、複数のヨークの部品公差が第１方向に積み上がることを回避することができる。これにより、組立体と第１カバー部材とのギャップ、および、組立体と第２カバー部材とのギャップのばらつきを少なくすることができる。よって、粘弾性部材が可動体の移動に確実に追従するので、可動体の共振を効果的に防止することができる。

　本発明では、前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石を保持するホルダを備え、前記粘弾性部材は、前記ホルダと前記可動体とが前記第１方向で対向する個所に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体とカバーとの間に粘弾性部材を配置するための隙間を確保する必要がない。従って、アクチュエータの薄型化を図ることができる。また、カバーを取り付ける前の状態で粘弾性部材を取り付けることができるため、カバーを取り付ける前の状態でダンパー性能を含めた振動特性を検査することができる。

　本発明において、前記粘弾性部材は、前記第１方向で圧縮された状態で配置されることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材は、可動体の移動に確実に追従するので、可動体の共振を効果的に防止することができる。

　本発明において、前記支持体は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する凸部を備えることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材の第１方向の潰れ量を規制することができる。

　本発明において、前記支持体の前記粘弾性部材が接する部分は、凹部になっている態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材の位置がずれにくい。

　本発明において、前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材である態様を採用することができる。ゲル状ダンパー部材を用いることにより、厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を持たせることができる。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を持たせることができる。一方、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持たせることができる。

　本発明では、支持体と可動体とが第１方向で対向する個所に粘弾性部材が配置されており、磁気駆動回路は、可動体を第１方向に交差する第２方向に駆動する。また、粘弾性部材は、前記第１方向を厚み方向として前記第２方向に延在しており、可動体が支持体に対して第２方向に移動する際、粘弾性部材は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスもって振動を実現することができる。

本発明の実施形態１に係るアクチュエータの斜視図である。実施形態１のアクチュエータのＸＺ断面図である。実施形態１のアクチュエータの分解斜視図である。実施形態１のアクチュエータの磁気駆動回路、ヨーク、およびホルダの分解斜視図である。本発明の実施形態２に係るアクチュエータの斜視図である。実施形態２のアクチュエータのＸＺ断面図である。実施形態２のアクチュエータのカバーを取り外した分解斜視図である。本発明の実施形態３に係るアクチュエータのＸＺ断面図である。実施形態３のアクチュエータの分解斜視図である。実施形態３のアクチュエータの磁気駆動回路、ヨーク、およびホルダの分解斜視図である。本発明の実施形態４に係るアクチュエータの斜視図である。実施形態４のアクチュエータのＸＺ断面図である。実施形態４のアクチュエータの分解斜視図である。実施形態４のアクチュエータの磁気駆動回路、ヨーク、およびホルダの分解斜視図である。本発明の実施形態５に係るアクチュエータの斜視図である。実施形態５のアクチュエータのＸＺ断面図である。実施形態５のアクチュエータの分解斜視図である。実施形態５のアクチュエータの磁気駆動回路、ヨーク、およびホルダの分解斜視図である。実施形態５の磁気駆動回路およびヨークの斜視図である。

　以下、図面を参照して、本発明の実施形態１～５を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

　本発明を適用した実施形態１～５のアクチュエータは、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６と、支持体２と可動体３とを接続する粘弾性部材９を有しており、磁気駆動回路６は、コイル７と磁石８とを有している。実施形態１～５の基本的な構成は同等であるため、対応する部分には同一の符号を付して説明する。本発明では、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘと第３方向Ｙの一方もしくは両方に駆動する態様を採用することができる。また、磁気駆動回路６は、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２の側に設けられ、コイル７が可動体３の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。

　実施形態１～５のアクチュエータは、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータにおける重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘを体感することができる。また、その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。また、実施形態５では、可動体３を第３方向Ｙに駆動することもでき、他の実施形態においても、可動体３を第３方向Ｙに駆動する態様を採用することができる。

　実施形態１～５において、粘弾性部材９は、シリコーンゲル等によって構成されたゲル状ダンパー部材である。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。実施形態１～５において、粘弾性部材９（第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

［実施形態１］
　図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１Ａの斜視図である。図２は、実施形態１のアクチュエータ１ＡのＸＺ断面図である。図３は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの分解斜視図である。図１および図２に示すように、実施形態１のアクチュエータ１Ａは、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

（支持体）
　図１、図２および図３に示すように、実施形態１のアクチュエータ１Ａにおいて、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側に、図２に示す可動体３および磁気駆動回路６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、四角形の平面形状を有しており、第１方向Ｚで重なっている。実施形態１では、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、一方の対角位置にネジ１８を止め、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７をネジ１８によって第１方向Ｚで締結する。その結果、支持体２が形成される。なお、支持体２の他方の対角位置には、アクチュエータ１Ａを各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ１９が止められる。

　第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７の第３方向Ｙの一方側の側面１１３には、第１カバー部材１６の凹部１６０、ホルダ６０の凹部６３５、第２カバー部材１７の凹部１７０が形成されており、ここに配線基板１５が固定される。その際、ホルダ６０の凹部６３５に形成された凸部６３６を配線基板１５の位置決め用の穴１５５に嵌めて、配線基板１５の位置決めを行い、その後、接着剤等によって配線基板１５を固定する。

　図２、図３に示すように、第１カバー部材１６には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向かって開口する四角形の凹部１６５が形成されている。また、凹部１６５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。図３に示すように、第１カバー部材１６において、凹部１６５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれている。第３壁部１６３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１６０が形成されている。第３壁部１６３および第４壁部１６４には、第２方向Ｘに沿って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａ、１６４ａが所定の間隔に形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。

　第２カバー部材１７は、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。図２に示すように、第２カバー部材１７には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向かって開口する四角形の凹部１７５が形成されている。また、凹部１７５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。図３に示すように、第２カバー部材１７において、凹部１７５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置するに第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれている。第３壁部１７３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１７０が形成されている。

　第３壁部１７３には、第２方向Ｘに沿って第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した複数の凸板部１７３ａが所定の間隔に形成されている。なお、図示を省略するが、第４壁部１７４にも同様の凸板部が形成されている。また、第１壁部１７１には、外縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。なお、図示を庄着するが、第２壁部１７２にも同様の凸板部が形成されている。

（磁気駆動回路）
　図４は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの磁気駆動回路６、ヨーク３０、およびホルダ６０の分解斜視図である。図２、図４に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された２つのコイル７１、７２からなる。コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第１方向Ｚを厚み方向とする扁平コイルである。コイル７は、ホルダ６０に保持されている。

（ホルダ）
　図２、図４に示すように、ホルダ６０は、２つのコイル保持穴６６、６７が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６６、６７にコイル７（コイル７１、７２）が配置されている。コイル保持穴６６、６７は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部には、コイル保持穴６６、６７の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に受け部６６１、６７１が形成されている。従って、コイル保持穴６６、６７に第１方向Ｚの他方側Ｚ２からコイル７を装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６６１、６７１によって第１方向Ｚの一方側Ｚ１で支持される。この状態で、コイル７は接着剤等によってホルダ６０に固定される。

　ホルダ６０は、コイル保持穴６６、６７が形成されている部分に対して、第２方向Ｘの一方側Ｘ１、第２方向Ｘの他方側Ｘ２、第３方向Ｙの一方側Ｙ１、および第３方向Ｙの他方側Ｙ２には、第１壁部６１０、第２壁部６２０、第３壁部６３０、および第４壁部６４０を備えている。コイル保持穴６６と第１壁部６１０との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６７と第２壁部６２０との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０を第１方向Ｚで貫通している。

　第１壁部６１０には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。第２壁部６２０には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部（図示省略）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形成されている。第３壁部６３０の外面側には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に複数の凹部６３１が第２方向Ｘに沿って形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に複数の凹部６３２が第２方向Ｘに沿って形成されている。第４壁部６４０の外面側には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に複数の凹部（図示省略）が第２方向Ｘに沿って形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に複数の凹部６４２が第２方向Ｘに沿って形成されている。

　第３壁部６３０の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部６３５が形成されており、凹部６３５の両端部には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した位置決め用の凸部６３６が形成されている。第３壁部６３０には、コイル保持穴６６、６７から第３壁部６３０の外面（凹部６３５の底面）まで延在するガイド溝６３７が４本形成されている。

　第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚで締結して支持体２を構成する際、第１カバー部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３１に嵌り、第１カバー部材１６の凸板部１６４ａがホルダ６０の対応する凹部（図示省略）に嵌り、第１カバー部材１６の凸板部１６１ａ、１６２ａがホルダ６０の凹部６１１、６２１に嵌る。また、第２カバー部材１７の凸板部１７１ａ、１７３ａがホルダ６０の凹部６１２、６３２に嵌り、ホルダ６０の凹部６２２、６４２に第２カバー部材１７の対応する凸板部（図示省略）が嵌る。従って、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、ガイド溝６３７は、ホルダ６０と第２カバー部材１７との間で穴６３８として開口する。

　コイル７を構成する導線７５の巻き始めの端部、および、巻き終りの端部は、ホルダ６０と第２カバー部材１７との間の穴６３８を通してカバー１１の外側に引き出される。配線基板１５には、穴６３８を開放状態とする切り欠き１５０が形成されているので、穴６３８から引き出された導線７５を切り欠き１５０を通して配線基板１５のランド１５１にハンダ付する。その結果、２つのコイル７は、直列に電気的に接続される。なお、２つのコイル７は、並列に電気的に接続してもよい。

（可動体）
　図２、図４に示すように、可動体３は、磁石８と、磁石８を保持するヨーク３０を備えている。ヨーク３０は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有しており、磁石８は、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。なお、第１板部８６０と第２板部８７０の少なくとも一方にのみ磁石８が保持される構成とすることもできる。

　実施形態１では、磁石８として、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８１と、第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８２とが設けられている。この状態で、磁石８１は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、磁石８２は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。磁石８１および磁石８２は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）で分極着磁されており、磁石８１においてコイル７に対向する面と、磁石８２においてコイル７と対向する面は異なる極に着磁されている。本形態では、磁石８１および磁石８２は各々、２つのコイル７（コイル７１、７２）の計４つの長辺７０１の各々に対向する４つの磁石からなる。

　実施形態１において、第１ヨーク８６は、第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、磁石８１に対して第１連結板部８６１とは反対側で第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。

（ストッパ）
　図２に示すように、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１カバー部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１０、および第２カバー部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面（第１被当接部１１８）を構成した状態で対向している。従って、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に第１被当接部１１８と当接して可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を規制するストッパを構成している。

　同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１カバー部材１６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２０、および第２カバー部材１７の第２壁部１７２の内面が、連続した平面（第２被当接部１１９）を構成した状態で対向している。従って、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に第２被当接部１１９と当接して可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制するストッパを構成している。

（粘弾性部材）
　図２に示すように、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所には粘弾性部材９が配置されている。実施形態１では、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間に２つ配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間に２つ配置されている。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、第１方向Ｚを厚み方向として配置され、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに延在する。ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面で支持体２と接着され、可動体３と接する面で可動体３と接着されている。

　図３に示すように、第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７は、凹部１６５の底面１６５ａから一段凹んだ形状であるため、凹部１６５の底面１６５ａは、第１粘弾性部材９１が接続される凹部１６６、１６７の底面より第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置で第１ヨーク８６の第１板部８６０と対向する。このため、凹部１６５の底面１６５ａは、第１板部８６０と第１方向Ｚに衝突して第１粘弾性部材９１の第１方向Ｚの潰れ量を規制する。同様に、第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７は、凹部１７５の底面１７５ａから一段凹んだ形状であり、底面１７５ａは、第２粘弾性部材９２が接続される凹部１７６、１７７の底面より第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置で第２ヨーク８７の第２板部８７０と対向する。従って、凹部１７５の底面１７５ａは、第２板部８７０と第１方向Ｚに衝突して第２粘弾性部材９２の第１方向Ｚの潰れ量を規制する。

（実施形態１の主な効果）
　以上説明したように、実施形態１のアクチュエータ１Ａは、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、磁気駆動回路６は、可動体３を第１方向Ｚに交差する第２方向Ｘに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として可動体３と支持体２との間に配置されており、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９はせん断方向に変形する。従って、可動体３が第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。また、粘弾性部材９のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、実施形態１では、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

　また、粘弾性部材９は、可動体３と支持体２との間で第１方向Ｚに伸縮するように取り付けられ、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体３の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材９が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

　実施形態１では、コイル７として、第１方向Ｚを厚み方向とする扁平コイルを用いており、磁石８は、第１方向Ｚを厚み方向とする平板状の磁石である。従って、磁石８とコイル７は、第１方向Ｚを厚み方向とする扁平な磁気駆動回路６を構成するので、アクチュエータ１Ａは、駆動方向（第２方向Ｘ）と直交する方向（第１方向）に薄型化されている。従って、１軸方向（第２方向）の振動を発生させる小型のアクチュエータ１Ａを構成することができる。なお、実施形態１では、２つのコイル７を１段に配置しているが、コイル７を複数段に配置し、各コイル７を磁石８と対向させることにより、より大きな駆動力を確保することができる。

　具体的には、実施形態１の可動体３は磁石８を保持するヨーク３０を備えており、ヨーク３０は、第２方向Ｘに延在する第１板部８６０を備え、支持体２は、第１板部８６０に第１方向Ｚで対向し第２方向Ｘに延在する第１カバー部材１６を備え、第１粘弾性部材９１は、第１板部８６０と第１カバー部材１６と間に配置されている。また、ヨーク３０は、第２方向Ｘに延在する第２板部８７０を備え、支持体２は、第２板部８７０に第１方向Ｚで対向し第２方向Ｘに延在する第２カバー部材１７を備え、第２粘弾性部材９２は、第２板部８７０と第２カバー部材１７と間に配置されている。これにより、可動体が第２方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材９を配置することができる。

　実施形態１の支持体２は、コイル７（コイル７１、７２）を保持するホルダ６０を備えており、ヨーク３０の第１板部８６０と第２板部８７０は、ホルダ６０の第１方向Ｚの両側に配置されている。また、ヨーク３０は、第１板部８６０の両端に第２板部８７０の側へ折れ曲がって第２板部８７０と溶接される第１連結板部８６１と第２連結板部８６２を備えている。従って、ヨーク３０によって磁気効率を向上させることができ、アクチュエータ１Ａの駆動力を確保することができる。また、ヨーク３０の第１連結板部８６１と第２連結板部８６２は、支持体２と当接して可動体３の第２方向Ｘの移動範囲を規制するストッパを構成する。従って、アクチュエータ１Ａの耐衝撃性を高めることができる。

　なお、支持体２と可動体３との間に粘弾性部材９を配置する構成として、カバー１１と可動体３との間でなく、ホルダ６０と可動体３との間に粘弾性部材９を配置する構成を採用することもできる。例えば、ヨーク３０の第１板部８６０とホルダ６０とが対向する箇所、および、ヨーク３０の第２板部８７０とホルダ６０とが対向する箇所に粘弾性部材９を配置することもできる。この場合には、カバー１１と可動体３との間に粘弾性部材９を配置する隙間を確保する必要がないので、アクチュエータの薄型化に有利である。また、ホルダ６０と可動体３との間に粘弾性部材９を取り付けた場合には、カバー１１を取り付ける前の状態で粘弾性部材９を取り付けることができるため、カバー１１を取り付ける前の状態でダンパー性能を含めた振動特性を検査することができる。

　実施形態１の支持体２は、第１カバー部材１６、ホルダ６０、および第２カバー部材１７の３部材が、第１方向Ｚにネジ軸が延在するネジ１８によって第１方向Ｚで締結されている。このため、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所の間隔がばらつきやすいが、実施形態１では、粘弾性部材９は、支持体２と可動体３との間に第１方向Ｚで圧縮された状態で配置されている。従って、粘弾性部材９が可動体３の移動に確実に追従するので、可動体３の共振を効果的に防止することができる。また、ネジ１８を締めて第１カバー部材１６、ホルダ６０、および第２カバー部材１７を締結する際に粘弾性部材９を第１方向Ｚで圧縮することができる。

　実施形態１の支持体２は、第１粘弾性部材９１が接する部分は、第１カバー部材１６の凹部１６５であり、第２粘弾性部材９２が接する部分は、第２カバー部材１７の凹部１７５である。従って、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２の位置がずれにくく、位置決めも容易である。また、支持体２は、第１カバー部材１６の凹部１６５の底面１６５ａによって第１粘弾性部材９１の第１方向Ｚの潰れ量を規制する。また、第２カバー部材１７の凹部１７５の底面１７５ａによって第２粘弾性部材９２の第１方向Ｚの潰れ量を規制することができる。

［実施形態２］
　図５は、本発明の実施形態２に係るアクチュエータ１Ｂの斜視図である。図６は、実施形態２のアクチュエータ１ＢのＸＺ断面図である。図７は、実施形態２のアクチュエータ１Ｂのカバー１１を取り外した分解斜視図である。図５に示すように、実施形態２のアクチュエータ１Ｂは、磁気駆動回路６によって可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

（支持体）
　図６に示すように、実施形態２のアクチュエータ１Ｂにおいて、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１およびホルダ６０の内側に、可動体３および磁気駆動回路６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。図７に示すように、ホルダ６０は、第１方向Ｚの両側で開口する矩形断面の筒部６０Ａと、筒部６０Ａの内側に配置されるコイル保持部６０Ｂを備える。筒部６０Ａは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に開口する第１開口部６０Ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に開口する第２開口部６０Ｄを備える。筒部６０Ａの第３方向Ｙの一方側Ｙ１の側面には、配線基板１５が取り付けられている。

　第１カバー部材１６はホルダ６０に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から被せられている。第１カバー部材１６は、筒部６０Ａに第１方向Ｚの一方側Ｚ１から当接する第１端板部１６Ａと、第１端板部１６Ａの第２方向Ｘの両側および第３方向Ｙの両側の縁からそれぞれ第１方向Ｚの他方側に立ち上がる４枚の第１側板部１６Ｂを備える。また、第２カバー部材１７はホルダ６０に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から被せられている。第２カバー部材１７は、筒部６０Ａに第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する第２端板部１７Ａと、第２端板部１７Ａの第２方向Ｘの両側および第３方向Ｙの両側の縁からそれぞれ第１方向Ｚの一方側Ｚ１に立ち上がる４枚の第２側板部１７Ｂを備える。第１カバー部材１６と第２カバー部材１７は、４組の第１側板部１６Ｂと第２側板部１７Ｂのそれぞれが、少なくとも一部分が重ね合わされて接合されている。図１に示すように、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の側面を覆う第１側板部１６Ｂと第２側板部１７Ｂには、配線基板１５の取付位置に矩形の開口部が形成されている。

　コイル保持部６０Ｂは、筒部６０Ａの第１方向Ｚの略中央で第３方向Ｙに延在しており、コイル保持部６０Ｂの第３方向Ｙの一端および他端は、筒部６０Ａの内面に接続されている。コイル保持部６０Ｂには、コイル保持穴６６が形成され、コイル保持穴６６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に受け部６６１が形成されている。また、ホルダ６０には、コイル保持部６０Ｂの第２方向Ｘの一方側Ｘ１に第１開口部６０１が形成され、他方側Ｘ２に第２開口部６０２が形成されている。

（磁気駆動回路）
　図６、図７に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。実施形態１と同様に、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第１方向Ｚを厚み方向とする扁平コイルである。コイル７はホルダ６０に保持されている。コイル７は、コイル保持穴６６に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から装着され、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６６１によって第１方向Ｚの一方側Ｚ１で支持される。この状態で、コイル７は、接着剤等によってコイル保持部６０Ｂに固定されている。

（可動体）
　図６、図７に示すように、可動体３は、磁石８と、磁石８を保持するヨーク３０を備えている。ヨーク３０は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有する。磁石８は、第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８１と、第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８２とが設けられ、磁石８１および磁石８２は、コイル７に第１方向Ｚで対向している。なお、磁石８１、８２の一方を省略することもできる。

　第１ヨーク８６と第２ヨーク８７は、第１方向Ｚに対称に形成されている。第１ヨーク８６は、第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在する第１連結板部８６１と、磁石８１に対して第１連結板部８６１とは反対側で第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在する第２連結板部８６２とを備える。同様に、第２ヨーク８７は第３連結板部８７１および第４連結板部８７２を備えており、第３連結板部８７１は、溶接により第１連結板部８６１と連結され、第４連結板部８７２は溶接により第２連結板部８６２と連結されている。第１連結板部８６１および第３連結板部８７１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚに延在し、第２連結板部８６２および第４連結板部８７２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚに延在する。

（粘弾性部材）
　図６に示すように、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所には粘弾性部材９が配置されている。実施形態２において、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の第１端板部１６Ａとの間に１つ配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の第２端板部１７Ａとの間に１つ配置されている。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、実施形態１と同様に、厚み方向を第１方向Ｚとして配置され、第１方向Ｚと直交する方向に延在する。第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の第１端板部１６Ａとの間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の第２端板部１７Ａとの間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。

（実施形態２の主な効果）
　以上説明したように、実施形態２のアクチュエータ１Ｂは、実施形態１と同様に、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、磁気駆動回路６は、可動体３を第１方向Ｚと交差する第２方向Ｘに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として可動体３と支持体２との間に配置されており、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９はせん断方向に変形する。従って、可動体３が第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、実施形態１と同様に、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。また、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材９が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

［実施形態３］
　図８は、本発明の実施形態３に係るアクチュエータ１ＣのＸＺ断面図である。図９は、実施形態３のアクチュエータ１Ｃの分解斜視図である。図１０は、実施形態３のアクチュエータ１Ｃの磁気駆動回路６、ヨーク３０、およびホルダ６０の分解斜視図である。実施形態３のアクチュエータ１Ｃは、磁気駆動回路６によって可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

（支持体）
　図８、図９に示すように、実施形態３のアクチュエータ１Ｃにおいて、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側に、可動体３および磁気駆動回路６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。図９に示すように、ホルダ６０は、矩形の底板部６０Ｅと、底板部６０Ｅの第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第３方向Ｙに延在するコイル保持部６０Ｆと、コイル保持部６０Ｆと底板部６０Ｅとを接続する側板部６０Ｇを備える。側板部６０Ｇは、底板部６０Ｅの第３方向Ｙの両側の端縁の略中央から第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ立ち上がり、コイル保持部６０Ｆの第３方向Ｙの両端に接続されている。底板部６０Ｅには、コイル保持部６０Ｆと第１方向Ｚに見て重なる領域に開口部６０Ｈが形成されている。開口部６０Ｈは底板部６０Ｅを第１方向Ｚに貫通する。図１０に示すように、コイル保持部６０Ｆには、コイル保持穴６６が形成されている。なお、図示を省略しているが、コイル保持穴６６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に受け部を形成することもできる。

　第１カバー部材１６は矩形の板状であり、ホルダ６０の底板部６０Ｅに第１方向Ｚの一方側Ｚ１から当接する。第２カバー部材１７はホルダ６０に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から被せられている。第２カバー部材１７は、矩形の端板部１７Ｃと、端板部１７Ｃの外周縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１へ立ち上がる筒部１７Ｄを備える。筒部１７Ｄの第１方向Ｚの一方側Ｚ１の先端の内側に、ホルダ６０の底板部６０Ｅと第１カバー部材１６が嵌合する。

（磁気駆動回路）
　図９に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。図１０に示すように、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル７は、コイル保持穴６６に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から装着され、接着剤等によってコイル保持部６０Ｆに固定されている。

（可動体）
　図９、図１０に示すように、可動体３は、磁石８と、磁石８を保持するヨーク３０を備えている。ヨーク３０は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有する。磁石８は、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８１と、第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８２とが設けられ、磁石８１および磁石８２は、コイル７に第１方向Ｚで対向している。磁石８とヨーク３０の構造は実施形態２と同様であるため、同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。図８に示すように、実施形態３のヨーク３０の第１連結板部８６１および第３連結板部８７１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１で筒部１７Ｄとコイル保持部６０Ｆとの間を通って第１方向Ｚに延在し、第２連結板部８６２および第４連結板部８７２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２で筒部１７Ｄとコイル保持部６０Ｆとの間を通って第１方向Ｚに延在する。

（粘弾性部材）
　図８に示すように、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所には粘弾性部材９が配置されている。本形態において、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置されている。また、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、ホルダ６０の開口部６０Ｈに通され、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６との間に配置されている。また、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の端板部１７Ｃとの間に配置されている。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、実施形態１、２と同様に、第１方向Ｚを厚み方向として、第１方向Ｚと直交する方向に平板状に延在する。なお、実施形態１、２の第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、第１方向Ｚから見て矩形であったが、実施形態３の第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は第１方向Ｚから見て円形である。また、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の端板部１７Ｃとの間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。

（実施形態３の主な効果）
　以上説明したように、実施形態３のアクチュエータ１Ｃは、実施形態１、２と同様に、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、磁気駆動回路６は、可動体３を第１方向Ｚに交差する第２方向Ｘに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として可動体３と支持体２との間に配置されており、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９はせん断方向に変形する。従って、粘弾性部材９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、実施形態１、２と同様に、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。また、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材９が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

［実施形態４］
　図１１は、本発明の実施形態４に係るアクチュエータ１Ｄの斜視図である。図１２は、実施形態４のアクチュエータ１ＤのＸＺ断面図である。図１３は、実施形態４のアクチュエータ１Ｄの分解斜視図である。実施形態４のアクチュエータ１Ｄは、磁気駆動回路６によって可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

（支持体）
　図１１、図１２に示すように、実施形態４のアクチュエータ１Ｄにおいて、支持体２は、角筒状の筒状ケース４と、筒状ケース４の内側に保持されるカバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側に、可動体３および磁気駆動回路６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。図１３に示すように、筒状ケース４は第１ケース４１０と第２ケース４２０の２部材から構成され、筒状に接合されている。筒状ケース４には板バネ部４３０が形成され、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７には、それぞれ、第１方向Ｚに見て板バネ部４３０と重なる位置に矩形の凹部が形成されている。支持体２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面には、配線基板１５が取り付けられている。筒状ケース４を用いることにより、接着材を用いずにカバー１１を組み立てることができ、ネジ止めも不要である。

　図１２、図１３に示すように、第１カバー部材１６には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向かって開口する凹部１６５が形成されている。第１カバー部材１６において、凹部１６５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれている。

　第２カバー部材１７は、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。第２カバー部材１７には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向かって開口する凹部１７５が形成されている。図１２、図１３に示すように、第２カバー部材１７において、凹部１７５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれている。

（磁気駆動回路）
　図１４は、実施形態４のアクチュエータ１Ｄの磁気駆動回路６、ヨーク３０、およびホルダ６０の分解斜視図である。磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。図１２、図１４に示すように、実施形態４において、コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された２つのコイル７１、７２と、コイル７１、７２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２において第２方向Ｘで並列するように配置された２つのコイル７３、７４からなり、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル７はホルダ６０に保持されている。

（ホルダ）
　図１３、図１４に示すように、ホルダ６０は、第１ホルダ６１と、第１ホルダ６１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する第２ホルダ６２を備える。第２ホルダ６２は、第１ホルダ６１に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。第１ホルダ６１および第２ホルダ６２において、一方の対角位置および他方の対角位置には、貫通孔６０ｃが形成されている。貫通孔６０ｃは、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２とが第１方向Ｚに当接する部位に設けられている。４箇所の貫通孔６０ｃには、それぞれ、位置決めピン６９が挿通される。位置決めピン６９により、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２が第１方向Ｚと直交する方向に位置決めされるとともに、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２が結合される。

　第１ホルダ６１および第２ホルダ６２には、２つのコイル保持穴６６、６７が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６６、６７にコイル７が配置されている。コイル保持穴６６、６７には受け部６６１、６７１が形成されている。コイル保持穴６６、６７にコイル７を装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６６１、６７１によって第１方向Ｚに支持される。この状態で、コイル７は接着剤等によって第１ホルダ６１および第２ホルダ６２に固定される。

　第１ホルダ６１および第２ホルダ６２は、コイル保持穴６６、６７が形成されている部分に対して、第２方向Ｘの一方側Ｘ１、第２方向Ｘの他方側Ｘ２、第３方向Ｙの一方側Ｙ１、および第３方向Ｙの他方側Ｙ２には、第１壁部６１０、第２壁部６２０、第３壁部６３０、および第４壁部６４０を備えている。コイル保持穴６６と第１壁部６１０との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６７と第２壁部６２０との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０を第１方向Ｚで貫通している。

　第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の第１壁部６１０には、端子ピン保持溝６８５が形成されている。端子ピン保持溝６８５は、第１壁部６１０の第３方向Ｙの両端に形成され、それぞれ１本ずつ端子ピン１０を保持している。端子ピン保持溝６８５は、第１壁部６１０の内側と連通しており、第１壁部６１０の内側に配置されたコイル７から引き出された導線（図示省略）は、端子ピン保持溝６８５に引き込まれて端子ピン１０に接続される。ホルダ６０の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の外面には、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の端子ピン保持溝６８５からそれぞれ、端子ピン１０が２本ずつ突出している。これらの４本の端子ピン１０は、配線基板１５に形成された孔に挿入され、配線基板１５の表面に形成されたランドに接続される。

（可動体）
　図１２、図１４に示すように、可動体３は、磁性板からなるヨーク３０と、ヨーク３０に固定される磁石８を備える。ヨーク３０は、第１板部３１１を備える第１ヨーク３１と、第１板部３１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第２板部３２１を備える第２ヨーク３２と、第２板部３２１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第３板部３３１を備える第３ヨーク３３とを有しており、第１板部３１１、第２板部３２１、第３板部３３１は第２方向Ｘに平行に延在する。図１２に示すように、第２板部３２１は、第１ホルダ６１に保持されるコイル７１、７２と第２ホルダ６２に保持されるコイル７３、７４の間に配置される。磁石８は、コイル７１、７２と第１方向Ｚに対向する磁石８１、８２と、コイル７３、７４と第１方向Ｚに対向する磁石８３、８４を備える。磁石８１、８２は第１板部３１１のコイル７と対向する面に固定され、磁石８３、８４は第３板部３３１のコイル７と対向する面に固定されている。

　コイル７は第１方向Ｚを厚さ方向とする扁平コイルである。磁石８１、８２および磁石８３、８４は、それぞれ、コイル７の長辺７０１と第１方向Ｚに対向する２本の長方形の磁石によって構成されている。磁石８は、第１方向Ｚを厚さ方向とし、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに延在する平板状に形成されている。磁石８は、厚さ方向（第１方向Ｚ）で分極着磁されている。

　第１ヨーク３１は、第１板部３１１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部において第１板部３１１から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と溶接等により連結された第１連結板部３１２と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部において第１板部３１１から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して溶接等により第２ヨーク３２と連結された第２連結板部３１３を備える。第１連結板部３１２は、コイル７１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通る際、第１ホルダ６１の第１開口部６０１を通る。また、第２連結板部３１３は、コイル７２に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通る際、第１ホルダ６１の第２開口部６０２を通る。

　第３ヨーク３３は、第１ヨーク３１に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。第３ヨーク３３は、第３板部３３１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端部において第３板部３３１から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と溶接等により連結された第３連結板部３３２と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部において第３板部３３１から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて第２ヨーク３２と重なる位置まで延在して第２ヨーク３２と溶接等により連結された第４連結板部３３３を備える。第３連結板部３３２は、コイル７３に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通る際、第２ホルダ６２の第１開口部６０１を通る。また、第４連結板部３３３は、コイル７４に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２を通る際、第２ホルダ６２の第２開口部６０２を通る。

　ヨーク３０には、可動体３の重量を確保するための第１ウェイト４１および第２ウェイト４２が固定されている。第１ウェイト４１は、ヨーク３０の第１板部３１１と第２板部３２１の間に配置され、第２ウェイト４２は、ヨーク３０の第２板部３２１と第３板部３３１の間に配置されている。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、ヨーク３０の第２方向Ｘの中央に配置され、第１ウェイト４１は、第２方向Ｘに並列する２つのコイル７（コイル７１、７２）と磁石８（磁石８１、８２）の間に配置されている。また、第２ウェイト４２は、第２方向Ｘに並列する２つのコイル７（コイル７３、７４）と磁石８（磁石８３、８４）の間に配置されている。

　第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、リベット４３によってヨーク３０に固定される。図１４に示すように、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、第３方向Ｙの幅が第２方向Ｘよりも長く、リベット４３は、第３方向Ｙに離間した２箇所に配置されている。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２と、ヨーク３０の第１板部３１１、第２板部３２１、および第３板部３３１には、それぞれ、リベット４３を通すための貫通孔が第１方向Ｚから見て重なる位置に形成されている。

　図１２、図１４に示すように、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２には、２つのコイル保持穴６６、６７の間にウェイト配置穴６５が形成されている。第１ウェイト４１は、第１ホルダ６１のウェイト配置穴６５に配置され、第２ウェイト４２は、第２ホルダ６２のウェイト配置穴６５に配置される。ウェイト配置穴６５は、第１ウェイト４１および第２ウェイト４２より一回り大きい。第１ウェイト４１および第２ウェイト４２は、可動体３が第２方向Ｘに大きく移動した際に、ウェイト配置穴６５の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制するストッパを構成している。

　また、第３ヨーク３３の第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、第２ホルダ６２の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と第２方向Ｘに対向する。従って、第３連結板部３３２および第４連結板部３３３は、可動体３が第２方向Ｘに大きく移動した際に、第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面と衝突して可動体３の第２方向Ｘの可動範囲を規制するストッパを構成する。また、第１ヨーク３１の第１連結板部３１２および第２連結板部３１３と、第１ホルダ６１の第１開口部６０１および第２開口部６０２の内周面との間においても、同様のストッパが構成されている。

（粘弾性部材）
　図１２に示すように、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所には粘弾性部材９が配置されている。実施形態４では、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク３１と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第３ヨーク３３と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク３１の第１板部３１１と第１カバー部材１６の凹部１６５の底部との間に２つ配置され、第２粘弾性部材９２は、第３ヨーク３３の第３板部３３１と第２カバー部材１７の凹部１７５の底部との間に２つ配置されている。

　第１カバー部材１６の凹部１６５の第２方向Ｘの中央には、第３方向Ｙに延在するリブ１６８が形成されている。リブ１６８の第３方向Ｙの両端および中央の３箇所には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する第１凸部１６９が形成されている。第１粘弾性部材９１は、リブ１６８の第２方向Ｘの両側の２箇所に配置されている。同様に、第２カバー部材１７の凹部１７５の第２方向Ｘの中央には、第３方向Ｙに延在するリブ１７８が形成され、リブ１７８の第３方向Ｙの両端および中央の３箇所には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する第２凸部１７９が形成されている。第２粘弾性部材９２は、リブ１７８の第２方向Ｘの両側の２箇所に配置されている。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、第１方向Ｚを厚み方向として配置され、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに平板状に延在する。また、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク３１の第１板部３１１と第１カバー部材１６の凹部１６５の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第３ヨーク３３の第３板部３３１と第２カバー部材１７の凹部１７５の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１カバー部材１６に形成された第１凸部１６９、および、第２カバー部材１７に形成された第２凸部１７９は、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２の第１方向Ｚの潰れ量を規制するストッパとして機能する。

（実施形態４の主な効果）
　以上説明したように、実施形態４のアクチュエータ１Ｄは、実施形態１～３と同様に、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、磁気駆動回路６は、可動体３を第１方向Ｚに交差する第２方向Ｘに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として可動体３と支持体２との間に配置されており、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９はせん断方向に変形する。従って、可動体３が第２方向Ｘに移動する際、粘弾性部材９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、実施形態１～３と同様に、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。また、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材９が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

［実施形態５］
　図１５は、本発明の実施形態５に係るアクチュエータ１Ｅの斜視図である。図１６は、実施形態５のアクチュエータ１ＥのＸＺ断面図である。図１７は、実施形態４のアクチュエータ１Ｅの分解斜視図である。実施形態５のアクチュエータ１Ｅは、磁気駆動回路６として、可動体３を第２方向Ｘに振動させる第１磁気駆動回路６Ｘと、可動体３を第３方向Ｙに振動させる第２磁気駆動回路６Ｙを備える。

（支持体）
　図１５、図１６に示すように、実施形態５のアクチュエータ１Ｅにおいて、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側にホルダ６０および可動体３が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。第１カバー部材１６と第２カバー部材１７は、第１方向Ｚから見て矩形であり、４本のネジ１８により固定される。第１カバー部材１６の一方の対角位置および他方の対角位置には、第２カバー部材１７に向けて突出するボス部１２が形成されている。ボス部１２は、第１方向Ｚの途中位置に形成された段面１２ａと、段面１２ａより第１方向ＺのＺ２へ突出する円筒部１２ｂを備える。ネジ１８は、第２カバー部材１７の穴に挿入される円筒部１２ｂにネジ止めされる。

　第２カバー部材１７には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面を第１方向Ｚの他方側Ｚ２へ切り欠いた切り欠き１３が形成されている。第１カバー部材１６は、第２カバー部材１７の切り欠き１３と第１方向Ｚで対向する立ち上がり部１４を備える。立ち上がり部１４は、切り欠き１３との間に配線基板１５を配置するスリットを構成する。配線基板１５には、コイル７への給電線等が接続される。

　図１８は、実施形態５のアクチュエータ１Ｅの磁気駆動回路６、ヨーク３０、およびホルダ６０の分解斜視図である。図１７、図１８に示すように、ホルダ６０の四隅には、円形穴６０９が開口する。ホルダ６０は、円形穴６０９にボス部１２が挿入されて、段面１２ａに載った位置で保持される。ホルダ６０は、第１ホルダ６１と、第１ホルダ６１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する第２ホルダ６２を備える。第２ホルダ６２は、第１ホルダ６１に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。

　第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の４辺の中央には、内周側へ凹む凹部６５０が形成されている。第２方向Ｘで対向する２つの凹部６５０の内側に第１磁気駆動回路６Ｘのコイル７１、７２が保持される。また、第３方向Ｙで対向する２つの凹部６５０の内側に第２磁気駆動回路６Ｙのコイル７３、７４が保持される。コイル７１、７２は、有効辺となる長辺７０１が第３方向Ｙに延在する扁平な空芯コイルであり、コイル７３、７４は、有効辺となる長辺７０１が第２方向Ｘに延在する扁平な空芯コイルである。コイル７１、７２とコイル７３、７４は、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２に形成した長円形のコイル保持穴６６に保持される。また、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の中央には円形穴６５１が形成されている。

（可動体）
　可動体３は、磁性板からなるヨーク３０と、ヨーク３０に固定される磁石８を備える。図１６、図１８に示すように、ヨーク３０は、第１ヨーク３１と、第１ヨーク３１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第２ヨーク３２と、第２ヨーク３２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第３板部３３１を備える第３ヨーク３３を備える。また。ヨーク３０は、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３を第１方向Ｚで位置決めして連結する連結部材３４を備える。連結部材３４は磁性材であり、溶接等により第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３と接合され、ヨーク３０の一部を構成する。

　図１９は、実施形態５の磁気駆動回路６およびヨーク３０の斜視図である。第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３は第１方向Ｚに対して垂直な板状部材であり、第１方向Ｚから見たときに同一形状である。第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３は、第１方向Ｚから見たときに十字形である。第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３は、それぞれ、円形穴３０２が形成された中央部３０１と、中央部３０１から第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に突出する第１腕部３１０および第２腕部３２０と、中央部３０１から第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に突出する第３腕部３３０および第４腕部３４０を備える。

　図１６に示すように、第１ヨーク３１は、第１ホルダ６１と第１カバー部材１６との間に配置されている。また、第２ヨーク３２は、第１ホルダ６１と第２ホルダ６２との間に配置され、第３ヨーク３３は、第２ホルダ６２と第２カバー部材１７との間に配置されている。磁石８は、第１ヨーク３１において第１ホルダ６１に保持されたコイル７と対向する面に固定された磁石８と、第２ヨーク３２の両面（すなわち、第１ホルダ６１に保持されたコイル７と対向する面、および、第２ホルダ６２に保持されたコイル７と対向する面）に固定された磁石８と、第３ヨーク３３において第２ホルダ６２に保持されたコイル７と対向する面に固定された磁石８からなる。すなわち、実施形態５では、第１ホルダ６１に保持されるコイル７の第１方向Ｚの両側、および、第２ホルダ６２に保持されるコイル７の第１方向Ｚの両側にそれぞれ磁石８が配置されている。

　磁石８は、第１磁気駆動回路６Ｘのコイル７１、７２と第１方向Ｚに対向する磁石８１、８２と、第２磁気駆動回路６Ｙのコイル７３、７４と第１方向Ｚに対向する磁石８３、８４からなる。磁石８１は、各ヨークの第１腕部３１０に固定され、磁石８２は、各ヨークの第２腕部３２０に固定され、磁石８３は、各ヨークの第３腕部３３０に固定され、磁石８４は、各ヨークの第４腕部３４０に固定されている。各磁石８は、厚さ方向で分極着磁されている。また、各コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１と他方側Ｚ２で対向する２つの磁石８は、コイル７と対向する面が異なる極に着磁されている。

　図１９に示すように、ヨーク３０は、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３および連結部材３４を組み立てた組立体である。連結部材３４は、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３の第１腕部３１０の先端を連結する第１連結部材３４１と、第２腕部３２０の先端を連結する第２連結部材３４２と、第３腕部３３０の先端を連結する第３連結部材３４３と、第４腕部３４０の先端を連結する第４連結部材３４４を備える。各連結部材３４は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に第１ヨーク３１の端部が略直角に接合され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部に第３ヨーク３３が略直角に接合される。また、第１方向Ｚの中央部には、第２ヨーク３２の端部が略直角に接合されている。

　第１ヨーク３１は、連結部材３４の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端面と同一面上に位置するように位置決めされ、第３ヨーク３３は、連結部材３４の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端面と同一面上に位置するように位置決めされている。従って、ヨーク３０の第１方向Ｚの高さは、連結部材３４の第１方向Ｚの高さと一致する。図１７などに示すように、ヨーク３０を組み立ててホルダ６０に対して組み付けると、連結部材３４は、ホルダ６０の凹部６５０と第２カバー部材１７との隙間に配置される。従って、連結部材３４は、可動体３が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動する際、凹部６５０の内面および第２カバー部材１７の内面と衝突して可動体３の第２方向Ｘおよび第３方向Ｙの可動範囲を規制するストッパを構成する。

　図１６に示すように、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３の中央部３０１には、第１方向Ｚに延在する軸部３５が取り付けられている。軸部３５は、第１ホルダ６１および第２ホルダ６２の中央に形成された円形穴６５１に通されている。軸部３５は、第１ヨーク３１と第２ヨーク３２の間に配置される第１軸部３５１と、第１軸部３５１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に接続され、第２ヨーク３２と第３ヨーク３３の間に配置される第２軸部３５２を備える。第１軸部３５１および第２軸部３５２の端部は、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、第３ヨーク３３の中央部３０１に形成された円形穴３０２に嵌合している。

（粘弾性部材）
　図１６に示すように、実施形態５においても、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所には粘弾性部材９が配置されている。実施形態５では、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク３１と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第３ヨーク３３と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。実施形態５では、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク３１の第１腕部３１０、第２腕部３２０、第３腕部３３０、第４腕部３４０と第１カバー部材１６とが第１方向Ｚに対向する４箇所に１つずつ配置されている。また、第２粘弾性部材９２は、第３ヨーク３３の第１腕部３１０、第２腕部３２０、第３腕部３３０、第４腕部３４０と第２カバー部材１７とが第１方向Ｚに対向する４箇所に１つずつ配置されている。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、第１方向Ｚを厚み方向として配置され、第１方向Ｚと直交する第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに延在する。また、第１方向Ｚから見た第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２の形状は正方形であり、第２方向Ｘの寸法と第３方向Ｙの寸法が同一である。第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク３１と第１カバー部材１６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第３ヨーク３３と第２カバー部材１７との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面、および、可動体３と接する面に接着されている。

（実施形態５の主な効果）
　以上説明したように、実施形態５のアクチュエータ１Ｅは、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に粘弾性部材９が配置されており、第１磁気駆動回路６Ｘは、可動体３を第１方向Ｚに交差する第２方向Ｘに駆動し、第２磁気駆動回路６Ｙは、可動体３を第１方向Ｚに交差する第３方向Ｙに駆動する。また、粘弾性部材９は、第１方向Ｚを厚み方向として可動体３と支持体２の間に配置され、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動する際、粘弾性部材９は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する。従って、実施形態１～４と同様に、可動体３を振動させた際の共振を粘弾性部材９によって抑制することができる。また、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材９が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材９が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…筒状ケース、６…磁気駆動回路、６Ｘ…第１磁気駆動回路、６Ｙ…第２磁気駆動回路、７、７１、７２、７３、７４…コイル、８、８１、８２、８３、８４…磁石、９…粘弾性部材、１０…端子ピン、１１…カバー、１２…ボス部、１２ａ…段面、１２ｂ…円筒部、１３…切り欠き、１４…立ち上がり部、１５…配線基板、１６…第１カバー部材、１６Ａ…第１端板部、１６Ｂ…第１側板部、１７…第２カバー部材、１７Ａ…第２端板部、１７Ｂ…第２側板部、１７Ｃ…端板部、１７Ｄ…筒部、１８、１９…ネジ、３０…ヨーク、３１…第１ヨーク、３２…第２ヨーク、３３…第３ヨーク、３４…連結部材、３５…軸部、４１…第１ウェイト、４２…第２ウェイト、４３…リベット、６０…ホルダ、６０Ａ…筒部、６０Ｂ…コイル保持部、６０Ｃ…第１開口部、６０Ｄ…第２開口部、６０Ｅ…底板部、６０Ｆ…コイル保持部、６０Ｇ…側板部、６０Ｈ…開口部、６０ｃ…貫通孔、６１…第１ホルダ、６２…第２ホルダ、６５…ウェイト配置穴、６６、６７…コイル保持穴、６９…位置決めピン、７５…導線、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１１３…カバーの側面、１１８…第１被当接部、１１９…第２被当接部、１５１…ランド、１５５…位置決め用の穴、１６０…凹部、１６１…第１壁部、１６１ａ…凸板部、１６２…第２壁部、１６２ａ…凸板部、１６３…第３壁部、１６３ａ…凸板部、１６４…第４壁部、１６４ａ…凸板部、１６５…凹部、１６５ａ…凹部の底面、１６６、１６７…凹部、１６８…リブ、１６９…第１凸部、１７０…凹部、１７１…第１壁部、１７１ａ…凸板部、１７２…第２壁部、１７３…第３壁部、１７３ａ…凸板部、１７４…第４壁部。１７５…凹部、１７５ａ…凹部の底面、１７６、１７７…凹部、１７８…リブ、１７９…第２凸部、３０１…中央部、３０２…円形穴、３１０…第１腕部、３１１…第１板部、３１２…第１連結板部、３１３…第２連結板部、３２０…第２腕部、３２１…第２板部、３３０…第３腕部、３３１…第３板部、３３２…第３連結板部、３３３…第４連結板部、３４０…第４腕部、３４１…第１連結部材、３４２…第２連結部材、３４３…第３連結部材、３４４…第４連結部材、３５１…第１軸部、３５２…第２軸部、４１０…第１ケース、４２０…第２ケース、４３０…板バネ部、６０１…第１開口部、６０２…第２開口部、６０９…円形穴、６１０…第１壁部、６１１、６１２…凹部、６２０…第２壁部、６２２…凹部、６３０…第３壁部、６３１、６３２…凹部、６３５…凹部、６３６…凸部、６３７…ガイド溝、６３８…穴、６４０…第４壁部、６４２…凹部、６５０…凹部、６５１…円形穴、６６１、６７１…受け部、６８５…端子ピン保持溝、７０１…長辺、７０２…短辺、８６０…第１板部、８６１…第１連結板部、８６２…第２連結板部、８７０…第２板部、８７１…第１連結板部、８７２…第２連結板部、Ｚ…第１方向、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向

Claims

　支持体と、
　前記支持体に移動可能に支持された可動体と、
　コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動回路と、
　前記支持体と前記可動体とが前記第１方向で対向する個所に配置された粘弾性部材と、を有し、
　前記粘弾性部材は、前記第１方向を厚み方向として配置され、前記可動体が前記支持体に対して前記第２方向に移動する際、せん断方向に変形することを特徴とするアクチュエータ。
　前記コイルは、前記第１方向を厚み方向とする扁平コイルであり、
　前記磁石は、前記第１方向を厚み方向とする平板状の磁石であり、
　前記粘弾性部材は、前記第１方向と直交する方向に延在することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記支持体は、前記可動体の前記第１方向の一方側に配置される第１カバー部材と、前記可動体の前記第１方向の他方側に配置される第２カバー部材を備え、
　前記粘弾性部材は、前記可動体と前記第１カバー部材との間、および、前記可動体と前記第２カバー部材との間に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
　前記可動体は、前記第１方向から見て重なる複数のヨークと、前記複数のヨークを前記第１方向で位置決めして連結する連結部材を備え、
　前記支持体は、前記複数のヨークの前記第１方向の一方側に配置される第１カバー部材と、前記複数のヨークの前記第１方向の他方側に配置される第２カバー部材を備え、
　前記粘弾性部材は、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第１カバー部材との間、および、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第２カバー部材との間に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
　前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石を保持するホルダを備え、
　前記粘弾性部材は、前記ホルダと前記可動体とが前記第１方向で対向する個所に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
　前記粘弾性部材は、前記第１方向で圧縮された状態で配置されることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記支持体は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する凸部を備えることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記支持体の前記粘弾性部材が接する部分は、凹部になっていることを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載のアクチュエータ。