WO2019003873A1 - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- WO2019003873A1 WO2019003873A1 PCT/JP2018/022169 JP2018022169W WO2019003873A1 WO 2019003873 A1 WO2019003873 A1 WO 2019003873A1 JP 2018022169 W JP2018022169 W JP 2018022169W WO 2019003873 A1 WO2019003873 A1 WO 2019003873A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- movable body
- yoke
- visco
- coil
- holder
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/16—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/02—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs
- H02K33/04—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs wherein the frequency of operation is determined by the frequency of uninterrupted AC energisation
- H02K33/06—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs wherein the frequency of operation is determined by the frequency of uninterrupted AC energisation with polarised armatures
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
- H02K1/34—Reciprocating, oscillating or vibrating parts of the magnetic circuit
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/24—Casings; Enclosures; Supports specially adapted for suppression or reduction of noise or vibrations
Definitions
- the present invention relates to an actuator that generates various vibrations.
- an actuator that vibrates a movable body in an axial direction with respect to a support by a magnetic drive circuit including a coil and a magnet has been proposed. Further, in this type of actuator, in order to properly drive the movable body, it has been proposed to connect the support and the movable body with a visco-elastic member.
- a visco-elastic member such as silicone gel, resonance at the time of driving the movable body is suppressed.
- the magnetic drive circuit includes a magnet and a coil arranged coaxially.
- the visco-elastic member is interposed between the inner circumferential surface of the support (fixed body) and the outer circumferential surface of the movable body, and is disposed so as to surround the central axis of the movable body.
- an actuator that generates vibration by a magnetic drive circuit including a coil and a magnet
- a flat coil and a flat magnet are opposed in a first direction, and a movable body is moved in a second direction orthogonal to the first direction. It has been proposed to use a magnetic drive circuit to vibrate. Therefore, also in this type of actuator, it is desirable to properly drive the movable body by properly utilizing the characteristics of the visco-elastic member.
- an object of the present invention to provide an actuator capable of properly driving a movable body by properly arranging a visco-elastic member between a support and the movable body.
- an actuator to which the present invention is applied comprises a support, a movable body movably supported by the support, a coil and a magnet facing the coil in a first direction, A magnetic drive circuit for moving a movable body relative to the support in a second direction intersecting the first direction, and a viscosity disposed at a position where the support and the movable body are opposed in the first direction.
- the visco-elastic member is disposed at a position where the support body and the movable body face in the first direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the second direction intersecting the first direction.
- the visco-elastic member is disposed with the first direction as the thickness direction, and when the movable body moves in the second direction with respect to the support, the visco-elastic member intersects the thickness direction (axial direction) It deforms in the shear direction. Therefore, the resonance when vibrating the movable body can be suppressed by the viscoelastic member.
- the deformation in the shear direction of the visco-elastic member is a deformation in the stretching direction, it has a deformation characteristic in which a linear component (spring coefficient) is larger than a non-linear component (spring coefficient). Therefore, in the visco-elastic member, the spring force in the movement direction becomes constant. Therefore, in the present invention, when driving the movable body in the direction intersecting the first direction, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member. . Therefore, vibration can be realized with subtle nuances.
- a component (spring (spring) is more nonlinear than a linear component (spring coefficient) Has a large expansion and contraction characteristic. Therefore, in the direction orthogonal to the driving direction of the movable body, it is possible to suppress large deformation of the visco-elastic member, and therefore, it is possible to suppress a large change in the gap between the movable body and the support.
- the coil is a flat coil whose thickness direction is the first direction
- the magnet is a flat magnet whose thickness direction is the first direction
- the visco-elastic member is the first member.
- a configuration extending in a direction orthogonal to one direction can be employed. By doing so, the magnetic drive circuit and the visco-elastic member become thin in the first direction, so that an actuator whose dimension in the direction (first direction) orthogonal to the driving direction (second direction) is thinned can be configured. it can.
- the support includes a first cover member disposed on one side of the movable body in the first direction, and a second cover member disposed on the other side of the movable body in the first direction.
- the visco-elastic member may be arranged between the movable body and the first cover member and between the movable body and the second cover member.
- the visco-elastic member can be disposed so as to be deformed in the shear direction.
- the movable body can be evenly supported on both sides in the first direction of the movable body.
- the movable body includes a plurality of overlapping yokes when viewed from the first direction, and a connecting member for positioning and connecting the plurality of yokes in the first direction, and the support includes the plurality of connecting members.
- a second cover member disposed on the other side of the first direction of the plurality of yokes, wherein the visco-elastic member includes the first cover member disposed on one side in the first direction of the yoke; Are arranged between the assembly in which the yokes are connected by the connection member and the first cover member, and between the assembly in which the plurality of yokes are connected by the connection member and the second cover member Can be adopted.
- the visco-elastic member when the movable body vibrates in the second direction, the visco-elastic member can be disposed so as to be deformed in the shear direction.
- the assembly can be equally supported on both sides in the first direction of the assembly in which the plurality of yokes are assembled.
- the plurality of yokes can be positioned within the dimensional tolerance of one member (connection member), and the component tolerances of the plurality of yokes can be prevented from being stacked in the first direction.
- variations in the gap between the assembly and the first cover member and the gap between the assembly and the second cover member can be reduced. Accordingly, since the viscoelastic member reliably follows the movement of the movable body, the resonance of the movable body can be effectively prevented.
- the support includes a holder for holding the coil or the magnet, and the visco-elastic member adopts a configuration in which the holder and the movable body are disposed at locations facing in the first direction. can do. In this case, it is not necessary to secure a gap for arranging the visco-elastic member between the movable body and the cover. Therefore, the actuator can be made thinner. Further, since the visco-elastic member can be attached before the cover is attached, the vibration characteristics including the damper performance can be inspected before the cover is attached.
- the visco-elastic member is disposed in a compressed state in the first direction.
- the visco-elastic member reliably follows the movement of the movable body, so that the resonance of the movable body can be effectively prevented.
- the support includes a convex portion that protrudes toward the movable body from a surface to which the visco-elastic member is connected. In this way, the amount of collapse of the viscoelastic member in the first direction can be regulated.
- the portion of the support in contact with the visco-elastic member is a recess. According to this aspect, the position of the visco-elastic member does not easily shift.
- the viscoelastic member is a gel-like damper member
- a gel-like damper member when it is pressed in the thickness direction (axial direction) to be compressively deformed, it has an expansion and contraction characteristic in which the non-linear component (spring coefficient) is larger than the linear component (spring coefficient).
- the non-linear component spring coefficient
- the visco-elastic member is disposed at a position where the support body and the movable body face in the first direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the second direction intersecting the first direction. Further, the visco-elastic member extends in the second direction with the first direction as a thickness direction, and when the movable body moves in the second direction with respect to the support, the visco-elastic member has a thickness direction It deforms in the direction (shear direction) that intersects the (axial direction). Therefore, the resonance when vibrating the movable body can be suppressed by the viscoelastic member.
- the deformation in the shear direction of the visco-elastic member is a deformation in the stretching direction, it has a deformation characteristic in which a linear component (spring coefficient) is larger than a non-linear component (spring coefficient). Therefore, in the visco-elastic member, the spring force in the movement direction becomes constant. Therefore, in the present invention, by using the spring element in the shear direction of the visco-elastic member, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance.
- FIG. 2 is an XZ cross-sectional view of the actuator of the first embodiment.
- FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator of the first embodiment.
- 5 is an exploded perspective view of a magnetic drive circuit, a yoke, and a holder of the actuator of Embodiment 1.
- FIG. 10 is an XZ cross-sectional view of the actuator of the second embodiment.
- FIG. 10 is an exploded perspective view of the actuator of the second embodiment with the cover removed. It is XZ sectional drawing of the actuator which concerns on Embodiment 3 of this invention.
- FIG. 10 is an exploded perspective view of an actuator of a third embodiment.
- FIG. 14 is an exploded perspective view of a magnetic drive circuit, a yoke, and a holder of the actuator of the third embodiment. It is a perspective view of the actuator concerning Embodiment 4 of the present invention.
- FIG. 14 is an XZ cross-sectional view of the actuator of the fourth embodiment.
- FIG. 16 is an exploded perspective view of an actuator of a fourth embodiment.
- FIG. 16 is an exploded perspective view of a magnetic drive circuit, a yoke, and a holder of the actuator of the fourth embodiment. It is a perspective view of the actuator concerning Embodiment 5 of the present invention.
- FIG. 16 is an XZ cross-sectional view of the actuator of the fifth embodiment.
- FIG. 16 is an exploded perspective view of an actuator of a fifth embodiment.
- FIG. 21 is an exploded perspective view of a magnetic drive circuit, a yoke, and a holder of the actuator of the fifth embodiment.
- FIG. 16 is a perspective view of a magnetic drive circuit and a yoke of Embodiment 5;
- first direction Z three directions intersecting with each other will be described as a first direction Z, a second direction X, and a third direction Y, respectively.
- the first direction Z, the second direction X, and the third direction Y are directions orthogonal to each other.
- X1 is attached to one side in the second direction X
- X2 is attached to the other side in the second direction X
- Y1 is attached to one side in the third direction Y
- Y2 is attached to the other side in the third direction Y
- one side of the first direction Z is attached with Z1 and the other side of the first direction Z is attached with Z2.
- the actuators according to Embodiments 1 to 5 to which the present invention is applied have a magnetic drive circuit 6 for moving the movable body 3 relative to the support 2 and a visco-elastic member 9 for connecting the support 2 and the movable body 3.
- the magnetic drive circuit 6 has a coil 7 and a magnet 8. Since the basic configurations of the first to fifth embodiments are equivalent, the corresponding parts will be described with the same reference numerals.
- the magnetic drive circuit 6 can adopt a mode in which the movable body 3 is driven in one or both of the second direction X and the third direction Y.
- the coil 7 is provided on the support 2 side, the magnet 8 is provided on the movable body 3 side, the magnet 8 is provided on the support 2 side, and the coil 7 is provided.
- the aspect provided in the movable body 3 side is employable. In the following description, the coil 7 is provided on the side of the support 2 and the magnet 8 is mainly provided on the side of the movable body 3.
- the movable body 3 when an alternating current is applied to the coil 7, the movable body 3 vibrates in the second direction X, so the center of gravity of the actuator fluctuates in the second direction X. Therefore, the user can experience the second direction X. Also, at that time, by adjusting the AC waveform applied to the coil 7, the acceleration that the movable body 3 moves to one side X1 in the second direction X and the acceleration that the movable body 3 moves to the other side X2 in the second direction And the user can feel the vibration having the directivity in the second direction X. Further, in the fifth embodiment, the movable body 3 can be driven in the third direction Y, and in the other embodiments, the aspect of driving the movable body 3 in the third direction Y can be adopted.
- the viscoelastic member 9 is a gel-like damper member made of silicone gel or the like.
- the viscoelasticity is a property in which both the viscosity and the elasticity are combined, and is a property which is remarkably observed in high-molecular substances such as gel-like members, plastics and rubbers. Therefore, various gel-like members can be used as the viscoelastic member 9.
- the viscoelastic member 9 natural rubber, diene rubber (for example, styrene butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile butadiene rubber, etc., non-diene rubber (for example, butyl rubber, ethylene)
- diene rubber for example, styrene butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber
- chloroprene rubber acrylonitrile butadiene rubber, etc.
- non-diene rubber for example, butyl rubber, ethylene
- Various rubber materials such as propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc., thermoplastic elastomers and their modified materials may be used.
- the viscoelastic member 9 (the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92) is a silicone gel having a penetration of 10 degrees to 110 degrees.
- the penetration degree is defined in JIS-K-2207 and JIS-K-2220, and the smaller the value, the harder it is.
- the viscoelastic member 9 has linear or non-linear expansion and contraction characteristics depending on the expansion and contraction direction. For example, when the visco-elastic member 9 is pressed in the thickness direction (axial direction) to be compressively deformed, the visco-elastic member 9 has an expansion and contraction characteristic in which a nonlinear component (spring coefficient) is larger than a linear component (spring coefficient).
- FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1A according to Embodiment 1 of the present invention.
- FIG. 2 is an XZ sectional view of the actuator 1A of the first embodiment.
- FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1A of the first embodiment.
- the actuator 1A according to the first embodiment generally has a rectangular parallelepiped shape in which the dimension in the second direction X is larger than the dimension in the third direction Y, and the magnetic drive circuit 6 The movable body 3 is vibrated in the second direction X.
- the support 2 has the cover 11 and the holder 60, and the movable body shown in FIG. 3 and a magnetic drive circuit 6 are arranged.
- the cover 11 has a first cover member 16 positioned on one side Z1 in the first direction Z, and a second cover member 17 overlapping the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the first cover member 16, the holder 60 and the second cover member 17 have a rectangular planar shape and overlap in the first direction Z.
- the screw 18 is fixed at one diagonal position, and the first cover member 16, the holder 60 and The second cover member 17 is fastened in the first direction Z by the screw 18.
- a support 2 is formed.
- a screw 19 for locking the frame of the device is fixed at the other diagonal position of the support 2.
- the recess 160 of the first cover member 16, the recess 635 of the holder 60, and the recess of the second cover member 17 are provided on the side surface 113 on one side of the first cover member 16, the holder 60 and the second cover member 17 in the third direction Y 170 is formed, and the wiring board 15 is fixed here.
- the convex portion 636 formed in the concave portion 635 of the holder 60 is fitted into the positioning hole 155 of the wiring substrate 15 to position the wiring substrate 15, and thereafter, the wiring substrate 15 is fixed by an adhesive or the like.
- the first cover member 16 is formed with a rectangular recess 165 opening toward the other side Z2 in the first direction Z. Further, at the bottom of the concave portion 165, two concave portions 166 and 167 aligned in the second direction X are formed. As shown in FIG. 3, in the first cover member 16, the concave portion 165 is a first wall portion 161 located on one side X1 in the second direction X, and a second wall located on the other side X2 in the second direction X It is surrounded by a portion 162, a third wall 163 located on one side Y1 in the third direction Y, and a fourth wall 164 located on the other side Y2 in the third direction Y.
- a recess 160 extending in the second direction X is formed on the outer surface of the third wall portion 163.
- a plurality of convex plate portions 163a and 164a which are projected to the other side Z2 in the first direction Z along the second direction X are formed at predetermined intervals.
- convex plate portions 161a and 162a protruding from the outer edge to the other side Z2 in the first direction Z are formed at the center in the third direction Y.
- the second cover member 17 is formed substantially symmetrically in the first direction Z with respect to the first cover member 16. As shown in FIG. 2, the second cover member 17 is formed with a rectangular recess 175 opening toward the one side Z1 in the first direction Z. Further, at the bottom of the recess 175, two recesses 176 and 177 aligned in the second direction X are formed. As shown in FIG. 3, in the second cover member 17, the recess 175 is located on the first wall 171 located on one side X 1 in the second direction X and on the other side X 2 in the second direction X.
- the outer surface of the third wall 173 is formed with a recess 170 extending in the second direction X.
- a plurality of convex plate portions 173a protruding in the first direction Z in the first direction Z along the second direction X are formed at predetermined intervals.
- the same convex board part is formed also in the 4th wall part 174.
- a convex plate portion 171a which protrudes from the outer edge to the one side Z1 in the first direction Z is formed at the center in the third direction Y.
- the same convex plate is also formed on the second wall 172.
- FIG. 4 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6, the yoke 30, and the holder 60 of the actuator 1A of the first embodiment.
- the magnetic drive circuit 6 has a coil 7 and a magnet 8 facing the coil 7 in the first direction Z.
- the coil 7 consists of two coils 71 and 72 arranged in parallel in the second direction X.
- the coil 7 is an oblong air core coil in which the long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y, and is a flat coil whose thickness direction is in the first direction Z.
- the coil 7 is held by the holder 60.
- the holder 60 is formed such that two coil holding holes 66 and 67 are arranged in parallel in the second direction X, and the coil 7 (coil 71, coil 71, 72) are arranged.
- the coil holding holes 66 and 67 are through holes, and at both ends in the third direction Y, receiving portions 661 and 671 are formed at the end of the coil holding holes 66 and 67 on one side Z1 in the first direction Z. There is. Therefore, when the coil 7 is attached to the coil holding holes 66 and 67 from the other side Z2 in the first direction Z, the short side 702 (ineffective portion) of the coil 7 is received by the receiving portions 661 and 671 on the one side Z1 in the first direction Z Be supported. In this state, the coil 7 is fixed to the holder 60 by an adhesive or the like.
- the holder 60 has one side X1 in the second direction X, the other side X2 in the second direction X, and one side Y1 in the third direction Y with respect to the portion where the coil holding holes 66 and 67 are formed.
- a first wall 610, a second wall 620, a third wall 630, and a fourth wall 640 are provided on the other side Y2 in the direction Y.
- a first opening 601 is formed between the coil holding hole 66 and the first wall 610
- a second opening 602 is formed between the coil holding hole 67 and the second wall 620.
- the first opening 601 and the second opening 602 penetrate the holder 60 in the first direction Z.
- a recess 611 is formed on one side Z1 in the first direction Z
- a recess 612 is formed on the other side Z2 in the first direction Z.
- a recess (not shown) is formed on one side Z1 in the first direction Z
- a recess 622 is formed on the other side Z2 in the first direction Z.
- a plurality of recesses 631 are formed along the second direction X on one side Z1 in the first direction Z, and a plurality of recesses 632 on the other side Z2 in the first direction Z It is formed along two directions X.
- a plurality of recesses are formed on the one side Z1 in the first direction Z along the second direction X, and a plurality of recesses on the other side Z2 in the first direction Z 642 are formed along the second direction X.
- Recesses 635 extending in the second direction X are formed on the outer surface of the third wall portion 630, and both ends of the recesses 635 are positioned for projecting on one side Y 1 in the third direction Y.
- the convex portion 636 is formed.
- four guide grooves 637 extending from the coil holding holes 66 and 67 to the outer surface of the third wall portion 630 (the bottom surface of the recess 635) are formed.
- the convex plate portion 163a of the first cover member 16 is fitted in the recess 631 of the holder 60,
- the convex plate portion 164 a of the first cover member 16 is fitted in the corresponding concave portion (not shown) of the holder 60, and the convex plate portions 161 a and 162 a of the first cover member 16 are fitted in the concave portions 611 and 621 of the holder 60.
- the convex plate portions 171a and 173a of the second cover member 17 fit into the concave portions 612 and 632 of the holder 60, and the corresponding convex plate portions (not shown) of the second cover member 17 fit into the concave portions 622 and 642 of the holder 60. . Therefore, the first cover member 16, the holder 60 and the second cover member 17 are connected in a state where they are positioned with each other. Also, the guide groove 637 opens as a hole 638 between the holder 60 and the second cover member 17.
- the winding start end and the winding end of the wire 75 constituting the coil 7 are drawn out of the cover 11 through the hole 638 between the holder 60 and the second cover member 17. Since the wiring board 15 is formed with a notch 150 for opening the hole 638, the lead 75 drawn from the hole 638 is soldered to the land 151 of the wiring board 15 through the notch 150. As a result, the two coils 7 are electrically connected in series. The two coils 7 may be electrically connected in parallel.
- the movable body 3 includes a magnet 8 and a yoke 30 for holding the magnet 8.
- the yoke 30 opposes the first yoke 86 provided with the first plate portion 860 facing the coil 7 on the one side Z1 in the first direction Z, and faces the coil 7 on the other side Z2 in the first direction Z
- the magnet 8 has a surface facing the coil 7 of the first plate portion 860 of the first yoke 86, and a second plate of the second yoke 87. It is held by the surface of the portion 870 facing the coil 7 and faces the coil 7 in the first direction Z.
- the magnet 8 may be held by only at least one of the first plate portion 860 and the second plate portion 870.
- the magnet 81 is a magnet 81 fixed to the surface of the first plate 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 by a method such as adhesion, and the second plate 870 of the second yoke 87.
- a magnet 82 fixed to the surface facing the coil 7 by a method such as adhesion is provided.
- the magnet 81 faces the long side 701 of the coil 7 on one side Z1 in the first direction Z
- the magnet 82 faces the long side 701 of the coil 7 on the other side Z2 of the first direction Z There is.
- Magnet 81 and magnet 82 are respectively polarized and magnetized in the thickness direction (first direction Z), and the surface of magnet 81 facing coil 7 and the surface of magnet 82 facing coil 7 are attached to different poles. It is magnetized.
- each of the magnet 81 and the magnet 82 includes four magnets facing each of a total of four long sides 701 of the two coils 7 (coils 71 and 72).
- the first yoke 86 extends from the first plate portion 860 toward the other side Z2 in the first direction Z to a position overlapping the second yoke 87 and is connected to the second yoke 87.
- the connection plate portion 861 extends from the first plate portion 860 toward the other side Z2 in the first direction Z on the opposite side to the first connection plate portion 861 with respect to the magnet 81 to a position overlapping the second yoke 87
- a second connecting plate part 862 connected to the second yoke 87.
- the first connecting plate 861 and the second connecting plate 862 are connected to the end of the second yoke 87 by welding.
- the first connecting plate portion 861 extends toward the other side Z2 of the first direction Z through the first opening 601 of the holder 60 on one side X1 of the coil 7 in the second direction X,
- the connecting plate portion 862 extends to the other side Z2 of the first direction Z through the second opening 602 of the holder 60 on the other side Z2 of the coil 7 in the second direction X.
- the first connection plate portion 861 abuts on the first abutted portion 118 and the one side X1 in the second direction X of the movable body 3
- the stopper which controls the movable range to is comprised.
- the second wall portion 162 of the first cover member 16, the second wall portion 620 of the holder 60, and the second cover member 17 The inner surface of the second wall portion 172 is opposed in a state in which a continuous flat surface (second abutted portion 119) is formed. Therefore, when the movable body 3 moves to the other side X2 in the second direction X, the second connection plate portion 862 abuts on the second abutted portion 119 and the other side X2 in the second direction X of the movable body 3
- the stopper which controls the movable range to is comprised.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the first visco-elastic member 91 is disposed at a position where the first yoke 86 of the movable body 3 and the first cover member 16 of the support 2 face in the first direction Z.
- a second visco-elastic member 92 is disposed at a position where the second yoke 87 of the movable body 3 and the second cover member 17 of the support 2 face in the first direction Z.
- first visco-elastic members 91 are disposed between the first plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottoms of the recessed portions 166 and 167 of the first cover member 16,
- Two members 92 are disposed between the second plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottoms of the recesses 176 and 177 of the second cover member 17.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are disposed with the first direction Z as a thickness direction, and extend in the second direction X and the third direction Y.
- the first viscoelastic member 91 is disposed in a state of being compressed in the first direction Z between the first plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottom portions of the concave portions 166 and 167 of the first cover member 16.
- the second viscoelastic member 92 is disposed in a compressed state in the first direction Z between the second plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottoms of the concave portions 176 and 177 of the second cover member 17.
- the first visco-elastic member 91 and the second visco-elastic member 92 are bonded to the support 2 at a surface in contact with the support 2 and to the movable body 3 at a surface in contact with the movable body 3.
- the first viscoelastic member 91 is connected to the bottom surface 165 a of the concave portion 165. It faces the first plate portion 860 of the first yoke 86 at a position where it protrudes from the bottom surface of the concave portion 166, 167 to the other side Z2 in the first direction Z. For this reason, the bottom surface 165a of the recess 165 collides with the first plate portion 860 in the first direction Z, and regulates the amount of collapse of the first viscoelastic member 91 in the first direction Z.
- the recesses 176 and 177 of the second cover member 17 have a shape which is recessed one step from the bottom surface 175 a of the recess 175, and the bottom surface 175 a is the first from the bottom surface of the recesses 176 and 177 to which the second viscoelastic member 92 is connected. It faces the second plate portion 870 of the second yoke 87 at a position projecting on one side Z1 in the one direction Z. Therefore, the bottom surface 175 a of the recess 175 collides with the second plate portion 870 in the first direction Z, and regulates the amount of collapse of the second viscoelastic member 92 in the first direction Z.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z, and the magnetic drive circuit 6 is a movable body 3 is driven in a second direction X intersecting the first direction Z. Further, the viscoelastic member 9 is disposed between the movable body 3 and the support 2 with the first direction Z as the thickness direction, and when the movable body 3 moves in the second direction X with respect to the support 2 The visco-elastic member 9 is deformed in the shear direction.
- the visco-elastic member 9 deforms in the direction (shearing direction) intersecting the thickness direction (axial direction). Therefore, the viscoelastic member 9 can suppress resonance when the movable body 3 is vibrated. Further, the deformation in the shear direction of the visco-elastic member 9 is a deformation in a direction in which the visco-elastic member 9 is stretched and thus has deformation characteristics in which a linear component (spring coefficient) is larger than a nonlinear component (spring coefficient). Accordingly, in the visco-elastic member 9, the spring force in the movement direction is constant. Therefore, in the first embodiment, by using the spring element in the shear direction of the visco-elastic member 9, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance. .
- the visco-elastic member 9 is attached so as to expand and contract in the first direction Z between the movable body 3 and the support 2, and the visco-elastic member 9 is in a thickness direction between the movable body 3 and the support 2
- the visco-elastic member 9 When it is pressed in the axial direction and compressed and deformed, it has an expansion and contraction characteristic in which a non-linear component (spring coefficient) is larger than a linear component (spring coefficient). Therefore, in the direction orthogonal to the driving direction of the movable body 3, large deformation of the visco-elastic member 9 can be suppressed, and therefore, a large change in the gap between the movable body 3 and the support 2 can be suppressed.
- a flat coil whose thickness direction is the first direction Z is used as the coil 7, and the magnet 8 is a flat magnet having the thickness direction in the first direction Z. Therefore, since the magnet 8 and the coil 7 constitute a flat magnetic drive circuit 6 whose thickness direction is the first direction Z, the actuator 1A is in the direction (first direction) orthogonal to the drive direction (second direction X) It has been made thinner. Therefore, a small-sized actuator 1A can be configured to generate vibration in one axial direction (second direction).
- two coils 7 are arranged in one stage, but by arranging the coils 7 in a plurality of stages and making each coil 7 face the magnet 8, a larger driving force is secured. Can.
- the movable body 3 of Embodiment 1 is provided with the yoke 30 for holding the magnet 8
- the yoke 30 is provided with the first plate portion 860 extending in the second direction X
- the support 2 is A first cover member 16 facing the first plate portion 860 in the first direction Z and extending in the second direction X is provided
- the first viscoelastic member 91 is provided between the first plate portion 860 and the first cover member 16 Is located in
- the yoke 30 includes a second plate portion 870 extending in the second direction X
- the support 2 faces the second plate portion 870 in the first direction Z and extends in the second direction X.
- a cover member 17 is provided, and the second viscoelastic member 92 is disposed between the second plate portion 870 and the second cover member 17. Thereby, when the movable body vibrates in the second direction, the visco-elastic member 9 can be disposed so as to be deformed in the shear direction.
- the support 2 of the first embodiment includes the holder 60 for holding the coil 7 (coils 71 and 72), and the first plate portion 860 and the second plate portion 870 of the yoke 30 are in the first direction Z of the holder 60. Are placed on both sides of the In addition, the yoke 30 is provided with a first connecting plate 861 and a second connecting plate 862 that are bent toward the second plate 870 and welded to the second plate 870 at both ends of the first plate 860. . Therefore, the magnetic efficiency can be improved by the yoke 30, and the driving force of the actuator 1A can be secured.
- first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 of the yoke 30 constitute a stopper that abuts on the support 2 to restrict the moving range of the movable body 3 in the second direction X. Therefore, the impact resistance of the actuator 1A can be enhanced.
- the visco-elastic member 9 is not provided between the cover 11 and the movable body 3 but between the holder 60 and the movable body 3.
- An arrangement configuration can also be adopted.
- the visco-elastic member 9 can also be disposed in a portion where the first plate portion 860 of the yoke 30 faces the holder 60 and a portion where the second plate portion 870 of the yoke 30 faces the holder 60. In this case, since it is not necessary to secure a gap for arranging the visco-elastic member 9 between the cover 11 and the movable body 3, it is advantageous for thinning the actuator.
- the visco-elastic member 9 when the visco-elastic member 9 is attached between the holder 60 and the movable body 3, the visco-elastic member 9 can be attached before the cover 11 is attached, so the attachment 11 is attached before the cover 11 is attached. Vibration characteristics including damper performance can be inspected.
- the three members of the first cover member 16, the holder 60, and the second cover member 17 are fastened in the first direction Z by the screw 18 whose screw shaft extends in the first direction Z. ing. Therefore, the distance between the portion where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z tends to vary, but in the first embodiment, the visco-elastic member 9 is formed between the support 2 and the movable body 3. It is arranged in a state of being compressed in one direction Z. Therefore, since the viscoelastic member 9 reliably follows the movement of the movable body 3, the resonance of the movable body 3 can be effectively prevented. Further, when the screw 18 is tightened to fasten the first cover member 16, the holder 60 and the second cover member 17, the visco-elastic member 9 can be compressed in the first direction Z.
- the portion in contact with the first viscoelastic member 91 is the recess 165 of the first cover member 16, and the portion in contact with the second viscoelastic member 92 is the recess 175 of the second cover member 17. It is. Therefore, the positions of the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 do not easily shift, and the positioning is easy. Further, the support 2 regulates the amount of collapse of the first viscoelastic member 91 in the first direction Z by the bottom surface 165 a of the concave portion 165 of the first cover member 16. Further, the amount of collapse of the second viscoelastic member 92 in the first direction Z can be regulated by the bottom surface 175 a of the recess 175 of the second cover member 17.
- FIG. 5 is a perspective view of an actuator 1B according to Embodiment 2 of the present invention.
- FIG. 6 is an XZ sectional view of the actuator 1B of the second embodiment.
- FIG. 7 is an exploded perspective view of the actuator 1B of the second embodiment with the cover 11 removed.
- the actuator 1 ⁇ / b> B of the second embodiment vibrates the movable body 3 in the second direction X by the magnetic drive circuit 6.
- the support 2 has the cover 11 and the holder 60, and the movable body 3 and the magnetic drive circuit 6 are provided inside the cover 11 and the holder 60. It is arranged.
- the cover 11 has a first cover member 16 positioned on one side Z1 in the first direction Z, and a second cover member 17 overlapping the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the holder 60 includes a cylindrical portion 60A of a rectangular cross section opened on both sides in the first direction Z, and a coil holding portion 60B disposed inside the cylindrical portion 60A.
- the cylindrical portion 60A includes a first opening 60C opening on one side Z1 in the first direction Z and a second opening 60D opening on the other side Z2 in the first direction Z.
- the wiring substrate 15 is attached to the side surface of the one side Y1 in the third direction Y of the cylindrical portion 60A.
- the first cover member 16 is placed on the holder 60 from the one side Z1 in the first direction Z.
- the first cover member 16 has a first end plate portion 16A that contacts the cylindrical portion 60A from one side Z1 in the first direction Z, both sides of the first end plate portion 16A in the second direction X, and both sides in the third direction Y
- the four first side plate portions 16B are provided so as to rise to the other side of the first direction Z from the edge of each of the two.
- the second cover member 17 is placed on the holder 60 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the second cover member 17 includes a second end plate portion 17A that contacts the cylindrical portion 60A from the other side Z2 in the first direction Z, both sides of the second end plate portion 17A in the second direction X, and both sides in the third direction Y
- the four second side plate portions 17B stand on one side Z1 of the first direction Z from the edge of the second side plate portion 17B.
- at least a part of each of the four sets of the first side plate portion 16B and the second side plate portion 17B are overlapped and joined.
- rectangular opening portions are formed at the mounting positions of the wiring board 15.
- the coil holding portion 60B extends in the third direction Y substantially at the center in the first direction Z of the cylindrical portion 60A, and one end and the other end of the coil holding portion 60B in the third direction Y are inner surfaces of the cylindrical portion 60A. It is connected to the.
- a coil holding hole 66 is formed in the coil holding portion 60B, and a receiving portion 661 is formed at an end of the coil holding hole 66 on one side Z1 in the first direction Z.
- a first opening 601 is formed on one side X1 in the second direction X of the coil holding portion 60B, and a second opening 602 is formed on the other side X2.
- the magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 facing the coil 7 in the first direction Z.
- the coil 7 is an oblong air-core coil whose long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y, and is a flat coil having the first direction Z as a thickness direction. .
- the coil 7 is held by a holder 60.
- the coil 7 is attached to the coil holding hole 66 from the other side Z2 in the first direction Z, and the short side 702 (ineffective portion) of the coil 7 is supported by the receiving portion 661 on the one side Z1 in the first direction Z. In this state, the coil 7 is fixed to the coil holding portion 60B by an adhesive or the like.
- the movable body 3 includes a magnet 8 and a yoke 30 for holding the magnet 8.
- the yoke 30 opposes the first yoke 86 provided with the first plate portion 860 facing the coil 7 on the one side Z1 in the first direction Z, and faces the coil 7 on the other side Z2 in the first direction Z
- a second yoke 87 provided with a second plate portion 870.
- the magnet 8 is fixed to the surface of the first plate 860 facing the coil 7 by a method such as adhesion
- the magnet 8 is fixed to the surface facing the coil 7 of the second plate 870 by a method such as adhesion.
- a magnet 82 is provided, and the magnet 81 and the magnet 82 face the coil 7 in the first direction Z.
- one of the magnets 81 and 82 can also be omitted.
- the first yoke 86 and the second yoke 87 are formed symmetrically in the first direction Z.
- the first yoke 86 extends from the first plate portion 860 toward the other side Z2 in the first direction Z to a position where the first connection plate portion 861 overlaps the second yoke 87 and a first connection to the magnet 81
- a second connecting plate portion 862 extending from the first plate portion 860 to the other side Z2 in the first direction Z on the opposite side to the plate portion 861 to a position overlapping the second yoke 87.
- the second yoke 87 includes a third connection plate 871 and a fourth connection plate 872, the third connection plate 871 is connected to the first connection plate 861 by welding, and the fourth connection plate The part 872 is connected to the second connection plate part 862 by welding.
- the first connecting plate 861 and the third connecting plate 871 extend in the first direction Z through the first opening 601 of the holder 60 on the one side X1 in the second direction X with respect to the coil 7, and
- the second connecting plate portion 862 and the fourth connecting plate portion 872 extend in the first direction Z through the second opening 602 of the holder 60 on the other side Z2 in the second direction X with respect to the coil 7.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the first visco-elastic member 91 is disposed at a position where the first yoke 86 of the movable body 3 and the first cover member 16 of the support 2 face in the first direction Z.
- a second visco-elastic member 92 is disposed at a position where the second yoke 87 of the movable body 3 and the second cover member 17 of the support 2 face in the first direction Z.
- first viscoelastic member 91 is disposed between the first plate portion 860 of the first yoke 86 and the first end plate portion 16A of the first cover member 16, and the second viscoelastic member 91 is a second viscoelastic member.
- One member 92 is disposed between the second plate portion 870 of the second yoke 87 and the second end plate portion 17 A of the second cover member 17.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are disposed with the thickness direction as the first direction Z, and extend in the direction orthogonal to the first direction Z.
- the first viscoelastic member 91 is disposed between the first plate portion 860 of the first yoke 86 and the first end plate portion 16A of the first cover member 16 in a compressed state in the first direction Z.
- the viscoelastic member 92 is disposed between the second plate portion 870 of the second yoke 87 and the second end plate portion 17A of the second cover member 17 in a compressed state in the first direction Z.
- the visco-elastic member 9 is disposed at the position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z, and The drive circuit 6 drives the movable body 3 in a second direction X intersecting the first direction Z. Further, the viscoelastic member 9 is disposed between the movable body 3 and the support 2 with the first direction Z as the thickness direction, and when the movable body 3 moves in the second direction X with respect to the support 2 The visco-elastic member 9 is deformed in the shear direction.
- the visco-elastic member 9 deforms in the direction (shearing direction) intersecting the thickness direction (axial direction). Therefore, as in the first embodiment, the viscoelastic member 9 can suppress the resonance when the movable body 3 is vibrated. Further, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance.
- the visco-elastic member 9 when the visco-elastic member 9 is pressed between the movable body 3 and the support 2 in the thickness direction (axial direction) to be compressed and deformed, it is possible to suppress large deformation of the visco-elastic member 9, so that the movable member is movable A large change in the gap between the body 3 and the support 2 can be suppressed.
- FIG. 8 is an XZ sectional view of an actuator 1C according to a third embodiment of the present invention.
- FIG. 9 is an exploded perspective view of the actuator 1C of the third embodiment.
- FIG. 10 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6, the yoke 30, and the holder 60 of the actuator 1C according to the third embodiment.
- the actuator 1 ⁇ / b> C of the third embodiment vibrates the movable body 3 in the second direction X by the magnetic drive circuit 6.
- the support 2 has the cover 11 and the holder 60, and the movable body 3 and the magnetic drive circuit 6 are provided inside the cover 11. It is arranged.
- the cover 11 has a first cover member 16 positioned on one side Z1 in the first direction Z, and a second cover member 17 overlapping the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the holder 60 includes a rectangular bottom plate 60E, a coil holding portion 60F extending in the third direction Y on the other side Z2 in the first direction Z of the bottom plate 60E, and a coil holding portion 60F.
- a side plate portion 60G is provided to connect the bottom plate portion 60E.
- the side plate portion 60G rises from the approximate center of the edge on both sides in the third direction Y of the bottom plate portion 60E to the other side Z2 in the first direction Z, and is connected to both ends of the coil holding portion 60F in the third direction Y.
- an opening 60H is formed in a region overlapping with the coil holding portion 60F in the first direction Z.
- the opening 60H penetrates the bottom plate 60E in the first direction Z.
- a coil holding hole 66 is formed in the coil holding portion 60F.
- the receiving portion can also be formed at the end of the coil holding hole 66 on the one side Z1 in the first direction Z.
- the first cover member 16 has a rectangular plate shape, and abuts on the bottom plate portion 60E of the holder 60 from the one side Z1 in the first direction Z.
- the second cover member 17 is placed on the holder 60 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the second cover member 17 includes a rectangular end plate portion 17C and a cylindrical portion 17D rising from the outer peripheral edge of the end plate portion 17C to the one side Z1 in the first direction Z.
- the bottom plate portion 60E of the holder 60 and the first cover member 16 are fitted inside the tip of the one side Z1 in the first direction Z of the cylindrical portion 17D.
- the magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 facing the coil 7 in the first direction Z.
- the coil 7 is an oval cored air core coil whose long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y.
- the coil 7 is attached to the coil holding hole 66 from the other side Z2 in the first direction Z, and is fixed to the coil holding portion 60F by an adhesive or the like.
- the movable body 3 includes a magnet 8 and a yoke 30 for holding the magnet 8.
- the yoke 30 opposes the first yoke 86 provided with the first plate portion 860 facing the coil 7 on the one side Z1 in the first direction Z, and faces the coil 7 on the other side Z2 in the first direction Z
- a second yoke 87 provided with a second plate portion 870.
- the magnet 8 is opposed to the magnet 81 fixed to the surface of the first plate portion 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 by a method such as adhesion, and the coil 7 of the second plate portion 870 of the second yoke 87.
- a magnet 82 fixed to the surface by bonding or the like is provided, and the magnet 81 and the magnet 82 face the coil 7 in the first direction Z.
- the structure of the magnet 8 and the yoke 30 is the same as that of the second embodiment, so the same reference numerals are given to the same parts and the description will be omitted.
- the first connecting plate portion 861 and the third connecting plate portion 871 of the yoke 30 of the third embodiment have a cylindrical portion 17D and a coil holding portion on one side X1 of the coil 7 in the second direction X.
- the second connecting plate portion 862 and the fourth connecting plate portion 872 extend in the first direction Z between them and 60F, and the cylindrical portion 17D and the coil on the other side Z2 of the second direction X with respect to the coil 7 It extends in the first direction Z by passing between the holder 60F and the holder 60F.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the first visco-elastic member 91 is disposed at a position where the first yoke 86 of the movable body 3 and the first cover member 16 of the support 2 face in the first direction Z.
- a second viscoelastic member 92 is disposed at a position where the second yoke 87 of the movable body 3 and the second cover member 17 of the support 2 face in the first direction Z.
- first viscoelastic member 91 is passed through the opening 60 H of the holder 60 and disposed between the first plate 860 of the first yoke 86 and the first cover member 16.
- the second viscoelastic member 92 is disposed between the second plate portion 870 of the second yoke 87 and the end plate portion 17 C of the second cover member 17.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 extend in a plate shape in the direction orthogonal to the first direction Z, with the first direction Z as the thickness direction.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 of Embodiments 1 and 2 are rectangular when viewed from the first direction Z, the first viscoelastic member 91 and the second viscosity of Embodiment 3 are not limited.
- the elastic member 92 is circular as viewed in the first direction Z.
- first viscoelastic member 91 is disposed in a state of being compressed in the first direction Z between the first plate portion 860 of the first yoke 86 and the first cover member 16, and the second viscoelastic member 92 is The second plate portion 870 of the second yoke 87 and the end plate portion 17C of the second cover member 17 are disposed so as to be compressed in the first direction Z.
- the visco-elastic member 9 is disposed at the position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the magnetic drive circuit 6 drives the movable body 3 in a second direction X intersecting the first direction Z.
- the viscoelastic member 9 is disposed between the movable body 3 and the support 2 with the first direction Z as the thickness direction, and when the movable body 3 moves in the second direction X with respect to the support 2 The visco-elastic member 9 is deformed in the shear direction.
- the visco-elastic member 9 deforms in a direction (shearing direction) intersecting with the thickness direction (axial direction). Therefore, as in the first and second embodiments, the resonance when vibrating the movable body 3 can be suppressed by the viscoelastic member 9. Further, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance.
- the visco-elastic member 9 when the visco-elastic member 9 is pressed between the movable body 3 and the support 2 in the thickness direction (axial direction) to be compressed and deformed, it is possible to suppress large deformation of the visco-elastic member 9, so that the movable member is movable A large change in the gap between the body 3 and the support 2 can be suppressed.
- FIG. 11 is a perspective view of an actuator 1D according to Embodiment 4 of the present invention.
- FIG. 12 is an XZ sectional view of the actuator 1D of the fourth embodiment.
- FIG. 13 is an exploded perspective view of an actuator 1D of the fourth embodiment.
- the actuator 1D of the fourth embodiment vibrates the movable body 3 in the second direction X by the magnetic drive circuit 6.
- the support 2 includes a rectangular cylindrical case 4, a cover 11 held inside the cylindrical case 4, and a holder 60.
- the movable body 3 and the magnetic drive circuit 6 are disposed inside the cover 11.
- the cover 11 has a first cover member 16 positioned on one side Z1 in the first direction Z, and a second cover member 17 overlapping the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the cylindrical case 4 is composed of two members, a first case 410 and a second case 420, and is joined in a cylindrical shape.
- a flat spring portion 430 is formed on the cylindrical case 4, and rectangular recesses are formed on the first cover member 16 and the second cover member 17 at positions overlapping the flat spring portion 430 when viewed in the first direction Z. It is done.
- a wiring substrate 15 is attached to the side surface of the support 2 on the one side X1 in the second direction X. By using the cylindrical case 4, the cover 11 can be assembled without using an adhesive, and screwing is unnecessary.
- the first cover member 16 is formed with a recess 165 that opens toward the other side Z2 in the first direction Z.
- the recess 165 includes a first wall portion 161 located on one side X1 in the second direction X, a second wall portion 162 located on the other side X2 in the second direction X, and a third direction It is surrounded by the third wall 163 located on one side Y1 of Y and the fourth wall 164 located on the other side Y2 in the third direction Y.
- the second cover member 17 is formed substantially symmetrically in the first direction Z with respect to the first cover member 16.
- the second cover member 17 is formed with a recess 175 opening toward the one side Z1 in the first direction Z.
- the recess 175 is located on the first wall 171 located on one side X1 in the second direction X and on the other side X2 in the second direction X. It is surrounded by the second wall portion 172, the third wall portion 173 located on one side Y1 in the third direction Y, and the fourth wall portion 174 located on the other side Y2 in the third direction Y.
- FIG. 14 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6, the yoke 30, and the holder 60 of the actuator 1D according to the fourth embodiment.
- the magnetic drive circuit 6 has a coil 7 and a magnet 8 facing the coil 7 in the first direction Z.
- the coil 7 includes two coils 71 and 72 arranged in parallel in the second direction X, and the other of the coils 71 and 72 in the first direction Z
- the coil 7 is formed of two coils 73 and 74 arranged in parallel in the second direction X on the side Z2, and the coil 7 has an oval-shaped air core whose long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y It is a coil.
- the coil 7 is held by a holder 60.
- the holder 60 includes a first holder 61 and a second holder 62 that abuts the first holder 61 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the second holder 62 is formed substantially symmetrically in the first direction Z with respect to the first holder 61.
- through holes 60c are formed at one diagonal position and the other diagonal position.
- the through hole 60 c is provided at a portion where the first holder 61 and the second holder 62 abut in the first direction Z.
- Positioning pins 69 are respectively inserted into the four through holes 60c. The positioning pin 69 positions the first holder 61 and the second holder 62 in the direction orthogonal to the first direction Z, and the first holder 61 and the second holder 62 are coupled.
- first holder 61 and the second holder 62 two coil holding holes 66, 67 are formed in parallel in the second direction X, and the coil 7 is disposed in the coil holding holes 66, 67.
- Receiving portions 661 and 671 are formed in the coil holding holes 66 and 67, respectively.
- the first holder 61 and the second holder 62 have one side X1 in the second direction X, the other side X2 in the second direction X, and a third direction Y with respect to the portion where the coil holding holes 66 and 67 are formed.
- a first wall portion 610, a second wall portion 620, a third wall portion 630, and a fourth wall portion 640 are provided on the one side Y1 and the other side Y2 of the third direction Y.
- a first opening 601 is formed between the coil holding hole 66 and the first wall 610, and a second opening 602 is formed between the coil holding hole 67 and the second wall 620. The first opening 601 and the second opening 602 penetrate the holder 60 in the first direction Z.
- Terminal pin holding grooves 685 are formed in the first wall portions 610 of the first holder 61 and the second holder 62.
- the terminal pin holding grooves 685 are formed on both ends of the first wall portion 610 in the third direction Y, and hold one terminal pin 10 each.
- the terminal pin holding groove 685 communicates with the inside of the first wall portion 610, and the lead wire (not shown) drawn from the coil 7 disposed inside the first wall portion 610 is connected to the terminal pin holding groove 685. It is pulled in and connected to the terminal pin 10.
- Two terminal pins 10 respectively project from the terminal pin holding grooves 685 of the first holder 61 and the second holder 62 on the outer surface of one side X1 of the holder 60 in the second direction X. These four terminal pins 10 are inserted into holes formed in the wiring board 15 and connected to lands formed on the surface of the wiring board 15.
- the movable body 3 includes a yoke 30 made of a magnetic plate and a magnet 8 fixed to the yoke 30.
- the yoke 30 includes a first yoke 31 having a first plate portion 311, a second yoke 32 having a second plate portion 321 disposed on the other side Z2 of the first plate portion 311 in the first direction Z, and a second yoke 32.
- a third yoke 33 provided with a third plate portion 331 disposed on the other side Z2 of the plate portion 321 in the first direction Z, and the first plate portion 311, the second plate portion 321, and the third plate portion 331 extends parallel to the second direction X. As shown in FIG.
- the second plate portion 321 is disposed between the coils 71 and 72 held by the first holder 61 and the coils 73 and 74 held by the second holder 62.
- the magnet 8 includes coils 71 and 72, magnets 81 and 82 facing in the first direction Z, and coils 73 and 74 and magnets 83 and 84 facing in the first direction Z.
- the magnets 81 and 82 are fixed to the surface of the first plate 311 facing the coil 7, and the magnets 83 and 84 are fixed to the surface of the third plate 331 facing the coil 7.
- the coil 7 is a flat coil whose thickness direction is in the first direction Z.
- the magnets 81 and 82 and the magnets 83 and 84 are respectively constituted by two rectangular magnets opposed to the long side 701 of the coil 7 in the first direction Z.
- the magnet 8 has a thickness direction in the first direction Z, and is formed in a flat plate shape extending in the second direction X and the third direction Y.
- the magnet 8 is polarized and magnetized in the thickness direction (first direction Z).
- the first yoke 31 extends to a position overlapping the second yoke 32 from the first plate portion 311 toward the other side Z2 of the first direction Z at the end of the first side X1 of the first plate portion 311 in the second direction X From the first plate portion 311 to the other side Z2 in the first direction Z at the end of the other side X2 of the first connection plate portion 312 which is present and connected to the second yoke 32 by welding or the like And a second connecting plate portion 313 extended to a position overlapping with the second yoke 32 and connected to the second yoke 32 by welding or the like.
- the first connection plate portion 312 passes through the first opening portion 601 of the first holder 61 when passing through the one side X1 in the second direction X with respect to the coil 71. Further, when passing through the other side Z2 in the second direction X with respect to the coil 72, the second connection plate portion 313 passes through the second opening portion 602 of the first holder 61.
- the third yoke 33 is formed substantially symmetrically in the first direction Z with respect to the first yoke 31.
- the third yoke 33 extends from the third plate portion 331 toward the one side Z1 in the first direction Z at the end of the one side X1 in the second direction X of the third plate portion 331 to a position overlapping with the second yoke 32.
- a fourth connecting plate portion 333 is extended to a position overlapping the second yoke 32 and connected to the second yoke 32 by welding or the like.
- the third connection plate portion 332 passes through the first opening 601 of the second holder 62 when passing through the one side X1 in the second direction X with respect to the coil 73.
- the fourth connection plate portion 333 passes through the second opening portion 602 of the second holder 62 when passing through the other side Z2 in the second direction X with respect to the coil 74.
- the first weight 41 and the second weight 42 for securing the weight of the movable body 3 are fixed to the yoke 30.
- the first weight 41 is disposed between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 of the yoke 30, and the second weight 42 is disposed between the second plate portion 321 and the third plate portion 331 of the yoke 30. It is done.
- the first weight 41 and the second weight 42 are disposed at the center of the yoke 30 in the second direction X, and the first weight 41 includes the two coils 7 (coils 71 and 72) and the magnet 8 arranged in parallel in the second direction X. It is arranged between (magnets 81, 82).
- the second weight 42 is disposed between the two coils 7 (coils 73 and 74) and the magnet 8 (magnets 83 and 84) arranged in parallel in the second direction X.
- the first weight 41 and the second weight 42 are fixed to the yoke 30 by rivets 43.
- the width in the third direction Y is longer than the second direction X, and the rivets 43 are arranged at two places separated in the third direction Y There is.
- through holes for passing the rivets 43 are provided in the first direction Z It is formed at the overlapping position when viewed from the side.
- weight disposing holes 65 are formed between the two coil holding holes 66 and 67 in the first holder 61 and the second holder 62.
- the first weight 41 is disposed in the weight disposition hole 65 of the first holder 61
- the second weight 42 is disposed in the weight disposition hole 65 of the second holder 62.
- the weight arrangement hole 65 is one size larger than the first weight 41 and the second weight 42.
- the third connection plate portion 332 and the fourth connection plate portion 333 of the third yoke 33 face the inner peripheral surfaces of the first opening 601 and the second opening 602 of the second holder 62 in the second direction X. . Therefore, when the movable body 3 moves largely in the second direction X, the third connection plate portion 332 and the fourth connection plate portion 333 collide with the inner peripheral surfaces of the first opening portion 601 and the second opening portion 602.
- the stopper that restricts the movable range of the movable body 3 in the second direction X is configured.
- a stopper is configured.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the first visco-elastic member 91 is disposed at a position where the first yoke 31 of the movable body 3 and the first cover member 16 of the support 2 face in the first direction Z.
- a second visco-elastic member 92 is disposed at a position where the third yoke 33 of the movable body 3 and the second cover member 17 of the support 2 face in the first direction Z.
- first visco-elastic members 91 are disposed between the first plate portion 311 of the first yoke 31 and the bottom of the concave portion 165 of the first cover member 16. Two are disposed between the third plate portion 331 of the third yoke 33 and the bottom of the recess 175 of the second cover member 17.
- a rib 168 extending in the third direction Y is formed.
- First protrusions 169 protruding to the other side Z2 in the first direction Z are formed at three ends of the rib 168 in the third direction Y and at the center.
- the first viscoelastic member 91 is disposed at two locations on both sides of the rib 168 in the second direction X.
- a rib 178 extending in the third direction Y is formed at the center of the recess 175 of the second cover member 17 in the second direction X, and at three ends of the rib 178 in the third direction Y and three centers
- the second convex portion 179 is formed to project on the other side Z2 in the first direction Z.
- the second viscoelastic member 92 is disposed at two locations on both sides of the rib 178 in the second direction X.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are disposed with the first direction Z as a thickness direction, and extend like a flat plate in the second direction X and the third direction Y.
- the first viscoelastic member 91 is disposed in a state of being compressed in the first direction Z between the first plate portion 311 of the first yoke 31 and the bottom portion of the recess 165 of the first cover member 16.
- the viscoelastic member 92 is disposed between the third plate portion 331 of the third yoke 33 and the bottom of the recess 175 of the second cover member 17 in a compressed state in the first direction Z.
- the first convex portion 169 formed on the first cover member 16 and the second convex portion 179 formed on the second cover member 17 are the first direction of the first viscoelastic member 91 and the second direction of the second viscoelastic member 92. It functions as a stopper that regulates the amount of collapse of Z.
- the visco-elastic member 9 is disposed at the position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z, as in the first to third embodiments.
- the magnetic drive circuit 6 drives the movable body 3 in a second direction X intersecting the first direction Z.
- the viscoelastic member 9 is disposed between the movable body 3 and the support 2 with the first direction Z as the thickness direction, and when the movable body 3 moves in the second direction X with respect to the support 2 The visco-elastic member 9 is deformed in the shear direction.
- the visco-elastic member 9 deforms in the direction (shearing direction) intersecting the thickness direction (axial direction). Therefore, as in the first to third embodiments, the viscoelastic member 9 can suppress the resonance when the movable body 3 is vibrated. Further, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance.
- the visco-elastic member 9 when the visco-elastic member 9 is pressed between the movable body 3 and the support 2 in the thickness direction (axial direction) to be compressed and deformed, it is possible to suppress large deformation of the visco-elastic member 9, so that the movable member is movable A large change in the gap between the body 3 and the support 2 can be suppressed.
- FIG. 15 is a perspective view of an actuator 1E according to Embodiment 5 of the present invention.
- FIG. 16 is an XZ sectional view of the actuator 1E according to the fifth embodiment.
- FIG. 17 is an exploded perspective view of the actuator 1E of the fourth embodiment.
- the actuator 1E of the fifth embodiment includes, as the magnetic drive circuit 6, a first magnetic drive circuit 6X that vibrates the movable body 3 in the second direction X, and a second magnetic drive circuit 6Y that vibrates the movable body 3 in the third direction Y. Equipped with
- the support 2 has the cover 11 and the holder 60, and the holder 60 and the movable body 3 are disposed inside the cover 11.
- the cover 11 has a first cover member 16 positioned on one side Z1 in the first direction Z, and a second cover member 17 overlapping the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the first cover member 16 and the second cover member 17 are rectangular when viewed in the first direction Z, and are fixed by four screws 18. At one diagonal position of the first cover member 16 and the other diagonal position, bosses 12 are formed to project toward the second cover member 17.
- the boss portion 12 includes a step surface 12a formed at an intermediate position in the first direction Z, and a cylindrical portion 12b protruding from the step surface 12a in the first direction Z2 in the Z direction.
- the screw 18 is screwed to the cylindrical portion 12 b inserted into the hole of the second cover member 17.
- the second cover member 17 is formed with a notch 13 in which a side surface of one side X1 in the second direction X is cut out to the other side Z2 in the first direction Z.
- the first cover member 16 includes a rising portion 14 facing the notch 13 of the second cover member 17 in the first direction Z.
- the rising portion 14 constitutes a slit for disposing the wiring board 15 between itself and the notch 13.
- a feeder line or the like to the coil 7 is connected to the wiring board 15.
- FIG. 18 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6, the yoke 30, and the holder 60 of the actuator 1E according to the fifth embodiment.
- circular holes 609 are opened at the four corners of the holder 60.
- the holder 60 is held at a position where the boss 12 is inserted into the circular hole 609 and placed on the step surface 12a.
- the holder 60 includes a first holder 61 and a second holder 62 that abuts the first holder 61 from the other side Z2 in the first direction Z.
- the second holder 62 is formed substantially symmetrically in the first direction Z with respect to the first holder 61.
- a recessed portion 650 recessed toward the inner peripheral side is formed.
- the coils 71 and 72 of the first magnetic drive circuit 6X are held inside the two recesses 650 opposed in the second direction X.
- the coils 73 and 74 of the second magnetic drive circuit 6Y are held inside the two concave portions 650 opposed in the third direction Y.
- the coils 71 and 72 are flat air core coils in which the long side 701 serving as the effective side extends in the third direction Y, and the coils 73 and 74 extend the long side 701 serving as the effective side in the second direction X It is an existing flat air core coil.
- the coils 71 and 72 and the coils 73 and 74 are held in oval coil holding holes 66 formed in the first holder 61 and the second holder 62. Further, a circular hole 651 is formed at the center of the first holder 61 and the second holder 62.
- the movable body 3 includes a yoke 30 made of a magnetic plate and a magnet 8 fixed to the yoke 30.
- the yoke 30 includes a first yoke 31, a second yoke 32 disposed on the other side Z 2 in the first direction Z of the first yoke 31, and a first yoke of the second yoke 32.
- the third yoke 33 is provided with a third plate portion 331 disposed on the other side Z2 in the direction Z.
- the yoke 30 includes a connecting member 34 that positions and connects the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33 in the first direction Z.
- the connecting member 34 is a magnetic material and is joined to the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33 by welding or the like, and constitutes a part of the yoke 30.
- FIG. 19 is a perspective view of the magnetic drive circuit 6 and the yoke 30 of the fifth embodiment.
- the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33 are plate-like members perpendicular to the first direction Z, and have the same shape when viewed from the first direction Z.
- the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33 are cruciform when viewed from the first direction Z.
- the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33 respectively have a central portion 301 in which the circular hole 302 is formed, and a first portion projecting from the central portion 301 to one side X1 and the other side X2 in the second direction X.
- the first arm 310 and the second arm 320, and the third arm 330 and the fourth arm 340 which protrude from the central portion 301 to the one side Y1 and the other side Y2 in the third direction Y are provided.
- the first yoke 31 is disposed between the first holder 61 and the first cover member 16.
- the second yoke 32 is disposed between the first holder 61 and the second holder 62
- the third yoke 33 is disposed between the second holder 62 and the second cover member 17.
- the magnet 8 is a magnet 8 fixed to the surface of the first yoke 31 opposite to the coil 7 held by the first holder 61 and both surfaces of the second yoke 32 (ie, the coil 7 held by the first holder 61).
- the magnet 8 fixed to the surface facing the coil 7 held by the second holder 62 and the surface facing the coil 7 held by the second holder 62 in the third yoke 33 It consists of a fixed magnet 8. That is, in the fifth embodiment, the magnets 8 are disposed on both sides of the coil 7 held by the first holder 61 in the first direction Z and on both sides of the coil 7 held by the second holder 62 in the first direction Z. It is done.
- the magnets 8 are magnets 81 and 82 facing the coils 71 and 72 of the first magnetic drive circuit 6X in the first direction Z, and magnets 83 facing the coils 73 and 74 of the second magnetic drive circuit 6Y in the first direction Z. , 84.
- the magnet 81 is fixed to the first arm 310 of each yoke
- the magnet 82 is fixed to the second arm 320 of each yoke
- the magnet 83 is fixed to the third arm 330 of each yoke
- the magnet 84 is fixed. Is fixed to the fourth arm 340 of each yoke.
- Each magnet 8 is polarized and magnetized in the thickness direction. Further, the two magnets 8 facing each coil 7 on one side Z1 and the other side Z2 in the first direction Z are magnetized in poles different in the surface facing the coil 7.
- the yoke 30 is an assembly in which the first yoke 31, the second yoke 32, the third yoke 33, and the connecting member 34 are assembled.
- the connecting member 34 is a first connecting member 341 that connects the ends of the first arm 310 of the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33, and a second connection that connects the ends of the second arm 320.
- a member 342, a third connecting member 343 connecting the tip of the third arm 330, and a fourth connecting member 344 connecting the tip of the fourth arm 340 are provided.
- each connecting member 34 the end of the first yoke 31 is joined substantially perpendicularly to the end of the one side Z1 in the first direction Z, and the third yoke 33 is substantially connected to the end of the other side Z2 in the first direction Z. Bonded at right angles. Further, an end portion of the second yoke 32 is joined at a substantially right angle to a central portion in the first direction Z.
- the first yoke 31 is positioned to be flush with the end face of the one side Z1 of the connecting member 34 in the first direction Z
- the third yoke 33 is the other side Z2 of the connecting member 34 in the first direction Z. It is positioned to be flush with the end face of Therefore, the height of the yoke 30 in the first direction Z coincides with the height of the connecting member 34 in the first direction Z.
- the connecting member 34 is disposed in the gap between the recess 650 of the holder 60 and the second cover member 17.
- the connecting member 34 collides with the inner surface of the recess 650 and the inner surface of the second cover member 17 to move the movable body 3 in the second direction X and A stopper that regulates the movable range in the third direction Y is configured.
- an axial portion 35 extending in the first direction Z is attached to the central portion 301 of the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33.
- the shaft portion 35 is passed through a circular hole 651 formed at the center of the first holder 61 and the second holder 62.
- the shaft portion 35 is connected to a first shaft portion 351 disposed between the first yoke 31 and the second yoke 32, and the other side Z2 of the first shaft portion 351 in the first direction Z,
- a second shaft portion 352 disposed between the third yokes 33 is provided.
- the end portions of the first shaft portion 351 and the second shaft portion 352 are fitted in circular holes 302 formed in the central portion 301 of the first yoke 31, the second yoke 32, and the third yoke 33.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z.
- the first visco-elastic member 91 is disposed at a position where the first yoke 31 of the movable body 3 and the first cover member 16 of the support 2 face in the first direction Z.
- a second visco-elastic member 92 is disposed at a position where the third yoke 33 of the movable body 3 and the second cover member 17 of the support 2 face in the first direction Z.
- the first arm 310, the second arm 320, the third arm 330, the fourth arm 340, and the first cover member 16 of the first yoke 31 One is disposed at four locations facing in one direction Z.
- the first arm 310, the second arm 320, the third arm 330, the fourth arm 340, and the second cover member 17 of the third yoke 33 extend in the first direction Z. It is arranged one by one at four places facing the.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are disposed with the first direction Z as a thickness direction, and extend in a second direction X and a third direction Y orthogonal to the first direction Z. Further, the shapes of the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 viewed from the first direction Z are square, and the dimension in the second direction X and the dimension in the third direction Y are the same.
- the first viscoelastic member 91 is disposed between the first yoke 31 and the first cover member 16 in a compressed state in the first direction Z
- the second viscoelastic member 92 includes the third yoke 33 and the second It is arranged in a compressed state in the first direction Z between the cover member 17 and the cover member 17.
- the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are adhered to the surface in contact with the support 2 and the surface in contact with the movable body 3.
- the visco-elastic member 9 is disposed at a position where the support 2 and the movable body 3 face in the first direction Z, and the first magnetic drive circuit 6X The movable body 3 is driven in a second direction X intersecting the first direction Z, and the second magnetic drive circuit 6Y drives the movable body 3 in a third direction Y intersecting the first direction Z.
- the viscoelastic member 9 is disposed between the movable body 3 and the support 2 with the first direction Z as the thickness direction, and the movable body 3 moves in the second direction X and the third direction Y with respect to the support 2 At this time, the visco-elastic member 9 is deformed in a direction (shearing direction) intersecting with the thickness direction (axial direction). Therefore, as in the first to fourth embodiments, the resonance when the movable body 3 is vibrated can be suppressed by the viscoelastic member 9. Further, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration can be realized with a subtle nuance.
- the visco-elastic member 9 when the visco-elastic member 9 is pressed between the movable body 3 and the support 2 in the thickness direction (axial direction) to be compressed and deformed, it is possible to suppress large deformation of the visco-elastic member 9, so that the movable member is movable A large change in the gap between the body 3 and the support 2 can be suppressed.
- 1st Shaft portion 352 second shaft portion 410: first case 420: second case 430: leaf spring portion 601: first opening 602: second opening 609: circular hole 610: second 1 wall part 611, 612 ... recessed part, 620 ... 2nd wall part, 622 ... recessed part, 630 ... 3rd wall part, 6 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 632 ... recessed part, 635 ... recessed part, 636 ... convex part, 637 ... guide groove, 638 ... hole, 640 ... 4th wall part, 642 ... recessed part, 650 ... recessed part, 651 ... circular hole, 661, 671 ...
- receiving part 685: terminal pin holding groove, 701: long side, 702: short side, 860: first plate portion, 861: first connecting plate portion, 862: second connecting plate portion, 870: second plate portion, 871 ... 1st connecting plate part, 872 ... 2nd connecting plate part, Z ... 1st direction, X ... 2nd direction, Y ... 3rd direction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
アクチュエータ1Aは、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zと交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として第2方向Xに延在する状態で第1方向Zに対向する可動体3と支持体2とを接続する。従って、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制できる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させ、微妙なニュアンスで振動させることができる。更に、粘弾性部材9が厚さ方向に押圧されて大きく変形することを抑制でき、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
Description
本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。
磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、コイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して軸線方向に振動させるアクチュエータが提案されている。また、この種のアクチュエータにおいて、可動体を適正に駆動するために、支持体と可動体を粘弾性部材で接続することが提案されている。例えば、特許文献1では、可動体が支持体(固定体)に対して軸線方向に移動可能に支持され、支持体と可動体との間にシリコーンゲル(ゲル状ダンパー部材)が挟まれている。シリコーンゲルなどの粘弾性部材を用いることにより、可動体を駆動した際の共振が抑制される。
特許文献1のアクチュエータにおいて、磁気駆動回路は、同軸に配置される磁石とコイルを備えている。粘弾性部材は、支持体(固定体)の内周面と、可動体の外周面との間に挟まれており、可動体の中心軸線を囲むように配置されている。
一方、コイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって振動を発生させるアクチュエータの構造として、扁平なコイルと平板状の磁石を第1方向に対向させ、第1方向と直交する第2方向に可動体を振動させる磁気駆動回路を用いるものが提案されている。そこで、この種のアクチュエータにおいても、粘弾性部材の特性を適正に利用して可動体を適正に駆動することが望ましい。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体と可動体との間に粘弾性部材を適正に配置して可動体を適正に駆動することが可能なアクチュエータを提供することにある。
上記問題を解決するために、本発明を適用したアクチュエータは、支持体と、前記支持体に移動可能に支持された可動体と、コイルおよび前記コイルに第1方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向に交差する第2方向に相対移動させる磁気駆動回路と、前記支持体と前記可動体とが前記第1方向で対向する個所に配置された粘弾性部材と、を有し、前記粘弾性部材は、前記第1方向を厚み方向として配置され、前記可動体が前記支持体に対して前記第2方向に移動する際、せん断方向に変形することを特徴とする。
本発明では、支持体と可動体とが第1方向で対向する個所に粘弾性部材が配置されており、磁気駆動回路は、可動体を第1方向に交差する第2方向に駆動する。また、粘弾性部材は、前記第1方向を厚み方向として配置され、可動体が支持体に対して第2方向に移動する際、粘弾性部材は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、可動体を第1方向に交差する方向に駆動する際、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができる。よって、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
また、本発明では、粘弾性部材が可動体と支持体との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できるので、可動体と支持体とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
本発明において、前記コイルは、前記第1方向を厚み方向とする扁平コイルであり、前記磁石は、前記第1方向を厚み方向とする平板状の磁石であり、前記粘弾性部材は、前記第1方向と直交する方向に延在する構成を採用することができる。このようにすると、磁気駆動回路および粘弾性部材が第1方向で薄型になるため、駆動方向(第2方向)と直交する方向(第1方向)の寸法を薄型化したアクチュエータを構成することができる。
本発明において、前記支持体は、前記可動体の前記第1方向の一方側に配置される第1カバー部材と、前記可動体の前記第1方向の他方側に配置される第2カバー部材を備え、前記粘弾性部材は、前記可動体と前記第1カバー部材との間、および、前記可動体と前記第2カバー部材との間に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体が第2方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材を配置することができる。また、可動体の第1方向の両側で均等に可動体を支持することができる。
本発明において、前記可動体は、前記第1方向から見て重なる複数のヨークと、前記複数のヨークを前記第1方向で位置決めして連結する連結部材を備え、前記支持体は、前記複数のヨークの前記第1方向の一方側に配置される第1カバー部材と、前記複数のヨークの前記第1方向の他方側に配置される第2カバー部材を備え、前記粘弾性部材は、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第1カバー部材との間、および、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第2カバー部材との間に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体が第2方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材を配置することができる。また、複数のヨークを組み立てた組立体の第1方向の両側で均等に組立体を支持することができる。更に、複数のヨークを1部材(連結部材)の寸法公差の範囲内で位置決めすることができ、複数のヨークの部品公差が第1方向に積み上がることを回避することができる。これにより、組立体と第1カバー部材とのギャップ、および、組立体と第2カバー部材とのギャップのばらつきを少なくすることができる。よって、粘弾性部材が可動体の移動に確実に追従するので、可動体の共振を効果的に防止することができる。
本発明では、前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石を保持するホルダを備え、前記粘弾性部材は、前記ホルダと前記可動体とが前記第1方向で対向する個所に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体とカバーとの間に粘弾性部材を配置するための隙間を確保する必要がない。従って、アクチュエータの薄型化を図ることができる。また、カバーを取り付ける前の状態で粘弾性部材を取り付けることができるため、カバーを取り付ける前の状態でダンパー性能を含めた振動特性を検査することができる。
本発明において、前記粘弾性部材は、前記第1方向で圧縮された状態で配置されることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材は、可動体の移動に確実に追従するので、可動体の共振を効果的に防止することができる。
本発明において、前記支持体は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する凸部を備えることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材の第1方向の潰れ量を規制することができる。
本発明において、前記支持体の前記粘弾性部材が接する部分は、凹部になっている態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材の位置がずれにくい。
本発明において、前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材である態様を採用することができる。ゲル状ダンパー部材を用いることにより、厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を持たせることができる。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を持たせることができる。一方、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持たせることができる。
本発明では、支持体と可動体とが第1方向で対向する個所に粘弾性部材が配置されており、磁気駆動回路は、可動体を第1方向に交差する第2方向に駆動する。また、粘弾性部材は、前記第1方向を厚み方向として前記第2方向に延在しており、可動体が支持体に対して第2方向に移動する際、粘弾性部材は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスもって振動を実現することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態1~5を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する3つの方向を各々、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yとして説明する。また、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yは、互いに直交する方向である。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付して説明する。
本発明を適用した実施形態1~5のアクチュエータは、可動体3を支持体2に対して相対移動させる磁気駆動回路6と、支持体2と可動体3とを接続する粘弾性部材9を有しており、磁気駆動回路6は、コイル7と磁石8とを有している。実施形態1~5の基本的な構成は同等であるため、対応する部分には同一の符号を付して説明する。本発明では、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xと第3方向Yの一方もしくは両方に駆動する態様を採用することができる。また、磁気駆動回路6は、コイル7が支持体2の側に設けられ、磁石8が可動体3の側に設けられた態様、および磁石8が支持体2の側に設けられ、コイル7が可動体3の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル7が支持体2の側に設けられ、磁石8が可動体3の側に設けられた態様を中心に説明する。
実施形態1~5のアクチュエータは、コイル7に交流を印加すると、可動体3は、第2方向Xに振動するため、アクチュエータにおける重心が第2方向Xに変動する。このため、利用者は、第2方向Xを体感することができる。また、その際、コイル7に印加する交流波形を調整して、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動する加速度と、可動体3が第2方向の他方側X2に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第2方向Xにおいて方向性を有する振動を体感することができる。また、実施形態5では、可動体3を第3方向Yに駆動することもでき、他の実施形態においても、可動体3を第3方向Yに駆動する態様を採用することができる。
実施形態1~5において、粘弾性部材9は、シリコーンゲル等によって構成されたゲル状ダンパー部材である。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材9として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、粘弾性部材9として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。実施形態1~5において、粘弾性部材9(第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92)は、針入度が10度から110度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、JIS-K-2207やJIS-K-2220で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材9は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材9は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。一方、粘弾性部材9が厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
[実施形態1]
図1は、本発明の実施形態1に係るアクチュエータ1Aの斜視図である。図2は、実施形態1のアクチュエータ1AのXZ断面図である。図3は、実施形態1のアクチュエータ1Aの分解斜視図である。図1および図2に示すように、実施形態1のアクチュエータ1Aは、全体として、第2方向Xの寸法が第3方向Yの寸法より大きい直方体形状を有しており、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xに振動させる。
図1は、本発明の実施形態1に係るアクチュエータ1Aの斜視図である。図2は、実施形態1のアクチュエータ1AのXZ断面図である。図3は、実施形態1のアクチュエータ1Aの分解斜視図である。図1および図2に示すように、実施形態1のアクチュエータ1Aは、全体として、第2方向Xの寸法が第3方向Yの寸法より大きい直方体形状を有しており、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xに振動させる。
(支持体)
図1、図2および図3に示すように、実施形態1のアクチュエータ1Aにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、図2に示す可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17は、四角形の平面形状を有しており、第1方向Zで重なっている。実施形態1では、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17を第1方向Zに重ねた状態で、一方の対角位置にネジ18を止め、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17をネジ18によって第1方向Zで締結する。その結果、支持体2が形成される。なお、支持体2の他方の対角位置には、アクチュエータ1Aを各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ19が止められる。
図1、図2および図3に示すように、実施形態1のアクチュエータ1Aにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、図2に示す可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17は、四角形の平面形状を有しており、第1方向Zで重なっている。実施形態1では、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17を第1方向Zに重ねた状態で、一方の対角位置にネジ18を止め、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17をネジ18によって第1方向Zで締結する。その結果、支持体2が形成される。なお、支持体2の他方の対角位置には、アクチュエータ1Aを各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ19が止められる。
第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17の第3方向Yの一方側の側面113には、第1カバー部材16の凹部160、ホルダ60の凹部635、第2カバー部材17の凹部170が形成されており、ここに配線基板15が固定される。その際、ホルダ60の凹部635に形成された凸部636を配線基板15の位置決め用の穴155に嵌めて、配線基板15の位置決めを行い、その後、接着剤等によって配線基板15を固定する。
図2、図3に示すように、第1カバー部材16には、第1方向Zの他方側Z2に向かって開口する四角形の凹部165が形成されている。また、凹部165の底部には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部166、167が形成されている。図3に示すように、第1カバー部材16において、凹部165は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部161と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部162と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部163と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部164とによって囲まれている。第3壁部163の外面には、第2方向Xに沿って延在する凹部160が形成されている。第3壁部163および第4壁部164には、第2方向Xに沿って第1方向Zの他方側Z2に突出した複数の凸板部163a、164aが所定の間隔に形成されている。また、第1壁部161および第2壁部162には、外縁から第1方向Zの他方側Z2に突出した凸板部161a、162aが第3方向Yの中央に形成されている。
第2カバー部材17は、第1カバー部材16に対して第1方向Zで略対称に形成されている。図2に示すように、第2カバー部材17には、第1方向Zの一方側Z1に向かって開口する四角形の凹部175が形成されている。また、凹部175の底部には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部176、177が形成されている。図3に示すように、第2カバー部材17において、凹部175は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部171と、第2方向Xの他方側X2に位置するに第2壁部172と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部173と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部174とによって囲まれている。第3壁部173の外面には、第2方向Xに沿って延在する凹部170が形成されている。
第3壁部173には、第2方向Xに沿って第1方向Zの一方側Z1に突出した複数の凸板部173aが所定の間隔に形成されている。なお、図示を省略するが、第4壁部174にも同様の凸板部が形成されている。また、第1壁部171には、外縁から第1方向Zの一方側Z1に突出した凸板部171aが第3方向Yの中央に形成されている。なお、図示を庄着するが、第2壁部172にも同様の凸板部が形成されている。
(磁気駆動回路)
図4は、実施形態1のアクチュエータ1Aの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。図2、図4に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル71、72からなる。コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第1方向Zを厚み方向とする扁平コイルである。コイル7は、ホルダ60に保持されている。
図4は、実施形態1のアクチュエータ1Aの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。図2、図4に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル71、72からなる。コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第1方向Zを厚み方向とする扁平コイルである。コイル7は、ホルダ60に保持されている。
(ホルダ)
図2、図4に示すように、ホルダ60は、2つのコイル保持穴66、67が第2方向Xで並列するように形成されており、コイル保持穴66、67にコイル7(コイル71、72)が配置されている。コイル保持穴66、67は貫通穴であり、第3方向Yの両端部には、コイル保持穴66、67の第1方向Zの一方側Z1の端部に受け部661、671が形成されている。従って、コイル保持穴66、67に第1方向Zの他方側Z2からコイル7を装着すると、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部661、671によって第1方向Zの一方側Z1で支持される。この状態で、コイル7は接着剤等によってホルダ60に固定される。
図2、図4に示すように、ホルダ60は、2つのコイル保持穴66、67が第2方向Xで並列するように形成されており、コイル保持穴66、67にコイル7(コイル71、72)が配置されている。コイル保持穴66、67は貫通穴であり、第3方向Yの両端部には、コイル保持穴66、67の第1方向Zの一方側Z1の端部に受け部661、671が形成されている。従って、コイル保持穴66、67に第1方向Zの他方側Z2からコイル7を装着すると、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部661、671によって第1方向Zの一方側Z1で支持される。この状態で、コイル7は接着剤等によってホルダ60に固定される。
ホルダ60は、コイル保持穴66、67が形成されている部分に対して、第2方向Xの一方側X1、第2方向Xの他方側X2、第3方向Yの一方側Y1、および第3方向Yの他方側Y2には、第1壁部610、第2壁部620、第3壁部630、および第4壁部640を備えている。コイル保持穴66と第1壁部610との間に第1開口部601が形成され、コイル保持穴67と第2壁部620との間に第2開口部602が形成されている。第1開口部601、および第2開口部602はホルダ60を第1方向Zで貫通している。
第1壁部610には、第1方向Zの一方側Z1に凹部611が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部612が形成されている。第2壁部620には、第1方向Zの一方側Z1に凹部(図示省略)が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部622が形成されている。第3壁部630の外面側には、第1方向Zの一方側Z1に複数の凹部631が第2方向Xに沿って形成され、第1方向Zの他方側Z2に複数の凹部632が第2方向Xに沿って形成されている。第4壁部640の外面側には、第1方向Zの一方側Z1に複数の凹部(図示省略)が第2方向Xに沿って形成され、第1方向Zの他方側Z2に複数の凹部642が第2方向Xに沿って形成されている。
第3壁部630の外面には、第2方向Xに沿って延在する凹部635が形成されており、凹部635の両端部には、第3方向Yの一方側Y1に突出した位置決め用の凸部636が形成されている。第3壁部630には、コイル保持穴66、67から第3壁部630の外面(凹部635の底面)まで延在するガイド溝637が4本形成されている。
第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17を第1方向Zで締結して支持体2を構成する際、第1カバー部材16の凸板部163aがホルダ60の凹部631に嵌り、第1カバー部材16の凸板部164aがホルダ60の対応する凹部(図示省略)に嵌り、第1カバー部材16の凸板部161a、162aがホルダ60の凹部611、621に嵌る。また、第2カバー部材17の凸板部171a、173aがホルダ60の凹部612、632に嵌り、ホルダ60の凹部622、642に第2カバー部材17の対応する凸板部(図示省略)が嵌る。従って、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17は互いに位置決めされた状態で連結される。また、ガイド溝637は、ホルダ60と第2カバー部材17との間で穴638として開口する。
コイル7を構成する導線75の巻き始めの端部、および、巻き終りの端部は、ホルダ60と第2カバー部材17との間の穴638を通してカバー11の外側に引き出される。配線基板15には、穴638を開放状態とする切り欠き150が形成されているので、穴638から引き出された導線75を切り欠き150を通して配線基板15のランド151にハンダ付する。その結果、2つのコイル7は、直列に電気的に接続される。なお、2つのコイル7は、並列に電気的に接続してもよい。
(可動体)
図2、図4に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有しており、磁石8は、第1ヨーク86の第1板部860のコイル7と対向する面、および第2ヨーク87の第2板部870のコイル7と対向する面に保持されてコイル7に第1方向Zで対向している。なお、第1板部860と第2板部870の少なくとも一方にのみ磁石8が保持される構成とすることもできる。
図2、図4に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有しており、磁石8は、第1ヨーク86の第1板部860のコイル7と対向する面、および第2ヨーク87の第2板部870のコイル7と対向する面に保持されてコイル7に第1方向Zで対向している。なお、第1板部860と第2板部870の少なくとも一方にのみ磁石8が保持される構成とすることもできる。
実施形態1では、磁石8として、第1ヨーク86の第1板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石81と、第2ヨーク87の第2板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石82とが設けられている。この状態で、磁石81は、コイル7の長辺701に第1方向Zの一方側Z1で対向し、磁石82は、コイル7の長辺701に第1方向Zの他方側Z2で対向している。磁石81および磁石82は各々、厚さ方向(第1方向Z)で分極着磁されており、磁石81においてコイル7に対向する面と、磁石82においてコイル7と対向する面は異なる極に着磁されている。本形態では、磁石81および磁石82は各々、2つのコイル7(コイル71、72)の計4つの長辺701の各々に対向する4つの磁石からなる。
実施形態1において、第1ヨーク86は、第1板部860から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク87と重なる位置まで延在して第2ヨーク87と連結された第1連結板部861と、磁石81に対して第1連結板部861とは反対側で第1板部860から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク87と重なる位置まで延在して第2ヨーク87と連結された第2連結板部862とを備えている。第1連結板部861および第2連結板部862は、溶接により第2ヨーク87の端部と連結されている。第1連結板部861は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1でホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在し、第2連結板部862は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2でホルダ60の第2開口部602を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在している。
(ストッパ)
図2に示すように、可動体3に用いた第1ヨーク86の第1連結板部861に対して第2方向Xの一方側X1には、第1カバー部材16の第1壁部161、ホルダ60の第1壁部610、および第2カバー部材17の第1壁部171の内面が、連続した平面(第1被当接部118)を構成した状態で対向している。従って、第1連結板部861は、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動した際に第1被当接部118と当接して可動体3の第2方向Xの一方側X1への可動範囲を規制するストッパを構成している。
図2に示すように、可動体3に用いた第1ヨーク86の第1連結板部861に対して第2方向Xの一方側X1には、第1カバー部材16の第1壁部161、ホルダ60の第1壁部610、および第2カバー部材17の第1壁部171の内面が、連続した平面(第1被当接部118)を構成した状態で対向している。従って、第1連結板部861は、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動した際に第1被当接部118と当接して可動体3の第2方向Xの一方側X1への可動範囲を規制するストッパを構成している。
同様に、第2連結板部862に対して第2方向Xの他方側X2には、第1カバー部材16の第2壁部162、ホルダ60の第2壁部620、および第2カバー部材17の第2壁部172の内面が、連続した平面(第2被当接部119)を構成した状態で対向している。従って、第2連結板部862は、可動体3が第2方向Xの他方側X2に移動した際に第2被当接部119と当接して可動体3の第2方向Xの他方側X2への可動範囲を規制するストッパを構成している。
(粘弾性部材)
図2に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態1では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の凹部166、167の底部との間に2つ配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の凹部176、177の底部との間に2つ配置されている。
図2に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態1では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の凹部166、167の底部との間に2つ配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の凹部176、177の底部との間に2つ配置されている。
第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、第1方向Zを厚み方向として配置され、第2方向Xおよび第3方向Yに延在する。ここで、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の凹部166、167の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の凹部176、177の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、支持体2と接する面で支持体2と接着され、可動体3と接する面で可動体3と接着されている。
図3に示すように、第1カバー部材16の凹部166、167は、凹部165の底面165aから一段凹んだ形状であるため、凹部165の底面165aは、第1粘弾性部材91が接続される凹部166、167の底面より第1方向Zの他方側Z2に突出した位置で第1ヨーク86の第1板部860と対向する。このため、凹部165の底面165aは、第1板部860と第1方向Zに衝突して第1粘弾性部材91の第1方向Zの潰れ量を規制する。同様に、第2カバー部材17の凹部176、177は、凹部175の底面175aから一段凹んだ形状であり、底面175aは、第2粘弾性部材92が接続される凹部176、177の底面より第1方向Zの一方側Z1に突出した位置で第2ヨーク87の第2板部870と対向する。従って、凹部175の底面175aは、第2板部870と第1方向Zに衝突して第2粘弾性部材92の第1方向Zの潰れ量を規制する。
(実施形態1の主な効果)
以上説明したように、実施形態1のアクチュエータ1Aは、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、実施形態1では、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
以上説明したように、実施形態1のアクチュエータ1Aは、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、実施形態1では、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
また、粘弾性部材9は、可動体3と支持体2との間で第1方向Zに伸縮するように取り付けられ、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体3の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
実施形態1では、コイル7として、第1方向Zを厚み方向とする扁平コイルを用いており、磁石8は、第1方向Zを厚み方向とする平板状の磁石である。従って、磁石8とコイル7は、第1方向Zを厚み方向とする扁平な磁気駆動回路6を構成するので、アクチュエータ1Aは、駆動方向(第2方向X)と直交する方向(第1方向)に薄型化されている。従って、1軸方向(第2方向)の振動を発生させる小型のアクチュエータ1Aを構成することができる。なお、実施形態1では、2つのコイル7を1段に配置しているが、コイル7を複数段に配置し、各コイル7を磁石8と対向させることにより、より大きな駆動力を確保することができる。
具体的には、実施形態1の可動体3は磁石8を保持するヨーク30を備えており、ヨーク30は、第2方向Xに延在する第1板部860を備え、支持体2は、第1板部860に第1方向Zで対向し第2方向Xに延在する第1カバー部材16を備え、第1粘弾性部材91は、第1板部860と第1カバー部材16と間に配置されている。また、ヨーク30は、第2方向Xに延在する第2板部870を備え、支持体2は、第2板部870に第1方向Zで対向し第2方向Xに延在する第2カバー部材17を備え、第2粘弾性部材92は、第2板部870と第2カバー部材17と間に配置されている。これにより、可動体が第2方向に振動する際、せん断方向に変形するように粘弾性部材9を配置することができる。
実施形態1の支持体2は、コイル7(コイル71、72)を保持するホルダ60を備えており、ヨーク30の第1板部860と第2板部870は、ホルダ60の第1方向Zの両側に配置されている。また、ヨーク30は、第1板部860の両端に第2板部870の側へ折れ曲がって第2板部870と溶接される第1連結板部861と第2連結板部862を備えている。従って、ヨーク30によって磁気効率を向上させることができ、アクチュエータ1Aの駆動力を確保することができる。また、ヨーク30の第1連結板部861と第2連結板部862は、支持体2と当接して可動体3の第2方向Xの移動範囲を規制するストッパを構成する。従って、アクチュエータ1Aの耐衝撃性を高めることができる。
なお、支持体2と可動体3との間に粘弾性部材9を配置する構成として、カバー11と可動体3との間でなく、ホルダ60と可動体3との間に粘弾性部材9を配置する構成を採用することもできる。例えば、ヨーク30の第1板部860とホルダ60とが対向する箇所、および、ヨーク30の第2板部870とホルダ60とが対向する箇所に粘弾性部材9を配置することもできる。この場合には、カバー11と可動体3との間に粘弾性部材9を配置する隙間を確保する必要がないので、アクチュエータの薄型化に有利である。また、ホルダ60と可動体3との間に粘弾性部材9を取り付けた場合には、カバー11を取り付ける前の状態で粘弾性部材9を取り付けることができるため、カバー11を取り付ける前の状態でダンパー性能を含めた振動特性を検査することができる。
実施形態1の支持体2は、第1カバー部材16、ホルダ60、および第2カバー部材17の3部材が、第1方向Zにネジ軸が延在するネジ18によって第1方向Zで締結されている。このため、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所の間隔がばらつきやすいが、実施形態1では、粘弾性部材9は、支持体2と可動体3との間に第1方向Zで圧縮された状態で配置されている。従って、粘弾性部材9が可動体3の移動に確実に追従するので、可動体3の共振を効果的に防止することができる。また、ネジ18を締めて第1カバー部材16、ホルダ60、および第2カバー部材17を締結する際に粘弾性部材9を第1方向Zで圧縮することができる。
実施形態1の支持体2は、第1粘弾性部材91が接する部分は、第1カバー部材16の凹部165であり、第2粘弾性部材92が接する部分は、第2カバー部材17の凹部175である。従って、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92の位置がずれにくく、位置決めも容易である。また、支持体2は、第1カバー部材16の凹部165の底面165aによって第1粘弾性部材91の第1方向Zの潰れ量を規制する。また、第2カバー部材17の凹部175の底面175aによって第2粘弾性部材92の第1方向Zの潰れ量を規制することができる。
[実施形態2]
図5は、本発明の実施形態2に係るアクチュエータ1Bの斜視図である。図6は、実施形態2のアクチュエータ1BのXZ断面図である。図7は、実施形態2のアクチュエータ1Bのカバー11を取り外した分解斜視図である。図5に示すように、実施形態2のアクチュエータ1Bは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
図5は、本発明の実施形態2に係るアクチュエータ1Bの斜視図である。図6は、実施形態2のアクチュエータ1BのXZ断面図である。図7は、実施形態2のアクチュエータ1Bのカバー11を取り外した分解斜視図である。図5に示すように、実施形態2のアクチュエータ1Bは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
(支持体)
図6に示すように、実施形態2のアクチュエータ1Bにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11およびホルダ60の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図7に示すように、ホルダ60は、第1方向Zの両側で開口する矩形断面の筒部60Aと、筒部60Aの内側に配置されるコイル保持部60Bを備える。筒部60Aは、第1方向Zの一方側Z1に開口する第1開口部60Cと、第1方向Zの他方側Z2に開口する第2開口部60Dを備える。筒部60Aの第3方向Yの一方側Y1の側面には、配線基板15が取り付けられている。
図6に示すように、実施形態2のアクチュエータ1Bにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11およびホルダ60の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図7に示すように、ホルダ60は、第1方向Zの両側で開口する矩形断面の筒部60Aと、筒部60Aの内側に配置されるコイル保持部60Bを備える。筒部60Aは、第1方向Zの一方側Z1に開口する第1開口部60Cと、第1方向Zの他方側Z2に開口する第2開口部60Dを備える。筒部60Aの第3方向Yの一方側Y1の側面には、配線基板15が取り付けられている。
第1カバー部材16はホルダ60に第1方向Zの一方側Z1から被せられている。第1カバー部材16は、筒部60Aに第1方向Zの一方側Z1から当接する第1端板部16Aと、第1端板部16Aの第2方向Xの両側および第3方向Yの両側の縁からそれぞれ第1方向Zの他方側に立ち上がる4枚の第1側板部16Bを備える。また、第2カバー部材17はホルダ60に第1方向Zの他方側Z2から被せられている。第2カバー部材17は、筒部60Aに第1方向Zの他方側Z2から当接する第2端板部17Aと、第2端板部17Aの第2方向Xの両側および第3方向Yの両側の縁からそれぞれ第1方向Zの一方側Z1に立ち上がる4枚の第2側板部17Bを備える。第1カバー部材16と第2カバー部材17は、4組の第1側板部16Bと第2側板部17Bのそれぞれが、少なくとも一部分が重ね合わされて接合されている。図1に示すように、第3方向Yの一方側Y1の側面を覆う第1側板部16Bと第2側板部17Bには、配線基板15の取付位置に矩形の開口部が形成されている。
コイル保持部60Bは、筒部60Aの第1方向Zの略中央で第3方向Yに延在しており、コイル保持部60Bの第3方向Yの一端および他端は、筒部60Aの内面に接続されている。コイル保持部60Bには、コイル保持穴66が形成され、コイル保持穴66の第1方向Zの一方側Z1の端部に受け部661が形成されている。また、ホルダ60には、コイル保持部60Bの第2方向Xの一方側X1に第1開口部601が形成され、他方側X2に第2開口部602が形成されている。
(磁気駆動回路)
図6、図7に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。実施形態1と同様に、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第1方向Zを厚み方向とする扁平コイルである。コイル7はホルダ60に保持されている。コイル7は、コイル保持穴66に第1方向Zの他方側Z2から装着され、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部661によって第1方向Zの一方側Z1で支持される。この状態で、コイル7は、接着剤等によってコイル保持部60Bに固定されている。
図6、図7に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。実施形態1と同様に、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第1方向Zを厚み方向とする扁平コイルである。コイル7はホルダ60に保持されている。コイル7は、コイル保持穴66に第1方向Zの他方側Z2から装着され、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部661によって第1方向Zの一方側Z1で支持される。この状態で、コイル7は、接着剤等によってコイル保持部60Bに固定されている。
(可動体)
図6、図7に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有する。磁石8は、第1板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石81と、第2板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石82とが設けられ、磁石81および磁石82は、コイル7に第1方向Zで対向している。なお、磁石81、82の一方を省略することもできる。
図6、図7に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有する。磁石8は、第1板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石81と、第2板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石82とが設けられ、磁石81および磁石82は、コイル7に第1方向Zで対向している。なお、磁石81、82の一方を省略することもできる。
第1ヨーク86と第2ヨーク87は、第1方向Zに対称に形成されている。第1ヨーク86は、第1板部860から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク87と重なる位置まで延在する第1連結板部861と、磁石81に対して第1連結板部861とは反対側で第1板部860から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク87と重なる位置まで延在する第2連結板部862とを備える。同様に、第2ヨーク87は第3連結板部871および第4連結板部872を備えており、第3連結板部871は、溶接により第1連結板部861と連結され、第4連結板部872は溶接により第2連結板部862と連結されている。第1連結板部861および第3連結板部871は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1でホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zに延在し、第2連結板部862および第4連結板部872は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2でホルダ60の第2開口部602を通って第1方向Zに延在する。
(粘弾性部材)
図6に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態2において、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の第1端板部16Aとの間に1つ配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の第2端板部17Aとの間に1つ配置されている。
図6に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態2において、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の第1端板部16Aとの間に1つ配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の第2端板部17Aとの間に1つ配置されている。
第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、実施形態1と同様に、厚み方向を第1方向Zとして配置され、第1方向Zと直交する方向に延在する。第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16の第1端板部16Aとの間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の第2端板部17Aとの間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。
(実施形態2の主な効果)
以上説明したように、実施形態2のアクチュエータ1Bは、実施形態1と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zと交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
以上説明したように、実施形態2のアクチュエータ1Bは、実施形態1と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zと交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
[実施形態3]
図8は、本発明の実施形態3に係るアクチュエータ1CのXZ断面図である。図9は、実施形態3のアクチュエータ1Cの分解斜視図である。図10は、実施形態3のアクチュエータ1Cの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。実施形態3のアクチュエータ1Cは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
図8は、本発明の実施形態3に係るアクチュエータ1CのXZ断面図である。図9は、実施形態3のアクチュエータ1Cの分解斜視図である。図10は、実施形態3のアクチュエータ1Cの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。実施形態3のアクチュエータ1Cは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
(支持体)
図8、図9に示すように、実施形態3のアクチュエータ1Cにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図9に示すように、ホルダ60は、矩形の底板部60Eと、底板部60Eの第1方向Zの他方側Z2で第3方向Yに延在するコイル保持部60Fと、コイル保持部60Fと底板部60Eとを接続する側板部60Gを備える。側板部60Gは、底板部60Eの第3方向Yの両側の端縁の略中央から第1方向Zの他方側Z2へ立ち上がり、コイル保持部60Fの第3方向Yの両端に接続されている。底板部60Eには、コイル保持部60Fと第1方向Zに見て重なる領域に開口部60Hが形成されている。開口部60Hは底板部60Eを第1方向Zに貫通する。図10に示すように、コイル保持部60Fには、コイル保持穴66が形成されている。なお、図示を省略しているが、コイル保持穴66の第1方向Zの一方側Z1の端部に受け部を形成することもできる。
図8、図9に示すように、実施形態3のアクチュエータ1Cにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図9に示すように、ホルダ60は、矩形の底板部60Eと、底板部60Eの第1方向Zの他方側Z2で第3方向Yに延在するコイル保持部60Fと、コイル保持部60Fと底板部60Eとを接続する側板部60Gを備える。側板部60Gは、底板部60Eの第3方向Yの両側の端縁の略中央から第1方向Zの他方側Z2へ立ち上がり、コイル保持部60Fの第3方向Yの両端に接続されている。底板部60Eには、コイル保持部60Fと第1方向Zに見て重なる領域に開口部60Hが形成されている。開口部60Hは底板部60Eを第1方向Zに貫通する。図10に示すように、コイル保持部60Fには、コイル保持穴66が形成されている。なお、図示を省略しているが、コイル保持穴66の第1方向Zの一方側Z1の端部に受け部を形成することもできる。
第1カバー部材16は矩形の板状であり、ホルダ60の底板部60Eに第1方向Zの一方側Z1から当接する。第2カバー部材17はホルダ60に第1方向Zの他方側Z2から被せられている。第2カバー部材17は、矩形の端板部17Cと、端板部17Cの外周縁から第1方向Zの一方側Z1へ立ち上がる筒部17Dを備える。筒部17Dの第1方向Zの一方側Z1の先端の内側に、ホルダ60の底板部60Eと第1カバー部材16が嵌合する。
(磁気駆動回路)
図9に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。図10に示すように、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル7は、コイル保持穴66に第1方向Zの他方側Z2から装着され、接着剤等によってコイル保持部60Fに固定されている。
図9に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。図10に示すように、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル7は、コイル保持穴66に第1方向Zの他方側Z2から装着され、接着剤等によってコイル保持部60Fに固定されている。
(可動体)
図9、図10に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有する。磁石8は、第1ヨーク86の第1板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石81と、第2ヨーク87の第2板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石82とが設けられ、磁石81および磁石82は、コイル7に第1方向Zで対向している。磁石8とヨーク30の構造は実施形態2と同様であるため、同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。図8に示すように、実施形態3のヨーク30の第1連結板部861および第3連結板部871は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1で筒部17Dとコイル保持部60Fとの間を通って第1方向Zに延在し、第2連結板部862および第4連結板部872は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2で筒部17Dとコイル保持部60Fとの間を通って第1方向Zに延在する。
図9、図10に示すように、可動体3は、磁石8と、磁石8を保持するヨーク30を備えている。ヨーク30は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する第1板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する第2板部870を備えた第2ヨーク87とを有する。磁石8は、第1ヨーク86の第1板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石81と、第2ヨーク87の第2板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された磁石82とが設けられ、磁石81および磁石82は、コイル7に第1方向Zで対向している。磁石8とヨーク30の構造は実施形態2と同様であるため、同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。図8に示すように、実施形態3のヨーク30の第1連結板部861および第3連結板部871は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1で筒部17Dとコイル保持部60Fとの間を通って第1方向Zに延在し、第2連結板部862および第4連結板部872は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2で筒部17Dとコイル保持部60Fとの間を通って第1方向Zに延在する。
(粘弾性部材)
図8に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。本形態において、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置されている。また、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、ホルダ60の開口部60Hに通され、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16との間に配置されている。また、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の端板部17Cとの間に配置されている。
図8に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。本形態において、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置されている。また、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、ホルダ60の開口部60Hに通され、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16との間に配置されている。また、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の端板部17Cとの間に配置されている。
第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、実施形態1、2と同様に、第1方向Zを厚み方向として、第1方向Zと直交する方向に平板状に延在する。なお、実施形態1、2の第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、第1方向Zから見て矩形であったが、実施形態3の第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は第1方向Zから見て円形である。また、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の第1板部860と第1カバー部材16との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の第2板部870と第2カバー部材17の端板部17Cとの間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。
(実施形態3の主な効果)
以上説明したように、実施形態3のアクチュエータ1Cは、実施形態1、2と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1、2と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
以上説明したように、実施形態3のアクチュエータ1Cは、実施形態1、2と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1、2と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
[実施形態4]
図11は、本発明の実施形態4に係るアクチュエータ1Dの斜視図である。図12は、実施形態4のアクチュエータ1DのXZ断面図である。図13は、実施形態4のアクチュエータ1Dの分解斜視図である。実施形態4のアクチュエータ1Dは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
図11は、本発明の実施形態4に係るアクチュエータ1Dの斜視図である。図12は、実施形態4のアクチュエータ1DのXZ断面図である。図13は、実施形態4のアクチュエータ1Dの分解斜視図である。実施形態4のアクチュエータ1Dは、磁気駆動回路6によって可動体3を第2方向Xに振動させる。
(支持体)
図11、図12に示すように、実施形態4のアクチュエータ1Dにおいて、支持体2は、角筒状の筒状ケース4と、筒状ケース4の内側に保持されるカバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図13に示すように、筒状ケース4は第1ケース410と第2ケース420の2部材から構成され、筒状に接合されている。筒状ケース4には板バネ部430が形成され、第1カバー部材16と第2カバー部材17には、それぞれ、第1方向Zに見て板バネ部430と重なる位置に矩形の凹部が形成されている。支持体2の第2方向Xの一方側X1の側面には、配線基板15が取り付けられている。筒状ケース4を用いることにより、接着材を用いずにカバー11を組み立てることができ、ネジ止めも不要である。
図11、図12に示すように、実施形態4のアクチュエータ1Dにおいて、支持体2は、角筒状の筒状ケース4と、筒状ケース4の内側に保持されるカバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。図13に示すように、筒状ケース4は第1ケース410と第2ケース420の2部材から構成され、筒状に接合されている。筒状ケース4には板バネ部430が形成され、第1カバー部材16と第2カバー部材17には、それぞれ、第1方向Zに見て板バネ部430と重なる位置に矩形の凹部が形成されている。支持体2の第2方向Xの一方側X1の側面には、配線基板15が取り付けられている。筒状ケース4を用いることにより、接着材を用いずにカバー11を組み立てることができ、ネジ止めも不要である。
図12、図13に示すように、第1カバー部材16には、第1方向Zの他方側Z2に向かって開口する凹部165が形成されている。第1カバー部材16において、凹部165は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部161と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部162と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部163と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部164とによって囲まれている。
第2カバー部材17は、第1カバー部材16に対して第1方向Zで略対称に形成されている。第2カバー部材17には、第1方向Zの一方側Z1に向かって開口する凹部175が形成されている。図12、図13に示すように、第2カバー部材17において、凹部175は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部171と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部172と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部173と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部174とによって囲まれている。
(磁気駆動回路)
図14は、実施形態4のアクチュエータ1Dの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。図12、図14に示すように、実施形態4において、コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル71、72と、コイル71、72の第1方向Zの他方側Z2において第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル73、74からなり、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル7はホルダ60に保持されている。
図14は、実施形態4のアクチュエータ1Dの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。図12、図14に示すように、実施形態4において、コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル71、72と、コイル71、72の第1方向Zの他方側Z2において第2方向Xで並列するように配置された2つのコイル73、74からなり、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル7はホルダ60に保持されている。
(ホルダ)
図13、図14に示すように、ホルダ60は、第1ホルダ61と、第1ホルダ61に対して第1方向Zの他方側Z2から当接する第2ホルダ62を備える。第2ホルダ62は、第1ホルダ61に対して第1方向Zで略対称に形成されている。第1ホルダ61および第2ホルダ62において、一方の対角位置および他方の対角位置には、貫通孔60cが形成されている。貫通孔60cは、第1ホルダ61と第2ホルダ62とが第1方向Zに当接する部位に設けられている。4箇所の貫通孔60cには、それぞれ、位置決めピン69が挿通される。位置決めピン69により、第1ホルダ61と第2ホルダ62が第1方向Zと直交する方向に位置決めされるとともに、第1ホルダ61と第2ホルダ62が結合される。
図13、図14に示すように、ホルダ60は、第1ホルダ61と、第1ホルダ61に対して第1方向Zの他方側Z2から当接する第2ホルダ62を備える。第2ホルダ62は、第1ホルダ61に対して第1方向Zで略対称に形成されている。第1ホルダ61および第2ホルダ62において、一方の対角位置および他方の対角位置には、貫通孔60cが形成されている。貫通孔60cは、第1ホルダ61と第2ホルダ62とが第1方向Zに当接する部位に設けられている。4箇所の貫通孔60cには、それぞれ、位置決めピン69が挿通される。位置決めピン69により、第1ホルダ61と第2ホルダ62が第1方向Zと直交する方向に位置決めされるとともに、第1ホルダ61と第2ホルダ62が結合される。
第1ホルダ61および第2ホルダ62には、2つのコイル保持穴66、67が第2方向Xで並列するように形成されており、コイル保持穴66、67にコイル7が配置されている。コイル保持穴66、67には受け部661、671が形成されている。コイル保持穴66、67にコイル7を装着すると、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部661、671によって第1方向Zに支持される。この状態で、コイル7は接着剤等によって第1ホルダ61および第2ホルダ62に固定される。
第1ホルダ61および第2ホルダ62は、コイル保持穴66、67が形成されている部分に対して、第2方向Xの一方側X1、第2方向Xの他方側X2、第3方向Yの一方側Y1、および第3方向Yの他方側Y2には、第1壁部610、第2壁部620、第3壁部630、および第4壁部640を備えている。コイル保持穴66と第1壁部610との間に第1開口部601が形成され、コイル保持穴67と第2壁部620との間に第2開口部602が形成されている。第1開口部601、および第2開口部602はホルダ60を第1方向Zで貫通している。
第1ホルダ61および第2ホルダ62の第1壁部610には、端子ピン保持溝685が形成されている。端子ピン保持溝685は、第1壁部610の第3方向Yの両端に形成され、それぞれ1本ずつ端子ピン10を保持している。端子ピン保持溝685は、第1壁部610の内側と連通しており、第1壁部610の内側に配置されたコイル7から引き出された導線(図示省略)は、端子ピン保持溝685に引き込まれて端子ピン10に接続される。ホルダ60の第2方向Xの一方側X1の外面には、第1ホルダ61および第2ホルダ62の端子ピン保持溝685からそれぞれ、端子ピン10が2本ずつ突出している。これらの4本の端子ピン10は、配線基板15に形成された孔に挿入され、配線基板15の表面に形成されたランドに接続される。
(可動体)
図12、図14に示すように、可動体3は、磁性板からなるヨーク30と、ヨーク30に固定される磁石8を備える。ヨーク30は、第1板部311を備える第1ヨーク31と、第1板部311の第1方向Zの他方側Z2に配置される第2板部321を備える第2ヨーク32と、第2板部321の第1方向Zの他方側Z2に配置される第3板部331を備える第3ヨーク33とを有しており、第1板部311、第2板部321、第3板部331は第2方向Xに平行に延在する。図12に示すように、第2板部321は、第1ホルダ61に保持されるコイル71、72と第2ホルダ62に保持されるコイル73、74の間に配置される。磁石8は、コイル71、72と第1方向Zに対向する磁石81、82と、コイル73、74と第1方向Zに対向する磁石83、84を備える。磁石81、82は第1板部311のコイル7と対向する面に固定され、磁石83、84は第3板部331のコイル7と対向する面に固定されている。
図12、図14に示すように、可動体3は、磁性板からなるヨーク30と、ヨーク30に固定される磁石8を備える。ヨーク30は、第1板部311を備える第1ヨーク31と、第1板部311の第1方向Zの他方側Z2に配置される第2板部321を備える第2ヨーク32と、第2板部321の第1方向Zの他方側Z2に配置される第3板部331を備える第3ヨーク33とを有しており、第1板部311、第2板部321、第3板部331は第2方向Xに平行に延在する。図12に示すように、第2板部321は、第1ホルダ61に保持されるコイル71、72と第2ホルダ62に保持されるコイル73、74の間に配置される。磁石8は、コイル71、72と第1方向Zに対向する磁石81、82と、コイル73、74と第1方向Zに対向する磁石83、84を備える。磁石81、82は第1板部311のコイル7と対向する面に固定され、磁石83、84は第3板部331のコイル7と対向する面に固定されている。
コイル7は第1方向Zを厚さ方向とする扁平コイルである。磁石81、82および磁石83、84は、それぞれ、コイル7の長辺701と第1方向Zに対向する2本の長方形の磁石によって構成されている。磁石8は、第1方向Zを厚さ方向とし、第2方向Xおよび第3方向Yに延在する平板状に形成されている。磁石8は、厚さ方向(第1方向Z)で分極着磁されている。
第1ヨーク31は、第1板部311の第2方向Xの一方側X1の端部において第1板部311から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と溶接等により連結された第1連結板部312と、第2方向Xの他方側X2の端部において第1板部311から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して溶接等により第2ヨーク32と連結された第2連結板部313を備える。第1連結板部312は、コイル71に対して第2方向Xの一方側X1を通る際、第1ホルダ61の第1開口部601を通る。また、第2連結板部313は、コイル72に対して第2方向Xの他方側Z2を通る際、第1ホルダ61の第2開口部602を通る。
第3ヨーク33は、第1ヨーク31に対して第1方向Zで略対称に形成されている。第3ヨーク33は、第3板部331の第2方向Xの一方側X1の端部において第3板部331から第1方向Zの一方側Z1に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と溶接等により連結された第3連結板部332と、第2方向Xの他方側X2の端部において第3板部331から第1方向Zの一方側Z1に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と溶接等により連結された第4連結板部333を備える。第3連結板部332は、コイル73に対して第2方向Xの一方側X1を通る際、第2ホルダ62の第1開口部601を通る。また、第4連結板部333は、コイル74に対して第2方向Xの他方側Z2を通る際、第2ホルダ62の第2開口部602を通る。
ヨーク30には、可動体3の重量を確保するための第1ウェイト41および第2ウェイト42が固定されている。第1ウェイト41は、ヨーク30の第1板部311と第2板部321の間に配置され、第2ウェイト42は、ヨーク30の第2板部321と第3板部331の間に配置されている。第1ウェイト41および第2ウェイト42は、ヨーク30の第2方向Xの中央に配置され、第1ウェイト41は、第2方向Xに並列する2つのコイル7(コイル71、72)と磁石8(磁石81、82)の間に配置されている。また、第2ウェイト42は、第2方向Xに並列する2つのコイル7(コイル73、74)と磁石8(磁石83、84)の間に配置されている。
第1ウェイト41および第2ウェイト42は、リベット43によってヨーク30に固定される。図14に示すように、第1ウェイト41および第2ウェイト42は、第3方向Yの幅が第2方向Xよりも長く、リベット43は、第3方向Yに離間した2箇所に配置されている。第1ウェイト41および第2ウェイト42と、ヨーク30の第1板部311、第2板部321、および第3板部331には、それぞれ、リベット43を通すための貫通孔が第1方向Zから見て重なる位置に形成されている。
図12、図14に示すように、第1ホルダ61および第2ホルダ62には、2つのコイル保持穴66、67の間にウェイト配置穴65が形成されている。第1ウェイト41は、第1ホルダ61のウェイト配置穴65に配置され、第2ウェイト42は、第2ホルダ62のウェイト配置穴65に配置される。ウェイト配置穴65は、第1ウェイト41および第2ウェイト42より一回り大きい。第1ウェイト41および第2ウェイト42は、可動体3が第2方向Xに大きく移動した際に、ウェイト配置穴65の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制するストッパを構成している。
また、第3ヨーク33の第3連結板部332および第4連結板部333は、第2ホルダ62の第1開口部601および第2開口部602の内周面と第2方向Xに対向する。従って、第3連結板部332および第4連結板部333は、可動体3が第2方向Xに大きく移動した際に、第1開口部601および第2開口部602の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制するストッパを構成する。また、第1ヨーク31の第1連結板部312および第2連結板部313と、第1ホルダ61の第1開口部601および第2開口部602の内周面との間においても、同様のストッパが構成されている。
(粘弾性部材)
図12に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態4では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク31と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第3ヨーク33と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31の第1板部311と第1カバー部材16の凹部165の底部との間に2つ配置され、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33の第3板部331と第2カバー部材17の凹部175の底部との間に2つ配置されている。
図12に示すように、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態4では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク31と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第3ヨーク33と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31の第1板部311と第1カバー部材16の凹部165の底部との間に2つ配置され、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33の第3板部331と第2カバー部材17の凹部175の底部との間に2つ配置されている。
第1カバー部材16の凹部165の第2方向Xの中央には、第3方向Yに延在するリブ168が形成されている。リブ168の第3方向Yの両端および中央の3箇所には、第1方向Zの他方側Z2に突出する第1凸部169が形成されている。第1粘弾性部材91は、リブ168の第2方向Xの両側の2箇所に配置されている。同様に、第2カバー部材17の凹部175の第2方向Xの中央には、第3方向Yに延在するリブ178が形成され、リブ178の第3方向Yの両端および中央の3箇所には、第1方向Zの他方側Z2に突出する第2凸部179が形成されている。第2粘弾性部材92は、リブ178の第2方向Xの両側の2箇所に配置されている。
第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、第1方向Zを厚み方向として配置され、第2方向Xおよび第3方向Yに平板状に延在する。また、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31の第1板部311と第1カバー部材16の凹部165の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33の第3板部331と第2カバー部材17の凹部175の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。第1カバー部材16に形成された第1凸部169、および、第2カバー部材17に形成された第2凸部179は、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92の第1方向Zの潰れ量を規制するストッパとして機能する。
(実施形態4の主な効果)
以上説明したように、実施形態4のアクチュエータ1Dは、実施形態1~3と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1~3と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
以上説明したように、実施形態4のアクチュエータ1Dは、実施形態1~3と同様に、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、磁気駆動回路6は、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2との間に配置されており、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9はせん断方向に変形する。従って、可動体3が第2方向Xに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1~3と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
[実施形態5]
図15は、本発明の実施形態5に係るアクチュエータ1Eの斜視図である。図16は、実施形態5のアクチュエータ1EのXZ断面図である。図17は、実施形態4のアクチュエータ1Eの分解斜視図である。実施形態5のアクチュエータ1Eは、磁気駆動回路6として、可動体3を第2方向Xに振動させる第1磁気駆動回路6Xと、可動体3を第3方向Yに振動させる第2磁気駆動回路6Yを備える。
図15は、本発明の実施形態5に係るアクチュエータ1Eの斜視図である。図16は、実施形態5のアクチュエータ1EのXZ断面図である。図17は、実施形態4のアクチュエータ1Eの分解斜視図である。実施形態5のアクチュエータ1Eは、磁気駆動回路6として、可動体3を第2方向Xに振動させる第1磁気駆動回路6Xと、可動体3を第3方向Yに振動させる第2磁気駆動回路6Yを備える。
(支持体)
図15、図16に示すように、実施形態5のアクチュエータ1Eにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側にホルダ60および可動体3が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。第1カバー部材16と第2カバー部材17は、第1方向Zから見て矩形であり、4本のネジ18により固定される。第1カバー部材16の一方の対角位置および他方の対角位置には、第2カバー部材17に向けて突出するボス部12が形成されている。ボス部12は、第1方向Zの途中位置に形成された段面12aと、段面12aより第1方向ZのZ2へ突出する円筒部12bを備える。ネジ18は、第2カバー部材17の穴に挿入される円筒部12bにネジ止めされる。
図15、図16に示すように、実施形態5のアクチュエータ1Eにおいて、支持体2は、カバー11とホルダ60とを有しており、カバー11の内側にホルダ60および可動体3が配置されている。カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有する。第1カバー部材16と第2カバー部材17は、第1方向Zから見て矩形であり、4本のネジ18により固定される。第1カバー部材16の一方の対角位置および他方の対角位置には、第2カバー部材17に向けて突出するボス部12が形成されている。ボス部12は、第1方向Zの途中位置に形成された段面12aと、段面12aより第1方向ZのZ2へ突出する円筒部12bを備える。ネジ18は、第2カバー部材17の穴に挿入される円筒部12bにネジ止めされる。
第2カバー部材17には、第2方向Xの一方側X1の側面を第1方向Zの他方側Z2へ切り欠いた切り欠き13が形成されている。第1カバー部材16は、第2カバー部材17の切り欠き13と第1方向Zで対向する立ち上がり部14を備える。立ち上がり部14は、切り欠き13との間に配線基板15を配置するスリットを構成する。配線基板15には、コイル7への給電線等が接続される。
図18は、実施形態5のアクチュエータ1Eの磁気駆動回路6、ヨーク30、およびホルダ60の分解斜視図である。図17、図18に示すように、ホルダ60の四隅には、円形穴609が開口する。ホルダ60は、円形穴609にボス部12が挿入されて、段面12aに載った位置で保持される。ホルダ60は、第1ホルダ61と、第1ホルダ61に対して第1方向Zの他方側Z2から当接する第2ホルダ62を備える。第2ホルダ62は、第1ホルダ61に対して第1方向Zで略対称に形成されている。
第1ホルダ61および第2ホルダ62の4辺の中央には、内周側へ凹む凹部650が形成されている。第2方向Xで対向する2つの凹部650の内側に第1磁気駆動回路6Xのコイル71、72が保持される。また、第3方向Yで対向する2つの凹部650の内側に第2磁気駆動回路6Yのコイル73、74が保持される。コイル71、72は、有効辺となる長辺701が第3方向Yに延在する扁平な空芯コイルであり、コイル73、74は、有効辺となる長辺701が第2方向Xに延在する扁平な空芯コイルである。コイル71、72とコイル73、74は、第1ホルダ61および第2ホルダ62に形成した長円形のコイル保持穴66に保持される。また、第1ホルダ61および第2ホルダ62の中央には円形穴651が形成されている。
(可動体)
可動体3は、磁性板からなるヨーク30と、ヨーク30に固定される磁石8を備える。図16、図18に示すように、ヨーク30は、第1ヨーク31と、第1ヨーク31の第1方向Zの他方側Z2に配置される第2ヨーク32と、第2ヨーク32の第1方向Zの他方側Z2に配置される第3板部331を備える第3ヨーク33を備える。また。ヨーク30は、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33を第1方向Zで位置決めして連結する連結部材34を備える。連結部材34は磁性材であり、溶接等により第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33と接合され、ヨーク30の一部を構成する。
可動体3は、磁性板からなるヨーク30と、ヨーク30に固定される磁石8を備える。図16、図18に示すように、ヨーク30は、第1ヨーク31と、第1ヨーク31の第1方向Zの他方側Z2に配置される第2ヨーク32と、第2ヨーク32の第1方向Zの他方側Z2に配置される第3板部331を備える第3ヨーク33を備える。また。ヨーク30は、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33を第1方向Zで位置決めして連結する連結部材34を備える。連結部材34は磁性材であり、溶接等により第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33と接合され、ヨーク30の一部を構成する。
図19は、実施形態5の磁気駆動回路6およびヨーク30の斜視図である。第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33は第1方向Zに対して垂直な板状部材であり、第1方向Zから見たときに同一形状である。第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33は、第1方向Zから見たときに十字形である。第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33は、それぞれ、円形穴302が形成された中央部301と、中央部301から第2方向Xの一方側X1および他方側X2に突出する第1腕部310および第2腕部320と、中央部301から第3方向Yの一方側Y1および他方側Y2に突出する第3腕部330および第4腕部340を備える。
図16に示すように、第1ヨーク31は、第1ホルダ61と第1カバー部材16との間に配置されている。また、第2ヨーク32は、第1ホルダ61と第2ホルダ62との間に配置され、第3ヨーク33は、第2ホルダ62と第2カバー部材17との間に配置されている。磁石8は、第1ヨーク31において第1ホルダ61に保持されたコイル7と対向する面に固定された磁石8と、第2ヨーク32の両面(すなわち、第1ホルダ61に保持されたコイル7と対向する面、および、第2ホルダ62に保持されたコイル7と対向する面)に固定された磁石8と、第3ヨーク33において第2ホルダ62に保持されたコイル7と対向する面に固定された磁石8からなる。すなわち、実施形態5では、第1ホルダ61に保持されるコイル7の第1方向Zの両側、および、第2ホルダ62に保持されるコイル7の第1方向Zの両側にそれぞれ磁石8が配置されている。
磁石8は、第1磁気駆動回路6Xのコイル71、72と第1方向Zに対向する磁石81、82と、第2磁気駆動回路6Yのコイル73、74と第1方向Zに対向する磁石83、84からなる。磁石81は、各ヨークの第1腕部310に固定され、磁石82は、各ヨークの第2腕部320に固定され、磁石83は、各ヨークの第3腕部330に固定され、磁石84は、各ヨークの第4腕部340に固定されている。各磁石8は、厚さ方向で分極着磁されている。また、各コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1と他方側Z2で対向する2つの磁石8は、コイル7と対向する面が異なる極に着磁されている。
図19に示すように、ヨーク30は、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33および連結部材34を組み立てた組立体である。連結部材34は、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33の第1腕部310の先端を連結する第1連結部材341と、第2腕部320の先端を連結する第2連結部材342と、第3腕部330の先端を連結する第3連結部材343と、第4腕部340の先端を連結する第4連結部材344を備える。各連結部材34は、第1方向Zの一方側Z1の端部に第1ヨーク31の端部が略直角に接合され、第1方向Zの他方側Z2の端部に第3ヨーク33が略直角に接合される。また、第1方向Zの中央部には、第2ヨーク32の端部が略直角に接合されている。
第1ヨーク31は、連結部材34の第1方向Zの一方側Z1の端面と同一面上に位置するように位置決めされ、第3ヨーク33は、連結部材34の第1方向Zの他方側Z2の端面と同一面上に位置するように位置決めされている。従って、ヨーク30の第1方向Zの高さは、連結部材34の第1方向Zの高さと一致する。図17などに示すように、ヨーク30を組み立ててホルダ60に対して組み付けると、連結部材34は、ホルダ60の凹部650と第2カバー部材17との隙間に配置される。従って、連結部材34は、可動体3が第2方向Xおよび第3方向Yに移動する際、凹部650の内面および第2カバー部材17の内面と衝突して可動体3の第2方向Xおよび第3方向Yの可動範囲を規制するストッパを構成する。
図16に示すように、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33の中央部301には、第1方向Zに延在する軸部35が取り付けられている。軸部35は、第1ホルダ61および第2ホルダ62の中央に形成された円形穴651に通されている。軸部35は、第1ヨーク31と第2ヨーク32の間に配置される第1軸部351と、第1軸部351の第1方向Zの他方側Z2に接続され、第2ヨーク32と第3ヨーク33の間に配置される第2軸部352を備える。第1軸部351および第2軸部352の端部は、第1ヨーク31、第2ヨーク32、第3ヨーク33の中央部301に形成された円形穴302に嵌合している。
(粘弾性部材)
図16に示すように、実施形態5においても、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態5では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク31と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第3ヨーク33と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。実施形態5では、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31の第1腕部310、第2腕部320、第3腕部330、第4腕部340と第1カバー部材16とが第1方向Zに対向する4箇所に1つずつ配置されている。また、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33の第1腕部310、第2腕部320、第3腕部330、第4腕部340と第2カバー部材17とが第1方向Zに対向する4箇所に1つずつ配置されている。
図16に示すように、実施形態5においても、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所には粘弾性部材9が配置されている。実施形態5では、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク31と支持体2の第1カバー部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第3ヨーク33と支持体2の第2カバー部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。実施形態5では、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31の第1腕部310、第2腕部320、第3腕部330、第4腕部340と第1カバー部材16とが第1方向Zに対向する4箇所に1つずつ配置されている。また、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33の第1腕部310、第2腕部320、第3腕部330、第4腕部340と第2カバー部材17とが第1方向Zに対向する4箇所に1つずつ配置されている。
第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、第1方向Zを厚み方向として配置され、第1方向Zと直交する第2方向Xおよび第3方向Yに延在する。また、第1方向Zから見た第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92の形状は正方形であり、第2方向Xの寸法と第3方向Yの寸法が同一である。第1粘弾性部材91は、第1ヨーク31と第1カバー部材16との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第3ヨーク33と第2カバー部材17との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、支持体2と接する面、および、可動体3と接する面に接着されている。
(実施形態5の主な効果)
以上説明したように、実施形態5のアクチュエータ1Eは、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、第1磁気駆動回路6Xは、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動し、第2磁気駆動回路6Yは、可動体3を第1方向Zに交差する第3方向Yに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2の間に配置され、可動体3が支持体2に対して第2方向Xおよび第3方向Yに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1~4と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
以上説明したように、実施形態5のアクチュエータ1Eは、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に粘弾性部材9が配置されており、第1磁気駆動回路6Xは、可動体3を第1方向Zに交差する第2方向Xに駆動し、第2磁気駆動回路6Yは、可動体3を第1方向Zに交差する第3方向Yに駆動する。また、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚み方向として可動体3と支持体2の間に配置され、可動体3が支持体2に対して第2方向Xおよび第3方向Yに移動する際、粘弾性部材9は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する。従って、実施形態1~4と同様に、可動体3を振動させた際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。また、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。更に、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、粘弾性部材9が大きく変形することを抑制できるので、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
1A、1B、1C、1D、1E…アクチュエータ、2…支持体、3…可動体、4…筒状ケース、6…磁気駆動回路、6X…第1磁気駆動回路、6Y…第2磁気駆動回路、7、71、72、73、74…コイル、8、81、82、83、84…磁石、9…粘弾性部材、10…端子ピン、11…カバー、12…ボス部、12a…段面、12b…円筒部、13…切り欠き、14…立ち上がり部、15…配線基板、16…第1カバー部材、16A…第1端板部、16B…第1側板部、17…第2カバー部材、17A…第2端板部、17B…第2側板部、17C…端板部、17D…筒部、18、19…ネジ、30…ヨーク、31…第1ヨーク、32…第2ヨーク、33…第3ヨーク、34…連結部材、35…軸部、41…第1ウェイト、42…第2ウェイト、43…リベット、60…ホルダ、60A…筒部、60B…コイル保持部、60C…第1開口部、60D…第2開口部、60E…底板部、60F…コイル保持部、60G…側板部、60H…開口部、60c…貫通孔、61…第1ホルダ、62…第2ホルダ、65…ウェイト配置穴、66、67…コイル保持穴、69…位置決めピン、75…導線、86…第1ヨーク、87…第2ヨーク、91…第1粘弾性部材、92…第2粘弾性部材、113…カバーの側面、118…第1被当接部、119…第2被当接部、151…ランド、155…位置決め用の穴、160…凹部、161…第1壁部、161a…凸板部、162…第2壁部、162a…凸板部、163…第3壁部、163a…凸板部、164…第4壁部、164a…凸板部、165…凹部、165a…凹部の底面、166、167…凹部、168…リブ、169…第1凸部、170…凹部、171…第1壁部、171a…凸板部、172…第2壁部、173…第3壁部、173a…凸板部、174…第4壁部。175…凹部、175a…凹部の底面、176、177…凹部、178…リブ、179…第2凸部、301…中央部、302…円形穴、310…第1腕部、311…第1板部、312…第1連結板部、313…第2連結板部、320…第2腕部、321…第2板部、330…第3腕部、331…第3板部、332…第3連結板部、333…第4連結板部、340…第4腕部、341…第1連結部材、342…第2連結部材、343…第3連結部材、344…第4連結部材、351…第1軸部、352…第2軸部、410…第1ケース、420…第2ケース、430…板バネ部、601…第1開口部、602…第2開口部、609…円形穴、610…第1壁部、611、612…凹部、620…第2壁部、622…凹部、630…第3壁部、631、632…凹部、635…凹部、636…凸部、637…ガイド溝、638…穴、640…第4壁部、642…凹部、650…凹部、651…円形穴、661、671…受け部、685…端子ピン保持溝、701…長辺、702…短辺、860…第1板部、861…第1連結板部、862…第2連結板部、870…第2板部、871…第1連結板部、872…第2連結板部、Z…第1方向、X…第2方向、Y…第3方向
Claims (9)
- 支持体と、
前記支持体に移動可能に支持された可動体と、
コイルおよび前記コイルに第1方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向に交差する第2方向に相対移動させる磁気駆動回路と、
前記支持体と前記可動体とが前記第1方向で対向する個所に配置された粘弾性部材と、を有し、
前記粘弾性部材は、前記第1方向を厚み方向として配置され、前記可動体が前記支持体に対して前記第2方向に移動する際、せん断方向に変形することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記コイルは、前記第1方向を厚み方向とする扁平コイルであり、
前記磁石は、前記第1方向を厚み方向とする平板状の磁石であり、
前記粘弾性部材は、前記第1方向と直交する方向に延在することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記支持体は、前記可動体の前記第1方向の一方側に配置される第1カバー部材と、前記可動体の前記第1方向の他方側に配置される第2カバー部材を備え、
前記粘弾性部材は、前記可動体と前記第1カバー部材との間、および、前記可動体と前記第2カバー部材との間に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。 - 前記可動体は、前記第1方向から見て重なる複数のヨークと、前記複数のヨークを前記第1方向で位置決めして連結する連結部材を備え、
前記支持体は、前記複数のヨークの前記第1方向の一方側に配置される第1カバー部材と、前記複数のヨークの前記第1方向の他方側に配置される第2カバー部材を備え、
前記粘弾性部材は、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第1カバー部材との間、および、前記複数のヨークを前記連結部材で連結した組立体と前記第2カバー部材との間に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。 - 前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石を保持するホルダを備え、
前記粘弾性部材は、前記ホルダと前記可動体とが前記第1方向で対向する個所に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。 - 前記粘弾性部材は、前記第1方向で圧縮された状態で配置されることを特徴とする請求項1から5の何れか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記支持体は、前記粘弾性部材が接続される面から前記可動体に向けて突出する凸部を備えることを特徴とする請求項1から6の何れか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記支持体の前記粘弾性部材が接する部分は、凹部になっていることを特徴とする請求項1から7の何れか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項1から8の何れか一項に記載のアクチュエータ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE112018003334.1T DE112018003334T5 (de) | 2017-06-30 | 2018-06-11 | Aktuator |
US16/627,338 US11271465B2 (en) | 2017-06-30 | 2018-06-11 | Actuator having a viscoelastic member arranged for a moveable body |
CN201880043021.8A CN110800200B (zh) | 2017-06-30 | 2018-06-11 | 致动器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017-128673 | 2017-06-30 | ||
JP2017128673A JP6944287B2 (ja) | 2017-06-30 | 2017-06-30 | アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2019003873A1 true WO2019003873A1 (ja) | 2019-01-03 |
Family
ID=64740706
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/022169 WO2019003873A1 (ja) | 2017-06-30 | 2018-06-11 | アクチュエータ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11271465B2 (ja) |
JP (1) | JP6944287B2 (ja) |
CN (1) | CN110800200B (ja) |
DE (1) | DE112018003334T5 (ja) |
WO (1) | WO2019003873A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220352801A1 (en) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7393868B2 (ja) * | 2019-02-08 | 2023-12-07 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ及び触覚デバイス |
JP7222661B2 (ja) * | 2018-10-31 | 2023-02-15 | ミネベアミツミ株式会社 | 振動アクチュエータ及び振動呈示装置 |
JP7266852B2 (ja) * | 2019-02-25 | 2023-05-01 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
JP7267551B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2023-05-02 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
JP7250610B2 (ja) * | 2019-05-08 | 2023-04-03 | 日本電産サンキョー株式会社 | 振動アクチュエータ及び触覚デバイス |
JP7240948B2 (ja) * | 2019-05-13 | 2023-03-16 | アルプスアルパイン株式会社 | 振動発生装置 |
JP7463062B2 (ja) | 2019-05-30 | 2024-04-08 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
JP2021052449A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ及び触覚デバイス |
JP7431085B2 (ja) | 2020-03-31 | 2024-02-14 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータおよびダンパーユニット |
JP7410791B2 (ja) * | 2020-04-28 | 2024-01-10 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
CN113572333B (zh) | 2020-04-28 | 2024-03-29 | 日本电产三协株式会社 | 致动器 |
JP7481919B2 (ja) | 2020-06-22 | 2024-05-13 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
JP7474656B2 (ja) | 2020-08-11 | 2024-04-25 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータおよびその製造方法 |
JP7481987B2 (ja) | 2020-10-01 | 2024-05-13 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
JP2022065840A (ja) | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
JP2022083510A (ja) | 2020-11-25 | 2022-06-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
JP2022098582A (ja) | 2020-12-22 | 2022-07-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
CN214626754U (zh) * | 2021-03-31 | 2021-11-05 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 一种线性振动马达 |
CN215186386U (zh) * | 2021-04-29 | 2021-12-14 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 线性振动电机 |
CN217720995U (zh) * | 2022-01-25 | 2022-11-01 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 振动电机 |
JP2023173925A (ja) * | 2022-05-27 | 2023-12-07 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | アクチュエータ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016104349A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100773545B1 (ko) * | 2006-02-15 | 2007-11-06 | 삼성전자주식회사 | 로킹장치를 구비한 x-y스테이지 구동장치와, 이를 채용한정보저장기기 |
KR101069997B1 (ko) * | 2009-09-11 | 2011-10-04 | 삼성전기주식회사 | 리니어 진동 모터 |
KR20160133431A (ko) | 2014-03-17 | 2016-11-22 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 리니어 액추에이터 |
CN110323910B (zh) | 2014-07-30 | 2021-11-19 | 日本电产三协株式会社 | 线性致动器 |
JP6648984B2 (ja) | 2014-12-26 | 2020-02-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
JP6553460B2 (ja) | 2015-09-14 | 2019-07-31 | 日本電産サンキョー株式会社 | リニアアクチュエータ |
CN207530688U (zh) * | 2017-04-14 | 2018-06-22 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 振动电机 |
JP7261699B2 (ja) * | 2019-08-28 | 2023-04-20 | アルプスアルパイン株式会社 | 振動発生装置 |
-
2017
- 2017-06-30 JP JP2017128673A patent/JP6944287B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-11 DE DE112018003334.1T patent/DE112018003334T5/de active Pending
- 2018-06-11 CN CN201880043021.8A patent/CN110800200B/zh active Active
- 2018-06-11 WO PCT/JP2018/022169 patent/WO2019003873A1/ja active Application Filing
- 2018-06-11 US US16/627,338 patent/US11271465B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016104349A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220352801A1 (en) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112018003334T5 (de) | 2020-03-12 |
JP2019013086A (ja) | 2019-01-24 |
CN110800200A (zh) | 2020-02-14 |
US20200161955A1 (en) | 2020-05-21 |
CN110800200B (zh) | 2021-10-01 |
US11271465B2 (en) | 2022-03-08 |
JP6944287B2 (ja) | 2021-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2019003873A1 (ja) | アクチュエータ | |
WO2018030265A1 (ja) | リニアアクチュエータ | |
US11411482B2 (en) | Actuator with two magnetic drive circuits to vibrate a body in two directions | |
CN110323911B (zh) | 致动器 | |
WO2019003874A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2019013095A (ja) | アクチュエータ | |
JP6858088B2 (ja) | アクチュエータ | |
WO2019003877A1 (ja) | アクチュエータ | |
WO2019003875A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP7020809B2 (ja) | アクチュエータ | |
WO2018180946A1 (ja) | アクチュエータ | |
WO2018030269A1 (ja) | 振動発生装置 | |
JP7020810B2 (ja) | アクチュエータ | |
CN110799273B (zh) | 致动器 | |
JP2019013089A (ja) | アクチュエータ | |
US20200059145A1 (en) | Actuator | |
US20200059147A1 (en) | Actuator | |
JP6914121B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP7267551B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP7199941B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP7235488B2 (ja) | アクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法 | |
JP7252744B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP7165014B2 (ja) | アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 18825139 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 18825139 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |