JP7199941B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関するものである。

情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体と、可動体と、支持体および可動体に接続された接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路とを有するアクチュエータが提案されており、磁気駆動回路は、例えば、第１方向で対向するコイルおよび磁石によって、可動体を第１方向と交差する第２方向に駆動する（特許文献１参照）。特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、支持体では、第１ケース部材、ホルダ、および第２ケース部材が第１方向に重ねて配置されている。

特開２０１７－１３５９４８号公報

特許文献１に記載のアクチュエータでは、第１ケース部材、ホルダ、および第２ケース部材の角部同士が互いに重なって支持部を構成している。しかしながら、第１ケース部材、ホルダ、および第２ケース部材を製造する際の寸法公差等の影響で第１ケース部材、ホルダ、および第２ケース部材の角部に隙間が発生すると、可動体が駆動された際の振動で角部同士が衝突し、びびり音が発生するという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体からのびびり音の発生を抑制することのできるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、前記支持体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動回路と、を備え、前記支持体は、前記磁気駆動回路のコイルおよび磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダに第１方向の一方側で重なる第１ケース部材と、を備え、前記第１ケース部材の角付近である第１角部と前記ホルダの角付近である第２角部とは前記第１方向で重なって第１支持部を構成し、前記第１支持部には、前記第１角部と前記第２角部とが前記第１方向で離間する第１非接触領域と、前記第１非接触領域に隣接する位置で前記第１角部と前記第２角部とが前記第１方向で接する第１接触領域と、が設けられ、前記支持体は、前記ホルダに前記第１方向の他方側で重なる第２ケース部材を備え、前記第２角部と前記第２ケース部材の角付近である第３角部とは前記第１方向で重なって第２支持部を構成しており、前記第２支持部には、前記第２角部と前記第３角部とが前記第１方向で離間する第２非接触領域と、前記第２非接触領域に隣接する位置で前記第２角部と前記第３角部とが前記第１方向で接する第２接触領域と、が設けられていることを特徴とする。

本発明において、第１ケース部材の第１角部とホルダの第２角部とが第１方向で重なる第１支持部には、第１角部と第２角部とが第１方向で離間する第１非接触領域と、第１角部と第２角部とが第１方向で接する第１接触領域とが設けられているため、第１角部と第２角部とが接触する領域が限定されている。従って、第１角部と第２角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第１支持部に伝わっても、第１支持部からびびり音が発生しにくい。また、かかる態様によれば、第２ケース部材の第３角部とホルダの第２角部とが第１方向で重なる第２支持部には、第２角部と第３角部とが第１方向で離間する第２非接触領域と、第２角部と第３角部とが第１方向で接する第２接触領域とが設けられているため、第２角部と第３角部とが接触する領域が限定されている。従って、第２角部と第３角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第２支持部に伝わっても、第２支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記第１接触領域は、前記第１非接触領域の周りを囲むように設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１角部と第２角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第１支持部に
伝わっても、第１支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記第１非接触領域には接着剤が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１角部と第２角部とが安定した状態で支持し合うことになるので、可動体を駆動した際の振動等が第１支持部に伝わっても、第１支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記支持体の端面では、前記第１角部の外縁部と前記第２角部の外縁部とが第１隙間を介して対向している態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体を駆動した際の振動等が第１支持部に伝わっても、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記第１角部の外縁部、および前記第２角部の外縁部の一方は、前記第１隙間をＬ字状に屈曲させる第１屈曲部を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１隙間からの異物の侵入を抑制することができる。

本発明において、前記第２接触領域は、前記第２非接触領域の周りを囲むように設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２角部と第３角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第２支持部に伝わっても、第２支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記第２非接触領域に接着剤が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２角部と第３角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第２支持部に伝わっても、第２支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記支持体の端面では、前記第２角部の外縁部と前記第３角部の外縁部とが第２隙間を介して対向している態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体を駆動した際の振動等が第２支持部に伝わっても、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記第２角部の外縁部、および前記第３角部の外縁部の一方は、前記第２隙間をＬ字状に屈曲させる第２屈曲部を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２隙間からの異物の侵入を抑制することができる。

本発明において、前記第１ケース部材の前記第１角部から延在する壁部と、前記ホルダの前記第２角部から延在する壁部とは、前記支持体の端面で少なくとも一部が非接触状態
にある態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１ケース部材の壁部とホルダの壁部との間からびびり音が発生しにくい。

本発明において、前記コイルと前記磁石とは前記第１方向で対向し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に対して前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に相対移動させる態様を採用することができる。

本発明において、本発明において、第１ケース部材の第１角部とホルダの第２角部とが第１方向で重なる第１支持部には、第１角部と第２角部とが第１方向で離間する第１非接触領域と、第１角部と第２角部とが第１方向で接する第１接触領域とが設けられているため、第１角部と第２角部とが接触する領域が限定されている。従って、第１角部と第２角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第１支持部に伝わっても、第１支持部からびびり音が発生しにくい。

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図。 図１に示すアクチュエータのＸＺ断面図。 図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図。 図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図。 図２に示す磁気駆動回路の分解斜視図。 図５に示すホルダおよびコイル等の説明図。 図６に示すホルダ等の説明図。 図２に示す可動体の説明図。 図３に示す第１角部および第２角部を第１方向の他方側からみた斜視図。 図４に示す第２角部および第３角部を第１方向の一方側からみた斜視図。 図９に示す第１角部を通る位置で支持体を切断したときのＸＺ断面図。 図９に示す第１角部を通る位置で支持体を切断したときのＹＺ断面図。 図９に示す第１角部の間で支持体を切断したときのＸＺ断面図。 図９に示す第１角部の間で支持体を切断したときのＹＺ断面図。 図９および図１０に示す貫通穴を通る位置で支持体を切断したときのＹＺ断面図。 図９および図１０に示す貫通穴を通る位置で支持体を切断したときのＸＺ断面図。 図５等に示す配線基板とホルダの第３壁部との間の隙間を示す断面図。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

また、以下に説明するアクチュエータ１の磁気駆動回路６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体
２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。

（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。

図１および図２に示すように、本形態のアクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

図１、図２および図３に示すように、支持体２は、ホルダ６０と、ホルダ６０に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で重なる第１ケース部材１６と、ホルダ６０に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で重なる第２ケース部材１７とを有しており、第１ケース部材１６と第２ケース部材１７との間に可動体３および磁気駆動回路６が配置される。第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は各々、四角形の平面形状を有している。第１ケース部材１６の角付近である第１角部１６０、ホルダ６０の角付近である第２角部６００、および第２ケース部材１７の角付近である第３角部１７０は第１方向Ｚで重なっている。本形態において、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７は各々、樹脂製である。なお、角付近とは、角および角に隣接する領域を含む意味である。

図３および図４に示すように、第１ケース部材１６は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれた底板部１６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１６１および第２壁部１６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１６３および第４壁部１６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

第１ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口した位置決め用の穴１６ｃが形成されている。また、第１ケース部材１６の一方の対角位置には、ネジ１８を止めるための有底の穴１６ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１６ｆが形成されている。

底板部１６５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。凹部１６６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の角、および凹部１６７の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の角には貫通穴１６ａが形成されている。凹部１６６、１６７の第３方向Ｙの両端部には貫通穴１６ｂが形成されている。

第３壁部１６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１６８が第２方向Ｘに沿って延在している。第３壁部１６３では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａが第２方向Ｘに沿って所定の間隔に形成されている。第１壁部１６１および第２壁部１６２には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した円柱状の凸部１６１ｈ、１６２ｈが形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。

第２ケース部材１７は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方
向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれた底板部１７５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１７１および第２壁部１７２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１７３および第４壁部１７４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

第２ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の凹部１７ｄが形成されている。また、第２ケース部材１７の一方の対角位置には、ネジ１８を止めるための貫通穴１７ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴１７ｆが形成されている。

底板部１７５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。また、凹部１７６、１７７の縁には、切り欠き１７ｂが形成されている。

第３壁部１７３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１７８が第２方向Ｘに沿って延在している。第１壁部１７１および第２壁部１７２には、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈが嵌る穴１７１ｈ、１７２ｈが形成されている。第１壁部１７１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。

（磁気駆動回路６の構成）
図５は、図２に示す磁気駆動回路６の分解斜視図である。図２および図５に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された第１コイル７１および第２コイル７２からなり、コイル７は、支持体２のうち、ホルダ６０に保持されている。

（コイル７およびホルダ６０の構成）
図６は、図５に示すホルダ６０およびコイル７等の説明図である。図７は、図６に示すホルダ６０等の説明図である。図６および図７に示すように、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第３方向Ｙの一方側Ｙ１にコイル線の端部７０５が引き出されている。

ホルダ６０は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部６４とによって囲まれた底板部６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部６１および第２壁部６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部６３および第４壁部６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

ホルダ６０の一方の対角位置には、ネジ１８を通すための貫通穴６０ｅが形成され、他方の対角位置には貫通穴６０ｆが形成されている。第３壁部６３および第４壁部６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置決め用の凸部６０ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置決め用の凸部６０ｄとが形成されている。

底板部６５には、２つのコイル保持穴６５１、６５２が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６５１、６５２の各々に第１コイル７１および第２コイル７２が配置されている。コイル保持穴６５１、６５２は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２でコイル保持穴６５１、６５２の一部に重なるように張り出した受け部６４１、６４２が形成されている。従って、第１コイル７１および第２コイル７２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からコイル保持穴６５１、６５２に装着すると、コイル
７の短辺７０２（無効部分）が受け部６４１、６４２によって第１方向Ｚの他方側Ｚ１で支持された状態となる。この状態で、ホルダ６０には第１方向Ｚの一方側Ｚ１からプレート２６が重ねられ、プレート２６は、接着剤によって第１コイル７１および第２コイル７２と固定されるとともに、ホルダ６０に固定される。プレート２６は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。

ホルダ６０には、コイル保持穴６５１と第１壁部６１との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６５２と第２壁部６２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０の底板部６５を第１方向Ｚで貫通している。第１開口部６０１、および第２開口部６０２の内周面には切り欠き６０３が形成されている。

第１壁部６１において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。第２壁部６２において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６２１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形成されている。従って、４つの第２角部６００は、第１方向Ｚの両側に向けて突出した構造になっている。

第３壁部６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部６３０が第２方向Ｘに沿って延在しており、凹部６３０の底部には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に開口した切り欠き状の引き出し部６８が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。また、凹部６３０のうち、引き出し部６８によって挟まれた部分は、凹部６３０の底部からさらに第３方向Ｙの他方側に凹んだ凹部６３０ａになっている。

凹部６３０の底部には、凹部６３０ａに対して第２方向Ｘでずれた位置で第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した係合凸部６９が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。本形態において、係合凸部６９は３か所に形成されている。

（コイル７の端部の処理）
本形態では、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に配線基板１５が固定される。配線基板１５には、引き出し部６８と重なる部分に切り欠き１５８が形成されている。また、配線基板１５には、係合凸部６９と重なる部分に複数の係合穴１５９が形成されている。本形態では、係合凸部６９の数に対応して、複数の係合穴１５９として３つの係合穴１５９が形成されており、３つの係合穴１５９のうち、中央の係合穴１５９は、切り欠き１５８と繋がった切り欠き状に形成されている。

配線基板１５は、係合凸部６９と係合穴１５９とが係合した状態で、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に接着剤により固定されている。配線基板１５には、第１コイル７１の端部７０５、および第２コイル７２の端部７０５が電気的に接続されるランド１５１と、外部からの配線部材（図示せず）が電気的に接続されるランド１５２とが形成されており、第１コイル７１の端部および第２コイル７２の端部７０５は、引き出し部６８を介してランド１５１まで引き回された後、ハンダによりランド１５１に電気的に接続される。なお、ランド１５１とランド１５２とは配線パターン（図示せず）を介して繋がっている。

本形態では、ランド１５１が３つ形成されており、第１コイル７１の巻き終わりの端部７０５、および第２コイル７２の巻き始めの端部７０５は、中央のランド１５１に電気的に接続される。従って、第１コイル７１と第２コイル７２とは直列に電気的に接続される。なお、第１コイル７１と第２コイル７２とは、並列に電気的に接続してもよい。

（支持体２の構成）
本形態では、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｅ、ホルダ６０の貫通穴６０ｅ、および第１ケース部材１６の穴１６ｅにタッピングネジからなるネジ１８を止め、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚで締結する。ネジ１８を止めた際、ネジ１８の頭は、第２ケース部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。

また、後述するように、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００との間に第１接着剤が設けられ、ホルダ６０の第２角部６００と第２ケース部材１７の第３角部１７０との間に第２接着剤が設けられる。

このようにして、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７によって支持体２が形成される。その際、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈは各々、ホルダ６０の穴６１ｈ、６２ｈを貫通して第２ケース部材１７の穴１７１ｈ、１７２ｈに嵌る。また、第１ケース部材１６の穴１６ｃにホルダ６０の凸部６０ｃが嵌り、第２ケース部材１７の凹部１７ｄにホルダ６０の凸部６０ｄが嵌る。従って、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第１ケース部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３０ａに重なる。

なお、第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆ、ホルダ６０の貫通穴６０ｆ、および第２ケース部材１７の貫通穴１７ｆは、アクチュエータ１を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ（図示せず）が止められる。

（可動体３の構成）
図８は、図２に示す可動体３の説明図である。図５および図８に示すように、図２等に示す可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する平板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する平板部８７０を備えた第２ヨーク８７と、磁石８とを有している。磁石８は、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。

本形態において、可動体３は、磁石８として、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８１と隣り合う第２磁石８２とを備えている。本形態において、第１磁石８１と第２磁石８２は第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８１は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。

また、可動体３は、磁石８として、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８３と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８３と隣り合う第２磁石８４とを備えている。本形態において、第１磁石８３と第２磁石８４は、第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８３は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向し、第２磁石８４は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。

本形態において、第１磁石８１、８３、および第２磁石８２、８４は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）および幅方向（Ｘ方向）で分極着磁されている。第１磁石８１と第２磁石８
２とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁され、第１磁石８３と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁されている。従って、第１磁石８１の第２磁石８２側の磁極と第２磁石８２の第１磁石８１側の磁極とが異なっており、第１磁石８３の第２磁石８４側の磁極と第２磁石８４の第１磁石８３側の磁極とが異なっている。

また、第１磁石８１と第１磁石８３とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁され、第２磁石８２と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁されている。従って、第１磁石８１と第１磁石８３とでは、第１コイル７１に対向する面の磁極が異なっており、第２磁石８２と第２磁石８４とでは、第２コイル７２に対向する面の磁極が異なっている。

第１ヨーク８６は、平板部８６０の第２方向の一方側Ｘ１の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、平板部８６０の第２方向の他方側Ｘ２の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は平板部８６０より第３方向Ｙの寸法が小さく、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２の両側には切り欠き８６９が形成されている。図３および図４に示すように、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。

本形態では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。より具体的には、第１連結板部８６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６１ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第１側面８７１に重なって第１連結板部８６１と第２ヨーク８７の第１側面８７１とが溶接されている。同様に、第２連結板部８６２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６２ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第２側面８７２に重なって第２連結板部８６２と第２ヨーク８７の第２側面８７２とが溶接されている。

第１連結板部８６１の端部８６１ａ、および第１側面８７１のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第２連結板部８６２の端部８６２ａ、および第２側面８７２のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、平板部８７０に形成された凸部８７３が第１連結板部８６１の端部８６１ａに形成された凹部８６３に嵌って溶接され、平板部８７０に形成された凸部８７４が第２連結板部８６２の端部８６２ａに形成された凹部８６４に嵌って溶接されている。

本形態では、第１ヨーク８６の平板部８６０、および第２ヨーク８７の平板部８７０の第３方向Ｙの端部には、磁石８を搭載する際に第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の位置決めを行うための切り欠き８６０ａ、８７０ａが形成されている。

このように構成した可動体３において、第１ヨーク８６および磁石８の少なくとも一方には、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第１ヨーク８６には、平板部８６０の４つの角のうち、Ｓ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８６ｓが付され、他の角は角張っている。また、第２ヨーク８７および磁石８の少なくとも一方にも、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第２ヨーク８７には、平板部８７０の４つの角のうち、Ｎ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８７ｓが付され、他の角は角張っている。なお、磁石８に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すれ
ばよい。

（位置決め凸部８６５、８７５の構成）
第１ヨーク８６は、第１ヨーク８６の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８１および第２磁石８２の第１ヨーク８６の平板部８６０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８６５を有している。本形態において、位置決め凸部８６５は、第１磁石８１の第２磁石８２側の位置を規定する第１凸部８６５ａと、第２磁石８２の第１磁石８１側の位置を規定する第２凸部８６５ｂとを含んでいる。本形態において、第１凸部８６５ａと第２凸部８６５ｂとは、第１磁石８１と第２磁石８２との間に設けられた共通の凸部８６５ｃからなる。凸部８６５ｃ（第１凸部８６５ａおよび第２凸部８６５ｂ）は、第３方向Ｙで離間する２箇所に設けられている。

位置決め凸部８６５は、さらに、第１磁石８１と第２磁石８２とが隣り合う第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙにおける第１磁石８１の位置決め、および第２磁石８２の位置決めを行う第３凸部８６５ｄ、８６５ｅを含んでいる。本形態において、第３凸部８６５ｄは、第１磁石８１のＹ方向の両側２箇所に設けられ、第３凸部８６５ｅは、第２磁石８２のＹ方向の両側２箇所に設けられている。

位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６の平板部８６０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、図４に示すように、第１ヨーク８６の平板部８６０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８６５を成した際の凹状の痕８６５ｘが残っている。

ここで、第１ヨーク８６では、第１磁石８１に対して第２磁石８２と反対側、および第２磁石８２に対して第１磁石８１と反対側には、位置決め凸部８６５が設けられていない。また、位置決め凸部８６５の平板部８６０からの突出寸法は、磁石８の厚さ（第１磁石８１の厚さ、および第２磁石８２の厚さ）より低い。このため、磁石８を第１ヨーク８６の平板部８６０に搭載する際、カートリッジ等の内部に積層された複数の磁石８のうち、最も下方に位置する磁石８をスライドさせて、第１磁石８１等として配置する際、位置決め凸部８６５とカートリッジとが干渉しにくい等、位置決め凸部８６５が邪魔にならない。

図示を省略するが、第２ヨーク８７も、第１ヨーク８６と同様、第２ヨーク８７の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８３および第２磁石８４の第２ヨーク８７の平板部８７０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有している。従って、図８に示すように、第２ヨーク８７の平板部８７０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８７５を形成した際の凹状の痕８７５ｘが残っている。

なお、位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の一部を折り曲げた凸部であってもよい。

（ストッパの構成）
図２に示すように、本形態では、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１ケース部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１、および第２ケース部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を規制する第１ストッパを構成している。

同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１ケース部材１
６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２、および第２ケース部材１７の第２壁部１７２の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制する第２ストッパを構成している。

（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

（接続体９０および粘弾性部材９の構成）
図２、図４および図５に示すように、支持体２および可動体３に対して接続する接続体９０が設けられている。接続体９０は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本形態において、接続体９０は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に設けられた粘弾性部材９であり、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、および第３方向Ｙ方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

本形態において、接続体９０として粘弾性部材９のみが支持体２および可動体３の双方に接続されている。本形態においては、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１ケース部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２ケース部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間の各々に設けられ、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間の各々に設けられている。

ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１は、支持体２と接する面（第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第１ヨーク８６）と接着されている。第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面（第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第２ヨーク８７）と接着されている。

本形態において、粘弾性部材９（第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線
形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。

本形態では、第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７のうち、第１粘弾性部材９１が接続される接続領域１６６ａ、１６７ａには複数の凹部が形成される場合がある。また、第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７のうち、第２粘弾性部材９２が接続される接続領域１７６ａ、１７７ａには複数の凹部が形成される場合がある。

かかる態様によれば、接続体９０は、第１方向Ｚに圧縮された状態にあるため、接続体９０は、一部が複数の凹部の内側に位置する。このため、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを抑制する。従って、接続体９０を支持体２と可動体３との間に配置する際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体３が第２方向Ｘに駆動される際、複数の凹部の縁は、接続体９０が第２方向Ｘに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体２と可動体３との間に配置した接続体９０の位置ずれを抑制することができる。また、接続体９０は、接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに接着剤を介して固定され、接着剤の一部は、複数の凹部の内側に位置する。このため、接続体９０１の接着強度が高い。

（第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７の支持構造）
図９は、図３に示す第１角部１６０および第２角部６００を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた斜視図である。図１０は、図４に示す第２角部６００および第３角部１７０を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた斜視図である。図１１は、図９に示す第１角部１６０を通る位置で支持体２を切断したときのＸＺ断面図である。図１２は、図９に示す第１角部１６０を通る位置で支持体２を切断したときのＹＺ断面図である。図１３は、図９に示す第１角部１６０の間で支持体２を切断したときのＸＺ断面図である。図１４は、図９に示す第１角部１６０の間で支持体２を切断したときのＹＺ断面図である。

図９～図１２に示すように、支持体２を形成した際、支持体２の４つの角の各々において、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００とは第１方向Ｚで重なって第１支持部２１を構成する。また、支持体２の４つの角の各々において、ホルダ６０の第２角部６００と第２ケース部材１７の第３角部１７０とは第１方向Ｚで重なって第２支持部２２を構成する。

本形態では、第１支持部２１には、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで離間する第１非接触領域２１１と、第１非接触領域２１１に隣接する位置で第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで接する第１接触領域２１２とが設けられている。本形態では、第２角部６００の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面は平面である一方、第１角部１６０の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面は、図９にグレーで示す第１領域１６ｓと、第１領域１６ｓより第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹んだ第２領域１６ｔとを有している。従って、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで重なった際、第２領域１６ｔは、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで離間する第１非接触領域２１１を構成し、第１領域１６ｓは、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで接する第１接触領域
２１２を構成する。ここで、第１接触領域２１２は、第１非接触領域２１１の周りを囲むように設けられている。また、第１非接触領域２１１には、第１角部１６０と第２角部６００とを接着する第１接着剤Ｈ１（図１１および図１２参照）が設けられている。

本形態において、ホルダ６０のうち、第１非接触領域２１１に相当する位置に、第１接着剤Ｈ１を充填するための貫通穴６７が形成されており、貫通穴６７の詳細な構成等は、図１５および図１６を参照して後述する。

第２支持部２２には、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで離間する第２非接触領域２２１と、第２非接触領域２２１に隣接する位置で第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで接する第２接触領域２２２とが設けられている。本形態では、第３角部１７０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面は平面である一方、第２角部６００の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面は、図９にグレーで示す第３領域６０ｓと、第３領域６０ｓより第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹んだ第４領域６０ｔとを有している。従って、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで重なった際、第４領域６０ｔは、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで離間する第２非接触領域２２１を構成し、第３領域６０ｓは、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで接する第２接触領域２２２を構成する。ここで、第２接触領域２２２は、第２非接触領域２２１の周りを囲むように設けられている。また、第２非接触領域２２１には、第２角部６００と第３角部１７０とを接着する第２接着剤Ｈ２（図１１および図１２参照）が設けられている。

図１１および図１２に示すように、支持体２の端面では、第１角部１６０の外縁部１６ｒと第２角部６００の外縁部６０ｒとが第１隙間２４を介して対向している。本形態では、第１角部１６０の外縁部１６ｒ、および第２角部６００の外縁部６０ｒの一方は、第１隙間２４をＬ字状に屈曲させる第１屈曲部を有している。本形態では、第１角部１６０の外縁部１６ｒが第２角部６００の外縁部６０ｒに沿って第１方向Ｚの他方側Ｚ２にＬ字状に屈曲した第１屈曲部１６ｕを有しており、第１屈曲部１６ｕによって、第１隙間２４は、Ｌ字状に屈曲している。なお、第２角部６００の外縁部６０ｒに第１屈曲部を設けて、第１隙間２４をＬ字状に屈曲させてもよい。

また、支持体２の端面では、第２角部６００の外縁部６０ｐと第３角部１７０の外縁部１７ｐとが第２隙間２５を介して対向している。本形態では、第２角部６００の外縁部６０ｐ、および第３角部１７０の外縁部１７ｐの一方は、第２隙間２５をＬ字状に屈曲させる第２屈曲部を有している。本形態では、第３角部１７０の外縁部１７ｐが第２角部６００の外縁部６０ｐに沿って第１方向Ｚの一方側Ｚ１にＬ字状に屈曲した第２屈曲部１７ｕを有しており、第２屈曲部１７ｕによって、第２隙間２５は、Ｌ字状に屈曲している。なお、第２角部６００の外縁部６０ｐに第２屈曲部を設けて、第２隙間２５をＬ字状に屈曲させてもよい。

本形態において、第１ケース部材１６の第１角部１６０から延在する壁部と、ホルダ６０の第２角部６００から延在する壁部とは、支持体２の端面で少なくとも一部が非接触状態にある。また、第２ケース部材１７の第３角部１７０から延在する壁部と、ホルダ６０の第２角部６００から延在する壁部とは、支持体２の端面で少なくとも一部が非接触状態にある。すなわち、支持体２において、第１角部１６０、第２角部６００、および第３角部１７０以外の部分でも、例えば、図１３に示すように、支持体２の端面では、第１ケース部材１６の第１壁部１６１とホルダ６０の第１壁部６１との間等には、Ｌ字状に屈曲した隙間２８が形成され、第２ケース部材１７の第１壁部１７１とホルダ６０の第１壁部６１との間等には、Ｌ字状に屈曲した隙間２９が形成されている。

また、図１４に示すように、支持体２の端面では、第１ケース部材１６の第３壁部１６
３とホルダ６０の第３壁部６３との間には、Ｌ字状に屈曲した隙間２８が形成され、第２ケース部材１７の第３壁部１７３とホルダ６０の第３壁部６３との間等には、Ｌ字状に屈曲した隙間２９が形成されている。また、第１ケース部材１６の第４壁部１６４とホルダ６０の第４壁部６４との間には隙間２８が形成され、第２ケース部材１７の第４壁部１７４とホルダ６０の第４壁部６４との間等には、Ｌ字状に屈曲した隙間２９が形成されている。

（接着剤の充填用の貫通穴の構成）
図１５は、図９および図１０に示す貫通穴６７を通る位置で支持体２を切断したときのＹＺ断面図である。図１６は、図９および図１０に示す貫通穴６７を通る位置で支持体２を切断したときのＸＺ断面図である。

図９および図１０に示すように、ホルダ６０の第２角部６００には、第２角部６００を第１方向Ｚで貫通して第１接着剤Ｈ１が設けられている第１非接触領域２１１で開口する貫通穴６７が設けられている。図１５および図１６に示すように、貫通穴６７は、第２角部６００の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の第１開口部６７１の開口サイズＳ１が第２角部６００の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の第２開口部６７２の開口サイズＳ２より大きい。

貫通穴６７は、第２角部６００の第１方向Ｚの一方側Ｌ１で開口する第１穴６７６と、第１穴６７６に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で連通して第２角部６００の第１方向Ｚの他方側Ｚ２で開口する第２穴６７７とを有している。ここで、第２穴６７７の内周面は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて内径を緩やかに小さくする傾斜面になっている。第１穴６７６の内周面は、周方向の少なくとも一部が第１方向Ｚの他方側Ｚ２から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて内径を大きくする円錐面状の傾斜面６７８になっている。

本形態では、第１穴６７６の内周面の一部が円錐面状の傾斜面６７８になっており、周方向の他の一部は、平面部６７９ａになっている。また、第２穴６７７も、内周面の一部が、平面部６７９ａと連続する平面部６７９ｂになっている。従って、貫通穴６７の内周面は、周方向の一部が第１方向Ｚの他方側Ｚ２の開口縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１の開口縁まで延在する平面部６７９になっている。かかる貫通穴６７では、平面部６７９が第１方向Ｚの一方側Ｚ１の開口縁に形成する直線部分６７９ｃ（図１０参照）の長さが、平面部６７９の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の開口縁に形成する直線部分６７９ｄ（図９参照）の長さより長い。なお、貫通穴６７の内周面のうち、平面部６７９以外の部分において、第１穴６７６と第２穴６７７との間では、第１穴６７６の内周面が第２穴６７７の内周面より径方向の外側に位置する。

（アクチュエータ１の製造方法）
図１７は、図５等に示す配線基板１５とホルダ６０の第３壁部６３との間の隙間を示す断面図である。

本形態では、第１ケース部材１６の貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピン（図示せず）によって第１ヨーク８６を支持しながら、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を第１方向Ｚに重ねるとき、貫通穴１６ａから差し込んだ位置決めピンを基準に第１ケース部材１６の貫通穴１６ａ、第１ヨーク８６の切り欠き８６９、ホルダ６０の切り欠き６０３、および第２ヨーク８７の切り欠き８７９を重ねる。従って、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を適正に重ねることができる。

その際、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１をホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させ、第２連結板部８６２をホルダ６０の第２開
口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させる。従って、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１および第２連結板部８６２を各々、第２ヨーク８７と連結することができる。

また、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の一方に第１粘弾性部材９１を予め、接着剤によって接続しておき、第１ケース部材１６と第１ヨーク８６とを重ねる際、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の他方に第１粘弾性部材９１を接着剤によって接続する。また、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の一方に第２粘弾性部材９２を予め、接着剤によって接続しておき、第２ケース部材１７と第２ヨーク８７とを重ねる際、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の他方に第２粘弾性部材９２を接着剤によって接続する。その際、貫通穴１６ｂから差し込んだ支持ピンを第２ケース部材１７の切り欠き１７ｂに当接させて第２ケース部材１７を支持する。

このようにして、アクチュエータ１を製造する際、本形態では、第１ケース部材１６にホルダ６０を重ねた状態で、貫通穴６７から第１接着剤Ｈ１を滴下し、貫通穴６７を伝って第１接着剤Ｈ１を第１ケース部材１６とホルダ６０との間の第１非接触領域２１１に充填する。その後、ホルダ６０を第２ケース部材１７を重ねる際、ホルダ６０において第２非接触領域２２１を構成する第４領域６０ｔに第２接着剤Ｈ２を塗布する。本形態においては、図示を省略するが、第１非接触領域２１１には、第２接着剤Ｈ２を充填する際に第１非接触領域２１１から空気を抜くための切り欠きや凹部が形成されている。

ここで、図１７に示すように、図５等に示す配線基板１５とホルダ６０の第３壁部６３との間には、一方方向（第１方向Ｚの一方側Ｚ１）から他方方向（第１方向Ｚの他方側Ｚ２）に間隔が広がった隙間Ｇが設けられている。従って、第１方向Ｚの他方側Ｚ２では隙間Ｇの開口幅が広いので、配線基板１５と第３壁部６３との間に第３接着剤（図示せず）を充填することができる。

このようにして、所定位置に接着剤を設けた後、加熱し、全ての未硬化の接着剤を同時に硬化させる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００とが第１方向Ｚで重なる第１支持部２１には、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで離間する第１非接触領域２１１と、第１角部１６０と第２角部６００とが第１方向Ｚで接する第１接触領域２１２とが設けられているため、第１角部１６０と第２角部６００とが接触する領域が限定されている。従って、第１角部１６０と第２角部６００とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体３を駆動した際の振動等が第１支持部２１に伝わっても、第１支持部２１からびびり音が発生しにくい。

また、第２ケース部材１７の第３角部１７０とホルダ６０の第２角部６００とが第１方向Ｚで重なる第２支持部２２には、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで離間する第２非接触領域２２１と、第２角部６００と第３角部１７０とが第１方向Ｚで接する第２接触領域２２２とが設けられているため、第２角部６００と第３角部１７０とが接触する領域が限定されている。従って、第２角部６００と第３角部１７０とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体３を駆動した際の振動等が第２支持部２２に伝わっても、第２支持部２２からびびり音が発生しにくい。

また、第１接触領域２１２は、第１非接触領域２１１の周りを囲むように設けられ、第２接触領域２２２は、第２非接触領域２２１の周りを囲むように設けられている。さらに
、第１非接触領域２１１には第１接着剤Ｈ１が設けられ、第２非接触領域２２１には第２接着剤Ｈ２が設けられている。従って、第１角部１６０と第２角部６００とが安定した状態で支持し合い、第２角部６００と第３角部１７０とが安定した状態で支持し合う。従って、びびり音の発生を効果的に抑制することができる。

また、支持体２の端面では、第１角部１６０の外縁部１６ｒと第２角部６００の外縁部６０ｒとが第１隙間２４を介して対向し、第２角部６００の外縁部６０ｐと第３角部１７０の外縁部１７ｐとが第２隙間２５を介して対向している。このため、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。また、第１隙間２４および第２隙間２５が屈曲しているため、外部から異物の侵入を抑制することができる。

また、ホルダ６０には、貫通穴６７が設けられているため、第１ケース部材１６、およびホルダ６０を第１接着剤Ｈ１を介して重ねる工程において、第１ケース部材１６の上にホルダ６０を重ねた状態で貫通穴６７から第１接着剤Ｈ１を滴下すると、第１接着剤Ｈ１は、貫通穴６７を伝って第１ケース部材１６とホルダ６０との間に流出する。従って、第１ケース部材１６あるいはホルダ６０に第１接着剤Ｈ１を塗布した後、第１ケース部材１６とホルダ６０とを重ねる場合より、第１ケース部材１６とホルダ６０との間に第１接着剤Ｈ１を効率よく設けることができる。

また、貫通穴６７は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１での開口サイズが他方側Ｚ２での開口サイズより大きいので、第１接着剤Ｈ１は、貫通穴６７から第１ケース部材１６とホルダ６０との間にスムーズに流出する。

また、貫通穴６７を構成する第１穴６７６の内周面は、周方向の少なくとも一部が第１方向Ｚの他方側Ｚ２から一方側Ｚ１に向けて内径を大きくする傾斜面６７８になっている。従って、貫通穴６７の第１方向Ｚの他方側Ｚ２での開口サイズを確保しつつ、貫通穴６７の第１方向Ｚの一方側Ｚ１での開口サイズを大きくするのに都合がよい。

また、貫通穴６７の内周面は、周方向の一部が平面部６７９になっているため、第１方向Ｚの他方側Ｚ２から貫通穴６７に第１接着剤Ｈ１を滴下する際、第１接着剤Ｈ１を平面部６７９に滴下すれば、第１接着剤Ｈ１を平面部６７９を伝って第１角部１６０と第２角部６００との間にスムーズに流出させることができる。また、平面部６７９が第１方向Ｚの一方側Ｚ１の開口縁に形成する直線部分６７９ｃ（図１０参照）の長さが、平面部６７９の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の開口縁に形成する直線部分６７９ｄ（図９参照）の長さより長いため、第１接着剤Ｈ１を傾斜面６７８を避けて平面部６７９に滴下しやすい。従って、第１接着剤Ｈ１を平面部６７９を伝って第１角部１６０と第２角部６００との間にスムーズに流出させることができる。

［他の実施形態］
上記実施形態では、第１角部１６０に設けた高低差を利用して第１非接触領域２１１および第１接触領域２１２を構成したが、第２角部６００に設けた高低差を利用して第１非接触領域２１１と第１接触領域２１２とを構成してもよい。また、第２角部６００に設けた高低差を利用して第２非接触領域２２１および第２接触領域２２２を構成したが、第３角部１７０に設けた高低差を利用して第２非接触領域２２１と第２接触領域２２２とを構成してもよい。

上記実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、粘弾性部材９としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態では、接続体９０として粘弾性部材９を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。

上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁石、９…粘弾性部材、１５…配線基板、１６…第１ケース部材、１６ｓ…第１領域、１６ｔ…第２領域、１６ｕ…第１屈曲部、１７…第２ケース部材、１７ｕ…第２屈曲部、１８…ネジ、２１…第１支持部、２２…第２支持部、２４…第１隙間、２５…第２隙間、６０…ホルダ、６０ｐ、６０ｒ…外縁部、６０ｓ…第３領域、６０ｔ…第４領域、６１、１６１、１７１…第１壁部、６２、１６２、１７２…第２壁部、６３、１６３、１７３…第３壁部、６４、１６４、１７４…第４壁部、６５、１６５、１７５…底板部、６７…貫通穴、７１…第１コイル、７２…第２コイル、８１、８３…第１磁石、８２、８４…第２磁石、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９０…接続体、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１６０…第１角部、１７０…第３角部、２１１…第１非接触領域、２１２…第１接触領域、２２１…第２非接触領域、２２２…第２接触領域、６００…第２角部、６７６…第１穴、６７７…第２穴、６７８…傾斜面、６７９、６７９ａ、６７９ｂ…平面部、６７９ｃ、６７９ｄ…直線部分、Ｈ１…第１接着剤、Ｈ２…第２接着剤、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (11)

1. 支持体と、
   可動体と、
   弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、
   前記支持体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動回路と、
   を備え、
   前記支持体は、前記磁気駆動回路のコイルおよび磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダに第１方向の一方側で重なる第１ケース部材と、を備え、
   前記第１ケース部材の角付近である第１角部と前記ホルダの角付近である第２角部とは前記第１方向で重なって第１支持部を構成し、
   前記第１支持部には、前記第１角部と前記第２角部とが前記第１方向で離間する第１非接触領域と、前記第１非接触領域に隣接する位置で前記第１角部と前記第２角部とが前記第１方向で接する第１接触領域と、が設けられ、
   前記支持体は、前記ホルダに前記第１方向の他方側で重なる第２ケース部材を備え、
   前記第２角部と前記第２ケース部材の角付近である第３角部とは前記第１方向で重なって第２支持部を構成しており、
   前記第２支持部には、前記第２角部と前記第３角部とが前記第１方向で離間する第２非接触領域と、前記第２非接触領域に隣接する位置で前記第２角部と前記第３角部とが前記第１方向で接する第２接触領域と、が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１接触領域は、前記第１非接触領域の周りを囲むように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項１または２に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１非接触領域には接着剤が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記支持体の端面では、前記第１角部の外縁部と前記第２角部の外縁部とが第１隙間を介して対向していることを特徴とするアクチュエータ。
5. 請求項４に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１角部の外縁部、および前記第２角部の外縁部の一方は、前記第１隙間をＬ字状に屈曲させる第１屈曲部を有していることを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項１から５までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第２接触領域は、前記第２非接触領域の周りを囲むように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
7. 請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第２非接触領域に接着剤が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
8. 請求項１から７までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記支持体の端面では、前記第２角部の外縁部と前記第３角部の外縁部とが第２隙間を介して対向していることを特徴とするアクチュエータ。
9. 請求項８に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第２角部の外縁部、および前記第３角部の外縁部の一方は、前記第２隙間をＬ字状に屈曲させる第２屈曲部を有していることを特徴とするアクチュエータ。
10. 請求項１から９までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
    前記第１ケース部材の前記第１角部から延在する壁部と、前記ホルダの前記第２角部から延在する壁部とは、前記支持体の端面で少なくとも一部が非接触状態にあることを特徴とするアクチュエータ。
11. 請求項１から１０までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
    前記コイルと前記磁石とは前記第１方向で対向し、
    前記磁気駆動回路は、前記支持体に対して前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に相対移動させることを特徴とするアクチュエータ。

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