JP2021154244A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】接続体を支持体または可動体に接着剤で適正に接続することのできるアクチュエータを提供すること。【解決手段】支持体と、可動体と、可動体および支持体に接続された接続体９０と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、可動体および支持体のうちの少なくとも一方には、接続体が接着剤を介して接続される接続領域の周囲に溝状の第１凹部１９１が形成されており、第１凹部の接続領域側の開口縁が接続体の端部と同位置または接続体の端部に対して接続体の中心寄りに位置し、第１凹部の接続領域と対向する開口縁が接続体の端部に対して接続体の中心から遠ざかる方向に位置することを特徴とするアクチュエータ。【選択図】図１０

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関するものである。

可動体に複数方向の振動を行わせることので きるアクチュエータとして、支持体と、可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記支持体と前記可動体とに接続された接続体と、前記支持体および前記可動体のうちの一方に保持された第１磁石、および他方に保持され、前記第１磁石に第１方向で対向する第１コイルを備え、前記可動体を前記第１方向に直交する第２方向に駆動する第１磁気駆動回路と、前記支持体および前記可動体のうちの一方に保持された第２磁石、および他方に保持され、前記第２磁石に前記第１方向で対向する第２コイルを備え、前記可動体を前記第１方向に直交し、前記第２方向に交差する第３方向に駆動する第２磁気駆動回路と、を有し、前記第１磁気駆動回路では、複数の前記第１コイルが前記第１方向に重ねて多段に配置されているとともに、複数の前記第１コイルの各々の前記第１方向の両側に前記第１磁石が配置されたアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。

特開２０１７−１３５９４８号公報

接続体は、支持体および可動体に対して接着剤で接続される。しかしながら、接続体と支持体または可動体を張り合わせる際に、接着剤が接続体の側面に付着し、デバイス自体の振動特性が変化してしまう問題がある。

以上の問題点に鑑みて、本開示の課題は、接続体を支持体または可動体に接着剤で適正に接続することのできるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本開示の例示的なアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体および前記支持体に接続された接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記可動体および前記支持体のうちの少なくとも一方には、前記接続体が接着剤で接続される接続領域の周囲に溝状の第１凹部が形成されており、前記第１凹部の接続領域側の開口縁が前記接続体の端部と同位置または前記接続体の端部に対して前記接続体の中心寄りに位置し、前記第１凹部の前記接続領域と対向する開口縁が前記接続体の端部に対して前記接続体の中心から遠ざかる方向に位置することを特徴とする。

本開示の実施形態によれば、接着剤が接続体の側面に被さることを抑制できるので、接続体のダンパ特性の変動が抑制できる。

図１は、本開示の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 図２は、図１に示すアクチュエータのＸＺ断面図である。 図３は、図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図である。 図４は、図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図である。 図５は、図２に示す磁気駆動回路の分解斜視図である。 図６は、図５に示すホルダおよびコイル等の説明図である。 図７は、図６に示すホルダ等の説明図である。 図８は、図２に示す可動体の説明図である。 図９は、図３および図４に示す接続領域を拡大して示す斜視図である。 図１０は、図９に示す接続領域の断面図である。 図１１は、本開示の実施形態の変形例１の説明図である。 図１２は、本開示の実施形態の変形例２の説明図である。 図１３は、本開示の実施形態の変形例３の説明図である。 図１４は、本開示の実施形態の変形例４の説明図である。 図１５は、本開示の実施形態の変形例５の説明図である。 図１６は、図１５に示す接続領域の断面図である。 図１７は、本開示の実施形態の変形例６の説明図である。 図１８は、図１７に示す接続領域の断面図である。

図面を参照して、本開示の例示的な実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

また、以下に説明するアクチュエータ１の磁気駆動回路６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用できる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。

（全体構成）
図１は、本開示の例示的な実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。

図１および図２に示すように、本開示のアクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。また、アクチュエータ１には、支持体２および可動体３に接続された接続体９０が設けられている。

図１、図２および図３に示すように、支持体２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねられた第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７を有しており、第１ケース部材１６と第２ケース部材１７との間に可動体３および磁気駆動回路６が配置される。第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は各々、四角形の平面形状を有している。第１ケース部材１６の角部である第１角部１６０、ホルダ６０の角部である第２角部６００、および第２ケース部材１７の角部である第３角部１７０は第１方向Ｚで重なっている。本実施形態において、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７は各々、樹脂製である。

図３および図４に示すように、第１ケース部材１６は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれた底板部１６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１６１および第２壁部１６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１６３および第４壁部１６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

第１ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて開口した位置決め用の穴１６ｃが形成されている。また、第１ケース部材１６の一方の対角位置には、タッピングネジからなるネジ１８を止めるための有底の穴１６ｅが形成され、他方の対角位置に形成された穴１６ｆは貫通している。

底板部１６５の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。凹部１６６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の角、および凹部１６７の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の角には穴１６ａが形成されている。凹部１６６、１６７の第３方向Ｙの両端部には穴１６ｂが形成されている。

第３壁部１６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１６８が第２方向Ｘに沿って形成されている。第３壁部１６３では、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａが第２方向Ｘに沿って所定の間隔に形成されている。第１壁部１６１および第２壁部１６２には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した円柱状の凸部１６１ｈ、１６２ｈが形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。

第２ケース部材１７は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれた底板部１７５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１７１および第２壁部１７２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１７３および第４壁部１７４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

第２ケース部材１６の４つの角付近の各々には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の凹部１７ｄが形成されている。また、第２ケース部材１７の一方の対角位置には、ネジ１８を止めるための穴１７ｅが形成され、他方の対角位置には穴１７ｆが形成されている。

底板部１７５の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。また、凹部１７６、１７７の縁には、切り欠き１７ｂが形成されている。

第３壁部１７３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部１７８が第２方向Ｘに沿って形成されている。第１壁部１７１および第２壁部１７２には、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈが嵌る穴１７１ｈ、１７２ｈが形成されている。第１壁部１７１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。

（磁気駆動回路６の構成）
図５は、図２に示す磁気駆動回路６の分解斜視図である。図２および図５に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された第１コイル７１および第２コイル７２からなり、コイル７は、支持体２のうち、ホルダ６０に保持されている。

（コイル７およびホルダ６０の構成）
図６は、図５に示すホルダ６０およびコイル７等の説明図である。図７は、図６に示すホルダ６０等の説明図である。図６および図７に示すように、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延びた長円形状の空芯コイルであり、第３方向Ｙの一方側Ｙ１にコイル線の端部７０５が引き出されている。

ホルダ６０は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部６４とによって囲まれた底板部６５を有している。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部６１および第２壁部６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部６３および第４壁部６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。

ホルダ６０の一方の対角位置には、ネジ１８を通すための穴６０ｅが形成され、他方の対角位置には穴６０ｆが形成されている。第３壁部６３および第４壁部６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置決め用の凸部６０ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置決め用の凸部６０ｄとが形成されている。

底板部６５には、２つのコイル保持穴６５１、６５２が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６５１、６５２の各々に第１コイル７１および第２コイル７２が配置されている。コイル保持穴６５１、６５２は貫通しており、第３方向Ｙの両端部には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２でコイル保持穴６５１、６５２の一部に重なるように張り出した受け部６４１、６４２が形成されている。従って、第１コイル７１および第２コイル７２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からコイル保持穴６５１、６５２に装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６４１、６４２によって第１方向Ｚの他方側Ｚ１で支持された状態となる。この状態で、ホルダ６０には第１方向Ｚの一方側Ｚ１からプレート２６が重ねられ、プレート２６は、接着剤によって第１コイル７１および第２コイル７２と固定されるとともに、ホルダ６０に固定される。プレート２６は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。

ホルダ６０には、コイル保持穴６５１と第１壁部６１との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６５２と第２壁部６２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０の底板部６５を第１方向Ｚで貫通している。第１開口部６０１、および第２開口部６０２の内周面には切り欠き６０３が形成されている。

第１壁部６１において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。第２壁部６２において、第２角部６００の間には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６２１（図２および図４参照）が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形成されている。従って、４つの第２角部６００は、第１方向Ｚの両側に向けて突出した構造になっている。

第３壁部６３の外面では、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に凹んだ凹部６３０が第２方向Ｘに沿って形成されており、凹部６３０の底部には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に開口した切り欠き状の引き出し部６８が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。また、凹部６３０のうち、引き出し部６８によって挟まれた部分は、凹部６３０の底部からさらに第３方向Ｙの他方側に凹んだ凹部６３０ａになっている。

凹部６３０の底部には、凹部６３０ａに対して第２方向Ｘでずれた位置で第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した嵌合凸部６９が第２方向Ｘに沿って複数、形成されている。本実施形態において、嵌合凸部６９は３か所に形成されている。

（支持体２の構成）
本実施形態では、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、第２ケース部材１７の穴１７ｅおよびホルダ６０の穴６０ｅを貫通してネジ１８を止め、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７を第１方向Ｚで締結する。ネジ１８を止めた際、ネジ１８の頭は、第２ケース部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。

また、第１ケース部材１６の第１角部１６０とホルダ６０の第２角部６００との間に接着剤が充填され、ホルダ６０の第２角部６００と第２ケース部材１７の第３角部１７０との間に接着剤が充填される。

このようにして、第１ケース部材１６、ホルダ６０、および第２ケース部材１７によって支持体２が形成される。その際、第１ケース部材１６の凸部１６１ｈ、１６２ｈは各々、ホルダ６０の穴６１ｈ、６２ｈを貫通して第２ケース部材１７の穴１７１ｈ、１７２ｈに嵌る。また、第１ケース部材１６の穴１６ｃにホルダ６０の凸部６０ｃが嵌り、第２ケース部材１７の凹部１７ｃにホルダ６０の凸部６０ｄが嵌る。従って、第１ケース部材１６、ホルダ６０および第２ケース部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第１ケース部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３０ａに重なる。

なお、第２ケース部材１７の穴１７ｆおよびホルダ６０の穴６０ｆには、アクチュエータ１を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ（図示せず）が止められる。

（コイル７の端部の処理）
本実施形態では、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に配線基板１５が固定される。配線基板１５には、引き出し部６８と重なる部分に切り欠き１５８が形成されている。また、配線基板１５には、嵌合凸部６９と重なる部分に複数の嵌合穴１５９が形成されている。本実施形態では、嵌合凸部６９の数に対応して、複数の嵌合穴１５９として３つの嵌合穴１５９が形成されており、３つの嵌合穴１５９のうち、中央の嵌合穴１５９は、切り欠き１５８と繋がった切り欠き状に形成されている。

配線基板１５は、嵌合凸部６９と嵌合穴１５９とが嵌合した状態で、ホルダ６０の第３壁部６３の外面に接着剤により固定されている。配線基板１５には、第１コイル７１の端部７０５、および第２コイル７２の端部７０５が電気的に接続されるランド１５１と、外部からの配線部材（図示せず）が電気的に接続されるランド１５２とが形成されている。第１コイル７１の端部および第２コイル７２の端部７０５は、引き出し部６８を介してランド１５１まで延びており、ハンダによりランド１５１に電気的に接続される。なお、ランド１５１とランド１５２とは配線パターン（図示せず）を介して繋がっている。

本実施形態では、ランド１５１が３つ形成されており、第１コイル７１の巻き終わりの端部７０５、および第２コイル７２の巻き始めの端部７０５は、中央のランド１５１に電気的に接続される。従って、第１コイル７１と第２コイル７２とは直列に電気的に接続される。なお、第１コイル７１と第２コイル７２とは、並列に電気的に接続してもよい。

（可動体３の構成）
図８は、図２に示す可動体３の説明図である。図５および図８に示すように、図２等に示す可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する平板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する平板部８７０を備えた第２ヨーク８７と、磁石８とを有している。磁石８は、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。

本実施形態において、可動体３は、磁石８として、第１ヨーク８６の平板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８１と隣り合う第２磁石８２とを備えている。本実施形態において、第１磁石８１と第２磁石８２は第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８１は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。

また、可動体３は、磁石８として、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８３と、第２ヨーク８７の平板部８７０のコイル７と対向する面のうち、第１方向Ｚに対して交差する方向で第１磁石８３と隣り合う第２磁石８４とを備えている。本実施形態において、第１磁石８３と第２磁石８４は、第２方向Ｘで隣り合っている。従って、第１磁石８３は、第１コイル７１の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向し、第２磁石８４は、第２コイル７２の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。

本実施形態において、第１磁石８１、８３、および第２磁石８２、８４は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）および幅方向（Ｘ方向）で分極着磁されている。第１磁石８１と第２磁石８２とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁され、第１磁石８３と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で同一方向に着磁されている。従って、第１磁石８１の第２磁石８２側の磁極と第２磁石８２の第１磁石８１側の磁極とが異なっており、第１磁石８３の第２磁石８４側の磁極と第２磁石８４の第１磁石８３側の磁極とが異なっている。

また、第１磁石８１と第１磁石８３とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁され、第２磁石８２と第２磁石８４とは、隣り合う方向（第２方向Ｘ）で逆方向に着磁されている。従って、第１磁石８１と第１磁石８３とでは、第１コイル７１に対向する面の磁極が異なっており、第２磁石８２と第２磁石８４とでは、第２コイル７２に対向する面の磁極が異なっている。

第１ヨーク８６は、平板部８６０の第２方向の一方側Ｘ１の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延びて第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、平板部８６０の第２方向の他方側Ｘ２の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延びて第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は平板部８６０より第３方向Ｙの寸法が小さく、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２の両側には切り欠き８６９が形成されている。図３および図４に示すように、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延びており、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延びている。

本実施形態では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。より具体的には、第１連結板部８６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６１ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第１側面８７１に重なって第１連結板部８６１と第２ヨーク８７の第１側面８７１とが溶接されている。同様に、第２連結板部８６２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６２ａは、第２ヨーク８７の平板部８７０の第２側面８７２に重なって第２連結板部８６２と第２ヨーク８７の第２側面８７２とが溶接されている。

第１連結板部８６１の端部８６１ａ、および第１側面８７１のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第２連結板部８６２の端部８６２ａ、および第２側面８７２のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本実施形態では、平板部８７０に形成された凸部８７３が第１連結板部８６１の端部８６１ａに形成された凹部８６３に嵌って溶接され、平板部８７０に形成された凸部８７４が第２連結板部８６２の端部８６２ａに形成された凹部８６４に嵌って溶接されている。

本実施形態では、第１ヨーク８６の平板部８６０、および第２ヨーク８７の平板部８７０の第３方向Ｙの端部には、磁石８を搭載する際に第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の位置決めを行うための切り欠き８６０ａ、８７０ａが形成されている。

このように構成した可動体３において、第１ヨーク８６および磁石８の少なくとも一方には、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第１ヨーク８６には、平板部８６０の４つの角のうち、Ｓ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８６ｓが付され、他の角は角張っている。また、第２ヨーク８７および磁石８の少なくとも一方にも、磁石８の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第２ヨーク８７には、平板部８７０の４つの角のうち、Ｎ極が位置する側の角が切り欠かれたマーク８７ｓが付され、他の角は角張っている。なお、磁石８に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すればよい。

（位置決め凸部８６５、８７５の構成）
第１ヨーク８６は、第１ヨーク８６の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８１および第２磁石８２の第１ヨーク８６の平板部８６０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部８６５を有している。本実施形態において、位置決め凸部８６５は、第１磁石８１の第２磁石８２側の位置を規定する第１凸部８６５ａと、第２磁石８２の第１磁石８１側の位置を規定する第２凸部８６５ｂとを含んでいる。本実施形態において、第１凸部８６５ａと第２凸部８６５ｂとは、第１磁石８１と第２磁石８２との間に設けられた共通の凸部８６５ｃからなる。凸部８６５ｃ（第１凸部８６５ａおよび第２凸部８６５ｂ）は、第３方向Ｙで離れた２箇所に設けられている。

位置決め凸部８６５は、さらに、第１磁石８１と第２磁石８２とが隣り合う第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙにおける第１磁石８１の位置決め、および第２磁石８２の位置決めを行う第３凸部８６５ｄ、８６５ｅを含んでいる。本実施形態において、第３凸部８６５ｄは、第１磁石８１のＹ方向の両側２箇所に設けられ、第３凸部８６５ｅは、第２磁石８２のＹ方向の両側２箇所に設けられている。

位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６の平板部８６０の一部を、磁石８とは反対側の他方面側から磁石８が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、図４に示すように、第１ヨーク８６の平板部８６０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８６５を成した際の凹状の痕８６５ｘが残っている。

ここで、第１ヨーク８６では、第１磁石８１に対して第２磁石８２と反対側、および第２磁石８２に対して第１磁石８１と反対側には、位置決め凸部８６５が設けられていない。また、位置決め凸部８６５の平板部８６０からの突出寸法は、磁石８の厚さ（第１磁石８１の厚さ、および第２磁石８２の厚さ）より低い。このため、磁石８を第１ヨーク８６の平板部８６０に搭載する際、カートリッジ等の内部に積層された複数の磁石８のうち、最も下方に位置する磁石８をスライドさせて、第１磁石８１等として配置する際、位置決め凸部８６５とカートリッジとが干渉しにくい等、位置決め凸部８６５が邪魔にならない。

図示を省略するが、第２ヨーク８７も、第１ヨーク８６と同様、第２ヨーク８７の一部が、磁石８が固定された一方面から突出して第１磁石８３および第２磁石８４の第２ヨーク８７の平板部８７０の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有している。従って、図８に示すように、第２ヨーク８７の平板部８７０の磁石８とは反対側の他方面には、位置決め凸部８７５を形成した際の凹状の痕８７５ｘが残っている。

なお、位置決め凸部８６５は、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の一部を折り曲げた凸部であってもよい。

（ストッパの構成）
図２に示すように、本実施形態では、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１ケース部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１、および第２ケース部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を制限する第１ストッパを構成している。

同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１ケース部材１６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２、および第２ケース部材１７の第２壁部１７２の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制する第２ストッパを構成している。

（基本動作）
本実施形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感できる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感できる。

（接続体９０および粘弾性部材９の構成）
図２、図４および図５に示すように、支持体２および可動体３に対して接続する接続体９０が設けられている。接続体９０は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本実施形態において、接続体９０は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に設けられた粘弾性部材９と、粘弾性部材９の第１方向Ｚの両側に設けられたフィルム１０とを備える。フィルム１０は、粘弾性部材９における可動体３側を向く面及び支持体２側を向く面にそれぞれ貼り付けられる。

接続体９０は、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、および第３方向Ｙ方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。これらのシリコーン系のゲル状部材である粘弾性部材と接着剤が直接接触する場合、粘弾性部材はアミン等の接着剤の含有成分により硬化阻害を起こし、粘弾性部材自体の弾性変化が生じてしまう虞がある。そこで、粘弾性部材をフィルム１０で挟み込むことで、粘弾性部材への影響が低減される。フィルム１０と接着剤とは、共通の成分を含有するため、上記硬化阻害等を抑制できる。フィルム１０として、樹脂フィルムまたは無機フィルムを用いることができる。

本実施形態において、接続体９０として粘弾性部材９がフィルム１０を介して支持体２および可動体３の双方に接続されている。本実施形態においては、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１ケース部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が第１フィルム１０１を介して配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２ケース部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が第２フィルム１０２を介して配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間の各々に第１フィルム１０１を介して設けられ、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間の各々に第２フィルム１０２を介して設けられている。

ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の平板部８６０と第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の平板部８７０と第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１は、支持体２と接する面である第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７の底部に第１フィルム１０１を介して接着され、可動体３と接する面である第１ヨーク８６と第１フィルム１０１を介して接着されている。第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面である第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７の底部に第２フィルム１０２を介して接着され、可動体３と接する面である第２ヨーク８７と第２フィルム１０２を介して接着されている。

本実施形態において、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、Ｚ軸方向に押圧されて圧縮変形する際は、バネ係数の線形成分よりも非線形成分が大きい伸縮特性を備える。これに対してＺ軸方向に引っ張られて伸びる場合は、バネ係数の非線形成分よりも線形成分が大きい伸縮特性を備える。一方、本実施形態のように、粘弾性部材９がＺ軸と交差するせん断方向に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、バネ係数の非線形成分よりも線形成分が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本実施形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上できるので、微妙な振動を実現できる。

（粘弾性部材９の接続領域の構成、基本形態）
図９は、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａを拡大して示す斜視図である。図１０は、図９に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。

図９および図１０に示すように、図３に示す第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７には、第１凹部１９１が形成されている。本実施形態において、第１凹部１９１は、接続領域１６６ａ、１６７ａの周りを囲む溝状である。第１凹部１９１は、接続領域１６６ａ、１６７ａの周りを全周にわたって囲んでいる。ここで、第１凹部１９１の接続領域１６６ａ、１６７ａ側の第１開口縁１９１ａの角度および接続領域１６６ａ、１６７ａと対向する第２開口縁１９１ｂの角度が共に直角になっている。第１開口縁１９１ａは第１粘弾性部材９１の端部に対して第１粘弾性部材９１の中心寄りに位置する。第２開口縁１９１ｂは第１粘弾性部材９１の端部に対して第１粘弾性部材９１の中心から遠ざかる方向に位置する。また、第１開口縁１９１ａが第１粘弾性部材９１の端部と同位置にあっても良い（不図示）。

また、第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７と同様に、図４に示す第２ケース部材１７の凹部１７６、１７７には、第１凹部１９１が形成されている。本実施形態において、第１凹部１９１は、接続領域１７６ａ、１７７ａの周りを囲む溝状である。第１凹部１９１の接続領域１７６ａ、１７７ａ側の第１開口縁１９１ａの角度が直角になっている。第１開口縁１９１ａは第２粘弾性部材９２の端部に対して第２粘弾性部材９２の中心寄りに位置する。第２開口縁１９１ｂは第２粘弾性部材９２の端部に対して第２粘弾性部材９２の中心から遠ざかる方向に位置する。また、第１開口縁１９１ａが第２粘弾性部材９２の端部と同位置にあっても良い（不図示）。

（アクチュエータ１の組み立て工程）
本実施形態では、第１ケース部材１６の穴１６ｂから差し込んだ支持ピン（図示せず）によって第１ヨーク８６を支持しながら、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を第１方向Ｚに重ねるとき、穴１６ａから差し込んだ位置決めピンを基準に第１ケース部材１６の穴１６ａ、第１ヨーク８６の切り欠き８６９、ホルダ６０の切り欠き６０３、および第２ヨーク８７の切り欠き８７９を重ねる。従って、第１ケース部材１６、第１ヨーク８６、ホルダ６０、および第２ヨーク８７を適正に重ねることができる。

その際、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１をホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させる。また、第２連結板部８６２をホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて突出させる。従って、第１ヨーク８６の第１連結板部８６１および第２連結板部８６２を各々、第２ヨーク８７と連結できる。

また、第１粘弾性部材９１には、第１方向ＺのＺ１、Ｚ２側面に樹脂フィルムまたは無機フィルムからなる第１フィルム１０１を予め貼り付けておく。次に、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の一方に第１粘弾性部材９１を、第１フィルム１０１を介して接着剤で接続する。次に、第１ケース部材１６と第１ヨーク８６とを重ね、第１ケース部材１６および第１ヨーク８６の他方に第１粘弾性部材９１を、第１フィルム１０１を介して接着剤で接続する。同様に、第２粘弾性部材９２には、第１方向ＺのＺ１、Ｚ２側面に樹脂フィルムまたは無機フィルムからなる第２フィルム１０２を予め貼り付けておく。次に、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の一方に第２粘弾性部材９２を、第２フィルム１０２を介して接着剤で接続する。次に、第２ケース部材１７と第２ヨーク８７とを重ね、第２ケース部材１７および第２ヨーク８７の他方に第２粘弾性部材９２を、第２フィルム１０２を介して接着剤で接続する。その際、穴１６ｂから差し込んだ支持ピンを第２ケース部材１７の切り欠き１７ｂに当接させて第２ケース部材１７を支持する。

また、接着剤には、１液湿気硬化型の弾性接着剤を用いる。当該接着剤は、フィルム１０と共通の材料を含有する。

（本実施形態の主な効果）
以上説明したように、本実施形態のアクチュエータ１において、図３に示す第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７には、接続領域１６６ａ、１６７ａと隣り合う第１凹部１９１が形成されている。このため、第１粘弾性部材９１を第１フィルム１０１を介して接着剤で接続領域１７６ａ、１７７ａに接続する際、余剰な接着剤が第１粘弾性部材９１と接続領域１７６ａ、１７７ａとの間から第１凹部１９１に流出する。このため、接着剤が第１粘弾性部材９１の側面に被さることを抑制でき、第１粘弾性部材９１を第１フィルム１０１と接着剤を介して適正に接続できる。従って、第１粘弾性部材９１のダンパ特性の変動を抑制できる。

また、第１凹部１９１は、接続領域１６６ａ、１６７ａの周りを囲む溝状であるため、接続領域１６６ａ、１６７ａの周囲に第１凹部１９１を形成した場合でも、第１凹部１９１が占有する面積が狭い。

また、１液型の接着剤を用いることで、使用ごとに混合が必要な２液型接着剤に比べ、混合作業が不要になることから作業性を向上できる。また、湿気硬化型の接着剤を用いることで、硬化に時間がかかり工程内滞留を引き起こすシリコーン系の接着剤に比べ、生産性を向上できる。さらに、１液湿気硬化型の接着剤はタック性を発現しやすいため、仮固定させて次工程に移ることができる点でも生産性を向上できる。

また、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２を第１フィルム１０１および第２フィルム１０２を介して接着剤で接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに接続するため、接着剤とフィルム１０の材料が共通化されることから、硬化阻害による第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２のダンパ特性の変化を生じにくい。

（変形例１）
図１１は、本開示の例示的な実施形態の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。本実施形態では、図１１に示すように、第１凹部１９１の接続領域１６６ａ、１６７ａ側の第１開口縁１９１ａの第１方向Ｚの断面形状に曲線を含んでいる。かかる態様によれば、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと接続体９０の間から第１凹部１９１にスムーズに流出させることができる。このため、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間から第１凹部１９１に流出させやすい。従って、接着剤の厚さが過剰に厚くなることを抑制でき、第１粘弾性部材９１を適正に接続できる。それ故、接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間の接着剤の厚さに起因する第１粘弾性部材９１のダンパ特性の変動を抑制できる。なお、図４に示す第２ケース部材１７の接続領域１７６ａ、１７７ａも、第１ケース部材１６の接続領域１６６ａ、１６７ａと同様な態様になっている。

（変形例２）
図１２は、本開示の例示的な実施形態の別の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。本実施形態では、図１２に示すように、第１凹部１９１が曲面を有することを特徴とする。かかる態様によれば、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと接続体９０の間から第１凹部１９１にスムーズに流出させることができる。このため、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間から第１凹部１９１に流出させやすい。従って、接着剤の厚さが過剰に厚くなることを抑制でき、第１粘弾性部材９１を適正に接続できる。それ故、接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間の接着剤の厚さに起因する第１粘弾性部材９１のダンパ特性の変動を抑制できる。なお、図４に示す第２ケース部材１７の接続領域１７６ａ、１７７ａも、第１ケース部材１６の接続領域１６６ａ、１６７ａと同様な態様になっている。

（変形例３）
図１３は、本開示の例示的な実施形態の別の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。本実施形態では、図１３に示すように、第１開口縁１９１ａおよび第２開口縁１９１ｂの角度が９０度より大きく、１８０度より小さいことを特徴とする。かかる態様によれば、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと接続体９０の間から第１凹部１９１にスムーズに流出させることができる。このため、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間から第１凹部１９１に流出させやすい。従って、接着剤の厚さが過剰に厚くなることを抑制でき、第１粘弾性部材９１を適正に接続できる。それ故、接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間の接着剤の厚さに起因する第１粘弾性部材９１のダンパ特性の変動を抑制できる。なお、図４に示す第２ケース部材１７の接続領域１７６ａ、１７７ａも、第１ケース部材１６の接続領域１６６ａ、１６７ａと同様な態様になっている。

（変形例４）
図１４は、本開示の例示的な実施形態の別の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。本実施形態では、第１ケース部材１６および第２ケース部材１７の接続体９０を向く面に突起が設けられており、突起で第１ケース部材１６および第２ケース部材１７を支えることを特徴とする。ここで、突起の数は接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに各々３つ以上である。かかる態様によれば、接続体９０を点で支えることで、接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの中央部に湿気が透過しやすくなり、接着剤の硬化時間を短縮できる。また、接続体の接着材の厚みが増すことから、剥離強度が向上する。

また、本実施形態を変形例１から３と組み合わせることも可能である。

（変形例５）
図１５は、本開示の例示的な実施形態の別の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａを拡大して示す斜視図である。図１６は、図１５に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。図１２および図１３に示すように、本実施形態でも、上記実施形態と同様、図３に示す第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７には、第１粘弾性部材９１が接続される接続領域１６６ａ、１６７ａと隣り合う第１凹部１９１が形成されている。第１凹部１９１は、接続領域１６６ａ、１６７ａの周りを囲む溝状である。

本実施形態では、接続領域１６６ａ、１６７ａには、第１凹部１９１と繋がった第２凹部１９２が形成されている。このため、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間から第２凹部１９２を介して第１凹部１９１に流出させることができる。従って、接着剤の厚さが過剰に厚くなることを抑制でき、第１粘弾性部材９１を適正に接続できる。それ故、接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間の接着剤の厚さに起因する第１粘弾性部材９１のダンパ特性の変動を抑制できる。加えて、第２凹部１９２を介して外部から接続領域１６６ａ、１６７ａに湿気が供給されることにより、接着剤の硬化時間を短縮できる。

ここで、第２凹部１９２は溝状である。このため、第２凹部１９２が占有する面積を狭められるので、第１粘弾性部材９１と接続領域１６６ａ、１６７ａとの接合面積を広く確保できる。

また、第２凹部１９２は、一方方向に形成された第１溝１９６と、第１溝１９６に対して交差する方向に形成された第２溝１９７とを含み、第１溝１９６および第２溝１９７は各々、第１凹部１９１と繋がっている。従って、余剰な接着剤を接続領域１６６ａ、１６７ａと第１粘弾性部材９１の間から第１溝１９６および第２溝１９７を介して第１凹部１９１に流出させることができる。

ここで、第１粘弾性部材９１は、第１方向Ｚに圧縮された状態にあるため、第１粘弾性部材９１は、一部が複数の第２凹部１９２の内側に位置する。このため、第２凹部１９２の縁は、第１粘弾性部材９１が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを抑制する。従って、第１粘弾性部材９１を支持体２と可動体３との間に配置する際、第２凹部１９２の縁は、接続体９０が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体３が第２方向Ｘに駆動される際、第２凹部１９２の縁は、第１粘弾性部材９１が第２方向Ｘに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体２と可動体３との間に配置した第１粘弾性部材９１の位置ずれを抑制できる。また、接着剤の一部は、第２凹部１９２の内側に位置する。このため、第１粘弾性部材９１の接着強度が高い。

なお、図４に示す第２ケース部材１７の接続領域１７６ａ、１７７ａも、第１ケース部材１６の接続領域１６６ａ、１６７ａと同様な態様になっている。

また、本実施形態を変形例１から４と組み合わせることも可能である。

（変形例６）
図１７は、本開示の例示的な実施形態の別の変形例の説明図であり、図３および図４に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａを拡大して示す斜視図である。図１８は、図１７に示す接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａの断面図である。図１２および図１３に示すように、本実施形態でも、上記実施形態と同様、図３に示す第１ケース部材１６の凹部１６６、１６７には、第１粘弾性部材９１が接続される接続領域１６６ａ、１６７ａと隣り合う第１凹部１９１が形成されている。第１凹部１９１は、接続領域１６６ａ、１６７ａの周りを囲む溝状である。

本実施形態では、接続領域１６６ａ、１６７ａには、接続領域１６６ａ、１６７ａとその対向面とを貫通して外部に開口した貫通孔１９３が形成されている。このため、貫通孔１９３を介して外部から接続領域１６６ａ、１６７ａに湿気が供給されることにより、接着剤の硬化時間を短縮できる。

本実施形態では、図１７に示すように貫通孔１９３の形状は円形であるが、例えば四角形などの多角形、半円形状など、別の形状であっても良い。

また、本実施形態を変形例１から４と組み合わせることも可能である。

［他の実施形態］
上記実施形態では、支持体２側の接続領域１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａに第１凹部１９１を形成したが、可動体３において接続体９０が接続される第１ヨーク８６および第２ヨーク８７に第１凹部１９１を形成してもよい。

上記実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本開示を適用してもよい。

上記実施形態では、粘弾性部材９としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。

上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本開示を適用してもよい。上記実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本開示を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本開示を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁
石、９…粘弾性部材、１０…フィルム、１０１…第１フィルム、１０２…第２フィルム、１５…配線基板、１６…第１ケース部材、１７…第２ケース部材、２６…プレート、６０…ホルダ、６５１、６５２…コイル保持穴、７１…第１コイル、７２…第２コイル、８１、８３…第１磁石、８２、８４…第２磁石、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９０…接続体、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１６６ａ、１６７ａ、１７６ａ、１７７ａ…接続領域、１９１…第１凹部、１９１ａ…第１開口縁、１９１ｂ…第２開口縁、１９２…第２凹部、１９３…貫通孔、１９６…第１溝、１９７…第２溝、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (11)

1. 支持体と、
   可動体と、
   前記可動体および前記支持体に接続された接続体と、
   前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、
   を有し、
   前記可動体および前記支持体のうちの少なくとも一方には、前記接続体が接着剤で接続される接続領域の周囲に溝状の第１凹部が形成されており、前記第１凹部の接続領域側の開口縁が前記接続体の端部と同位置または前記接続体の端部に対して前記接続体の中心寄りに位置し、前記第１凹部の前記接続領域と対向する開口縁が前記接続体の端部に対して前記接続体の中心から遠ざかる方向に位置することを特徴とするアクチュエータ。
2. 請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
   前記接続領域を有する前記可動体および前記支持体の少なくとも一方には、前記接続領域とその対向面とを貫通して外部に開口した貫通孔が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第２凹部は、一方方向に形成された第１溝と、前記第１溝に対して交差する方向に形成された第２溝と、を含み、
   前記第１溝および前記第２溝は、前記第１凹部と繋がっていることを特徴とするアクチ
   ュエータ。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１凹部の前記接続領域側の開口縁の角度が直角であることを特徴とするアクチュエータ。
5. 請求項１から３までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１凹部の前記接続領域側の開口縁の角度が９０度より大きく、１８０度より小さいことを特徴とするアクチュエータ。
6. 請求項１から３までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１凹部の前記接続領域側の開口縁の角の断面形状に曲線を含むことを特徴とするアクチュエータ。
7. 請求項４から６までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記第１凹部が曲面を有することを特徴とするアクチュエータ。
8. 請求項１から７までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記接続領域の表面には、前記接続体に接する突起が３つ以上設けられたことを特徴とするアクチュエータ。
   （効果）接着面に山形の突起を多数設けてダンパ材を多点で支える。
9. 請求項１から８までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
   前記接続体は、粘弾性部材と、前記粘弾性部材における前記可動体側を向く面及び前記支持体側を向く面にそれぞれ貼り付けられたフィルムとを有することを特徴とするアクチュエータ。
10. 請求項９に記載のアクチュエータにおいて、前記フィルムは樹脂フィルムまたは無機フィルムであることを特徴とするアクチュエータ。
11. 請求項１から１０までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
    前記接着剤が１液湿気硬化型接着剤であることを特徴とするアクチュエータ。
    
    

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