JP7481919B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、可動体を支持体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。

アクチュエータとして、支持体および可動体と、支持体に対して可動体を振動させる磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と支持体とを弾性および粘弾性を備えた接続体によって接続したものがある。特許文献１には、直方体状のカバーの内部に可動体を配置し、可動体をカバーの長手方向に振動させるアクチュエータが開示される。特許文献１のアクチュエータでは、接続体は、シート状ゲルを矩形に切断したゲル状部材である。可動体は、磁石が固定されたヨークを備えており、接続体（ゲル状部材）は、厚さ方向の一方の面がヨークに接着され、他方の面がカバー部材に接着されている。

特開２０１９－１３０８６号公報

本発明者らは、筒状のケースの内側に可動体を収容し、可動体を軸線方向に振動させるアクチュエータを提案している。可動体は、ケースの中心において軸線方向に延びる支軸を備えており、支軸の軸線方向の両端が円筒状の接続体を介してケースに接続される。接続体はゲル状部材であり、ケースの両端は蓋部材によって塞がれている。

上記のような構造のアクチュエータでは、可動体が軸線方向に振動する際、接続体の内周部に応力が集中する。従って、接続体の内周部が可動体から剥がれるおそれがある。接続体が可動体からはがれやすいと、アクチュエータの耐久性が低下する。

また、可動体が軸線方向に振動するアクチュエータでは、ケースの両端を塞ぐ蓋部材と可動体との衝突を回避するために、可動体と蓋部材との間にクリアランスを設けなければならない。従って、アクチュエータが軸線方向に大型化する。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の両端を接続体によって支持体に接続したアクチュエータの小型化、および、耐久性の向上を図ることにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体および可動体と、前記支持体および前記可動体に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続体は、前記可動体の振動方向の一端側に配置される第１接続体、および、前記可動体の振動方向の他端側に配置される第２接続体を備え、前記第１接続体および前記第２接続体は、筒状であり、前記第１接続体の内周部および前記第２接続体の内周部は、前記可動体および前記支持体の一方に接続され、前記第１接続体の外周部および前記第２接続体の外周部は、前記可動体および前記支持体の他方に接続され、前記可動体が原点位置に位置する状態において、前記第１接続体は、内周部が外周部に対して前記第２接続体の側に引っ張られてせん断変形しており、前記第２接続体は、内周部が外周部に対して前記第１接続体の側に引っ張られてせん断変形していることを特徴とする。

本発明では、可動体が原点位置に位置するとき、可動体の振動方向の一端側に配置される第１接続体と、可動体の振動方向の他端側に配置される第２接続体は、第１接続体の内周部と第２接続体の内周部とが互いに接近する方向に引っ張られてせん断変形している。このように、第１接続体と第２接続体の内周部が可動体の振動方向の中央に向かって引っ張られた状態にしておけば、可動体の振動方向のサイズを小さくできるとともに、可動体の振動方向の両側に確保すべきクリアランスを小さくできる。従って、アクチュエータを小型化できる。また、第１接続体と第２接続体の内周部は、可動体の振動時に応力が集中する部位であるが、この部位を予め可動体の振動方向の中央に向かって引っ張って接続体をせん断変形させておくことにより、可動体が振動したときに両接続体の内周部に加わる応力を緩和できる。従って、両接続体の内周部が可動体および支持体の一方から剥がれるおそれが少ないので、アクチュエータの耐久性を高めることができる。

本発明において、前記第１接続体は、前記第２接続体とは反対側を向く第１接続体第１端面を備え、前記第２接続体は、前記第１接続体とは反対側を向く第２接続体第１端面を備え、前記可動体が原点位置に位置する状態において、前記第１接続体第１端面は、内周縁が外周縁よりも前記第２接続体側に位置し、前記第２接続体第１端面は、内周縁が外周縁よりも前記第１接続体側に位置する。このように、第１接続体第１端面および第２接続体第１端面は、原点位置において、内周縁が可動体の振動方向の中央に向かって凹んだ形状になっているので、可動体が振動したときに、第１接続体第１端面と第１内枠部材の外周面とのなす角度、および、第２接続体第１端面と第２内枠部材の外周面とのなす角度が小さくなりにくい。従って、可動体が振動したときに、両接続体の内周部が可動体および支持体の一方から剥がれるおそれが少ないので、アクチュエータの耐久性を高めることができる。

本発明において、前記第１接続体および前記第２接続体は、ゲル状部材であり、前記第１接続体は、前記第１接続体第１端面とは反対側を向く第１接続体第２端面を備え、前記第１接続体第２端面は、前記第１接続体第１端面の側に凹んでおり、前記第２接続体は、前記第２接続体第１端面とは反対側を向く第２接続体第２端面を備え、前記第２接続体第２端面は、前記第２接続体第１端面の側に凹んでいる。接続体がゲル状部材である場合には、注型により製造することにより、成形時に接続体をゲル状部材自体の接着力によって内枠部材と外枠部材に接続して部品化できる。注型により接続体を製造する場合には、一方の端面（第１接続体第１端面と第２接続体第１端面）は型部材によって成形される平坦面になり、他方の端面（第１接続体第２端面と第２接続体第２端面）はゲル材料の表面張力によって凹面になる。成形時に接続体を内枠部材と外枠部材に接続して部品化すれば、アクチュエータの組立時に、接着剤を用いて接続体を固定する工程を行う必要がない。従って、接続体の取り扱いが容易であり、アクチュエータの組立を容易にすることができる。

本発明において、前記磁気駆動機構は、磁石およびコイルを備え、前記可動体は、前記支持体の内周側で前記磁石および前記コイルのうちの一方を含む被支持部材を支持する支軸と、前記支軸の一端側に固定される第１内枠部材と、前記支軸の他端側に固定される第２内枠部材と、を備え、前記支持体は、前記第１内枠部材と径方向で対向する第１外枠部材と、前記第２内枠部材と径方向で対向する第２外枠部材と、前記第１外枠部材および前記第２外枠部材の外周側を囲む筒状のケースを備え、前記第１接続体は、前記第１内枠部材および前記第１外枠部材に接続され、前記第２接続体は、前記第２内枠部材および前記第２外枠部材に接続される。このような構成では、支軸を中心にして組み立てた可動体の両端を第１接続体および第２接続体によって支持できるので、可動体を安定して支持できる。また、第１接続体は第１内枠部材と第１外枠部材の径方向の隙間に配置され、第２接続体は第２内枠部材と第２外枠部材の径方向の隙間に配置されるので、振動方向と異なる方向に可動体が動きにくい。従って、可動体が意図しない方向に動いて支持体と衝突する
おそれが少ない。

本発明において、前記第１内枠部材は、前記第１外枠部材の前記第２接続体側の端部よりも前記第２接続体側に突出しており、前記第２内枠部材は、前記第２外枠部材の前記第１接続体側の端部よりも前記第１接続体側に突出している。このように、内枠部材が外枠部材から突出していれば、接続体の裏表が一目でわかる。従って、第１接続体と第２接続体を軸線方向で逆向きにして組み立てる作業を容易に、且つ、間違いなく行うことができる。

本発明において、前記第１内枠部材は、前記支軸が圧入される第１固定部を備え、前記第２内枠部材は、前記支軸が圧入される第２固定部を備えることが好ましい。このように、圧入によって第１内枠部材および第２内枠部材を固定すれば、ねじなどの固定部品およびねじ穴を設ける必要がないので、第１内枠部材および第２内枠部材を製造する際に材料の歩留まりが良く、加工コストも低い。従って、部品コストが低い。

本発明において、前記第１内枠部材は、前記被支持部材に前記支軸の一端側から当接し、
前記第２内枠部材は、前記被支持部材に前記支軸の他端側から当接することが好ましい。このようにすると、第１内枠部材と第２内枠部材によって被支持部材を軸線方向に位置決めできる。従って、被支持部材に含まれる磁石またはコイルの位置決めが容易である。

本発明によれば、可動体が原点位置に位置するとき、可動体の振動方向の一端側に配置される第１接続体と、可動体の振動方向の他端側に配置される第２接続体は、第１接続体の内周部と第２接続体の内周部とが互いに接近する方向に引っ張られてせん断変形している。このように、第１接続体と第２接続体の内周部が可動体の振動方向の中央に向かって引っ張られた状態にしておけば、可動体の振動方向のサイズを小さくできるとともに、可動体の振動方向の両側に確保すべきクリアランスを小さくできる。従って、アクチュエータを小型化できる。また、第１接続体と第２接続体の内周部は、可動体の振動時に応力が集中する部位であるが、この部位を予め可動体の振動方向の中央に向かって引っ張って接続体をせん断変形させておくことにより、可動体が振動したときに両接続体の内周部に加わる応力を緩和できる。従って、両接続体の内周部が可動体および支持体の一方から剥がれるおそれが少ないので、アクチュエータの耐久性を高めることができる。

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータの断面図（図１のＡ－Ａ断面図）である。 内枠部材および外枠部材が固定された接続体の断面図である。 接続体の製造方法の説明図である。 可動体が原点位置に位置するときの接続体の形態を模式的に示す断面図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、可動体３の中心軸線が延在する方向を軸線Ｌ方向とし、軸線Ｌ方向の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２とする。本発明を適用したアクチュエータ１は、可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に振動する。

以下に説明する実施形態では、可動体３は、支持体２の内周側に配置されるが、本発明
では、可動体３が支持体２の外周側に配置される態様を採用してもよい。また、以下に説明する実施形態では、可動体３を支持体２に対して振動させる磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えているが、本発明では、磁石６１とコイル６２の配置を逆にした構成を採用してもよい。すなわち、磁気駆動機構６は、可動体３に配置されるコイル６２と、支持体２に配置される磁石６１とを備えている態様であってもよい。

（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２および可動体３に接続された接続体１０と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６とを備える。接続体１０は、弾性および粘弾性のうちの少なくとも一方を備える。磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えており、支持体２に対して可動体３を軸線Ｌ方向に相対移動させる。図３に示すように、可動体３は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部、および軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部の各位置において、接続体１０を介して支持体２と接続される。

（支持体）
支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に配置されるコイルホルダ４を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。また、支持体２は、コイルホルダ４の内周側に嵌まる第１外枠部材５１と、第１外枠部材５１に対して軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に離間した位置でケース２０の内周側に嵌まる第２外枠部材５２を有する。第１外枠部材５１と第２外枠部材５２とは同一形状であり、軸線Ｌ方向で逆向きに配置される。

（接続体）
接続体１０は、第１外枠部材５１の内周面に接合された環状の第１接続体１１と、第２外枠部材５２の内周面に接合された環状の第２接続体１２を備える。可動体３の軸線Ｌ方向（すなわち、可動体の振動方向）の一端側に第１接続体１１が配置され、可動体３の軸線Ｌ方向の他端側に第２接続体１２が配置される。第１接続体１１および第２接続体１２はゲル状部材であり、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１外枠部材５１および第２外枠部材５２に接合される。第１接続体１１および第２接続体１２は、例えば、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。本形態では、第１外枠部材５１をコイルホルダ４に圧入して固定することにより、第１接続体１１が支持体２に接続される。また、第２外枠部材５２をケース２０に圧入して固定することにより、第２接続体１２が支持体２に接続される。

（コイルホルダ）
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１外枠部材固定部４１と、第１外枠部材固定部４１から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２とを備えており、胴部４２の周りにコイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。

図３に示すように、コイルホルダ４は、第１外枠部材５１を軸線Ｌ方向に位置決めする
第１段部４４を備える。第１外枠部材固定部４１は第１外枠部材５１の外周側を囲んでいる。第１外枠部材固定部４１の内周面には、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に凹む第１凹部４３が設けられ、第１外枠部材５１は、第１凹部４３に圧入される。第１段部４４は、第１凹部４３の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に設けられている。本形態では、第１外枠部材５１の外周面に形成された環状段部５１１が第１段部４４に対して軸線Ｌ方向に当接する。

（ケース）
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２外枠部材固定部２５を備える。図２に示すように、第２外枠部材固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。図３、図４に示すように、第２外枠部材固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に離間した位置に配置される。

ケース２０は、第２外枠部材５２を軸線Ｌ方向に位置決めする第２段部４５を備える。図３に示すように、第２外枠部材固定部２５の内周面には、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に凹む第２凹部４６が設けられ、第２外枠部材５２は、第２凹部４６に圧入される。第２段部４５は、第２凹部４６の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に設けられている。本形態では、第２外枠部材５２の外周面に形成された環状段部５２１が第２段部４５に対して軸線Ｌ方向に当接する。

また、ケース２０は、コイルホルダ４を軸線Ｌ方向に位置決めする第３段部４７を備える。図３に示すように、第３段部４７は、ケース本体２４の内周面に形成される。ケース本体２４の内周面には、軸線Ｌ方向に延びる複数の溝部２９が形成され、各溝部２９の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に第３段部４７が形成されている。一方、図２、図３に示すように、コイルホルダ４は、第１外枠部材固定部４１の外周面から突出する複数の凸部４９を備える。支持体２を組み立てる際、コイルホルダ４の各凸部４９は、ケース本体２４の各溝部２９に軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１から嵌め込まれ、第３段部４７に対して軸線Ｌ方向に当接する。これにより、コイルホルダ４がケース本体２４に圧入されて固定されるとともに、コイルホルダ４が軸線Ｌ方向に位置決めされる。

（蓋部材）
図３に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１外枠部材固定部４１の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定されている。また、第２蓋部材２２は、第２外枠部材固定部２５の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定されている。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線Ｌ方向から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に等間隔で配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。

係止部２７は、径方向に弾性変形して蓋部２６と共にケース本体２４の内周側に押し込まれる。ケース２０は、係止部２７がケース２０の内側から外れることを規制する規制部２８を備える。規制部２８は、ケース本体２４の端部から内周側に突出する凸部である。図１、図２に示すように、規制部２８は、ケース本体２４の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１および他方側Ｌ２の端部に、それぞれ、３個所ずつ等間隔で配置される。規制部２８は、係止部２７の先端に対して軸線Ｌ方向に当接する。

第１蓋部材２１は、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と、溶着とを併用してケース２０に固定される。接着剤は、硬化後にケース２０の一方側Ｌ１の端部と第１蓋部材２１との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って
、組立後の支持体２では、第１蓋部材２１とケース２０との隙間は、接着剤（図示せず）によって封止される。

第１蓋部材２１は、溶着によってコイルホルダ４に固定され、コイルホルダ４を介してケース２０に固定される。図２、図３に示すように、第１蓋部材２１は、蓋部２６から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に突出する複数の溶着用凸部２１０を備える。一方、図３に示すように、コイルホルダ４は、蓋部２６と軸線Ｌ方向に対向する複数の溶着用凹部４１０を備える。本形態では、溶着用凸部２１０および溶着用凹部４１０は、周方向に等間隔で３個所に配置される。第１蓋部材２１をケース２０に固定する際には、図３に示すように、各溶着用凸部２１０がコイルホルダの溶着用凹部４１０に溶着される。

第２蓋部材２２は、第１蓋部材２１と同様に、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と、溶着とを併用してケース２０に固定される。接着剤は、硬化後にケース２０の他方側Ｌ２の端部と第２蓋部材２２との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って、組立後の支持体２では、第２蓋部材２２とケース２０との隙間は、接着剤（図示せず）によって封止される。

第２蓋部材２２は、溶着によってケース２０の第２外枠部材固定部２５に固定される。図２、図３に示すように、第２蓋部材２２は、蓋部２６から軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に突出する複数の溶着用凸部２２０を備える。一方、第２外枠部材固定部２５は、蓋部２６と軸線Ｌ方向に対向する複数の溶着穴２５０を備える。本形態では、溶着用凸部２２０および溶着穴２５０は、周方向に等間隔で３個所に配置される。第２蓋部材２２をケース２０に固定する際には、図３に示すように、各溶着用凸部２２０が第２外枠部材固定部２５の溶着穴２５０に溶着される。

図２に示すように、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１は、ケース本体２４に設けられた３個所の規制部２８と軸線Ｌ方向で重なる部分を内周側に切り欠いた溝部４８を備える。従って、コイルホルダ４をケース本体２４の内部に挿入する際に、第１外枠部材固定部４１と規制部２８とが干渉することが回避される。

（配線引き出し部）
図１に示すように、支持体２は、磁気駆動機構６のコイル６２から引き出したコイル線６３を絡げた端子ピン６４を外部に引き出すための配線引き出し部６０を備える。配線引き出し部６０は、ケース２０の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の縁を軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、第１蓋部材２１の外周縁の周方向の一部から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に延びるカバー６６との間に設けられた隙間である。

切欠き部６５の内周側には、コイルホルダ４の第１外枠部材固定部４１が配置される。本形態では、第１外枠部材固定部４１から外周側に延びる２本の端子ピン６４が配線引き出し部６０に配置される。各端子ピン６４の根本には、コイル６２から引き出されたコイル線６３が絡げられている。

図２に示すように、切欠き部６５の周方向の両側の縁には、それぞれ、径方向外側に開口する溝部６７が形成されている。カバー６６は、ケース本体２４の外周面と略同一面上に位置する湾曲形状をしており、カバー６６の周方向の両側の縁には、径方向内側に突出する係止部６８が設けられている。切欠き部６５に対して軸線Ｌ方向の一方側からカバー６６が挿入される際、切欠き部６５の周方向の両側の縁に設けられた２本の溝部６７にそれぞれカバー６６の係止部６８が挿入される。これにより、切欠き部６５の縁がカバー６６によって係止されるので、切欠き部６５の幅が拡がってケース２０が変形することが抑制される。

ケース２０は、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９を備える。配線引き出し部６０には、基板固定部６９に固定される配線基板７の端部が配置される。端子ピン６４は、配線基板７の縁に設けられた保持溝７１に位置決めされ、保持溝７１の縁に形成されたランドと電気的に接続される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９は、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部６９０を備える。

基板固定部６９は、切欠き部６５に配置された配線基板７の縁を係止する爪部６９１を備える。配線基板７は、爪部６９１による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７を固定する接着剤は、配線基板７とケース２０との隙間、および、カバー６６の先端と配線基板７との隙間を封止する封止材となるように塗布される。従って、組立後の支持体２では、配線基板７とケース２０との隙間、および、配線基板７と第１蓋部材２１との隙間は、接着剤（図示せず）によって完全に封止されている。また、第１蓋部材２１をケース２０に固定する際、カバー６６と切欠き部６５との隙間にも接着材が塗布される。従って、カバー６６と切欠き部６５との隙間も、接着剤（図示せず）によって封止される。

（可動体）
図２、図３に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、筒状の第１内枠部材３６、および筒状の第２内枠部材３７によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は、金属製の円筒体であり、第１内枠部材３６および第２内枠部材３７には円形の貫通穴が設けられている。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７は同一形状であり、軸線Ｌ方向に逆向きに配置される。

第１内枠部材３６は第１外枠部材５１と径方向に対向しており、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１の間に第１接続体１１が配置される。また、第２内枠部材３７は第２外枠部材５２と径方向に対向しており、第２内枠部材３７と第２外枠部材５２の間に第２接続体１２が配置される。上記のように、第１接続体１１および第２接続体１２はゲル状部材であり、ゲル状部材自身の粘着性によって、第１接続体１１が第１内枠部材３６に接合され、第２接続体１２が第２内枠部材３７に接合されている。第１内枠部材３６および第２内枠部材３７に支軸３０を圧入して固定することにより、第１接続体１１および第２接続体１２が可動体３に接続される。

図３に示すように、第１内枠部材３６の内周面には、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に径方向内側に突出した環状突部３６１が形成されている。第１内枠部材３６を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３６１に圧入される。従って、環状突部３６１は、支軸３０が圧入される第１固定部である。また、第２内枠部材３７の内周面には、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に径方向内側に突出した環状突部３７１が形成されている。第２内枠部材３７を支軸３０に圧入した際、支軸３０は環状突部３７１に圧入される。従って、環状突部３７１は、支軸３０が圧入される第２固定部である。

磁石６１は、支軸３０が貫通する軸穴６１０が設けられており、支軸３０の軸線Ｌ方向の略中央に固定される。ヨーク３５は、磁石６１に軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１で重なる第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２で重なる第２ヨーク３２を備える。第１ヨーク３１は、支軸３０が貫通する軸穴３１０が設けられた円板状であり、磁石６１と第１ヨーク３１とは外径が等しい。第２ヨーク３２は、カップ状の第１磁性部材３３と、円板状の第２磁性部材３４の２つの部材からなる。第１磁性部材３３は、支軸３０が貫通する軸穴３３０が設けられた円形の端板部３３１と、端板部３３１の外縁から軸線Ｌ方向
の一方側Ｌ１に延びる円筒部３３２とを有する。本形態では、第１磁性部材３３の端板部３３１が磁石６１の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端面に固定される。第２磁性部材３４は、支軸３０が貫通する軸穴３４０を備えており、第１磁性部材３３の端板部３３１に対して磁石６１とは反対側から固定される。

可動体３は、磁石６１およびヨーク３５を構成する各部材の軸穴３１０、６１０、３３０、３４０に支軸３０を貫通させた状態で、磁石６１およびヨーク３５の軸線Ｌ方向の両側で第１内枠部材３６および第２内枠部材３７を支軸３０に固定する。その結果、第１内枠部材３６が軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１から磁石６１およびヨーク３５を支持し、第２内枠部材３７が軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２から磁石６１およびヨーク３５を支持する結果、磁石６１およびヨーク３５は、支軸３０に固定される。

磁石６１およびヨーク３５は、第１内枠部材３６および第２内枠部材３７によって支軸３０に固定される被支持部材を構成している。環状突部３６１（第１固定部）は、第１内枠部材３６の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の端部に設けられて、磁石６１およびヨーク３５（被支持部材）に軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１から当接する。また、環状突部３７１（第２固定部）は、第２内枠部材３７の軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１の端部に設けられて、磁石６１およびヨーク３５（被支持部材）に軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２から当接する。

第２ヨーク３２は、第１磁性部材３３の円筒部３３２の内径が、磁石６１および第１ヨーク３１の外径より大きい。従って、磁石６１および第１ヨーク３１を円筒部３３２の底部である円形の端板部３３１に重ねると、円筒部３３２は、磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面から径方向外側に離間した位置で磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面に対向する。本形態では、円筒部３３２と磁石６１の外周面との間にコイル６２の一部が配置される。また、円筒部３３２と第１ヨーク３１の外周面との間にコイル６２の一部が配置される。

（接続体の製造方法）
図４は、内枠部材および外枠部材が固定された接続体１０の断面図である。図４（ａ）は、第１内枠部材３６および第１外枠部材５１が固定された第１接続体１１の断面図であり、図４（ｂ）は、第２内枠部材３７および第２外枠部材５２が固定された第２接続体１２の断面図である。第１接続体１１および第２接続体１２は、ゲル材料を成形したゲル状部材であり、注型により製造される。

図４（ａ）に示すように、第１接続体１１は、成形される際に第１外枠部材５１および第１内枠部材３６が接合されて部品化されている。また、図４（ｂ）に示すように、第２接続体１２は、成形される際に第２外枠部材５２および第２内枠部材３７が接合されて部品化されている。従って、アクチュエータ１を組み立てる際には、ゲル状部材を接着する工程を行わずに、支持体２と可動体３とを接続することができる。

図５は、接続体１０の製造方法の説明図である。以下、図５を参照して第１接続体１１の製造方法を説明する。第２接続体１２の製造方法は、第１接続体１１の製造方法と同一であるため、説明を省略する。図５に示すように、第１工程では、製造用治具９０に設けられた円形凹部９１の中央から突出するピン９２を第１内枠部材３６に挿入し、円形凹部９１の底面９４に第１内枠部材３６を当接させる。また、円形凹部９１の内周面に第１外枠部材５１を内接させ、円形凹部９１の底面９４に第１外枠部材５１を当接させる。これにより、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１が位置決めされ、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１の間に環状の隙間Ｓが形成される。

本形態では、第１内枠部材３６は、支軸３０を固定するための環状突部３６１（第１固
定部）を備えている。製造用治具９０に第１内枠部材３６を位置決めする際、環状突部３６１が配置される側とは反対側からピン９２を挿入し、環状突部３６１が配置される側とは反対側の端面を円形凹部９１の底面９４に当接させる。

第２工程では、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１との隙間Ｓにディスペンサー９３からゲル材料Ｇを充填する。なお、隙間Ｓにゲル材料Ｇを入れる前に、第１内枠部材３６の外周面３６０および第１外枠部材５１の内周面５１０にプライマー１３を塗布しておく。プライマー１３の塗布は、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１を製造用治具９０に位置決めする前に行ってもよいし、位置決めした後に行ってもよい。

第３工程では、ゲル材料Ｇを製造用治具９０ごと加熱し、規定の温度で規定の時間維持することにより硬化させる。これにより、隙間Ｓにはゲル状部材である第１接続体１１が形成される。ゲル材料Ｇは、加熱硬化する際に、プライマー１３に接する部分がプライマー１３と反応して、第１内枠部材３６の外周面３６０および第１外枠部材５１の内周面５１０に固定される。従って、第１接続体１１は、第１接続体１１自体の接着力によって第１内枠部材３６および第１外枠部材５１に固定される。

第４工程では、完成した第１接続体１１を第１内枠部材３６および第１外枠部材５１と共に製造用治具９０から取り外す。例えば、円形凹部９１の底面９４に突き出しピンを配置するための貫通孔（図示せず）を設けておき、突き出しピンを用いて、第１内枠部材３６および第１外枠部材５１と共に第１接続体１１を製造用治具９０から取り外す。

（組立前の接続体の形態）
図４（ａ）、図４（ｂ）は、アクチュエータ１を組み立てる前の、部品の状態の第１接続体１１および第２接続体１２を示しており、第１接続体１１および第２接続体１２がせん断変形していない状態を示す。まず、図４（ａ）、図４（ｂ）を参照して、せん断変形していない第１接続体１１および第２接続体１２の形状を説明する。

図４（ａ）に示すように、第１接続体１１は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１を向く第１接続体第１端面１１１と、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２を向く第１接続体第２端面１１２を備える。図４（ｂ）に示すように、第２接続体１２は、軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２を向く第２接続体第１端面１２１と、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１を向く第２接続体第２端面１２２を備える。第１接続体１１と第２接続体１２は逆向きに配置され、第１接続体第２端面１１２と第２接続体第２端面１２２とが対向する。

第１接続体第１端面１１１および第２接続体第１端面１２１は、円形凹部９１の底面９４によって成形される。従って、第１接続体１１がせん断変形していない状態では、第１接続体第１端面１１１は平坦面であり、第１内枠部材３６の一方側Ｌ１の端面、および、第１外枠部材５１の一方側Ｌ１の端面と同一面上に位置する（図４（ａ）参照）。同様に、第２接続体１２がせん断変形していない状態では、第２接続体第１端面１２１は平坦面であり、第２内枠部材３７の他方側Ｌ２の端面、および、第１外枠部材５１の一方側Ｌ１の端面と同一面上に位置する（図４（ｂ）参照）。

第１接続体第２端面１１２および第２接続体第２端面１２２は凹面である。第１接続体第２端面１１２および第２接続体第２端面１２２は、成形時にゲル材料Ｇの表面張力によって凹んだ形状に成形されている。

本形態では、第１内枠部材３６は、第１外枠部材５１よりも軸線Ｌ方向の長さが大きい。そのため、第１内枠部材３６は、第１外枠部材５１の他方側Ｌ２の端部よりも他方側Ｌ２に突出している。同様に、第２内枠部材３７は、第２外枠部材５２よりも軸線Ｌ方向の
長さが大きく、第２外枠部材５２の一方側Ｌ１の端部よりも一方側Ｌ１に突出している。アクチュエータ１を組み立てる際、第１内枠部材３６が突出する側と、第２内枠部材３７が突出する側とが対向するように組み立てることにより、第１接続体第２端面１１２と第２接続体第２端面１２２とが対向するように第１接続体１１と第２接続体１２とが組み立てられる。

（組立後の接続体の形態）
図６は、可動体３が原点位置に位置するときの接続体１０の形態を模式的に示す断面図であり、アクチュエータ１が組み立てられたときの第１接続体１１および第２接続体１２の形態を示している。なお、図６では、実際のアクチュエータ１よりも第１接続体１１および第２接続体１２のせん断変形量（距離Ｈ）を大きく表示している。

アクチュエータ１は、可動体３が原点位置にある状態において、第１接続体１１と第２接続体１２が軸線Ｌ方向で逆向きにせん断変形した状態となるように構成されている。図３に示すように、第１内枠部材３６と第２内枠部材３７は、軸線Ｌ方向の両側から被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）に当接して被支持部材を支持する。これにより、第１内枠部材３６の一方側Ｌ１の端面と第２内枠部材３７の他方側Ｌ２の端面との距離Ｈ１が規定される。一方、第１外枠部材５１と第２外枠部材５２は、コイルホルダ４の第１段部４４とケース２０の第２段部４５によって軸線Ｌ方向に位置決めされる。これにより、第１外枠部材５１の一方側Ｌ１の端面と第２外枠部材５２の他方側Ｌ２の端面との距離Ｈ２が規定される。アクチュエータ１は、距離Ｈ１が距離Ｈ２よりも所定寸法小さくなるように、各部材の寸法および配置が決定されている。

本形態では、距離Ｈ１が距離Ｈ２よりも小さいので、図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１、および、第２内枠部材３７と第２外枠部材５２は、それぞれ、図４（ａ）、図４（ｂ）に示した部品の状態から軸線Ｌ方向に相対移動している。第１内枠部材３６の第１外枠部材５１に対する相対移動量、および、第２内枠部材３７の第２外枠部材５２に対する相対移動量をＨとすると、Ｈ＝（Ｈ２－Ｈ１）÷２である。

このように、第１内枠部材３６と第１外枠部材５１、および、第２内枠部材３７と第２外枠部材５２が軸線Ｌ方向に相対移動したことによって、第１接続体１１と第２接続体１２は、軸線Ｌ方向にせん断変形している。より詳細には、第１接続体１１は、内周部が外周部に対して軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２（すなわち、第２接続体１２の側）に引っ張られてせん断変形している。また、第２接続体１２は、内周部が外周部に対して軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１（すなわち、第１接続体１１の側）に引っ張られてせん断変形している。すなわち、第１接続体１１と第２接続体１２は、内周部が互いに接近する方向に引っ張られて軸線Ｌ方向で逆向きにせん断変形している。

本形態では、部品の状態では平坦面であった第１接続体第１端面１１１は、図６（ａ）に示すように、内周縁が外周縁に対して他方側Ｌ２（すなわち、第２接続体１２が配置される側）に位置しており、内周側に向かうに従って他方側Ｌ２に向かう傾斜面になっている。そのため、第１接続体第１端面１１１の内周縁と第１内枠部材３６の外周面３６０とのなす角度θは鈍角になっている。同様に、部品の状態では平坦面であった第２接続体第１端面１２１は、図６（ｂ）に示すように、内周縁が外周縁に対して一方側Ｌ１（すなわち、第１接続体１１が配置される側）に位置しており、内周側に向かうに従って一方側Ｌ１に向かう傾斜面になっている。そのため、第２接続体第１端面１２１の内周縁と第２内枠部材３７の外周面３７０とのなす角度θは鈍角になっている。

図４（ａ）に示すように、第１接続体１１がせん断変形していない状態では、第１接続
体第１端面１１１と第１内枠部材３６の外周面３６０とのなす角度は９０°になっているが、本形態では、上記のように第１接続体１１がせん断変形したことにより、角度θが９０°よりも大きい。可動体３が原点位置にある状態で角度θが大きければ、可動体３が軸線Ｌ方向に振動した際に角度θが小さくなりにくいので、第１接続体１１の内周部に加わる応力を緩和できる。従って、第１接続体１１が第１内枠部材３６の外周面３６０から剥がれにくい。同様に、第２接続体１２が第２内枠部材３７の外周面３７０から剥がれにくい。よって、アクチュエータ１の耐久性を高めることができる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１は、支持体２および可動体３と、支持体２および可動体３に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え接続体１０と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６を有する。接続体１０は、可動体３の軸線Ｌ方向（すなわち、可動体３の振動方向）における一端側に配置される第１接続体１１、および、可動体３の軸線Ｌ方向における他端側に配置される第２接続体１２を備える。第１接続体１１および第２接続体１２は筒状であり、第１接続体１１の内周部および第２接続体１２の内周部は、可動体３に接続され、第１接続体１１の外周部および第２接続体１２の外周部は、支持体２に接続される。可動体３が原点位置に位置する状態において、第１接続体１１は、内周部が外周部に対して第２接続体１２の側に引っ張られてせん断変形しており、第２接続体１２は、内周部が外周部に対して第１接続体１１の側に引っ張られてせん断変形している。

このように、本形態では、可動体３が原点位置に位置するとき、第１接続体１１の内周部と第２接続体１２の内周部とが互いに接近する方向に引っ張られてせん断変形している。これにより、可動体３の軸線Ｌ方向のサイズを小さくできるとともに、可動体３の軸線Ｌ方向の両側に確保すべきクリアランスを小さくすることができる。従って、アクチュエータ１の軸線Ｌ方向の長さを小さくすることができる。また、第１接続体１１と第２接続体１２の内周部は、可動体３の振動時に応力が集中する部位であるが、この部位を予め可動体３の振動方向の中央に向かって引っ張ってせん断変形させておけば、上記のように、可動体３が振動したときに第１接続体１１と第２接続体１２の内周部に加わる応力を緩和できる。従って、第１接続体１１と第２接続体１２の内周部が可動体３から剥がれるおそれが少ない。よって、アクチュエータ１の耐久性が高い。

ここで、本形態では、原点位置における第１接続体１１および第２接続体１２のせん断変形量（図６に示す距離Ｈ）は小さいので、可動体３が原点位置に位置するときの第１接続体１１および第２接続体１２のばね定数は、第１接続体１１および第２接続体１２がせん断変形していないときのばね定数と略等しい。従って、可動体３の振動特性に影響を及ぼさずに、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。

本形態では、第１接続体１１は、第２接続体１２とは反対側（一方側Ｌ１）を向く第１接続体第１端面１１１を備え、第２接続体１２は、第１接続体１１とは反対側（他方側Ｌ２）を向く第２接続体第１端面１２１を備える。可動体３が原点位置に位置する状態において、第１接続体第１端面１１１および第２接続体第１端面１２１は、可動体３に接続される内周縁が可動体３の軸線Ｌ方向の中央に向かって凹んだ形状になっている。すなわち、第１接続体第１端面１１１の内周縁は、第１接続体第１端面１１１の外周縁よりも第２接続体１２側（他方側Ｌ２）に位置し、第２接続体第１端面１２１の内周縁は、第２接続体第１端面１２１の外周縁よりも第１接続体１１側（一方側Ｌ１）に位置する。原点位置においてこのような端面形状になっていれば、可動体３が振動したときに、第１内枠部材３６の外周面３６０と第１接続体第１端面１１１とのなす角度θ、および、第２内枠部材３７の外周面３７０と第２接続体第１端面１２１とのなす角度θが小さくなりにくい。従って、可動体３が振動したときに第１接続体１１が第１内枠部材３６の外周面３６０から
剥がれるおそれが少なく、第２接続体１２の内周部が第２内枠部材３７の外周面３７０から剥がれるおそれが少ない。よって、アクチュエータ１の耐久性を高めることができる。

本形態では、第１接続体１１は、第１接続体第１端面１１１とは反対側（他方側Ｌ２）を向く第１接続体第２端面１１２を備えており、第１接続体第２端面１１２は、第１接続体第１端面１１１の側（一方側Ｌ１）に凹んでいる。また、第２接続体１２は、第２接続体第１端面１２１とは反対側（一方側Ｌ１）を向く第２接続体第２端面１２２を備え、第２接続体１２第２端面は、第２接続体第１端面１２１の側（他方側Ｌ２）に凹んでいる。本形態では、第１接続体１１および第２接続体１２がゲル状部材であり、注型により製造されている。そのため、第１接続体第２端面１１２および第２接続体第２端面１２２は、ゲル材料の表面張力によって凹面になっている。注型により製造することにより、製造が容易であるとともに、成形時に第１接続体１１をゲル状部材自体の接着力によって第１内枠部材３６と第１外枠部材５１に接続でき、第２接続体１２をゲル状部材自体の接着力によって第２内枠部材３７と第２外枠部材５２に接続できる。従って、アクチュエータ１の組立時に、接着剤を用いて第１接続体１１および第２接続体１２を固定する工程を行う必要がない。よって、第１接続体１１および第２接続体１２の取り扱いが容易であり、アクチュエータ１の組立が容易である。

本形態では、磁気駆動機構６は、磁石６１およびコイル６２を備えており、可動体３は、支持体２の内周側で磁石６１を含む被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）を支持する支軸３０と、支軸３０の一端側に固定される第１内枠部材３６と、支軸３０の他端側に固定される第２内枠部材３７を備える。支持体２は、第１内枠部材３６と径方向で対向する第１外枠部材５１と、第２内枠部材３７と径方向で対向する第２外枠部材５２を備える。第１接続体１１は、第１内枠部材３６および第１外枠部材５１に接続され、第２接続体１２は、第２内枠部材３７および第２外枠部材５２に接続される。このように、本形態では、支軸３０を中心にして組み立てた可動体３の両端を第１接続体１１および第２接続体１２によって支持するので、可動体３を安定して支持できる。また、第１接続体１１は第１内枠部材３６と第１外枠部材５１の径方向の隙間に配置され、第２接続体１２は第２内枠部材３７と第２外枠部材５２の径方向の隙間に配置されるので、振動方向と異なる方向に可動体３が動きにくい。従って、可動体３が意図しない方向に動いて支持体２と衝突するおそれが少ない。

本形態では、第１内枠部材３６は、第１接続体１１および第１外枠部材５１よりも第２接続体１２側（他方側Ｌ２）に突出しており、第２内枠部材３７は、第２接続体１２および第２外枠部材５２よりも第１接続体１１側（一方側Ｌ１）に突出している。このように、内枠部材が外枠部材から突出していれば、第１接続体１１および第２接続体１２の裏表が一目でわかる。従って、第１接続体１１と第２接続体１２を軸線Ｌ方向で逆向きにして組み立てる作業を容易に、且つ、間違いなく行うことができる。

本形態では、第１内枠部材３６は、支軸３０が圧入される環状突部３６１（第１固定部）を備え、第２内枠部材３７は、支軸３０が圧入される環状突部３７１（第２固定部）を備える。このように、圧入によって第１内枠部材３６および第２内枠部材３７を固定すれば、ねじなどの固定部品を必要とせず、部品形状を単純化できる。従って、部品コストの低減を図ることができる。

本形態では、第１内枠部材３６は、被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）に支軸３０の一端側から当接し、第２内枠部材３７は、被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）に支軸３０の他端側から当接するので、第１内枠部材３６と第２内枠部材３７によって被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）を軸線Ｌ方向に位置決めできる。従って、被支持部材（磁石６１およびヨーク３５）に含まれる磁石６１またはコイル６２の位置決めが容
易である。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…コイルホルダ、６…磁気駆動機構、７…配線基板、８…リード線、１０…接続体、１１…第１接続体、１２…第２接続体、１３…プライマー、２０…ケース、２１…第１蓋部材、２２…第２蓋部材、２４…ケース本体、２５…第２外枠部材固定部、２６…蓋部、２７…係止部、２８…規制部、２９…溝部、３０…支軸、３１…第１ヨーク、３２…第２ヨーク、３３…第１磁性部材、３４…第２磁性部材、３５…ヨーク、３６…第１内枠部材、３７…第２内枠部材、４１…第１外枠部材固定部、４２…胴部、４３…第１凹部、４４…第１段部、４５…第２段部、４６…第２凹部、４７…第３段部、４８…溝部、４９…凸部、５１…第１外枠部材、５２…第２外枠部材、６０…配線引き出し部、６１…磁石、６２…コイル、６３…コイル線、６４…端子ピン、６５…切欠き部、６６…カバー、６７…溝部、６８…係止部、６９…基板固定部、７１…保持溝、９０…製造用治具、９１…円形凹部、９２…ピン、９３…ディスペンサー、９４…底面、１１１…第１接続体第１端面、１１２…第１接続体第２端面、１２１…第２接続体第１端面、１２２…第２接続体第２端面、２１０、２２０…溶着用凸部、２５０…溶着穴、３１０、３３０、３４０…軸穴、３３１…端板部、３３２…円筒部、３６０…外周面、３６１…環状突部（第１固定部）、３７０…外周面、３７１…環状突部（第２固定部）、４１０…溶着用凹部、５１０…内周面、５１１…環状段部、５２１…環状段部、６１０…軸穴、６９０…リード線保持部、６９１…爪部、Ｇ…ゲル材料、Ｌ…軸線、Ｌ１…軸線方向の一方側、Ｌ２…軸線方向の他方側、Ｓ…隙間

Claims (7)

1. 支持体および可動体と、
   前記支持体および前記可動体に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、
   前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
   前記接続体は、前記可動体の振動方向の一端側に配置される第１接続体、および、前記可動体の振動方向の他端側に配置される第２接続体を備え、
   前記第１接続体および前記第２接続体は、筒状であり、
   前記第１接続体の内周部および前記第２接続体の内周部は、前記可動体および前記支持体の一方に接続され、
   前記第１接続体の外周部および前記第２接続体の外周部は、前記可動体および前記支持体の他方に接続され、
   前記第１接続体は、前記第２接続体とは反対側を向く第１接続体第１端面を備え、
   前記第２接続体は、前記第１接続体とは反対側を向く第２接続体第１端面を備え、
   前記可動体が原点位置に位置する状態において、
   前記第１接続体第１端面は、内周側に向かうに従って振動方向の他方側に向かう傾斜面になっており、
   前記第２接続体第１端面は、内周側に向かうに従って振動方向の一方側に向かう傾斜面になっていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記可動体が原点位置に位置する状態において、
   前記第１接続体第１端面は、内周縁が外周縁よりも前記第２接続体側に位置し、
   前記第２接続体第１端面は、内周縁が外周縁よりも前記第１接続体側に位置することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第１接続体および前記第２接続体は、ゲル状部材であり、
   前記第１接続体は、前記第１接続体第１端面とは反対側を向く第１接続体第２端面を備え、前記第１接続体第２端面は、前記第１接続体第１端面の側に凹んでおり、
   前記第２接続体は、前記第２接続体第１端面とは反対側を向く第２接続体第２端面を備え、前記第２接続体第２端面は、前記第２接続体第１端面の側に凹んでいることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記磁気駆動機構は、磁石およびコイルを備え、
   前記可動体は、前記支持体の内周側で前記磁石および前記コイルのうちの一方を含む被支持部材を支持する支軸と、前記支軸の一端側に固定される第１内枠部材と、前記支軸の他端側に固定される第２内枠部材と、を備え、
   前記支持体は、前記第１内枠部材と径方向で対向する第１外枠部材と、前記第２内枠部材と径方向で対向する第２外枠部材と、前記第１外枠部材および前記第２外枠部材の外周側を囲む筒状のケースを備え、
   前記第１接続体は、前記第１内枠部材および前記第１外枠部材に接続され、
   前記第２接続体は、前記第２内枠部材および前記第２外枠部材に接続され、
   第１接続体第１端面の内周縁と第１内枠部材の外周面とのなす角度は鈍角であり、第１接続体第１端面の内周縁と第１内枠部材の外周面とのなす角度は鈍角であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１内枠部材は、前記第１外枠部材の前記第２接続体側の端部よりも前記第２接続体側に突出しており、
   前記第２内枠部材は、前記第２外枠部材の前記第１接続体側の端部よりも前記第１接続体側に突出していることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 前記第１内枠部材は、前記支軸が圧入される第１固定部を備え、
   前記第２内枠部材は、前記支軸が圧入される第２固定部を備えることを特徴とする請求項４または５に記載のアクチュエータ。
7. 前記第１内枠部材は、前記被支持部材に前記支軸の一端側から当接し、
   前記第２内枠部材は、前記被支持部材に前記支軸の他端側から当接することを特徴とする請求項４から６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
   
   
   

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