JP7237733B2 - ダンパー部材、リニアアクチュエータ、およびダンパー部材の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、可動体を固定体に対して相対移動させるリニアアクチュエータに用いられるダンパー部材およびその製造方法、ならびに、ダンパー部材を備えたリニアアクチュエータに関する。

リニアアクチュエータとして、固定体および可動体と、可動体を駆動する磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と固定体とをダンパー部材を介して接続したものがある。特許文献１には、この種のリニアアクチュエータが開示されている。特許文献１のリニアアクチュエータは、固定体に対して可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、固定体と可動体とを接続するゲル状ダンパー部材を備えている。

特開２０１８－８８８０５号公報

可動体と固定体とをゲル状ダンパー部材によって接続する構造においては、可動体の振動特性のばらつきを低減させるために、ゲル状ダンパー部材のダンパー特性のばらつきを小さくすることが好ましい。ゲル状ダンパー部材のダンパー特性は、ゲル状ダンパー部材の寸法によって決まる。例えば、可動体が振動する際にゲル状ダンパー部材がせん断方向に変形するように構成した場合に、ゲル状ダンパー部材のバネ定数は、ゲル状ダンパー部材の振動方向（せん断方向）の寸法によって決まる。従って、リニアアクチュエータの振動性能を精度良く管理するため、ゲル状ダンパー部材の寸法を精度良く管理することが求められる。

従来、ゲル状ダンパー部材は、熱硬化成型機によって射出成型されている。しかしながら、射出成型で製造した製品には、ゲート痕が形成されたり、パーティングライン上にバリが形成されるため、耐久性が低下するおそれがある。そこで、ディスペンサーを使用してゲル材料を注型した後に熱硬化させる製造方法も提案されている。しかしながら、注型により製造する場合、ディスペンサーから吐出するゲル材料の吐出量のばらつきが大きい。その結果、ゲル状ダンパー部材の寸法のばらつきが大きくなってしまい、ダンパー特性のばらつきを低減させることが困難である。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体と固定体とを接続するダンパー部材としてゲル状ダンパー部材を用いる場合に、ゲル状ダンパー部材の寸法のばらつきを低減させることにより、ダンパー性能のばらつきを抑制することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るダンパー部材は、第１部材と、前記第１部材の外周側に配置され、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、前記第１部材と前記第２部材との隙間に配置され、前記第１部材と前記第２部材を接続するゲル状ダンパー部材と、を備え、少なくとも前記第１部材および前記第２部材のいずれかは、前記ゲル状ダンパー部材の寸法を規定する縁部と、前記縁部に対して前記ゲル状ダンパー部材とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、第１部材と第２部材とをゲル状ダンパー部材によって接続した構造のダンパー部材において、第１部材と第２部材の少なくとも一方に設けられた縁部によって、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）が規定される。例えば、第１部材と第２部材の隙間に硬化前のゲル材料を注型する際、縁部から余剰ゲル収容部へゲル材料を溢れさせることにより、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）を縁部の位置によって規定できる。このようにすると、部品の形状によってゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）を規定できる。すなわち、ディスペンサーからゲル材料を吐出する際の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）は縁部の位置によって決まるので、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができる。従って、ゲル状ダンパー部材のダンパー性能のばらつきを抑制できる。

また、本発明は、第１部材と第２部材とをゲル状ダンパー部材によって接続した構造のダンパー部材であるため、ゲル状ダンパー部材を固定体および可動体に直接固定する必要がなく、第１部材と第２部材の一方を可動体に固定し、第１部材と第２部材の他方を固定体に固定することによって可動体と固定体とを接続できる。従って、可動体と固定体とをダンパー部材によって接続する際にゲル状ダンパー部材の接着工程を行う必要がない。よって、ダンパー部材の取付工程に要する時間を短縮できる。

本発明において、前記第１部材は、筒状の第１側壁を備え、前記第２部材は、前記第１側壁の外周側に配置される筒状の第２側壁を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記第１側壁と前記第２側壁の間に配置され、前記縁部は、前記第１側壁または前記第２側壁の軸線方向の端部の全周に設けられ、前記余剰ゲル収容部は、前記縁部に対して前記ゲル状ダンパー部材とは反対側において全周に設けられている構成を採用することができる。このように、筒状の側壁の端部に縁部を設けることにより、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）を容易に規定できる。また、縁部および余剰ゲル収容部を全周に設けることにより、縁部から溢れた余剰のゲル材料を周方向に均等に配置できる。従って、ダンパー性能の周方向のばらつきが少ない。また、このダンパー部材をリニアアクチュエータに用いた場合に、リニアアクチュエータの動作を安定化できる。

あるいは、本発明において前記第１部材は、筒状の第１側壁を備え、前記第２部材は、前記第１側壁の外周側に配置される筒状の第２側壁を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記第１側壁と前記第２側壁の間に配置され、前記縁部は、前記第１側壁または前記第２側壁の軸線方向の端部を切り欠いた切欠き部に設けられ、前記余剰ゲル収容部は、少なくとも、前記切欠き部が設けられた周方向位置に設けられている構成を採用することができる。このように、筒状部の端部を切り欠いた切欠き部に縁部を設けることにより、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）を容易に規定できる。例えば、切欠き部からゲル材料を溢れさせることによってゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）を規定でき、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）のばらつきを容易に低減させることができる。また、切欠き部および余剰ゲル収容部を周方向の一部のみに設けることができるので、ダンパー部材の設計の自由度を高めることができる。

この場合に、前記余剰ゲル収容部は、全周に設けられていることが好ましい。このようにすると、切欠き部を周方向の一部のみに設けた場合であっても、縁部から溢れた余剰のゲル材料を周方向に均等に配置できる。従って、ダンパー性能の周方向のばらつきが少ない。また、このダンパー部材をリニアアクチュエータに用いた場合に、リニアアクチュエータの動作を安定化できる。

本発明において、前記第１側壁は、円筒状であり、前記第２側壁は、円筒状であり、且つ、前記第１側壁と同軸に配置されることが好ましい。このようにすると、ゲル状ダンパー部材の径方向の厚さを均等にすることができる。従って、ゲル状ダンパー部材の径方向
のバネ定数を全周にわたって均一にすることができるので、ダンパー性能の周方向のばらつきが少ない。

本発明において、前記第２側壁の外周側に配置される第３側壁、および、前記第２側壁と前記第３側壁とを接続する接続部を備え、前記縁部は、前記第２側壁に設けられ、前記余剰ゲル収容部は、前記第２側壁と前記第３側壁との間に設けられた凹部であり、前記接続部は、リブを備えていることが好ましい。このようにすると、第２部材の外周側に余剰ゲル収容部を設けた場合に、第２部材の剛性を高めることができる。従って、ダンパー部材の耐久性を高めることができる。

本発明において、前記第１側壁の内周側に配置される第３側壁、および、前記第１側壁と前記第３側壁とを接続する接続部を備え、前記縁部は、前記第１側壁に設けられ、前記余剰ゲル収容部は、前記第１側壁と前記第３側壁との間に設けられた凹部であり、前記接続部は、リブを備えていることが好ましい。このようにすると、第１部材の内周側に余剰ゲル収容部を設けた場合に、第１部材の剛性を高めることができる。従って、ダンパー部材の耐久性を高めることができる。

次に、本発明のリニアアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記可動体を駆動する磁気駆動機構と、前記固定体と前記可動体とを接続する上記のダンパー部材と、を有し、前記第１部材と前記第２部材の一方は、前記可動体に固定され、前記第１部材と前記第２部材の他方は、前記固定体に固定されることを特徴とする。

本発明によれば、固定体と可動体とを接続するダンパー部材は、ダンパー性能を発揮するゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）のばらつきが小さいため、ダンパー性能のばらつきが小さい。よって、リニアアクチュエータの振動性能のばらつきが少ないので、リニアアクチュエータの動作を安定化することができる。

本発明において、前記可動体は、軸線方向に延びるシャフトを備え、前記シャフトは、前記第１部材に設けられた軸孔に固定され、前記固定体は、前記シャフトの外周側に配置されるホルダを備え、前記第２部材は、前記ホルダに固定され、前記磁気駆動機構は、前記シャフトに固定される磁石と、前記磁石の外周側に配置されるとともに前記ホルダに固定されるコイルと、を備える構成を採用することができる。このようにすると、シャフトおよび磁石を備えた可動体と、ホルダおよびコイルを備えた固定体とをダンパー部材によって接続して、可動体が軸線Ｌ方向に振動する際にゲル状ダンパー部材がせん断方向に変形するリニアアクチュエータを形成できる。従って、簡素な構造でありながら、リニアアクチュエータ１の動作を安定化することができる。

本発明において、前記可動体は、前記軸線方向に延びるシャフトを備え、前記シャフトは、前記第１部材に設けられた軸孔に固定され、前記固定体は、前記軸線方向に延びるケースと、前記ケースの前記軸線方向の一端に固定される第１ホルダと、前記ケースの前記軸線方向の他端に固定される第２ホルダを備え、前記ダンパー部材は、前記シャフトの一端と前記第１ホルダとを接続する第１ダンパー部材、および、前記シャフトの他端と前記第２ホルダとを接続する第２ダンパー部材を備え、前記磁気駆動機構は、前記シャフトに固定される磁石と、前記磁石の外周側に配置されるとともに前記第１ホルダまたは前記第２ホルダに固定されるコイルと、を備える構成を採用することができる。このようにすると、シャフトおよび磁石を備えた可動体と、ホルダおよびコイルを備えた固定体とをシャフトの両端の２箇所において上記のダンパー部材によって接続できるため、リニアアクチュエータ１の動作を安定化することができる。

次に、本発明のダンパー部材の製造方法は、治具に第１部材および第２部材を当接させ
るとともに、前記第１部材と前記第２部材の間に所定の隙間が形成されるように前記第１部材と前記第２部材を位置決めする第１ステップと、前記隙間に硬化前のゲル材料を注型し、前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方に設けられた縁部から溢れた前記ゲル材料を、前記隙間に対して前記縁部とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部に収容する第２ステップと、前記ゲル材料を硬化させてゲル状ダンパー部材を形成する第３ステップと、前記第１部材と前記第２部材を前記ゲル状ダンパー部材によって接続したダンパー部材を、前記治具から取り外す第４ステップと、を行うことを特徴とする。

本発明によれば、第１部材と第２部材とをゲル状ダンパー部材によって接続した構造のダンパー部材を製造するにあたって、治具を用いて第１部材と第２部材とを組み立て、第１部材と第２部材の隙間にゲル材料を注型して硬化させる。その際、第１部および第２部材の少なくとも一方に設けられた縁部を越える余剰のゲル材料を縁部から溢れさせる。従って、ゲル材料の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができるので、ダンパー性能のばらつきが小さいゲル状ダンパー部材を備えたダンパー部材を製造できる。

本発明において、前記第２ステップでは、前記ゲル材料をディスペンサーから前記隙間へ吐出し、前記余剰ゲル収容部の容積が、前記ディスペンサーの吐出ばらつきより大きいことが好ましい。このようにすると、余剰ゲル収容部からゲル材料が溢れることを防止できる。

本発明によれば、第１部材と第２部材とをゲル状ダンパー部材によって接続した構造のダンパー部材において、第１部材と第２部材の少なくとも一方に設けられた縁部によって、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）が規定される。従って、ディスペンサーからゲル材料を吐出する際の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）は縁部の位置によって決まるので、ゲル状ダンパー部材の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができる。従って、ゲル状ダンパー部材のダンパー性能のばらつきを抑制できる。

本発明の実施形態１に係るリニアアクチュエータの断面図である。 図１のリニアアクチュエータをＬ１側から見た分解斜視図である。 図１のリニアアクチュエータをＬ２側から見た分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係るダンパー部材の平面図および断面斜視図である。 図４（a）および（ｂ）のダンパー部材の製造方法の説明図である。 実施形態２に係るダンパー部材の断面図である。 実施形態３に係るダンパー部材の平面図および断面図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、軸線Ｌとは可動体３の中心軸線である。また、軸線Ｌが延在する方向（軸線Ｌ方向）の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２として説明する。

［実施形態１］
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態１に係るリニアアクチュエータの断面図である。図２は、図１のリニアアクチュエータ１をＬ１側から見た分解斜視図である。図３は、図１のリニアアクチュエータ１をＬ２側から見た分解斜視図である。図１～図３に示すように、リニアアクチュエータ１は、固定体２および可動体３と、固定体２と可動体３とを接続するダン
パー部材１０と、固定体２に対して可動体３を軸線Ｌ方向に相対移動させる磁気駆動機構６を備える。磁気駆動機構６は、磁石６１およびコイル６２を備える。本形態では、可動体３に磁石６１が配置され、固定体２にコイル６２が配置される。なお、磁石６１とコイル６２の配置を逆にしてもよい。可動体３は、Ｌ１側の端部およびＬ２側の端部の各位置において、ダンパー部材１０を介して固定体２と接続される。

（固定体）
固定体２は、金属製のケース２０と、ケース２０に保持される第１ホルダ４および第２ホルダ５を備える。ケース２０は、軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース２１と、筒状ケース２１のＬ１側の端部に固定される第１端板２２と、筒状ケース２１のＬ２側の端部に固定される第２端板２３を備える。第１ホルダ４および第２ホルダ５は、筒状ケース２１の内側に配置される。第１ホルダ４には、コイル６２が固定されるとともに、ダンパー部材１０が接続される。第２ホルダ５には、ダンパー部材１０が接続される。本形態では、第１ホルダ４および第２ホルダ５は樹脂製であり、ケース２０は金属製である。

第１ホルダ４のＬ１側の端部には、外周側へ突出する凸部４０が形成されている。第１ホルダ４は、筒状ケース２１のＬ１側の縁に設けられた切欠き２４に凸部４０を嵌め込むことにより、筒状ケース２１に対して位置決めされる。第１端板２２を筒状ケース２１に取り付ける際、凸部４０は、第１端板２２の外周縁に設けられた切欠き２５に嵌合する。同様に、第２ホルダ５のＬ２側の端部には、外周側へ突出する凸部５０が形成されている。第２ホルダ５は、筒状ケース２１のＬ２側の縁に設けられた切欠き２６に凸部５０を嵌め込むことにより、筒状ケース２１に対して位置決めされる。第２端板２３を筒状ケース２１に取り付ける際、凸部５０は、第２端板２３の外周縁に設けられた切欠き２７に嵌合する。

第１ホルダ４は、中央に円形の開口部４１が設けられた環状部４２と、環状部４２の外周縁からＬ１側へ突出する円筒部４３と、環状部４２の内周部分からＬ２側へ突出するコイル固定部４６を備える。図１に示すように、円筒部４３および環状部４２の外周面は同一径の円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。円筒部４３の内周側には、内壁部４４と、円筒部４３と内壁部４４とを接続するリブ４５が形成されている。内壁部４４は、径方向で反対側の２箇所において外周側へ突出する形状をしており、他の部分は、円弧状に形成されている。開口部４１および内壁部４４の内側には、ダンパー部材１０が配置される。

コイル固定部４６は、コイル６２が巻かれる筒状の胴部４６１と、胴部４６１のＬ１側の端部から外周側へ突出する第１フランジ部４６２と、胴部４６１のＬ２側の端部から外周側へ突出する第２フランジ部４６３を備える。第１フランジ部４６２は、環状部４２と一体に形成され、環状部４２からＬ２側へ突出する。環状部４２には、コイル線が接続される基板６３が固定される。基板６３は、環状部４２の外周面に設けられた凹部４７に配置される。

第２ホルダ５は、中央に円形の開口部５１が設けられた環状部５２と、環状部５２の外周縁からＬ１側へ突出する第１円筒部５３と、環状部５２の外周縁からＬ２側へ突出する第２円筒部５４と、第１円筒部５３の周方向の一部からＬ１側へ突出する突出部５５を備える。突出部５５の先端は、第１ホルダ４の凹部４７に配置される。第２円筒部５４の内周側には、内壁部５６と、第２円筒部５４と内壁部５６とを接続するリブ５７が形成されている。内壁部５６は、径方向で反対側の２箇所において外周側へ突出する形状をしており、他の部分は、円弧状に形成されている。開口部５１および内壁部５６の内側には、ダンパー部材１０が配置される。図１に示すように、第１円筒部５３、環状部５２、および第２円筒部５４の外周面は同一径の円筒面であり、筒状ケース２１に内接する。

（可動体）
可動体３は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１と、シャフトの軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石６１と、磁石６１にＬ１側で重なる第１ヨーク３２と、磁石６１にＬ２側で重なる第２ヨーク３３を備える。磁石６１は円筒状であり、軸線Ｌ方向においてＮ極とＳ極とに分極するように着磁されている。シャフト３１は、固定体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びている。第１ホルダ４および第２ホルダ５は、シャフト３１の外周側に配置される。磁石６１の外周側には、第１ホルダ４に設けられたコイル固定部４６が磁石６１と同軸に配置される。従って、磁石６１とコイル６２は同軸に配置される。

第１ヨーク３２は、外径寸法が磁石６１の外径寸法よりわずかに大きい磁性板である。第１ヨーク３２の外周面は、磁石６１の外周面より径方向外側に張り出している。第１ヨーク３２は、磁石６１のＬ１側の面に接着等の方法で固定されている。第２ヨーク３３は、２枚の磁性板（第１磁性板３４、第２磁性板３５）によって構成される。第１磁性板３４は、磁石６１に軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に配置される端板部３４１と、端板部３４１の外縁から軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に延在する円筒状の側板部３４２とを備えている。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１よりわずかに小さな円板状である。第２磁性板３５は、第１磁性板３４の端板部３４１にＬ１側で積層され、端板部３４１に溶接されている。第２ヨーク３３は、第２磁性板３５が磁石６１のＬ２側の面に接着等の方法で固定されている。

（ダンパー部材）
図４（ａ）は、本発明の実施形態に係るダンパー部材１０の平面図であり、図４（ｂ）は、本発明の実施形態に係るダンパー部材１０の断面斜視図（図４（ａ）のＡ－Ａ位置で切断した断面斜視図）である。ダンパー部材１０は、シャフト３１と第１ホルダ４との間、および、シャフト３１と第２ホルダ５との間の２箇所に配置される。シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０（第１ダンパー部材）と、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０（第２ダンパー部材）は同一の構成であり、軸線Ｌ方向Ｌで逆向きに配置される。以下、シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０を例にとってその構成を説明する。図４（ａ）および（ｂ）に示すダンパー部材１０の軸線Ｌ方向の向きは、シャフト３１と第１ホルダ４との間に配置される場合の向きである。

ダンパー部材１０は、円筒状の第１側壁１１と、第１側壁１１の外周側に配置される第２側壁１２と、第２側壁１２の外周側に配置される第３側壁１３と、第１側壁１１と第２側壁１２の間に配置されるゲル状ダンパー部材１４と、第２側壁１２と第３側壁１３のＬ２側の端部を接続する環状の接続部１５と、第３側壁１３のＬ１側の端部から径方向外側へ突出するフランジ部１６を備える。本形態では、第１側壁１１、第２側壁１２、および第３側壁１３は円筒状であり、同軸に配置される。フランジ部１６は、径方向で反対側の２箇所に配置される。接続部１５は、径方向に延びるリブ１７を備えている。リブ１７は、第２側壁１２および第３側壁１３に接続され、等角度間隔で４箇所に配置される。

ダンパー部材１０は、第１部材１１０と、第２部材１２０と、ゲル状ダンパー部材１４の３部材によって構成される。本形態では、第１部材１１０は金属製であり、第２部材１２０は樹脂製である。なお、第１部材１１０と第２部材１２０は上記の材質に限定されるものではなく、他の材質であってもよい。後述するように、第１部材１１０は可動体３に固定されるため、第１部材１１０を金属製にすることで可動体３の質量を大きくすることができ、錘としての機能を持たせることができる。

第１部材１１０は、第１側壁１１を備えている。本形態では、第１部材１１０は第１側壁１１のみからなる。第２部材１２０は、第２側壁１２、第３側壁１３、接続部１５、およびフランジ部１６を備える。第１部材１１０と第２部材１２０は別体の部品である。ゲル状ダンパー部材１４は、第１部材１１０と第２部材１２０との隙間に配置され、第１部材１１０と第２部材１２０を接続する。本形態では。ゲル状ダンパー部材１４は、シリコーンゲルからなる。例えば、ゲル状ダンパー部材１４として、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルを用いることができる。

ゲル状ダンパー部材１４は、第１側壁１１と第２側壁１２の間にゲル材料を注型して熱硬化させることにより製造される。従って、ゲル状ダンパー部材１４は、接着剤を用いることなく、ゲル状ダンパー部材１４自身の接着力によって、第１側壁１１と第２側壁１２に固定される。図１に示すように、第２側壁１２の軸線Ｌ方向の高さは、第１側壁１１の軸線Ｌ方向の高さより小さい。また、第１側壁１１は、Ｌ１側の端部が第２側壁１２よりＬ１側へ突出し、Ｌ２側の端部が第２側壁１２よりＬ２側へ突出する。

後述するように、ゲル材料を注型する際は、第１側壁１１と第２側壁１２の間の隙間Ｓ（図５参照）のＬ２側を治具によって塞いだ状態とする。そのため、第１側壁１１と第２側壁１２の間から溢れる余剰のゲル材料は、軸線Ｌ方向の高さが低い側の側壁である第２側壁１２の外周側へ溢れる。第２側壁１２の外周側には、余剰のゲル材料を収容する余剰ゲル収容部１８が設けられている。余剰ゲル収容部１８は、第２側壁１２に対してゲル状ダンパー部材１４とは反対側に配置される。余剰ゲル収容部１８は、第２側壁１２と第３側壁１３の間に設けられた環状の凹部である。余剰ゲル収容部１８には、溢れたゲル材料が硬化した余剰ゲル部材１４０が配置される。

第２側壁１２は、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の寸法（高さ）を規定する縁部１２１を備えている。上記のように、ゲル材料は第２側壁１２のＬ１側の端部から外周側へ溢れるため、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の寸法（高さ）は、第２側壁１２のＬ１側の端部によって規定される。すなわち、第２側壁１２のＬ１側の端部が、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の寸法（高さ）を規定する縁部１２１を備えている。本形態では、第２側壁１２のＬ１側の端部の軸線Ｌ方向の高さは全周で等しい。従って、縁部１２１は、第２側壁１２のＬ１側の端部の全周に設けられている。

（ダンパー部材の取付構造）
シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０（第１ダンパー部材）は、Ｌ１側から第１ホルダ４に組付けられる。第１ホルダ４の開口部４１には、ダンパー部材１０の第３側壁１３が配置される。また、第１ホルダ４の内壁部４４の内側にフランジ部１６が配置され、第１ホルダ４の環状部４２に対してＬ１側からフランジ部１６が当接して、ボルト１６０によってフランジ部１６が環状部４２に固定される。これにより、第２部材１２０が第１ホルダ４に固定され、ダンパー部材１０が固定体２に接続される。

同様に、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０（第２ダンパー部材）は、Ｌ２側から第２ホルダ５に組付けられる。第２ホルダ５の開口部５１には、ダンパー部材１０の第３側壁１３が配置される。また、第２ホルダ５の内壁部５６の内側にフランジ部１６が配置され、第２ホルダ５の環状部５２に対してＬ１側からフランジ部１６が当接して、ボルト１６０によってフランジ部１６が環状部５２に固定される。これにより、第２部材１２０が第２ホルダ５に固定され、ダンパー部材１０が固定体２に接続される。

シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０（第１ダンパー部材）は、シャフト３１のＬ１側の端部に固定される。また、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続
するダンパー部材１０（第２ダンパー部材）は、シャフト３１のＬ２側の端部に固定される。ダンパー部材１０の第１側壁１１の内側には、軸孔１９が形成されている。軸孔１９は、シャフト３１側に設けられた小径部１９１と、シャフト３１側とは反対側に設けられた大径部１９２と、小径部１９１と大径部１９２とを接続する段部１９３を備える。シャフト３１のＬ１側の端部およびＬ１側の端部の各位置において、ダンパー部材１０をシャフト３１に固定するボルト３１０は、シャフト３１とは反対側から大径部１９２へ挿入され、シャフト３１の端部に設けられたねじ孔にねじ止めされる。これにより、第１部材１１０がシャフト３１に固定され、ダンパー部材１０が可動体３に接続される。

シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０（第１ダンパー部材）と、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０（第２ダンパー部材）は、可動体３を構成する第１ヨーク３２、磁石６１、および第２ヨーク３３を軸線Ｌ方向の両側から挟んでいる。図１に示すように、シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０の第１側壁１１は、第１ヨーク３２に対してＬ１側から当接する。また、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０の第１側壁１１は、第２ヨーク３３の端板部３４１に対してＬ２側から当接する。

シャフト３１と第１ホルダ４とを接続するダンパー部材１０（第１ダンパー部材）と、シャフト３１と第２ホルダ５とを接続するダンパー部材１０（第２ダンパー部材）において、ゲル状ダンパー部材１４は、いずれも、第１部材１１０と第２部材１２０の間で全周にわたって軸線Ｌ方向に延びている。ゲル状ダンパー部材１４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）高さも一定である。可動体３が固定体２に対して軸線Ｌ方向に振動する際、ゲル状ダンパー部材１４は、可動体３の移動に追従してせん断方向に変形する。

（リニアアクチュエータの動作）
リニアアクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、ゲル状ダンパー部材１４の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線Ｌ方向で振動する。

（ダンパー部材の製造方法）
図５は、図４（ａ）および（ｂ）のダンパー部材１０の製造方法の説明図である。ダンパー部材１０の製造に用いる治具９０は、円形凹部９１と、円形凹部９１の底面中央から突出するピン９２を備える。円形凹部９１の底面は、ピン９２を囲む中央の領域が環状に凹んでいる。ダンパー部材１０の製造方法は、治具９０に対して第１部材１１０および第２部材１２０とを組み付ける第１ステップと、ゲル材料を注型する第２ステップと、ゲル材料を加熱硬化させる第３ステップと、治具９０からダンパー部材１０を取り外す第４ステップと、を含む。

第１ステップでは、治具９０の表面に第１部材１１０および第２部材１２０を当接させるとともに、第１部材１１０と第２部材１２０の間に径方向の隙間Ｓが形成されるように第１部材１１０と第２部材１２０を位置決めする。図５に示すように、第１ステップでは、円形凹部９１の中央から突出するピン９２を第１部材１１０の軸孔１９に挿入し、第１部材１１０を円形凹部９１の底面にＬ１側から当接させる。第１部材１１０は、円形凹部９１の底面中央の領域を環状に凹ませた環状凹部へ挿入され、環状凹部の底面に当接する。また、円形凹部９１の内周面に第２部材１２０を内接させるとともに、第２部材１２０の接続部１５を円形凹部９１の底面の外周領域に当接させる。これにより、第１部材１１０と第２部材１２０が軸線Ｌ方向および径方向に位置決めされ、第１部材１１０と第２部材１２０の間には、環状の隙間Ｓが形成される。環状の隙間Ｓは全周にわたって形成され
、径方向の幅が全周で一定である。

第２ステップでは、第１部材１１０と第２部材１２０との間に形成された径方向の隙間Ｓに硬化前のゲル材料を注型し、第２部材１２０に設けられた縁部１２１から溢れたゲル材料を、隙間Ｓに対して縁部１２１とは反対側（本形態では、外周側）に設けられた余剰ゲル収容部１８に収容する。図５に示すように、第２ステップでは、ディスペンサー９３から一定量のゲル材料を隙間Ｓへ吐出する。本形態では、隙間Ｓの径方向内側に配置された第１側壁１１よりも、隙間Ｓの径方向外側に配置された第２側壁１２の方が治具９０からの高さが低いため、第２側壁１２の外周側に設けられた余剰ゲル収容部１８にゲル材料が溢れる。これにより、隙間Ｓに収容されるゲル材料の表面は、第２側壁１２の縁部１２１と略同一の高さになる。余剰ゲル収容部１８の容積は、ディスペンサー９３の吐出ばらつきより大きく設定されている。

第３ステップでは、ゲル材料を治具９０ごと加熱し、規定の温度で規定の時間維持することにより、ゲル材料を硬化させる。これにより、隙間Ｓにはゲル状ダンパー部材１４が形成される。また、余剰ゲル収容部１８に入ったゲル材料も硬化し、余剰ゲル部材１４０が形成される。

第４ステップでは、完成したダンパー部材１０を治具９０から取り外す。例えば、治具９０の第１部材１１０が当接する面および第２部材１２０が当接する面に突き出しピンを配置するための貫通孔を設けておき、突き出しピンを用いてダンパー部材１０を治具９０から取り外す。これにより、第１部材１１０と第２部材１２０がゲル状ダンパー部材１４によって接続されたダンパー部材１０が得られる。

（本形態の動作および主な効果）
以上のように、本形態のダンパー部材１０は、第１部材１１０と、第１部材１１０の外周側に配置され、第１部材１１０に対して軸線Ｌ方向に相対移動可能な第２部材１２０と、第１部材１１０と第２部材１２０との径方向の隙間Ｓに配置され、第１部材１１０と第２部材１２０を接続するゲル状ダンパー部材１４と、を備える。第１部材１１０と第２部材１２０のうち、外周側に配置される第２部材１２０には、ゲル状ダンパー部材１４の寸法を規定する縁部１２１と、縁部１２１に対してゲル状ダンパー部材１４とは反対側（外周側）に設けられた余剰ゲル収容部１８が設けられている。

本形態によれば、第１部材１１０と第２部材１２０とをゲル状ダンパー部材１４によって接続した構造のダンパー部材１０において、第２部材１２０に設けられた縁部１２１によって、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（軸線Ｌ方向の高さ）が規定される。例えば、第１部材１１０と第２部材１２０の隙間Ｓに硬化前のゲル材料を注型する際、縁部１２１から余剰ゲル収容部１８へゲル材料を溢れさせることにより、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）を縁部１２１の位置によって規定できる。このようにすると、第２部材１２０の形状によってゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）を規定できる。すなわち、ディスペンサー９３からゲル材料を吐出する際の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）は縁部１２１の位置によって決まるので、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができる。従って、ゲル状ダンパー部材１４のダンパー性能のばらつきを抑制できる。

また、本形態は、第１部材１１０と第２部材１２０とをゲル状ダンパー部材１４によって接続した構造のダンパー部材１０であるため、ゲル状ダンパー部材１４を固定体２および可動体３に直接固定する必要がなく、第１部材１１０と第２部材１２０の一方を可動体３に固定し、第１部材１１０と第２部材１２０の他方を固定体２に固定することによって可動体３と固定体２とを接続できる。従って、可動体３と固定体２とをダンパー部材１０
によって接続する際にゲル状ダンパー部材１４の接着工程を行う必要がない。よって、ダンパー部材１０の取付工程に要する時間を短縮できる。

本形態では、第１部材１１０は、筒状の第１側壁１１を備え、第２部材１２０は、第１側壁１１の外周側に配置される筒状の第２側壁１２を備え、ゲル状ダンパー部材１４は、第１側壁１１と第２側壁１２の間に配置される。また、縁部１２１は、第２側壁１２の軸線Ｌ方向の端部の全周に設けられ、余剰ゲル収容部１８は、縁部１２１に対してゲル状ダンパー部材１４とは反対側（外周側）において全周に設けられている。このように、筒状の側壁の端部に縁部１２１を設けることにより、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）を容易に規定できる。また、縁部１２１および余剰ゲル収容部１８を全周に設けることにより、縁部１２１から溢れた余剰のゲル材料を周方向に均等に配置できる。従って、ダンパー性能の周方向のばらつきが少ない。また、このダンパー部材１０をリニアアクチュエータ１に用いた場合に、リニアアクチュエータ１の動作を安定化できる。

本形態では、第１側壁１１および第２側壁１２は円筒状であり、第１側壁１１と第２側壁１２は同軸に配置されるため、ゲル状ダンパー部材１４の径方向の厚さを均等にすることができる。従って、ゲル状ダンパー部材１４の径方向のバネ定数が全周にわたって均一であるため、ダンパー性能の周方向のばらつきが少ない。

本形態では、余剰ゲル収容部１８は、第２部材１２０における第２側壁１２と第３側壁１３との間に設けられた凹部であり、第２側壁１２と第３側壁１３とを接続する接続部１５は、リブ１７を備えている。従って、第２部材１２０に余剰ゲル収容部１８を設けた構成でありながら、第２部材１２０の剛性を高めることができる。従って、ダンパー部材１０の耐久性を高めることができる。

次に、本形態のリニアアクチュエータ１は、固定体２と可動体３とを上記のダンパー部材１０によって接続する。すなわち、本形態のリニアアクチュエータ１は、シャフト３１および磁石６１を備えた可動体３と、第１ホルダ４およびコイル６２を備えた固定体２とをダンパー部材１０によって接続して、可動体３が軸線Ｌ方向に振動する際にゲル状ダンパー部材１４をせん断方向に変形させる。従って、可動体３の振動時にせん断変形してダンパー性能を発揮するゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）のばらつきが小さいため、ダンパー性能のばらつきが小さい。よって、リニアアクチュエータ１の動作を安定化することができる。

本形態のリニアアクチュエータ１では、シャフト３１の一端と第１ホルダ４とを接続する第１ダンパー部材１０、および、シャフト３１の他端と第２ホルダ５とを接続する第２ダンパー部材１０を備えており、固定体２と可動体３とが、可動体３の軸線Ｌ方向の一端および他端の２箇所でダンパー部材１０を介して固定体２と接続される。従って、リニアアクチュエータ１の動作を安定化することができる。

次に、本形態のダンパー部材１０の製造方法は、治具９０に第１部材１１０および第２部材１２０を当接させるとともに、第１部材１１０と第２部材１２０の間に所定の隙間Ｓが形成されるように第１部材１１０と第２部材１２０を位置決めする第１ステップと、隙間Ｓに硬化前のゲル材料を注型し、第１部材１１０および第２部材１２０の少なくとも一方に設けられた縁部１２１から溢れたゲル材料を、隙間Ｓに対して縁部１２１とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部１８に収容する第２ステップと、ゲル材料を硬化させてゲル状ダンパー部材１４を形成する第３ステップと、第１部材１１０と第２部材１２０をゲル状ダンパー部材１４によって接続したダンパー部材１０を、治具９０から取り外す第４ステップと、を行う。

本形態によれば、第１部材１１０と第２部材１２０とをゲル状ダンパー部材１４によって接続した構造のダンパー部材１０を製造するにあたって、治具９０を用いて第１部材１１０と第２部材１２０とを組み立て、第１部材１１０と第２部材１２０の隙間Ｓにゲル材料を注型して硬化させる。その際、第２部材１２０に設けられた縁部１２１を越える余剰のゲル材料を縁部１２１から溢れさせることにより、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）は縁部１２１の位置によって規定する。ゲル材料の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができるので、ダンパー性能のばらつきが小さいゲル状ダンパー部材１４を備えたダンパー部材１０を製造できる。

また、本形態では、第２ステップにおいてゲル材料を隙間Ｓへ吐出するディスペンサー９３の吐出ばらつきより、余剰ゲル収容部１８の容積を大きくしているので、余剰ゲル収容部１８からゲル材料が溢れることを防止できる。

［実施形態２］
図６は、実施形態２のダンパー部材１０Ａの断面図である。実施形態１では、ゲル状ダンパー部材１４の内周側に配置される第１部材１１０と外周側に配置される第２部材１２０のうち、第２部材１２０の縁部１２１から外周側へゲル材料を溢れさせる構造であったが、内周側へゲル材料を溢れさせる構造とすることもできる。図６に示すように、実施形態２のダンパー部材１０Ａは、同軸に配置される円筒状の第１側壁１１Ａおよび第２側壁１２Ａと、第１側壁１１Ａの内周側において第１側壁１１Ａと同軸に配置される第３側壁１３Ａを備える。

第１部材１１０Ａは、第１側壁１１Ａおよび第３側壁１３Ａと、第１側壁１１Ａと第３側壁１３Ａを接続する接続部１５Ａを備える。第１側壁１１Ａと第３側壁１３Ａの間には、第１側壁１１Ａに対してゲル状ダンパー部材１４とは反対側（内周側）に、余剰ゲル収容部１８Ａが形成されている。第２部材１２０Ａは、第２側壁１２Ａと、第２側壁１２Ａから外周側へ突出するフランジ部１６を備える。本形態では、第１側壁１１ＡのＬ１側の先端の位置が第２側壁１２ＡのＬ１側の先端より低い位置にあり、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の高さを規定する縁部１１１Ａは、第１側壁１１ＡのＬ１側の端部に設けられている。

実施形態２の構成においても、実施形態１と同様に、ディスペンサー９３からゲル材料を吐出する際の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）は縁部１１１Ａの位置によって決まるので、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができる。従って、ゲル状ダンパー部材１４のダンパー性能のばらつきを抑制できる。

なお、第１部材１１０および第２部材１２０のいずれか一方でなく、第１部材１１０および第２部材１２０の両方に、ゲル状ダンパー部材１４の寸法を規定する縁部と、縁部に対してゲル状ダンパー部材１４とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部と、を設けた構成にすることもできる。

［実施形態３］
図７（ａ）は、実施形態３のダンパー部材１０Ｂの平面図であり、図７（ｂ）は、実施形態３のダンパー部材１０Ｂの断面図（図７（ａ）のＢ－Ｂ断面図）である。実施形態１、２では、ゲル状ダンパー部材１４の寸法を規定する縁部が全周に設けられているが、実施形態３では、周方向の一部のみに設ける構造を採用している。図７（ａ）および（ｂ）に示すように、実施形態２のダンパー部材１０Ｂは、円筒状の第１側壁１１Ｂと、第１側壁１１Ｂの外周側に配置される第２側壁１２Ｂと、第２側壁１２Ｂの外周側の周方向の一
部に配置される第３側壁１３Ｂを備える。第３側壁１３Ｂは、接続部１５Ｂによって第２側壁１２Ｂと接続される。第２側壁１２Ｂと第３側壁１３Ｂの間には、余剰ゲル収容部１８Ｂが設けられている。第１部材１１０Ｂは第１側壁からなり、第２部材１２０Ｂは、第２側壁１２Ｂ、第３側壁１３Ｂ、接続部１５Ｂ、およびフランジ部１６を備えている。

実施形態３では、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の高さを規定する縁部１２１Ｂは、第２側壁１２Ｂの軸線Ｌ方向の端部を切り欠いた切欠き部１２２に設けられている。また、余剰ゲル収容部１８Ｂは、少なくとも、切欠き部１２２が設けられた周方向位置に設けられている。

実施形態３の構成では、余剰のゲル材料が切欠き部１２２から余剰ゲル収容部１８Ｂへ溢れて、ゲル状ダンパー部材１４の軸線Ｌ方向の高さは、縁部１２１Ｂによって規定される。従って、実施形態１と同様に、ディスペンサー９３からゲル材料を吐出する際の吐出量のばらつきが大きくても、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）は縁部１２１Ｂの位置によって決まるので、ゲル状ダンパー部材１４の寸法（高さ）のばらつきを低減させることができる。従って、ゲル状ダンパー部材１４のダンパー性能のばらつきを抑制できる。

なお、図７に示す形態では、余剰ゲル収容部１８Ｂが周方向の一部のみに設けられているが、実施形態３においても、余剰ゲル収容部１８Ｂを全周に設けることができる。余剰ゲル収容部１８Ｂを全周に設けることにより、縁部１２１Ｂから溢れた余剰のゲル材料を周方向に均等に配置できる。従って、ダンパー性能の周方向のばらつきを少なくすることができる。

［他の実施形態］
実施形態２と同様に、余剰ゲル収容部を第１側壁の内周側に配置した構成において、第１側壁に切欠き部を設けて、切欠き部から余剰のゲル材料を溢れされる構成を採用することができる。

１…リニアアクチュエータ、２…固定体、３…可動体、４…第１ホルダ、５…第２ホルダ、６…磁気駆動機構、１０、１０Ａ，１０Ｂ…ダンパー部材、１１、１１Ａ、１１Ｂ…第１側壁、１２、１２Ａ、１２Ｂ…第２側壁、１３、１３Ａ、１３Ｂ…第３側壁、１４…ゲル状ダンパー部材、１５、１５Ａ、１５Ｂ…接続部、１６…フランジ部、１７…リブ、１８、１８Ａ、１８Ｂ…余剰ゲル収容部、１９…軸孔、２０…ケース、２１…筒状ケース、２２…第１端板、２３…第２端板、３１…シャフト、３２…第１ヨーク、３３…第２ヨーク、３４…第１磁性板、３５…第２磁性板、４０…凸部、４１…開口部、４２…環状部、４３…円筒部、４４…内壁部、４５…リブ、４６…コイル固定部、４７…凹部、５０…凸部、５１…開口部、５２…円筒部、５２…環状部、５３…第１円筒部、５４…第２円筒部、５５…突出部、５６…内壁部、５７…リブ、６１…磁石、６２…コイル、６３…基板、９０…治具、９１…円形凹部、９２…ピン、９３…ディスペンサー、１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ…第１部材、１１１Ａ…縁部、１２０、１２０Ａ、１２０Ｂ…第２部材、１２１、１２１Ｂ…縁部、１２２…切欠き部、１４０…余剰ゲル部材、１６０…ボルト、１９１…小径部、１９２…大径部、１９３…段部、３１０…ボルト、３４１…端板部、３４２…側板部、４６１…胴部、４６２…第１フランジ部、４６３…第２フランジ部、Ｌ…軸線、Ｌ１…軸線方向の一方側、Ｌ２…軸線方向の他方側、Ｓ…第１部材と第２部材の隙間

Claims (12)

1. 第１部材と、
   前記第１部材の外周側に配置され、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
   前記第１部材と前記第２部材との隙間に配置され、前記第１部材と前記第２部材を接続するゲル状ダンパー部材と、を備え、
   少なくとも前記第１部材および前記第２部材のいずれかは、前記ゲル状ダンパー部材の寸法を規定する縁部と、前記縁部に対して前記ゲル状ダンパー部材とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部と、を備えることを特徴とするダンパー部材。
2. 前記第１部材は、筒状の第１側壁を備え、
   前記第２部材は、前記第１側壁の外周側に配置される筒状の第２側壁を備え、
   前記ゲル状ダンパー部材は、前記第１側壁と前記第２側壁の間に配置され、
   前記縁部は、前記第１側壁または前記第２側壁の軸線方向の端部の全周に設けられ、
   前記余剰ゲル収容部は、前記縁部に対して前記ゲル状ダンパー部材とは反対側において全周に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材。
3. 前記第１部材は、筒状の第１側壁を備え、
   前記第２部材は、前記第１側壁の外周側に配置される筒状の第２側壁を備え、
   前記ゲル状ダンパー部材は、前記第１側壁と前記第２側壁の間に配置され、
   前記縁部は、前記第１側壁または前記第２側壁の軸線方向の端部を切り欠いた切欠き部に設けられ、
   前記余剰ゲル収容部は、少なくとも、前記切欠き部が設けられた周方向位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダンパー部材。
4. 前記余剰ゲル収容部は、全周に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のダンパー部材。
5. 前記第１側壁は、円筒状であり、
   前記第２側壁は、円筒状であり、且つ、前記第１側壁と同軸に配置されることを特徴とする請求項２から４の何れか一項に記載のダンパー部材。
6. 前記第２側壁の外周側に配置される第３側壁、および、前記第２側壁と前記第３側壁とを接続する接続部を備え、
   前記縁部は、前記第２側壁に設けられ、
   前記余剰ゲル収容部は、前記第２側壁と前記第３側壁との間に設けられた凹部であり、
   前記接続部は、リブを備えていることを特徴とする請求項２から５の何れか一項に記載のダンパー部材。
7. 前記第１側壁の内周側に配置される第３側壁、および、前記第１側壁と前記第３側壁とを接続する接続部を備え、
   前記縁部は、前記第１側壁に設けられ、
   前記余剰ゲル収容部は、前記第１側壁と前記第３側壁との間に設けられた凹部であり、
   前記接続部は、リブを備えていることを特徴とする請求項２から５の何れか一項に記載のダンパー部材。
8. 固定体と、
   可動体と、
   前記可動体を駆動する磁気駆動機構と、
   前記固定体と前記可動体とを接続する請求項１から７の何れか一項に記載のダンパー部
   材と、
   を有し、
   前記第１部材と前記第２部材の一方は、前記可動体に固定され、
   前記第１部材と前記第２部材の他方は、前記固定体に固定されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
9. 前記可動体は、軸線方向に延びるシャフトを備え、前記シャフトは、前記第１部材に設けられた軸孔に固定され、
   前記固定体は、前記シャフトの外周側に配置されるホルダを備え、前記第２部材は、前記ホルダに固定され、
   前記磁気駆動機構は、前記シャフトに固定される磁石と、前記磁石の外周側に配置されるとともに前記ホルダに固定されるコイルと、を備えることを特徴とする請求項８に記載のリニアアクチュエータ。
10. 前記可動体は、軸線方向に延びるシャフトを備え、前記シャフトは、前記第１部材に設けられた軸孔に固定され、
    前記固定体は、前記軸線方向に延びるケースと、前記ケースの前記軸線方向の一端に固定される第１ホルダと、前記ケースの前記軸線方向の他端に固定される第２ホルダを備え、
    前記ダンパー部材は、前記シャフトの一端と前記第１ホルダとを接続する第１ダンパー部材、および、前記シャフトの他端と前記第２ホルダとを接続する第２ダンパー部材を備え、
    前記磁気駆動機構は、前記シャフトに固定される磁石と、前記磁石の外周側に配置されるとともに前記第１ホルダまたは前記第２ホルダに固定されるコイルと、を備えることを特徴とする請求項８に記載のリニアアクチュエータ。
11. 治具に第１部材および第２部材を当接させるとともに、前記第１部材と前記第２部材の間に所定の隙間が形成されるように前記第１部材と前記第２部材を位置決めする第１ステップと、
    前記隙間に硬化前のゲル材料を注型し、前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方に設けられた縁部から溢れた前記ゲル材料を、前記隙間に対して前記縁部とは反対側に設けられた余剰ゲル収容部に収容する第２ステップと、
    前記ゲル材料を硬化させてゲル状ダンパー部材を形成する第３ステップと、
    前記第１部材と前記第２部材を前記ゲル状ダンパー部材によって接続したダンパー部材を、前記治具から取り外す第４ステップと、を行うことを特徴とするダンパー部材の製造方法。
12. 前記第２ステップでは、前記ゲル材料をディスペンサーから前記隙間へ吐出し、
    前記余剰ゲル収容部の容積が、前記ディスペンサーの吐出ばらつきより大きいことを特徴とする請求項１１に記載のダンパー部材の製造方法。

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