CN101663744A - 支撑部件以及托架和支撑方法 - Google Patents

Abstract

一种支撑部件以及托架和支撑方法，具有被旋转自如地安装的支撑部件主体，支撑部件主体具有从旋转中心轴呈放射状延伸设置的多个突起，由于使突起抵接到基板的端部来支撑基板，能够防止基板产生裂纹，并且能够使支撑部件主体长寿命化。

Description

支撑部件以及托架和支撑方法

技术领域

本发明涉及一种支撑部件以及安装有该支撑部件的托架。

本申请基于2007年4月23日在日本申请的专利申请2007-113226号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

在液晶显示器等的制造工艺中，需要对大型玻璃基板进行加热处理和成膜处理等真空处理。因此，开发了各种各样的真空处理装置。其中之一就有用于在液晶显示器的滤色片侧形成ITO膜(电极膜)的直列式溅射装置。

该直列式溅射装置为制造出真空状态并通过溅射在玻璃基板上形成薄膜的真空装置。而且，为了能够在装置内稳定输送玻璃基板，玻璃基板被安装在称作托架的台车上。

此外，当对特别大型的玻璃基板成膜时，有将玻璃基板大致垂直地放置在托架上进行成膜的方法。此时，使玻璃基板的下边放置在设置在托架侧的基板托件(支撑部件)上。

专利文献1：日本专利公开2006-114675号公报(图11)

在此，基板托件为大致四角形，在托架侧的玻璃基板的下边被抵接的位置上固定地安装有多个(例如，参照专利文献1)。可是，由于难以使玻璃基板的下边和基板托件的上边平行接触，因此它们不是面接触而是点接触(线接触)。

即，如图14所示，例如即使安装有三个基板托件118，玻璃基板111与基板托件118(118a～118c)也仅在基板托件118a的角部和基板托件118c的角部的两处地方点接触(线接触)，基板托件118b和玻璃基板11处于没有相接触的状态。

当使由移载机(机械手)输送的玻璃基板抵接到托架的基板托件时，由于使玻璃基板从基板托件的数毫米上方自由落体并抵接，在上述例子的情况等中，玻璃基板产生的载荷一下子施加到两处地方而应力集中，有可能在玻璃基板上产生裂纹而成品率下降。此外，由于该裂纹，有可能在之后的输送工序、成膜工序及基板装卸等工序中产生基板破裂。进一步地，由于玻璃基板和基板托件之间的摩擦，在基板托件侧产生磨损，多个基板托件的水平程度将产生偏移，因此，有无法保持玻璃基板的水平度的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而产生，提供能够防止基板产生裂纹，并且能够使支撑部件主体长寿命化的支撑部件和托架。

关于本发明的第一方面，其特征在于，具有被旋转自如地安装的支撑部件主体，所述支撑部件主体具有从旋转中心轴呈放射状延伸设置的多个突起，使所述突起抵接基板的端部以支撑所述基板。

这种情况下，当所述基板接触所述支撑部件时，首先与所述支撑部件主体的突起在一点接触，通过基板产生的载荷进一步施加到支撑部件上，支撑部件主体旋转且相邻的突起与基板接触，因此能够由一个支撑部件在两点可靠地支撑基板。于是，能够缓和对基板的应力集中，因此具有能够防止基板产生裂纹的效果。结果是具有在基板的制造工序中能够使成品率提高的效果。

所述支撑部件可以具有与所述支撑部件主体相抵接，使所述支撑部件主体向着所述基板而施力的施力部件。

这种情况下，当基板抵接支撑部件时，能够在通过施力部件吸收由基板产生的载荷所产生的冲击力并使它们抵接，因此具有能够防止基板发生裂纹的效果。

所述支撑部件可以在所述支撑部件主体和所述旋转中心轴之间安装有弹性部件。

这种情况下，当基板抵接支撑部件时，能够通过弹性部件吸收基板产生的载荷所产生的冲击力并使它们抵接，因此具有能够防止基板产生裂纹的效果。

所述支撑部件主体可以由树脂构成。

这种情况下，由于支撑部件主体由树脂制的弹性材料构成，具有能够防止当基板与支撑部件抵接时，基板产生裂纹的效果。

所述支撑部件主体可以装卸自如地被安装。

这种情况下，在与基板抵接的突起随着时间磨损的情况下，能够暂时将支撑部件主体取下，将支撑部件主体旋转并安装使得别的突起与基板抵接。由此，能够使支撑部件主体继续使用。因此，具有能够实现使支撑部件的长寿命化的效果。

支撑所述基板的托架上，可以安装上述任意一种支撑部件。

这种情况下，通过将支撑部件适当地安装在托架上，具有能够起承受基板产生的载荷的作用，在当输送时等基板左右偏移的时候，起到干扰材的作用的效果。

在纵向支撑所述基板的托架上，可以将所述支撑部件安装成与所述基板的下边抵接。

这种情况下，当将基板安装到托架时，能够通过支撑部件可靠地承受基板产生的载荷。此外，由于一个支撑部件中具有两处支撑点，能够分散基板产生的载荷。因此，具有能够防止基板产生裂纹的效果。

在纵向支撑所述基板的托架上，可以为上述任意一种支撑部件和与所述基板抵接的固定支撑部件在沿着所述基板的下边的方向上被安装，并且，所述支撑部件被安装为比所述固定支撑部件更加靠近所述基板，所述基板在抵接所述支撑部件之后，抵接所述固定支撑部件并被支撑。

这种情况下，当将基板安装在托架上时，首先支撑部件与基板抵接，从而吸收由基板产生的载荷所产生的冲击力并支撑基板，进一步地，由于基板产生的载荷支撑部件主体向下方移动，从而固定支撑部件与基板接触并支撑基板，于是，能够防止基板产生裂纹。因此，具有能够在基板的制造工序中使成品率提高的效果。

此外，通过支撑部件和固定支撑部件，由更多处地方来支撑基板，能够使基板产生的载荷分散，因此，具有能够稳定地支撑基板并防止基板产生裂纹的效果。

发明效果

根据本发明，当基板抵接支撑部件时，首先与支撑部件主体的突起在一点接触，通过基板产生的载荷进一步施加到支撑部件上，支撑部件主体发生旋转，相邻的突起与基板接触，因此能够由一个支撑部件在两点可靠地支撑基板，因此能够缓和对基板的应力集中。此外，当基板抵接到支撑部件时，能够使基板通过施力部件或弹性部件吸收由基板产生的载荷所产生的冲击力并使它们抵接。因此，具有能够防止基板产生裂纹，在基板的制造工序中使成品率提高的效果。

此外，由于支撑部件主体由树脂制的弹性材料构成，能够防止当基板和支撑部件抵接时，基板产生裂纹。

进一步地，在与基板抵接的突起随着时间磨损的情况下，能够暂时取下支撑部件主体，将支撑部件主体旋转并安装使得别的突起与基板接触。由此，能够继续使用支撑部件主体。因此，能够实现支撑部件主体的长寿命化。

附图说明

图1为表示在本发明实施方式的托架上放置玻璃基板的状态的立体图；

图2为表示在本发明实施方式的输送机上放置托架的状态的侧面图；

图3为本发明实施方式的托架的局部详图；

图4为本发明第一实施方式的可动基板托件的主体部的主视图；

图5为本发明第一实施方式的可动基板托件的主体部的后视图；

图6为本发明第一实施方式的可动基板托件的主体部的立体图；

图7为沿着图4的A-A线的剖面图；

图8为表示本发明第一实施方式的可动基板托件安装在托架框架上的状态的剖面图；

图9A为表示将本发明第一实施方式的玻璃基板放置到托架上时的工序的说明图；

图9B为表示将本发明第一实施方式的玻璃基板放置到托架上时的工序的说明图；

图9C为表示将本发明第一实施方式的玻璃基板放置到托架上时的工序的说明图；

图10A为表示图9的工序的后续的说明图；

图10B为表示图9的工序的后续的说明图；

图11为表示本发明第二实施方式的可动基板托件安装在托架框架上的状态的剖面图；

图12A为表示本发明实施方式的可动基板托件的其它方式、即外形为三角形的说明图；

图12B为表示本发明实施方式的可动基板托件的其它方式、即外形为五角形的说明图；

图12C为表示本发明实施方式的可动基板托件的其它方式、即外形为六角形的说明图；

图13为表示本发明实施方式的可动基板托件的其它方式的说明图；

图14为表示现有的基板托件与玻璃基板的关系的说明图。

符号说明

11玻璃基板(基板)，10托架，18基板托件(支撑部件)，18a可动基板托件(支撑部件)，18b固定基板托件(固定支撑部件)，30主体部(支撑部件主体)，31突起部(突起)，35板簧(施力部件)，63弹性部件

具体实施方式

(第一实施方式)

接下来，根据图1～图11对本发明的第一实施方式进行说明。用于以下说明的各附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适宜地改变了各部件的比例。

图1为表示将玻璃基板放置在托架上的状态的立体图。

如图1所示，在向玻璃基板11实施成膜等时，将玻璃基板11放置到被称为托架10的框体上，通过后述的输送机输送托架10，并进行适当处理。

托架10构成为在纵向配置的状态下，放置玻璃基板11。托架10具有由铝等构成的框状的托架框架15、沿着托架框架15的上边设置的磁体16和沿着托架框架15的下边设置的由圆杆构成的滑件17。此外，具有用于承受玻璃基板11产生的载荷且保持玻璃基板11的水平度的多个基板托件18和设置在托架框架15的开口部21的周围并用于使玻璃基板11保持在托架10上的多个夹紧件19。此外，在托架框架15的开口部21的水平方向两端部也设置有在玻璃基板11输送时等过程中向左右偏移时被抵接且能够吸收冲击的基板托件18。另外，用于覆盖玻璃基板11周围的非成膜区域的掩蔽物20在托架框架15的开口部21周围与托架框架15一体形成。

图2为表示将托架放置在输送机上的状态的侧面图。

如图2所示，托架10构成为通过输送机50能够在成膜装置等内移动。此外，输送机50由被支撑固定在底面FL上的框架22、设置在框架22内的下部支撑机构23和上部支撑机构24构成。即，使设置在托架10的下边的滑件17与下部支撑机构23的滚轮25配合，通过发动机26使滚轮25旋转驱动，从而能够使托架10沿着输送路径(滚轮25的外周侧的槽部)水平移动。此外，通过设置在托架10的上边的磁体16与构成上部支撑机构24的一对磁体27a、27b相互排斥，能够将托架10保持在垂直的状态下输送。

图3为托架的局部详图。

如图3所示，在本实施方式中，四个基板托件18沿着开口部21的下边设置在托架框架15上，玻璃基板11能够与这些基板托件18相抵接。四个基板托件18中，在托架框架15的两侧配置有可动基板托件18a，配置在中侧的两个是固定基板托件18b。另外，为了便于说明，图示省略夹紧件19。

图4～图6为可动基板托件18a的主体部30的主视图、后视图、立体图。

如图4～图6所示，关于可动基板托件18a，其主体部30由树脂材料构成，在安装于托架框架15上的状态的主视图中，形成为大致四角形状且四0个角带有圆角的形状，在后视图中，大致四角形状的四个角被弯曲地切削，形成突起部31，并且，在四角形状的四边分别通过切削形成有大致同一形状的凹部32。主体部30的厚度形成为比玻璃基板11的厚度更厚，凹部32的厚度形成为比玻璃基板11的厚度更厚。另外，主体部30由工程塑料，即聚酰亚胺及聚酰胺系的树脂或它们的复合树脂形成。

图7为在沿着图4的A-A线的剖面图中图示螺栓34的图。

如图7所示，可动基板托件18a的主体部30构成为在其主视图的大致中央部形成有贯通孔33，插入螺栓34。在此，贯通孔33的孔径D形成为大于螺栓34的轴部44的外径d1，并形成为小于螺栓34的头部45的外径d2。进一步地，虽然主体部30通过螺栓34被安装在托架框架15上，但螺栓34并不牢固地上紧，而是被安装为使从托架框架15的表面到螺栓34的头部45的底面的距离大于主体部30的宽度(厚度)。也就是说，可动基板托件18a的主体部30能够移动。

图8为表示可动基板托件18a安装在托架框架15上的状态的剖面图。

如图8所示，可动基板托件18a具有主体部30和与主体部30的下端的凹部32相抵接且大致呈凸状的板簧35。板簧35安装在托架框架15上使主体部30向着上方而施力。在玻璃基板11不与可动基板托件18a抵接(放置)的状态下，由于板簧35的施力，主体部30位于最上方的位置。也就是说，贯通孔33的孔径D形成为大于螺栓34的轴部44的外径d1，从而主体部30能够上下移动。此外，板簧35以收纳在托架框架15的表面与形成在主体部30的表面的伸出部37之间的宽度而形成。由此，能够防止板簧35的脱落。

进一步地，主体部30由于不是被牢固地固定在托架框架15上，能够绕螺栓34的轴部44旋转。可是，由于可动基板托件18a的下方安装有板簧35，旋转量被限制。

回到图3，主体部30由低弹性树脂材料构成，呈大致四角形状，且形成为比玻璃基板11更厚。此外，固定基板托件18b通过螺栓34等被牢固地固定并安装在托架框架15上。此时，固定基板托件18b被安装为其四个边中的一个边与玻璃基板11的下边大致平行。另外，固定基板托件18b可以由与可动基板托件18a相同的材料形成，也可以由具有大致同等的弹性的不同的树脂材料形成。

此外，在玻璃基板11没有放置在托架10上的状态下，可动基板托件18a的上端部的位置以与固定基板托件18b的上端部的位置相比稍微靠近玻璃基板11(上方)地设有高低差而被安装(在本实施方式中为0.75mm)。该安装位置的高低差只要具有如下所述的高低差即可，即，当玻璃基板11被放置时，最初与可动基板托件18a可靠地抵接，可动基板托件18a由于玻璃基板11产生的载荷向下方移动之后，玻璃基板11与固定基板托件18b抵接。

进一步地，可动基板托件18a还在托架框架15的开口部21的水平方向两端部安装有多个。在玻璃基板11被放置的状态下，安装在玻璃基板11的水平方向两端部的可动基板托件18a与玻璃基板11之间形成有间隙。在托架10通过输送机50移动时，即使玻璃基板11左右偏移，通过安装在托架框架15的水平方向两端部的可动基板托件18a能够吸收其冲击力。

(作用)

以下，根据图9、图10对在将玻璃基板11放置到托架10时的作用进行说明。

如图9A所示，在玻璃基板11没有被放置的状态下，可动基板托件18a的主体部30通过板簧35向着上方被施力，位于最上方的位置。

如图9B所示，当玻璃基板11被放置在托架10的托架框体15上时，首先，玻璃基板11与主体部30的突起部31之一(突起部31a)在接触点40a接触。

如图9C所示，通过玻璃基板11由于其产生的载荷进一步向下方移动，主体部30向下方移动。此外，主体部30通过板簧35的变形而旋转，与突起部31a相邻的突起部31b在接触点40b进一步与玻璃基板11接触，玻璃基板11与可动基板托件18a在两点接触。

如图10A所示，通过上述作用，托架框架15的两侧的每个可动基板托件18a分别在两点，总计四点与玻璃基板11接触(接触点40a～40d)。之后，进一步由于玻璃基板11产生的载荷，玻璃基板11向下方移动。此时，由于板簧35在下方与可动基板托件18a的主体部30相抵接，在板簧35变形的同时主体部30向下方移动。也就是说，在吸收由于玻璃基板11产生的载荷所产生的冲击力的同时，玻璃基板11向下方移动。

如图10B所示，玻璃基板11进一步向下方移动，移动到玻璃基板11与固定基板托件18b相抵接的位置，被放置在托架10上。此时，每个固定基板托件18b与玻璃基板11分别在一点，总计两点(接触点40e、40f)来点接触(线接触)。另外，在固定基板托件18b被安装为与玻璃基板11平行的状态的情况下，不是点接触而是面接触。

在此，玻璃基板11被每个可动基板托件18a在各两点总计四点支撑，被固定基板托件18b在各一点总计两点支撑。因此，玻璃基板11以总计六点被支撑。此外，通过安装使可动基板托件18a和固定基板托件18b承受的载荷为1∶2来调整板簧35强度的构件，从而玻璃基板11可靠地被上述六点支撑。例如，当玻璃基板11产生的载荷为6kg时，可以使两侧的每个可动基板托件18a分别承受1kg，每个固定基板托件18b分别承受2kg。

于是，通过被安装在开口部21周围的夹紧件19，将玻璃基板11的边缘部压在托架框架15的掩蔽物20上，将玻璃基板11固定支撑在托架10上。

如上所述，在将玻璃基板11放置到托架10上之后，对玻璃基板11进行成膜等处理。如果玻璃基板11的成膜处理等结束，将玻璃基板11从托架10取下。这种工序将反复进行，但特别是可动基板托件18a由于放置玻璃基板11时产生的初期载荷容易产生应力，树脂构成的主体部30的突起部31会发生磨损。如果在主体部30的突起部31上发生这种磨损，可能将无法保持玻璃基板11的水平度。

在此，由于主体部30仅利用螺栓34被安装在托架框架15上，因此通过取下螺栓34能够容易地取下主体部30。于是，改变(旋转)主体部30的方向使发生磨损的突起部31以外的突起部31位于上端后，再次安装到托架框架15上。这样，能够使玻璃基板11抵接到没有磨损的突起部31，能够保持玻璃基板11的水平度。由于主体部30的形状为大致四角形，一个主体部30就能够进行四次上述作用，结果是，能够使主体部30的寿命为以前的四倍。

根据本实施方式，在被旋转自如地安装的可动基板托件18a的主体部30上，形成将主体部30从旋转中心轴呈放射状地延伸设置的多个突起部31，使突起部31抵接到玻璃基板11的端部来支撑玻璃基板11。

该情况下，当玻璃基板11与可动基板托件18a抵接时，首先与主体部30的突起部31a在一点(接触点40a)接触，进一步地通过基板11产生的载荷施加于基板托件18a，主体部30旋转而玻璃基板11与相邻的突起部31b接触，于是能够以一个可动基板托件18a在两点可靠地支撑玻璃基板11。因此，由于能够缓和对玻璃基板11的应力集中，能够防止玻璃基板11产生裂纹。结果是，能够在玻璃基板11的制造工序中使成品率提高。

此外，设有与可动基板托件18a的主体部30抵接且使主体部30向着玻璃基板11而施力的板簧35。

该情况下，当玻璃基板11抵接到可动基板托件18a时，能够通过板簧35吸收由玻璃基板11产生的载荷引起的冲击力并使它们抵接，因此能够防止玻璃基板11产生裂纹。

此外，由树脂构成可动基板托件18a的主体部30。

该情况下，由于可动基板托件18a的主体部30由树脂制成的弹性材料构成，当玻璃基板11与可动基板托件18a抵接时，能够防止玻璃基板11产生裂纹。

此外，装卸自如地安装可动基板托件18a。

该情况下，当与玻璃基板11抵接的突起部31随着时间磨损的情况下，能够暂时取下主体部30，旋转并安装主体部30以使得别的突起部31与玻璃基板11抵接地。由此，能够继续使用可动基板托件18a的主体部30，因此，能够实现主体部30的长寿命化。

此外，在支撑玻璃基板11的托架10中，将可动基板托件18a安装于托架10上。

该情况下，通过将可动基板托件18a适宜地安装于托架10上，能够起到承受玻璃基板11产生的载荷的作用，当在输送时等情况下玻璃基板11左右偏移时，能够起到干扰材的作用。

进一步地，在纵向支撑玻璃基板11的托架10中，将可动基板托件18a与玻璃基板11的下边抵接地安装于托架10上。

该情况下，当将玻璃基板安装于托架10时，通过可动基板托件18a能够可靠地承受玻璃基板11产生的载荷，此外，由于在一个可动基板托件18a中有两处支撑点，能够使玻璃基板11产生的载荷分散。因此，能够防止玻璃基板11产生裂纹。

而且，可动基板托件18a和与玻璃基板11抵接的固定基板托件18b沿着玻璃基板11的下边被安装，并且，可动基板托件18a被安装为比固定基板托件18b更加靠近玻璃基板11，在玻璃基板11与可动基板托件18a抵接之后与固定基板托件18b抵接，从而被支撑在托架10上。

该情况下，当将玻璃基板11安装于托架10时，首先玻璃基板11与可动基板托件18a抵接，吸收由玻璃基板11产生的载荷引起的冲击力并支撑玻璃基板11，进一步地，由于玻璃基板11产生的载荷主体部30向下方移动，玻璃基板11与固定基板托件18b抵接而玻璃基板11被支撑，因此，能够防止玻璃基板11产生裂纹。

因此，能够在玻璃基板11的制造工序中使成品率提高。

此外，通过可动基板托件18a和固定基板托件18b，玻璃基板11在更多处被支撑，能够使玻璃基板11产生的载荷分散支撑，因此，能够稳定支撑玻璃基板11，并且能够防止玻璃基板11产生裂纹。

(第二实施方式)

以下，根据图11对本发明的第二实施方式进行说明。另外，由于本实施方式与第一实施方式仅仅是可动基板托件的结构不同，其它为大致相同的结构，因此对相同的部分附上相同的符号并省略详细说明。

图11为表示可动基板托件61a被安装在托架框架15上的状态的剖面图。

如图11所示，可动基板托件61a具有主体部30和在主体部30与螺栓34的轴部44之间安装的环状的弹性部件63。弹性部件63由耐热性材料形成为圆筒状。在玻璃基板11没有与可动基板托件61a接触(放置)的状态下，主体部30位于最上方的位置，一旦玻璃基板11抵接到可动基板托件，弹性部件63被压缩，可动基板托件61a能够旋转并向下方移动。另外，弹性部件61a可以为具有弹性的树脂材料或橡胶。更具体地，考虑到在真空中使用和在高温气氛下使用，优选采用特弗隆(テフロン、注册商标)、维通(バィトン、注册商标)、氟系橡胶或硅系橡胶。

该情况下，在第一实施方式的作用效果之外，在与玻璃基板11抵接的突起部31随着时间磨损的情况下，无需取下主体部30，而能够容易使主体部30旋转以使别的突起部31与玻璃基板11抵接。由此，能够以更简单的方法继续使用可动基板托件18a的主体部30，能够实现主体部30的长寿命化。

本发明的技术范围不限于上述实施方式，在不脱离本发明主旨的范围中，包含对上述实施方式增加各种改变。即，实施方式所举出的具体材料及结构等不过是一个示例，可以进行适宜的改变。

例如，虽然本实施方式对采用大致四角形的可动基板托件的情况进行了说明，但如图12所示，可动基板托件也可以是大致三角形、大致五角形、大致六角形等的多突起体，能够与玻璃基板两点接触。

在如图12A、图12B所示具有奇数边的多角形的情况下，如果以在可动基板托件的上端确保两个与玻璃基板的接触点而进行配置，则一个突起部将位于下端。这种情况下，如果将板簧的形状形成为与下端的突起部抵接的凹部，可动基板托件能够起与上述实施方式相同的作用。

此外，在如图12C所示具有偶数边的多角形的情况下，通过设置具有与本实施方式大致相同的形状的板簧，可动基板托件能够起与上述实施方式相同的作用。

此外，虽然本实施方式对在可动基板托件上设置了板簧构成的施力部件的情况进行了说明，但如图13所示，也可以设置具有弹性的弹性部件71。另外，该弹性部件71由与上述第二实施方式记载的弹性部件相同的材料中构成。通过如此构成，能够得到与上述第一实施方式大致相同的作用效果。

进一步地，虽然本实施方式对在沿着玻璃基板的下边的方向上各配置两个可动基板托件和固定基板托件的情况进行了说明，但也可以全部配置为可动基板托件。

于是，虽然本实施方式对玻璃基板在抵接到可动基板托件之后抵接固定基板托件来被放置的情况进行了说明，但也可以构成为通常玻璃基板仅与可动基板托件抵接，仅在由移载机移动玻璃基板时等输入冲击载荷时，玻璃基板与固定基板托件抵接。

产业上的利用可能性

根据本发明的支撑部件和托架，能够防止基板产生裂纹，能够在基板的制造工序中使成品率提高。

Claims (11)

1、一种支撑部件，其特征在于，

具有被旋转自如地安装的支撑部件主体，

所述支撑部件主体具有从旋转中心轴呈放射状延伸设置的多个突起，

使所述突起抵接到基板的端部以支撑所述基板。

2、根据权利要求1所述的支撑部件，具有与所述支撑部件主体相抵接，使所述支撑部件主体向着所述基板而施力的施力部件。

3、根据权利要求1所述的支撑部件，在所述支撑部件主体与所述旋转中心轴之间安装有弹性部件。

4、根据权利要求1所述的支撑部件，所述支撑部件主体由树脂构成。

5、根据权利要求1所述的支撑部件，所述支撑部件主体被装卸自如地安装。

6、一种支撑基板的托架，安装有权利要求1所述的支撑部件。

7、一种纵向支撑所述基板的托架，其中，权利要求1所述的支撑部件被安装为与所述基板的下边抵接。

8、一种纵向支撑所述基板的托架，其中，

权利要求2～5的任意一项所述的支撑部件和与所述基板抵接的固定支撑部件在沿着所述基板的下边的方向上被安装，并且，所述支撑部件被安装为比所述固定支撑部件更加靠近所述基板，

所述基板在与所述支撑部件抵接之后，与所述固定支撑部件抵接以被支撑。

9、一种使用权利要求2所述的支撑部件的基板的支撑方法，具有：

通过所述基板被放置于所述托架的托架框架上，所述支撑部件主体的突起之一在一点与所述基板接触的工序；

由于所述基板产生的载荷所述基板向下方移动，从而所述支撑部件主体向下方移动，所述施力部件变形的工序；以及

通过所述施力部件变形，所述支撑部件主体旋转且相邻的突起与所述基板接触，由一个所述支撑部件在两点支撑所述基板的工序。

10、一种使用权利要求8所述的托架的基板的支撑方法，具有：

通过所述基板被放置在所述托架的托架框架上，所述支撑部件主体的突起之一在一点与所述基板接触的工序；

由于所述基板产生的载荷所述基板向下方移动，从而所述支撑部件主体向下方移动，所述施力部件变形的工序；

通过所述施力部件变形，所述支撑部件主体旋转且相邻的突起与所述基板接触，由一个所述支撑部件在两点支撑所述基板的工序；以及

由于所述基板产生的载荷所述基板进一步向下方移动，从而所述基板与所述固定支撑部件在一点接触，利用所述支撑部件和所述固定支撑部件支撑基板的工序。

Images