JP6541572B2 - 板材支持体及び搬送装置 - Google Patents
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Description
ガラス基板に対する金属膜の形成は、成膜装置によって行なわれる(特許文献1参照)。
特許文献1に記載の成膜装置は、ガラス基板を縦姿勢で保持する基板ホルダー部と、基板ホルダー部が搭載されるキャリアとを備える。成膜装置は、チャンバの内部にてキャリアを移動させることによってガラス基板を所定経路に沿って搬送しつつ、ガラス基板の一面側に金属膜を形成する。
とはいえ、一定載置部には、構成が簡易であり、また、ガラス基板を枠体に対して容易に位置決めすることができるという利点がある一方、前述したようにガラス基板の割れを引き起こす虞があるという欠点がある。
第1載置部は、板材の周縁下部における板材の周縁方向の中央部(以下、板材の周縁下部の中央部という)に対応する。第1載置部の基体からの突出長さは最短である。即ち、第2載置部の基体からの突出長さは第1載置部より長い。
第2載置部は、板材の周縁下部における板材の周縁方向の一端部側又は他端部側に対応する。第2載置部は一定載置部であり、基体に突設されている。故に、第2載置部に載置されることによって、板材は基体に対して容易に位置決めされる。
このため、板材が下方向に凸状に変形しようとした場合であっても、板材の周縁下部の中央部と第1載置部との間に大きな圧力が生じ難い。何故ならば、板材の変形量が小さい場合には、板材は少なくとも2個の第2載置部に接触して第1載置部には接触しないからである。また、板材の変形量が大きい場合には、少なくとも2個の第2載置部に強く接触して第1載置部には軽くしか接触しないからである。
以上の結果、板材の破損が抑制される。
以上の結果、板材の破損が更に抑制される。
以上の結果、板材支持体及び搬送装置は、全ての載置部が弾性載置部である場合に比べて、構成が簡易であり、しかも、板材を容易に位置決めすることができる。更に、板材の破損を抑制することができる。
図1は、本発明の実施の形態1に係る板材支持体1及び搬送装置4の構成を略示する縦断面図であり、図2は側面図である。
まず、板材2について説明する。
板材2は矩形平板状になしてある。板材2は、例えばガラス基板のような脆い部材である。本実施の形態では、板材2の一面側に、後述する成膜装置によって金属膜が形成される。なお、板材2はガラスを用いてなるものに限定されない。図2中の板材2は正方形状であるが、長方形状でもよい。
縦姿勢に配された板材2は、自重に起因する撓み、又は熱膨張等によって、特に前後方向中央部が下方向へ凸状に変形し得る。
板材支持体1は、従来の載置部に替えて後述する載置部3,3,…を備えていることを除けば、従来の板材支持体と同様の構成であってもよい。
本実施の形態の板材支持体1は、前後方向に沿う縦姿勢の板材2を、着脱可能に支持する。このために、板材支持体1は、基体11、複数個の支持部材12,12,…、及び複数個の載置部3,3,…を備えている。
上枠部111及び下枠部112夫々は横姿勢に配されている。上枠部111と下枠部112とは上下対称形状である。前枠部113及び後枠部114夫々は縦姿勢に配されている。前枠部113と後枠部114とは前後対称形状である。
同様に、上枠部111(前枠部113又は後枠部114)は、L字の一側に相当する左板部11aと、L字の他側に相当する上枠本体11c(前枠本体11d又は後枠本体11e)とを一体に有している。上枠本体11c(前枠本体11d又は後枠本体11e)は、左板部11aの上端部(前端部又は後端部)から後ろ方向へ突出する。
以下では、載置部3,3,…の内のM個を第1載置部31,31という。ただし、Mは所定の自然数である。図2ではM=2の場合を例示している。
第1載置部31,31は、板材2の下辺部2bにおける前後方向中央部(即ち板材2の下辺部2bの中央部)に対応すべく、下枠部112の前後方向中央部に隣り合って配されている。
つまり、N個の第2載置部32,32,…、2個の第1載置部31,31、及びN個の第2載置部32,32,…が、前側から後ろ側へこの順に並置されている。
ここで、図1〜図3を参照しつつ第1載置部31について詳述する。
各第1載置部31は、下枠部112の下枠本体11bからの突出長さが所定の突出長さA1である。即ち、第1載置部31は、基体11からの突出長さが一定の一定載置部である。
第1載置部31は、載置基部311及び接触板部300を一体的に有する。
載置基部311の下面から接触板部300の上端面までの縦長さ(上下方向の長さ)は、下枠部112における下枠本体11bからの左板部11aの突出長さより短い。
本実施の形態では、載置基部311の下面から上面までの縦長さが突出長さA1である。
各第2載置部32は、下枠部112の下枠本体11bからの突出長さが所定の突出長さA2である。即ち、第2載置部32は、基体11からの突出長さが一定の一定載置部である。
第2載置部32は、載置基部321及び接触板部300を一体的に有する。
第2載置部32の接触板部300は、第1載置部31の接触板部300に対応する。
第2載置部32の載置基部321は、第1載置部31の載置基部311と略同様の形状である。ただし、載置基部321の下面から上面までの縦長さは突出長さA2である。そして、突出長さA2は、突出長さA1よりも長い。換言すれば、載置部3,3,…の内、第1載置部31の基体11からの突出長さA1は最短である。
本実施の形態における各支持部材12の構成は、第2載置部32の構成と同じである。つまり、支持部材12は、第2載置部32の載置基部321及び接触板部300に相当する支持基部及び接触板部を一体的に有する。
ただし、支持部材12,12,…は、上枠部111、前枠部113、及び後枠部114夫々に突設されている。このとき、支持部材12,12,…は、上枠部111(前枠部113又は後枠部114)の左板部11aと上枠本体11c(前枠本体11d又は後枠本体11e)とからなる角部の内側に配されている。
前枠部113の前枠本体11d(又は後枠部114の後枠本体11e)には、複数個の支持部材12,12,…が後ろ向きに(又は前向きに)に突設されている。前枠部113(又は後枠部114)における支持部材12,12,…は、上下方向に並置されている。
なお、支持部材12の構成は、第1載置部31の構成と同じでも良く、載置部3の構成とは異なっていてもよい。
板材2は、上側の支持部材12,12,…、下側の載置部3,3,…、及び前後両側の支持部材12,12,…に囲繞された空間に、基体11の右側から嵌め込まれる。
また、板材2の上端面、前端面、及び左端面は、上側の支持部材12,12,…及び前後両側の支持部材12,12,…夫々の支持凸部に接触する。つまり、板材2の上辺部2a、前辺部2c、及び後辺部2dは、上側の支持部材12,12,…及び前後両側の支持部材12,12,…によって支持される。
更に、板材2の下端面は、各第2載置部32の載置基部321に接触する。つまり、板材2の下辺部2bは、載置部3,3,…(更に詳細には第2載置部32,32,…)に載置される。
更に、板材2は、基体11に着脱可能に取り付けられる図示しない板押さえによって、右側から左側に押し付けられる。この結果、板材は、支持部材12,12,…夫々の接触板部及び載置部3,3,…の接触板部300,300,…と板抑えとの間で挟持され、基体11に対して左右方向に位置決めされる。
板押さえを外せば、支持部材12,12,…及び載置部3,3,…から(即ち板材支持体1から)板材2を取り外すことは容易である。
図4は、載置部3,3,…に板材2が載置されている状態を模式的に示す側面図である。図4では、各接触板部300の図示を省略してある。
図5は、従来の板材支持体が備える載置部300,300,…に板材が載置されている状態を模式的に示す側面図である。
まず、板材支持体1と従来の板材支持体との差異について説明する。
従来の板材支持体の構成は、板材支持体1の構成と略同一である。ただし、従来の板材支持体が備える複数個の載置部300,300,…は、何れも、板材支持体1の第2載置部32と同一の構成を有する一定載置部である。
ところで、板材2の自重に起因する撓み、又は熱膨張等による板材2の変形量は、板材2の縦長さ及び横長さ夫々に比べて微小である。また、板材2は、上側の支持部材12,12,…と下側の第2載置部32,32,…(又は載置部300,300,…)との間で挟持されるため、実際の板材2の下辺部2bは、第2載置部32,32,…(又は載置部300,300,…)から上方向に大きく離隔することはない。とはいえ、図4及び図5では、板材2の状態がわかりやすいように板材2の形状が大仰に表現されている。
即ち、従来の板材支持体においては、板材2及び載置部300,300,…間の圧力が最も大きくなる箇所が1箇所に集中する。この結果、板材2が破損する虞がある。
即ち、板材支持体1においては、板材2及び載置部3,3,…間の圧力が最も大きくなる箇所が2箇所に分散する。この結果、板材2の破損が抑制される。
搬送装置4は、従来の板材支持体に替えて板材支持体1が用いられることを除けば、従来の搬送装置と同様の構成であってもよい。
本実施の形態の搬送装置4は、板材支持体1によって支持されている板材2を、板材2の図示しない搬送路に沿って、前方向へ搬送する。このために、搬送装置4は、保持体41及び移動部42を備えている。
保持体41は、1個の板材支持体1、又は前後方向に複数個並置された板材支持体1,1,…夫々を、着脱可能に保持する。板材支持体1は、保持体41の上部に搭載される。
移動部42は、直線歯車411、及び複数個の円形歯車412,412,…(図1及び図2夫々に1個図示)等を備えている。
複数個の円形歯車412,412,…は、回転軸が左右方向に沿う縦姿勢で、前後方向に並置されている。各円形歯車412は、外歯の平歯車である。円形歯車412は、図示しないベルト又はチェーン等を介して、図示しないモータが出力する回転運動を伝達されることによって、一方向に回転(図2中、前転)する。
直線歯車411と円形歯車412との噛合によって、円形歯車412の回転は、直線歯車411の直進(前進)に変換される。直線歯車411が直進すると、保持体41が前方向へ移動する。このとき、保持体41は、ローラを介して案内レールに安定して支持されつつ移動する。この結果、板材支持体1によって支持されている板材2が前方向へ搬送される。
板材交換室では、成膜後の板材2が板材支持体1から取り外され、成膜前の板材2が板材支持体1に取り付けられる。
L室の内部は、板材2の加熱室への搬入に伴い、大気状態から真空状態へ移行し、板材2の板材交換室への搬出に伴い、真空状態から大気状態へ移行する。
加熱室を経て成膜室に至った板材2は、一面側に金属膜を形成される。
しかしながら、板材支持体1を用いた場合には、板材2に破損が生じることが抑制される。実際に、板材支持体1を用いて複数枚の板材2,2,…に対する成膜処理を行なった場合、破損率は0.011%であった。
しかも、板材2は支持部材12,12,…及び載置部3,3,…によって位置決めされるため、成膜装置による成膜精度が向上する。
図6は、本発明の実施の形態2に係る板材支持体1が備える載置部3,3,…に板材2が載置されている状態を模式的に示す側面図である。図6は、実施の形態1の図4に対応する。
本実施の形態の板材支持体1及び搬送装置4は、実施の形態1の板材支持体1及び搬送装置4と略同様の構成である。以下では、実施の形態1との差異について説明し、その他、実施の形態1に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。
実施の形態1の載置部3,3,…は、相隣る2個の第1載置部31,31と、第1載置部31,31の前後両側に3個ずつの第2載置部32,32,…とからなる。
一方、本実施の形態の載置部3,3,…は、実施の形態1の載置部3,3,…において、複数個の第2載置部32,32,…を同数個の第3載置部33,33,…に置き換えたものに相当する。以下は、2個の第2載置部32,32を2個の第3載置部33,33で置き換えた場合について説明する。
つまり、2個の第2載置部32,32,…、1個の第3載置部33、2個の第1載置部31,31、1個の第3載置部33、及び2個の第2載置部32,32,…が、前側から後ろ側へこの順に並置されている。
ただし、第3載置部33は、下枠部112の下枠本体11bからの突出長さが所定の範囲で増減可能である。このために、第3載置部33は、少なくとも載置基部が弾性を有する。第3載置部33の載置基部は、載置基部の上面に下向きの外力が加えられた場合に、載置基部の上面が下面に接近する方向に弾性変形する。つまり、第3載置部33は、下方向に弾性変形する弾性載置部である。
なお、突出長さA3は、突出長さA2に等しい構成に限定されないが、少なくとも突出長さA1よりは長い。
このため、板材2の変形量が比較的小さければ、板材2は第1載置部31,31に接触せず、第1載置部31,31の前側にて相隣る各1個の第2載置部32及び第3載置部33と、第1載置部31,31の後ろ側にて相隣る各1個の第2載置部32及び第3載置部33とに接触する(図6参照)。或いは、板材2の変形量が比較的大きければ、板材2は第1載置部31,31に軽く接触し、第1載置部31,31の前後両側に位置する第2載置部32,32及び第3載置部33,33に強く接触する(不図示)。何れにせよ、各第3載置部33に係る突出長さA4は、第1載置部31に係る突出長さA1と第2載置部32に係る突出長さA2との中間の長さになる。
ただし、仮に、載置部3,3,…が全て第3載置部33,33,…である場合、第3載置部33,33,…に全体的に荷重が分散するため、実施の形態1,2よりも板材2の破損が更に抑制されると考えられる。とはいえ、実施の形態1であっても、破損率は0.011%であり、十分に実用的である。従って、載置部3,3,…が全て第3載置部33,33,…である必要はない。
また、本発明の効果がある限りにおいて、板材支持体1又は搬送装置4に、実施の形態1,2に開示されていない構成要素が含まれていてもよい。
各実施の形態に開示されている構成要件(技術的特徴)はお互いに組み合わせ可能であり、組み合わせによって新しい技術的特徴を形成することができる。
11 基体
2 板材
2b 下辺部(周縁下部)
3 載置部
31 第1載置部
32 第2載置部
33 第3載置部
4 搬送装置
41 保持体
42 移動部
Claims (3)
- 縦姿勢の矩形平板状の板材を着脱可能に支持する板材支持体において、
前記板材の周縁を囲繞する矩形枠状の基体と、
前記板材の下側の周縁の方向に並置されて前記基体に夫々突設されており、前記板材が載置される複数個の載置部と
を備え、
前記複数個の載置部は、前記板材の周縁下部における前記周縁の方向の中央部に対応する第1載置部と、前記板材の周縁下部における前記周縁の方向の両端部側に少なくとも1個ずつ対応する第2載置部とを含み、
前記第1載置部は、前記基体からの突出長さが前記複数個の載置部の中で最短であり、
前記第2載置部は、前記基体からの突出長さが一定であることを特徴とする板材支持体。 - 前記複数個の載置部は、前記第1載置部と前記第2載置部との間に配されている第3載置部を更に含み、
該第3載置部は、前記基体からの突出長さが増減可能であることを特徴とする請求項1に記載の板材支持体。 - 請求項1又は2に記載の板材支持体が支持する板材を搬送する搬送装置であって、
前記板材支持体を着脱可能に保持する保持体と、
該保持体を移動させる移動部と
を備えることを特徴とする搬送装置。
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