KR20090133118A - 지지부재 및 캐리어와 지지방법 - Google Patents

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Abstract

이 지지부재 및 캐리어와 지지방법은, 회동 가능하게 설치된 지지부재 본체를 구비하고, 지지부재 본체는 회동 중심축으로부터 방사형으로 연장 설치된 복수의 돌기를 구비하고, 돌기를 기판의 단부에 맞닿게 하여 기판을 지지하기 때문에 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있고 또 지지부재 본체를 장수명화할 수 있다.

Description

지지부재 및 캐리어와 지지방법{Supporting member, carrier and supporting method}
본 발명은 지지부재 및 그것을 설치한 캐리어에 관한 것이다
본원은 2007년 4월 23일에 일본에 출원된 일본 특허출원 제2007-113226호에 기초하여 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.
액정 디스플레이 등의 제조 공정에서 대형 유리 기판에 대해 가열 처리나 성막 처리 등 진공 처리가 이루어진다. 따라서 여러가지 진공 처리 장치가 개발되고 있다. 그 중 하나로서, 액정 디스플레이의 컬러 필터측에 ITO막(전극막)을 성막하기 위해 인라인 스퍼터링 장치가 사용되고 있다.
이 인라인 스퍼터링 장치는 진공 상태를 만들어 박막을 스퍼터링으로 유리 기판상에 성막하는 진공 장치이다. 유리 기판은, 장치 내를 안정적으로 반송시키기 위해 캐리어라고 불리는 대차(臺車;bogie)에 설치되어 있다.
또, 특히 대형 유리 기판을 성막할 때 유리 기판을 대략 수직으로 하여 캐리어에 놓아두고 성막을 행하는 방법이 있다. 이 때 캐리어측에 설치된 기판 받침(지지부재) 위에 유리 기판의 하변을 놓아두게 된다.
<특허문헌 1>: 일본 공개특허 제2006-114675호 공보(도 11)
여기에서 기판 받침은 대략 사각형이며, 캐리어측 유리 기판의 하변이 맞닿는 위치에 복수 고정되어 설치되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 그러나 유리 기판의 하변과 기판 받침의 상변을 평행하게 접촉시키기 힘들기 때문에 이들은 면접촉이 아닌 점접촉(선접촉)으로 되어 있다.
즉, 도 14에 도시한 것처럼, 예를 들면 기판 받침(118)이 3개 설치되어 있더라도 유리 기판(111)과 기판 받침(118)(118a∼118c)은, 기판 받침(118a)의 귀퉁이부와 기판 받침(118c)의 귀퉁이부 2군데에서만 점접촉(선접촉)되어 있고 기판 받침(118b)과 유리 기판(11)은 접촉되지 않은 상태가 되는 경우가 있었다.
그런데 옮김장치(로보트)에 의해 반송된 유리 기판을 캐리어의 기판 받침에 맞닿게 할 때에는 유리 기판을 기판 받침의 수㎜ 윗쪽에서 자연 낙하시켜 맞닿게 하기 때문에 상술한 예의 경우 등에서는 2군데에 유리 기판의 하중이 순간적으로 걸려 응력이 집중되어 유리 기판에 크랙이 발생하고 수율이 저하될 가능성이 있었다. 또 이 크랙에 기인하여 그 후의 반송 공정, 성막 공정 및 기판 착탈 공정 등에서 기판이 갈라질 가능성이 있었다. 또 유리 기판과 기판 받침의 마찰에 의해 기판 받침측에 깎임이 발생하여 복수의 기판 받침의 수평 레벨이 어긋나 버리고 따라서 유리 기판의 수평도를 확보할 수 없게 되는 문제가 있었다.
본 발명은 상술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있고 또 지지부재 본체를 장수명화할 수 있는 지지부재 및 캐리어를 제공하는 것이다.
본 발명에 관한 제1 태양은, 회동 가능하게 설치된 지지부재 본체를 구비하고, 상기 지지부재 본체는 회동 중심축으로부터 방사형으로 연장 설치된 복수의 돌기를 구비하고, 상기 돌기를 기판의 단부에 맞닿게 하여 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 경우, 상기 기판이 상기 지지부재에 맞닿을 때, 우선 상기 지지부재 본체의 돌기의 1점과 접촉하고, 또 기판의 하중이 지지부재에 걸림으로써, 지지부재 본체가 회동하여 인접한 돌기와 기판이 접촉하기 때문에 하나의 지지부재에 의해 기판을 확실히 2점에서 지지할 수 있다. 따라서 기판에의 응력 집중을 완화시킬 수 있기 때문에 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다. 결과적으로 기판의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
상기 지지부재는, 상기 지지부재 본체에 맞닿으며, 상기 지지부재 본체를 상기 기판을 향해 가압하는 가압부재를 구비해도 좋다.
이 경우, 기판이 지지부재에 맞닿을 때에, 가압부재에 의해 기판의 하중에 기인한 충격력을 흡수하면서 맞닿게 할 수 있기 때문에 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 지지부재는 상기 지지부재 본체와 상기 회동 중심축 사이에 탄성부재가 끼워져 있어도 좋다.
이 경우, 기판이 지지부재에 맞닿을 때에, 탄성부재에 의해 기판의 하중에 기인한 충격력을 흡수하면서 맞닿게 할 수 있기 때문에 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 지지부재 본체는 수지로 이루어져도 좋다.
이 경우, 지지부재 본체가 수지로 이루어진 탄성 재료에 의해 구성되기 때문에 기판과 지지부재가 맞닿을 때에 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 지지부재 본체는 착탈 가능하게 설치되어도 좋다.
이 경우, 기판과 맞닿아 있는 돌기가 시간이 흐름에 따라 마모된 경우에, 지지부재 본체를 일단 떼내고 다른 돌기가 기판과 맞닿도록 지지부재 본체를 회전시켜 설치할 수 있다. 이로써, 지지부재 본체를 계속 사용할 수 있고 따라서 지지부재 본체의 장수명화를 꾀할 수 있는 효과가 있다.
상기 기판을 지지하는 캐리어에는 상기 어느 하나의 지지부재가 설치되어 있어도 좋다.
이 경우, 캐리어에 지지부재를 적절히 설치함으로써 기판의 하중을 받는 역할을 하거나, 기판이 반송시에 좌우로 어긋날 때에 간섭재로서의 역할을 할 수 있는 효과가 있다.
상기 기판을 종형(縱型)으로 지지하는 캐리어에는, 상기 기판의 하변에 맞닿도록 상기 지지부재가 설치되어 있어도 좋다.
이 경우, 캐리어에 기판을 설치할 때에 지지부재에 의해 확실하게 기판의 하중을 받을 수 있다. 또 하나의 지지부재에서 지지점이 2군데 있기 때문에 기판의 하중을 분산시킬 수 있고, 따라서 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 기판을 종형으로 지지하는 캐리어에는 상기 어느 하나의 지지부재와 상기 기판에 맞닿는 고정 지지부재가 상기 기판의 하변을 따르는 방향으로 설치되고, 또한 상기 지지부재가 상기 고정 지지부재보다도 상기 기판에 가깝게 설치되어 있으며, 상기 기판이 상기 지지부재에 맞닿은 후에 상기 고정 지지부재에 맞닿아 지지되어 있어도 좋다.
이 경우, 캐리어에 기판을 설치할 때에, 우선 지지부재와 기판이 맞닿아 기판의 하중에 기인하는 충격력을 흡수하면서 기판을 지지하고, 또 기판의 하중에 의해 지지부재 본체가 아래쪽으로 이동하여 고정 지지부재와 기판이 맞닿아 기판이 지지되기 때문에 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 기판의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또 지지부재 및 고정 지지부재에 의해 기판이 보다 많은 부분에서 지지되고 기판의 하중을 분산하여 지지할 수 있기 때문에 기판을 안정적으로 지지함과 동시에 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 의하면, 기판이 지지부재에 맞닿을 때, 우선 지지부재 본체의 돌기의 1점과 접촉하고, 또 기판의 하중이 지지부재에 걸림으로써, 지지부재 본체가 회동하여 인접한 돌기와 기판이 접촉하기 때문에 하나의 지지부재로 기판을 확실히 2점에서 지지할 수 있어 기판에의 응력 집중을 완화시킬 수 있다. 또 기판이 지지부재에 맞닿을 때에, 가압부재 또는 탄성부재에 의해 기판의 하중에 기인한 충격력을 흡수하면서 맞닿게 할 수 있다. 따라서 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있어 기판의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또 지지부재 본체를 수지로 이루어진 탄성 재료에 의해 구성하기 때문에 기판과 지지부재가 맞닿을 때에 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또, 기판과 맞닿은 돌기가 시간이 흐름에 따라 마모된 경우에, 지지부재 본체를 일단 떼내고 다른 돌기가 기판과 맞닿도록 지지부재 본체를 회전시켜 설치할 수 있는 구성으로 한다. 이로써, 지지부재 본체를 계속 사용할 수 있어 지지부재 본체의 장수명화를 꾀할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에서의 캐리어에 유리 기판을 놓아둔 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에서의 콘베이어에 캐리어를 놓아둔 상태를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에서의 캐리어의 부분 상세도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시형태에서의 가동 기판 받침 본체부의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에서의 가동 기판 받침 본체부의 배면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시형태에서의 가동 기판 받침 본체부의 사시도이다.
도 7은 도 4의 A-A선의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시형태에서의 가동 기판 받침이 캐리어 프레임에 설치된 상태를 도시한 단면도이다.
도 9a는 본 발명의 제1 실시형태에서의 유리 기판을 캐리어에 놓아둘할 때의 공정을 도시한 설명도이다.
도 9b는 본 발명의 제1 실시형태에서의 유리 기판을 캐리어에 놓아둘 때의 공정을 도시한 설명도이다.
도 9c는 본 발명의 제1 실시형태에서의 유리 기판을 캐리어에 놓아둘 때의 공정을 도시한 설명도이다.
도 10a는 도 9의 공정의 계속을 도시한 설명도이다.
도 10b는 도 9의 공정의 계속을 도시한 설명도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시형태에서의 가동 기판 받침이 캐리어 프레임에 설치된 상태를 도시한 단면도이다.
도 12a는 본 발명의 실시형태에서의 가동 기판 받침의 다른 태양을 도시한 설명도로서, 외형이 삼각형인 것이다.
도 12b는 본 발명의 실시형태에서의 가동 기판 받침의 다른 태양을 도시한 설명도로서, 외형이 오각형인 것이다.
도 12c는 본 발명의 실시형태에서의 가동 기판 받침의 다른 태양을 도시한 설명도로서, 외형이 육각형인 것이다.
도 13은 본 발명의 실시형태에서의 가동 기판 받침의 다른 태양을 도시한 설명도이다.
도 14는 종래의 기판 받침과 유리 기판의 관계를 도시한 설명도이다.
<부호의 설명>
11…기판(기판)
10…캐리어
18…기판 받침(지지부재)
18a…가동 기판 받침(지지부재)
18b…고정 기판 받침(고정 지지부재)
30…본체부(지지부재 본체)
31…돌기부(돌기)
35…판스프링(가압부재)
63…탄성부재
(제1 실시형태)
다음으로, 본 발명의 제1 실시형태를 도 1∼도 11에 기초하여 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 사용하는 각 도면에서는 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해 각 부재의 축척을 적절히 변경하였다.
도 1은, 캐리어에 유리 기판을 놓아둔 상태를 도시한 사시도이다.
도 1에 도시한 것처럼, 유리 기판(11)에 성막 등을 실시할 때에는 캐리어(10)라고 불리는 틀체에 유리 기판(11)을 놓아두고 캐리어(10)를 후술하는 콘베이어에 의해 반송하면서 적절한 처리를 행한다.
캐리어(10)는 종형으로 배치된 상태에서 유리 기판(11)이 놓이도록 구성되어 있다. 캐리어(10)는 알루미늄 등으로 이루어진 액자형 캐리어 프레임(15)과, 캐리어 프레임(15)의 상변을 따르도록 설치된 마그넷(16)과, 캐리어 프레임(15)의 하변을 따르도록 설치된 환봉(丸棒)으로 이루어진 슬라이더(17)를 구비하고 있다. 또, 유리 기판(11)의 하중을 받고 또한 유리 기판(11)의 수평도를 유지하기 위한 복수의 기판 받침(18)과, 캐리어 프레임(15)의 개구부(21) 주연(周緣)에 설치되어 유리 기판(11)을 캐리어(10)에 지지시키기 위한 복수의 클램프(19)를 구비하고 있다. 또 캐리어 프레임(15)의 개구부(21)의 수평 방향 양단부에도, 유리 기판(11)이 반송시 등에 좌우로 어긋났을 때 맞닿아 충격을 흡수할 수 있는 기판 받침(18)이 설치되어 있다. 유리 기판(11) 주연의 비성막 영역을 덮기 위한 마스크(20)는 캐리어 프레임(15)의 개구부(21) 주연에 캐리어 프레임(15)과 일체 형성되어 있다.
도 2는, 콘베이어에 캐리어를 놓아둔 상태를 도시한 측면도이다.
도 2에 도시한 것처럼, 캐리어(10)는 콘베이어(50)에 의해 성막 장치 내를 이동할 수 있게 구성되어 있다. 또 콘베이어(50)는 바닥면(FL)에 지지 고정된 프레임(22)과, 프레임(22) 내에 설치된 하부 지지 기구(23) 및 상부 지지 기구(24)로 구성되어 있다. 즉, 캐리어(10)의 하변에 설치된 슬라이더(17)를 하부 지지 기구(23)의 롤러(25)에 걸어맞춤시켜, 롤러(25)를 모터(26)에 의해 회전 구동시킴으로써 캐리어(10)를 반송 경로(롤러(25)의 외주측 홈부)를 따라서 수평 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또 캐리어(10)의 상변에 설치된 마그넷(16)과, 상부 지지 기구(24)를 구성하는 한쌍의 마그넷(27a),(27b)이 서로 반발함으로써, 캐리어(10)를 수직으로 지지한 상태에서 반송 가능하게 구성되어 있다.
도 3은, 캐리어의 부분 상세도이다.
도 3에 도시한 것처럼, 본 실시형태에서 캐리어 프레임(15)에는 개구부(21)의 하변을 따라 4개의 기판 받침(18)이 설치되고, 이들 기판 받침(18)에 유리 기 판(11)이 맞닿도록 구성되어 있다. 4개의 기판 받침(18) 중 캐리어 프레임(15)의 양측에는 가동 기판 받침(18a)이 배치되고, 가운데측 2개로서는 고정 기판 받침(18b)이 배치되어 있다. 설명의 편의상 클램프(19)는 도시를 생략하였다.
도 4∼도 6은 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)의 정면도, 배면도, 사시도이다.
도 4∼도 6에 도시한 것처럼 가동 기판 받침(18a)은 그 본체부(30)가 수지 재료로 이루어지고, 캐리어 프레임(15)에 설치한 상태의 정면에서 보아 대략 사각형 모양으로 네 귀퉁이가 둥그스름한 형상으로 형성되어 있고, 배면에서 보아 대략 사각형 모양의 네 귀퉁이가 만곡하도록 절삭되어 돌기부(31)가 형성되고, 또한 사각형의 4변에 대략 동일한 형상의 오목부(32)가 각각 절삭되어 형성되어 있다. 본체부(30)의 두께는 유리 기판(11)의 두께보다 두껍게 형성되고, 오목부(32)의 두께가 유리 기판(11)의 두께보다 두껍게 형성되어 있다. 본체부(30)는 엔지니어링 플라스틱, 즉 폴리이미드계나 폴리아미드계 수지 또는 그들의 복합 수지로 형성되어 있다.
도 7은, 도 4의 A-A선의 단면도에 볼트(34)를 도시한 것이다.
도 7에 도시한 것처럼, 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)는 정면에서 보아 대략 중앙부에 관통공(33)이 형성되어 있어, 볼트(34)가 삽입 통과하도록 구성되어 있다. 여기에서 관통공(33)의 구멍 직경(D)은 볼트(34)의 축부(44)의 외경(d1)보다 크게 형성되고, 볼트(34)의 머리부(45)의 외경(d2)보다 작게 형성되어 있다. 또 본체부(30)는 볼트(34)에 의해 캐리어 프레임(15)에 설치되어 있는데, 볼트(34)는 강 하게 조이지 않고 캐리어 프레임(15)의 표면에서 볼트(34)의 머리부(45) 저면까지의 거리가 본체부(30)의 폭(두께)보다 크게 되도록 설치되어 있다. 즉, 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)가 이동 가능하게 구성되어 있다.
도 8은, 가동 기판 받침(18a)이 캐리어 프레임(15)에 설치된 상태를 도시한 단면도이다.
도 8에 도시한 것처럼, 가동 기판 받침(18a)은 본체부(30)와, 본체부(30) 하단의 오목부(32)에 맞닿은 대략 볼록한 형상의 판스프링(35)을 구비하고 있다. 판스프링(35)은 본체부(30)를 윗쪽으로 가압하도록 캐리어 프레임(15)에 설치되어 있다. 유리 기판(11)이 가동 기판 받침(18a)에 맞닿아(놓여) 있지 않은 상태에서 본체부(30)는 최상위에 위치하도록 판스프링(35)에 의해 가압되어 있다. 즉, 관통공(33)의 구멍 직경(D)이 볼트(34)의 축부(44)의 외경(d1)보다도 크게 형성되어 있기 때문에 본체부(30)는 상하로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또 판스프링(35)은 캐리어 프레임(15)의 표면과 본체부(30)의 표면에 형성된 돌출부(37) 사이에 드는 폭으로 형성되어 있다. 이로써 판스프링(35)의 탈락을 방지할 수도 있다.
또한 본체부(30)는 캐리어 프레임(15)에 단단히 고정되어 있지 않기 때문에 볼트(34)의 축부(44) 둘레를 회동 가능하게 구성되어 있다. 단, 가동 기판 받침(18a)의 아래쪽에 판스프링(35)이 설치되어 있기 때문에 회동량은 제한되어 있다.
도 3으로 되돌아가 본체부(30)는 저탄성의 수지 재료로 이루어지고, 대략 사각형이며 유리 기판(11)보다 두껍게 형성되어 있다. 또 고정 기판 받침(18b)은 캐 리어 프레임(15)에 볼트(34) 등으로 단단히 고정되어 설치되어 있다. 이 때, 고정 기판 받침(18b)은 4변 중 한변이 유리 기판(11)의 하변과 대략 평행하도록 설치되어 있다. 고정 기판 받침(18b)은 가동 기판 받침(18a)와 같은 재료로 형성해도 좋고, 다른 수지 재료로 대략 동등한 탄성을 가진 것으로 형성해도 된다.
또 유리 기판(11)이 캐리어(10)에 놓여져 있지 않은 상태에서, 가동 기판 받침(18a)의 상단부 위치는 고정 기판 받침(18b)의 상단부 위치보다도 약간 유리 기판(11)에 가깝도록(윗쪽으로) 고저 차이를 두고 설치되어 있다(본 실시형태에서는 0.75㎜). 이 설치 위치의 고저 차이는 유리 기판(11)이 놓여질 때 최초로 가동 기판 받침(18a)에 확실하게 맞닿고 가동 기판 받침(18a)이 유리 기판(11)의 하중에 의해 아래쪽으로 이동한 후, 고정 기판 받침(18b)에 유리 기판(11)이 맞닿는 고저 차이를 가지고 있으면 된다.
또한 가동 기판 받침(18a)은 캐리어 프레임(15)의 개구부(21)의 수평 방향 양단부에도 복수 설치되어 있다. 유리 기판(11)이 놓여진 상태에서, 유리 기판(11)의 수평 방향 양단부에 설치된 가동 기판 받침(18a)과 유리 기판(11) 사이에는 틈이 형성되어 있다. 캐리어(10)가 콘베이어(50)에 의해 이동할 때 유리 기판(11)이 좌우로 어긋나더라도 캐리어 프레임(15)의 수평 방향 양단부에 설치된 가동 기판 받침(18a)에 의해 그 충격력을 흡수할 수 있도록 구성되어 있다.
(작용)
다음으로, 유리 기판(11)을 캐리어(10)에 놓아둘 때의 작용에 대해서 도 9, 도 10에 기초하여 설명하기로 한다.
도 9a에 도시한 것처럼, 유리 기판(11)이 놓여져 있지 않은 상태에서, 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)는 판스프링(35)에 의해 윗쪽을 향해 가압되어 최상위에 위치해 있다.
도 9b에 도시한 것처럼, 유리 기판(11)이 캐리어(10)의 캐리어 프레임(15)에 놓여지면, 우선 유리 기판(11)과 본체부(30)의 돌기부(31) 중 하나(돌기부(31a))가 접점(40a)에서 접촉한다.
도 9c에 도시한 것처럼, 유리 기판(11)이 그 하중에 의해 더 아래쪽으로 이동하게 됨으로써 본체부(30)가 아래쪽으로 이동한다. 또 본체부(30)는 판스프링(35)이 변형됨으로써 회동하고, 돌기부(31a)에 인접한 돌기부(31b)가 유리 기판(11)과 접점(40b)에서 접촉하고, 유리 기판(11)과 가동 기판 받침(18a)이 2점에서 접촉한다.
도 10a에 도시한 것처럼, 상술한 작용으로 캐리어 프레임(15) 양쪽의 가동 기판 받침(18a)이 각각 2점씩 합계 4점에서 유리 기판(11)과 접촉한다(접점(40a)∼40d). 그 후, 유리 기판(11)의 하중에 의해 유리 기판(11)은 아래쪽으로 더 이동한다. 이 때, 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)에는 판스프링(35)이 아래쪽에서 맞닿아 있기 때문에 판스프링(35)이 변형되면서 본체부(30)가 아래쪽으로 이동한다. 즉, 유리 기판(11)의 하중에 의한 충격력을 흡수하면서 유리 기판(11)은 아래쪽으로 이동한다.
도 10b에 도시한 것처럼, 유리 기판(11)이 아래쪽으로 더 이동하고 유리 기판(11)이 고정 기판 받침(18b)에 맞닿는 위치까지 이동하여 캐리어(10)에 놓여진 다. 이 때, 고정 기판 받침(18b)과 유리 기판(11)은 각각 1점씩 합계 2점에서 점접촉(선접촉)된다(접점(40e),(40f)). 고정 기판 받침(18b)이 유리 기판(11)과 평행한 상태로 설치되어 있는 경우에는 점접촉이 아니라 면접촉된다.
여기에서 유리 기판(11)은 가동 기판 받침(18a)에 있어서, 각 2점씩 합계 4점에서 지지되고, 고정 기판 받침(18b)에 있어서, 각 1점씩 합계 2점에서 지지되어 있다. 따라서 유리 기판(11)은 합계 6점에서 지지되게 된다. 또 가동 기판 받침(18a)과 고정 기판 받침(18b)에서 받는 하중이 1:2가 되도록 판스프링(35)의 강도를 조정한 것을 설치함으로써 확실하게 상술한 6점에서 지지된다. 예를 들면, 유리 기판(11)의 하중이 6kg일 때에는 양측의 가동 기판 받침(18a)에서 각각 1kg씩 받고, 고정 기판 받침(18b)에서 각각 2kg씩 받도록 하면 좋다.
그리고 개구부(21) 주연에 설치되어 있는 클램프(19)에 의해 유리 기판(11)의 주연부를 캐리어 프레임(15)의 마스크(20)에 누르도록 하여 유리 기판(11)을 캐리어(10)에 고정 지지한다.
상술한 바와 같이 유리 기판(11)을 캐리어(10)에 놓아둔 후 유리 기판(11)에 성막 등의 처리를 행한다. 유리 기판(11)의 성막 처리 등이 완료되면 유리 기판(11)을 캐리어(10)에서 떼낸다. 이와 같은 공정을 반복하여 수행하게 되는데, 특히 가동 기판 받침(18a)은 유리 기판(11)을 놓아둘 때의 초기 하중에 의해 응력이 걸리기 쉽기 때문에 수지로 이루어진 본체부(30)의 돌기부(31)에 깍임이 발생한다. 이와 같이 본체부(30)의 돌기부(31)에 깎임이 발생하면 유리 기판(11)의 수평도를 유지할 수 없게 될 가능성이 있다.
여기에서 본체부(30)는 볼트(34)에 의해 캐리어 프레임(15)에 부착되어 있을 뿐이므로 볼트(34)를 떼냄으로써 용이하게 본체부(30)을 떼낼 수 있다. 그리고 깎임이 발생된 돌기부(31) 이외의 돌기부(31)가 상단에 위치하도록 본체부(30)의 방향을 바꾸어(회전시켜) 다시 캐리어 프레임(15)에 설치한다. 이와 같이 함으로써 유리 기판(11)을 깎임이 발생되지 않은 돌기부(31)에 맞닿게 할 수 있어 유리 기판(11)의 수평도를 유지할 수 있다. 본체부(30)의 형상이 대략 사각형이므로 하나의 본체부(30)에서 상술한 작용을 4번 실시할 수 있어 결과적으로 본체부(30)의 수명을 종래의 4배로 할 수 있다.
본 실시형태에 의하면, 회동 가능하게 설치된 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)에 회동 중심축으로부터 방사형으로 연장 설치된 복수의 돌기부(31)을 형성하고, 돌기부(31)를 유리 기판(11)의 단부에 맞닿게 하여 유리 기판(11)을 지지하도록 하였다.
이 경우, 유리 기판(11)이 가동 기판 받침(18a)에 맞닿을 때에, 우선 본체부(30)의 돌기부(31a)의 1점(접점(40a))과 접촉하고, 또 유리 기판(11)의 하중이 가동 기판 받침(18a)에 걸림으로써, 본체부(30)가 회동하여 인접한 돌기부(31b)와 유리 기판(11)이 접촉하기 때문에, 하나의 가동 기판 받침(18a)으로 유리 기판(11)을 확실히 2점에서 지지할 수 있다. 따라서 유리 기판(11)에의 응력 집중을 완화시킬 수 있기 때문에 유리 기판(11)의 크랙 발생을 방지할 수 있다. 결과적으로 유리 기판(11)의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있다.
또 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)에 맞닿아 본체부(30)를 유리 기판(11) 을 향해 가압하는 판스프링(35)을 설치하였다.
이 경우, 유리 기판(11)이 가동 기판 받침(18a)에 맞닿을 때 판스프링(35)에 의해 유리 기판(11)의 하중에 기인한 충격력을 흡수하면서 맞닿게 할 수 있기 때문에 유리 기판(11)의 크랙 발생을 방지할 수 있다.
또 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)를 수지로 구성하였다.
이 경우, 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)가 수지로 이루어진 탄성 재료에 의해 구성되어 있기 때문에 유리 기판(11)과 가동 기판 받침(18a)이 맞닿을 때 유리 기판(11)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)를 착탈 가능하게 설치하였다.
이 경우, 유리 기판(11)과 맞닿아 있는 돌기부(31)가 시간이 흐름에 따라 마모된 경우에, 본체부(30)를 일단 떼내고, 다른 돌기부(31)가 유리 기판(11)과 맞닿도록 본체부(30)을 회전시켜 설치할 수 있다. 이로써 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)를 계속 사용할 수 있어 본체부(30)의 장수명화를 꾀할 수 있다.
또 유리 기판(11)을 지지하는 캐리어(10)에 있어서, 가동 기판 받침(18a)을 캐리어(10)에 설치하였다.
이 경우, 캐리어(10)에 가동 기판 받침(18a)을 적절히 설치함으로써 유리 기판(11)의 하중을 받는 역할을 하거나 유리 기판(11)이 반송시 등에 좌우로 어긋날 때 간섭재로서의 역할을 할 수 있다.
또한 유리 기판(11)을 종형으로 지지하는 캐리어(10)에 있어서, 유리 기판(11)의 하변에 맞닿도록 가동 기판 받침(18a)을 캐리어(10)에 설치하였다.
이 경우, 캐리어(10)에 유리 기판(11)을 설치할 때, 가동 기판 받침(18a)에 의해 확실하게 유리 기판(11)의 하중을 받을 수 있고, 또 하나의 가동 기판 받침(18a)에서 지지점이 2군데 있기 때문에 유리 기판(11)의 하중을 분산시킬 수 있다. 따라서 유리 기판(11)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
그리고 가동 기판 받침(18a)과 유리 기판(11)에 맞닿는 고정 기판 받침(18b)이 유리 기판(11)의 하변을 따르는 방향으로 설치되고, 또한 가동 기판 받침(18a)이 고정 기판 받침(18b)보다도 유리 기판(11)에 가깝게 설치되고, 유리 기판(11)이 가동 기판 받침(18a)에 맞닿은 후에 고정 기판 받침(18b)에 맞닿는 캐리어(10)에 지지되도록 하였다.
이 경우, 캐리어(10)에 유리 기판(11)을 설치할 때에, 우선 가동 기판 받침(18a)과 유리 기판(11)이 맞닿아 유리 기판(11)의 하중에 기인하는 충격력을 흡수하면서 유리 기판(11)을 지지하고, 또 유리 기판(11)의 하중에 의해 본체부(30)가 아래쪽으로 이동하여, 고정 기판 받침(18b)과 유리 기판(11)이 맞닿아 유리 기판(11)이 지지되기 때문에 유리 기판(11)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
따라서 유리 기판(11)의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있다.
또 가동 기판 받침(18a) 및 고정 기판 받침(18b)에 의해 유리 기판(11)이 보다 많은 부분에서 지지되고, 유리 기판(11)의 하중을 분산하여 지지할 수 있기 때문에 유리 기판(11)을 안정적으로 지지함과 동시에 유리 기판(11)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(제2 실시형태)
다음으로, 본 발명의 제2 실시형태를 도 11에 기초하여 설명하기로 한다. 본 실시형태의 구성은 제1 실시형태와 가동 기판 받침의 구성이 다를 뿐, 다른 것은 대략 동일한 구성이므로 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.
도 11은, 가동 기판 받침(61a)이 캐리어 프레임(15)에 설치된 상태를 도시한 단면도이다.
도 11에 도시한 것처럼, 가동 기판 받침(61a)은 본체부(30)와, 본체부(30)와 볼트(34)의 축부(44) 사이에 끼워진 링형의 탄성부재(63)를 구비하고 있다. 탄성부재(63)는 내열성 재료에 의해 원통형으로 형성되어 있다. 유리 기판(11)이 가동 기판 받침(61a)에 맞닿아(놓여져) 있지 않은 상태에서 본체부(30)는 최상위에 위치하고 있으며, 유리 기판(11)이 가동 기판 받침에 맞닿으면 탄성부재(63)가 압축되고 가동 기판 받침(61a)이 회동하면서 아래쪽으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 탄성부재(61a)로서는, 탄력성을 가진 수지 소재 또는 고무이면 된다. 보다 구체적으로는 진공중에서 사용할 것, 고온 분위기에서 사용할 것을 고려하여 테플론(등록상표), 바이톤(등록상표), 불소계 고무 또는 Si계 고무를 채용하는 것이 바람직하다.
이 경우, 제1 실시형태의 작용 효과에 더하여, 유리 기판(11)과 맞닿아 있는 돌기부(31)가 시간이 흐름에 따라 마모된 경우에, 본체부(30)를 떼내지 않고 다른 돌기부(31)가 유리 기판(11)과 맞닿도록 본체부(30)를 용이하게 회전시킬 수 있다. 이로써 보다 간단한 방법으로 가동 기판 받침(18a)의 본체부(30)를 계속 사용할 수 있어 본체부(30)의 장수명화를 꾀할 수 있다.
본 발명의 기술 범위는 상술한 실시형태로 한정되지 않으며, 본 발명의 취지 를 벗어나지 않는 범위에서 상술한 실시형태에 여러가지 변경을 추가한 것을 포함한다. 즉, 실시형태에서 언급한 구체적인 재료나 구성 등은 일례에 불과하며 적절하게 변경할 수 있다.
예를 들면, 본 실시형태에서는 대략 사각형의 가동 기판 받침을 채용한 경우를 설명하였으나, 도 12에 도시한 것처럼 대략 삼각형, 대략 오각형, 대략 육각형 등의 다돌기체로서 유리 기판에 2점 접촉 가능한 가동 기판 받침이면 된다.
도 12a, 도 12b와 같이 홀수의 변을 가진 다각형의 경우, 가동 기판 받침 상단에서 유리 기판과의 접점을 2점 확보하도록 배치하면, 하단에는 하나의 돌기부가 위치하게 된다. 이와 같은 경우에는 판스프링의 형상을 하단의 돌기부에 맞닿게 하는 오목부를 형성하도록 하면, 가동 기판 받침이 상술한 실시형태와 동일한 작용을 할 수 있다.
또 도 12c와 같이 짝수의 변을 가진 다각형의 경우, 본 실시형태와 대략 동일한 형상을 가진 판스프링을 설치함으로써 가동 기판 받침이 상술한 실시형태와 동일한 작용을 할 수 있다.
또 본 실시형태에서는 가동 기판 받침에 판스프링으로 이루어진 가압부재를 설치한 경우를 설명하였으나, 도 13에 도시한 것처럼 탄력성을 가진 탄성부재(71)를 설치해도 좋다. 이 탄성부재(71)는 상술한 제2 실시형태에 기재된 탄성부재와 동일한 소재 중 하나로 구성된다. 이와 같이 구성함으로써 상술한 제1 실시형태와 대략 동등한 작용 효과를 얻을 수 있다.
또 본 실시형태에서는 유리 기판의 하변을 따르는 방향으로 가동 기판 받침 과 고정 기판 받침을 각각 2개씩 배치한 경우를 설명하였으나, 전부 가동 기판 받침으로 해도 좋다.
그리고 본 실시형태에서는 유리 기판이 가동 기판 받침에 맞닿은 후, 고정 기판 받침에 맞닿아 놓여져는 경우를 설명하였으나, 보통은 가동 기판 받침에만 유리 기판이 맞닿고 옮김장치로부터 유리 기판을 이동시킬 때 등의 충격 하중 입력시에만 고정 기판 받침에도 유리 기판이 맞닿는 구성으로 해도 좋다.
본 발명의 지지부재 및 캐리어에 의하면 기판의 크랙 발생을 방지할 수 있어 기판의 제조 공정에서 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (10)

  1. 회동 가능하게 설치된 지지부재 본체를 구비하고,
    상기 지지부재 본체는 회동 중심축으로부터 방사형으로 연장 설치된 복수의 돌기를 구비하고,
    상기 돌기를 기판의 단부에 맞닿게 하여 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 지지부재.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재 본체에 맞닿으며, 상기 지지부재 본체를 상기 기판을 향해 가압하는 가압부재를 구비한 지지부재.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재 본체와 상기 회동 중심축 사이에 탄성부재가 끼워져 있는 지지부재.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재 본체는 수지로 이루어진 지지부재.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재 본체는 착탈 가능하게 설치되어 있는 지지부재.
  6. 기판을 지지하는 캐리어에 있어서,
    제1항에 기재된 지지부재가 설치되어 있는 캐리어.
  7. 상기 기판을 종형(縱型)으로 지지하는 캐리어에 있어서,
    상기 기판의 하변에 맞닿도록 제1항에 기재된 지지부재가 설치되어 있는 캐리어.
  8. 상기 기판을 종형으로 지지하는 캐리어에 있어서,
    제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 지지부재와, 상기 기판에 맞닿는 고정 지지부재가 상기 기판의 하변을 따르는 방향으로 설치되고, 또한 상기 지지부재가 상기 고정 지지부재보다도 상기 기판에 가깝게 설치되어 있으며,
    상기 기판이 상기 지지부재에 맞닿은 후에 상기 고정 지지부재에 맞닿아 지지되는 캐리어.
  9. 제2항에 기재된 지지부재를 사용한 기판의 지지방법에 있어서,
    상기 기판이 상기 캐리어의 캐리어 프레임에 놓여짐으로써 상기 지지부재 본체의 돌기 하나가 상기 기판과 1점에서 접촉하는 공정과,
    상기 기판의 하중에 의해 상기 기판이 아래쪽으로 이동함으로써 상기 지지부 재 본체가 아래쪽으로 이동하고 상기 가압부재가 변형되는 공정과,
    상기 가압부재가 변형됨으로써 상기 지지부재 본체가 회동하여 인접한 돌기와 상기 기판이 접촉하고, 하나의 상기 지지부재에 의해 상기 기판을 2점에서 지지하는 공정을 구비하는 지지방법.
  10. 제8항에 기재된 캐리어를 사용한 기판의 지지방법에 있어서,
    상기 기판이 상기 캐리어의 캐리어 프레임에 놓여짐으로써 상기 지지부재 본체의 돌기 하나가 상기 기판과 1점에서 접촉하는 공정과,
    상기 기판의 하중에 의해 상기 기판이 아래쪽으로 이동함으로써 상기 지지부재 본체가 아래쪽으로 이동하고 상기 가압부재가 변형되는 공정과,
    상기 가압부재가 변형됨으로써 상기 지지부재 본체가 회동하여 인접한 돌기와 상기 기판이 접촉하고, 하나의 상기 지지부재에 의해 상기 기판을 2점에서 지지하는 공정과,
    상기 기판의 하중에 의해 상기 기판이 더 아래쪽으로 이동함으로써, 상기 기판이 상기 고정 지지부재의 1점에서 접촉하고, 상기 지지부재와 상기 고정 지지부재에 의해 기판을 지지하는 공정을 구비하는 지지방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210013191A (ko) * 2018-05-29 2021-02-03 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 홀더, 적어도 2개의 홀더들을 포함하는 캐리어, 장치들 및 방법들

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010189093A (ja) * 2009-02-16 2010-09-02 Okamura Corp 吊り下げ搬送装置
JP2011108822A (ja) * 2009-11-17 2011-06-02 Nippon Electric Glass Co Ltd 基板フォルダ
KR101669081B1 (ko) 2011-04-29 2016-10-25 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이
TWI476139B (zh) * 2011-06-30 2015-03-11 Sfa Engineering Corp 用於傳送基板的裝置
CN105683067B (zh) * 2013-10-29 2018-01-23 堺显示器制品株式会社 板材支承体和搬送装置
JP6632469B2 (ja) * 2016-05-24 2020-01-22 三菱電機株式会社 ウエハトレイ
WO2018225826A1 (ja) * 2017-06-08 2018-12-13 株式会社アルバック 基板ガイド、キャリア
CN107685972B (zh) * 2017-08-24 2020-01-24 京东方科技集团股份有限公司 传送装置
JP6930734B2 (ja) * 2018-01-25 2021-09-01 株式会社ブイ・テクノロジー 基板保持装置及び基板検査装置
PT3989270T (pt) * 2020-10-20 2022-11-10 Semsysco Gmbh Mecanismo de retenção para fixar um substrato para um tratamento da superfície do substrato

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1221601A (en) * 1915-12-21 1917-04-03 Glen Melford Rowland Clamp for mirror and picture frames.
US3175820A (en) * 1962-11-09 1965-03-30 Portage Machine Company Rotary table having trimetric adjustment features
US3297134A (en) * 1966-02-10 1967-01-10 Ronald F Pastuszak Orienting device for discs and the like articles
US4291867A (en) * 1979-06-25 1981-09-29 Rockwell International Corporation Automatic insertion universal work holding system
US4473455A (en) * 1981-12-21 1984-09-25 At&T Bell Laboratories Wafer holding apparatus and method
US4646418A (en) * 1984-12-08 1987-03-03 Clean Surface Technology Co. Carrier for photomask substrate
US4759488A (en) * 1987-02-09 1988-07-26 Northern Telecom Limited Circuit board carrier
FR2633452B1 (fr) * 1988-06-28 1990-11-02 Doue Julien Dispositif de support pour un substrat mince, notamment en un materiau semiconducteur
JPH04125222A (ja) 1990-09-17 1992-04-24 Kokusai Electric Co Ltd 真空装置用縦型トレイ搬送機構
JPH04271138A (ja) * 1990-11-28 1992-09-28 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウエハ搬送体
US5700297A (en) * 1992-08-28 1997-12-23 Ipec Precision, Inc. Apparatus for providing consistent, non-jamming registration of notched semiconductor wafers
US5326147A (en) * 1992-10-28 1994-07-05 Watson Nancy H Device for carrying artworks
JP3471068B2 (ja) * 1994-02-15 2003-11-25 淀川ヒューテック株式会社 板体の支承部材およびそれを用いた板体支承用ホルダー
US5501436A (en) * 1994-03-30 1996-03-26 Miller; Dennis K. Substrate retention fixture
US5961107A (en) * 1996-03-06 1999-10-05 Morghen; Manfred A. Workpiece indexing and clamping system
US5851041A (en) * 1996-06-26 1998-12-22 Ontrak Systems, Inc. Wafer holder with spindle assembly and wafer holder actuator
JP2001510640A (ja) * 1997-10-03 2001-07-31 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 半導体サブストレートのためのホルダ及びこのようなホルダを使用して半導体装置を製造する方法
JPH11121596A (ja) * 1997-10-17 1999-04-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板回転保持装置および回転式基板処理装置
JPH11238783A (ja) 1998-02-20 1999-08-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および方法
US6299153B1 (en) * 1999-07-26 2001-10-09 Discreet Industries Corporation Wafer latch with a ball bearing assembly
US6764272B1 (en) * 1999-05-27 2004-07-20 Micron Technology, Inc. Adjustable coarse alignment tooling for packaged semiconductor devices
WO2002005331A2 (en) * 2000-07-08 2002-01-17 Applied Materilas, Inc. Removable gripper pads
US6692219B2 (en) * 2000-11-29 2004-02-17 Tokyo Electron Limited Reduced edge contact wafer handling system and method of retrofitting and using same
US6682295B2 (en) * 2001-06-21 2004-01-27 Novellus Systems, Inc. Flatted object passive aligner
TW513339B (en) * 2002-02-08 2002-12-11 Hannstar Display Corp Adjustable optical measuring tool for LCD panel
US6824343B2 (en) * 2002-02-22 2004-11-30 Applied Materials, Inc. Substrate support
US6932558B2 (en) * 2002-07-03 2005-08-23 Kung Chris Wu Wafer aligner
JP4312493B2 (ja) * 2003-04-15 2009-08-12 株式会社渡辺商行 基板搬送方法
CN100437228C (zh) * 2004-02-14 2008-11-26 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 液晶显示模块组装装置
JP4456974B2 (ja) * 2004-10-14 2010-04-28 株式会社アルバック 真空処理装置
JP4271138B2 (ja) * 2004-12-28 2009-06-03 本田技研工業株式会社 エンジンの振動除去装置
KR100583522B1 (ko) * 2005-01-05 2006-05-25 삼성에스디아이 주식회사 기판 고정 트레이, 이를 이용한 기판 정렬 시스템 및 그방법
JP2006191039A (ja) 2005-01-05 2006-07-20 Samsung Sdi Co Ltd トレイ移送装置
JP5028837B2 (ja) 2006-03-29 2012-09-19 大日本印刷株式会社 基板ホルダー部および成膜装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210013191A (ko) * 2018-05-29 2021-02-03 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 홀더, 적어도 2개의 홀더들을 포함하는 캐리어, 장치들 및 방법들

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