KR101133945B1 - Ｌｃｄ용 글래스를 이송프레임에 고정시키기 위한 분리형 클램프 장치 - Google Patents

Ｌｃｄ용 글래스를 이송프레임에 고정시키기 위한 분리형 클램프 장치 Download PDF

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Abstract

LCD 용 글래스를 이송하기 위한 프레임에 상기 글래스를 고정시키는 분리형 클램프 장치가 개시된다. 본 발명은, 프레임연결베이스(10), 회전막대부(20), 압축링크부(30) 및 압축링크복원부(40)를 포함한다. 본 발명에서 상기 회전막대부(20)의 상기 수직부(24)는, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 하부 부분이며 상기 압축링크부(30)와 연결되는 부분인 하부수직부(210)와, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 상부 부분이며 상기 그리퍼(23)와 연결되는 부분인 상부수직부(220)로 분리형성되고, 상기 하부수직부(210)와 상기 상부수직부(220)는 체결부재(230)를 통해 체결가능하도록 형성됨으로써, 상기 그리퍼 및 상기 프레임연결베이스의 상부공간의 오염시에 상기 상부수직부만 교체가능하도록 형성된다. 본 발명에 의하면, LCD 스퍼터링공정에서 오염에 취약한 부분만 교체할 수 있고 또 교체에 분해및재조립과정이 생략될 수 있기 때문에 유지보수비용이 감소한다.

Description

ＬＣＤ용 글래스를 이송프레임에 고정시키기 위한 분리형 클램프 장치{An apparatus for clamping a glass substrate of LCD to transmission-frame}
본 발명은 LCD 용 글래스를 이송프레임에 고정시키기 위한 클램프 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 클램프부분중에서 파티클에 노출되는 부품의 교체를 보다 용이하게 함으로써, 유지보수비용을 감소시킨 클램프 장치에 관한 것이다.
도 1a 은 종래의 글래스 이송프레임을 나타내는 도면이다.
LCD 기판은 2개의 유리기판(이하 글래스)사이에 액정이 배열된 상태의 기판을 의미한다. LCD 기판의 제조 공정중 많은 공정에서 글래스(1)는 이송프레임(2)에 고정된 상태로 이송된다. 예를 들면, 글래스(1)상에 금속박막을 증착시키는 스퍼터링공정은 글래스(1)가 이송프레임(2)에 고정된 채로 특히 기립한 상태에서 스퍼터링챔버로 유입된다.
도 1a 에 나타난 바와 같이, 이송프레임(2)은 글래스(1)가 고정되도록 중앙이 비어있고 외곽에 지지프레임으로 형성된 부재로서 외곽의 지지프레임의 곳곳에 설치된 클램프 장치(3)를 이용하여 글래스(1)를 이송프레임(2)에 고정시킨다.
도 1b는 일 예에 따른 종래의 클램프 장치를 나타낸다.
종래의 클램프 장치(3)는 이송프레임(2)에 고정되는 평판(4), 외력에 의해 회전하는 레버(5), 및 레버에 탄성을 가하도록 연결된 비틀림 스프링(6)을 포함한다. 비틀림 스프링(6)은 레버(5)의 일 말단에 일 고정단을 두고 평판에 다른 일 고정단을 두기 때문에, 레버(5)가 평판을 중심으로 일정각도 회전함에 따라 회전방향과 반대방향으로 탄성력을 가하게 되고 그 탄성력에 의해 글래스(1)를 이송프레임(2)에 고정시킨다. 즉 비틀림의 탄성력에 의해 레버가 글래스에 대해 압착력을 가할 수 있게 하는 구조이다.
도 2 는 종래의 클램프 장치의 문제점을 나타낸 사진도면이다.
이러한 종래의 클램프장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 레버(5)가 클램프장치의 중앙 평면의 상부에 노출되어 있고, 이 상부는 LCD 글래스를 클램핑하는 공정에 공간적으로 노출되어 있기 때문에, 클램핑하는 LCD 제조공정에서 발생하는 화학물질이 레버의 표면에 안착된다. 특히 스퍼터링공정에서는 화학적으로 변형력이 강한 물질이 많이 사용되는데 이는 레버의 물성을 쉽게 변화시킬 뿐 아니라 제1 글래스의 공정시에 표면에 안착된 화학물질이 제2 글래스의 공정에 영향을 미쳐 LCD 글래스에도 파티클로 작용하여 수율을 감소시키게 된다.
이러한 문제를 보정하기 위해, 주기적으로 클램핑장치를 유지보수작업하는 과정을 수행하고 있으나, 상기 종래의 클램핑장치의 구조에 의하면 레버(5) 전체를 교환하여야 할 뿐 아니라 레버(5)의 교환시에 스프링(6) 등의 부재를 모두 탈거 및 재부착해야하므로 유지보수작업의 시간이 길어지게 되고 이는 유지보수비용의 증가를 가져오게 된다.
둘째, 레버(5)가 클램핑장치의 중앙평면의 상부에 노출되어 있을 뿐 아니라 레버(5)가 움직이는 공간이 클램핑장치의 하부와 아무런 장벽이 있지 않기 때문에, 스퍼터링공정에서 발생하는 파티클이 클램핑 장치 내부로 침투가 용이하여, 클램핑 장치의 스프링등의 하부 구성부품의 내구성에 나쁜 영향을 미친다. 이는 결국 클램핑 장치의 전체 수명을 단축시키거나 작은 부품 교환 및 유지보수작업으로 인해 전체적인 유지보수 비용이 증가하게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 LCD 글래스용 클램핑 장치의 레버의 파티클 안착에 의한 오염에 대해 유지보수비용을 감소시키고, 또한 클램핑 장치의 내구성을 증가시킬 수 있는 LCD 글래스를 이송프레임에 고정시키는 클램핑 장치를 제공하는 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명은, LCD 제조공정에서 LCD 용 글래스(glass)를 이송하기 위한 프레임에 상기 글래스를 고정시키는 분리형 클램프 장치에 있어서, 상기 이송프레임에 나란하게 고정된 평판형상의 부재로서, 상기 평판의 중앙에 형성된 중공(12); 상기 중공을 가로질러 형성된 중공회전축(14); 및 상기 평판의 하부면으로부터 하부방향으로 돌출된 스토퍼(16)를 포함하는 프레임연결베이스(10); L자형상의 부재로서, 상기 L자형상의 수직부분인 수직부(24)의 상부 말단에는 상기 글래스를 움켜쥐도록 돌출된 형상의 그리퍼(23)를 포함하고, 상기 수직부는 상기 중공회전축(14)을 중심으로 상기 프레임연결베이스에 수직방향으로 회전가능하도록 연결된 회전막대부 (20); 상기 회전막대부의 회전운동을 왕복운동으로 변환하는 막대형상의 부재로서, 일단이 상기 회전막대부의 수평부(22)와 힌지연결되고, 타단이 상기 스토퍼(16)에 연결되는 압축링크부 (30); 및 스프링을 이용하여 상기 압축링크부와 상기 프레임연결베이스사이에 복원력을 제공하는 압축링크복 원부(40)를 포함하고, 상기 L자형상의 수평부분인 수평부(22)가 상기 프레임연결베이스의 하부에 위치한 상태에서 상기 수직부(24)가 상기 중공을 관통하여 상기 프레임연결베이스의 상부로 돌출되도록 위치하고, 상기 회전막대부가 상기 중공회전축을 중심으로 일방향으로 회전하면 상기 압축링크복원부는 상기 압축링크부(30)와 상기 프레임연결베이스의 스토퍼(16)의 사이에 탄성력을 이용한 복원력을 제공함으로써 상기 회전막대부의 회전방향과 반대방향으로 복원력을 제공하고, 상기 회전막대부(20)의 상기 수직부(24)는, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 하부 부분이며 상기 압축링크부(30)와 연결되는 부분인 하부수직부(210)와, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 상부 부분이며 상기 그리퍼(23)와 연결되는 부분인 상부수직부(220)로 분리형성되고, 상기 하부수직부(210)와 상기 상부수직부(220)는 체결부재(230)를 통해 체결가능하도록 형성됨으로써, 상기 그리퍼 및 상기 프레임연결베이스의 상부공간의 오염시에 상기 상부수직부만 교체가능하도록 형성된 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 상부수직부(220)의 하부면과 상기 하부수직부의 상부면은 서로 요철형상으로 형성되고, 상기 요철형상은, 상기 회전막대부의 수평부(22)가 연장된 방향과 동일한 방향으로 연장되도록 레일형상으로 형성된 레일볼록부(301) 및 상기 레일볼록부(301)에 대응하는 형상으로 연장형성된 레일오목부(302)를 포함하고, 상기 상부수직부와 하부수직부는 상기 레일볼록부 및 레일오목부에 의해 정렬된 후 상기 레일볼록부 및 레일오목부의 연장방향과 수직방향으로 연장되는 체결부재(230)를 이용하여 체결되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 레일오목부(302)는, 상기 레일오목부(302)의 상기 그리퍼(23)의 반대방향측 일단에서, 상기 레일오목부의 저면에서 상부로 돌출형성되어 상기 레일오목부의 일단이 막힌형상으로 형성된 레일스토퍼(304)를 더 포함하고, 상기 레일볼록부(301)는 상기 레일스토퍼(304)에 의해 레일오목부가 연장하는 방향으로 추가적인 진행이 제한되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 레일오목부 및 레일볼록부는 상기 그리퍼(23)가 위치하는 방향인 전단에서 상기 압축링크부가 위치하는 방향인 후단으로 진행할수록 평면방향에서 보았을 때 상기 레일오목부의 오목한 형상의 폭이 감소하는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 하부수직부(210)의 상부에는, 판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 하부수직부의 상부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된 제1파티클막이부(242)를 더 포함하고, 상기 제1파티클막이부(242)는 상기 중공의 평면면적보다 크게 형성됨으로써 파티클이 상기 중공으로 인입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 상부수직부(220)의 하부에는, 판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 상부수직부의 하부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된 제2파티클막이부(244))를 더 포함하고, 상기 제2파티클막이부(244)는 상기 중공의 평면면적보다 크게 형성됨으로써 파티클이 상기 중공을 인입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 제1파티클막이부 및 제2파티클막이부의 상부면은 상기 하부수직부의 중심으로부터 외곽방향으로 진행할수록 하향경사하는 경사면으로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 회전막대부의 수직부가 상부수직부 및 하부수직부로 분리되어 체결되므로, 오염되는 부위로 인한 교체부위의 크기를 감소시킬 수 있어 유지보수 비용이 감소된다.
또한 본 발명에 의하면, 회전막대부의 상부수직부는 프레임연결베이스를 분해 및 재조립하지 않아도 교체가능하므로 인건비 등 유지보수비용이 더욱 감소한다.
또한 본 발명에 의하면, 레일볼록부 및 레일오목부에 의해 반복적인 클램핑동작으로 인한 상부 및 하부수직부사이의 뒤틀림현상이 방지된다.
또한 본 발명에 의하면, 레일스토퍼(304)에 의해 반복적인 클램핑동작으로 인한 유격발생시 상부 및 하부수직부사이의 체결면의 느슨해짐이 더욱 방지된다.
또한 본 발명에 의하면, 제1 및 제2파티클막이부에 의해 파티클에 의해 클램프장치의 내구성이 감소되는 것이 방지된다.
또한 본 발명에 의하면, 제1 및 제2파티클막이부의 상부경사면에 의해 파티클이 오염되지 않은 LCD 글래스로부터 더욱 이격되게 되어 LCD 글래스의 재오염율이 감소한다.
도 1a 은 종래의 글래스 이송프레임을 나타내는 도면이다.
도 1b는 일 예에 따른 종래의 클램프 장치를 나타낸다.도 2 는 종래의 클램프 장치의 문제점을 나타낸 사진도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 분리형 클램프장치의 측단면도이다.
도 4a 및 4b는 도 3의 분리형 클램프 장치의 동작도이다.
도 5는 도 3의 회전막대부의 분리사시도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부를 나타내는 도면이다.
도 7a는 본 발명의 제3실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부에서 하부수직부와 상부수직부의 측단면도이고, 도 7b는 본 발명의 제4실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부에서 하부수직도의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 및 제4실시예의 효과를 나타내는 도면으로서, 본 발명의 동작시 측단면도를 나타낸다.
도 9a 및 9b는 본 발명의 제5실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부를 나타내는 도면이다.
도 10a 및 10b는 본 발명의 제6실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부를 나타내는 도면이다.
도 11 은 본 발명의 제 5 및 제6 실시예의 효과를 나타내는 도면으로서, 회전막대부와 프레임연결베이스의 평면도를 나타낸다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 분리형 클램프장치의 측단면도이고 , 도 4a 및 4b는 도 3의 분리형 클램프 장치의 동작도이고 , 도 5는 도 3의 회전막대부의 분리사시도이다.
본 발명에 따른 분리형 클램프 장치는, 도 3 및 5에 나타난 바와 같이, 프레임연결베이스(10), 회전막대부(20), 압축링크부(30) 및 압축링크복원부(40)를 포함한다.
프레임연결베이스(10)는, 상기 이송프레임에 나란하게 고정된 평판형상의 부재로서, 상기 평판의 중앙에 형성된 중공(12); 상기 중공을 가로질러 형성된 중공회전축(14); 및 상기 평판의 하부면으로부터 하부방향으로 돌출된 스토퍼(16)를 포함한다.
회전막대부(20)는, L자형상의 부재로서, 상기 L자형상의 수평부분인 수평부(22) 및 수직부분인 수직부(24)를 포함하고, 상기 수직부(24)의 상부 말단에는 상기 글래스를 움켜쥐도록 돌출된 형상의 그리퍼(23)를 포함한다.
회전막대부(20)의 수직부는 상기 중공회전축(14)을 중심으로 상기 프레임연결베이스에 수직방향으로 회전가능하도록 연결된다.
압축링크부(30)는, 상기 회전막대부의 회전운동을 왕복운동으로 변환하는 막대형상의 부재로서, 일단이 상기 회전막대부와 힌지연결되고, 타단이 상기 스토퍼(16)에 연결된다.
압축링크복원부(40)는 상기 압축링크부와 상기 프레임연결베이스사이에 복원력을 제공하는 부재로서, 일단이 상기 스토퍼(16)에 연결되고 타단이 상기 압축링크부(30)에 연결된다. 압축링크복원부(40)는 일반적으로 코일스프링으로 형성되나 복원력을 제공하는 기타 탄성부재 혹은 영구자석등도 가능하다.
도 4a 및 도 4b 에 나타난 바와 같이, 상기 구성요소들의 동작관계는 다음과 같다.
상기 L자형상의 수평부분인 수평부(22)가 상기 프레임연결베이스의 하부에 위치한 상태에서 상기 수직부(24)가 상기 중공을 관통하여 상기 프레임연결베이스의 상부로 돌출되도록 위치한다. 여기서, 외부제어력 F1에 의해 상기 회전막대부가 상기 중공회전축을 중심으로 일방향으로 회전하면(m1 및 m3 방향), 그리퍼(23)는 LCD 글래스(1)을 움켜쥘 공간을 제공한다.
글래스가 인입된후, 외부제어력인 F1 이 제거되면, 상기 압축링크복원부는 상기 압축링크부(30)와 상기 프레임연결베이스의 스토퍼(16)의 사이에 탄성력을 이용한 복원력이 제공되고(F2 및 m4방향) 상기 회전막대부의 회전방향과 반대방향으로 복원력을 제공한다. 즉 회전막대부가 회전하면서 클램프가 LCD의 글래스를 움켜쥐게 되는데(m2방향), 이때 압축링크부와 압축링크부의 복원력을 이용하여 LCD 의 글래스를 움켜쥐는 힘 및 복원력을 제공한다. 이 때 수평부의 하부에서 수평부를 상부로 밀어부치는 외부제어력이 자동화되어 제공됨으로써 클램핑동작이 자동화된다.
본 발명에서, 상기 회전막대부(20)의 상기 수직부(24)는 하부수직부(210)와 상부수직부(220)으로 나뉘든 것을 특징으로 한다.
하부수직부(210)는 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 하부 부분이며 상기 압축링크부(30)와 연결되는 부분이고, 상부수직부(220)는 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 상부 부분이며 상기 그리퍼(23)와 연결되는 부분이다.
또한, 상기 하부수직부(210)와 상기 상부수직부(220)는 체결부재(230)를 통해 분리체결가능하도록 형성된다.
본 발명에 의하면, 회전막대부가 수평부 및 수직부로 분리되어 있을 뿐 아니라 수직부가 추가적으로 상부 및 하부수직부로 분리되어 있기 때문에, 클램핑장치의 유지보수 비용이 감소된다.
즉, 상부 및 하부수직부로 분리되어 있어 외부 오염에 특히 많이 노출되는 부분인 상부수직부만 교체하면 되는 구조가 제공된다. 보통 LCD 글래스의 클램핑은 LCD 제조과정중 스퍼터링공정에 많이 사용되는데 이 공정은 화학물질의 사용이 빈번하고, 이에 의해 클램핑장치의 오염은 필수적이다. 또한 이전 스퍼터링공정에 의해 발생한 화학물질이 그대로 묻어 있어 다음 공정에 영향을 미치는 부정적 효과가 발생한다. 이에 의해 클램핑장치의 교체 및 수리가 요구되는데 이때 마다 프레임연결베이스를 분해 및 제조립하는것은 많은 시간과 비용을 필요로 한다. 특히 종래에 의하면 오염에 비교적 많이 노출되지 않은 부분인 회전막대의 하부부분을 전체적으로 교환 및 수리할 필요가 있었기 때문에 재료 및 부품의 낭비로 인한 유지보수비용의 증가가 있었다. 그러나 본 발명에 의하면 불필요한 부품을 교체하지 않기 때문에 수리 및 부품의 비용이 감소하여 전체적으로 유지보수 비용이 감소한다.
또한, 본 발명의 상부 및 하부 수직부의 분리구조는 특히 상부 및 하부 수직부는 프레임연결베이스의 구조를 해체하지 않은 상태에서 분리가능하도록 형성되어 있으므로, 부품 교체에 따른 유지보수 시간이 감소되어 인건비등 전체적으로 유지보수 비용이 추가적으로 감소한다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부를 나타내는 도면이다.
도 6은 변형된 실시예를 나타낸다. 이 실시예에 의하면, 상기 상부수직부(220)의 하부면과 상기 하부수직부의 상부면은 서로 요철형상으로 형성되어 있다. 즉 상부수직부의 하부면은 볼록형상이고 하부수직부의 상부면은 오목형상이다.
상기 요철형상은, 상기 회전막대부의 수평부(22)가 연장된 방향과 동일한 방향으로 연장되도록 형성된 레일볼록부(301) 및 상기 레일볼록부(301)에 대응하는 형상으로 연장형성된 레일오목부(302)를 포함하고,
상기 상부수직부와 하부수직부는 상기 레일볼록부 및 레일오목부에 의해 정렬된 후 상기 레일오목부 및 레일볼록부의 연장방향과 수직방향으로 연장된 체결부재(230)를 이용하여 체결된다.
이 실시예에 의하면, 상부 및 하부수직부의 뒤틀림현상이 방지된다. 뒤틀림현상이란 수직부(24)가 하부 및 상부수직부(210,220)로 분리됨으로써 발생하는 현상으로서, 체결부재의 유격 및 반복되는 클램핑 동작에 의해 상부 및 하부수직부의 완벽한 수직운동이 완화되는 현상이다. 본 발명에서는 수직부 즉 회전막대부의 클램핑동작에 따른 운동방향에 대해 수직방향으로 오목 및 볼록한 레일형상의 부재로 체결함으로서 뒤틀림현상이 조금이라도 방지되도록 하였다.
특히 체결부재가 볼트부재가 사용될 경우 볼트부재가 평면방향으로 회전하도록 되어 있어 체결의 문제가 평면방향(도 6의 xy평면)으로 발생하는 반면, 유격 및 뒤틀림문제는 클램핑동작 방향 즉 수직방향(도 6의 zy평면)으로 발생하기 때문에 이 두 방향의 중간축 방향( 도 6의 y 방향)에 대해 뒤틀림이 방지함으로써 체결문제가 발생하더라도 클램핑동작에 보다 적은 영향이 가해지도록 구성하였다. 즉 반복되는 클램핑동작에 의한 체결유격에 의해 클램핑의 부정확문제가 발생할 확률을 감소시켰다.
도 7a는 본 발명의 제3실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부에서 하부수직부와 상부수직부의 측단면도이고 , 도 7b는 본 발명의 제4실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부에서 하부수직도의 평면도를 나타내고, 도 8은 본 발명의 제3 및 제4실시예의 효과를 나타내는 도면으로서, 본 발명의 동작시 측단면도를 나타낸다.
도 7a 및 7b는 도 6의 실시예의 변형된 실시예이다.
도 7a의 실시예에서, 상기 레일오목부(302)는 레일스토퍼(304)를 더 포함한다. 레일스토퍼(304)는, 상기 레일오목부의 상기 그리퍼(23)의 반대방향측 일단에서, 상기 레일오목부의 저면에서 상부로 돌출형성되어 있다. 즉 레일스토퍼(304)에 의해 상기 레일오목부의 일단이 막힌형상으로 형성된다.
도 7b의 실시예는 보다 더 다양한 도 6 의 변형된 실시예이다.
도면부호 710 는 도 6의 실시예에 따른 하부수직부의 단면이다. 이 실시예에 의하면 앞서 말한 바와 같이 반복되는 클램핑동작에 의해 체결부재의 유격으로 인한 클램핑부정확의 문제가 발생하지 않는다.
도면부호 720는 도 7a 의 실시예에 따른 하부수직부의 단면이다. 이 실시예의 효과는 도 8에 도시되어 있다. 회전막대부가 중심축(14)에 의해 회동하는 반복적인 클램핑동장에 의해 하부 및 상부 수직부의 체결면은 m9 방향으로 밀리는 힘을 받게된다. 이다. 따라서, 이러한 미는 힘은 체결부재에 의한 체결력에 끊임없이 부정적인 영향을 미치게되고, 이는 결국 체결력의 약화로 인한 유격의 발생으로 연결된다. 따라서 본 실시예에서는 레일스토퍼(304)를 형성하여 상부수직부가 하부수직부의 상부에서 뒤로 밀리는 것을 방지함으로써, 이러한 미는 힘이 발생함으로써 유격이 발생하는 것을 방지하였다.
도면부호 730은 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸다. 이 실시예에서는, 상기 레일오목부 및 레일볼록부는 상기 그리퍼(23)가 위치하는 방향인 전단에서 상기 압축링크부가 위치하는 방향인 후단으로 진행할수록 평면방향에서 보았을 때 상기 레일오목부의 오목한 형상의 폭이 감소하는 형상으로 형성된다. 이러한 사다리꼴의 평면형상은 도 7b의 실시예와 같이 반복적인 클램핑동작에 의한 상부 및 하부수직부의 체결면을 위혐하는 상기 미는 힘을 방지하게 되어 체결면을 더욱 단단하게 유지하게 할 수 있다. 또한, 상기 사다리꼴의 형상의 평면은 제조오차에 따른 부품의 정합성문제도 제거할 수 있다. 다소 상이한 규격도 결합이 가능하기 때문이다.
도 9a 및 9b는 본 발명의 제5실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막대부를 나타내는 도면이다.
도 9a 의 실시예에서, 하부수직부(210)의 상부에는, 제1파티클막이부(242)를 더 포함한다. 제1파티클막이부(242)는, 판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 하부수직부의 상부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된다. 상기 제1파티클막이부(242)는 상기 중공(12)의 평면면적보다 크게 형성된다.
도 9b 의 실시예에서, 상기 상부수직부(220)의 하부에는, 제2파티클막이부(244))를 더 포함한다. 제2파티클막이부(244)는, 판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 상부수직부의 하부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된다. 상기 제2파티클막이부(244)는 상기 중공의 평면면적보다 크게 형성된다.
상기 9a 및 9b 의 실시예에 의하면, 중공이 상기 제1 및 제2 파티클막이부 에 의해 덮히기 때문에, LCD 글래스 공정중에 발생가능한 파티클이 중공(12)의 내부 즉 본 발명에 따른 클램핑장치의 프레임연결베이스의 하부로 인입되는 것이 방지된다. 파티클은 화학물질로서 기계부품에 내구성에 영향을 미친다. 특히 압축링크부(30) 및 압축링크복원부(40)에는 기계적으로 마찰하는 부분이 있으므로 이러한 파티클의 부정적 영향은 더욱 커진다. 본 실시예에 의하면, 이러한 파티클의 유입이 방지되므로 본 발명의 클램핑장치의 내구성이 증가된다.
또한 추가적으로 도 9b의 실시예의 경우, 제2파티클막이부(244)는 상부수직부에 형성되어 있다. 상부수직부(220)는 파티클에 의한 오염시에 프레임연결베이스의 분해없이 교체할 수 있은 부품이므로(도 3 참조), 보다 자주 교체가능한 부품이다. 결과적으로 제2파티클막이부는 중공으로 인입하는 파티클을 막고 저장하여 교체가능한 부재를 제공하므로, 클램프장치의 내구성을 추가적으로 증가시키는 역할을 한다. 즉 사용자는 상부수직부를 교체함으로서 본 발명의 클램프장치에 영향을 주는 파티클을 더욱 자주 그리고 더욱 많은량을 제거할 수 있다.
도 10a 및 10b는 본 발명의 제6실시예에 따른 분리형 클램프 장치의 회전막 대부를 나타내는 도면이다.
도 10a 및 10b 의 실시예에서, 상기 제1파티클막이부 및 제2파티클막이부의 상부면은 상기 하부수직부의 중심으로부터 외곽방향으로 진행할수록 하향경사하는 경사면으로 형성된 것을 특징으로 한다.
즉 도 10a 의 실시예에서 하부수직부의 상부면은 중공을 덮을만큼 넓게 형성되어 있는 것에 추가적으로 상부면이 경사면(1001)으로 형성되어 있고, 도 10b 의 실시예에서 상부수직부의 하부면은 중공을 덮을만큼 넓게 형성되어 있는 것에 추가적으로 측면이 경사면으로 형성되어 있다. 이러한 경사형성에 의해, 표면에 증착가능한 화학물질이 물리적 경사에 의해 프레임연결베이스로 미끄러져 내리므로, 파티클이 공정중의 다음 LCD로부터 더욱 멀리 떨어지게 되고 그 결과 LCD 글래스가 이전 LCD 글래스의 스퍼터링공정에 의해 발생한 파티클에 의해 오염되는 것이 방지된다.
도 11 은 본 발명의 제 5 및 제6 실시예의 효과를 나타내는 도면으로서, 회전막대부와 프레임연결베이스의 평면도를 나타낸다.
도 11은 제5 및 제6실시예의 효과를 다시 한번 설명한다.
도 11에서 L1은 중공의 외곽선이고 L2는 제1파티클막이부 및 제2파티클막이부의 외곽선이다. 평면적으로 보았을 때 중공의 외곽선보다 제1 및 제2파티클막이부의 외곽선이 더 크다. 프레임연결베이스의 상부는 스퍼터링공정에 노출될 수 밖에 없고 오염될 수 밖에 없지만 그 하부는 클램핑장치의 구조적 그리고 기능적 부품들이 있어 되도록이면 오염에 노출되지 않는 것이 필수적이다.
따라서 본 실시예에서는 수평적으로 확장부분을 사용하여 중공으로의 화학물질의 인입 및 오염을 방지하였을 뿐 아니라 그 확장부분의 상부평면을 경사면처리함으로서 화학물질이 최초로 제1 및 제2파티클막이부에 접근할 때 프레임연결베이스로 이동시켜버림으로써 아직 오염되지 않은 LCD 글래스로의 접촉을 최대한 피하게 하였다.
100: 클램핑 장치 10:프레임연결베이스
20:회전막대부 30:압축링크부
40:압축링크복원부 12:중공
14:중공회전축 22:수평부
24:수직부 210:하부수직부
220:상부수직부 230:체결부재
242:제1파티클막이부 244:제2파티클막이부

Claims (7)

  1. LCD 제조공정에서 LCD 용 글래스(glass)를 이송하기 위한 프레임에 상기 글래스를 고정시키는 분리형 클램프 장치에 있어서,
    상기 이송프레임에 나란하게 고정된 평판형상의 부재로서, 상기 평판의 중앙에 형성된 중공(12); 상기 중공을 가로질러 형성된 중공회전축(14); 및 상기 평판의 하부면으로부터 하부방향으로 돌출된 스토퍼(16)를 포함하는 프레임연결베이스(10);
    L자형상의 부재로서, 상기 L자형상의 수직부분인 수직부(24)의 상부 말단에는 상기 글래스를 움켜쥐도록 돌출된 형상의 그리퍼(23)를 포함하고, 상기 수직부는 상기 중공회전축(14)을 중심으로 상기 프레임연결베이스에 수직방향으로 회전가능하도록 연결된 회전막대부 (20);
    상기 회전막대부의 회전운동을 왕복운동으로 변환하는 막대형상의 부재로서, 일단이 상기 회전막대부의 수평부(22)와 힌지연결되고, 타단이 상기 스토퍼(16)에 연결되는 압축링크부 (30); 및
    스프링을 이용하여 상기 압축링크부와 상기 프레임연결베이스사이에 복원력을 제공하는 압축링크복원부(40)를 포함하고,
    상기 L자형상의 수평부분인 수평부(22)가 상기 프레임연결베이스의 하부에 위치한 상태에서 상기 수직부(24)가 상기 중공을 관통하여 상기 프레임연결베이스의 상부로 돌출되도록 위치하고,
    상기 회전막대부가 상기 중공회전축을 중심으로 일방향으로 회전하면 상기 압축링크복원부는 상기 압축링크부(30)와 상기 프레임연결베이스의 스토퍼(16)의 사이에 탄성력을 이용한 복원력을 제공함으로써 상기 회전막대부의 회전방향과 반대방향으로 복원력을 제공하고,
    상기 회전막대부(20)의 상기 수직부(24)는, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 하부 부분이며 상기 압축링크부(30)와 연결되는 부분인 하부수직부(210)와, 상기 프레임연결베이스의 중공(12)을 기준면으로 볼 때 상부 부분이며 상기 그리퍼(23)와 연결되는 부분인 상부수직부(220)로 분리형성되고,
    상기 하부수직부(210)와 상기 상부수직부(220)는 체결부재(230)를 통해 체결가능하도록 형성됨으로써, 상기 그리퍼 및 상기 프레임연결베이스의 상부공간의 오염시에 상기 상부수직부만 교체가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상부수직부(220)의 하부면과 상기 하부수직부의 상부면은 서로 요철형상으로 형성되고,
    상기 요철형상은, 상기 회전막대부의 수평부(22)가 연장된 방향과 동일한 방향으로 연장되도록 레일형상으로 형성된 레일볼록부(301) 및 상기 레일볼록부(301)에 대응하는 형상으로 연장형성된 레일오목부(302)를 포함하고,
    상기 상부수직부와 하부수직부는 상기 레일볼록부 및 레일오목부에 의해 정렬된 후 상기 레일볼록부 및 레일오목부의 연장방향과 수직방향으로 연장되는 체결부재(230)를 이용하여 체결되는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 레일오목부(302)는, 상기 레일오목부(302)의 상기 그리퍼(23)의 반대방향측 일단에서, 상기 레일오목부의 저면에서 상부로 돌출형성되어 상기 레일오목부의 일단이 막힌형상으로 형성된 레일스토퍼(304)를 더 포함하고,
    상기 레일볼록부(301)는 상기 레일스토퍼(304)에 의해 레일오목부가 연장하는 방향으로 추가적인 진행이 제한되는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 레일오목부 및 레일볼록부는 상기 그리퍼(23)가 위치하는 방향인 전단에서 상기 압축링크부가 위치하는 방향인 후단으로 진행할수록 평면방향에서 보았을 때 상기 레일오목부의 오목한 형상의 폭이 감소하는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 하부수직부(210)의 상부에는,
    판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 하부수직부의 상부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된 제1파티클막이부(242)를 더 포함하고,
    상기 제1파티클막이부(242)는 상기 중공의 평면면적보다 크게 형성됨으로써 파티클이 상기 중공으로 인입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 상부수직부(220)의 하부에는,
    판상형상의 부재로서, 상기 중공의 상부에 대응하는 위치에서 상기 상부수직부의 하부로부터 상기 프레임연결베이스의 수평방향으로 돌출형성된 제2파티클막이부(244))를 더 포함하고,
    상기 제2파티클막이부(244)는 상기 중공의 평면면적보다 크게 형성됨으로써 파티클이 상기 중공을 인입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
  7. 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1파티클막이부 및 제2파티클막이부의 상부면은 상기 하부수직부의 중심으로부터 외곽방향으로 진행할수록 하향경사하는 경사면으로 형성된 것을 특징으로 하는 LCD용 글래스를 이송 프레임에 고정하는 분리형 클램프 장치.
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