KR20190141552A - 기판 지지 장치 - Google Patents

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KR20190141552A
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Abstract

일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및 상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함할 수 있다.

Description

기판 지지 장치{APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE}
아래의 설명은 기판 지지 장치에 관한 것이다.
기판 지지 장치는 트레이와, 트레이에 대해 회전 운동하여 기판의 상면을 가압하는 클램프를 포함할 수 있다. 클램프는 트레이에 구비되어 있는 개구부를 따라 왕복 운동할 수 있다. 개구부 및 클램프 사이에는 이격 공간이 생길 수 있고, 상기 이격 공간으로 성막 물질이 침투할 수 있다. 상기 이격 공간으로 침투한 성막 물질은 기판 지지 장치뿐만 아니라 스퍼터링 장치의 다른 구성 요소들을 오염시킬 수 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은, 충분한 회전 각도를 가지면서도, 클램프 및 트레이 사이의 이격 공간을 막을 수 있는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예들에서 해결하려는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및 상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함할 수 있다.
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 개구부를 완전히 커버할 수 있다.
상기 블록은, 상기 트레이 및 클램프 헤드 사이에 배치될 수 있다.
상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 가질 수 있다.
상기 블록의 후방 단부는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 가질 수 있다.
상기 블록은, 상기 클램프 바디의 후면과 마주하는 블록 베이스; 상기 블록 베이스의 일측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 좌측면과 마주하는 제 1 블록 연장부; 및 상기 블록 베이스의 타측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 우측면과 마주하는 제 2 블록 연장부를 포함할 수 있다.
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태를 기준으로, 상기 블록 베이스는 하부로부터 상부로 갈수록 상기 클램프 바디로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함할 수 있다.
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 블록 베이스를 커버할 수 있다.
상기 클램프 헤드는, 상기 클램프 바디에 탈착 가능하게 연결되고, 기판을 지지 가능한 헤드 베이스; 및 상기 헤드 베이스로부터 후방으로 연장 형성되는 헤드 연장부를 포함할 수 있다.
상기 헤드 연장부로부터 하방으로 돌출 형성되는 헤드 돌출부를 포함할 수 있다.
상기 헤드 돌출부는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 가질 수 있다.
상기 헤드 연장부는 상기 헤드 베이스에 탈착 가능하게 연결될 수 있다.
상기 트레이 상에 배치되고, 상기 기판의 하면을 지지하는 기판 안착부; 및 상기 기판 안착부로부터 상기 블록을 향한 방향으로 진행하여, 상기 클램프 헤드를 상기 클램프 바디에 체결시키는 체결 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 안착부는 상기 체결 부재를 통과시킬 수 있는 통과 홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이; 상기 트레이의 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되고, 상기 개구부 내에서 왕복 운동 가능한 클램프; 및 상기 트레이 상에 배치되고, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향으로 기준으로 상기 개구부의 적어도 일부를 커버하는 블록을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 블록은 클램프 및 트레이의 사이 공간을 일부 커버하여, 성막 물질이 클램프 및 트레이 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 클램프 헤드가 기판을 지지하는 상태에서, 클램프 헤드는 트레이의 개구부의 일부를 커버하고, 블록은 개구부의 나머지 전부를 커버함으로써, 스퍼터링이 진행되는 동안 트레이의 개구부는 완전히 커버될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 블록은 클램프 및 트레이 사이 공간을 커버하면서도, 후방으로 갈수록 낮아지는 높이를 가지므로, 클램프의 회전 각도를 제한하지 않을 수 있다.
일 실시예에 따른 기판 캐리어 및 그 제어방법의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다.
도 5는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판으로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한다.
도 6은 일 실시 예에 따른 클램프 헤드의 분해 사시도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다.
본 특허출원은 2018년 6월 14일자 출원된 특허출원 제10-2018-0068255호를 기초로 우선권을 주장한 것이고, 해당 출원의 전체 내용이 본 특허출원에 참조로서 포함된다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 분해 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다. 도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다. 도 5는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판으로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한다.
도 3에서 설명의 편의를 위해 헤드 연장부(1122)는 생략되었음을 밝혀 둔다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 기판 지지 장치는 기판(S)을 지지할 수 있다. 기판 지지 장치는 트레이(T), 베이스(10), 클램프(11), 블록(12), 체결 부재(13), 고정 부재(14) 및 기판 안착부(19)를 포함할 수 있다.
이하, "후방"이라고 함은 기판 안착부(19)로부터 블록(12)을 향한 방향을 의미하고, "하방"이라고 함은 클램프 헤드(112)로부터 베이스(10)를 향한 방향을 의미한다(도 1 참조).
트레이(T)는 기판(S)을 감싸는 형상을 가질 수 있다. 트레이(T)는 개구부(H1)를 포함할 수 있다. 개구부(H1)는 예를 들어 사각형 형상의 홀일 수 있다. 개구부(H1)는 트레이(T)의 길이 방향을 따라 복수 개가 구비될 수 있다.
베이스(10)는 트레이(T)의 하측에 연결될 수 있다. 베이스(10)는 예를 들어, 트레이(T)에 나사 결합될 수 있다. 베이스(10)는 트레이(T)에 일체로 형성될 수 있음을 밝혀 둔다.
클램프(11)는 베이스(10)에 회전 가능하게 연결되고, 기판(S)을 지지할 수 있다. 클램프(11)는 트레이(T)의 개구부(H1)를 통과할 수 있다. 또한, 클램프(11)는 블록(12)의 개구부(H2)를 통과할 수 있다. 클램프(11)는 블록(12)의 개구부(H2)를 따라 왕복 회동 운동할 수 있다. 클램프(11)는 클램프 바디(111) 및 클램프 헤드(112)를 포함할 수 있다.
클램프 바디(111)는 베이스(10)에 고정된 축(A1)에 연결되어, 베이스(10)에 대해 회전할 수 있다. 클램프 바디(111)는 모터 또는 유압 실린더 등에 의해 동력을 전달받아 축(A1)을 중심으로 회전할 수 있다. 클램프 바디(111)는 클램프 헤드(112)의 체결 방향을 안내하기 위한 가이드를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드는 전방으로 개구된 "ㄷ"자 형상을 가질 수 있다. 클램프 바디(111)는 바디 체결 홀(111a)을 포함할 수 있다. 바디 체결 홀(111a)은 후술하는 체결 부재(13)의 적어도 일부의 외면에 나사 결합 가능하다.
클램프 헤드(112)는 클램프 바디(111)에 연결될 수 있다. 클램프 헤드(112)는 클램프 바디(111)의 상측에 구비될 수 있다. 클램프 헤드(112)는 내마모성, 초내열성, 내약품성 및 가공성 등이 뛰어난 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 베스펠(Vespel)을 포함할 수 있다. 클램프 헤드(112)는 헤드 베이스(1121), 헤드 연장부(1122) 및 헤드 돌출부(1123)를 포함할 수 있다.
헤드 베이스(1121)는 클램프 바디(111)의 일면에 부착될 수 있다. 예를 들어, 헤드 베이스(1121)는 클램프 바디(111)의 가이드를 따라 슬라이딩 가능하다. 헤드 베이스(1121)는 예를 들어 클램프 바디(111)의 전면에 부착될 수 있다. 헤드 베이스(1121)는 기판 가압부(1121a), 헤드 체결 홀(1121b) 및 헤드 체결 홈(1121c)을 포함할 수 있다. 기판 가압부(1121a)는 안착부(19)에 안착된 기판(S)의 상면을 가압하여, 기판(S)이 안착부(19)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 헤드 체결 홀(1121b)은 후술하는 체결 부재(13)의 적어도 일부의 외면에 나사 결합 가능하다. 헤드 체결 홈(1121c)은 체결 부재(13)의 헤드를 지지하여, 체결 부재(13)가 과도하게 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 헤드 체결 홈(1121c)은 체결 부재(13)가 헤드 베이스(1121)로부터 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 헤드 베이스(1121)는 타겟(미도시)으로부터 스퍼터링된 성막 물질이 개구부(H1)로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다.
헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)로부터 후방으로 연장될 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 탈착 가능하다. 예를 들어, 헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 나사 결합될 수 있다. 한편, 헤드 연장부(1122)가 헤드 베이스(1121)에 일체로 형성될 수도 있음을 밝혀 둔다. 헤드 연장부(1122)는 타겟(미도시)으로부터 스퍼터링된 성막 물질이 개구부(H1)로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)을 포함할 수 있다. 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)은 헤드 연장부(1122) 상에 도달한 성막 물질을 수용할 수 있다. 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)은 성막 물질이 기판(S)을 향해 진행하는 것을 방지할 수 있다.
헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)로부터 하방으로 돌출 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)의 하면으로부터 블록(12)을 향해 돌출 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)와 일체로 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122) 및 블록(12) 사이의 간격을 줄일 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 성막 물질이 헤드 연장부(1122)의 하면과 블록(12)의 상면 사이로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다.
헤드 돌출부(1123)는 클램프 헤드(112)가 트레이(T)에 간섭되지 않으면서도, 충분한 회전 각도를 구현할 수 있게 하는 형상을 가질 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 헤드 돌출부(1123)는 후방 단부에 비스듬한 경사면 가질 수 있다. 헤드 돌출부(1123)의 경사면은 클램프(11)가 기판 안착부(19)로부터 멀어지는 방향으로 회전된 상태를 기준으로(도 5 참조), 트레이(T)를 마주할 수 있다.
블록(12)은 개구부(H1)를 따라 트레이(T)에 배치되고, 개구부(H1)의 개구 면적을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 블록(12)은 트레이(T)의 개구부(H1)를 일부 커버하여 개구부(H1)의 개구 면적을 일부 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 트레이(T)의 개구부(H1)의 면적은 블록(12)의 개구부(H2)에 의해 제한될 수 있다. 블록(12)의 개구부(H2)란 블록(12)의 내측 공간을 의미한다. 다시 말하면, 트레이(T)의 개구된 영역의 넓이는 원래의 트레이(T)의 개구부(H1)와 블록(12)의 개구부(H2)의 중복 영역으로 결정될 수 있다. 블록(12)은 복수 개의 고정 부재(14)에 의해 트레이(T)에 고정될 수 있다. 블록(12)은 트레이(T) 및 클램프 헤드(112) 사이에 배치될 수 있다. 블록(12)은 트레이(T) 및 클램프 헤드(112) 사이로 진입하는 성막 물질의 적어도 일부를 차단할 수 있다. 블록(12)은 블록 베이스(121), 제 1 블록 연장부(122) 및 제 2 블록 연장부(123)를 포함할 수 있다.
블록 베이스(121)는 클램프 바디(111)의 후면과 마주할 수 있다. 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)가 회전 운동 하는 동안, 클램프 헤드(112)의 하측에 구비될 수 있다. 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)가 충분한 회전 경로를 확보할 수 있도록, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 가질 수 있다. 블록 베이스(121)의 후방 단부(121a)는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 가질 수 있다. 이와 같은 형상으로 인해, 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)의 회전 경로를 충분히 확보하면서도, 클램프 헤드(112)에 근접할 수 있다.
블록 베이스(121)는, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태를 기준으로(도 4 참조), 하부로부터 상부로 갈수록 클램프 바디(111)로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함할 수 있다(D2>D1). 다시 말하면, 블록 베이스(121)는 경사면을 포함할 수 있다. 블록 베이스(121)의 경사면은 클램프 바디(111)와 마주할 수 있다. 이러한 블록 베이스(121)의 형상으로 인해, 클램프(11)가 기판 안착부(19)로부터 멀어지는 방향으로 회전된 상태를 기준으로(도 5 참조), 블록 베이스(121) 및 클램프 바디(111) 사이 간격은 좁아질 수 있다.
블록 베이스(121)는, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태에서, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태를 기준으로(도 4 참조), 클램프 헤드(112)에 의해 커버될 수 있다. 이 경우, 스퍼터링이 진행되는 동안, 블록 베이스(121)에 도달하는 성막 물질의 양이 감소할 수 있다.
제 1 블록 연장부(122)는 블록 베이스(121)의 일측으로부터 연장 형성되고, 클램프 바디(111)의 좌측면과 마주할 수 있다. 제 1 블록 연장부(122)는 클램프 바디(111)의 좌측면으로부터 트레이(T)까지 이격된 공간으로 성막 물질이 침투하는 것을 감소시킬 수 있다.
제 2 블록 연장부(123)는 블록 베이스(121)의 타측으로부터 연장 형성되고, 클램프 바디(111)의 우측면과 마주할 수 있다. 제 2 블록 연장부(123)는 제 1 블록 연장부(122)와 나란할 수 있다. 제 2 블록 연장부(123)는 클램프 바디(111)의 우측면으로부터 트레이(T)까지 이격된 공간으로 성막 물질이 침투하는 것을 감소시킬 수 있다.
체결 부재(13)는 기판 안착부(19)로부터 블록(12)을 향한 방향으로 진행하여, 클램프 헤드(112)를 클램프 바디(111)에 체결시킬 수 있다. 체결 부재(13)는 클램프(11)의 후면이 아닌 전면에 체결되므로, 블록(12)에 간섭되지 않을 수 있다. 사용자는 블록(12)을 트레이(T) 상에 고정시킨 상태로, 클램프 헤드(112)를 클램프 바디(111)에 탈부착할 수 있다.
고정 부재(14)는 블록(12)을 트레이(T)에 고정시킬 수 있다. 예를 들어, 고정 부재(14)는 블록(12)의 제 1 블록 연장부(122) 및 제 2 블록 연장부(123)를 고정시킬 수 있다.
기판 안착부(19)는 트레이(T) 상에 배치되고, 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다. 기판(S)은 기판 안착부(19) 및 클램프 헤드(112)에 의해 샌드위치될 수 있다. 기판 안착부(19)는 체결 부재(13)를 통과시킬 수 있는 통과 홀(19a)을 포함할 수 있다. 통과 홀(19a)은 전후 방향으로 관통 형성될 수 있다. 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지한 상태를 기준으로, 통과 홀(19a)은 바디 체결 홀(111a) 및 헤드 체결 홀(1121b)에 연통될 수 있다. 체결 부재(13)는 통과 홀(19a)을 통과한 뒤, 바디 체결 홀(111a) 및 헤드 체결 홀(1121b)에 체결될 수 있다. 이와 같은 구조를 통해, 클램프(11), 블록(12) 및 기판 안착부(19)를 컴팩트하게 구성할 수 있다.
도 6은 일 실시 예에 따른 클램프 헤드의 분해 사시도이다.
도 6을 참조하면, 클램프 헤드(112)는 내마모성, 초내열성, 내약품성 및 가공성 등이 뛰어난 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 베스펠(Vespel)을 포함할 수 있다. 클램프 헤드(112)는 헤드 베이스(1121), 헤드 연장부(1122), 헤드 돌출부(1123) 및 조립 부재(1129)를 포함할 수 있다.
헤드 베이스(1121)는 기판 가압부(1121a), 헤드 체결 홀(1121b), 헤드 체결 홈(1121c) 및 헤드 조립 홈(1121d)을 포함할 수 있다.
헤드 조립 홈(1121d)은 헤드 베이스(1121)의 후면으로부터 함몰 형성될 수 있다. 다시 말하면, 헤드 조립 홈(1121d)은 기판 가압부(1121a)의 반대편에 형성될 수 있다. 헤드 조립 홈(1121d)은 조립 부재(1129)의 적어도 일부를 수용할 수 있다. 예를 들어, 헤드 조립 홈(1121d)은 조립 부재(1129)에 맞물리는 나사 형상을 구비할 수 있다. 헤드 조립 홈(1121d)은 복수 개가 구비될 수 있고, 복수 개의 헤드 조립 홈(1121d)은 헤드 베이스(1121)의 폭 방향으로 이격 형성될 수 있다.
헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 탈착 가능하게 연결될 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 복수 개의 길이 방향 홈(1122a) 및 헤드 조립 홀(1122b)을 포함할 수 있다.
헤드 조립 홀(1122b)은 전후 방향으로 헤드 연장부(1122)를 관통 형성될 수 있다. 헤드 조립 홀(1122b)은 조립 부재(1129)의 적어도 일부를 수용할 수 있다. 예를 들어, 헤드 조립 홀(1122b)은 조립 부재(1129)에 맞물리는 나사 형상을 구비할 수 있다. 헤드 조립 홀(1122b)은 복수 개가 구비될 수 있고, 복수 개의 헤드 조립 홀(1122b)은 헤드 연장부(1122)의 폭 방향으로 이격 형성될 수 있다.
조립 부재(1129)는 헤드 조립 홀(1122b) 및 헤드 조립 홈(1121b)에 수용되는 방식으로, 헤드 연장부(1122)를 헤드 베이스(1121)에 결합시킬 수 있다. 예를 들어, 조립 부재(1129)는 헤드 조립 홀(1122b) 및 헤드 조립 홈(1121b)에 나사 결합될 수 있다.
클램프 헤드(112)는 서로 탈착 가능한 헤드 베이스(1121) 및 헤드 연장부(1122)를 포함하므로, 제작 비용이 감소될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 대략 "ㄱ"자 형상을 가질 수 있다. "ㄱ"자 형상을 일체로 제작할 경우, 낭비되는 재료의 양이 많아질 수 있다. 그러나, 클램프 헤드(112)는 대략 직육면체 형상을 갖는 별개의 구성인 헤드 베이스(1121) 및 헤드 연장부(1122)를 포함하므로, 낭비되는 재료의 양을 감소시킬 수 있고, 제작 비용을 아낄 수 있다.
도 7은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다. 도 8은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 기판 지지 장치는 베이스(20), 클램프(21), 블록(22), 체결 부재(23) 및 기판 안착부(29)를 포함할 수 있다.
클램프(21)는 트레이(T)의 개구부를 따라 배치될 수 있다. 클램프(21)는 적어도 일부가 개구부 내에 삽입되는 형상을 가질 수 있다. 클램프(21)는 클램프 바디(211) 및 클램프 헤드(212)를 포함할 수 있다.
클램프 헤드(212)는 블록(22)의 적어도 일부를 감싸는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(212)는 좌측 테두리부 및 우측 테두리부로부터 하방으로 돌출 형성되는 형상을 가질 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (15)

  1. 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스;
    상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및
    상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함하는 기판 지지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 개구부를 완전히 커버하는 기판 지지 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 블록은, 상기 트레이 및 클램프 헤드 사이에 배치되는 기판 지지 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 갖는 기판 지지 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 블록의 후방 단부는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 갖는 기판 지지 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 블록은,
    상기 클램프 바디의 후면과 마주하는 블록 베이스;
    상기 블록 베이스의 일측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 좌측면과 마주하는 제 1 블록 연장부; 및
    상기 블록 베이스의 타측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 우측면과 마주하는 제 2 블록 연장부를 포함하는 기판 지지 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태를 기준으로, 상기 블록 베이스는 하부로부터 상부로 갈수록 상기 클램프 바디로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함하는 기판 지지 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 블록 베이스를 커버하는 기판 지지 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프 헤드는,
    상기 클램프 바디에 탈착 가능하게 연결되고, 기판을 지지 가능한 헤드 베이스; 및
    상기 헤드 베이스로부터 후방으로 연장 형성되는 헤드 연장부를 포함하는 기판 지지 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 헤드 연장부로부터 하방으로 돌출 형성되는 헤드 돌출부를 포함하는 기판 지지 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 헤드 돌출부는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 갖는 기판 지지 장치.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 헤드 연장부는 상기 헤드 베이스에 탈착 가능하게 연결되는 기판 지지 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이 상에 배치되고, 상기 기판의 하면을 지지하는 기판 안착부; 및
    상기 기판 안착부로부터 상기 블록을 향한 방향으로 진행하여, 상기 클램프 헤드를 상기 클램프 바디에 체결시키는 체결 부재를 더 포함하는 기판 지지 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 기판 안착부는 상기 체결 부재를 통과시킬 수 있는 통과 홀을 포함하는 기판 지지 장치.
  15. 개구부를 구비하는 트레이;
    상기 트레이의 하측에 연결되는 베이스;
    상기 베이스에 회전 가능하게 연결되고, 상기 개구부 내에서 왕복 운동 가능한 클램프; 및
    상기 트레이 상에 배치되고, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향으로 기준으로 상기 개구부의 적어도 일부를 커버하는 블록을 포함하는 기판 지지 장치.
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