CN101045500B - 具有可动导轨的真空传送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架(1，100，200)的涂布机。所述基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或少量几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开。

Description

具有可动导轨的真空传送装置
技术领域
本发明涉及一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架的涂布机，其中基体承载架具有至少一个沿基体承载架的至少一侧延伸的导轨。
背景技术
瑞士专利CH 691 680 A5和德国专利DE 297 15 535 U1公开了一种用于真空机中的工件的传送装置，其中可设置基体承载架，该基体承载架用于特别是扁平的大表面基体，例如在板状、盘状或框架状的基体承载架上的玻璃板，并且基体承载架在其上侧具有永磁体，该永磁体与同样装有磁体的磁性U形软支架相互作用，从而基体承载架的上侧可无接触地传送。将上述文献的公开内容全文引入本发明作为参考。
虽然这种技术方案已经提供了很好的效果，但是将磁性轨道布置在剩余的基体承载架处，比如承载架板或框架结构，会带来这样的问题，即，在具有特定尺寸的基体承载架的大表面基体的情况下，由于各部件的差温加热不均匀，即一方面是磁体导轨、另一方面是承载架的差温加热，特别是在经常发生于涂布机中的周期性重复加热的情况下，基体承载架的部件会相互摩擦。此外，通过在传送过程中，大表面基体或基体承载架的应力和应变产生不确定的变形，比如整个承载架的扭转，板件的弯曲等等，这会一方面导致磁性导轨和基体承载架进一步的相对运动，另一方面导致与其中使具有磁体导轨的基体承载架在机器中通常无接触地受到引导的磁性支架摩擦接触并在该磁性支架处研磨或碰撞，从而，在某些情况下，可能产生相当大的磨损，这可对其中形成的涂层的质量产生不利的影响。
发明内容
因此，本发明的目的是解决这个问题，特别是通过引导基体承载架的上侧而实现减少对真空腔的污染。同时，所提供的技术方案应该是容易实现的，并且在使用中可靠且节约成本。
为实现上述目的，根据本发明，提供了一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架的涂布机，其中，基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨，其特征在于，导轨被一个或少量几个间隔的支承与基体承载架隔开，在所述导轨和基体承载架之间形成间隙，以使部分导轨可以相对于所述基体承载架移动，并在所述导轨和基体承载架之间不会产生磨损。
根据本发明的优选实施方式，导轨在基体承载架的输送方向上沿一个基体承载架平行于基体输送方向的侧面安置；基体承载架具有扁平的、板状、盘状或框架状形状，其上或在该处固定大表面的扁平基体，特别是玻璃基体；导轨安装在基体承载架的中心或中央区域；轴向或中心支承是一个固定或可动支承，特别是枢转支承；枢转支承的转动轴线垂直于所述基体承载架的输送方向；枢转支承包括至少一个、优选为两个的可转动的塑料支承主体，特别是PEEK支承主体，和/或优选地用不锈钢制成的轴；固定支承由螺钉连接和/或中间块实现；轴向或中心支承是唯一的支承；除轴向或中心支承以外，还设有一个或更多的侧面支承，特别是可动支承；可动支承是滚珠或滚柱支承，特别是其具有与基体承载架的平行于基体输送方向的一个纵向侧面平行的转动轴线，所述支承优选地与轴向或中心枢转支承相关地起作用；基体承载架在安置有导轨的侧面具有弹性材料，特别是弹性的金属板，它特别像片簧一样地起到与轴向或中心固定的支承作用；导轨和/或基体承载架具有一个转动或运动限制器，它特别限制了导轨端部相对于基体承载架的相互运动；转动或运动限制器被设计为一个独立的部件或与支承结合为一体；转动或运动限制器包括一个设置在基体承载架或导轨上的销和具有切口或凹腔的主体，该主体与销相对地设置并且在导轨或基体承载架上环绕所述销，从而所述销可以在切口或凹腔中执行有限的运动；转动或运动限制器由限制支承部件运动的两个元件形成；导轨具有磁性或包含有一个或多个磁体。
依据本发明，上述目的可以通过在基体承载架上安装导轨从而使其由一个或数个与基体承载架分隔开的支承保持而实现。这样，在由于温度和过程影响而致使导轨和基体承载架的托架不同程度的形变的情况下，不会存在相互的摩擦表面或者只有轻微的或限定的摩擦表面，从而就可以减小或防止磨损。另外，这种解决方案提供了这样一种可能性，即，在允许基体承载架扭转或变形或者作惯常的运动的同时，在传送系统中的磁性支架中的导轨可以无变形地运动，从而在基体承载架或导轨与其它的机器部件之间不会发生碰撞，特别是在磁性传送或保持系统中不会发生导轨和相对物的研磨。这样，也可以显著地减少或完全地防止磨损。此外，这种方法可以补偿生产误差或允许有较大的制造公差。
在可以布置大表面的平坦基体、特别是大表面的玻璃基体(例如用于陈列产品或建筑上的窗用玻璃)的优选是平的、板状、盘状和/或框架状基体承载架上，导轨优选地在基体承载架的输送方向上沿基体承载架的一个平行于基体输送方向的侧面布置，并且有利的是优选地经由一个单独的中心支承将导轨安装在基体承载架的中央区域。这样做的好处是无须担心或考虑附加的支承的运动。
在中心支承的结构中，可以在大范围内选择相对于中心对称轴的布置区域以满足其它需要。但是，大的中心布置结构是有利的，因为它有利于导轨的均匀、对称安装。
中心支承可以是一个固定的支承或可动的支承，特别是一个枢转支承。
在固定支承的情况下，导轨和基体承载架的托架之间形成了不易弯曲的刚性连接，并且使导轨以及基体承载架的托架的有差别的运动和变形主要在这些零部件中完成或消除。就这一点已经证明，在与固定支承连接的特别是基体承载架部件、尤其是对应的框架部件由弹性材料制成，以便利于不均匀的变形的情况下是有利的。特别已证明，提供一种大约12mm厚的柔软的薄金属片，如铝片，来起到片簧的作用是有利的。
按照另一替代方案，中心支承也可以是可动的支承，特别是枢转支承，这种轴承由于它的支承特性有利于导轨相对于基体承载架的托架产生一定的移动。这样的可动支承可优选地为枢转支承，其转动轴线垂直于基体承载架的输送方向。这样，可以使导轨的端部相对于基体承载架的托架或基体承载架件的端部转动。
这样的枢转支承可优选地由塑料制成，具有特别是带有不锈钢轴作转动轴的PEEK支承座。
优选地，中心支承可以为单一的支承。当然，假定基体承载架有对应的尺寸，可能需要一个或多个侧支承，特别是可动支承。
优选地，所述侧可动支承为滚珠或滚柱支承，它便于使导轨的端部垂直于基体承载架平面地运动，即，转动轴线平行于基体承载架的平行于基体输送方向的侧面。
优选地，在导轨和基体承载架之间设置一种用于限制转动或移动的装置，所述装置便于限制导轨和基体承载架的彼此相向的相互运动。这样，防止了在真空机器中的基体承载架的传送过程中各部件的过度运动或变形导致碰撞。
可以将对应的转动或运动限制器设计为一个独立的部件，或与对应的支承、特别是侧可动支承结合为一体。
附图说明
通过对优选实施方式的以下详细描述，使本发明的更进一步的优点、特征和特点变得更加明显。仅以示意的形式表示的附图中：
图1是根据本发明第一实施方式的基体承载架的局部侧视图；
图2是图1中的基体承载架的导轨的一个支承的立体图；
图3是图2中的支承的俯视图；
图4是沿图3中的剖面线A-A的剖视图；
图5是图2至4中所示支承的侧视图；
图6是另一种基体承载架的局部侧视图；
图7是图6中所示基体承载架的枢转支承的立体图；
图8是图7中所示枢转支承的俯视图；
图9是沿图8中的剖面线A-A的剖视图；
图10是图6中所示基体承载架的滚柱支承的立体图；
图11是图10中所示滚柱支承的俯视图；
图12是图11中所示的滚柱支承沿剖面线A-A的剖视图；
图13是图10至12中所示滚柱支承的侧视图；
图14是又一种基体承载架的局部侧视图；
图15是图14中所示基体承载架的运动限制器的立体图；
图16是图15中的运动限制器的俯视图；以及
图17是图16中所示的运动限制器沿剖面线A-A的剖视图。
具体实施方式
图1是根据本发明的基体承载架1的局部侧视图，该基体承载架1由几个框架部分2至4装配而成并可在中间容纳基体5。
在图1的顶部表示为基体承载架的输送方向板件的框架部件3的中心有一个固定的支承6，在该支承6上方，于基体承载架1的基体承载架的输送方向上侧设置有可具有一个或多个磁体(未显示)的导轨7。由于导轨7通过固定支承6而与上部框架部件3分隔开，因此在导轨7和基体承载架1或上部框架部件3之间形成了间隙8。这意味着导轨7的自由端可以相对于基体承载架1或上部框架部件3运动，并且在导轨7和上部框架部件3之间不会发生摩擦。特别地，上部框架部件3的“软”设计，比如上部框架部件为铝板，使得基体承载架1可以相对于导轨7扭转，而且没有发生颗粒摩损的可能性而该颗粒磨损会导致在真空腔上作用一载荷或者与电子或机械装置或者其中进行的涂布过程或其中施加的薄膜产生干涉。
在图2至5中更详细地示出了固定支承6。
图2是该固定支承的立体图，而图3为俯视图，图4为沿图3中的剖面线A-A的剖视图。图5是固定支承6的窄边的侧视图。
如图2至5所示，固定支承6具有支承主体9，其中设有钻孔或切口，以用于容纳可旋入框架部件3或导轨7上的对应螺纹凹槽或钻孔中的螺钉11和10。因而，在基体承载架1的框架部件3和导轨7之间可获得间隔开的、同时也是固定的刚性连接。
图6示出了根据本发明的基体承载架100的另一实施方式，该基体承载架100也是由构架部件102至104装配而成并可容纳基体105。
导轨107同样也经由中心支承106连接至上部框架部件103，并且在导轨107的端部处设有额外的其它支承109(侧面可动支承)。在此实施方式中，导轨107也与框架部件103分隔开，从而，在这些部件之间形成的间隙108能极大地防止在导轨107和框架部件103彼此相对运动的情况中产生的摩损。
如图7至9中的立体图、俯视图和剖视图所示，在基体承载架100的这种实施方式中，将枢转支承106作为中心支承，它具有两个可转动的相对支承主体112和115。
两个可转动的支承主体112和115可以例如由塑料制成，在这种情况下，能够选择特别是可适合于高真空环境的塑料，比如PEEK塑料。可以例如由不锈钢制成的转轴114在支承主体112和115之间形成可转动的连接。
两个支承主体112和115分别由螺钉110或111安装在导轨107或基体承载架100的上部框架部件103上。
正如从图9中特别明显地看到的，在轴114上可设置一个区域113，该区域113例如通过与对应的横向突起部或螺栓相互作用而用作上支承部件的轴向安装件或锁定件。然而，至于其它的，使导轨107与上部框架部件103分隔开的枢转支承，有利于导轨107相对于基体承载架100的托架低摩擦地旋动或扭转。
从图6中明显地看到，除了轴向或中心支承106外，导轨107的端部还通过滚柱支承109固定，这样便于导轨107的端部垂直于基体承载架的平面地运动。相应地，滚柱支承109的转动轴线平行于导轨107或基体承载架100的平行于基体输送方向的侧面。
图10是滚柱支承109的立体图，其中该支承有两个支承主体116和117，它们分别通过螺纹连接件119和118连接到对应的部件，即导轨107以及基体承载架100的上部框架部件103上。在支承主体116和117之间设置可转动的滚柱120，从图12可特别清楚地看出，该可转动的滚柱120可以绕轴杆121转动，因此便于上部支承主体117相对于下部支承主体116运动。
如图10至13所示，下部支承主体116比上部支承主体117宽，而且在下部支承主体116上沿基体承载架平行于基体输送方向的侧面设有挡板122，所述挡板用于限制上部支承主体117的运动。
也可以设置其它的支承来代替滚柱支承，如滚珠支承及类似结构。
图14是一个局部侧视图，它与图1和图6的视图类似，示出了根据本发明的基体承载架200的第三个实施方式，所述承载架仍然由框架部件202、203及204构成，其间容纳基体205。在此实施方式中，也是将枢转支承106设置在上部框架部件203的中央，所述支承与图6的实施方式中的支承相同，并且便于使导轨207与上部框架部件203分隔开地可转动安装，从而在导轨207和基体承载架200的上部框架部件203之间也形成间隙208。
不同于在基体承载架100的实施方式中设置在导轨107端部处的滚柱支承109，在图14中所示基体承载架200的实施方式中，导轨207的端部设有运动限制器209，该运动限制器209更详细地显示在图15至17中。图15是运动限制器209的立体图，而图16为俯视图，图17为沿图16中的剖面线A-A的剖视图。
该运动限制器209包括两个彼此相互分开的限制器主体212和213，它们分别通过螺纹连接件210和211安装在导轨207和上部框架部件203上。在基体承载架部件的这种布置的情况中，两个运动限制器212和213之间形成了一个间隙，从而限制器主体212和213可以彼此相对地无接触运动。
特别如图17所示，限制器主体213中设有一圆柱形切口215，带有螺纹杆的螺钉214作为销穿过上部限制器主体212插入其中。可以在限制器主体212处设置其它的螺纹结构，例如，整体的螺纹结构来代替这种螺钉结构，或者可以考虑设置一个对应的螺栓或类似物。要点是仅由切口215限制螺纹杆的运动自由度，从而螺钉214在一定程度的运动后撞击下部限制器主体213并由此限制导轨207和上部框架部件203的相互运动。

Claims (19)

1.一种用于将基体传送通过真空腔的装置，带有可布置基体的基体承载架(1，100，200)，其中，基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开，从而在所述导轨和基体承载架之间形成间隙，以使部分导轨可以相对于所述基体承载架运动，并在所述导轨和基体承载架之间不会产生磨损。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，导轨(7，107，207)在基体承载架的输送方向上沿一个基体承载架平行于基体输送方向的侧面安置。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，基体承载架(1，100，200)具有板状、盘状或框架状形状，其上或在该处可固定大表面的扁平基体。
4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，导轨(7，107，207)安装在所述基体承载架的中央区域或中心上。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，设置于安装有所述导轨的基体承载架中心上的中心支承(6，106)是一个固定或可动支承。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，当所述中心支承是可动支承时，所述可动支承是枢转支承。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，枢转支承(106)的转动轴线垂直于所述基体承载架的的输送方向。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，枢转支承(106)包括至少一个可转动的塑料支承主体。
9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，当所述中心支承是固定支承时，固定支承(6)由螺钉(10，11)连接和支承主体(9)实现。
10.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，设置于安装有所述导轨的基体承载架中心上的中心支承(6，106)是唯一的支承。
11.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，除设置于安装有所述导轨的基体承载架中心上的中心支承(6，106)以外，还设有一个或更多的侧面支承(109)。
12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，侧面支承(109)是滚珠或滚柱支承。
13.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，基体承载架在安置有导轨的侧面具有弹性材料。
14.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，导轨和/或基体承载架具有一个运动限制器。
15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，运动限制器被设计为一个独立的运动限制器(209)或与支承结合为一体。
16.根据权利要求14或15所述的装置，其特征在于，运动限制器包括一个设置在基体承载架或导轨上的螺钉(214)和具有切口(215)或凹腔的主体，该主体与螺钉相对地设置并且在导轨或基体承载架上环绕所述螺钉，从而所述螺钉可以在切口或凹腔中执行有限的运动。
17.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，运动限制器由限制支承主体运动的两个挡板(122，122)形成。
18.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，导轨(7，107，207)具有磁性。
19.根据权利要求18所述的装置，其特征在于，所述导轨(7，107，207)包括一个或多个磁体。
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