CN101190724A - 单片板输送用托盘 - Google Patents

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Abstract

提供一种难以产生灰尘并且具备刚性良好的分隔部件的单片板输送用托盘。分隔部件(25)由中心块(40)和安装在该中心块(40)的上下的上下一对叠加部件(50、60)构成。上下的叠加部件(50、60)由耐磨耗性材料形成，中心块(40)由比叠加部件(50、60)强度高的材料形成。通过使中心块(40)由比叠加部件(50、60)强度高的材料形成，可充分强化分隔部件(25)自身的刚性，可有效防止层叠状态的分隔部件(25)的变形和随之的破损。并且，通过由耐磨耗性材料形成安装于中心块(40)的上下的叠加部件(50、60)，可抑制层叠状态下的分隔部件(25)彼此接触而引起的灰尘的产生，从而可防止工件(4)的污染。

Description

单片板输送用托盘
技术领域
本发明涉及一种单片板输送用托盘，具有四角框形的外框和架设在该外框的对边之间的多根棂条，将这些棂条的上表面作为单片板工件的载放面，并且涉及一种防止由于分隔部件的破损和分隔部件彼此的接触而产生灰尘的技术。
背景技术
所谓单片板输送用托盘是以薄型显示装置的玻璃基板为代表的板状物为输送对象(参照例如专利文献1)。本申请人已经提出了可多层层叠的单片板输送用托盘(以下，简单记述为托盘)(例如，日本特愿2005-214159(以下，称为在先申请))。在该托盘中设置有分隔部件，用于承受层叠的其他托盘的负载，并且防止由外框等金属形成的部分彼此的接触带来的灰尘的产生。
在先申请中记载的分隔部件是以超高分子量(高密度)聚乙烯(UPE)为材料的树脂制的一体成型品。采用上述树脂的原因如下，该树脂的耐磨耗性良好，并且具有良好的机械强度，所以在将多个托盘层叠时，即使在上下的分隔部件相互接触的情况下，也难以产生由磨耗带来的灰尘，因此可有效地防止由灰尘附着而引起的工件的污染。
专利文献1：日本特开2004-168484号公报
本申请人从事以大型液晶电视机的玻璃基板为工件的托盘的开发，并预定进行层叠数十个以上收纳该玻璃基板的托盘的研究。但是，上述那样的树脂制的分隔部件的耐压强度不是那么大，因此，在层叠数十个收纳有作为重物的玻璃基板的大型的托盘的情况下，对层叠状态的保持在下方的托盘的分隔部件施加大的负载，在最坏的情况下分隔部件可能破损并产生灰尘，从而引起工件污染。尤其随着近年来液晶电视机的大型化而带来的玻璃基板的大型化、以及层叠的托盘的个数的增加，分隔部件的负担增加，因此上述不良情况变得显著。
发明内容
本发明是为了解决上述问题点而做出的，其目的在于提供一种单片板输送用托盘，具有难以产生灰尘并且刚性良好的分隔部件。
方案1记载的本发明以单片板输送用托盘为对象，该单片板输送用托盘具有四角框形的外框和架设在该外框的对边之间的多根棂条，并将这些棂条的上表面作为单片板工件的载放面。在上述外框上设置有分隔部件(space)，该分隔部件用于在使多个托盘为多层状的层叠状态时，承受层叠的其他的托盘的负载，并且防止由上述外框等金属形成的部分彼此的接触带来的灰尘的产生。而且，上述分隔部件由中心块和安装于该中心块的上下的上下一对叠加部件构成，上述上下的叠加部件由耐磨耗性材料形成，上述中心块由比上述叠加部件强度高的材料形成。
如方案2记载的本发明，在上述上下的叠加部件的任意一个上形成叠加凸部，并在另一个叠加部件上形成与上述叠加凸部进行凹凸卡合的叠加凹部。
如方案3记载的本发明，上述中心块为金属成型品，具备中空块状的主体部和从该主体部伸出而形成的臂部。
如方案4记载的本发明，在上述下方的叠加部件上设置被支承部，该被支承部由用于使上述托盘从层叠状态离开的托盘库(magazine)的支承爪支承，在将该下方的叠加部件安装到上述中心块上时，上述被支承部与上述臂部接触。
如方案1记载的本发明，当中心块由高强度的材料形成时，可充分强化分隔部件本身的刚性，并可有效防止层叠状态下的分隔部件的变形以及随之的破损。并且，由于安装在分隔部件主体的上下的叠加部件由耐磨耗性材料形成，因而可抑制在层叠状态下分隔部件彼此接触而引起的灰尘的产生，从而可可靠地防止工件的污染。根据如上所述的方案1记载的本发明，可得到难以产生灰尘、并且刚性良好的分隔部件。
如方案2记载的本发明，当在上下的叠加部件上形成有叠加凸部和叠加凹部时，可将该两者在层叠状态下凹凸卡合，并在将多个托盘层叠并搬运的状态下，可可靠地防止托盘错动或者落下。
如方案3记载的本发明，当在中心块上设置有臂部时，以该臂部为主来承受作用在托盘上的来自托盘库的支承爪的外力，并可实现分隔部件的刚性提高。并且，当使主体部为中空块状时，有外力施加于臂部的情况下，通过中空部分微小变形可以使应力分散，进而也可以通过中空部分实现托盘的轻量化。
如方案4记载的本发明，当在上述下方的叠加部件上设置被支承部，该被支承部由用于使上述托盘从层叠状态离开的托盘库的支承爪支承，在将该下方的叠加部件安装到上述中心块上时，上述被支承部与上述臂部接触而形成时，可有效防止由支承爪与下方的叠加部件的接触而引起的灰尘的产生。
附图说明
图1是表示本发明的单片板输送用托盘的整体构成的平面图。
图2是表示层叠单片板输送用托盘的状态的图。
图3是表示由辊输送器进行的单片板输送用托盘的输送状态的图。
图4(a)表示上叠加部件、(b)表示中心块、(c)表示下叠加部件。
图5是表示将分隔部件组装到框架上的状态的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的单片板输送用托盘的实施方式。图1是表示单片板输送用托盘的整体构成的平面图，图2是表示层叠单片板输送用托盘的状态的图，图3是表示由辊输送器进行的单片板输送用托盘的输送状态的图，图4是分隔部件的分解图，图5是表示将分隔部件组装到框架上的状态的图。另外，在本实施方式中，规定在图1中由箭头Y1表示的方向为前后方向、与该方向正交的方向(箭头Y2)为左右方向。
如图1所示，单片板输送用托盘(以下简称为“托盘”)1具有中空四角框形的外框2和架设在该外框2的对边之间的多根(在本实施方式中为8根)的棂条3，并将这些棂条3的上表面作为单片板工件(以下简称为“工件”)4的载放面。如图2所示，所述托盘1在多个托盘1被层叠为多层状的状态下被输送到洁净室内，并由托盘库(以下简称为“箱”)5逐一地拉出。然后，如图3所示，被载放到具有输送辊8的辊输送器(以下简称为输送器)7上，并被输送到规定的处理装置处。另外，本实施方式的托盘1将大型液晶电视机的玻璃基板作为工件4。
如图1所示，外框2由沿前后方向(Y1)延伸的2根框架10、10和沿左右方向(Y2)延伸的2根框架11、11共计4根框架构成，并将这些框架10、11组装成长方四角形状之后，通过角棂条20和接合配件21将构成角部的邻接的框架10、11彼此接合。各框架10、11是对金属制(SUS304)的板材实施冲压加工而形成的，如图2和图3所示，具备外侧平坦部12、形成在比该外侧平坦部12低的位置的内侧平坦部13、和连接该内侧平坦部13与外侧平坦部12的倾斜部14。在外侧平坦部12上，带梯级状地向外方向伸出而形成有凸缘壁15，该凸缘壁15具有通过输送器7的输送辊8承接的向下的辊支承面(以下简称为“支承面”)16。
各棂条3是以SUS304等金属为材料的左右长的长形状的冲压加工品，如图1和图2所示，形成为具有成为工件载放面的腹板31的截面帽子形。各棂条3为，左右方向的两端部双支承状地卡止在左右的框架10、10的内侧平坦部13、13之间，并且该各棂条3通过支架22而被支承在倾斜部14和外侧平坦部12上。
在图2和图3中，符号34表示用于支承工件4的载放销。该载放销34被设置在棂条3的腹板31的上表面的左右方向的等间隔位置上。载放销34由耐磨耗性高的PEEK(聚醚醚酮)或UPE(超高分子量聚乙烯)等形成，即使反复搭载工件4，也不产生由磨耗引起的灰尘，不会污染工件4。
如图2和图3所示，在构成外框2的四边的各框架10、11的外侧平坦部12上设置有分隔部件25，该分隔部件25用于在将托盘1层叠为上下多层状的状态时承受层叠的其他的托盘1的负载，并且防止由外框2等金属形成的部分彼此的接触而带来的灰尘的产生。如图1所示，在本实施方式中，在各框架10、11的等间隔位置上安装有每处3个、共12个的分隔部件25。
如图4和图5所示，各分隔部件25由中心块40(图4(b))、安装于该中心块40的上表面的上叠加部件50(图4(a))和安装于该中心块40的下表面的下叠加部件60(图4(c))构成。另外，以下参照图1至图4说明安装在沿前后方向(Y1)延伸的框架10上的分隔部件25。
图4(b)所示的中心块40为铸铝成型品，具备：四角立方体状的主体部41；从该主体部41的前后侧面向外方向伸出而形成的一对臂部42、42；在主体部41的上表面中央突出设置的卡合凸部43；和在主体部41的下表面中央凹陷形成的卡合凹部44。主体部41呈具有在左右表面上开口的前后一对的空隙45、45的中空块状，并从划分该空隙45的前后壁的外侧面的各自沿前后的水平方向伸出而形成有臂部42、42。卡合凸部43由圆柱部43a、和设置在该圆柱部43a的上方并且越向上方周侧面的直径尺寸越小的锥状的圆锥台部43b构成。卡合凹部44由用于使卡合凸部43一边受到导向一边插入从而定位的圆柱孔部44a、和与该圆柱孔部44a连通并越向上方相对间隔越小的锥状的圆锥台孔部44b构成。
图4(a)所示的上叠加部件50具备：通过卡合片51安装在中心块40的上表面的平坦状的板体52；和突出设置在板体52的上表面中央，并覆盖中心块40的卡合凸部43的叠加凸部53，该上叠加部件50为所述卡合片51、板体52和叠加凸部53形成为一体的树脂成型品。叠加凸部53由圆柱部53a和设置在该圆柱部53a的上方并且越向上方直径尺寸越小的锥状的圆锥台部53b构成。该圆柱部53a与圆锥台部53b的周侧面的交界部、和圆锥台部53b的周侧面与上表面之间的交界部，形成为无角的圆滑的曲面形状。在叠加凸部53的内部形成有用于收容中心块40的卡合凸部43的收容空隙53c，在板体52的下表面的盘面中央开设有与收容间隙53c连通的开口部52a。
在上叠加部件50上，在板体52的左右缘上形成有前后各2个、共计4个卡合片51。各卡合片51由从板体52的左右缘向下方单支承状地延伸的臂51a、和形成于臂51a的下端的卡合爪51b构成，通过卡合爪51b与中心块40的空隙45的开口缘卡合，上叠加部件50被安装固定在中心块40上。
下叠加部件60具有：通过4个卡合片61安装在中心块40的下表面上的底壁部62；从底壁部62的前后周缘向上方立设的前后一对侧壁部63、63；从该侧壁部63、63的上端沿前后的水平方向延伸、由箱5的支承爪5a承接的被支承部64、64，该下叠加部件60为这些部件形成为一体的树脂成型品。在底壁部62的中央部形成有与上叠加部件50的叠加凸部53卡合的叠加凹部65。叠加凹部65由圆柱孔部65a、和设置在该圆柱孔部65a的上方并且越向上方直径尺寸越小的锥状的圆锥台孔部65b构成。各卡合片61由从底壁部62的左右缘各2个地向上方单支承状地延伸的臂61a、和形成于臂61a的上端的卡合爪61b构成，通过4个卡合片61与中心块40的空隙45的开口缘卡合，下叠加部件60被安装固定在中心块40上。
在该中心块40的臂部42和下叠加部件60的被支承部64的中央部上，穿通设置有允许向外框2安装用的螺钉70(参照图5)插入的螺钉孔42a、64a。
本实施方式的上下的叠加部件50、60以耐磨耗性优良的聚醚醚酮树脂(以下称为PEEK树脂)为材料。即，上下的叠加部件50、60由耐磨耗性材料形成。而且，如上所述，中心块40为金属制(铝制)，因而该中心块40由比上下的叠加部件50、60强度高的材料形成。
如图5所示，在通过卡合片51、61将上下的叠加部件50、60安装固定在中心块40上而单元部件化的状态下，上述那样的分隔部件25通过螺钉70被螺合固定在框架10的外侧平坦部12上。并且，在层叠托盘1后，处于上方侧的托盘1的下叠加部件60的叠加凹部65与处于下方侧的托盘1的上叠加部件50的叠加凸部53凹凸卡合，从而可将托盘1、1堆积为上下多层状。并且，如图5所示，通过箱5的叉状的支承爪5a将分隔部件25的被支承部64抬起，可使托盘1从层叠状态分离并拉出。
根据如上构成的本实施方式的托盘1，由强度高的材料(铝)形成了构成分隔部件25的中心块40，因此充分地强化分隔部件25自身的刚性，可有效防止层叠状态下的分隔部件25的变形和随之的破损。并且，通过由耐磨耗性材料形成安装在中心块40的上下的叠加部件50、60，可抑制由层叠状态下的分隔部件25彼此接触而引起的灰尘的产生，并可可靠地防止工件4的污染。由此，可得到难以产生灰尘并且刚性良好的分隔部件25。
并且，在上下的叠加部件50、60上形成了叠加凸部53和叠加凹部65，因此可使这二者在如图所示的层叠状态下卡合。由此，在将多个托盘1层叠地运输的状态下，可可靠地防止托盘1错动或者落下。
在由耐磨耗性材料构成的下方侧的叠加部件60上形成了由箱5的支承爪5a支承的被支承部64，因此，可有效防止由支承爪5a与下方侧的叠加部件60的接触而引起的灰尘的产生。
当在中心块40上设置有臂部42时，作用于托盘1的来自箱5的支承爪5a的外力主要由该臂部42承接，通过这一点也可实现分隔部件25的刚性提高。并且，由于从中空块状的主体部41伸出形成臂部42，因此可赋予臂部42虽然微小但可在上下方向上位移的余地，从而，可有效防止由于应力集中臂部42从伸出基端部(安装根部)弯曲、破损的不良情况。而且，由于在中心块40上设置有中空部，因此可实现轻量化和材料成本的降低。
当在叠加凸部53上设置有锥状的圆锥台部53b时，在将托盘1层叠为上下多层状时，通过该圆锥台部53b的周侧面与叠加凹部65的圆柱孔部65a的内壁面先配合，可实现该叠加凸部53和叠加凹部65的对位作业容易化，并有助于托盘1的层叠作业的作业效率的提高。并且，当使圆柱部53a与圆锥台部53b的周侧面的交界部、和圆锥台部53b的周侧面与上表面之间的交界部形成为无角的圆滑曲面形状时，可防止由交界部的破损引起的灰尘的产生。而且，由于可使圆柱部53a的周侧面的高度尺寸(上下尺寸)减小，因此可抑制叠加凸部53与叠加凹部65卡合时的上方侧的托盘1的落下冲击，从而可防止载放在该托盘1上的工件4的破损事故。

Claims (4)

1.一种单片板输送用托盘，具有四角框形的外框和架设在该外框的对边之间的多根棂条，并将这些棂条的上表面作为单片板工件的载放面，其特征在于，
在上述外框上设置有分隔部件，该分隔部件用于在使多个托盘为多层状的层叠状态时，防止下方侧的托盘的上述外框与上方侧的托盘的上述外框直接接触，上述分隔部件由中心块和安装于该中心块的上下的上下一对叠加部件构成，上述上下的叠加部件由耐磨耗性材料形成，上述中心块由比上述叠加部件强度高的材料形成。
2.如权利要求1所述的单片板输送用托盘，其特征在于，
在上述上下的叠加部件的任意一个上形成叠加凸部，并在另一个叠加部件上形成与上述叠加凸部进行凹凸卡合的叠加凹部。
3.如权利要求1所述的单片板输送用托盘，其特征在于，
上述中心块为金属成型品，具备中空块状的主体部和从该主体部伸出而形成的臂部。
4.如权利要求3所述的单片板输送用托盘，其特征在于，
在上述下方的叠加部件上设置被支承部，该被支承部由用于使上述托盘从层叠状态离开的托盘库的支承爪支承，在将该下方的叠加部件安装到上述中心块上时，上述被支承部与上述臂部接触而形成。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102498559A (zh) * 2009-07-21 2012-06-13 株式会社尼康 基板保持架系统、基板接合装置以及器件的制造方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5471088B2 (ja) * 2009-07-03 2014-04-16 株式会社ニコン 基板保持部材、基板搬送装置、基板搬送方法、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法
CN115416319B (zh) * 2022-10-20 2023-02-28 歌尔股份有限公司 一种无尘组装设备

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102498559A (zh) * 2009-07-21 2012-06-13 株式会社尼康 基板保持架系统、基板接合装置以及器件的制造方法
US9054140B2 (en) 2009-07-21 2015-06-09 Nikon Corporation Substrate holder system, substrate holder, fastening mechanism, substrate bonding apparatus and method for manufacturing devices
CN102498559B (zh) * 2009-07-21 2016-03-02 株式会社尼康 基板保持架系统、基板接合装置以及器件的制造方法

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C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20080604