CN201741675U - 卡匣支撑结构 - Google Patents

Abstract

一种卡匣支撑结构，是在两个框片之间的两侧边设两块侧板，形成一可供置入基板的开口，该两块侧板内壁上分别设有多个相互平行的支撑部，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽，该两块侧板一端向开口方向延伸出多个中央支撑件，各该中央支撑件相互平行，且相邻两中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽；使用时，数片基板可经由该开口卡设于该两块侧板的支撑部之间的沟槽，凭借该卡匣后方中央支撑件的支撑，使基板安装于卡匣内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量。

Description

卡匣支撑结构

技术领域

本实用新型涉及一种卡匣支撑结构，特别涉及一种于一卡匣后方中央新增一支撑结构，使基板安装于卡匣内时能够更平坦的结构。

背景技术

一般常用卡匣结构，请参阅图1所示，其设有一卡匣10，该卡匣10设有两个框片11、12，该两个框片11、12之间的两侧边分别设有两个侧板111、121，使该卡匣10前、后端形成可置入基板20(如：硅晶圆基板)的两个开口13、14，该两侧板111、121内壁分别设有多片相互平行的支撑片112、122，以供数片基板20可经由其一开口13卡设于该两个侧板111、121的支撑片112、122之间的沟槽，以于运送或保存该基板20时，可避免保存或搬运过程中因碰撞，而导致基板20破损或脱落等问题。

然而，IC(半导体)的材料硅晶圆基板发展至今逐渐薄型化，其厚度由0.7mm逐渐缩小至0.2mm，但在卡设该基板20的沟槽间距(约5mm)不变下，请参阅图2所示，薄型化的基板20会因该等支撑片112、122的支撑不足而产生下垂量过大，导致取放基板20的机械手臂，容易碰撞到该基板20的下垂部分，而造成基板20破损(即薄化的晶圆片容易因下垂量过大与机械手臂取放行程干涉而破片)。

发明内容

鉴于上述常用卡匣结构所衍生的各项缺点，本实用新型的设计人乃亟思加以改良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本件一种卡匣支撑结构。

本实用新型的目的，在于提供一种卡匣支撑结构，是于该卡匣后方中央新增一支撑结构，使基板安装于卡匣内时能够更平坦。

为达上述的目的，本实用新型的技术手段在于，设有一卡匣，该卡匣设有两个框片，该两个框片之间的两侧边分别设有两块侧板，形成一可供置入基板的开口，该两块侧板内壁上分别设有多个相互平行的支撑部，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽，该两块侧板一端向开口方向延伸出多个中央支撑件，各该中央支撑件相互平行，且相邻两个中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽；使用时，数片基板可经由该开口卡设于该两块侧板的支撑部之间的沟槽，凭借该卡匣后方中央支撑件的支撑，使基板安装于卡匣内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量，以避免取放基板的机械手臂的碰撞而破损。

请参阅以下有关本实用新型一较佳实施例的详细说明及其附图，将可进一步了解本实用新型的技术内容及其目的功效：

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为常用的立体示意图；

图2为常用的使用时的剖面示意图；

图3为本实用新型的立体示意图；

图4为本实用新型的另一立体示意图；

图5为本实用新型的使用时的剖面示意图；

图6为本实用新型另一实施例的立体示意图。

具体实施方式

本实用新型为一种「卡匣支撑结构」，请参阅图3、图4所示，其设有一卡匣50，该卡匣50设有两个框片51、52，该两个框片51、52之间的两侧边分别设有两块侧板53、54，形成一可供置入基板70的开口55，该两块侧板53、54内壁上分别设有多个相互平行的支撑部57，相邻两个支撑部57之间形成可置放基板70的沟槽573，该两块侧板53、54一端向开口55方向延伸出多个中央支撑件572，各该中央支撑件572相互平行，且相邻两个中央支撑件572之间形成与该多个沟槽573相等的另一沟槽574。

本实用新型的一实施例中，该卡匣50设有两个框片51、52，该两个框片51、52之间的两侧边分别设有两块侧板53、54，使该卡匣50前、后端形成可置入基板70(如：硅晶圆基板)的两个开口55、56，该两块侧板53、54内壁分别设有多片相互平行的支撑部57，使相邻两支撑部57之间形成可置放基板70的沟槽573，各该支撑部57在该卡匣50后端开口56设有一连接部571，使该两块侧板53、54的支撑部57相接在一起，各该支撑部57后端设有一向卡匣50中间延伸的中央支撑件572，且相邻两个中央支撑件572之间形成与该多个沟槽573相等的另一沟槽574。

凭借上述构件的组成，请参阅图5所示，使用时，数片基板70可经由其一开口55卡设于该两块侧板53、54的支撑部57之间的沟槽573，凭借该卡匣50后方中央支撑件572的支撑，使基板70安装于卡匣50内时能够更平坦，不会产生过大的下垂量，以此避免取放该基板70的机械手臂的碰撞而破损。

请再参阅图3、图4所示，该卡匣50的顶面设有至少一握把501，用以供提握及搬运该卡匣50之用。

该中央支撑件572可为一中央支撑片或一中央支撑柱；而该支撑部57为一支撑片。

请参阅图6所示，本实用新型另一实施例中，该卡匣50设有两个框片51、52，该两个框片51、52之间的两侧边分别设有两块侧板53、54，形成一可置入基板70的开口55，该两块侧板53、54内壁分别设有多片相互平行的支撑部57，使相邻的两个支撑部57之间形成可置放基板70的沟槽573，该卡匣50后端上设有一立杆61，该立杆61两侧边以数个连接杆62连接于该两块侧板53、54内壁上，该立杆61上设有多个相互平行且向卡匣50中间延伸的中央支撑件63，使相邻两中央支撑件63之间形成另一沟槽613，所述另一沟槽613的间隔与沟槽573的间隔相等。

该卡匣50可以一体成型方式制成。

该中央支撑件63可为一中央支撑片或一中央支撑柱；而该支撑部57为一支撑片。

上列详细说明是针对本实用新型的一可行实施例的具体说明，然而该实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所为的等效实施或变更，例如：等变化的等效性实施例，均应包含于本案的专利范围中。

Claims (9)

1.一种卡匣支撑结构，其特征在于，包括：

两个框片，该两个框片之间的两侧边分别设有两块侧板，形成一可供置入基板的开口；

多个相互平行的支撑部，分别设于该两块侧板的内壁上，相邻两个支撑部之间形成可置放基板的沟槽；

多个中央支撑件，由该两块侧板一端向开口方向延伸出，各该中央支撑件相互平行，且相邻两个中央支撑件之间形成与该多个沟槽相等的另一沟槽。

2.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该基板为一硅晶圆基板。

3.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，各该中央支撑件后端两侧边分别以一连接部连接于该两块侧板一端的内壁上。

4.根据权利要求3所述的卡匣支撑结构，其特征在于，各该中央支撑件后端二侧边的连接部分别连接于该二侧板一端的内壁的支撑部上。

5.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该多个中央支撑件后端设有一立杆，令该多个中央支撑件相互平行设于该立杆上，该立杆两侧边以数个连接杆连接于该两块侧板一端的内壁上。

6.根据权利要求1、4或5所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该中央支撑件为一中央支撑片。

7.根据权利要求1、4或5所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该中央支撑件为一中央支撑柱。

8.根据权利要求1所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该卡匣以一体成型方式制成。

9.根据权利要求4所述的卡匣支撑结构，其特征在于，该支撑部为一支撑片。

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