CN213058041U - 一种卡塞装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，其公开了一种卡塞装置，解决了目前相邻的带孔方片之间易于吸附导致不便拿取的技术问题，包括相互平行设置的两块卡塞板，两块所述卡塞板的两侧分别设有两块挡板，所述挡板的两侧固定在所述卡塞板上，所述卡塞板和所述挡板之间围合形成存放空间；所述卡塞板的内侧面开设有密布的第一卡塞槽，所述第一卡塞槽用于夹持带孔方片；所述卡塞板的顶面设于叠放的定位针。根据以上技术方案，利用卡塞板和挡板形成卡塞装置，将带孔方片夹持在存放空间内，从而达到合理摆放的目的。

Description

一种卡塞装置

技术领域

本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，更具体地说，它涉及一种卡塞装置。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的带孔方片(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形时，称为晶圆，形状为方形时，称为带孔方片，晶圆和带孔方片材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。实际产品中，晶圆需要进行匀胶显影作业，并通过匀胶显影机完成打胶工序。

晶圆和带孔方片在加工完成时需要有容器去盛放该产品，目前，在摆放、盛放该带孔方片时，主要是叠放在板面上，作业人员需要拿取物料时，直接在板面上拿取叠放好的晶圆、带孔方片产品。

然而，通过目前的方式去存放晶圆、带孔方片，使得产品之间贴合过于紧密，当作业人员拿取时，由于相邻晶圆、带孔方片之间呈贴合紧密的状态，使得相邻的晶圆、带孔方片易吸附在一起，导致拿取极其不方便，因此需要对晶圆、带孔方片的存放方式作调整。

实用新型内容

针对背景技术中提出的相邻的带孔方片之间易于吸附导致不便拿取的技术问题，本实用新型利用卡塞板和挡板形成卡塞装置，将带孔方片夹持在存放空间内，从而达到合理摆放的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种卡塞装置，包括相互平行设置的两块卡塞板，两块所述卡塞板的两侧分别设有两块挡板，所述挡板的两侧固定在所述卡塞板上，所述卡塞板和所述挡板之间围合形成存放空间；

所述卡塞板的内侧面开设有密布的第一卡塞槽，所述第一卡塞槽用于夹持带孔方片；

所述卡塞板的顶面设于叠放的定位针。

通过上述技术方案，利用卡塞板和挡板形成卡塞装置，卡塞装置内部具有存放空间，带孔方片位于存放空间内部并且夹持在第一卡塞槽内，从而让相邻的带孔方片之间具有间隙，不易吸附在一起，同时也便于散热以达到合理摆放的目的。与此同时，在卡塞板的顶部设有定位针，定位针用于向上堆垛卡塞装置，让卡塞装置能够堆叠得更高，在存放更多数量得带孔方片的基础上，不占有过多的车间空间。

本实用新型进一步设置为：所述卡塞板的底部设有横向延申板，所述横向延申板的顶面开设有第二卡塞槽，所述第二卡塞槽用于夹持带孔方片，且所述第二卡塞槽起到承重的作用。

通过上述技术方案，设置横向延申板和第二卡塞槽主要起到承重的作用，带孔方片承受在横向延申板上，并卡设在第二卡槽内，以达到固定摆放的目的。

本实用新型进一步设置为：所述横向延申板的底面开设有卡接口，所述卡接口用于将所述卡塞板固定在加工带孔方片的设备上。

通过上述技术方案，由于卡塞装置是用于盛放带孔方片，因此需要将卡塞装置放置在生产带孔方片的设备上进行存放，设置卡接口，能够便于卡塞板和设备之间的固定放置。

本实用新型进一步设置为：所述卡塞板的外侧面设有密布的散热片。

通过上述技术方案，由于刚加工完毕的带孔方片具有一定热量，因此设置散热片易于带孔方片的散热。

本实用新型进一步设置为：所述卡塞板的前后侧面固定有L型拐片，所述L型拐片用于方便搬运整体的卡塞板及所述卡塞板内部存放的带孔方片。

通过上述技术方案，L型拐片用于对卡塞板进行固定和搬运。

本实用新型进一步设置为：一侧所述挡板的顶部和底部均开设有便于放置物料和拿取物料的操作门。

通过上述技术方案，操作门用于方便作业人员向存放空间内放置带孔方片物料。

本实用新型进一步设置为：所述挡板上的所述操作门之间设有加强筋。

通过上述技术方案，加强筋用于提高操作门的牢固强度，不易损害和破裂。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

(1)能够便捷存放带孔方片，不易吸附；

(2)能够在存放空间内存放大量数量的带孔方片；

(3)能够便捷搬运；

(4)能够堆垛。

附图说明

图1为卡塞装置的整体立体示意图一；

图2为卡塞装置的整体立体示意图二；

图3为卡塞板的一侧结构示意图；

图4为卡塞板的另一侧结构示意图。

附图标记：1、卡塞板；11、第一卡塞槽；12、横向延申板；121、第二卡塞槽；122、卡接口；13、散热片；14、L型拐片；2、挡板；21、操作门；22、加强筋；3、存放空间；4、定位针。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

一种卡塞装置，结合图1、图2、图3和图4可知，其主要用于存放带孔方片产品，包括相互平行设置的两块卡塞板1，两块卡塞板1的两侧分别设有两块挡板2，挡板2的两侧固定在卡塞板1上，卡塞板1和挡板2之间围合形成存放空间3，卡塞板1的顶面设于叠放的定位针4，便于堆垛卡塞装置。带孔方片存放在存放空间内。

具体的，为了不让相邻的带孔方片吸附在一起，在卡塞板1的内侧面开设有密布的第一卡塞槽11，第一卡塞槽11用于夹持带孔方片，放置时，带孔方片卡设在第一卡塞槽11内。在卡塞板1的底部设有横向延申板12，横向延申板12的顶面开设有第二卡塞槽121，第二卡塞槽121用于夹持带孔方片，且第二卡塞槽121起到承重的作用，让带孔方片的存放更加稳定。

同时，为了让卡塞装置能够安装在带孔方片的加工设备上，在横向延申板12的底面开设有卡接口122，卡接口122用于将卡塞板1固定在加工带孔方片的设备上。而且，为了便于散热，在卡塞板1的外侧面设有密布的散热片13。为了便于搬运，在卡塞板1的前后侧面L型拐片14，L型拐片14用于方便搬运整体的卡塞板1及卡塞板1内部存放的带孔方片。

此外，为了方便拿取产品或存放产品，在一侧挡板2的顶部和底部均开设有便于放置物料和拿取物料的操作门21。挡板2上的操作门21之间设有加强筋22。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种卡塞装置，其特征在于，包括相互平行设置的两块卡塞板(1)，两块所述卡塞板(1)的两侧分别设有两块挡板(2)，所述挡板(2)的两侧固定在所述卡塞板(1)上，所述卡塞板(1)和所述挡板(2)之间围合形成存放空间(3)；

所述卡塞板(1)的内侧面开设有密布的第一卡塞槽(11)，所述第一卡塞槽(11)用于夹持带孔方片；

所述卡塞板(1)的顶面设于叠放的定位针(4)。

2.根据权利要求1所述的一种卡塞装置，其特征在于：所述卡塞板(1)的底部设有横向延申板(12)，所述横向延申板(12)的顶面开设有第二卡塞槽(121)，所述第二卡塞槽(121)用于夹持带孔方片，且所述第二卡塞槽(121)起到承重的作用。

3.根据权利要求2所述的一种卡塞装置，其特征在于：所述横向延申板(12)的底面开设有卡接口(122)，所述卡接口(122)用于将所述卡塞板(1)固定在加工带孔方片的设备上。

4.根据权利要求1所述的一种卡塞装置，其特征在于：所述卡塞板(1)的外侧面设有密布的散热片(13)。

5.根据权利要求1所述的一种卡塞装置，其特征在于：所述卡塞板(1)的前后侧面固定有L型拐片(14)，所述L型拐片(14)用于方便搬运整体的卡塞板(1)及所述卡塞板(1)内部存放的带孔方片。

6.根据权利要求1所述的一种卡塞装置，其特征在于：一侧所述挡板(2)的顶部和底部均开设有便于放置物料和拿取物料的操作门(21)。

7.根据权利要求6所述的一种卡塞装置，其特征在于：所述挡板(2)上的所述操作门(21)之间设有加强筋(22)。

Images