CN220821501U - 一种开放式卡匣转换底座收纳装置 - Google Patents
一种开放式卡匣转换底座收纳装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220821501U CN220821501U CN202322383560.7U CN202322383560U CN220821501U CN 220821501 U CN220821501 U CN 220821501U CN 202322383560 U CN202322383560 U CN 202322383560U CN 220821501 U CN220821501 U CN 220821501U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- conversion base
- shaped groove
- open cassette
- horizontal plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 101000931462 Homo sapiens Protein FosB Proteins 0.000 description 2
- 102100020847 Protein FosB Human genes 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000012958 reprocessing Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Abstract
本实用新型公开了一种开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，包括U型槽状固定板，所述U型槽状固定板的两侧内壁和槽底内壁上分别设有两侧支撑板和下支撑板，所述U型槽状固定板的一侧外壁的顶部设有水平板，所述水平板上设有连接孔，所述水平板的底部设有磁吸块。本申请提供的收纳装置，可妥善地将转换底座进行归置，节省空间，有效避免了转换底座放置在不规则平台时造成的损坏，进而保证了开放式卡匣的放置位置准确无误，有效避免了机械手臂碰撞硅片，降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片生产技术领域，具体涉及一种开放式卡匣转换底座收纳装置。
背景技术
现有技术中机台Load Port(装载端口)放置的硅片载具包括多种，如Opencassette(开放式卡匣)、FOUP(前开式统一盒)、FOSB(前开式运输盒)等。在放置Opencassette(开放式卡匣)时，需要通过转换底座作为中间转换装置，以使Open cassette(开放式卡匣)可以正常放置。当Load Port(装载端口)需要放置FOUP/FOSB时需要将转换底座移除，目前转换底座不使用的时候无固定放置的收纳装置，转换底座一般随意放置，若放置在不规则平台上有可能造成转换底座损坏，转换底座损坏将影响开放式卡匣的放置位置有偏差，进而引起机械手臂碰撞硅片，导致生产的硅片报废或需要再次加工而提高了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种开放式卡匣转换底座收纳装置。
本实用新型的目的是以下述技术方案实现的：
一种开放式卡匣转换底座收纳装置，包括U型槽状固定板，所述U型槽状固定板的两侧内壁和槽底内壁上分别设有两侧支撑板和下支撑板，所述U型槽状固定板的一侧外壁的顶部设有水平板，所述水平板上设有连接孔，所述水平板的底部设有磁吸块。
优选的，所述两侧支撑板和下支撑板为铁氟龙或peek材料；所述U型槽状固定板、所述水平板为金属材料。
优选的，所述U型槽状固定板和所述水平板为一体成型设置。
优选的，所述两侧支撑板、所述下支撑板与所述U型槽状固定板之间通过粘接连接。
本申请提供的收纳装置，可妥善地将转换底座进行归置，节省空间，有效避免了转换底座放置在不规则平台时造成的损坏，进而保证了开放式卡匣的放置位置准确无误，有效避免了机械手臂碰撞硅片，降低了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型提供的收纳装置的立体结构示意图；
图2是本实用新型提供的收纳装置的侧视结构示意图；
其中，1-连接孔；2-U型槽状固定板；3-前支撑板；4-后支撑板；5-下支撑板；6-磁吸块；7-水平板。
具体实施方式
本实用新型提供了一种开放式卡匣转换底座收纳装置，如图1～2所示，包括U型槽状固定板2，U型槽状固定板的两侧内壁和槽底内壁上分别设有两侧支撑板(即前支撑板3和后支撑板4)和下支撑板5，U型槽尺寸与转换底座相匹配，用于容纳转换底座。由于转换底座在使用过程中会与硅片发生接触，因此为了避免损伤硅片，转换底座也要求表面光滑无损伤，而本申请转换底座直接放置于U型槽中，与U型槽接触紧密，同时U型槽又需要能够承受转换底座的重量，因此要求U型槽具有一定的强度，而不能采用不宜刮伤转换底座的柔性、弹塑性等材料。本申请通过在U型槽内另外设置支撑板与转换底座直接接触，支撑板可采用与U型槽不同的材料，优选的，与转换底座直接接触的部件如两侧支撑板和下支撑板为铁氟龙或peek材料，外部的U型槽状固定板、水平板为高强度的金属材料，而且可以在受损时及时更换，从而良好的解决了上述问题。
U型槽状固定板的一侧外壁的顶部设有水平板7，水平板上设有连接孔1，水平板的底部设有磁吸块6。水平板和磁吸块为两种固定收纳装置的方式，采用水平板，可通过其上的连接孔通过螺栓固定连接于目标位置，在目标位置存在可磁吸的壁面时，可通过磁吸块更快速的将收纳装置固定于壁面上，方便了收纳装置的固定使用。本申请具体使用时，首先通过水平板上的连接孔或磁吸块快速将整个装置固定在目标位置处，当转换底座不使用时，将转换底座放置于U型槽内，在需要使用转换底座时，直接取出即可，从而有效减少了转换底座的损坏。
因此，本申请提供的收纳装置，可妥善地将转换底座进行归置，节省空间，有效避免了转换底座放置在不规则平台时造成的损坏，进而保证了开放式卡匣的放置位置准确无误，有效避免了机械手臂碰撞硅片，降低了生产成本。
优选的，U型槽状固定板和水平板为一体成型设置，方便进行加工。
优选的，两侧支撑板、下支撑板与U型槽状固定板之间通过粘接连接。
尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (4)
1.一种开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，包括U型槽状固定板，所述U型槽状固定板的两侧内壁和槽底内壁上分别设有两侧支撑板和下支撑板，所述U型槽状固定板的一侧外壁的顶部设有水平板，所述水平板上设有连接孔，所述水平板的底部设有磁吸块。
2.如权利要求1所述的开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，
所述两侧支撑板和下支撑板为铁氟龙或peek材料；所述U型槽状固定板、所述水平板为金属材料。
3.如权利要求1所述的开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，
所述U型槽状固定板和所述水平板为一体成型设置。
4.如权利要求1所述的开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，
所述两侧支撑板、所述下支撑板与所述U型槽状固定板之间通过粘接连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322383560.7U CN220821501U (zh) | 2023-09-04 | 2023-09-04 | 一种开放式卡匣转换底座收纳装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322383560.7U CN220821501U (zh) | 2023-09-04 | 2023-09-04 | 一种开放式卡匣转换底座收纳装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220821501U true CN220821501U (zh) | 2024-04-19 |
Family
ID=90700722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322383560.7U Active CN220821501U (zh) | 2023-09-04 | 2023-09-04 | 一种开放式卡匣转换底座收纳装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220821501U (zh) |
-
2023
- 2023-09-04 CN CN202322383560.7U patent/CN220821501U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3971601B2 (ja) | 基板受渡装置および基板処理装置 | |
| CN212711672U (zh) | 一种基板上下料装置及电沉积设备 | |
| CN220821501U (zh) | 一种开放式卡匣转换底座收纳装置 | |
| KR101343690B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| CN102468118B (zh) | 治具及清洗机 | |
| CN202268335U (zh) | 能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构 | |
| CN217655862U (zh) | 一种晶圆装载装置及其校准装置 | |
| CN212667959U (zh) | 一种装手机摄像头用的托盘盖 | |
| CN214636568U (zh) | 一种单细胞核酸处理仪器的固定载台 | |
| CN111081614B (zh) | 一种晶圆片承载装置 | |
| CN211539960U (zh) | 一种物料置物架 | |
| CN220411293U (zh) | 一种数码显示类led待料盒 | |
| CN112496188A (zh) | 一种通用电气设备生产的自动上下料机构 | |
| CN220491854U (zh) | 一种用于连接承载盘的固定装置 | |
| CN214730913U (zh) | 机械臂运输固定架 | |
| CN212779077U (zh) | 一种屏蔽罩自动检测平面度托盘包装装置 | |
| CN113895754B (zh) | 一种笔记本电脑外壳转运托盘 | |
| CN216902864U (zh) | 一种应用于半导体晶片加工的取片装置 | |
| CN218858448U (zh) | 一种太阳能光伏板安装施工用转运装置 | |
| CN219970420U (zh) | 一种基于直线模组的高通量载玻片仓 | |
| CN213379171U (zh) | 冷却盘 | |
| CN215187847U (zh) | 一种控制器承载装置 | |
| CN217788354U (zh) | 半导体衬底载运容器及前开式晶片传送盒 | |
| CN213199760U (zh) | 一种五金冲压件生产后加工用转运装置 | |
| TW202022970A (zh) | 載體傳送載具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |