CN202268335U

CN202268335U - 能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构

Info

Publication number: CN202268335U
Application number: CN2011203341141U
Authority: CN
Inventors: 刘东波
Original assignee: CHENGHAO TECHNOLOGY CO LTD
Current assignee: CHENGHAO TECHNOLOGY CO LTD
Priority date: 2011-09-07
Filing date: 2011-09-07
Publication date: 2012-06-06
Anticipated expiration: 2021-09-07

Abstract

一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，包含有一具容置槽的本体及活动件，该本体是在容置槽的周侧设有至少一个第一Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件，该活动件装配于本体的容置槽内，并在一面设有至少一个第一X轴向定位件，另一面则设有至少一个第二X轴向定位件，另在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，以使活动件与本体于组装后保持平面，进而活动件的第一X轴向定位件与本体的第一Y轴向定位件组成第一定位组，以供大尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位，在翻转活动件后，则使活动件的第二X轴向定位件与本体的第二Y轴向定位件组成第二定位组，以供小尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位；如此，该承载机构可承置不同大、小尺寸的晶圆盒，不需费时拆卸更换及购置专用承载板，达到提升使用效能的实用效益。

Description

能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构

技术领域

本发明提供一种可便利装配不同大、小尺寸的晶圆盒，进而提升使用效能的承载机构。

背景技术

在现今，晶圆盒概分有8英寸、12英寸等不同大、小尺寸，并配置于各工作站以供取放不同尺寸的晶圆，各工作站则设有承载板，用来承置及定位晶圆盒，由于晶圆盒是规格品，SEMI(半导体设备及材料研究所)即针对不同大、小尺寸的晶圆盒与专用承载板间的定位方式作一规范，以确保专用承载板精确定位晶圆盒。

请参阅图1，是SEMI规范大尺寸晶圆盒11与承载板12的定位方式示意图，该大尺寸晶圆盒11的底面设有一为V型直槽111的卡合部，并设有两个为V型斜槽112、113的卡合部，该承载板12是在顶面相对应大尺寸晶圆盒11的V型直槽111位置设有Y轴向定位销121，并在相对应大尺寸晶圆盒11的二V型斜槽112、113位置设有X轴向定位销122、123；请参阅图2，在装配大尺寸晶圆盒11时，将大尺寸晶圆盒11的V型直槽111及V型斜槽112、113分别对位嵌置于承载板12的Y轴向定位销121及X轴向定位销122、123上，该承载板12可利用Y轴向定位销121限制大尺寸晶圆盒11作Y轴向位移，并以X轴向定位销122、123限制大尺寸晶圆盒11作X轴向位移，使得大尺寸晶圆盒11定位于承载板12上以供取放晶圆。

请参阅图3，是SEMI规范小尺寸晶圆盒13与承载板14的定位方式示意图，该小尺寸晶圆盒13是在两侧板131、132的底部连结有底板133，该底板133的底面则凸设有一为插块134的卡合部，该承载板14是在顶面的两侧分别设有复数个Y轴向定位块141，并在相对应小尺寸晶圆盒13的插块134位置设有二X轴向定位插座142；请参阅图4，在装配小尺寸晶圆盒13时，可将小尺寸晶圆盒13放置于承载板14两侧的各Y轴向定位块141间，使小尺寸晶圆盒13的两侧板131、132贴靠于侧方的各Y轴向定位块141，并使小尺寸晶圆盒13的插块134插置于承载板14的X轴向定位插座142，进而承载板14可利用各Y轴向定位块141限制小尺寸晶圆盒13作Y轴向位移，并以二X轴向定位插座142限制小尺寸晶圆盒13作X轴向位移，使得小尺寸晶圆盒13定位于承载板14上以供取放晶圆。

然而，不论大、小尺寸的晶圆盒11、13均配置有专用的承载板12、14，导致业者必须购置二种不同定位型态的承载板12、14，方可因应装配不同尺寸的晶圆盒11、13，又，不同定位型态的承载板12、14的数量繁多时，不仅相当占空间而不便于收整，若将复数个承载板12、14混合迭置存放，则不便于管理，再者，若工作站目前装配复数个承载板12，用来承载大尺寸晶圆盒11而执行取放晶圆作业，当工作站下一批次作业需应用小尺寸晶圆盒13以供取放晶圆时，即必须费时繁琐将大尺寸晶圆盒11专用的承载板12卸除，并重新装配小尺寸晶圆盒13专用的承载板14，造成使用不便的缺失。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于：提供一种能够装配不同大小尺寸的晶圆盒，以提升使用效能的承载机构。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，包含：

本体，设有容置槽，并在容置槽的周侧设有至少一个第一Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件；

活动件，装配于本体的容置槽内，并在一面设有至少一个第一X轴向定位件，另一面则设有至少一个第二X轴向定位件，活动件的第一X轴向定位件与本体的第一Y轴向定位件组成第一定位组，供大尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位，第二X轴向定位件与本体的第二Y轴向定位件组成第二定位组，供小尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位。

该本体在容置槽的后方设有一个为凸柱的第一Y轴向定位件，并在容置槽的两侧方分别设有两个为凸块的第二Y轴向定位件。

该本体为面板、座体或架体，用来承置晶圆盒。

该本体在容置槽的至少一个侧面凹设有至少一个缺槽。

该活动件在一面设有两个为凸柱的第一X轴向定位件，另一面则设有两个为定位插座的第二X轴向定位件。

还包含在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有至少一个承置部，在活动件的两端设有至少一个跨接部，并以跨接部跨置于本体的承置部上。

该结合结构在本体的容置槽两端分别设有承置部及嵌合部，并在活动件的两端分别设有第一跨接部及第二跨接部。

该结合结构在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的定位销及定位孔，另在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的螺孔及通孔，再以栓具穿置该通孔，该栓具并螺合于螺孔。

该结合结构在本体的承置部设有定位销，在活动件的第一跨接部设有第一定位孔，以及在第二跨接部设有第二定位孔。

该结合结构在本体的承置部设有螺孔，在活动件的第一跨接部设有第一通孔，以及在第二跨接部设有第二通孔。

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：

本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，该承载机构可承置不同大、小尺寸的晶圆盒，不需费时拆卸更换专用承载板，达到提升使用效能及便利性的实用效益。

本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，使活动件组装于本体上，且保持于同一平面，达到平稳承置晶圆盒的实用效益。

本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，该承载机构的活动件装配于本体上而可一并收置，不仅缩减收置空间，并可便于管理，达到提升使用效能的实用效益。

附图说明

图1是现有大尺寸晶圆盒与专用承载板的示意图；

图2是现有大尺寸晶圆盒与专用承载板的组装示意图；

图3是现有小尺寸晶圆盒与专用承载板的示意图；

图4是现有小尺寸晶圆盒与专用承载板的组装示意图；

图5是本发明承载机构的零件分解图；

图6是本发明承载机构与大尺寸晶圆盒的示意图；

图7是本发明承载机构的局部剖视图；

图8是本发明承载机构装配大尺寸晶圆盒的组装示意图；

图9是本发明承载机构装配大尺寸晶圆盒的平面示意图；

图10是本发明承载机构与小尺寸晶圆盒的示意图；

图11是本发明承载机构的局部剖视图；

图12是本发明承载机构装配小尺寸晶圆盒的组装示意图；

图13是本发明承载机构装配小尺寸晶圆盒的平面示意图。

附图标记说明：

现有技术：大尺寸晶圆盒11；V型直槽111；V型斜槽112、113；承载板12；Y轴向定位销121；X轴向定位销122、123；小尺寸晶圆盒13；侧板131、132；底板133；插块134；承载板14；Y轴向定位块141；X轴向定位插座142；

本发明：承载机构20；本体21；容置槽211；缺槽212；第一Y轴向定位件213；第二Y轴向定位件214；承置部215；嵌合部216；定位销217；螺孔218；活动件22；第一X轴向定位件221；第二X轴向定位件222；第一跨接部223；第二跨接部224；第一定位孔225；第一通孔226；第二定位孔227；第二通孔228；栓具23；大尺寸晶圆盒30；V型直槽31；V型斜槽32、33；容置空间34；小尺寸晶圆盒40；侧板41、42；底板43；插块44。

具体实施方式

为使贵审查委员对本发明作更进一步的了解，兹举一较佳实施例并配合图式，说明如后：

请参阅图5，本发明承载机构20包含有本体21及活动件22，该本体21可为面板、座体或架体，用来承置不同大小尺寸的晶圆盒，并设有可置入活动件22的容置槽211，在本实施例中，该本体21是一框座，并在顶面开设有一可容置活动件22的容置槽211，该容置槽211是在内侧面凹设有缺槽，在本实施例中，该容置槽211是在两侧面分别凹设有复数个缺槽212，用来辅助便利取出活动件22，又本体21是在容置槽211的周侧设有至少一个第一Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件，在本实施例中，是在容置槽211的后方固设有一为凸柱的第一Y轴向定位件213，并在容置槽211的两侧分别固设有复数个为凸块的第二Y轴向定位件214，该活动件22装配于本体21的容置槽211内，并在一面设有至少一个第一X轴向定位件，在另一面设有至少一个第二X轴向定位件，在本实施例中，该活动件22在一面设有两个为凸柱的第一X轴向定位件221，并在另一面设有两个为定位插座的第二X轴向定位件222，另在活动件22与本体21的容置槽211间设有结合结构，该结合结构是在本体21的容置槽211两端分别设有至少一个承置部，而活动件22的两端则分别设有至少一个跨接部，用来跨置定位于本体21的承置部上，并与本体21保持同一平面，在本实施例中，该结合结构是在本体21的容置槽211两端分别设有承置部215及嵌合部216，并在活动件22的两端分别设有第一跨接部223及第二跨接部224，在活动件22的第一跨接部223跨置于本体21的承置部215上时，第二跨接部224则嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件22与本体21相互组装，并保持同一平面，反之，在翻转活动件22使第二跨接部224跨置于本体21的承置部215上时，第一跨接部223则嵌入于本体21的嵌合部216内，也使得活动件22与本体21相互组装，并保持同一平面，再者，该结合结构更包含于本体21的承置部与活动件22的跨接部间设有相互配合的定位销与定位孔，以及相互配合的螺孔与通孔，再以栓具穿置通孔，并螺合于螺孔，使活动件22组装定位于本体21的容置槽211内，在本实施例中，该结合结构是在本体21的承置部215设有定位销217及螺孔218，在活动件22的第一跨接部223设有第一定位孔225及第一通孔226，以及于第二跨接部224设有第二定位孔227及第二通孔228，活动件22的第一定位孔225或第二定位孔227可套置于本体21的定位销217，使活动件22精确定位，而第一通孔226或第二通孔228则供栓具23穿置，并螺合于本体21的螺孔218，将活动件22组装于本体21上。

请参阅图6、图7，该大尺寸晶圆盒30是规格品，其是在底面相对应承载机构20本体21的第一Y轴向定位件213位置设有一为V型直槽31的卡合部，并在底面相对应活动件22的第一X轴向定位件221位置设有两个为V型斜槽32、33的卡合部，另在大尺寸晶圆盒30的底面凹设有容置空间34，当承载机构20欲装配大尺寸晶圆盒30时，先将活动件22的第一X轴向定位件221朝向上方，并以第一跨接部223上的第一定位孔225套置于本体21承置部215的定位销217上，使第一跨接部223跨置于本体21的承置部215上，而辅助活动件22精确定位，由于第二跨接部224与第一跨接部223具有高低位差，第二跨接部224可嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件22与本体21保持同一平面，再以栓具23穿置活动件22的第一通孔226，并螺合于本体21的螺孔218，进而将活动件22锁固组装于本体21上，使活动件22的第一X轴向定位件221与本体21的第一Y轴向定位件213组成第一定位组；请参阅图8、图9，在装配大尺寸晶圆盒30时，可将大尺寸晶圆盒30的V型直槽31及V型斜槽32、33分别对位嵌套于承载机构20的本体21的第一Y轴向定位件213及活动件22的第一X轴向定位件221上，由于大尺寸晶圆盒30的底面凹设有容置空间34，使得本体21的各第二Y轴向定位件214可位于大尺寸晶圆盒30的容置空间34，进而承载机构20可利用本体21的第一Y轴向定位件213与大尺寸晶圆盒30的V型直槽31相互卡掣，以防止大尺寸晶圆盒30作Y轴向位移，并以活动件22的第一X轴向定位件221与大尺寸晶圆盒30的V型斜槽32、33相互卡掣，以防止大尺寸晶圆盒30作X轴向位移，使得大尺寸晶圆盒30稳固定位于承载机构20上以供取放晶圆。

请参阅图10、图11，该小尺寸晶圆盒40是规格品，并在两侧板41、42的底部连结有底板43，该底板43的底面则凸设有一为插块44的卡合部，当承载机构20欲装配小尺寸晶圆盒40时，可先将活动件22上的栓具23卸除，并翻转活动件22，使活动件22的第二X轴向定位件222朝向上方，并以第二跨接部224上的第二定位孔227套置于本体21的定位销217上，使第二跨接部224跨置于本体21的承置部215上，以辅助活动件22精确定位，由于第二跨接部224与第一跨接部223具有高低位差，第一跨接部223可嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件22与本体21保持同一平面，再以栓具23穿置活动件22的第二通孔228，并螺合于本体21的螺孔218，进而将活动件22锁固组装于本体21上，使活动件22的第二X轴向定位件222与本体21的第二Y轴向定位件214组成第二定位组；请参阅图12、图13，在装配小尺寸晶圆盒40时，可将小尺寸晶圆盒40放置于本体21的各第二Y轴向定位块214间，使小尺寸晶圆盒40的两侧板41、42贴靠于侧方的各第二Y轴向定位块214，并以小尺寸晶圆盒40的插块44插置于活动件22的第二X轴向定位件222，进而承载机构20可利用本体21的第二Y轴向定位块214卡掣于小尺寸晶圆盒40的两侧板41、42，以防止小尺寸晶圆盒40作Y轴向位移，并以活动件22的第二X轴向定位件222与小尺寸晶圆盒40的插块44相互卡掣，以防止小尺寸晶圆盒40作X轴向位移，使得小尺寸晶圆盒40稳固定位于承载机构20上以供取放晶圆。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体在容置槽的后方设有一个为凸柱的第一Y轴向定位件，并在容置槽的两侧方分别设有两个为凸块的第二Y轴向定位件。

3.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体为面板、座体或架体，用来承置晶圆盒。

4.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体在容置槽的至少一个侧面凹设有至少一个缺槽。

5.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该活动件在一面设有两个为凸柱的第一X轴向定位件，另一面则设有两个为定位插座的第二X轴向定位件。

6.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，还包含在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有至少一个承置部，在活动件的两端设有至少一个跨接部，并以跨接部跨置于本体的承置部上。

7.根据权利要求6所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有承置部及嵌合部，并在活动件的两端分别设有第一跨接部及第二跨接部。

8.根据权利要求7所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的定位销及定位孔，另在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的螺孔及通孔，再以栓具穿置该通孔，该栓具并螺合于螺孔。

9.根据权利要求8所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部设有定位销，在活动件的第一跨接部设有第一定位孔，以及在第二跨接部设有第二定位孔。

10.根据权利要求8所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部设有螺孔，在活动件的第一跨接部设有第一通孔，以及在第二跨接部设有第二通孔。