CN220041812U - 一种晶圆输运篮 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种晶圆输运篮，涉及半导体生产设备技术领域，本申请的晶圆输运篮，包括篮体以及间隔设置于篮体内侧壁上的晶圆槽，篮体包括供晶圆进出的开口，靠近开口的篮体的内侧壁还滑动设置有锁合件，锁合件上间隔设置有多个卡合槽，相邻两个卡合槽之间的距离与相邻两个晶圆槽之间的距离相等，以使锁合件受驱向上时，卡合槽与晶圆槽一一对齐；在自然状态下，锁合件由于重力向下运动伸出篮体，卡合槽与晶圆槽错位。本申请提供的晶圆输运篮，能够简化锁合结构的结构，使得锁合结构操作方便易行。

Description

一种晶圆输运篮

技术领域

本申请涉及半导体生产设备技术领域，具体而言，涉及一种晶圆输运篮。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，是一种成本较高的产品；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的电子产品。在半导体芯片自动化车间加工晶圆产品时，需要对加工后的晶圆进行转移，常用的工具即为晶圆输运篮。其中，为了避免多块晶圆叠放运输，造成晶圆的污染、划伤、破损，影响产品质量，晶圆输运篮中包括多个间隔层叠设置的晶圆槽，具体的，晶圆输运篮包括具有开口的篮体，篮体的内侧壁间隔设置晶圆槽，晶圆由开口进入篮体内，且晶圆的边缘设置于晶圆槽内实现晶圆的放置。

现有技术中，为了避免晶圆输运篮在运输过程中晶圆由开口处滑出掉落，在开口处设置锁合结构，在取放晶圆时，打开锁合结构，使得晶圆能够由开口进入晶圆输运篮或者由晶圆输运篮取出；在输运过程中，锁合结构锁合，锁合结构阻挡晶圆，使得晶圆不能滑落。但是，现有技术中的锁合结构包括挡片、锁止开关等等部件，使得锁合结构的结构比较复杂，且使用不方便，需要经常解锁或者锁合。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种晶圆输运篮，能够简化锁合结构，使得锁合结构操作方便易行。

本申请的实施例一方面提供了一种晶圆输运篮，包括篮体以及间隔设置于篮体内侧壁上的晶圆槽，篮体包括供晶圆进出的开口，靠近开口的篮体的内侧壁还滑动设置有锁合件，锁合件上间隔设置有多个卡合槽，相邻两个卡合槽之间的距离与相邻两个晶圆槽之间的距离相等，以使锁合件受驱向上时，卡合槽与晶圆槽一一对齐；在自然状态下，锁合件由于重力向下运动伸出篮体，使得卡合槽与晶圆槽错位。

作为一种可实施的方式，锁合件为条形，多个卡合槽沿条形的延伸方向排列，篮体的内侧壁开设有安装槽,安装槽沿多个晶圆槽排列方向延伸，锁合件滑动设置于安装槽内。

作为一种可实施的方式，晶圆输运篮还包括固定件，固定件与安装槽两侧的内壁分别连接，以限制锁合件在水平面内的移动。

作为一种可实施的方式，锁合件的顶部设置有限位凸起，篮体内侧壁的顶部对应限位凸起设置有限位件，以限制锁合件下落的距离。

作为一种可实施的方式，限位件与内侧壁顶端之间的距离为H，相邻两个卡合槽之间的距离为L,其中H=L/2。

作为一种可实施的方式，晶圆输运篮包括两个锁合件，两个锁合件分别位于开口的两侧的内侧壁上。

作为一种可实施的方式，篮体包括相对设置左槽板和右槽板，以及连接左槽板和右槽板的顶板和连接柱，连接柱与顶板相对设置作为晶圆输运篮的底，晶圆槽设置于左槽板和右槽板上，开口形成于左槽板和右槽板的第一端之间。

作为一种可实施的方式，右槽板和左槽板上的第二端还分别设置有止挡结构，止挡结构用于阻止晶圆由止挡结构处滑落。

作为一种可实施的方式，顶板上转动设置有提手，提手通过弹性件与顶板连接，弹性件在提手与顶板垂直时蓄积势能。

作为一种可实施的方式，晶圆输运篮包括两个固定件，两个固定件分别设置于安装槽的两端。

本申请实施例的有益效果包括：

本申请提供的晶圆输运篮，包括篮体以及间隔设置于篮体内侧壁上的晶圆槽，篮体包括供晶圆进出的开口，靠近开口的篮体的内侧壁还滑动设置有锁合件，锁合件上间隔设置有多个卡合槽，相邻两个卡合槽之间的距离与相邻两个晶圆槽之间的距离相等，以使锁合件受驱向上时，卡合槽与晶圆槽一一对齐，此时，晶圆可以有开口进入或取出篮体；在自然状态下，锁合件由于重力向下运动伸出篮体，卡合槽与晶圆槽错位，此时，由于卡合槽与晶圆槽错位，而卡合槽设置于靠近开口的篮体的内侧壁，使得卡合槽的侧壁封堵了晶圆进入或取出晶圆槽的通路，此时，晶圆不能进入或者取出晶圆槽。具体的，当晶圆输运篮放置或取出晶圆时，晶圆输运篮放置于工作台上，工作台对锁合件施加向上的抵持力，使得锁合件向上运动，此时，锁合件的卡合槽与晶圆槽一一对齐，卡合槽与晶圆槽作为连通的通道，此时，晶圆可以通过通道进入或者取出篮体，实现晶圆的放置或者取出；当需要运输晶圆时，晶圆输运篮被提起，此时，锁合件由于重力向下运动伸出篮体，此时，卡合槽与晶圆槽错位，这样，晶圆进去或者取出篮体的通道被卡合槽的侧壁封堵，使得晶圆不能由开口处掉落实现篮体的锁合。本申请的锁合件利用重力实现锁合，利用工作台面的抵持实现解锁，不需要单独的锁合组件，也不需要进行锁合或者解锁操作，从而简化锁合结构，使得锁合结构操作简单，方便易行。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的一种晶圆输运篮的结构示意图之一；

图2为本申请实施例提供的一种晶圆输运篮的结构示意图之二；

图3为本申请实施例提供的一种晶圆输运篮的结构示意图之三；

图4为本申请实施例提供的一种晶圆输运篮的状态图之一；

图5为本申请实施例提供的一种晶圆输运篮的状态图之二。

图标：10-晶圆输运篮；11-篮体；111-左槽板；112-右槽板；113-顶板；114-连接柱；115-止挡结构；116-提手；12-晶圆槽；121-开口；13-锁合件；131-卡合槽；14-固定件；15-限位凸起。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

晶圆输运篮在输运晶圆时，存在晶圆由开口处滑出掉落的情况，现有技术中在开口处设置锁合结构，但是，现有技术中的锁合结构的部件较多，结构复杂，且需要进行开锁和解锁的动作，使用不方便。

本申请提供了一种晶圆输运篮10，如图1、图2和图3所示，包括篮体11以及间隔设置于篮体11内侧壁上的晶圆槽12，篮体11包括供晶圆进出的开口121，靠近开口121的篮体11的内侧壁还滑动设置有锁合件13，锁合件13上间隔设置有多个卡合槽131，相邻两个卡合槽131之间的距离与相邻两个晶圆槽12之间的距离相等，以使锁合件13受驱向上时，卡合槽131与晶圆槽12一一对齐；在自然状态下，锁合件13由于重力向下运动伸出篮体11，卡合槽131与晶圆槽12错位。

在实际应用中，当晶圆输运篮10运输晶圆时，晶圆输运篮10被提起，使得锁合件13处于自然状态，锁合件13在自然状态下时，由于重力向下运动伸出篮体11，且卡合槽131与晶圆槽12错位，如图4所示，此时，卡合槽131的侧壁封堵了晶圆槽12，使得晶圆不能由开口121处滑落。当晶圆输运篮10放置或者取出晶圆时，晶圆输运篮10被放置于工作台上，由于锁合件13伸出篮体11，使得锁合件13的端部首先与工作台接触，在工作台的抵持下，锁合件13相对于篮体11向上运动，此时，卡合槽131与晶圆槽12一一对齐，如图5所示，使得卡合槽131与晶圆槽12形成连通的通道，晶圆可以由通道进入或者取出晶圆槽12，实现晶圆的存取。

本申请实施例提供的晶圆输运篮10，利用锁合件13的重力与工作台的抵持，实现晶圆的锁合与解锁，不需要额外的锁合组件，从而简化晶圆输运篮10的锁合结构。另外，将晶圆输运篮10提起，使其离开工作台，取消对锁合件13的抵持即可实现锁合；将晶圆输运篮10放置于工作台上，使得工作台抵持锁合件13即可实现解锁，而将晶圆输运篮10放置于工作台和提起晶圆输运篮10是晶圆输运过程中的动作，即不需要额外的动作即可实现晶圆的锁合与解锁，使得本申请实施例的晶圆输运篮10方便易行。

需要说明的是，相邻两个卡合槽131之间的距离是指相邻两个卡合槽131的中心之间的距离，同样的，相邻两个晶圆槽12之间的距离是指相邻两个晶圆槽12的中心之间的距离。

其中，为了方便晶圆的放置或者取出，卡合槽131的宽度应当与晶圆槽12的宽度相同，如图2所示，在晶圆放置或者取出的方向上，卡合槽131与晶圆槽12完全重合。当然，在其他实施例中，卡合槽131与晶圆槽12也可以部分重合。

本申请提供的晶圆输运篮10，当晶圆输运篮10放置或取出晶圆时，晶圆输运篮10放置于工作台上，工作台对锁合件13施加向上的抵持力，使得锁合件13向上运动，此时，锁合件13的卡合槽131与晶圆槽12一一对齐，卡合槽131与晶圆槽12作为连通的通道，此时，晶圆可以通过通道进入或者取出篮体11，实现晶圆的放置或者取出；当需要运输晶圆时，晶圆输运篮10被提起，此时，锁合件13由于重力向下运动伸出篮体11，此时，卡合槽131与晶圆槽12错位，这样，晶圆进去或者取出篮体11的通道被卡合槽131的侧壁封堵，使得晶圆不能由开口121处掉落实现篮体11的锁合。本申请的锁合件13利用重力实现锁合，利用工作台面的抵持实现解锁，不需要单独的锁合组件，也不需要进行锁合或者解锁操作，从而简化锁合结构，使得锁合结构操作简单，方便易行。

可选的，如图1、图2和图3所示，锁合件13为条形，多个卡合槽131沿条形的延伸方向排列，篮体11的内侧壁开设有安装槽,安装槽沿多个晶圆槽12排列方向延伸，锁合件13滑动设置于安装槽内。

为了减少锁合件13占用篮体11内侧壁的面积，将锁合件13设置为条形，且靠近开口121，使得晶圆槽12占有较大面积，便于晶圆的放置。另外，将锁合件13设置为条形，方便在安装槽内滑动，实现锁合和解锁。

本申请实施例的一种可实现的方式中，如图2所示，晶圆输运篮10还包括固定件14，固定件14与安装槽两侧的内壁分别连接，以限制锁合件13在水平面内的移动。

为了避免锁合件13在竖直运动时，偏离侧壁，本申请实施例在安装槽上设置固定件14，固定件14与安装槽两侧的内壁分别连接，锁合件13设置于安装槽内，使得固定件14在安装槽与固定件14形成的空间内竖直上下运动。避免了锁合件13偏移，造成晶圆的损坏或者锁合不成功。

可选的，锁合件13的顶部设置有限位凸起15，篮体11内侧壁的顶部对应限位凸起15设置有限位件，以限制锁合件13下落的距离。

在锁合件13的顶部设置限位凸起15，对应在篮体11内侧壁的顶部设置限位件，在锁合件13下落的过程中，当限位凸起15遇到限位件时，受到限位件的阻碍，停止下落，避免了锁合件13下落的距离过大，使其伸出篮体11的距离过长，在输运过程中，伸出的部分容易与车间内其他物件碰撞，提高了输运的安全性。

在实际使用中，如图2所示，固定件14和限位件可以合二为一，在实现限制锁合件13在水平面内移动的同时，还能够限制锁合件13下落的距离。

本申请实施例的一种可实现的方式中，限位件与内侧壁顶端之间的距离为H，相邻两个卡合槽131之间的距离为L,其中H=L/2。

限位件与内侧壁顶端之间的距离，与相邻两个卡合槽131之间的距离关系式满足H=L/2，使得锁合件13在重力作用下下落的距离为H，能够进一步减小锁合件13下落的距离，提高输运过程中的便利性。

可选的，晶圆输运篮10包括两个锁合件13，两个锁合件13分别位于开口121的两侧的内侧壁上。

两个锁合件13分别设置于开口121的两侧壁，两个锁合件13同时工作，在晶圆输运篮10输运过程中，两个锁合件13分别对晶圆的两侧进行阻挡，防止晶圆滑落，提高晶圆在晶圆槽12内位置的稳定性。

在其他一些实施方式中，可以在开口121的一侧壁设置锁合件13，在开口121的领域侧边设置与侧壁转动连接的档杆，如图1所示，放置或者取出晶圆时，将档杆转动至开口121外侧，便于晶圆的放置和取出，输运时，将档杆转动至开口121处，作为晶圆的阻挡件。

本申请实施例的一种可实现的方式中，如图1、图2和图3所示，篮体11包括相对设置左槽板111和右槽板112，以及连接左槽板111和右槽板112的顶板113和连接柱114，连接柱114与顶板113相对设置作为晶圆输运篮10的底，晶圆槽12设置于左槽板111和右槽板112上。

由于晶圆输运篮10在输运晶圆时，内部放置有多个晶圆，而且篮体11自身具有一定的重量，使得装有晶圆输运篮10具有较大的质量，给输运人员增加负担。为了减轻晶圆输运篮10的质量，本申请实施例的篮体11包括相对设置的左槽板111和右槽板112，以及由两侧分别连接左槽板111和右槽板112的顶板113和连接柱114，其中，左槽板111和右槽板112上设置晶圆槽12以对晶圆的相对两端进行承托，实现晶圆的放置，顶板113和连接柱114的作为连接左槽板111和右槽板112的连接件，本申请实施例的篮体11在保证篮体11的盛放作用下，近可能减少篮体11的部件，从而减轻篮体11的质量。

具体的，篮体11中各个部件的材料本申请实施例不做限制，本领域技术人员可以根据实际情况进行具体选择。

可选的，如图2所示，开口形成于左槽板和右槽板的第一端之间，右槽板112和左槽板111上的第二端还分别设置有止挡结构115，止挡结构115用于阻止晶圆由止挡结构115处滑落。

当篮体11包括左槽板111和右槽板112时，左槽板111和右槽板112之间具有正面的开口121以及背面的连通口，为了避免晶圆连通口滑落，本申请实施例在左槽板111和右槽板112上设置止挡结构115，止挡结构115与开口121分别位于左槽板111和右槽板112的两端，止挡结构115阻止晶圆由连通口处滑落。

其中，止挡结构115的具体结构本申请实施例不做限制，本领域技术人员可以根据实际情况进行设置，示例的，可以如图2和图3所示，在连通口处的内侧壁上固定阻挡条，阻挡条封堵晶圆槽12，从而阻挡晶圆由此处滑落。

本申请实施例的一种可实现的方式中，如图1所示，顶板113上转动设置有提手116，提手116通过弹性件与顶板113连接，弹性件在提手116与顶板113垂直时蓄积势能。

在顶板113上设置提手116，在晶圆输运过程中，操作人员可以手握提手116进行晶圆输运篮10的转移。本申请实施例中，将提手116通过弹性件与顶板113连接，弹性件在提手116与顶板113垂直时蓄积势能。操作人员手提晶圆输运篮10时，提手116与顶板113垂直，此时弹性件蓄积势能，当操作人员放手时，由于弹性势能的存在，使得提手116向顶板113靠近，直至与顶板113平行，使得提手116在不使用时，不额外占用垂直方向上的距离，避免了晶圆放置或者取出时，碰到把手造成晶圆输运篮10的倾斜、甚至翻转。

可选的，如图2所示，晶圆输运篮10包括两个固定件14，两个固定件14分别设置于安装槽的两端。

为了提高锁合件13在安装槽内滑动的稳定性，可以设置两个固定件14，两个固定件14分别设置于安装槽的两端，这样，两个固定件14由两端对锁合件13的水平方向上移动进行限位，从而增加了锁合件13在垂直方向运动时的稳定性。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆输运篮，其特征在于，包括篮体以及间隔设置于所述篮体内侧壁上的晶圆槽，所述篮体包括供晶圆进出的开口，靠近所述开口的篮体的内侧壁还滑动设置有锁合件，所述锁合件上间隔设置有多个卡合槽，相邻两个所述卡合槽之间的距离与相邻两个所述晶圆槽之间的距离相等，以使所述锁合件受驱向上时，所述卡合槽与所述晶圆槽一一对齐；在自然状态下，所述锁合件由于重力向下运动伸出所述篮体，卡合槽与所述晶圆槽错位。

2.根据权利要求1所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述锁合件为条形，多个所述卡合槽沿所述条形的延伸方向排列，所述篮体的内侧壁开设有安装槽,所述安装槽沿多个所述晶圆槽排列方向延伸，所述锁合件滑动设置于所述安装槽内。

3.根据权利要求2所述的晶圆输运篮，其特征在于，还包括固定件，所述固定件与所述安装槽两侧的内壁分别连接，以限制所述锁合件在水平面内的移动。

4.根据权利要求2所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述锁合件的顶部设置有限位凸起，所述篮体内侧壁的顶部对应所述限位凸起设置有限位件，以限制所述锁合件下落的距离。

5.根据权利要求4所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述限位件与所述内侧壁顶端之间的距离为H，相邻两个所述卡合槽之间的距离为L,其中H=L/2。

6.根据权利要求1所述的晶圆输运篮，其特征在于，包括两个所述锁合件，两个所述锁合件分别位于所述开口的两侧的内侧壁上。

7.根据权利要求1所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述篮体包括相对设置左槽板和右槽板，以及连接所述左槽板和右槽板的顶板和连接柱，所述连接柱与所述顶板相对设置作为晶圆输运篮的底，所述晶圆槽设置于所述左槽板和所述右槽板上，所述开口形成于所述左槽板和所述右槽板的第一端之间。

8.根据权利要求7所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述右槽板和所述左槽板第二端还分别设置有的止挡结构，所述止挡结构用于阻止所述晶圆由止挡结构处滑落。

9.根据权利要求7所述的晶圆输运篮，其特征在于，所述顶板上转动设置有提手，所述提手通过弹性件与所述顶板连接，所述弹性件在所述提手与所述顶板垂直时蓄积势能。

10.根据权利要求3所述的晶圆输运篮，其特征在于，包括两个所述固定件，两个所述固定件分别设置于所述安装槽的两端。