KR20150068053A - 캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법 - Google Patents

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Abstract

캐리어를 세정하는 소요되는 시간을 줄여서 세정이 효율적이며, 단위 시간당 높은 처리율을 가지는 캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법을 제시한다. 그 장치 및 방법은 캐리어를 세정하기 위한 세정용 챔버에 있어서, 세정용 챔버는 캐리어의 커버를 수납하여 고속회전 유닛에 의해 고속으로 세정하는 커버 세정용 원형박스가 로딩되는 커버용 셀 및 캐리어의 본체를 수납하여 저속회전 유닛에 의해 저속으로 세정하는 본체 세정용 원형박스가 로딩되는 본체용 셀을 포함하고, 커버 세정용 원형박스 및 본체 세정용 원형박스는 각각 커버용 셀에 설치된 커버 업다운 유닛 및 본체용 셀에 설치된 본체 업다운 유닛에 의해 독립적으로 구동된다.

Description

캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법{Apparatus of cleaning carrier and method of cleaning the carrier}
본 발명은 캐리어 세정 장치 및 캐리어 세정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼나 미세전자소자, 예를 들어 반도체 소자, 평판 디스플레이, LED 등을 수납하는 캐리어를 세정하는 장치 및 캐리어를 세정하는 방법에 관한 것이다.
캐리어(carrier)는 기판이나 미세전자소자를 운반 및 보관 용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 'FOSB')와 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')와 같은 캐리어가 사용된다. 예를 들어, 300mm의 직경을 갖는 기판을 가공하는 장치에서, 기판 이송은 기판을 수납하기 위한 FOUP를 적용하고 있다. 캐리어는 일반적으로 캐리어 본체와 상기 본체를 밀봉하여 기판을 보관 및 반송할 수 있도록 상기 본체에 초청정한 내부 환경을 제공하는 커버로 구성된다. 기판은 본체 내로 삽입될 수 있는 카세트나 캐리어의 내부에 설치된 선반에 의해 지지된다.
캐리어는 불순물 즉 입자상 물질 및 공기 중의 분자 오염물과 같은 다수의 오염원에 노출되어 있다. 기판이 캐리어 내에 놓여 있을 때나 캐리어를 장기간 저장하게 되면, 이들 오염원은 캐리어 내로 침투될 수 있으므로, 이를 주기적으로 세정하여야 한다. 종래의 세정 장치는 캐리어 본체와 커버를 분리하는 오프너(opener)에 의해 분리된 본체와 커버 각각을 하나의 챔버(chamber)의 상부 및 하부에 로딩(loading)하여 일정한 세정 시간이 지난 후에 언로딩(unloading)하여 세정을 마치게 된다.
그런데, 캐리어 세정에 있어서, 캐리어 본체를 세정하는 방법, 조건 및 시간이 커버를 세정하는 방법, 조건 및 시간과 다름에도 불구하고, 하나의 챔버에서 세정할 경우 불합리 하지만, 커버와 본체를 함께 세정해야만 하는 실정이다. 만일, 여러 개의 캐리어를 세정하는 경우, 방법 및 조건이 달라서 세정 및 건조 시간에 영향을 주는 것은 물론, 결국 낮은 세정 처리율에 직결된다. 즉, 종래의 세정장치는 커버가 세정 및 건조 시간이 짧지만, 본체의 세정 및 건조시간에 함께 진행함으로써, 캐리어를 세정하는 시간이 지연되어 세정이 비효율적이어서 낮은 처리율을 가진다는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 캐리어를 세정하는 방법 및 조건과 소요되는 시간을 줄여서 세정이 효율적이며, 여러 개의 캐리어를 세정하는 경우 단위 시간당 높은 처리율을 가지는 캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 캐리어 세정 장치는 캐리어를 세정하기 위한 세정용 챔버에 있어서, 상기 세정용 챔버는 상기 캐리어의 커버를 수납하여 고속회전 유닛에 의해 고속으로 세정하는 커버 세정용 원형박스가 로딩되는 커버용 셀 및 상기 캐리어의 본체를 수납하여 저속회전 유닛에 의해 저속으로 세정하는 본체 세정용 원형박스가 로딩되는 본체용 셀을 포함한다. 이때, 상기 커버 세정용 원형박스 및 상기 본체 세정용 원형박스는 각각 상기 커버용 셀에 설치된 커버 업다운 유닛 및 상기 본체용 셀에 설치된 본체 업다운 유닛에 의해 독립적으로 구동된다.
본 발명의 장치에 있어서, 상기 고속회전 유닛의 회전수는 200~300rpm이고, 상기 저속회전 유닛의 회전수는 5~10rpm일 수 있다. 상기 캐리어는 FOUP 또는 FOSB인 것이 바람직하다. 상기 커버 업다운 유닛은 상기 커버를 수납하고 분리하고, 상기 본체 업다운 유닛은 상기 본체를 수납하고 분리할 수 있다. 상기 커버 세정용 원형박스에서 상기 커버는 진공흡착부에 의해 흡착되고, 상기 본체 세정용 원형박스에서 상기 커버는 스테이지에 놓일 수 있다.
본 발명의 바람직한 장치에 상기 세정용 챔버는 각각 상기 커버용 셀 및 상기 본체용 셀에 로딩된 상기 커버 세정용 원형박스 및 상기 본체 세정용 원형박스를 각 세트로 하는 복수개의 세트를 구비할 수 있다. 상기 각각의 세트는 세정 과정을 서로 달리하거나 상기 각 세트마다 커버 및 본체의 세정과정을 독립적으로 수행할 수 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 캐리어 세정 방법은 캐리어의 커버를 수납하여 고속회전 유닛에 의해 고속으로 세정하는 커버 세정용 원형박스가 로딩되는 커버용 셀 및 캐리어의 본체를 수납하여 저속회전 유닛에 의해 저속으로 세정하는 본체 세정용 원형박스가 로딩되는 본체용 셀을 포함하는 세정용 챔버를 이용하여, 상기 캐리어 커버를 수납하고 상기 커버용 셀에 로딩되는 커버 세정용 원형박스 및 상기 캐리어 본체를 수납하고 상기 본체용 셀에 로딩되는 본체 세정용 원형박스에 의해 상기 캐리어 커버와 상기 캐리어 본체를 각각 독립적으로 세정한다.
본 발명의 방법에 있어서, 상기 본체 세정용 원형박스에 상기 본체를 수납하여 세정한 후, 상기 커버 세정용 원형박스에 상기 커버를 수납하여 세정할 수 있다. 상기 본체 세정용 원형박스에 상기 본체를 수납하여 세정하는 것과 동시에, 상기 커버 세정용 원형박스에 상기 커버를 수납하여 세정할 수 있다.
본 발명의 캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법에 의하면, 캐리어 본체와 캐리어 커버를 분리하여 각각 별도로 세정함으로써, 캐리어를 세정하는 시간을 줄여서 세정이 효율적이고 여러 개의 캐리어를 세정하는 경우 단위 시간당 높은 처리율을 가질 수 있다. 즉, 캐리어 본체와 커버의 세정에 소요되는 시간의 차이를 효율적으로 조절하여 단위 시간당 캐리어가 세정되는 처리율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명에 적용되는 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 캐리어를 세정하는 과정을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명에 의한 캐리어를 세정하는 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 정면 방향을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 의한 캐리어 세정장치에 의해 캐리어가 세정되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 의한 캐리어 세정장치에 의해 세정을 마친 캐리어가 분리되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명에 의한 캐리어를 세정하는 하나의 사례를 제시하는 흐름도이다.
도 8은 본 발명에 의한 캐리어를 세정하는 다른 사례를 제시하는 흐름도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
본 발명의 실시예는 캐리어 본체와 캐리어 커버를 분리하여 각각 별도로 세정함으로써, 캐리어를 세정하는 시간을 줄여서 세정이 효율적이고 단위 시간당 높은 처리율을 가지는 캐리어 세정 장치 및 그 세정 방법을 제시한다. 여기서, 세정이란 세척 후 건조까지 포함한 것이다. 이를 위해, 캐리어 본체와 캐리어 커버를 분리하여 각각 별도로 세정하는 장치에 대해 설명하고, 상기 장치를 통하여 캐리어를 세정하는 방법을 상세하게 살펴보기로 한다. 한편, 캐리어는 기판이나 미세전자소자를 운반, 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')를 예로 들겠으나, 본 발명의 범주 내에서 다른 형태의 캐리어도 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 적용되는 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, FOUP은 기판을 약 25매 단위로 보관하는 캐리어로서, 기판의 가공할 때 로드 포트(lord port)에 장착되어 기판을 꺼내거나 보관하는 데 사용된다. FOUP 본체 내부에 기판이 수납될 수 있는 다수의 슬롯이 설치되어 있다. 가공을 위하여 FOUP 커버를 열어 기판을 꺼내고, 공정이 완료되면 웨이퍼를 슬롯에 수납한 후에 커버를 닫아서 보관한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 캐리어를 세정하는 과정을 설명하기 위한 블록도이다. 이때, 캐리어의 사례인 FOUP의 구조에 대해서는 도 1을 참조하기로 한다.
도 2에 의하면, 본 발명의 캐리어를 세정하기 위하여, FOUP의 본체와 커버를 분리하는 분리부(50), 분리된 본체와 커버를 각각 별도의 셀에 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하기 위한 로딩/언로딩부(60) 및 로딩된 본체와 커버를 세정하기 위한 세정부(70)를 포함한다. 상기 세정 과정은 간략하게 개념적으로 설명한 것에 불과하므로, 실제 사용할 때에는 각각의 구성요소의 동작을 최적화하기 위하여 다양한 구조물을 부가할 수 있다. 이하에서는 본 발명의 실시예는 본체와 커버를 세정부(70)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어를 세정하는 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 정면도이다. 이때, 세정하는 장치는 도 2의 세정부(70)에 해당하고, 캐리어는 FOUP을 사례로 들어 설명하기로 한다.
도 3에 따르면, 세정부(70)는 캐리어 커버인 FOUP 커버를 세정하기 위한 공간을 제공하는 커버용 셀(10a) 및 캐리어 본체인 FOUP 본체를 세정하기 위한 공간을 제공하는 본체용 셀(10b)로 이루어진 세정용 챔버(10)를 포함한다. 도면에서는 지면에 대하여 커버용 셀(10a)이 본체용 셀(10b)보다 상부에 위치하는 것으로 되어 있으나, 경우에 따라 본체용 셀(10b)이 상부에 위치할 수도 있고 커버용 셀(10a)과 본체용 셀(10b)이 좌우로 배치될 수도 있다. 또한 커버용 셀(10a)이 차지하는 공간의 크기는 본체용 셀(10b)보다 작은 것이 바람직하다.
커버용 셀(10a)에는 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 세정용 원형박스(24)가 로딩/언로딩될 수 있다. 커버 세정용 원형박스(24) 내에는 캐리어 커버가 수납되고, 상기 원형박스(24) 내에 구비된 커버 세정용 노즐에 의해 캐리어 커버가 세정된다. 본체용 셀(10b)에는 캐리어 본체를 세정하기 위한 본체 세정용 원형박스(30)가 로딩/언로딩될 수 있다. 본체 세정용 원형박스(30) 내에는 캐리어 본체가 수납되고, 상기 원형박스(30) 내에 구비된 본체 세정용 노즐에 의해 캐리어 본체가 세정된다. 이와 같이, 본 발명의 실시예는 캐리어 커버 및 캐리어 본체를 독립적으로 각각 별도의 셀 및 원형박스에서 세정을 진행한다.
본 발명의 커버용 셀(10a)에는 적어도 하나의 커버 세정용 원형박스(24)가 로딩될 수 있고, 본체용 셀(10b)에는 커버 세정용 원형박스(24)와 동일한 개수의 본체 세정용 원형박스(30)가 로딩될 수 있다. 도면에서는 두 개의 커버 세정용 원형박스(24)와 두 개의 본체 세정용 원형박스(30)가 배치된 상태를 표현하였다. 또한, 한 세트의 원형박스(24, 30)를 각각 A열 및 B열로 표시하였다. 하지만, 본 발명의 범주 내에서 더 많은 수의 원형박스(24, 30)를 챔버(10)에 적재할 수 있다. 여기서, 원형박스(24, 30)를 원형으로 하는 이유는 캐리어 세정할 때 캐리어에 공급된 세정액이 원심력으로 박스 내측의 외부로 향하게 된다. 그런데 원형박스인 경우 소용돌이 현상이 원활하게 발생하여 상기 세정액이 캐리어에 다시 묻는 현상을 억제한다. 또한, 상기 세정액이 아래 배수로로 원활히 빠져 나가게 하는 효과가 있다. 즉, 상기 소용돌이 현상에 의한 효과를 극대화 한다고 할 수 있다.
커버 세정용 원형박스(24)는 로딩/언로딩부(60)에 의해 커버용 셀(10a)에 로딩/언로딩된다. 세정을 위하여, 캐리어 커버가 수납된 커버 세정용 원형박스(24)는 로딩/언로딩부(60)에 의해 커버용 셀(10a)에 로딩된다. 캐리어 커버는 커버 업다운 유닛(20)을 이용하여 커버 세정용 원형박스(24)에 이용하여 수납된다. 구체적으로, 커버 업다운 유닛(20)으로 커버용 덮개(25)를 열기 위하여 들어 올리고, 세정을 위한 캐리어 커버를 커버 세정용 원형박스(24)에 수납시킨 후, 커버용 덮개(25)를 닫는다. 세정을 마친 커버는 커버 업다운 유닛(20)으로 커버용 덮개(25)를 들어 올려서, 커버 세정용 원형박스(24)로부터 캐리어 커버를 분리한다. 이와 동일하게, 본체는 본체 세정용 원형박스(30)는 본체 업다운 유닛(26)에 의해 장착 및 분리를 할 수 있다. 캐리어의 수납 및 언로딩은 커버 및 본체 업다운 유닛(20, 26) 및 로딩/언로딩부(60)를 이용한다.
본 발명의 커버 세정용 원형박스(24)의 외측 상부에는 고속회전 유닛(22)이 부착되어 있고, 본체 세정용 원형박스(30)의 외측 상부에는 저속회전 유닛(28)이 부착되어 있다. 이때, 고속회전 유닛(22)은 캐리어 커버를 세정하기 위한 것이고, 저속회전 유닛(28)은 캐리어 본체를 세정하기 위한 것이다. 또한, 고속회전 유닛(22)의 회전수는 200~300rpm이 바람직하고, 저속회전 유닛(28)의 회전수는 5~10rpm이 바람직하다. 여기서, 고속회전 및 저속회전은 각각의 세정을 위하여 최적화된 상대적인 속도로써 서로 구분하기 위한 것이다. 추후에 설명하겠지만, 고속회전 유닛(22)은 진공흡착된 캐리어 커버를 세정하기 위한 것이고, 저속회전 유닛(28)은 스테이지에 놓인 캐리어 본체를 세정하기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에서, 캐리어 커버는 고속으로 세정하고 캐리어 본체를 저속으로 세정하는 이유는 캐리어 커버는 양면이 평면의 단순한 구조로 되어 있어 적은 세정액의 고속회전 200~300rpm으로 적은 세정시간을 가지더라도 충분한 세정효과가 있다, 하지만, 캐리어 본체는 구조가 복잡하여 저속회전 5~10rpm 정도의 회전에서 캐리어 본체의 요소요소마다 노즐에서 분사되는 많은 세정액이 충분히 뿌려져 빠른 시간 내에 이물질이 떨어지도록 하여야 한다.
특히, 캐리어 본체 내부에는 다수의 기판을 보관 및 운반하도록 구성된 슬롯이 구비되어 있다. 상기 슬롯 부분에는 기판의 보관 및 반출이 반복되어 불순물이 많이 생기기 때문에 충분한 세정액이 뿌려지지 않으면, 세정의 효과가 떨어진다. 즉, 세정의 효과를 극대화하기 위해서는 충분한 세정액이 뿌려지도록 함과 동시에 소용돌이 현상이 발생하여 뿌려진 세정액이 빠른 시간 내에 빠져 나가도록 캐리어 본체에 약간의 원심력을 가하게 된다. 또한, 추후의 도 5에서와 같이 캐리어 본체를 눕혀 수납하여 세정할 때 세정액이 빠른 시간 내에 흘러내리도록 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 캐리어 세정장치에 의해 캐리어가 세정되는 과정을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 세정을 마친 캐리어가 분리되는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 이때, 도 5는 챔버(10) 부분은 생략하였고, 세정하는 과정을 살펴보기 위해, A열의 커버 세정용 원형박스(24) 및 본체 세정용 원형박스(30)는 내부가 보이도록 절개하였다.
도 5 및 도 6을 참조하면, A열은 커버 및 본체가 각각 커버 세정용 원형박스(24) 및 본체 세정용 원형박스(30)에 수납된 상태이고, B열은 커버 및 본체가 각각 커버 세정용 원형박스(24) 및 본체 세정용 원형박스(30)로부터 분리된 상태이다. 커버 및 본체의 수납 및 분리는 각각 커버 업다운 유닛(20) 및 본체 업다운 유닛(26)으로 이루어진다. 수납된 상태인 A열을 살펴보면, 회전테이블과 같은 지지대에 설치된 진공흡착부(32)에 의해 흡착된 커버가, 커버용 덮개(25)에 의해 밀봉된 커버 세정용 원형박스(24)에 장입되어 있다. 또한, 회전테이블(34)에 놓인 스테이지(36)에 놓인 본체는 본체용 덮개(31)에 의해 밀봉된 본체 세정용 원형박스(30)에 장입되어 있다. 다시 말해, 커버는 진공흡착부(32)가 흡착하고, 본체는 스테이지(36)에 놓이게 된다.
커버 세정용 원형박스(24)에 수납된 커버는 고속회전 유닛(22)으로 고속으로 회전되면서, 커버 세정용 노즐(40)에 의해 세정된다. 또한, 본체 세정용 원형박스(30)에 수납된 본체는 저속회전 유닛(28)으로 상대적으로 저속으로 회전되면서, 본체 세정용 노즐(42)에 의해 세정된다. 바람직하게는 커버 세정용 노즐(40)은 커버 세정용 원형박스(24)의 저면에 설치될 수 있고, 본체 세정용 노즐(42)은 본체 세정용 원형박스(30)의 측면에 설치될 수 있다.
분리된 상태인 B열을 살펴보면, 커버 업다운 유닛(20)에 의해 커버 세정용 원형박스(24)의 커버용 덮개(25)가 들어 올려져, 진공흡착부(32)에 의해 흡착된 커버가 노출된다. 노출된 커버는 로딩/언로딩부(60)에 의해 언로딩된다. 또한, 본체 업다운 유닛(26)에 의해 본체 세정용 원형박스(24)의 본체용 덮개(31)가 들어 올려져, 스테이지(36)와 함께 놓인 본체가 노출된다. 노출된 본체는 로딩/언로딩부(60)에 의해 언로딩된다. 커버 세정용 원형박스(24)에서 커버는 수납되거나 분리될 때 진공흡착부(32)와 함께 움직이고, 본체 세정용 원형박스(30)에서 본체는 스테이지(36)와 같이 이동한다.
본 발명의 실시예에 의한 세정부(70)는 각각 커버용 셀(10a) 및 본체용 셀(10b)에 로딩된 커버 세정용 원형박스(24) 및 본체 세정용 원형박스(30)를 각 세트로 하는 복수개의 세트를 구비할 수 있다. 이때, 각각의 세트는 세정 과정을 서로 달리할 수 있다. 또한, 각 세트마다 커버 및 본체의 세정과정을 독립적으로 수행할 수 있다. 이와 같은 과정을 제어하면, 세정 방법, 조건 및 시간을 적절하게 조절할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어를 세정하는 하나의 사례를 제시하는 흐름도이다. 이때, 세정하는 장치는 도 1 내지 도 6을 참조하기로 하고, 캐리어는 FOUP을 사례로 들어 설명하기로 한다.
도 7에 의하면, 먼저 분리부(50)에 의해 통상적인 방법으로 캐리어 본체 및 커버를 분리한다(S10). 그후, 캐리어 본체가 수납된 본체 세정용 원형박스(24)를 로딩/언로딩부(60)에 의해 본체용 셀(10b)에 로딩한다(S12). 본체 세정용 원형박스(30) 내부에 설치된 본체 세정용 노즐(42)에 의해 캐리어 본체를 저속으로 세정한다(S14). 한편, 캐리어 본체의 수납 후 또는 세정 중에, 로딩/언로딩부(60)에 의해 캐리어 커버가 수납된 커버 세정용 원형박스(24)를 커버용 셀(10a)에 로딩한다(S16). 커버 세정용 원형박스(24) 내부에 설치된 커버 세정용 노즐(40)로 캐리어 커버를 세정한다(S18). 이어서, 로딩/언로딩부(60)에 의해 세정된 캐리어 본체와 캐리어 커버를 동시에 또는 순차적으로 언로딩한다(S20). 캐리어 본체와 캐리어 커버를 결합시키거나 또는 분리된 채로 별도의 장소에 보관하거나 이송한다(S22).
캐리어 커버는 구조가 단순하고 통상적으로 하나의 평판과 같은 형상을 가지므로, 캐리어 본체에 비하여 세정하는 데 소요되는 시간이 짧다. 그런데, 종래와 같이 본체와 커버 각각을 하나의 챔버(chamber)의 상부 및 하부에 로딩(loading)하여 세정하게 되면, 본체를 세정한 후에 커버를 세정하게 되므로 세정에 소요되는 시간이 상대적으로 많이 걸린다. 예를 들어, 현재의 300㎜ 웨이퍼를 세정하는 경우에는 하나의 본체를 세정하는 시간은 하나의 커버에 비해 약 40초 정도가 더 필요하다.
하지만, 본 발명과 같이 본체와 커버를 독립적으로 세정하고 본체를 먼저 세정하게 되면, 캐리어 전체를 세정하는 데 비하여 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 다시 말해, 본체와 커버를 세정하는 시간적인 불일치를 세정하는 순서를 조절하여 단위 시간당 캐리어를 세정하는 처리율을 높일 수 있다. 또한 본체와 커버 각각의 세정에 필요한 공정을 수행하면 세정이 완료되므로, 캐리어 전체를 세정하는 데 비하여 비용을 절감하는 효과도 있다.
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 캐리어를 세정하는 다른 사례를 제시하는 흐름도이다. 이때, 세정하는 장치는 도 1 내지 도 6을 참조하기로 하고, 캐리어는 FOUP를 사례로 들어 설명하기로 한다.
도 8에 의하면, 먼저 통상적인 방법으로 분리부(50)에 의해 캐리어 본체와 커버를 분리한다(S30). 이후에는 캐리어 본체 및 캐리어 커버가 각각 독립적인 경로를 걸쳐 세정이 진행된다. 즉, 첫 번째 경로는 캐리어 커버를 세정하는 것으로, 먼저 로딩/언로딩부(60)에 의해 캐리어 커버가 수납된 커버 세정용 원형박스(24)를 커버용 셀(10a)에 로딩한다(S40). 그후, 커버 세정용 원형박스(22)의 커버 세정용 노즐(40)에 의해 캐리어 커버를 세정한다(S42). 로딩/언로딩부(60)에 의해 캐리어 커버를 언로딩한다(S44). 최종적으로, 캐리어 커버를 별도로 보관하거나 이송한다(S46).
두 번째 경로는 캐리어 본체를 세정하는 것으로, 먼저 로딩/언로딩부(60)에 의해 캐리어 본체가 수납된 본체 세정용 원형박스(30)를 본체용 셀(10b)에 로딩한다(S50). 그후, 본체 세정용 원형박스(30)의 본체 세정용 노즐(42)에 의해 캐리어 본체를 세정한다(S52). 로딩/언로딩부(60)에 의해 캐리어 본체를 언로딩한다(S54). 최종적으로, 캐리어 본체를 별도로 보관하거나 이송한다(S56).
앞에서 설명한 바와 같이, 캐리어 커버는 구조가 단순하고 통상적으로 하나의 평판과 같은 형상을 가지므로 캐리어 본체에 비하여 세정하는 데 소요되는 시간이 짧다. 그런데, 본 발명과 같이 본체와 커버를 별도의 과정을 통하여 독립적으로 세정하고 각각 보관하거나 이송하면, 캐리어 전체를 세정하는 데 비하여 소요시간을 줄일 수 있다. 다시 말해, 세정된 커버는 바로 언로딩하고, 다음 세정 순서의 커버가 대기하는 시간이 없이 바로 로딩되어 세정하게 됨으로써, 단위 시간당 캐리어를 세정하는 처리율을 높일 수 있다. 또한 본체와 커버 각각의 세정에 필요한 공정을 수행하면 세정이 완료되므로, 캐리어 전체를 세정하는 데 비하여 비용을 절감하는 효과도 있다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10; 챔버 10a; 커버용 셀
10b; 본체용 셀 20; 커버 업다운 유닛
22; 고속회전 유닛 24; 커버 세정용 원형박스
25; 커버용 덮개 26; 본체 업다운 유닛
28; 저속회전 유닛 30; 본체 세정용 원형박스
31; 본체용 덮개 32; 진공흡착부
34; 회전 테이블 36; 스테이지
40; 커버 세정용 노즐 42; 본체 세정용 노즐
50; 분리부 60; 로딩/언로딩부
70; 세정부

Claims (10)

  1. 캐리어를 세정하기 위한 세정용 챔버에 있어서,
    상기 세정용 챔버는,
    상기 캐리어의 커버를 수납하여 고속회전 유닛에 의해 고속으로 세정하는 커버 세정용 원형박스가 로딩되는 커버용 셀; 및
    상기 캐리어의 본체를 수납하여 저속회전 유닛에 의해 저속으로 세정하는 본체 세정용 원형박스가 로딩되는 본체용 셀을 포함하고,
    상기 커버 세정용 원형박스 및 상기 본체 세정용 원형박스는 각각 상기 커버용 셀에 설치된 커버 업다운 유닛 및 상기 본체용 셀에 설치된 본체 업다운 유닛에 의해 독립적으로 구동되는 캐리어 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고속회전 유닛의 회전수는 200~300rpm이고, 상기 저속회전 유닛의 회전수는 5~10rpm인 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는 FOUP 또는 FOSB인 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 커버 업다운 유닛은 상기 커버를 수납하고 분리하고, 상기 본체 업다운 유닛은 상기 본체를 수납하고 분리하는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 커버 세정용 원형박스에서 상기 커버는 진공흡착부에 의해 흡착되고, 상기 본체 세정용 원형박스에서 상기 커버는 스테이지에 놓이는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 세정용 챔버는 각각 상기 커버용 셀 및 상기 본체용 셀에 로딩된 상기 커버 세정용 원형박스 및 상기 본체 세정용 원형박스를 각 세트로 하는 복수개의 세트를 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 각각의 세트는 세정 과정을 서로 달리하거나 상기 각 세트마다 커버 및 본체의 세정과정을 독립적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 장치.
  8. 캐리어의 커버를 수납하여 고속회전 유닛에 의해 고속으로 세정하는 커버 세정용 원형박스가 로딩되는 커버용 셀 및 캐리어의 본체를 수납하여 저속회전 유닛에 의해 저속으로 세정하는 본체 세정용 원형박스가 로딩되는 본체용 셀을 포함하는 세정용 챔버를 이용하여,
    상기 캐리어 커버를 수납하고 상기 커버용 셀에 로딩되는 커버 세정용 원형박스 및 상기 캐리어 본체를 수납하고 상기 본체용 셀에 로딩되는 본체 세정용 원형박스에 의해 상기 캐리어 커버와 상기 캐리어 본체를 각각 독립적으로 세정하는 캐리어 세정 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 본체 세정용 원형박스에 상기 본체를 수납하여 세정한 후, 상기 커버 세정용 원형박스에 상기 커버를 수납하여 세정하는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 본체 세정용 원형박스에 상기 본체를 수납하여 세정하는 것과 동시에, 상기 커버 세정용 원형박스에 상기 커버를 수납하여 세정하는 것을 특징으로 하는 캐리어 세정 방법.
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