KR20190056487A - 분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법 - Google Patents

분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법 Download PDF

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Abstract

웨이퍼가 탑재된 캐리어를 세정장치에 투입되고 세정단계에 따라 웨이퍼의 반출 및 탑재를 연속적으로 수행하여 세정공정을 단순하게 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법을 제시한다. 그 장치 및 방법은 캐리어 오프너에 의해 분리된 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 웨이퍼 적재부에 적재시키고 세정이 완료된 캐리어 본체에 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시키는 분류기 및 캐리어 오프너에 의해 분리된 캐리어 커버 및 웨이퍼가 반출된 캐리어 본체를 세정하는 세정부를 포함한다.

Description

분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법{Composite cleaning apparatus integrated with sorter and method of cleaning using the apparatus}
본 발명은 캐리어 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분류기(sorter)와 세정기가 복합되어 웨이퍼의 분류와 함께 캐리어의 세정을 동시에 수행할 수 있는 세정장치 및 세정방법에 관한 것이다.
캐리어(carrier)는 웨이퍼를 운반 및 보관 용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 'FOSB')와 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')와 같은 캐리어가 사용된다. 캐리어는 일반적으로 캐리어 본체와 상기 본체를 밀봉하여 웨이퍼를 보관 및 반송할 수 있도록 상기 본체에 초청정한 내부 환경을 제공하는 커버로 구성된다. 웨이퍼는 본체 내로 삽입될 수 있는 카세트나 캐리어의 내부에 설치된 선반에 의해 지지된다. 분류기는 예컨대 웨이퍼를 결정면이나 반도체 타입 등의 식별정보에 따라 다수의 웨이퍼를 각각 분류하는 장치이다. 일반적으로, 분류기는 웨이퍼를 보관하는 입력카세트에서 로봇암을 이용하여 웨이퍼를 얼라이너(aligner)로 운반하고, 얼라이너에서 정렬 및 분류가 완료된 웨이퍼를 로봇암을 이용하여 출력카세트로 운반하는 식으로 처리된다.
캐리어의 세정을 위하여 국내등록특허 제10-1244381호와 같이 세정하고자 하는 캐리어를 로딩(loading)하거나 세정이 완료된 캐리어를 언로딩(unloading)하는 로딩 및 언로딩 포트를 구비한다. 캐리어를 세정하려면, 세정 전에는 미리 분류기(sorter)를 이용하여 웨이퍼를 캐리어로부터 제거하고, 세정 후에는 다시 분류기에 의해 웨이퍼를 캐리어에 탑재한다. 즉, 분류기와 세정기는 서로 독립되어 각각의 공정을 수행하게 된다.
최근, 캐리어를 세정하는 공정을 단순하게 할 필요성이 증대하고 있다. 이에 따라, 웨이퍼가 탑재된 캐리어를 세정장치에 투입되고 세정단계에 따라 상기 웨이퍼의 반출 및 탑재를 연속적으로 수행하여 세공공정의 단순화하는 방법이 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 웨이퍼가 탑재된 캐리어를 세정장치에 투입되고 세정단계에 따라 웨이퍼의 반출 및 탑재를 연속적으로 수행하여 세정공정을 단순하게 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 분류기와 일체화된 복합 세정장치는 캐리어에 웨이퍼가 수납된 상태로 세정장치로 로딩하거나 상기 세정장치로부터 언로딩하는 로딩/언로딩부 및 상기 로딩/언로딩부로부터 로딩된 캐리어가 이동하여, 상기 캐리어를 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하고, 상기 캐리어 본체 및 상기 캐리어 커버를 합체시키는 캐리어 오프너를 포함한다. 또한, 상기 캐리어 오프너에 의해 분리된 상기 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 웨이퍼 적재부에 적재시키고, 세정이 완료된 상기 캐리어 본체에 상기 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시키는 분류기 및 상기 캐리어 오프너에 의해 분리된 캐리어 커버 및 상기 웨이퍼가 반출된 캐리어 본체를 세정하는 세정부를 포함한다. 이때, 상기 로딩/언로딩부, 상기 캐리어 오프너, 상기 분류기 및 상기 세정부는 상기 세정장치의 내부에 배치된다.
본 발명의 세정장치에 있어서, 상기 로딩/언로딩부는 제1 로봇을 포함하고, 상기 제1 로봇은 상기 캐리어 오프너와 상기 세정부 각각에 상기 캐리어 본체와 상기 캐리어 커버를 이동시킨다. 상기 캐리어 오프너는 상기 분류기의 입구에 배치된다. 상기 분류기는 제2 로봇을 포함하고, 상기 제2 로봇은 상기 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 상기 웨이퍼 적재부에 적재시키거나 상기 세정이 완료된 상기 캐리어 본체에 상기 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시킨다. 상기 세정부는 상기 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 세정용 원형박스 및 상기 캐리어 본체를 세정하기 위한 본체 세정용 원형박스를 구비할 수 있다.
본 발명의 다른 과제를 해결하기 위한 분류기와 일체화된 복합 세정장치를 이용한 세정방법은 먼저, 로딩/언로딩부를 이용하여, 캐리어에 웨이퍼가 수납된 상태로 세정장치에 로딩한다. 그후, 제1 로봇에 의해, 상기 캐리어를 캐리어 오프너로 이동한다. 상기 캐리어 오프너를 이용하여, 상기 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리한다. 상기 제1 로봇을 이용하여, 상기 캐리어 커버를 세정부에 투입한다. 분류기의 제2 로봇을 이용하여, 상기 캐리어 본체에 수납된 상기 웨이퍼를 반출하여 웨이퍼 적재부로 적재시킨다. 상기 제1 로봇으로, 상기 웨이퍼가 반출된 상기 캐리어 본체를 세정부에 투입한다. 상기 세정부에 의해, 상기 캐리어 본체 및 상기 캐리어 커버를 세정한다. 상기 제1 로봇을 이용하여, 세정된 상기 캐리어 본체를 상기 캐리어 오프너로 이동시킨다. 상기 제2 로봇에 의해, 상기 세정된 캐리어 본체에 상기 웨이퍼를 수납시킨다. 상기 제1 로봇으로, 세정된 상기 캐리어 커버를 상기 캐리어 오프너로 이동하고 상기 캐리어 본체와 합체시킨다. 상기 제1 로봇에 의해, 합체된 상기 캐리어를 로딩/언로딩부로 이동시킨다.
본 발명의 분류기와 일체화된 복합 세정장치 및 이를 이용한 세정방법에 의하면, 분류기와 일체화된 세정부를 활용함으로써, 웨이퍼가 탑재된 캐리어를 세정장치에 투입되고 세정단계에 따라 웨이퍼의 반출 및 탑재를 연속적으로 수행하여 세정공정을 단순하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 적용되는 캐리어의 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 복합 세정장치를 설명하기 위하여 상부에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 2를 측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 본 발명에 의한 복합 세정장치를 이용한 세정방법을 나타내는 흐름도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 한편, 상부, 하부, 정면 등과 같이 위치를 지적하는 용어들은 도면에 나타낸 것과 관련될 뿐이다. 실제로, 세정장치는 임의의 선택적인 방향으로 사용될 수 있으며, 실제 사용할 때 공간적인 방향은 세정장치의 방향 및 회전에 따라 변한다.
본 발명의 실시예는 웨이퍼를 분류하는 분류기(sorter)와 일체화된 세정부(cleaner)를 활용함으로써, 캐리어에 웨이퍼가 탑재된 상태로 세정장치에 투입되고 세정단계에 따라 웨이퍼의 반출 및 수납을 연속적으로 수행하여 세정공정을 단순하게 하는 복합 세정장치 및 세정방법을 제시한다. 이를 위해, 복합 세정장치의 구조를 상세하게 알아보고, 상기 세정장치에 의해 캐리어를 세정하는 방법을 구체적으로 설명하기로 한다. 여기서, 캐리어는 기판이나 미세전자소자를 운반, 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')를 예로 들겠으나, 본 발명의 범주 내에서 다른 형태의 캐리어도 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 적용되는 캐리어의 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, FOUP은 웨이퍼(W)를 대략 수십매 단위로 보관하는 캐리어(CR)로서, 웨이퍼(W)의 가공할 때 로드 포트(load port)에 장착되어 웨이퍼(W)를 꺼내거나 보관하는 데 사용된다. 일반적으로, FOUP 본체 내부에 기판이 수납될 수 있는 다수의 슬롯이 설치되어 있다. 가공을 위하여 FOUP 커버를 열어 웨이퍼(W)를 꺼내고, 공정이 완료되면 웨이퍼(W)를 슬롯에 수납한 후에 커버를 닫아서 보관한다. 이때, 캐리어(CR)은 FOUP 본체인 캐리어 본체(CRB), FOUP 커버인 캐리어 커버(CRV)로 구분할 수 있다. 한편, 캐리어(CR)를 반복적으로 장기간 사용하게 되면, 다수의 오염원에 노출되어 웨이퍼(W)에 악영향을 미치기 때문에 캐리어(CR)을 주기적으로 교체 및 세정하여야 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 복합 세정장치를 설명하기 위하여 상부에서 바라본 도면이다. 도 3은 도 2를 측면에서 바라본 도면이다. 다만, 엄밀한 의미의 도면을 표현한 것이 아니며, 설명의 편의를 위하여 도면 상에 나타나지 않은 구성요소가 있을 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 복합 세정장치(100)는 내부에 로딩/언로딩부(10), 캐리어 오프너(20), 분류기(30), 제어부(40) 및 세정부(50)를 포함하여 이루어진다. 제어부(40)는 본 발명에 의한 일련의 과정을 제어한다. 로딩/언로딩부(10)는 세정장치(100)의 입구(또는 출구)에 배치된다. 로딩/언로딩부(10)는 캐리어(CR)를 세정장치(100)로 로딩하거나 세정장치(100)로부터 언로딩하기 위한 것으로, 분류기(30) 및 세정부(50)와 기계적 및 공정적인 측면에서 서로 연결된다. 로딩/언로딩부(10)는 통상적으로 로봇, 호이스트를 이용한다. 도면에서는 로봇을 예로 들었다. 여기서, 로딩/언로딩부(10)는 간략하게 개념적으로 설명한 것에 불과하므로, 실제 사용할 때에는 각각의 구성요소의 동작을 최적화하기 위하여 다양한 구조물을 부가할 수 있다.
이때, 캐리어(CR)는 웨이퍼(W)가 수납된 상태로 세정장치(100)에 투입된다. 종래에는, 캐리어(CR)의 세정을 위해서는 캐리어(CR)에서 웨이퍼(W)를 제거한 상태에서, 종래의 로딩/언로딩부에 의해 종래의 세정부로 투입된다. 구체적으로, 캐리어(CR)를 세정하려면, 세정 전에는 종래의 분류기를 이용하여 웨이퍼(W)를 캐리어(CR)로부터 제거하여 종래의 로딩/언로딩부에 의해 종래의 세정부에 투입된다. 또한, 세정 후에는 종래의 분류기에 의해 웨이퍼(CR)를 캐리어(CR)에 탑재하여 종래의 로딩/언로딩부를 이용하여 예컨대 스토커 또는 단위공정으로 이동한다. 즉, 종래의 분류기는 웨이퍼(W)를 일괄적으로 제거하고 다시 탑재하는 데 사용하므로, 종래의 분류기와 세정부는 서로 독립되어 각각의 공정을 수행하게 된다. 하지만, 본 발명의 실시예는 추후에 도 4에서 상세하게 설명하겠지만, 분류기(30) 및 세정부(50)에서의 웨이퍼(W)의 이동은 세정부(50)의 세정과정에 부합되어 연속적으로 이루어진다.
로딩/언로딩부(10)는 캐리어(CR)를 공정에 부합하여 이동시키기 위한 제1 로봇(11)을 포함한다. 제1 로봇(11)의 다관절로 이루어지며, 본 발명의 실시예에 부합되도록 형상 및 기능이 조절된다. 제1 로봇(11)에 의해, 캐리어(CR)은 필요에 따라 분류기(30) 및 세정부(50)로 이동하게 된다. 이와 같이, 제1 로봇(11)의 동작은 분류기(30)의 분류공정 및 세정부(50)의 세정공정과 연동하여 이루어진다.
캐리어 오프너(20)는 캐리어(CR)를 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)로 분리하기 위한 것으로, 분류기 입구(33)에 위치한다. 분리된 캐리어 커버(CRV)는 제1 로봇(11)을 이용하여 세정부(50)에 투입되어 세정이 이루어진다. 분리된 캐리어 본체(CRB)는 웨이퍼(W)가 탑재된 상태로 캐리어 오프너(20)에 남아 있다. 캐리어 오프너(20)는 본 발명의 범주 내에서 공지의 방식을 모두 적용할 수 있다. 예를 들어, 캐리어(CR)의 불순물의 존재를 파악하기 위한 검사기능을 추가할 수 있다.
분류기(30)는 캐리어 본체(CRB)에 탑재된 웨이퍼(W)를 반출하거나 수납시키는 위한 제2 로봇(31), 웨이퍼(W)가 적재되는 웨이퍼 적재부(32) 및 캐리어 본체(CRB)가 탑재되는 분류기 입구(33)를 포함하여 이루어진다. 분류기(30)는 웨이퍼(W)를 결정면이나 반도체 타입 등의 식별정보에 따라 각각 분류하여 웨이퍼 적재부(32)에 적재시킨다. 웨이퍼 적재부(32)는 웨이퍼(W)의 정렬 및 분류를 하는 얼라이너(aligner)를 포함한다. 여기서, 웨이퍼(W)를 반출하는 경우는 캐리어 본체(CRB)를 세정하기 위하여 웨이퍼(W)를 꺼내는 것을 말하고, 웨이퍼(W)를 수납시키는 경우는 세정부(50)에서 세정이 완료된 캐리어 본체(CRB)에 웨이퍼 적재부(32)에 적재된 웨이퍼(W)를 다시 옮기는 것을 말한다.
한편, 분류 및 세정을 하는 과정에서 캐리어(CR)은 로딩/언로딩부(10), 캐리어 오프너(20) 중의 어느 한 곳 또는 양쪽에 위치할 수 있다. 로딩/언로딩부(10)의 캐리어(CR)는 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)가 합체된 상태이고, 캐리어 오프너(20)의 캐리어(CR)는 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)의 분리가 이루어진다.
일반적으로 웨이퍼(W)는 사진공정, 식각공정, 박막증착공정, 이온주입공정, 금속배선공정 등 일련의 단위공정이 반복하는 과정을 거친다. 웨이퍼(W)에는패턴(pattern)의미세화 및 고집적화 되는 공정 중에불순물(particle)이나 각종 오염물에 의한 미세오염이 발생한다. 이에 따라, 웨이퍼(W)는 각 단위공정 진행 중에는 항상 청결한 상태로 유지되어야 한다. 이를 위해, 대부분의 단위공정에서는 그 단위공정 진행 전후에, 캐리어(CR)의 세정과 더불어 웨이퍼(W)를 세정하는 웨이퍼 세정공정을 수행하게 된다.
세정부(50)는 다양한 형태 및 방식이 가능하다. 여기서는 하나의 사례를 제시하기로 한다. 세정부(50)는 캐리어 커버(CRV)를 세정하기 위한 공간을 제공하는 커버용 셀(51) 및 캐리어 본체(CRB)를 세정하기 위한 공간을 제공하는 본체용 셀(52)로 이루어질 수 있다. 도면에서는 지면에 대하여 커버용 셀(51)이 본체용 셀(52)보다 상부에 위치하는 것으로 되어 있으나, 경우에 따라 본체용 셀(52)이 상부에 위치할 수도 있고 커버용 셀(51)과 본체용 셀(52)이 좌우로 배치될 수도 있다. 또한 커버용 셀(51)이 차지하는 공간의 크기는 본체용 셀(52)보다 작은 것이 바람직하다.
커버용 셀(51)에는 캐리어 커버(CRV)를 세정하기 위한 커버 세정용 원형박스(53)가 설치된다. 커버 세정용 원형박스(53) 내에는 캐리어 커버(CRV)가 탑재되고, 상기 원형박스(53) 내에 구비된 커버 세정용 노즐에 의해 캐리어 커버(CRV)가 세정된다. 본체용 셀(52)에는 캐리어 본체(CRB)를 세정하기 위한 본체 세정용 원형박스(54)가 배치된다. 본체 세정용 원형박스(54) 내에는 캐리어 본체(CRB)가 탑재되고, 상기 원형박스(54) 내에 구비된 본체 세정용 노즐에 의해 캐리어 본체(CRB)가 세정된다. 이와 같이, 본 발명의 실시예는 캐리어 커버 및 캐리어 본체를 독립적으로 각각 별도의 셀 및 원형박스에서 세정을 진행한다.
본 발명의 커버용 셀(51)에는 적어도 하나의 커버 세정용 원형박스(53)가 배치될 수 있고, 본체용 셀(52)에는 커버 세정용 원형박스(53)와 동일한 개수의 본체 세정용 원형박스(54)가 배치될 수 있다. 도면에서는 두 개의 커버 세정용 원형박스(53)와 두 개의 본체 세정용 원형박스(54)가 배치된 상태를 표현하였다. 하지만, 본 발명의 범주 내에서 더 많은 수의 원형박스(53, 54)를 설치할 수 있다. 여기서, 원형박스(53, 54)를 원형으로 하는 이유는 캐리어 세정할 때 캐리어에 공급된 세정액이 원심력으로 박스 내측의 외부로 향하게 된다. 그런데 원형박스인 경우 소용돌이 현상이 원활하게 발생하여 상기 세정액이 캐리어에 다시 묻는 현상을 억제한다. 또한, 상기 세정액이 아래 배수로로 원활히 빠져 나가게 하는 효과가 있다. 즉, 상기 소용돌이 현상에 의한 효과를 극대화 한다고 할 수 있다.
커버 세정용 원형박스(53)는 제1 로봇(11)으로 캐리어 커버(CRV)가 로딩/언로딩된다. 캐리어 커버(CRV)는 예컨대 커버 업다운 유닛을 이용하여 커버 세정용 원형박스(53)에 이용하여 탑재된다. 구체적으로, 상개 커버 업다운 유닛으로 커버용 덮개를 열고, 캐리어 커버(CRV)를 커버 세정용 원형박스(53)에 탑재시킨 후, 상기 커버용 덮개를 닫는다. 세정을 마친 커버(CRV)는 상기 커버 업다운 유닛으로 상기 커버용 덮개를 들어 올려서, 커버 세정용 원형박스(53)로부터 캐리어 커버(CRV)를 분리한다. 이와 동일하게, 본체(CRB)는 본체 세정용 원형박스(54)는 본체 업다운 유닛에 의해 장착 및 분리를 할 수 있다. 이와 같이 캐리어(CR)의 탑재 및 언로딩은 커버 및 본체 업다운 유닛 및 제1 로봇(11)을 이용한다.
본 발명의 커버 세정용 원형박스(53)의 외측 상부에는 고속회전 유닛이 부착되어 있고, 본체 세정용 원형박스(54)의 외측 상부에는 저속회전 유닛이 부착되어 있다. 이때, 상기 고속회전 유닛은 캐리어 커버(CRV)를 세정하기 위한 것이고, 상기 저속회전 유닛은 캐리어 본체(CRB)를 세정하기 위한 것이다. 또한, 상기 고속회전 유닛의 회전수는 200~300rpm이 바람직하고, 상기 저속회전 유닛의 회전수는 5~10rpm이 바람직하다. 여기서, 고속회전 및 저속회전은 각각의 세정을 위하여 최적화된 상대적인 속도로써 서로 구분하기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에서, 캐리어 커버(CRV)는 고속으로 세정하고 캐리어 본체(CRB)를 저속으로 세정하는 이유는 캐리어 커버(CRV)는 양면이 평면의 단순한 구조로 되어 있어 적은 세정액의 고속회전 200~300rpm으로 적은 세정시간을 가지더라도 충분한 세정효과가 있다, 하지만, 캐리어 본체(CRB)는 구조가 복잡하여 저속회전 5~10rpm 정도의 회전에서 캐리어 본체(CRB)의 요소마다 노즐에서 분사되는 많은 세정액이 충분히 뿌려져 빠른 시간 내에 이물질이 떨어지도록 하여야 한다.
특히, 캐리어 본체(CRB) 내부에는 다수의 웨이퍼(W)를 보관 및 운반하도록 구성된 슬롯이 구비되어 있다. 상기 슬롯 부분에는 기판의 보관 및 반출이 반복되어 불순물이 많이 생기기 때문에 충분한 세정액이 뿌려지지 않으면, 세정의 효과가 떨어진다. 즉, 세정의 효과를 극대화하기 위해서는 충분한 세정액이 뿌려지도록 함과 동시에 소용돌이 현상이 발생하여 뿌려진 세정액이 빠른 시간 내에 빠져 나가도록 캐리어 본체에 약간의 원심력을 가하게 된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 복합 세정장치를 이용한 세정방법을 나타내는 흐름도이다. 이때, 복합 세정장치는 앞에서 설명한 바와 같으므로, 이를 참조하기로 한다.
도 4에 의하면, 복합 세정장치(100)를 이용한 세정방법은 먼저 로딩/언로딩부(10)를 이용하여, 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(CR)를 복합 세정장치(100)에 로딩한다(S10). 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(CR)를 복합 세정장치(100)에 투입함으로써, 분류 및 세정공정을 단순하게 할 수 있다. 그후, 제1 로봇(11)에 의해, 캐리어(CR)를 캐리어 오프너(20)로 이동한다(S12). 캐리어 오프너(20)를 이용하여, 캐리어(CR)를 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)로 분리한다(S14). 제1 로봇(11)을 이용하여, 캐리어 커버(CRV)를 세정부(50)에 투입한다(S16). 이에 따라, 캐리어 본체(CRB)는 캐리어 오프너(20)에 남아 있다.
이어서, 분류기(30)의 제2 로봇(31)을 이용하여, 캐리어 본체(CRB)의 웨이퍼(W)를 반출하여 웨이퍼 적재부(32)로 반출한다(S18). 그후, 제1 로봇(11)으로, 웨이퍼(W)가 반출된 캐리어 본체(CRB)를 세정부(50)에 투입한다(S20). 세정부(50)에 의해, 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)를 세정한다(S22). 캐리어 커버(CRV) 및 캐리어 본체(CRB)의 세정은 굳이 이에 한정하는 것이 아니나, 앞에서 설명한 커버 세정용 원형박스(53) 및 본체 세정용 원형박스(54)를 활용할 수 있다. 또한, 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)의 세정은 동시에 이루어지거나 시간 간격을 두고 이루어질 수 있다.
다음에, 제1 로봇(11)을 이용하여, 세정된 캐리어 본체(CRB)를 캐리어 오프너(20)로 이동한다(S24). 제2 로봇(31)에 의해, 세정된 캐리어 본체(CRB)에 웨이퍼(W)를 수납시킨다(S26). 그후, 제1 로봇(11)으로, 세정된 캐리어 커버(CRV)를 캐리어 오프너(20)로 이동하고 캐리어 본체(CRB)와 합체한다(S28). 제1 로봇(11)에 의해, 합체된 캐리어(CR)를 로딩/언로딩부(10)로 이동한다(S30). 로딩/언로딩부(10)에 의해, 웨이퍼(W)가 탑재된 캐리어(CR)를 복합 세정장치(100)의 외부로 언로딩한다(S32).
본 발명의 실시예에 의한 복합 세정장치(100)의 로딩/언로딩부(10)는 제1 로봇(11)을 포함하고, 제1 로봇(11)은 캐리어 오프너(20)와 세정부(50) 각각에 캐리어 본체(CRB)와 캐리어 커버(CRV)를 공정에 부합되도록 이동시킨다. 또한, 분류기(30)는 제2 로봇(31)을 포함하고, 제2 로봇(31)은 공정에 부합되도록 캐리어 본체(CRB)에 수납된 웨이퍼(W)를 반출하여 웨이퍼 적재부(32)에 적재시키거나, 세정이 완료된 캐리어 본체(CRB)에 웨이퍼 적재부(32)에 적재된 웨이퍼(W)를 수납시킨다. 나아가, 캐리어 오프너(20)는 공정에 부합되도록 캐리어(CR)를 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어(CRV) 커버로 분리하고, 캐리어 본체(CRB) 및 캐리어 커버(CRV)를 합체시킨다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10; 로딩/언로딩부 11; 제1 로봇
20; 캐리어 오프너 30; 분류기
31; 제2 로봇 32; 웨이퍼 적재부
33; 분류기 입구 40; 제어부
50; 세정부
CR; 캐리어 CRB; 캐리어 본체
CRV; 캐리어 커버
100; 복합 세정장치

Claims (9)

  1. 캐리어에 웨이퍼가 수납된 상태로 세정장치로 로딩하거나 상기 세정장치로부터 언로딩하는 로딩/언로딩부;
    상기 로딩/언로딩부로부터 로딩된 캐리어가 이동하여, 상기 캐리어를 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하고, 상기 캐리어 본체 및 상기 캐리어 커버를 합체시키는 캐리어 오프너;
    상기 캐리어 오프너에 의해 분리된 상기 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 웨이퍼 적재부에 적재시키고, 세정이 완료된 상기 캐리어 본체에 상기 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시키는 분류기; 및
    상기 캐리어 오프너에 의해 분리된 캐리어 커버 및 상기 웨이퍼가 반출된 캐리어 본체를 세정하는 세정부를 포함하고,
    상기 로딩/언로딩부, 상기 캐리어 오프너, 상기 분류기 및 상기 세정부는 상기 세정장치의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로딩/언로딩부는 제1 로봇을 포함하고, 상기 제1 로봇은 상기 캐리어 오프너와 상기 세정부 각각에 상기 캐리어 본체와 상기 캐리어 커버를 이동시키는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 오프너는 상기 분류기의 입구에 배치되는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 분류기는 제2 로봇을 포함하고, 상기 제2 로봇은 상기 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 상기 웨이퍼 적재부에 적재시키거나 상기 세정이 완료된 상기 캐리어 본체에 상기 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시키는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 세정부는 상기 캐리어 커버를 세정하기 위한 커버 세정용 원형박스 및 상기 캐리어 본체를 세정하기 위한 본체 세정용 원형박스를 구비하는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치.
  6. 로딩/언로딩부를 이용하여, 캐리어에 웨이퍼가 수납된 상태로 세정장치에 로딩하는 단계;
    제1 로봇에 의해, 상기 캐리어를 캐리어 오프너로 이동키는 단계;
    상기 캐리어 오프너를 이용하여, 상기 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하는 단계;
    상기 제1 로봇을 이용하여, 상기 캐리어 커버를 세정부에 투입하는 단계;
    분류기의 제2 로봇을 이용하여, 상기 캐리어 본체에 수납된 상기 웨이퍼를 반출하여 웨이퍼 적재부로 적재시키는 단계;
    상기 제1 로봇으로, 상기 웨이퍼가 반출된 상기 캐리어 본체를 세정부에 투입하는 단계;
    상기 세정부에 의해, 상기 캐리어 본체 및 상기 캐리어 커버를 세정하는 단계;
    상기 제1 로봇을 이용하여, 세정된 상기 캐리어 본체를 상기 캐리어 오프너로 이동시키는 단계;
    상기 제2 로봇에 의해, 상기 세정된 캐리어 본체에 상기 웨이퍼를 수납시키는 단계;
    상기 제1 로봇으로, 세정된 상기 캐리어 커버를 상기 캐리어 오프너로 이동하고 상기 캐리어 본체와 합체시키는 단계; 및
    상기 제1 로봇에 의해, 합체된 상기 캐리어를 로딩/언로딩부로 이동시키는 단계를 포함하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치를 이용한 세정방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 캐리어 오프너는 상기 캐리어를 캐리어 본체 및 캐리어 커버로 분리하고, 상기 캐리어 본체 및 상기 캐리어 커버를 합체시키는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치를 이용한 세정방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 로딩/언로딩부는 제1 로봇을 포함하고, 상기 제1 로봇은 상기 캐리어 오프너와 상기 세정부 각각에 상기 캐리어 본체와 상기 캐리어 커버를 이동시키는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치를 이용한 세정방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 분류기는 제2 로봇을 포함하고, 상기 제2 로봇은 상기 캐리어 본체에 수납된 웨이퍼를 반출하여 상기 웨이퍼 적재부에 적재시키거나 상기 세정이 완료된 상기 캐리어 본체에 상기 웨이퍼 적재부에 적재된 웨이퍼를 수납시키는 것을 특징으로 하는 분류기와 일체화된 복합 세정장치를 이용한 세정방법.
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