CN202130871U

CN202130871U - 一种基板搬运装置

Info

Publication number: CN202130871U
Application number: CN 201120237459
Authority: CN
Inventors: 杨文娟; 陈健
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2011-07-06
Filing date: 2011-07-06
Publication date: 2012-02-01
Anticipated expiration: 2021-07-06

Abstract

本实用新型涉及TFT-LCD制作工艺设备技术领域，特别涉及一种基板搬运装置。该基板搬运装置包括内框架、外框架、用于锁紧内框架和外框架的夹具，外框架的内侧至少一个边框上设有至少一个联结垫；外框架的内侧紧贴内框架。本实施例提供的基板搬运装置，可有效减少各部件之间的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而产生的粉尘污染，同时，可有效降低各部件之间由于直接性接触而带来的部件磨损，延长部件的使用寿命，进而提高设备的移动率。

Description

一种基板搬运装置

技术领域

本实用新型涉及TFT-LCD制作工艺设备技术领域，特别涉及一种基板搬运装置。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管-液晶显示器)制作工艺中，磁控物理溅射工艺被广泛应用，该工艺中当前被广泛使用的设备结构中多处容易产生大量粉尘污染，对后续工序造成很严重的影响。如图1所示，为现有技术应用于磁控物理溅射工艺过程中的基板搬送装置结构示意图。

该基板搬送装置包括内框架4、外框架2、固定内框架4和外框架2的夹具10，该外框架2上装有基板押元6，该基板押元6上安装基板支撑件8。另外，该基板搬送装置还具有连接内框架相对两边框的支撑杆12，该支撑杆12和内框架4上均设有若干支撑柱9(pin)。在实际操作中，首先机械手将需要进行磁控物理溅射镀膜的玻璃基板送入基板搬运装置中，此时，打开夹具10，使得内框架4和外框架2分离开来。固定后，玻璃基板被支撑柱9支撑住，并被基板支撑件8支撑并固定住，进而进行溅射镀膜作业。待溅射镀膜作业完成后，需要将玻璃基板从基板搬运装置中取下。

在上述作业中，当玻璃基板输送到基板搬送装置后，需要通过夹具10将内框架4和外框架2牢牢固定在一起，内框架4和外框架2之间直接接触在一起，并且玻璃基板和支撑件8之间也始终直接接触。在搬运和溅射工艺过程中，内框架4和外框架2持续摩擦磨损，玻璃基板和支撑件8也在持续摩擦磨损，将产生大量的粉尘，该粉尘很容易落入到玻璃基板上，在后续镀膜加工中，部分粉尘将飘落在膜层下方，部分粉尘将嵌入膜层中，还有一部分粉尘浮在膜层上。该粉尘随着玻璃基板共同进行后续工序中，严重影响后续玻璃基板的工艺质量，进而影响最终产品的质量。同时，当粉尘达到一定程度时，需要打开溅射腔体进行设备维护，加重了设备维护频率，进而影响设备的稼动率。另外，大量的摩擦将加重玻璃基板对支撑件8的磨损，缩短支撑件的使用寿命，加大更换部件的频率和成本。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基板搬运装置，以克服现有的基板搬运装置由于各部件存在过多的接触性摩擦，导致其在搬运基板和位于溅射工艺腔体的过程中，容易造成大量的粉尘污染，进而影响工艺质量，并且对最终的产品质量产生影响等缺陷。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本实用新型提供一种基板搬运装置，包括内框架、外框架、用于锁紧内框架和外框架的夹具，所述外框架的内侧至少一个边框上设有至少一个联结垫；

所述外框架的内侧紧贴内框架。

进一步地，所述联结垫为带孔片状。

进一步地，所述外框架靠近基板的表面四周设有基板押元，所述基板押元上设有多个用于支撑并固定基板的支撑件；

至少位于外框架底部的基板押元上的支撑件为弹性支撑件。

进一步地，弹性支撑件由支撑底座和位于支撑底座水平部分上的弹性垫组成，所述支撑底座为L型，L型的支撑底座的开口方向朝向基板。

进一步地，所述支撑底座和弹性垫之间设有弹簧。

进一步地，还包括多条连接内框架相对两边的支撑杆，所述内框架的四周和支撑杆上具有多个用于支撑基板的支撑柱。

进一步地，所述部分支撑底座的竖直部分与基板押元的接触面之间具有缝隙，所述支撑底座的竖直部分厚度为1-1.3mm。

进一步地，所述支撑底座竖直方向贴近基板押元的一边部分具有凹槽。

进一步地，所述支撑底座水平部分的表面具有凹槽，所述弹性垫位于凹槽内。

进一步地，所述外框架的长边框上分布8-16个联结垫；所述外框架的短边框上分布5-11个联结垫。

(三)有益效果

本实用新型提供的基板搬运装置，具有以下优点：

(1)外框架和内框架之间设有联结垫，可有效避免外框架和内框架直接接触而产生的摩擦，最大程度地减少因其两者之间的摩擦磨损产生的粉尘污染，提高溅射镀膜工艺的良品率，进而提高后续的产品质量。

(2)弹性支撑件的设置可有效减少支撑件与玻璃基板之间接触在运动中摩擦磨损产生的粉尘污染，由于弹性支撑件具有良好的弹性系统，因此，可有效改善运动中的玻璃基板对支撑件产生的强大摩擦力，起到一定的缓冲作用进而达到减少破片的效果。

(3)本实施例提供的基板搬运装置，可有效减少各部件之间的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而产生的粉尘污染，同时，可有效降低各部件之间由于直接性接触而带来的部件磨损，延长部件的使用寿命，进而提高设备的稼动率。

附图说明

图1为现有技术基板搬运装置结构示意图；

图2为本实用新型实施例基板搬运装置结构示意图；

图3为图2中基板搬运装置结构A-A剖视图；

图4为本实用新型实施例基板搬运装置联结垫结构示意图；

图5为本实用新型实施例基板搬运装置联结垫安装结构示意图；

图6为本实用新型实施例基板搬运装置局部结构示意图；

图7为本实用新型实施例基板搬运装置弹性支撑件安装结构示意图。

其中：1、联结垫；2、外框架；3、联结螺钉；4、内框架；5、玻璃基板；6、基板押元；7、弹性支撑件；71、弹簧垫；72、支撑底座；8、支撑件；9、支撑柱；10、夹具；11、螺纹孔；12、支撑杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图2-7所示，本实用新型实施例基板搬运装置包括内框架4、外框架2、用于锁紧内框架4和外框架2的夹具10。其中外框架2位于底部，通过夹具10将内框架4固定在外框架2的内侧。外框架2的内侧至少一个边框上设有至少一个联结垫1；外框架2的内侧紧贴内框架4。其中，如图4所示，联结垫1为带孔片状，较优为同心圆状，采用高分子聚合物制成，具有高温下耐磨损抗腐蚀且不与溅射腔体内气体反应的特性。通过联结螺钉3将联结垫1固定在外框架2上。

图2中，由于联结垫1为带孔片状，自身结构比较薄，且位于外框架2和内框架4的交界处，直接标注存在困难，因此，将联结垫1指向圆圈位置处。另外，基板押元6遍布在外框架2靠近基板的表面四周上，其直观显示及标注标号存在困难，因此，仅将局部结构进行标注，其中图3为图2中A-A位置处的剖面图。

如图6所示，在实际加工中，外框架2靠近基板的表面上安装有基板押元6，该基板押元6遍布外框架四周，为陶瓷材料，其高度通常高于玻璃基板5，用于密封玻璃基板5，防止溅射物质污染基板后侧设备。该联结垫1的安装孔可与基板押元6的螺纹孔11共用一个，在不改变原外框架2的结构上，可将联结垫1牢牢安装在外框架2上。

其中，图6中，基板押元6仅为局部示意图，其遍布外框架2内侧的四周，并通过螺纹孔11及其他联结螺钉固定在外框架2上，由于联结垫1具有多个，因此，图6中只示意出其中一个安装位置。

实际操作中，基板搬运装置在磁控物理溅射位置变换腔体中处于水平位置，内框架4和外框架2处于分离状态时，用于接收玻璃基板5。通过机械手将玻璃基板5输送至基板搬运装置中后，通过夹具10将内框架4和外框架2结合在一起。添加的联结垫1位于内框架4和外框架2之间，可有效避免内框架4和外框架2的直接接触，最大程度地减少因两者之间的摩擦而产生的粉尘污染，确保后续程序中的工艺操作安全、高效。

为了更好地减少内框架4和外框架2之间的摩擦，同时可确保联结垫1的受力合理和最大程度的减少加工成本，设置外框架2的长边框Y1、Y2上对称分布8-16个联结垫1；外框架2的短边框X1、X2上非对称分布5-11个联结垫1。

其中，该基板搬运装置还包括多条连接内框架4相对两边的支撑杆12，内框架4的四周和支撑杆12上均设有多个用于支撑玻璃基板5的支撑柱9。

外框架2靠近基板的表面四周设有基板押元6，基板押元6上设有多个用于支撑和固定基板边缘的支撑件8，该支撑件8具有L型的支撑底座。在实际磁控物理溅射操作中，玻璃基板5随着基板搬运装置由原来的水平放置需要变换到垂直放置，从而进行相应的镀膜工艺。当位于基板搬运装置中的玻璃基板5位于垂直位置时，运动中的玻璃基板5，其自身重力将集中位于外框架2的底部边框上，对基板押元6上的支撑件8产生强大的作用力，极容易对支撑件8产生损坏，因此，为了减少对外框架2的作用力和其产生剧烈的摩擦力，设置至少位于外框架2底部的基板押元6上的支撑件为弹性支撑件7。该弹性支撑件7由L型支撑底座72和位于支撑底座水平部分上的弹性垫71组成，L型支撑底座72的开口方向朝向玻璃基板5方向，该弹性垫71由具有耐高温且不与磁控物理溅射真空腔体气体反应的材料制成。为了确保弹性垫71发挥良好的缓冲性，可将支撑底座水平部分开设凹槽，将弹性垫71位于凹槽内。为了确保弹性支撑件7具有较好的弹性，设置支撑底座72和弹性垫71之间设有弹簧。由于弹性支撑件7具有良好的弹性，可有效缓解玻璃基板5对弹性支撑件7的作用力，延长各部件的使用寿命。

其中，为了减少弹性支撑件7与基板押元6的面接触区域，进而实现减少因接触摩擦而带来的粉尘，设置部分支撑底座72的竖直部分与基板押元6的接触面之间具有缝隙，或者同时可设置支撑底座72竖直方向贴近基板押元6的一边部分具有凹槽。进一步地，为了防止该缝隙处应力集中导致断裂，设置该缝隙为U型缝隙，缝隙宽度为0.3-0.5mm。

设置弹性支撑件7竖直部分厚度d增至1-1.3mm，可加强弹性支撑件7的牢固性，延长了其使用寿命，并且该厚度可用于补偿由于联结垫1的设定而增加的玻璃基板5与内框架4之间Z方向(垂直于玻璃基板方向)的活动空间，联结垫1的厚度与弹性支撑件7竖直部分增加的厚度保证了玻璃基板5与支撑柱9的相对位置，确保玻璃基板5设置的相对距离保持不变。

本实施例提供的基板搬运装置，可有效减少各部件之间的摩擦力，最大程度地降低因摩擦而产生的粉尘污染，同时，可有效降低各部件之间由于直接性接触而带来的部件磨损，延长部件的使用寿命，进而提高设备的稼动率。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims

1.一种基板搬运装置，包括内框架、外框架、锁紧内框架和外框架的夹具，其特征在于，所述外框架的内侧至少一个边框上设有至少一个联结垫；

所述外框架的内侧紧贴内框架。

2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述联结垫为带孔片状。

3.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述外框架靠近基板的表面四周设有基板押元，所述基板押元上设有多个用于支撑并固定基板的支撑件；

至少位于外框架底部的基板押元上的支撑件为弹性支撑件。

4.如权利要求1所述的基板搬运装置结构，其特征在于，还包括多条连接内框架相对两边的支撑杆，所述内框架的四周和支撑杆上具有多个用于支撑基板的支撑柱。

5.如权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，所述弹性支撑件由支撑底座和位于支撑底座水平部分上的弹性垫组成，所述支撑底座为L型；

L型的支撑底座的开口方向朝向基板。

6.如权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述支撑底座和弹性垫之间设有弹簧。

7.如权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，部分支撑底座的竖直部分与基板押元的接触面之间具有缝隙，所述支撑底座的竖直部分厚度为1-1.3mm。

8.如权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述支撑底座竖直方向贴近基板押元的一边部分具有凹槽。

9.如权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述支撑底座水平部分的表面具有凹槽，所述弹性垫位于凹槽内。

10.如权利要求1-9任意一项所述的基板搬运装置，其特征在于，所述外框架的长边框上分布8-16个联结垫；

所述外框架的短边框上分布5-11个联结垫。