CN101501658A - 服务器装置及程序 - Google Patents

Abstract

以往的服务器装置存在无法有选择地输出与子配方对应的选择信息的问题。本发明提供一种服务器装置，具备：测定信息保存部(1201)，其可保存多个测定信息，该测定信息是具有由制造装置(11)执行规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部(1205)，其接收测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从测定信息保存部中取得由输出指示指定的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；以及输出部，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息；输出指示具有指定在配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中被执行的子配方的指示，测定信息取得部(1203)取得与由输出指示指定的子配方对应的测定信息。

Description

服务器装置及程序

技术领域

本发明涉及例如具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置的群管理系统的服务器装置等。

背景技术

目前为止，已知有可以对从测定器送来的数据自动并且正确地进行加工的半导体制造装置的群管理系统的测定数据加工方法(例如参照专利文献1)。本测定数据加工方法中，在群管理系统的群管理部的测定器通信部中，接收测定器所送来的各种测定数据。此外，预先登记有加工所述测定数据的计算式，在接收到所述测定数据时，将所述测定数据保存到测定数据接收缓冲器中，并且基于所述测定数据所具有的配方(recipe)名称，从所登记的所述计算式中选择适于加工所述测定数据的至少一个具有相同配方名称的计算式并保存到计算式保存缓冲器中，将所保存的所述测定数据应用于所选择的所述计算式中来进行计算，将计算结果储存于加工完毕数据保存缓冲器中。

另外，以往的半导体制造装置的群管理系统具有显示由半导体制造装置测定的时间序列的信息(以下记作图表)的功能。

另外，作为构成群管理系统的制造装置，有所谓的批处理式纵型热处理装置(参照专利文献2、专利文献3)。

通常来说，在半导体制造装置中，依照被称作配方的包含制造参数等的处理过程和表示处理条件的信息，来执行制造工艺。构成配方的序列的各过程被称作配方步骤，或者简称为步骤。半导体制造装置的异常等可以根据在变更了步骤之时，是否进行与该步骤的参数对应的控制来判断。由此，通过在步骤被执行的期间内，取得并监视利用测定器取得的全部测定数据，可以知道半导体制造装置的异常等。

此种半导体制造装置中，经常使用表示与配方具备相同的多个步骤的处理过程的信息来作为构成上述配方的一个以上的步骤，该信息被称作子配方。即，通过使用子配方，配方成为在配方内包含配方的嵌套结构。通过在构成配方的两个以上的步骤中使用此种子配方，可以在一个配方内反复执行由子配方内的多个步骤构成的处理。通过使用此种子配方，可以改变子配方的参数等，从而具有该子配方的步骤的参数被完全改变，使得配方的设定等变得容易。

专利文献1：日本特开平11-354395号公报(第一页、第一图等)

专利文献2：日本专利3543996号公报(第一页、第一图等)

专利文献3：日本特开2002-25997号公报(第一页、第一图等)

但是，在以往的服务器装置中，有无法适当地取得使制造装置执行子配方之时所测定的测定值的问题。

即，在以往的服务器装置中，在配方包含多个相同的子配方的情况下，当想要取得并输出含有该子配方的测定值的信息时，只能取得最先执行子配方之时所得到的测定值。由此，无法取得执行相同的子配方所得到的测定值当中的、例如针对第二次的子配方的测定值。其结果是，无法自由地取得期望子配方的测定值，从而无法适当地进行使用了测定值的制造装置的监视等。

发明内容

本发明的服务器装置是构成具有进行异常检测的功能的群管理系统的所述服务器装置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，该服务器装置具备：测定信息保存部，其可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部，其接收所述测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从所述测定信息保存部中取得由所述输出指示指定的测定信息；输出信息构成部，其构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及输出部，其输出所述输出信息构成部所构成的输出信息；所述配方包含一个以上的子配方，所述指示接收部所接收的输出指示具有以下指示，该指示指定所述配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中执行的子配方，所述测定信息取得部取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。

利用该构成，可以通过指定子配方和该子配方的处理次(执行次数)，而有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。这样，例如可以有选择地输出在监视等中所需的信息，可以限定监视区间，可以有效地进行监视等。具体来说，在某个配方中有被循环执行的子配方的情况下，可以将要监视的对象限定为例如利用第一次执行的子配方所得到的测定值等。另外，通过限定进行异常检测的区间，可以不进行不必要的区间的异常检测，从而可以适当地进行异常检测。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所述测定信息取得部对由所述输出指示指定的与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群新出现的次数进行计数，取得其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的测定信息群中所包含的一个以上的测定信息。

利用该构成，可以有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述子配方包含两个以上步骤，所述测定信息取得部在与构成子配方的两个以上步骤对应的两个以上的测定信息反复出现之时，将该反复出现的一个以上的测定信息作为与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群。

利用该构成，可以对子配方的处理次适当地进行计数，而从与被反复执行的子配方对应的测定信息中，有选择地输出在期望处理次中取得的测定信息。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述测定信息具有作为识别该测定信息所对应的子配方的信息的子配方标识符，与所述被执行多次的子配方对应的测定信息具有相同的子配方标识符，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所述测定信息取得部对由所述输出指示指定的被执行多次的子配方的子配方标识符被新检出的次数进行计数，取得一个以上的测定信息，该一个以上的测定信息具有其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的子配方标识符。

利用该构成，可以有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述子配方包含两个以上步骤，与所述子配方对应的测定信息包含用于识别步骤的步骤标识符，每当在具有相同子配方标识符的连续的测定信息中反复出现两个以上步骤标识符时，所述测定信息取得部就进行累加(count up)。

利用该构成，可以对子配方的处理次进行适当计数，而从与被反复执行的子配方对应的测定信息中，有选择地输出在期望处理次中取得的测定信息。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述指示接收部接收指定以下子配方的所述输出指示，该子配方是所述配方中被执行多次的子配方当中、在2以上的期望次中被执行的子配方，所述测定信息取得部取得与2以上的不同次的子配方对应的测定信息，所述输出信息构成部对以下测定信息进行规定运算，构成与其运算结果对应的输出信息，该测定信息是所述测定信息取得部所取得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息。

利用该构成，可以根据目的来处理并输出子配方的不同处理次的测定信息，从而容易进行监视等，并且可以将测定信息灵活地用于各种各样的目的。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部构成SPC图表，该SPC图表是依照所取得的所述测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序来描绘该测定信息而得到的图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的SPC图表。

利用该构成，可以容易地进行制造装置的经时变化和波动监视。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成作为表示两种测定信息的相关的图表的相关图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的相关图表。

利用该构成，可以监视两个变量的相关关系，可以有效地进行异常检测。

另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成作为表示三种以上的测定信息的相关的图表的MD(Mahalanobis距离)图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的MD图表。

利用该构成，可以监视多个变量的相关关系，可以更为有效地进行异常检测。

根据本发明的服务器装置等，可以有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。

附图说明

图1是实施方式的群管理系统的概念图。

图2是表示该群管理系统的半导体制造装置的例子的图。

图3是该群管理系统的框图。

图4是对该群管理系统的制造装置的动作进行说明的流程图。

图5是对该群管理系统的服务器装置的动作进行说明的流程图。

图6是对该群管理系统的服务器装置取得测定信息的处理进行说明的流程图。

图7是表示该群管理系统的配方管理表的图。

图8是表示该群管理系统的子配方管理表的图。

图9是表示该群管理系统的初始信息的例子的图。

图10是表示该群管理系统的初始信息管理表的图。

图11是表示该群管理系统的测定信息管理表的图。

图12是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图13是表示该群管理系统的取得信息管理表的图。

图14是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图15是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图16是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图17是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图18是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

图19是表示该群管理系统的客户装置的显示例的图。

具体实施方式

下面，参照附图对服务器装置等的实施方式进行说明。由于在实施方式中使用了相同符号的构成要素进行相同的动作，因此有时省略再次的说明。

(实施方式)

图1是本实施方式的群管理系统的概念图。群管理系统是例如控制半导体制造装置、液晶面板制造装置等制造装置的系统。另外，群管理系统具有一个以上的制造装置11(从制造装置11a到制造装置11n(其中n表示任意数))、服务器装置12及客户装置13。

制造装置11是对被处理基板、例如半导体晶片等进行规定处理的装置。制造装置11例如进行成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等针对被处理基板的各种处理。制造装置11例如为上述的专利文献2或专利文献3等中的批处理式纵型热处理装置。将本制造装置11的例子表示于图2中。本制造装置11是作为装载室被制成了如下的所谓装载互锁室(load-lock)结构的装置，即，可以相对于其他的室密闭，能够进行作为惰性气氛的N₂气的供给、抽真空。制造装置11由如下部分构成主要部分：作为处理室的处理管a，其对作为被处理体的晶片W实施规定处理；作为装载室的装载互锁室h，其具备移送机构g，该移送机构g相对于该处理管a插入和取出收纳了多片、例如100片晶片W的作为保持体的晶片舟f；搬入搬出室ab，其相对于该装载互锁室h搬入搬出晶片W；形成于该搬入搬出室ab上的料盒收容容器用口ac；取入机构ae，其将放置于该口ac中的料盒收容容器ad取入搬入搬出室ab内；容器保管载台af，其临时保管所取入的料盒收容容器ad；料盒取出载台ag，其将收容于料盒收容容器ad内的料盒C取出；容器转装机构ah，其在搬入搬出室ab内进行料盒收容容器ad的转交；保持体收容室ai，其配置于装载互锁室h与搬入搬出室ab之间，收容晶片舟f。另外，对于图2的制造装置11的例子中的其他部位及动作，由于是公知技术(参照专利文献2)，因此省略详细的说明。另外，作为构成制造装置11的腔室(chamber)，优选专利文献3的图1中的腔室。

另外，制造装置11例如保存了作为与针对晶片的规定处理相关的信息的配方，使用该配方进行控制。

另外，服务器装置12是构成所谓的群管理系统的服务器装置，可以保存一个以上的制造装置11的各种测定信息，具有对该测定信息进行异常检测的功能。

另外，客户装置13对服务器装置12输出各种请求，接收服务器装置12的处理结果。

图3是本实施方式的群管理系统的框图。

制造装置11具备：输入接收部1101、配方保存部1102、制造装置标识符保存部1103、计时部1104、处理部1105、测定部1106、初始信息存储部1107、初始信息发送部1108。

服务器装置12具备：测定信息保存部1201、初始信息接收部1202、测定信息取得部1203、测定信息存储部1204、指示接收部1205、输出信息构成部1206、输出部1207、输出指示存储部1208、条件信息保存部1209、异常检测部1210。

客户装置13具备：指示输入部1301、指示发送部1302、接收部1303、显示部1304。

输入接收部1101从制造装置11的用户处接收各种输入。所谓各种输入例如是配方、识别配方的配方标识符、针对晶片的加工处理等处理的执行指示等。由用户进行各种输入的输入机构可以是数字键、键盘、鼠标也可以是菜单画面等，哪一种都可以。输入接收部1101可以利用数字键、键盘等输入机构的设备驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。

配方保存部1102保存有为了控制制造装置11而使用的配方。所谓配方是指与制造装置11所执行的规定处理相关的信息，例如为指定包含制造参数等的处理条件的信息。配方通常来说包含构成处理的一个或多个过程、设定该过程中的处理参数等的信息等。构成处理的各过程通常来说被称作步骤或配方步骤。在步骤中，通常来说包含处理的一部分过程、设定该过程中的处理参数等的信息。这里，作为构成配方的一个以上的步骤经常使用具备与配方同样的一个以上、通常来说为两个以上的步骤的信息，该信息被称作子配方。即，通过使用子配方，配方成为在配方内包含配方的嵌套结构(nest结构)。处理参数的信息例如包括类别名、项目名、参数名、值。所谓类别名是指表示处理参数的种类的名称，例如为“温度”、“气体流量”、“舟升降机的速度”等。项目名是表示处理参数的属性的名称，例如为“上下速度”、“旋转速度”等。参数名是处理参数的名称，例如为“C”、“A”等。值是对处理参数之类的变量赋予的值。通常来说，配方与识别配方的配方标识符(例如配方名)成对地保存。另外，配方与作为构成该配方的步骤的标识符的步骤标识符、用于识别子配方的子配方标识符一起保存于配方保存部1102中。步骤标识符例如为步骤的名称、识别编号等。构成子配方的步骤与构成配方的步骤是同样的，也可以具有与构成配方的步骤相同的步骤标识符，然而，在这里为了说明上的方便，将构成子配方的步骤称作子配方步骤，将其标识符称作子配方步骤标识符。配方保存部1102优选非易失性的记录介质，然而也可以利用易失性的记录介质来实现。

制造装置标识符保存部1103保存有识别制造装置11的制造装置标识符。制造装置标识符只要是可以识别各制造装置11的信息即可，例如也可以是装置名、型号、制造编号、各制造装置11中所设定的识别编号和名称等。该制造装置标识符既可以是输入接收部1101所接收的信息，也可以是制造装置出售时预先保存的信息。制造装置标识符保存部1103无论是硬盘、ROM等非易失性的记录介质，还是RAM等易失性的记录介质都可以。

计时部1104计测时间。计时部1104将表示计测时间而得到的时刻的信息向测定部1106输出。这里所说的表示时刻的信息可以包含年月日等信息。计时部1104所计测的时间既可以是绝对时间，也可以是相对时间。计时部1104例如利用钟表等实现。

处理部1105读出配方保存部1102的配方，依照该配方对被处理基板进行规定处理。处理部1105通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。处理部1105的处理过程通常来说由软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。

测定部1106测定制造装置11内的温度、气体流量、压力、制造装置11的功率等，取得初始信息，该初始信息是成为测定信息的基础的信息，该测定信息是进行图表化等的对象。初始信息是所测定的温度等信息。测定部1106例如定期地或者以不定期的规定时间间隔进行测定。初始信息具有作为通过测定而得到的值的测定值，另外，通常来说，初始信息具有表示所测定的时刻的时刻信息。该时刻信息例如从计时部1104中取得。初始信息优选具有：识别在测定部1106测定温度等的值之时所执行的步骤的步骤标识符、作为所测定的值的测定值、表示所测定的时刻的时刻信息。另外，在测定之际，作为执行中的步骤执行了子配方的情况下，具有识别执行中的子配方的子配方标识符。另外，优选具有识别执行中的子配方当中的执行中的子配方步骤的子配方步骤标识符。而且，配方标识符、步骤标识符、子配方标识符、子配方步骤标识符等例如可以从配方保存部1102中取得。初始信息也可以具有所执行的配方的配方标识符。另外，初始信息也可以具有执行了配方的制造装置11的制造装置标识符。该制造装置标识符例如可以从制造装置标识符保存部1103中取得。另外，初始信息也可以具有：用于识别测定部1106所测定的测定对象、例如温度和气体压力等，以及测定部位、例如处理管内等的信息，例如测定对象的名称、测定部位的名称或者与它们对应的识别信息等。测定部1106当然也可以测定多个部位的多个温度、或温度与气体流量等的多个值。也就是说，初始信息也可以具有两种以上的被测定的值。测定部1106可以利用一个以上的温度传感器或一个以上的流量传感器等传感器等来实现。

初始信息存储部1107将测定部1106所取得的初始信息存储于未图示的记录介质中。初始信息存储部1107通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。初始信息存储部1107的处理过程通常来说由软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。另外，上述的未图示的记录介质虽然优选非易失性的记录介质，但是也可以利用易失性的记录介质来实现。

初始信息发送部1108将初始信息存储部1107所存储的初始信息向服务器装置12发送。不管发送初始信息的触发为何均可。另外，初始信息发送部1108所发送的初始信息具有所测定的一种以上(例如温度和气体流量)的值，也就是测定值，以及时刻信息。另外，在初始信息发送部1108所发送的初始信息含有在执行子配方中测定的测定值的情况下，具有进行该测定时所执行的子配方的子配方标识符。另外，该情况下，初始信息发送部1108所发送的初始信息优选具有子配方步骤标识符。另外，初始信息发送部1108所发送的初始信息优选具有步骤标识符。除此以外，初始信息发送部1108所发送的初始信息还优选具有识别制造装置11的制造装置标识符、识别配方的配方标识符。另外，也可以具有用于识别测定部1106所测定的测定对象、例如“温度”、“气体压力”等，以及测定部位、例如“处理管内”等的信息。而且，初始信息存储部1107所存储的初始信息和初始信息发送部1108所发送的初始信息的结构和构成也可以不同。另外，初始信息也可以是如下的构成，即，对于多个被测定的值，具有一个制造装置标识符、一个配方标识符、和一个步骤标识符的至少一个。初始信息发送部1108可以利用无线或有线的通信机构等来实现。另外，初始信息发送部1108也可以在将初始信息向服务器装置12发送之前，从配方保存部1102和制造装置标识符保存部1103中分别读出子配方标识符、子配方步骤标识符、步骤标识符、配方标识符、制造装置标识符，并附加在初始信息中。另外，初始信息发送部1108既可以在每次测定值(例如气体流量)时发送初始信息，也可以对汇总了规定数目的所测定的值的初始信息(例如汇总了10个后的初始信息)进行一次性发送。不管初始信息发送部1108所发送的数据的单位、数据结构等为何均可。另外，构成要发送的初始信息的处理也可以不是由初始信息发送部1108进行，而是由初始信息存储部1107来进行。不管发送所测定的初始信息、制造装置标识符、配方标识符、配方步骤标识符的时机等为何均可。

测定信息保存部1201可以保存多个测定信息。多个测定信息是如下的信息，即，是由多个制造装置11测定的一种以上的信息(例如温度、压力)的时间序列的信息，是具有由制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息。另外，在测定信息包含在执行子配方中所测定的测定值的情况下，则具有子配方标识符。另外，该情况下，初始信息发送部1108所发送的初始信息优选具有子配方步骤标识符。另外，多个测定信息也可以具有识别制造装置11的制造装置标识符、配方标识符、步骤标识符等。测定信息既可以是测定信息取得部1203对初始信息接收部1202所接收的多个初始信息进行规定运算而取得的信息，也可以是与初始信息相同的信息。测定信息保存部1201虽然优选非易失性的记录介质，但是也可以利用易失性的记录介质来实现。测定信息保存部1201的测定信息既可以是测定信息存储部1204所存储的信息，也可以是从制造装置11直接接收的信息，还可以是从未图示的记录介质中读出的信息。

初始信息接收部1202从多个制造装置11接收初始信息，该初始信息是成为多个测定信息的基础的信息。初始信息接收部1202可以利用无线或有线的通信机构等来实现。

测定信息存储部1204将使用了初始信息接收部1202所接收的多个初始信息的测定信息存储于测定信息保存部1201中。该测定信息既可以是测定信息取得部1203对初始信息接收部1202所接收的多个初始信息进行规定运算而取得的信息，也可以是与初始信息相同的信息。所谓规定运算例如是每隔规定的时间间隔，算出多个初始信息所具有的多个值的平均值、取得最大值、取得最小值、将值标准化、算出标准差、取得中值的运算。而且，在将测定信息取得部1203所取得的多个测定信息配置于测定信息保存部1201中的情况下，测定信息存储部1204所进行的存储处理与NOP(No Operation)是相同意义。测定信息存储部1204通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。测定信息存储部1204的处理过程通常来说利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。

指示接收部1205接收指示。该指示通常来说是从客户装置13处接收，然而也可以从与服务器装置12连接的键盘、鼠标等处接收。指示接收部1205所接收的指示例如为保存于测定信息保存部1201中的测定信息的输出指示。该输出指示例如为构成配方的步骤当中的与期望步骤对应的测定信息的输出指示。另外，例如该输出指示具有如下的指示，即，指定配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中执行的子配方。所谓“1个以上的期望次”既可以是特定的一次，例如第一次，也可以是特定的多次，例如第二次与第五次这两者，还可以是所有的次。该指定子配方的指示也可以是具有与所指定的子配方对应的子配方标识符的指示。输出指示例如为了输出包含在执行期望配方中所测定的值的测定信息，也可以包含指定配方的信息，例如配方标识符等。在输出指示中，为了输出针对多个制造装置11当中的特定制造装置的测定信息，也可以包含指定多个制造装置11当中的至少任意一个的信息，例如包含制造装置标识符等。另外，在输出指示中，也可以包含指定如何输出测定信息的信息。例如既可以是将测定信息输出为期望形式的数据的指示、将测定信息图表化而输出的指示，也可以是输出使用测定信息进行规定分析、处理，例如多变量解析、统计处理等而得到的结果的指示。另外，也可以是使用测定信息进行异常检测、异常分析等的指示。另外，输出指示也可以包含所输出的图表的种类，例如SPC图表、相关图表或MD图表等信息。另外，输出指示也可以包含指定进行图表输出的测定信息的数据类型，例如温度、气体流量、压力等的信息。另外，输出指示也可以包含构成图表的点、线的属性信息。所谓属性信息是指点的颜色、点的种类(形状)、线的颜色、线种类等。指示接收部1205例如由无线或有线的接收机构构成。指示的输入机构可以是数字键、键盘、鼠标也可以是菜单画面等，哪一种都可以。指示接收部1205可以利用数字键、键盘等输入机构的设备驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。

测定信息取得部1203从测定信息保存部1201中取得指示接收部1205所接收的由测定信息的输出指示指定的测定信息。特别是，在输出指示具有指定被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中被执行的子配方的指示的情况下，取得与该被指定的次的子配方对应的测定信息，例如取得在执行该子配方时所测定的测定信息、对该测定信息进行了规定运算等处理而得到的测定信息。测定信息取得部1203取得1个以上的被指定的次(例如仅第一次、仅第五次或第一次与第四次这两者等)的测定信息。具体来说，测定信息取得部1203从测定信息保存部1201中取得与以下标识符建立了关联的测定信息，该标识符与输出指示中所包含的步骤标识符、子配方标识符一致。另外，在输出指示中还包含装置标识符、配方标识符等的情况下，则取得与该装置标识符、配方标识符也一致的测定信息。测定信息取得部1203对与由输出指示指定的被执行多次的子配方对应的测定信息的群新出现的次数进行计数，也就是对使用将该子配方执行一次之时所测定的一个以上测定值而得到的一个以上测定信息的集合新出现的次数进行计数。此外，在该计数值与由输出指示指定的期望次相同之时，则取得该出现了的测定信息的群中所包含的一个以上的测定信息。具体来说，假定与被执行多次的子配方对应的测定信息具有相同的子配方标识符时，则在接收到指定被执行多次的子配方的子配方标识符、和该1个以上的被执行的次的输出指示时，对于保存于测定信息保存部1201中的测定信息，测定信息取得部1203对由输出指示指定的被执行多次的子配方的子配方标识符被新检出的次数进行计数，在该次数与输出指示中所包含的次一致的情况下，取得该一致的次的测定信息。更具体来说，对于保存于测定信息保存部1201中的测定信息，测定信息取得部1203对输出指示中所包含的子配方标识符一致的测定信息被新检出的次数进行计数，在该次数与输出指示中所包含的次一致的情况下，取得该一致的次的具有由输出指示指定的子配方标识符的测定信息。另外，在时间轴上，具有相同子配方标识符的测定信息连续地出现或被检出的情况下，除去相同子配方被反复执行的情况以外，不被看作是测定信息的新出现、被新检出，它们被看作是一个测定信息的群。另外，这里的检出新出现的处理以将使用表示时刻的信息对测定信息进行了排序时的处理为前提。所谓对新出现的次数或被新检出的次数进行计数，只要是结果可以对新出现的次数或被新检出的次数进行计数的处理即可。例如，在检索到具有与输出指示中所包含的子配方标识符一致的子配方标识符的测定信息的情况下，也就是时间轴上紧接在该测定信息之前的测定信息所具有的子配方标识符并非是输出指示中所包含的子配方标识符的情况下，则该处理为进行累加的处理。另外，在考虑子配方包含两个以上的子配方步骤，且该子配方被连续地反复执行的情况下，如果只是单纯地对子配方标识符新出现的次数进行计数，则由于与被反复执行的多个子配方对应的测定信息在时间轴上是连续的，且具有相同的子配方标识符，因此利用上述的方法，有可能判断为是由一个子配方得到的测定信息。因此，在此种情况下，在与构成子配方的两个以上的子配方步骤对应的两个以上的测定信息反复出现之时，测定信息取得部1203将该反复出现的一个以上的测定信息判断为是与被多次执行的子配方对应的测定信息的群中的一个，而进行累加。具体来说，测定信息取得部1203每当在具有相同子配方标识符的连续多个测定信息中反复出现两个以上的子配方步骤标识符，具体来说，反复出现构成子配方的两个以上的子配方步骤的子配方步骤标识符时，都进行累加。由此，在反复执行了子配方的情况下，也可以正确地对子配方的次数进行计数。此种子配方的反复执行例如可以利用是否保持了检出子配方步骤标识符之时的规律性来判断，不管进行此种判断之时所利用的规律性如何均可。测定信息取得部1203通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。测定信息取得部1203的处理过程通常来说可以利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。

输出信息构成部1206构成使用了测定信息取得部1203所取得的测定信息的输出信息。另外，在指示接收部1205接收到指定配方中被执行多次的子配方当中的在2以上的期望次(例如第一次和第五次这两者等)中被执行的子配方的输出指示，测定信息取得部1203根据该输出指示取得与2以上的不同次的子配方对应的测定信息的情况下，输出信息构成部1206也可以对测定信息取得部1203所取得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息，进行规定运算，构成与该运算结果对应的输出信息。所谓规定运算具体来说是平均值的算出、最大值或最小值的算出、标准差的算出、最大值与最小值的差的算出等。由此，例如可以输出执行2以上的不同次的子配方时所得到的测定值的平均值等运算结果的图表等。输出信息构成部1206例如构成预先设定了的形式或指示接收部1205接收到的指示所指定的形式，具体来说，构成文本形式、XML形式、数据库形式等的输出信息。另外，使用测定信息取得部1203所取得的测定信息来构成作为输出信息的图表。此时，输出信息构成部1206最好以使不同种类的测定信息、不同制造装置的测定信息在视觉上区别开的方式来构成输出信息。输出信息构成部1206例如构成并输出与存储于输出指示存储部1208中的输出指示对应的输出信息。另外，也可以使用所取得的测定信息进行规定运算，构成与该运算结果对应的输出信息。所谓规定运算例如是每隔规定的时间间隔，算出多个测定信息所具有的多个值的平均值、或将多个测定信息沿着时间轴累计、或取得最大值、或取得最小值、或将值标准化、或算出标准差、或取得中值的运算。而且，也可以在测定信息存储部1204存储初始信息接收部1202接收到的多个初始信息之时，对多个初始信息进行此种规定运算。另外，输出信息构成部1206也可以构成与后述的异常检测部1210的判断结果对应的输出信息。例如，输出信息构成部1206利用测定信息取得部1203所取得的多个测定信息来构成图表，此时，输出信息构成部1206以使异常的测定信息与正常的测定信息在视觉上区别开的方式来构成输出信息。这里所说的输出信息例如也可以是与属于异常的测定信息相关的测定部名和时刻的列表信息。该测定部名例如是根据识别测定信息中包含的测定部1106所测定的测定部位的信息而取得的。另外，所谓输出信息例如也可以是利用该列表信息和测定信息构成的图表的信息。所谓输出信息例如表示属于正常、表示属于异常。所谓输出信息例如是表示是正常和异常的哪一方的声音信息(蜂鸣等)。另外，输出信息构成部1206为了检测异常，也可以进行构成表示了异常值、正常值的范围的图表的处理。该情况下，异常检测部1210读入符合输出指示的测定信息，而不管是否进行异常检测的处理。在输出指示中包含两个以上的制造装置标识符的情况下，最好输出信息构成部1206构成在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表。另外，在输出指示中包含两个以上配方标识符的情况下，输出信息构成部1206最好构成在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表。这里，所谓在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，在输出指示包含两个以上的制造装置标识符的情况下，是指将与每个制造装置标识符对应的测定信息用不同的点种类(四边形和圆圈的形状、颜色、大小)输出的图表，或将与每个制造装置标识符对应的测定信息用不同的线颜色连结的图表等。另外，所谓在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，在输出指示仅包含一个制造装置标识符的情况下，是指由该一个制造装置标识符的多个测定信息构成的图表。另外，所谓在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，在输出指示包含两个以上的配方标识符的情况下，是指将与每个配方标识符对应的测定信息用不同的点种类(四边形和圆圈的形状、颜色、大小)输出的图表，或将与每个配方标识符对应的测定信息用不同的线种类(实线和虚线等)连结的图表等。另外，所谓在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，在输出指示仅包含一个配方标识符的情况下，是指由该一个配方标识符的多个测定信息构成的图表。另外，输出信息构成部1206也可以利用所读出的多个测定信息构成如下的SPC图表(统计过程管理图表)，该SPC图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而得到的图表。SPC图表是统计过程管理中所用的图表，是用于监视单变量而进行异常检测的图表。SPC图表中，最好事先设定好监视对象的上下限值(管理值)，在成为管理值外的值的情况下，异常检测部1210检测出异常，在视觉上表示所检测到的异常。此种上限值例如预先保存在后述的条件信息保存部1209中。另外，输出信息构成部1206在输出指示包含一个以上制造装置标识符的情况下，也可以利用具有该一个以上制造装置标识符中的任意一个的多个测定信息来构成如下的相关图表，该相关图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是表示两种测定信息的相关的图表。相关图表是监视2个变量的相关关系的图表，是可以从2个变量中检测异常的图表。另外，输出信息构成部1206在输出指示包含一个以上配方标识符的情况下，也可以由具有该一个以上配方标识符中的任意一个的多个测定信息来构成如下的MD(Mahalanobis距离)图表，该MD图表是在视觉上能够区别每个配方标识符的测定信息的样式的图表，是表示三种以上的测定信息的相关的图表。图表的构成例如是依照时间轴将多个测定信息用线连结而得到图表的处理。在被赋予多个具有值和时刻信息的测定信息的情况下，由于构成图表的处理是公知技术，因此省略详细的说明。另外，在被赋予多个具有值和时刻信息的测定信息的情况下，由于构成SPC图表、相关图表、MD图表的处理是公知技术，因此省略详细的说明。另外，所谓两种测定信息也包括在一个测定信息中包含两种被测定的值(例如温度和气体流量)的信息。另外，所谓三种以上的测定信息也包括在一个测定信息中包含三种以上被测定的值(例如温度、气体流量和压力)的信息。输出信息构成部1206通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。输出信息构成部1206的处理过程通常来说可以用软件实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。

输出部1207输出输出信息构成部1206所构成的图表。这里，所谓输出通常来说是向客户装置13的发送。但是，输出部1207也可以在与服务器装置12连接的显示器上显示图表，或向打印机打印，或向外部的装置发送。输出部1207可以利用无线或有线的通信机构来实现。但是，输出部1207也可以利用输出设备的驱动软件或用输出设备的驱动软件和输出设备等来实现。

输出指示存储部1208存储输出指示，该输出指示是点及线等的属性信息和制造装置标识符的指示，或者是点及线等的属性信息和配方标识符等的指示。输出指示存储部1208例如也可以在指示接收部1205接收到作为存储图表的设定(包括颜色信息)的指示的存储指示的情况下，存储具有点及线等的属性信息和装置标识符、或具有点及线的属性信息和配方标识符的输出指示。另外，输出指示存储部1208通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。输出指示存储部1208的处理过程通常来说可以利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)来实现。

条件信息保存部1209保存有作为与异常检测的条件相关的信息的条件信息。条件信息例如是表示测定值的正常范围的上限值和下限值。条件信息例如也可以仅为正常值与异常值之间的边界值。这些值通常被称为管理值。此外，条件信息随着测定对象的值(温度、压力、气体流量、功率量等)的不同而不同。另外，不管条件信息的结构如何均可。条件信息保存部1209优选为非易失性的记录介质，然而也可以利用易失性的记录介质来实现。

异常检测部1210判断作为测定信息取得部1203取得的测定信息所具有的值的测定值是异常还是正常。异常检测部1210使用条件信息保存部1209的条件信息，判断测定信息所具有的测定值是异常还是正常。具体来说，异常检测部1210在测定信息取得部1203取得了测定信息的情况下，判断该测定信息是否分别符合条件信息。异常检测部1210通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。异常检测部1210的处理过程通常可以用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)来实现。而且，异常检测部1210的异常检测处理也可以是公知的异常检测的处理。

指示输入部1301输入各种指示。所谓各种指示例如为如上所述的服务器装置12中所存储的测定信息的输出指示。另外，是起动的指示、图表的输出指示、图表的属性值(线种类、线的颜色、点的种类或点的颜色等)的变更的指示等。指示的输入机构可以是数字键、键盘、鼠标也可以是菜单画面等，哪一种都可以。指示输入部1301可以利用数字键、键盘等输入机构、其硬盘驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。

指示发送部1302将由指示输入部1301输入的指示向服务器装置12发送。这里所说的发送通常来说是使用了通信机构的发送。指示发送部1302可以利用无线或有线的通信机构等来实现。

接收部1303从服务器装置12接收图表等输出信息。这里所说的接收通常来说是使用了通信机构的接收。接收部1303可以利用无线或有线的通信机构等来实现。

显示部1304在显示器上显示接收部1303所接收到的图表等输出信息。在接收部1303从服务器装置12接收文本形式、XML形式、数据库形式等的输出信息的情况下，显示部1304也可以具备用于利用这些输出信息来构成显示数据的MPU和存储器等，使得显示部1304与输出信息构成部1206同样地构成图表等显示用的输出信息，并将该输出信息显示在显示器上。显示部1304既可以包含显示器，也可以看作不包含显示器。显示部1304可以利用显示器的驱动软件或利用显示器的驱动软件和显示器等来实现。

下面，对群管理系统的动作进行说明。首先，使用图4的流程图对制造装置11的动作进行说明。而且，在这里，对初始信息包含与测定时执行的配方步骤对应的配方步骤标识符的情况进行说明，另外，在该步骤为执行子配方的步骤的情况下，对包含与该子配方对应的子配方标识符、和与构成该子配方的子配方步骤当中的进行测定时执行的子配方步骤对应的子配方步骤标识符的情况进行说明。

(步骤S401)处理部1105读出配方保存部1102的配方。

(步骤S402)处理部1105向计数器i中代入1。

(步骤S403)处理部1105判断在步骤S401中读入的配方中，是否存在第i个步骤。如果存在第i个步骤，则前进到步骤S404，如果不存在第i个步骤，则前进到步骤S420。

(步骤S404)处理部1105判断第i个步骤是否是执行子配方的步骤。在是执行子配方的步骤的情况下，前进到步骤S405，在不是执行子配方的步骤的情况下，前进到步骤S413。

(步骤S405)处理部1105向计数器h中代入1。

(步骤S406)处理部1105判断在步骤S404中判断为被执行的子配方的子配方步骤中是否存在第h个子配方步骤。如果存在第h个子配方步骤，则前进到步骤S407，如果不存在第i个步骤，则前进到步骤S418。

(步骤S407)处理部1105执行第h个子配方步骤的处理。

(步骤S408)测定部1106进行预先决定的一种以上的测定(例如温度和压力)，取得测定值(这里的测定值通常来说仅具有一种以上的值)。

(步骤S409)测定部1106从计时部1104中取得时刻信息，另外，从配方保存部1102中取得现在执行中的子配方步骤的子配方步骤标识符、与包含该子配方步骤的步骤及子配方对应的步骤标识符及子配方标识符，对所测定的信息赋予时刻信息和步骤标识符、子配方标识符及子配方步骤标识符，构成初始信息。

(步骤S410)初始信息存储部1107将在步骤S409中构成的初始信息暂时存储在未图示的存储器中。

(步骤S411)处理部1105判断第h个子配方步骤的处理是否结束。例如，在第h个子配方步骤的处理时间被预先决定的情况下，判断是否经过了该处理时间。另外，在第h个子配方步骤的处理的结束条件被决定了的情况下，例如，在预先决定了当温度达到了规定温度时结束处理的情况下，判断是否满足处理条件，在满足的情况下，决定结束处理。在结束处理的情况下，前进到步骤S412，在不结束处理的情况下，回到步骤S408。

(步骤S412)处理部1105将计数器h加1，回到步骤S406。

(步骤S413)处理部1105执行第i个步骤的处理。

(步骤S414)测定部1106进行预先决定的一种以上的测定(例如温度和压力)，取得测定值(这里的测定值通常来说仅具有一种以上的值)。

(步骤S415)测定部1106从计时部1104中取得时刻信息，另外，从配方保存部1102中取得执行中的步骤的步骤标识符，对所测定的信息赋予时刻信息和步骤标识符，构成初始信息。

(步骤S416)初始信息存储部1107将在步骤S406中构成的初始信息暂时存储在未图示的存储器中。

(步骤S417)处理部1105判断第i个配方步骤的处理是否结束。例如，在第i个配方步骤的处理时间被预先决定的情况下，判断是否经过了该处理时间。另外，在第i个配方步骤的处理的结束条件被决定了的情况下，例如，在预先决定了当温度达到了规定温度时结束处理的情况下，判断是否满足处理条件，在满足的情况下，决定结束处理。在结束处理的情况下，前进到步骤S418，在不结束处理的情况下，回到步骤S414。

(步骤S418)初始信息发送部1108将在步骤S410或步骤S416中暂时存储的初始信息(这里是一种以上的测定值、时刻信息和步骤标识符的组、或一种以上的测定值、时刻信息、步骤标识符、子配方标识符和子配方步骤标识符的组)向服务器装置12发送。另外，假定初始信息发送部1108保持有用于与服务器装置12通信的信息(例如服务器装置12的IP地址等)。

(步骤S419)处理部1105将计数器i加1，回到步骤S403。

(步骤S420)初始信息发送部1108从配方保存部1102中读出配方标识符。该配方标识符是在步骤S401中读入的配方的配方标识符。

(步骤S421)初始信息发送部1108从制造装置标识符保存部1103中读出制造装置标识符。

(步骤S422)初始信息发送部1108将从步骤S410到步骤S411中读出的配方标识符及制造装置标识符向服务器装置12发送。另外，假定初始信息发送部1108保持有用于与服务器装置12通信的信息(例如服务器装置12的IP地址等)。此后，结束处理。

此外，图4的流程图的步骤S410、步骤S416中，初始信息存储部1107也可以不是将步骤S409、步骤S415中构成的初始信息暂时存储在未图示的存储器中，而是逐个地与步骤S418同样地向服务器装置12发送。由此，可以实时地向服务器装置发送数据。另外，既可以将制造装置标识符、配方标识符在测定开始时发送，也可以包含于各测定信息中。

另外，在步骤S409、步骤S415中，在初始信息中不含有配方步骤标识符的情况下，也可以在步骤S418的处理之前，进行从配方保存部1102中读出配方步骤标识符，并将其在步骤S418中与初始信息一起向服务器装置12发送的处理。

下面，使用图5的流程图对服务器装置12的动作进行说明。而且，这里以指示接收部1205接收到的输出指示为图表的输出指示的情况为例进行说明。

(步骤S501)指示接收部1205判断是否接收到指示。如果接收到指示，则前进到步骤S502，如果没有接收到指示，则前进到步骤S512。

(步骤S502)测定信息取得部1203判断在步骤S501中接收到的指示是否是图表的输出信息的输出指示。如果是图表的输出指示，则前进到步骤S503，如果不是图表的输出指示，则回到步骤S501。

(步骤S503)测定信息取得部1203判断在步骤S501中接收到的图表的输出指示中是否含有指定子配方的指示，具体来说，判断是否含有子配方标识符。在含有的情况下，前进到步骤S504，在不含有的情况下，回到步骤S501。在回到步骤S501之前，也可以进行以下处理：依照输出指示中所包含的指示，例如依照输出具有期望步骤标识符的测定信息的指示，取得并输出具有期望步骤标识符的测定信息。

(步骤S504)测定信息取得部1203向计数器m中代入1。

(步骤S505)测定信息取得部1203判断在输出指示中是否有指定以下子配方的指示，该子配方是被执行多次的子配方当中的在第m个期望次中被执行的子配方。所谓“第m个期望次”，例如在将期望子配方执行5次的情况下，假设将期望次设定为第二次、第三次、第五次共计三次，则第m＝1个期望次为第二次，第m＝2个期望次为第三次，第m＝3个期望次为第五次。但是，在m值增加的情况下，没必要一定从其值由小到大的顺序选择多个期望次。例如，在输出指示包含指定子配方在第二次和第三次中被执行之时所得到的测定信息的指示的情况下，在m为“1”及“2”时，测定信息取得部1203判断为在输出指示中有指定在第m个期望次中被执行的子配方的指示。另外，例如在执行配方时，将期望子配方执行了10次的情况下，在输出指示包含指定在子配方被执行的所有次中得到的测定信息的指示的情况下，会有针对全部10次的子配方的指定，因此在m为“1”到“10”的各个值时，测定信息取得部1203也可以判断为在输出指示中有指定在第m个期望次中被执行的子配方的指示。在输出指示中未指定以下值，该值是指定成为输出对象的子配方被处理的次的值的情况下，优选将指定期望次的值预先设定为默认值，例如设定为“1”等。在有指定在第m个期望次中被执行的子配方的指示的情况下，前进到步骤S506，在没有的情况下，前进到步骤S509。

(步骤S506)测定信息取得部1203从保存于测定信息保存部1201中的测定信息当中的、输出指示中所包含的制造装置标识符及配方标识符一致的测定信息内，取得执行与输出指示中所包含的子配方标识符对应的子配方的第m个处理次之时取得的测定信息。例如，在执行配方时，将期望子配方执行了10次的情况下，在输出指示包含指定子配方在第二次和第五次中被执行之时得到的测定信息的指示时，在m＝1的情况下，取得使用了在子配方被第二次执行之时测定的测定值的测定信息。另外，在m＝2的情况下，取得使用了在子配方被第五次执行之时测定的测定值的测定信息。对于该处理的详细情况将在后面叙述。

(步骤S507)测定信息取得部1203将在步骤S506中取得的测定信息暂时储存在未图示的存储器等中。而且，在步骤S506中，在存储器等中已经存储有测定信息的情况下，也可以不进行该处理。

(步骤S508)测定信息取得部1203将计数器m加1。此后，回到步骤S506。

(步骤S509)异常检测部1210判断在步骤S506中取得的一个以上的测定信息所具有的各测定值是异常还是正常。具体来说，异常检测部1210使用条件信息来判断各测定值是异常还是正常。

(步骤S510)输出信息构成部1206使用在步骤S503中取得的测定信息，来构成遵循了所接收到的输出指示的图表等输出信息。此时，也可以对测定信息进行规定运算。特别是利用测定信息取得部1203取得了与在被执行多次的子配方当中的不同的2以上的次对应地测定的测定信息的情况下，输出信息构成部1206也可以对测定信息取得部1203所取得的与2以上的不同的次的子配方对应地得到的测定信息当中的、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息，进行规定运算，构成与该运算结果对应的输出信息。另外，对于将2个以上的测定信息的时间轴合并，对各个测定信息的值算出平均、最大值、最小值等来构成新的测定信息的处理，由于是公知技术，因此这里省略详细的说明。此外，在输出信息为图表的情况下，图表的线的属性值(线的颜色、线种类、点的颜色、点的种类等)是所指示的属性值、默认的属性值等，输出信息构成部1206使用该属性值来构成图表。所构成的图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表、或在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表、或者在视觉上能够区别这两者的样式的图表。另外，所构成的图表是遵循了输出指示所具有的图表的种类信息(SPC图表、相关图表、MD图表等)的图表。另外，输出信息构成部1206构成与步骤S505中的异常检测处理的结果对应的输出信息。所谓“与异常检测处理的结果对应的输出信息”既可以是明示了是异常的测定信息还是正常的测定信息的样式的输出信息，也可以是明示了异常与正常的阈值的图表等。

(步骤S511)输出部1207输出步骤S510中构成的输出信息。这里所说的输出是向客户装置13的发送。此后，回到步骤S501。

(步骤S512)初始信息接收部1202判断是否从制造装置11接收到了一个以上的初始信息。如果接收到初始信息，则暂时存储在未图示的存储器等中并前进到步骤S508，如果没有接收到初始信息，则回到步骤S501。

(步骤S513)测定信息存储部1204对初始信息接收部1202接收到的初始信息进行规定运算，取得一个以上的测定信息。所谓对多个初始信息进行规定运算是指，对多个初始信息具有的多个组所具有的一种以上的值分别进行规定运算(算出平均值、算出标准差、取得最大值等)。但是，也可以不进行规定运算。另外，所谓成为规定运算的对象的多个初始信息是分别间隔规定时间间隔(例如10分钟)的多个初始信息，是分别间隔规定步骤数的多个初始信息。另外，测定信息存储部1204也可以在初始信息接收部1202接收到的初始信息或测定信息上，适当地附加初始信息接收部1202接收到的制造装置标识符、配方标识符等。

(步骤S514)测定信息存储部1204将在步骤S513中取得的一个以上的测定信息存储在测定信息保存部1201中。回到步骤S501。

在图5的流程图中，通过电源切断、处理结束的中断来结束处理。

另外，在图5的流程图中，假定在接收图表的输出指示之前，存储了测定信息。

另外，在图5的流程图中，也可以取代测定信息而存储初始信息，在进行图表等输出信息的输出之时，对多个初始信息进行规定运算，取得一个以上的测定信息，使用该一个以上的测定信息来构成输出信息并输出。也就是说，不管构成测定信息的时机为何均可。

以下，使用图6的流程图对图5的流程图中步骤S506中所示的取得子配方的第m个处理次的测定信息的处理进行说明。这里，假定在输出指示中包含：与取得成为输出对象的测定信息之时执行的子配方步骤对应的子配方标识符；及表示子配方的第m个处理次的信息。第m个处理次的值在这里设为s(s为正的整数)。例如在由输出指示指定的多个处理次当中的第m个处理次为第五次时，则s＝5。另外，这里为了简化说明，假定在输出指示中包含制造装置标识符及配方标识符，从保存于测定信息保存部1201中的测定信息当中的、输出指示中所包含的制造装置标识符及配方标识符一致的测定信息内，检索测定信息。

(步骤S601)测定信息取得部1203向计数器n中代入1。

(步骤S602)测定信息取得部1203向计数器k中代入0。

(步骤S603)测定信息取得部1203判断在与时刻信息对应地进行了排序的、输出指示中所包含的制造装置标识符及配方标识符一致的测定信息当中，是否有第n个测定信息。在有的情况下，前进到步骤S604，在没有的情况下，返回上级函数。另外，在没有的情况下，也可以在进行了表示没有对应的测定信息等的出错输出后，返回上级函数。

(步骤S604)测定信息取得部1203判断第n个测定信息是否具有与输出指示中所包含的子配方标识符一致的子配方标识符。这里所说的一致既可以是完全一致，也可以是部分一致。在有的情况下，前进到步骤S605，在没有的情况下，前进到步骤S614。

(步骤S605)测定信息取得部1203将计数器k加1。

(步骤S606)测定信息取得部1203判断计数器k的值是否为s。如果为s，则前进到步骤S607，如果不是s，则前进到步骤S615。

(步骤S607)测定信息取得部1203取得第n个测定信息。这里所说的测定信息的取得也可以是仅取得测定信息内的测定值。

(步骤S608)测定信息取得部1203将步骤S607中取得的测定信息追加存储在未图示的存储器等中。另外，在存储到存储器等中之时，也可以在测定信息中附加第m个处理次的值s。由此，可以输出该s的值，来判别是第几次执行了期望子配方而得到的测定信息。最终，存储在该存储器等中的测定信息成为测定信息取得部1203所取得的、被执行了多次的期望子配方的在第m个处理次中取得的测定信息。

(步骤S609)测定信息取得部1203将计数器n加1。

(步骤S610)测定信息取得部1203与步骤S603同样地判断是否有第n个测定信息。在有的情况下，前进到步骤S611，在没有的情况下，返回上级函数。另外，在没有的情况下，也可以在进行了表示没有对应的测定信息等的出错输出后，返回上级函数。

(步骤S611)测定信息取得部1203与步骤S604同样地判断第n个测定信息是否具有与输出指示中所包含的子配方标识符一致的子配方标识符。在有的情况下，前进到步骤S612，在没有的情况下，返回上级函数。

(步骤S612)测定信息取得部1203判断以下两个值是否一致：与第n个测定信息对应的子配方步骤标识符的值，以及输出指示中所包含的制造装置标识符及配方标识符一致并且具有紧接于第n个测定信息的时刻信息之前的值的时刻信息的、与第n-1个测定信息对应的子配方步骤标识符的值。在一致的情况下，前进到步骤S607，在不一致的情况下，前进到步骤S613。这里，假定子配方步骤标识符被依照子配方步骤的处理顺序设定为包含值逐一增加的数值的值。

(步骤S613)测定信息取得部1203判断与第n个测定信息对应的子配方步骤标识符的值是否和将与第n-1个测定信息对应的子配方步骤标识符的值加一后的值一致。在一致的情况下，回到步骤S607，在不一致的情况下，返回上级函数。另外，不一致的情况是指测定信息不符合构成子配方的子配方步骤的排列的规律性。利用该处理可以判断构成子配方的多个子配方步骤是否被反复进行，这样，可以判断出子配方被反复进行的情况。在子配方被反复执行的情况下，由于在该时间点，子配方的处理次被变更，因此结束取得测定值的处理。

(步骤S614)测定信息取得部1203将计数器n加1。此后，回到步骤S603。

(步骤S615)测定信息取得部1203将计数器n加1。

(步骤S616)测定信息取得部1203与步骤S603同样地判断是否有第n个测定信息。在有的情况下，前进到步骤S617，在没有的情况下，返回上级函数。而且，在没有的情况下，也可以在进行了表示没有对应的测定信息等的出错输出后，返回上级函数。

(步骤S617)测定信息取得部1203与步骤S604同样地判断第n个测定信息是否具有与输出指示中所包含的子配方标识符一致的子配方标识符。在有的情况下，前进到步骤S618，在没有的情况下，前进到步骤S620。

(步骤S618)测定信息取得部1203与步骤S612同样地判断与第n个测定信息对应的子配方步骤标识符的值是否和与第n-1个测定信息对应的子配方步骤标识符的值一致。在一致的情况下，回到步骤S615，在不一致的情况下，前进到步骤S619。

(步骤S619)测定信息取得部1203与步骤S613同样地判断与第n个测定信息对应的子配方步骤标识符的值是否和将与第n-1个测定信息对应的子配方步骤标识符的值加1后的值一致。在一致的情况下，回到步骤S615，在不一致的情况下，回到步骤S605。

在图6的流程图中，通过电源切断、处理结束的中断来结束处理。

此外，在图6的流程图中，在预先已知子配方未被连续地反复执行的情况下，由于不需要判断子配方是否被反复进行的处理，因此也可以省略步骤S612及步骤S613的处理、步骤S618及步骤S619的处理。该情况下，在利用步骤S612的处理，判断为子配方步骤标识符的值一致的情况下，则回到步骤S607，在利用步骤S617的处理，判断为子配方步骤标识符的值一致的情况下，则回到步骤S615。

另外，在图5及图6的流程图中，最好通过用户输入输出信息的输出指示，来实时地开始异常检测，在每次接收初始信息时，一边更新输出信息(图表等)一边进行异常检测处理，如果发生异常，则立即通知用户。也就是说，在图5及图6的流程图中，更优选进行以下的处理。例如，初始信息接收部1202在利用制造装置11进行制造等时，实时地接收从制造装置11一个接一个地送来的初始信息，测定信息存储部1204将测定信息至少暂时地依次存储在测定信息保存部1201中。此后，测定信息取得部1203只要在每次存储测定信息时，对该测定信息实施从步骤S503到步骤S619的处理即可。此时，在图6的流程图中，只要将上述的依次存储的测定信息作为第n个测定信息来进行适当处理，在将n的值加1时，对其后存储的测定信息进行适当处理即可。利用该处理，可以实时地确认制造装置11的状态，并且可以实时地进行异常检测，用户可以立即认识到异常的产生。

另外，在接收到在每个处理次中取得期望子配方的所有处理次的测定值的指示的情况下，在图5所示的流程图中，省略步骤S505的处理，并且将第m个处理次的值设定为m，即设定为m＝s，一边将m的值加1，一边反复进行步骤S506的处理，即图6的流程图的处理，取得每个处理次的测定值，并且在步骤S506的处理中，即在图6的流程图的处理中，在因输出出错等而未取得测定值的情况下，前进到步骤S509即可。

或者，也可以对每个不同的步骤标识符取得具有期望子配方标识符的测定信息，在每个处理次中取得期望子配方的所有处理次的测定值。

下面，对客户装置13的动作进行说明。在客户装置13的指示输入部1301从用户处接收到图表的输出指示时，指示发送部1302将该输出指示向服务器装置12发送，接收部1303接收作为服务器装置12中的处理结果的图表的信息，由显示部1304显示图表。

下面，对本实施方式的群管理系统的具体动作进行说明。群管理系统的概念图为图1。

图7是管理保存于一个以上的制造装置11的配方保存部1102中的配方的配方管理表。配方管理表具有“配方标识符”、“步骤标识符”、“处理条件”之类的属性。“配方标识符”是配方标识符，“步骤标识符”是构成配方的步骤的步骤标识符，“处理条件”是各步骤的处理条件，例如处理时间、处理温度等的设定。而且，在“步骤标识符”的属性值为子配方标识符的情况下，表示该子配方的处理在该步骤中被执行。

图8是管理保存于一个以上的制造装置11的配方保存部1102中的子配方的子配方管理表。子配方管理表具有“子配方标识符”、“子配方步骤标识符”、“处理条件”之类的属性。“子配方标识符”是子配方标识符，“步骤标识符”是构成子配方的子配方步骤的子配方步骤标识符，“处理条件”是各子配方步骤的处理条件，例如处理时间、处理温度等的设定。另外，由于子配方及子配方步骤基本上与配方及步骤相同，因此也可以取代子配方而使用配方。

本具体例中，当一个以上的制造装置11的输入接收部1101接收到来自用户的对晶片的加工处理的开始指示时，处理部1105读出配方保存部1102的配方，在每个步骤中执行所读出的配方，推进晶片的加工处理。此外，测定部1106在晶片的加工处理中，例如每隔1秒就测定预先决定的炉内的气体流量，构成将所取得的气体流量、从计时部1104中取得的时刻信息、从配方保存部1102中取得的步骤标识符配成对的初始信息。此时，在所执行的步骤为执行子配方的步骤的情况下，依次执行构成该子配方的子配方步骤。此外，除了所取得的气体流量等的测定值、从计时部1104中取得的时刻信息、从配方保存部1102中取得的步骤标识符以外，还构成将执行中的子配方标识符和执行中的子配方步骤标识符配成对的初始信息。所构成的初始信息由初始信息存储部1107暂时地存储。所存储的初始信息的例子为图9。这里，为了使说明简单，对测定值为气体流量的测定值的情况进行说明，对于以下的情况也一样。对于没有子配方标识符和子配方步骤标识符的初始信息，省略这些标识符，或者在保存这些标识符的位置保存表示没有这些标识符的信息。初始信息具有步骤标识符、子配方标识符、子配方步骤标识符、气体流量、时刻信息。另外，时刻信息是表示时刻的信息，既可以是确定到时、分、秒的信息，也可以是仅为日期及小时的信息。此外，该初始信息也可以包含数据类型(是测定信息的数据种类，例如有气体流量、温度、压力等)的信息，在这里包含表示是气体流量的信息。

制造装置11的初始信息发送部1108在构成配方的所有步骤的执行结束的阶段，将由初始信息存储部1107存储的初始信息向服务器装置12发送。另外，制造装置11的初始信息发送部1108读出制造装置标识符保存部1103的制造装置标识符及配方保存部1102的配方标识符(在对被处理基板进行规定处理之时执行的配方的标识符)，向服务器装置12发送。虽然这里是在所有的步骤结束之时，将初始信息向服务器装置12发送，然而例如也可以在每取得一个初始信息时就实时地向服务器装置12发送。

然后，服务器装置12的初始信息接收部1202接收由步骤标识符、气体流量和时刻信息的组构成的初始信息。另外，接收制造装置标识符及配方标识符。此外，测定信息存储部1204将具有步骤标识符、气体流量和时刻信息的多个组、配方标识符及制造装置标识符的初始信息存储于未图示存储器等中。将该初始信息的例子表示于图10中。图10是初始信息管理表。初始信息管理表具有“制造装置标识符”、“配方标识符”、“步骤标识符”、“步骤标识符”、“子配方标识符”、“值(气体流量)”、“时刻信息”。图10的初始信息管理表具有值(这里为一种)、步骤标识符和时刻信息的多个组与一个制造装置标识符及配方标识符相对应的数据结构。另外，图10中，假定管理有对应于执行一个以上的制造装置11及多个配方的初始信息。而且，图10的初始信息等的值是为了说明而准备的信息，并非实测值。

然后，测定信息存储部1204对图10所示的多个初始信息进行规定运算，取得多个测定信息。这里，假定运算是平均值的算出，测定信息存储部1204每隔10秒就算出平均值。测定信息存储部1204将这些测定信息存储在测定信息保存部1201中。图11是用于管理存储于测定信息存储部1204中的测定信息的测定信息管理表。测定信息管理表具有“制造装置标识符”、“配方标识符”、“步骤标识符”、“子配方标识符”、“子配方步骤标识符”、“平均值(气体流量)”、“时刻信息”。“制造装置标识符”、“配方标识符”、“步骤标识符”、“子配方标识符”、“子配方步骤标识符”、“时刻信息”与图10相同。另外，平均值是测定信息存储部1204所算出的平均值。

另外，在条件信息保存部1209中，保存了判断炉内的气体流量是正常还是异常的条件信息“260≤气体流量≤280”。

假设在该状况下，用户从客户装置13向图12所示的画面输入了必要的信息，并按下了“图表输出”按钮。图12是用于输入图表的输出指示并输出图表的画面。这里，所谓必要的信息是指用于指定想要输出的子配方的信息，具体来说是指定子配方标识符、该子配方的1个以上的处理次的信息，这里，是指定第一次、第三次的信息，如图12所示，向区域101中输入了子配方标识符，另外，向区域102中输入指定成为输出对象的处理次的值。当选中指定“全部”的复选框103时，则会将全部的处理次指定为输出对象。除了该信息以外，还适当地指定数据类型(是测定信息的数据种类，例如有气体流量、温度、压力等)、制造装置标识符、配方标识符中的一个以上的信息等信息。图12中，输入子配方标识符“SR01”及处理次“1，3”、数据类型“气体流量”、制造装置标识符“E1”、配方标识符“R1”。所以，在该状况下，如果用户按下“图表输出”按钮，则指示输入部1301就会接收输出“气体流量”的测定信息(例如图11所示的信息)当中的符合“子配方标识符＝SR01”且“处理次＝1，2，3”且“制造装置标识符＝E1”且“配方标识符＝R1”的条件的测定信息的输出指示。该输出指示的例子例如为“图表输出子配方标识符＝“SR01”，处理次＝“1，3”，数据类型＝“气体流量”，制造装置标识符＝“E1”，配方标识符＝“R1”“。

然后，指示发送部1302将输出指示“图表输出子配方标识符＝‘SR01’，处理次＝‘1，3’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”向服务器装置12发送。

此后，服务器装置12的指示接收部1205接收输出指示“图表输出子配方标识符＝‘SR01’，处理次＝‘1，3’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”。

然后，服务器装置12的测定信息取得部1203从保存于测定信息保存部1201中的测定信息中，检索并取得符合输出指示“图表输出子配方标识符＝‘SR01’，处理次＝‘1，3’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”的测定信息。

首先，测定信息取得部1203取得针对在作为第一个处理次的第一次中被执行的子配方的测定信息。测定信息取得部1203基于图11所示的测定信息管理表，将处理次s的值设定为“1”。此后，测定信息取得部1203将计数器n的值设定为1，一边将该计数器n的值逐一增加，一边针对制造装置标识符为“E1”、配方标识符为“R1”的测定信息当中的沿着时间轴的第n个测定信息，依次判断子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。这里，由于步骤标识符为“S1”的测定信息全都不具有子配方标识符，因此判断为步骤标识符为“S2”的测定信息当中的最初的测定信息，也就是“时刻信息”为“2005/12/02 16:20:00”的测定信息的子配方标识符与“SR01”一致。此后，将计数器k的值设定为“1”。由于该计数器k的值与作为处理次s的值的“1”一致，因此测定信息取得部1203取得该测定信息，存储在存储器等中。此时也可以仅取得并存储“值(气体流量)”的属性值。该做法在测定信息取得部1203取得其他测定信息之时也是一样的。

然后，测定信息取得部1203将计数器n加1并判断第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。这里，“时刻信息”为“2005/12/02 16:20:10”的测定信息的“子配方标识符”与输出指示的“SR01”一致。

然后，判断第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致。这里，由于与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符一致，因此取得并存储该测定信息。

此后，反复进行相同的处理。这里，在从“时刻信息”为“2005/12/0216:20:00”到“2005/12/02 16:24:50”之间，不进行子配方的反复执行。假定子配方步骤标识符SRS004的子配方步骤与子配方步骤标识符SRS005的子配方步骤分别是每个步骤只执行一次，这些测定信息的子配方步骤标识符的数值部分从SRS004到SRS005沿着时间轴单调地增加。此后，在第n个测定信息变为“时刻信息”为“2005/12/02 16:25:00”的测定信息的时间点，该测定信息的子配方标识符并非是“SR02”，因此取得在第一次执行子配方时得到的测定信息的处理结束。这样就利用测定信息读取部1203取得从“时刻信息”为“2005/12/02 16:20:00”到“2005/12/02 16:24:50”为止的测定信息。这里，假定在处理结束时，将处理次s的值附加在测定信息上并存储。

然后，测定信息取得部1203取得针对在作为第二个处理次的第三次中执行的子配方的测定信息。测定信息取得部1203基于图11所示的测定信息管理表，将处理次s的值设定为“3”。此后，测定信息取得部1203将计数器n的值设定为1，一边将该计数器n的值逐一增加，一边对制造装置标识符为“E1”、配方标识符为“R1”的测定信息当中的沿着时间轴的第n个测定信息，依次判断子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。这里，步骤标识符为“S1”的测定信息由于全都不具有子配方标识符，因此步骤标识符为“S2”的测定信息当中的最初的测定信息，即“时刻信息”为“2005/12/02 16:20:00”的测定信息的子配方标识符被判断为与“SR01”一致。此后，将计数器k的值从作为初始值的“0”，设定为将值加1后的“1”。该计数器k的值由于与作为处理次s的值的“3”不一致，因此测定信息取得部1203不取得该测定信息。

然后，测定信息取得部1203将计数器n加1并判断第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。在这里由于是一致的，因此判断第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或者与将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致。在这里由于是一致的，因此再次将n的值逐一增加，再次反复进行第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致的判断处理；和第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或者与将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致的判断处理。

此后，在第n个测定信息成为“时刻信息”为“2005/12/02 16:25:00”的测定信息的时间点，由于该测定信息的子配方标识符并非是“SR02”，因此取得与在第一次中执行的子配方对应的测定信息的处理结束。

此后，测定信息取得部1203再次一边将计数器n的值加1，一边针对制造装置标识符为“E1”、配方标识符为“R1”的测定信息当中的沿着时间轴的第n个测定信息，依次判断子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。这里，“时刻信息”为“2005/12/02 16:55:00”的测定信息的“子配方标识符”与输出指示的“SR01”一致。此后，将计数器k的值加1而设定为“2”。由于该计数器k的值与作为处理次s的值的“1”不一致，因此测定信息取得部1203不取得该测定信息。

然后，测定信息取得部1203将计数器n加1并判断第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。在这里由于是一致的，因此判断第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或者与将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致。在这里由于是一致的，因此再次将n的值逐一增加，再次反复进行第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致的判断处理；和第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或者与将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致的判断处理。

这里，在第n个测定信息成为“时刻信息”为“2005/12/02 17:00:00”的测定信息的情况下，其子配方步骤标识符“SR004”的数值部分“004”与作为第n-1个测定信息的“时刻信息”为“2005/12/02 16:59:50”的测定信息的子配方步骤标识符“SR005”的数值部分“004”相比，值变小。由此，判断为第n个测定信息的子配方步骤标识符与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值不一致。此后，计数器k的值被加1，计数器k的值被设定为“3”。这样，由于计数器k的值成为与处理次s的值相同的“3”，因此取得该第n个测定信息。

然后，测定信息取得部1203将计数器n加1并判断第n个测定信息的子配方标识符是否与作为输出指示中所包含的子配方标识符的SR01一致。这里，作为“时刻信息”为“2005/12/02 17:00:10”的测定信息的“子配方标识符”与输出指示“SR01”一致。

然后，判断第n个测定信息的子配方步骤标识符是否与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符、或将该子配方步骤标识符的数值部分加1后的值一致。这里，由于与第n-1个测定信息的子配方步骤标识符一致，因此取得并存储该测定信息。

此后，反复进行相同的处理。这里，假定在从“时刻信息”为“2005/12/0217:00:00”到“2005/12/02 17:04:50”之间，不进行子配方的反复执行，仅将子配方步骤标识符SRS004的子配方步骤与子配方步骤标识符SRS005的子配方步骤分别各进行一次，这些测定信息的子配方步骤标识符的数值部分从SRS004到SRS005沿着时间轴单调地增加。此后，在第n个测定信息成为“时刻信息”为“2005/12/02 17:05:00”的测定信息的时间点，由于该测定信息的子配方标识符并非是“SR02”，因此取得在第三次执行子配方中得到的测定信息的处理结束。这样就由测定信息读取部1203取得了从“时刻信息”为“2005/12/02 17:00:00”到“2005/12/02 17:04:50”的测定信息。

图13是用于管理测定信息取得部1203所取得的测定信息的取得信息管理表。取得信息管理表具有“制造装置标识符”、“配方标识符”、“步骤标识符”、“子配方标识符”、“子配方步骤标识符”、“平均值(气体流量)”、“时刻信息”。“制造装置标识符”、“配方标识符”、“步骤标识符”、“子配方标识符”、“子配方步骤标识符”、“平均值(气体流量)”、“时刻信息”与图10相同。

这里，例如在作为上述的处理次不是指定第一次和第三次，而是接收到取得在第二次中处理子配方之时的测定信息的输出指示的情况下，取得从计数器k的值变为s＝2的时间点的测定信息到计数器k的值将要变为s＝3之前的测定信息，即，取得从“时刻信息”为“2005/12/02 17:00:00”的测定信息到“时刻信息”为“2005/12/02 16:59:50”为止的测定信息。

然后，异常检测部1210从测定信息取得部1203中取得如图13所示的测定信息，并且从条件信息保存部1209中读出条件信息“260≤气体流量≤280”，使用该条件信息，对在子配方的各个处理次中所得到的测定信息检测异常。例如由于图13的测定信息的所有“平均值”都小于260，因此全都被判断为异常值。

然后，输出信息构成部1206使用测定信息取得部1203所取得的图13的信息、异常检测部1210的判断结果，构成作为输出信息的图表。本图表是横轴为时刻信息所表示的时刻、纵轴为值(气体流量的平均值)的折线图。而且，时刻是以将子配方的执行开始时刻设为0分0秒的相对时刻来表示。另外，对于每个处理次构成不同的曲线。

然后，输出部1207将输出信息构成部1206所构成的折线图向客户装置13发送。

客户装置13的接收部1303接收该折线图，显示部1304如图14所示那样将折线图显示于显示器上。图14中，用斜线来表示正常范围。另外，使用测定信息中所包含的“处理次”，输出由输出信息构成部1206构成的凡例。

另外，在这里，输出信息构成部1206也可以如图15所示，算出处理次不同的测定信息当中的、从子配方的开始时刻起经过了相同时刻之时所得到的测定信息之间的平均值，制成该平均值的曲线，与图14的曲线重合地输出。

另外，上述具体例中，在接收到在每个处理次中取得期望子配方的所有处理次的测定值的指示的情况下，例如只要与上述具体例同样地取得与计数器k的值被加1后的每个子配方对应的测定信息即可。该情况下，只要在成为处理对象的测定信息、例如上述具体例中的第n个测定信息消失的时间点结束处理即可。

而且，上述具体例中，作为相同子配方内的子配方步骤的子配方步骤标识符，依照子配方步骤被执行的顺序，使用值或其数值部分的值逐一增加的标识符，在测定信息的子配方步骤标识符的值或数值部分的值与紧接于其前的测定信息的子配方步骤标识符不相同且不是加1后的值的情况下，将子配方的处理次累加。但是，本实施方式中，相同子配方内的子配方步骤的子配方步骤标识符具有可以确定子配方步骤的排列顺序等的规定规律性，例如具有各子配方步骤标识符各带有一个以a、b、c这样的字母顺序排列的字符等的规律性，或各子配方步骤标识符具有依照处理顺序减一后的值等的规律性，因而也可以在判别为测定信息的子配方步骤标识符不满足该规律性的情况下，将子配方的处理次累加。

以上，根据本实施方式，可以对在被反复执行的子配方中取得的、存储在服务器装置12中的测定信息，指定该子配方的处理次，选择性地输出在该处理次中得到的测定信息。这样就可以瞬间地仅提示必要的信息，可以有效地进行包括制造装置等的异常检测的监视。

另外，可以容易地将在相同子配方的不同处理次中得到的测定信息彼此显示在一个图表中而比较两者，或者进行规定运算而研究由处理次的差别造成的测定信息的偏差，或者取得理想的测定值，可以提高由子配方得到的测定信息的利用价值。

另外，上述实施方式中，通过在服务器装置12中，对与期望子配方对应地得到的测定信息群的出现次数进行计数，来检出并取得与子配方的处理次对应的测定信息群。但是，本发明中，也可以如下所示地检出并取得与子配方的处理次对应的测定信息。即，在制造装置11中，每当相同子配方、例如具有相同子配方标识符的子配方被执行一次时，都用计数器等对该子配方被执行的次数进行计数，对在该子配方中得到的所有初始信息或最初的初始信息或最后的初始信息等，赋予表示该次数的计数结果的信息，从而使存储于服务器装置12中的测定信息包含表示子配方被执行的次数的计数结果的信息。此后，也可以在服务器装置12中，从该测定信息所具有的表示子配方被执行的次数的计数结果的信息中，检出并取得与由输出指示指定的期望处理次对应的测定信息。

另外，本实施方式中，所输出的图表也可以如图16所示，是如下的SPC图表，即，是从测定信息保存部1201中读出符合作为输出SPC图表的指示的输出指示的多个测定信息，并利用该所读出的测定信息构成的，是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、或这两者的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而得到的图表。图16所示的SPC图表例如是由一个制造装置标识符的测定信息构成的SPC图表。另外，图16所示的SPC图表中，输出有管理值(上限)及管理值(下限)。在成为该管理值之外的值的情况下，表明属于异常。管理值(上限)及管理值(下限)被预先保持在条件信息保存部1209中。另外，图16中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。

另外，本实施方式中，所输出的图表也可以如图17所示，是如下的相关图表，即，是从测定信息保存部1201中读出符合作为输出相关图表的指示的输出指示的多个测定信息，并利用该所读出的测定信息构成的，是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、或这两者的样式的图表，是表示两种测定信息(例如温度和压力等)的相关的图表。图17所示的相关图表例如是由一个制造装置标识符的两种测定信息构成的相关图表。另外，图17所示的相关图表中，输出有两个管理值。在成为这两个管理值的范围之外的值的情况下，表明属于异常。另外，图17中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。

另外，本实施方式中，所输出的图表也可以如图18所示，是如下的MD图表，即，是从测定信息保存部1201中读出具有作为输出MD(Mahalanobis距离)图表的指示的输出指示所包含的一个以上制造装置标识符的任意一个、或一个以上配方标识符的任意一个、或者一个以上制造装置标识符的任意一个及一个以上配方标识符的任意一个的多个测定信息，并利用该所读出的测定信息构成的，是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、及这两者的测定信息的样式的图表，是表示三种以上的测定信息(例如2个部位的温度、气体流量和压力)的相关的图表。图18所示的相关图表例如是由一个制造装置标识符的测定信息构成的MD图表。另外，图18所示的MD图表是使用Mahalanobis的距离例如进行异常判断的图表。更具体来说，图18所示的MD图表是将正常时的数据进行模型化，使用Mahalanobis的距离将异常时的程度用数值表示的图表。另外，图18所示的MD图表中，输出有两个管理值。在成为这两个管理值的范围之外的值的情况下，表明属于异常。另外，图18中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。

另外，本实施方式的具体例中，所输出的图表是显示了一个制造装置标识符或一个配方的测定信息的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，连结所读出的多个测定信息而得到的一个折线图。但是，所输出的图表也可以如图19所示，是从测定信息保存部1201中读出具有输出指示所包含的三个制造装置标识符的多个测定信息，并利用该所读出的测定信息构成的，是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而成的三个图表。该情况下，输出指示例如包括“装置A”、“装置B”、“装置C”三个制造装置标识符。此后，测定信息取得部1203将“装置A”、“装置B”、“装置C”分别作为关键值，3次检索测定信息保存部1201，3次取得测定信息，针对各个关键值，输出信息构成部1206分别构成不同的点和线的属性值的图表，得到3个图表。这样就输出3个图表。另外，图19中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。

本实施方式中，由于可以如上所述那样自由选择3个以上的图表(SPC图表、相关图表、MD图表等)的显示形态，因此能够从各种角度出发来进行监视，以及进行监视结果的分析。

另外，本实施方式的具体例中，初始信息、测定信息也可以预先由服务器装置12保持。该情况下，初始信息或测定信息利用未图示的机构从制造装置11中取得，经由记录介质等转交给服务器装置12。

另外，本实施方式中，最好用户输入对所关注的图表的一部分进行放大的指示，改变该图表的一部分的比例尺(改变测定信息的时间间隔、步骤的间隔)来进行图表输出。

另外，本实施方式中，初始信息与测定信息也可以是相同构成。该情况下不需要测定信息存储部。

另外，本实施方式中，不是必须在制造装置与服务器装置之间收发初始信息。初始信息例如也可以是经由记录介质从制造装置提供给服务器装置。

另外，本实施方式中，群管理系统也可以不具有客户装置13。该情况下，用户向服务器装置12输入输出指示等指示。

另外，本实施方式的具体例中，虽然是指定制造装置标识符或配方标识符来输出图表，然而也可以指定一个以上的制造装置标识符及一个以上的配方标识符来输出图表。在用户输入了包括一个以上制造装置标识符及一个以上配方标识符的输出指定的情况下，异常检测部1210将所指定的一个以上的各制造装置标识符及一个以上的各配方标识符分别作为关键值来检索测定信息(或初始信息)，检测异常，并由输出信息构成部1206构成图表。

另外，本实施方式中，在制造装置是每当取得初始信息时就逐个地向服务器装置12发送的结构的情况下，最好是，将服务器装置的指示接收部接收到输出指示作为触发，实时地进行测定信息的取得、异常检测处理，每当接收到初始信息时就更新输出信息(图表等)。这是因为，用户可以立即地知道异常的产生。该实时的异常检测是以下的处理。也就是说，异常检测部对测定信息取得部一个接一个地取得的测定信息立即判断是否符合条件信息，输出信息构成部一个接一个地构成使用了异常检测部的判断结果的输出信息，输出部边更新边输出输出信息构成部所构成的输出信息。

在上述各实施方式中，各处理(各功能)既可以利用单一的装置(系统)进行集中处理来实现，也可以利用多个装置进行分散处理来实现。

另外，上述各实施方式中，各构成要素也可以由专用的硬件来构成，或者，对于能够利用软件实现的构成要素，也可以通过执行程序来实现。例如，可以通过由CPU等程序执行部读出并执行记录在硬盘或半导体存储器等记录介质中的软件、程序，来实现各构成要素。实现上述各实施方式的服务器装置的软件是如下所示的程序。即、该程序是用于使计算机执行如下步骤的程序，即，指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，是由对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得由所述输出指示指定的测定信息；输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息；该程序中，所述配方包含一个以上的子配方，在所述指示接收步骤中接收的输出指示具有指定在所述配方中被执行多次的子配方当中的在1个以上的期望次中执行的子配方的指示，所述测定信息取得步骤取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。

另外，是如下的程序，即，在所述程序中，在所述测定信息取得步骤中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，对由所述输出指示指定的与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群新出现的次数进行计数，取得该计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的测定信息群中所包含的一个以上的测定信息。

另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述子配方包含两个以上的步骤，在所述测定信息取得步骤中，在与构成子配方的两个以上的步骤对应的两个以上的测定信息反复出现之时，将该反复出现的一个以上的测定信息作为与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群。

另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述测定信息具有作为识别该测定信息所对应的子配方的信息的子配方标识符，与所述被执行多次的子配方对应的测定信息具有相同的子配方标识符，在所述测定信息取得步骤中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，对由所述输出指示指定的被执行多次的子配方的子配方标识符被新检出的次数进行计数，取得具有该计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的子配方标识符的一个以上的测定信息。

另外，是如下的程序，即，在所述程序中，所述子配方包含两个以上的步骤，与所述子配方对应的测定信息包含用于识别步骤的步骤标识符，在所述测定信息取得步骤中，在具有相同子配方标识符的连续的测定信息中每当反复出现两个以上的步骤标识符时，都进行累加。

另外，是如下的程序，即，在所述程序中，在所述指示接收步骤中接收指定在所述配方中被执行多次的子配方当中的在2以上的期望次中被执行的子配方的所述输出指示，在所述测定信息取得步骤中，取得与2以上的不同次的子配方对应的测定信息，在所述输出信息构成步骤中对在所述测定信息取得步骤中取得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中的、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息，进行规定运算，构成与该运算结果对应的输出信息。

另外，在上述程序中，在发送信息的发送步骤、接收信息的接收步骤等中，不包括利用硬件进行的处理，例如发送步骤中的利用调制解调器、接口卡等进行的处理(只能利用硬件进行的处理)。

另外，该程序既可以通过从服务器等中下载来执行，也可以通过读出记录在规定记录介质(例如CD-ROM等光盘、磁盘、半导体存储器等)中的程序来执行。

另外，执行该程序的计算机既可以是单个，也可以是多个。即，既可以进行集中处理，也可以进行分散处理。

另外，上述各实施方式中，存在于一个装置中的两个以上的通信机构(信息发送部等)当然也可以在物理上利用一个介质来实现。

本发明并不限定于以上的实施方式，可以进行各种变更，它们当然也包含于本发明的范围内。

另外，上述各实施方式中，虽然对服务器装置是独立的情况进行了说明，然而服务器装置既可以是独立的装置，也可以是服务器-客户系统的服务器装置。在后者的情况下，输出部和接收部经由通信线路接收输入或输出画面。

产业可利用性

如上所述，本发明的服务器装置等适于用作具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、与该一个以上制造装置连接的服务器装置的群管理系统的服务器装置等，特别是作为可以有选择地输出在子配方等中取得的测定信息的服务器装置来说是有用的。

Claims (15)

1.一种服务器装置，是构成具有进行异常检测的功能的群管理系统的服务器装置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的所述服务器装置，该服务器装置具备：

测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；

指示接收部，接收所述测定信息的输出指示；

测定信息取得部，从所述测定信息保存部中取得由所述输出指示指定的测定信息；

输出信息构成部，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及

输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息；

所述配方包含一个以上子配方，

所述指示接收部所接收的输出指示具有以下指示，该指示指定在所述配方中被执行多次的子配方当中的在1个以上的期望次中被执行的子配方，

所述测定信息取得部取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。

2.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所述测定信息取得部对由所述输出指示指定的与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群新出现的次数进行计数，取得其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的测定信息群中所包含的一个以上的测定信息。

3.根据权利要求2所述的服务器装置，其特征在于，所述子配方包含两个以上步骤，

所述测定信息取得部在与构成子配方的两个以上步骤对应的两个以上测定信息反复出现之时，将该反复出现的一个以上的测定信息作为与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群。

4.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述测定信息具有子配方标识符，该子配方标识符是识别该测定信息所对应的子配方的信息，

与所述被执行多次的子配方对应的测定信息具有相同的子配方标识符，

对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所述测定信息取得部对由所述输出指示指定的被执行多次的子配方的子配方标识符被新检出的次数进行计数，取得具有其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的子配方标识符的一个以上的测定信息。

5.根据权利要求4所述的服务器装置，其特征在于，所述子配方包含两个以上步骤，

与所述子配方对应的测定信息包含用于识别步骤的步骤标识符，

每当在具有相同子配方标识符的连续的测定信息中，反复出现两个以上步骤标识符时，所述测定信息取得部都进行累加。

6.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述指示接收部接收指定以下子配方的所述输出指示，该子配方是在所述配方中被执行多次的子配方当中的在2以上的期望次中被执行的子配方，

所述测定信息取得部取得与2以上的不同次的子配方对应的测定信息，

所述输出信息构成部对以下测定信息进行规定运算，构成与其运算结果对应的输出信息，该测定信息是所述测定信息取得部所取得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息。

7.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部构成SPC图表，该SPC图表是依照所取得的所述测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序来描绘该测定信息而得到的图表，

所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的SPC图表。

8.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成相关图表，该相关图表是表示两种测定信息的相关的图表，

所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的相关图表。

9.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成MD(Mahalanobis距离)图表，该MD图表是表示三种以上的测定信息的相关的图表，

所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的MD图表。

10.一种程序，用于使计算机执行以下步骤：

指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，是由对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；

测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得由所述输出指示指定的测定信息；

输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及

输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息；

在该程序中，

所述配方包含一个以上的子配方，

在所述指示接收步骤中接收的输出指示具有以下指示，该指示指定在所述配方中被执行多次的子配方当中、在1个以上的期望次中被执行的子配方，

在所述测定信息取得步骤中，取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。

11.根据权利要求10所述的程序，其特征在于，在所述测定信息取得步骤中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，对由所述输出指示指定的与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群新出现的次数进行计数，取得其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的测定信息群中所包含的一个以上的测定信息。

12.根据权利要求11所述的程序，其特征在于，所述子配方包含两个以上步骤，

在所述测定信息取得步骤中，在与构成子配方的两个以上的步骤对应的两个以上的测定信息反复出现之时，将该反复出现的一个以上的测定信息作为与所述被执行多次的子配方对应的测定信息群。

13.根据权利要求10所述的程序，其特征在于，所述测定信息具有子配方标识符，该子配方标识符是识别该测定信息所对应的子配方的信息，

与所述被执行多次的子配方对应的测定信息具有相同的子配方标识符，

在所述测定信息取得步骤中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，对由所述输出指示指定的被执行多次的子配方的子配方标识符被新检出的次数进行计数，取得具有其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致的次的子配方标识符的一个以上的测定信息。

14.根据权利要求13所述的程序，其特征在于，所述子配方包含两个以上步骤，

与所述子配方对应的测定信息包含用于识别步骤的步骤标识符，

在所述测定信息取得步骤中，每当在具有相同子配方标识符的连续的测定信息中反复出现两个以上的步骤标识符时，都进行累加。

15.根据权利要求10所述的程序，其特征在于，在所述指示接收步骤中，接收指定以下子配方的所述输出指示，该子配方是在所述配方中被执行多次的子配方当中、在2以上的期望次中被执行的子配方；在所述测定信息取得步骤中取得与2以上的不同次的子配方对应的测定信息，

在所述输出信息构成步骤中，对以下测定信息进行规定运算，构成与其运算结果对应的输出信息，该测定信息是在所述测定信息取得步骤中取得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中、从各子配方内的规定起点起的经过时间一致的测定信息。

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