JPH0911092A

JPH0911092A - 生産支援システムおよび生産設備用インテリジェントインタフェース

Info

Publication number: JPH0911092A
Application number: JP15340995A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Morii; 敏博森井; Takemasa Iwasaki; 武正岩崎; Hide Kobayashi; 秀小林; Masao Sakata; 正雄坂田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1995-06-20
Filing date: 1995-06-20
Publication date: 1997-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】生産ラインの能力向上のために、生産支援シス
テムに施される、機能の変更や拡張に短期間、低工数で
対応可能となる。【構成】複数の生産設備１１５〜１２２を備える生産ラ
インによる製品の生産を、各生産設備を制御することに
より支援する制御機構１０１〜１０６を備え、生産設備
ごとに、該生産設備に対応するインテリジェントＩ／Ｆ
１０７〜１１４を備える。インテリジェントＩ／Ｆは、
対応する生産設備に関する情報を保持する記憶手段１２
３〜１３０と、対応する生産設備における設備状況を検
出し、該状況を示す情報を記憶手段に格納する手段、お
よび、制御機構からの要求を受け付け、該記憶手段の保
持する情報を要求元に通知する手段を有する演算手段と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の工程を含むプロ
ジェクトの管理・制御システムに係り、特に製品の生産
ラインを管理・制御する生産支援システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】生産ラインの能力向上のためには、生産
支援システムに施される、設備制御仕様の拡張や変更、
ライン運用の拡張や変更、及び生産情報の管理仕様等の
拡張や変更を、短期間、低工数で実現する必要がある。
そこで、従来より、生産支援システムが用いられてい
る。

【０００３】従来より用いられている生産支援システム
の構成を、生産設備２０６〜２１３により構成される生
産ラインの管理を支援する場合を例にして、図２に示
す。従来の生産支援システム２００は、全ラインのワー
クの進捗と工程フローを管理する進度管理システム２０
１と、ワークの製造条件、品質データを管理するプロセ
ス管理システム２０２と、設備の健康状態を管理する設
備診断システム２０３とを備える。

【０００４】また、進度管理システム２０１は、進度管
理用のデータを保持する記憶装置２１４を備え、プロセ
ス管理システム２０２は、プロセス管理用のデータを保
持する記憶装置２１５を備え、設備診断システム２０３
は設備診断用のデータを保持する記憶装置２１６を備え
る。

【０００５】なお、これらのシステム以外にも、必要に
応じて、他の情報管理システムを追加する場合がある。
例えば、図２に示した構成例では、２つの工程管理シス
テム２０４，２０５が設けられている。工程管理システ
ム２０４は、４台の生産設備２０６〜２０９に接続され
ており、工程管理システム２０５は、４台の生産設備２
１０〜２１３に接続されている。工程管理システム２０
４，２０５は、それぞれ、接続された生産設備の健康状
態と連動した高度なスケジューリングと、工程内設備群
と搬送ハードの制御とを行い、さらに、設備群から収集
した情報を、情報の種類に応じて、進度管理システム２
０１、プロセス管理システム２０２、および設備診断シ
ステム２０３に転送する。

【０００６】従来の生産支援システムは次のような特徴
がある。（１）体系化されたデータストア（データの保管場所）
は基本的に上位の情報管理システムが備えている。（２）工程管理システムに要求される機能として次があ
る。・各設備のオンライン制御機能。・搬送ハード制御、搬送スケジューリング機能。・工程内の生産スケジュールと設備群の運用管理機能。・設備から収集したデータを上位情報管理システムに提
供する機能。

【０００７】このような従来の生産支援システムには、
例えば、特開平3-214743号公報記載の半導体装置の製造
システムや、特開昭60-263208号公報記載のファクトリ
ーオートメーションシステムや、特開平4-205306号公報
記載の生産設備管理装置の特開平1-234143号公報記載の
フレキシブル生産システムがある。

【０００８】

【本発明が解決しようとする課題】しかし、このような
従来の生産支援システムでは、つぎのような問題があ
る。（１）体系化されたデータストアを上位の情報管理シス
テム側に置く構成のため、情報収集系の開発やローカル
な仕様変更、拡張に合わせて、情報管理系の冗長な開発
や仕様変更、拡張が必要となる。これは、例えば、半導
体製造ラインのウエーハ処理設備に組み込む優秀なセン
サが開発されても、肝心なプロセスの制御モデルが解明
されていないため、センサから収集するデータの活用を
支援するシステムの開発を何段階にも分ける必要がある
場合がある。

【０００９】（２）工程管理システムが利用しない情
報、制御信号が工程管理システムを介して転送される。
このため工程管理システム自身が利用しない情報、制御
信号の仕様変更、拡張のために、工程管理システムの改
造が必要となる。

【００１０】（３）工程管理システムのソフトウエア
は、搬送制御や、全ラインのトラッキングデータの瞬時
把握等の高速処理が要求されるため、アプリケーション
開発に特殊な技術が必要とされ、コーディングも複雑と
なる。このアプリケーション上に複雑な論理判断を必要
とする機能が搭載されるため、工程管理システムのソフ
トウエアは非常に複雑なものとなる。このため工程管理
システムのソフトウエアは変更、拡張工数が、極めて大
きいものとなっている。それにもかかわらず、工程管理
システムには拡張、変更の頻度が高い機能が集中してい
る。

【００１１】そこで、本発明は、上述した従来技術の問
題を解決し、生産仕様やシステムの変更、拡張に柔軟に
対応できる生産支援システムを提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、複数の生産設備を備える生産ラインに
よる製品の生産を、上記各生産設備を制御することによ
り支援する制御機構を備え、少なくとも一部の上記生産
設備ごとに、それぞれ、該生産設備に対応するインテリ
ジェントインタフェースを備える生産支援システムと、
該インテリジェントインタフェースとが提供される。

【００１３】本発明のインテリジェントインタフェース
は、対応する生産設備に関する情報を保持する記憶手段
と、該記憶手段に保持する情報を管理する演算手段とを
備え、該演算手段は、対応する生産設備における設備状
況を検出し、該状況を示す情報を憶手段に格納する格納
手段と、制御機構からの要求を受け付け、該記憶手段に
保持している上記情報を該要求元に通知する通知手段と
を備える。

【００１４】本発明のインテリジェントインタフェース
の記憶手段は、一以上の処理対象を含むロットに関する
情報を保持するためのロット記憶領域と、処理対象に関
する情報を保持するための処理対象記憶領域と、処理対
象の処理手順に関する情報を保持するためのプロセス記
憶領域と、処理方法に関する情報を保持するためのレシ
ピ記憶領域とを備えることが望ましい。

【００１５】また、この本発明のインテリジェントイン
タフェースの演算手段は、上記各記憶領域の作成手段
と、連結手段とを備えることが望ましい。

【００１６】作成手段には、生産設備により処理すべき
処理対象および／またはロットの通知を受け付ける手段
と、処理対象の通知を受け付けると、該処理対象に関す
る処理対象記憶領域が記憶手段に保持されていなけれ
ば、該処理対象に関する処理対象記憶領域を記憶手段に
作成する手段と、ロットの通知を受け付けると、該ロッ
トに関するロット記憶領域が上記記憶手段に保持されて
いなければ、該ロットに関するロット記憶領域を記憶手
段に作成する手段とがある。

【００１７】さらに、作成手段には、生産設備により処
理する処理対象の処理順を示す情報と処理方法を示す情
報との通知を受け付ける手段と、処理方法を示す情報の
通知を受け付けると、該処理方法に関するレシピ記憶領
域が上記記憶手段に保持されていなければ、該処理方法
を示す情報に対応してあらかじめ定められた内容を保持
するレシピ記憶領域を、記憶手段に作成する手段と、処
理順を示す情報の通知を受け付けると、該処理順とレシ
ピ記憶領域に保持された情報をもとに、上記プロセス記
憶領域を、記憶手段に作成する手段とがある。

【００１８】また、連結手段は、通知された処理対象に
関して作成した処理対象記憶領域と、該処理対象の含ま
れる上記ロットに関する情報を保持するロット記憶領域
と、該処理対象の処理手順に関する情報を保持するプロ
セス記憶領域と、該処理対象の処理方法に関する情報を
保持するレシピ記憶領域とを連結する手段である。

【００１９】

【作用】従来技術の問題点を解決するためには、つぎの
（１）〜（３）の課題を解決する必要がある。（１）十分に設計された体系を持つデータストアを情報
収集系に近い位置に置く。（２）工程管理システムをデータや制御信号の転送経路
として使用しない。（３）高速処理専用のサブシステムを設け、工程管理シ
ステムの機能を実現するための処理のうち、高速処理が
要求されるものをこれに移す。

【００２０】そこで、本発明の生産支援システムでは、
生産設備ごとにインテリジェントインタフェース（Ｉ／
Ｆと略す）を設けて、上記課題を解決する。

【００２１】本発明の生産支援システムのシステム構成
例を、生産設備１１５〜１２２により構成される生産ラ
インの管理を支援する場合を例にして、図１に示す。本
発明の生産支援システム１００は、全ラインのワークの
進捗と工程フローを管理する進度管理システム１０１
と、ワークの製造条件、品質データを管理するプロセス
管理システム１０２と、設備の健康状態を管理する設備
診断システム１０３とを備える。

【００２２】なお、これらのシステム１０１〜１０３以
外にも、必要に応じて、他の情報管理システムを追加す
る場合がある。例えば、図１に示した構成例では、２つ
の工程管理システム１０４，１０５と、リアルタイム制
御サーバ１０６と、インテリジェントＩ／Ｆ１０７〜１
１４とが設けられている。

【００２３】工程管理システム１０４，１０５は、それ
ぞれ、生産設備１１５〜１１８または生産設備１１９〜
１２２の健康状態と連動した高度なスケジューリング
と、工程内設備群の運用を実行する工程管理システムで
ある。

【００２４】リアルタイム制御サーバ１０６は、工程管
理システム１０４，１０５の指示を受けて、生産ライン
におけるワークの搬送機構の制御や、ライン全体のトラ
ッキングデータの瞬時把握等、高い負荷を後続で実行す
るサーバである。

【００２５】インテリジェントＩ／Ｆ１０７〜１１４
は、１台の生産設備１１５〜１２２ごとに１台備えられ
ている。各インテリジェントＩ／Ｆ１０７〜１１４は、
進度管理システム１０１、品質管理システム１０２、設
備管理システム１０３、工程管理システム１０４，１０
５、およびリアルタイム制御サーバ１０６等の上位シス
テムの指示により、個々の生産設備の制御を実行し、さ
らに、着工実績データと設備の健康状態の管理に必要な
データを収集管理し、上位システムやライン内の作業者
の要求に応じてこれらのデータを提供する。なお、イン
テリジェントＩ／Ｆ１０７〜１１４は、それぞれ、進度
管理用、プロセス管理用、および設備診断用等のデータ
を保持する記憶装置１２３〜１３０を備える。

【００２６】本発明の生産支援システムでは、各生産施
設に関する進度管理用、プロセス管理用、および設備診
断用等のデータを、各生産施設ごとに独立して、異なる
記憶装置１２３〜１３０に保持し、それぞれ独立したイ
ンテリジェントＩ／Ｆ１０７〜１１４により管理するた
め、情報収集系の開発やローカルな仕様変更、拡張に合
わせた、情報管理系の冗長な開発や仕様変更、拡張が不
要である。また、本発明の生産支援システムによれば、
システムに要求される高速処理能力を低下させることな
く、システムの変更や拡張を容易に行うことができる。

【００２７】また、本発明では、従来技術では複数のデ
ータベース分散して保持されていた、作業対象ごとの情
報、作業対象のまとまりであるロットごとの情報、およ
び処理プロセスに関する情報を、生産設備ごとに、リン
クされたテーブルによりひとつにまとめて一元管理す
る。従って、本発明によれば、これらのデータのいずれ
をキーにしても、リンクを介して他の情報を検索するこ
とができ、サーバは、検索のみに必要なデータを要求す
る必要がなく、サーバおよび通信の負荷を軽減すること
ができる。

【００２８】さらに、本発明では、データの発生源であ
る生産設備ごとに、該設備から発生したデータを記憶す
る手段、すなわちインテリジェントＩ／Ｆを設けた。従
って、本発明では、従来技術では非常に大量であったサ
ーバの保存、管理する情報を、各生産設備ごとのインテ
リジェントＩ／Ｆに分散することにより、サーバおよび
インテリジェントＩ／Ｆの各記憶手段に保持されるデー
タ量を削減することができる。また、データを発生源ご
とインテリジェントＩ／Ｆにより保存、管理することに
より、データ管理のための排他制御が不要となり、処理
を単純にできるとともに、排他制御にともなう負荷をな
くすことができる。

【００２９】

【実施例】以下本発明を半導体ウエーハの処理を行う半
導体製造ラインに適用した場合の実施例について説明す
る。本実施例のシステム全体の構成を図３に示す。

【００３０】Ａ．ハードウエア構成本実施例の生産支援システムによる処理対象の生産ライ
ンは、図３に示すように、生産設備として、ウエーハ処
理設備ａ（バッチ処理設備）３１１と、ウエーハ処理設
備ｂ（枚葉処理設備）３１２と、ウエーハ処理設備ｃ
（外付けセンサ付き枚葉処理設備）３１３と、検査装置
３１４とを備え、さらに、ウエーハを各生産設備３１１
〜３１４に搬送する搬送機構３０６とを備える。

【００３１】本実施例の生産支援システムは、生産ライ
ンの運転に必要な情報を管理する情報管理システムとし
て、全ラインのワークの進捗と工程フローを管理する進
度管理システム３０１と、ワークの製造条件、品質デー
タを管理するプロセス管理システム３０２と、設備の健
康状態を管理する設備診断システム３０３と、操作指示
の入力および稼働状況等を示す情報の出力のためのマン
／マシンシステム３１５とを備える。

【００３２】さらに、必要に応じて追加される情報管理
システムとして、本実施例の生産支援システムは、設備
３１１〜３１４群の健康状態と連動した高度なスケジュ
ーリングと設備運用を実行する工程管理システム３０４
と、高い負荷を伴うリアルタイム制御を工程管理システ
ムからの指示で実行するリアルタイム制御サーバ３０５
とを備える。このリアルタイム制御サーバ３０５の行う
リアルタイム制御には、搬送機構制御サーバとしてのワ
ークの搬送機構３０６の制御や、設備状況把握サーバと
してのライン全体のトラッキングデータの瞬時把握等が
含まれる。各情報管理システム３０１〜３０５は、高速
通信回線３１６を介して接続され、ネットワークを形成
している。

【００３３】これらの情報管理システムに加えて、本実
施例の生産支援システムは、個々の生産設備３１１〜３
１４ごとに、インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０を
備える。ウエーハ処理設備ａ３１１は、インテリジェン
トＩ／Ｆ−ａ３０７を介し、ウエーハ処理設備ｂ３１２
は、インテリジェントＩ／Ｆ−ｂ３０８を介し、ウエー
ハ処理設備ｃ３１３は、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３
０９を介し、検査装置３１４は、インテリジェントＩ／
Ｆ−ｄ３１０を介し、それぞれ上記ネットワークに接続
されている。

【００３４】インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０
は、情報管理システム、工程管理システム、リアルタイ
ム制御サーバ３０５等の上位システムの指示により、個
々の設備３１１〜３１４の制御を実行し、また着工実績
データと設備の健康状態の管理に必要なデータを収集管
理し、上位システムやライン内の作業者の要求に応じて
これらのデータを提供する、インテリジェントＩ／Ｆで
ある。なお、インテリジェントＩ／Ｆ−ｂ３０８は、枚
葉処理設備３１２の装置本体に組み込まれている。

【００３５】本実施例では、各情報管理システム３０１
〜３０５、各インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０お
よびマン／マシンシステム３１５は、図１０に示すよう
に、それぞれ、主記憶装置１００１、中央演算処理装置
（ＣＰＵ）１００２、入出力装置１００３、および外部
記憶装置１００４を備える情報処理装置１０００であ
る。

【００３６】Ｂ．コマンド、イベントおよびアラームつぎに、ネットワーク３１６を介して授受される、イン
テリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０およびリアルタイム
制御サーバ３０５の制御のための制御コマンドと、イン
テリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０およびリアルタイム
制御サーバ３０５に状況を通知するためのイベントおよ
びアラームとについて説明する。

【００３７】まず、表１に、本実施例におけるインテリ
ジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の制御コマンドと、その
フォーマットとを示す。また、表２に、これらの制御コ
マンドに対してインテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０
が発行する応答のフォーマットを示す。

【００３８】

【表１】

【００３９】

【表２】

【００４０】なお、ここで、「ON/OFF」は、「ON」また
は「OFF」が記述されることを意味し、「ON」はオンラ
イン指示であることを、「OFF」はオフライン指示であ
ることを、それぞれ示す。「recipeID」はレシピの識別
子を示し、「workID」はワーク（作業対象）の識別子を
示し、「prosessID」は指示対象の処理の識別子を示
す。また、typeは登録する（または登録した）ワークの
処理タイプを示し、「n」は該ワークに含まれるウエー
ハの枚数を示す。「fileID」はファイルの識別子を、
「getfileID」は転送先のファイル識別子を、「sendfil
eID」は転送元のファイル識別子を、それぞれ表し、「e
ventID」はイベントに付された識別子を示す。「OK」は
指示された処理の実行の正常終了を意味する識別符号を
示し、「NG_ID」は指示された処理の実行の異常終了に
対してあらかじめ定められた識別符号を示す。また、
「fileID/NG_ID」は、上述のファイル識別子および異常
終了識別符号のいずれかが記述されることを意味する。

【００４１】さらに、表３に、本実施例におけるインテ
リジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の発行するイベントお
よびそのフォーマットを示し、表４に、インテリジェン
トＩ／Ｆ３０７〜３１０の発行するアラームおよびその
フォーマットを示す。

【００４２】

【表３】

【００４３】

【表４】

【００４４】ここで、「TimeStamp」はタイムスタンプ
を、「status_ID」は状況ごとにあらかじめ定められた
識別符号を、「loaderID」は設備ローダの識別子を、
「chamberID」は設備チャンバの識別子を、「alarmID」
は警報の内容ごとにあらかじめ定められた識別符号を、
それぞれ表す。

【００４５】インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の
制御コマンドは標準化されており、実際の設備個々の制
御と運用はインテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０が実
行する。また、インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０
の制御コマンドは、インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３
１０内で管理されるファイルデータの操作と、上位シス
テムへのファイルデータの転送とを、インテリジェント
Ｉ／Ｆ３０７〜３１０に実行させるためのコマンドであ
る。インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の発行する
イベントおよびアラームは、各設備３０６〜３１４にお
いて発生した状況を、複数の上位システムに高速で転送
するために用意されている。なお、ここで、インテリジ
ェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の上位システムとは、進度
管理システム３０１、プロセス管理システム３０２、設
備管理システム３０３、工程管理システム３０４、およ
びリアルタイム制御サーバ３０５をいう。

【００４６】また、表５に、本実施例におけるリアルタ
イム制御サーバ３０５の制御コマンドと、そのフォーマ
ットとを示す。さらに、表６に、これらの制御コマンド
に対してリアルタイム制御サーバ３０５が発行する応答
のフォーマットを示す。

【００４７】

【表５】

【００４８】

【表６】

【００４９】ここで、「from」は搬送元の設備の識別符
号を、「to」は搬送先の設備の識別符号を、「jobID」
はジョブ(作業)の識別子を、それぞれ表す。

【００５０】また、本実施例におけるリアルタイム制御
サーバ３０５の発行するイベントおよびそのフォーマッ
トを表７に示し、リアルタイム制御サーバ３０５の発行
するアラームおよびそのフォーマットを表８に示す。

【００５１】

【表７】

【００５２】

【表８】

【００５３】リアルタイム制御サーバ３０５の制御コマ
ンドは、搬送機構３０６の制御のための制御信号の発行
等を、リアルタイム制御サーバ３０５に実行させるため
のコマンドである。リアルタイム制御サーバ３０５のイ
ベントおよびアラームは、搬送機構３０６で発生した状
況を複数の上位システムに高速で転送するために用意さ
れている。なお、ここで、リアルタイム制御サーバ３０
５の上位システムとは、進度管理システム３０１、プロ
セス管理システム３０２、設備管理システム３０３、お
よび工程管理システム３０４をいう。

【００５４】本実施例では、これらの、インテリジェン
トＩ／Ｆ３０７〜３１０およびリアルタイム制御サーバ
３０５の制御コマンド、イベント、およびアラームは、
工程管理システムや情報系管理システムによって使用さ
れる。しかし、他のシステム、例えば制御コマンド発行
専用のマンマシン／システム３１５から、これらのコマ
ンドを使用することもできる。

【００５５】Ｃ．ファイル構成つぎに、本実施例において用いられるファイルの構成
を、枚葉処理設備用ファイル構成を例にとって説明す
る。

【００５６】本実施例では、作業対象のウエーハを複数
枚まとめて作業単位（ワーク）とする。このワークに関
する情報を保持するためのファイルとして、図７に示す
ワークファイル７０１がある。また、枚葉処理設備３１
２，３１３では、実際の処理はワーク単位ではなく、ワ
ークに含まれるウエーハごとに行われる。そこで、枚葉
処理設備用のファイル構成では、該ウエーハに関する情
報を保持するためのファイルとして、ウエーハファイル
７０２を備える。

【００５７】さらに、本実施例のシステムは、図８に示
すように、各ウエーハの処理プロセスの内容を保持する
ためのプロセスファイル７０３と、設備の状態履歴を保
持するためのログファイル７０４と、あらかじめ定めら
れたプロセスの手順びレシピを保持するためのレシピフ
ァイル７０５と、処理に仕様される装置の稼働状況を保
持するための装置立ち上げ記録ファイル７０６と、各処
理装置に付属している測定機器に関する情報を保持する
ための付属測定機器ファイル７０７とを備える。付属測
定機器ファイル７０７は、第１の付属測定機器ファイル
７０７ａと、第２の付属測定機器ファイル７０７ｂとの
２種類が備えられている。

【００５８】これらのファイル７０１〜７０７は、イン
テリジェントＩ／Ｆ−ｂ３０８およびインテリジェント
Ｉ／Ｆ−ｃ３０９の主記憶装置１００１上に作成され、
外部記憶装置１００４に保持され、さらに、必要に応じ
て主記憶装置１００１に読み込まれて、検索、更新され
る。

【００５９】ワークファイル７０１は、図７に示すよう
に、その示すワークに含まれるウエーハの枚数分だけ、
ファイル名を保持するためのウエーハファイル名格納領
域７０１１を備え、さらに、該ワークのロット番号およ
び該ワークに関する詳細なデータを保持するための備考
格納領域７０１２を備える。

【００６０】ウエーハファイル７０２は、図７に示すよ
うに、ワークファイル名を保持するためのワークファイ
ル名格納領域７０２１と、プロセスを登録するためのプ
ロセスファイル７０３のファイル名を保持するためのプ
ロセスファイル名格納領域７０２２と、ウエーハ番号お
よびその他のデータを保持するためのウエーハ番号格納
領域７０２３とを備える。

【００６１】プロセスファイル７０３は、図７に示すよ
うに、該ファイル７０３の保持するプロセス情報がどの
ウエーハの処理プロセスに関するものであるか示すため
に、該ウエーハに関する情報を保持するウエーハファイ
ル７０２のファイル名を保持するためのウエーハファイ
ル名格納領域７０３１を備える。さらに、プロセスファ
イル７０３は、図８に示すように、該処理プロセスのレ
シピの登録されているレシピファイル７０５のファイル
を保持するためのレシピファイル名格納領域７０３２
と、該処理プロセスの実施状況を保持するログファイル
７０４のファイル名を保持するためのログファイル名格
納領域７０３３と、該プロセスにおいて使用される付属
測定機器に関する情報を保持する付属測定機器ファイル
７０７のファイル名を保持するための付属測定機器ファ
イル名格納領域７０３４と、該プロセスに関する詳細な
情報を保持するための備考格納領域７０３５とを備え
る。付属測定機器ファイル名格納領域７０３４は、第１
の付属測定機器ファイル７０７ａのための格納領域と、
第２の付属測定機器ファイル７０７ｂのための格納領域
との２つの領域が用意されている。

【００６２】なお、本実施例では、各インテリジェント
Ｉ／Ｆ３０７〜３１０は、それぞれ、管理する設備にお
いて行われるプロセスの登録されたプロセスマスターフ
ァイル（図示せず）を外部記憶装置１００４に備え、プ
ロセスファイル７０３は、このプロセスマスターファイ
ルの保持する内容をもとに、主記憶装置１００１に作成
される。

【００６３】ログファイル７０４は、図８に示すよう
に、設備の状況のログを記憶するためのファイルであ
り、該ログの採取された時刻を保持するための時刻格納
領域７０４１と、該時刻における状態を保持するための
状態格納領域７０４２と、該ログの採取されたプロセス
の登録されているプロセスファイル７０３のファイル名
を保持するためのプロセスファイル名格納領域７０４３
と、具体的状況等の詳細データを保持するためのデータ
格納領域７０４４とを備える。

【００６４】レシピファイル７０５は、図８に示すよう
に、いずれのプロセスのレシピであるかを示すために、
該プロセスの登録されているプロセスファイル７０３の
ファイル名を保持するためのプロセスファイル名格納領
域７０５１と、レシピ番号やレシピの具体的内容を保持
するためのレシピデータ格納領域７０５２とを備える。
プロセスファイル名格納領域７０５１は、該レシピファ
イル７０５に登録されたレシピを使用するプロセスの数
（すなわち、プロセスファイル７０３の数）だけ用意さ
れる。

【００６５】装置立ち上げ記録ファイル７０６は、図８
に示すように、処理に仕様される装置の稼働状況を登録
するためのファイル７０６であり、該装置について採取
されたログの登録されているログファイル７０４のファ
イル名を保持するためのログファイル名格納領域７０６
１と、該装置に付属する付属測定機器の付属測定機器フ
ァイル７０７のファイル名を保持するための付属測定機
器ファイル名格納領域７０６２と、該装置に関する詳細
な情報を保持するためのデータ格納領域７０６３とを備
える。付属測定機器ファイル名格納領域７０６２１は、
第１の付属測定機器ファイル７０７ａのための格納領域
と、第２の付属測定機器ファイル７０７ｂのための格納
領域との２つの領域が用意されている。

【００６６】付属測定機器ファイル７０７は、図８に示
すように、第１の付属測定機器ファイル７０７ａおよび
第２の付属測定機器ファイル７０７ｂのいずれも同様の
データ構造を備え、該ファイルに登録される測定機器の
詳細な情報を保持するためのデータ格納領域７０７１を
有する。

【００６７】なお、ワークごとの処理のためのファイル
構成では、ウエーハファイル７０２を省略することがで
きる。この場合、ワークファイル７０１は、ウエーハフ
ァイル名格納領域７０１１の代わりに、プロセスファイ
ル名格納領域（図示せず）を備える。また、この場合、
プロセスファイル７０３は、ウエーハファイル名格納領
域７０３１の代わりに、ワークファイル名格納領域（図
示せず）を備える。

【００６８】Ｄ．システムの動作つぎに、システムの動作を、つぎ（１）〜（４）の基本
的な４例を用いて説明する。

【００６９】（１）全設備トラッキングデータの把握まず、全設備トラッキングデータの把握方法について、
図４および図１１を用いて説明する。なお、全設備トラ
ッキングデータの把握処理における信号の授受を図４に
示し、工程管理システム３０４およびリアルタイム制御
サーバ３０５の処理の流れを図１１に示す。図１１にお
いて、実線は処理の流れを、点線の矢印は信号の流れを
示す。

【００７０】まず、工程管理システム３０４が、リアル
タイム制御サーバ３０５へ、つぎのコマンド（信号４
１）を発行する（ステップ１１０１）。 command_AllEquipment_TrackingData() このコマンドは、全設備のトラッキンデータを要求する
制御コマンドである。

【００７１】回線３１６を介してこのコマンドを受け付
けたリアルタイム制御サーバ３０５は、各インテリジェ
ントＩ／Ｆ３０７〜３１０のそれぞれに対して、つぎの
コマンド（信号４２）を発行する（ステップ１１１
１）。 command_TrackingData(event3) このコマンドは、設備の（）内に記述されたイベント
に関するトラッキングデータを要求する制御コマンドで
ある。なお、event3は、設備のローダ状態を通知するイ
ベントである。

【００７２】この制御コマンドを回線３１６を介して受
け付けた各インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０は、
それぞれ、その管理する設備３１１〜３１４へ、ローダ
状態通知要求（信号４３）を発行し、現在の設備のロー
ダ状態を取得する（ステップ１１２１）。

【００７３】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜
３１０は、それぞれ、リアルタイム制御サーバ３０５
へ、その管理する設備３１１〜３１４のローダ状態を示
すイベント（信号４４）を発行する（ステップ１１２
２）。ここで発行されるイベントとしては、例えば、 event_loader_status('94:09:12:23:45,loadno1,on,wor
k1) がある。これは、タイムスタンプ「'94:09:12:23:45」に
より表される時刻において、識別子「loadno1」で表され
る設備が、「on」で表される状態すなわち作動中であり、
識別子「work1」で表されるロットの処理中であることを
通知するイベントである。また、 event_loader_status('94:09:12:23:45,loadno2,off,) というイベントが発行されたとすれば、これは、タイム
スタンプ「'94:09:12:23:45」により表される時刻におい
て、識別子「loadno2」で表される設備が、「off」で表され
る状態すなわち作動停止中であることを通知するイベン
トである。

【００７４】回路３１６を介してこのイベントの通知を
受けたリアルタイム制御サーバ３０５は、自らの備える
トラッキングデータファイル（図示せず）に、通知され
た各設備のトラッキングデータを記録する（ステップ１
１１２）。

【００７５】なお、リアルタイム制御サーバはすべての
インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０に対する上述し
たステップ２、４、５の処理を、高速で並行に実行す
る。図２では、例として、バッチ処理設備用インテリジ
ェントＩ／Ｆ−ａ３０７へのコマンド（信号４２）発行
（ステップ２）および同インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３
０７からのイベント（信号４４）発行のみ、別々の矢印
として図示したが、図が繁雑になるのを避けるため、残
りのインテリジェントＩ／Ｆ３０８〜３１０に対する信
号４２および４４は、一本の矢印として省略した形で表
示した。

【００７６】つぎに、リアルタイム制御サーバ３０５
は、工程管理システム３０４に対し、ステップ１で受け
付けたの制御コマンドの応答として、ライン内設備の全
トラッキングデータを記録したトラッキングデータファ
イルのＩＤを、つぎのようなフォーマット（信号４６）
で通知する（ステップ１１１３）。 answer_AllEquipment_TrackingData('94:09:12:23:51,f
ile_t1) この応答は、タイムスタンプ「'94:09:12:23:51」により
表される時刻におけるライン内設備の全トラッキングデ
ータが、識別子「file_t1」で表されるファイルに記録さ
れていることを示す。

【００７７】この通知を受けた工程管理システム３０４
は、リアルタイム制御サーバ３０５に対し、つぎのコマ
ンド（信号４７）を発行する（ステップ１１０２）。 command_FileData_get(file_t1) このコマンドは、識別子「file_t1」で表されるファイル
に保持されたデータの転送要求のための制御コマンドで
ある。

【００７８】このファイルデータ取得要求４７を受けた
リアルタイム制御サーバ３０５は、工程管理システム３
０４へ、ファイル「file_t1」の内容（信号４８）を、
回線３１６を介して転送する（ステップ１１１４）。

【００７９】ファイル内容の転送を受けた工程管理シス
テム３０４は、ファイル「ｆｉｌｅ＿ｔ１」に保持され
たデータと、工程管理システム３０４自身が時刻「’９
４：０９：１２：２３：５１」以降に取得した設備イベ
ントとを併合し、工程管理システム３０４の備える記憶
手段に記録して、全ラインのトラッキングデータ収集作
業を完了する（ステップ１１０３）。

【００８０】（２）ワークの搬送制御つぎに、ワーク（作業対象のロット）の搬送制御方法に
ついて、図５および図１２を用いて説明する。なお、ワ
ークの搬送制御処理における信号の授受を図５に示し、
工程管理システム３０４、リアルタイム制御サーバ３０
５、およびインテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０の処
理の流れを図１２に示す。図１２において、実線は処理
の流れを、点線の矢印は信号の流れを示す。

【００８１】まず、工程管理システム３０４が、リアル
タイム制御サーバ３０５に対して、ロットの搬送を指示
する（ステップ１２０１）。例えば、識別子「Equopmen
t1」により表される枚葉処理設備３１２から、識別子
「Equipment2」により表されるバッチ処理設備３１１へ
の、識別子「work1」で表されるロットの搬送の場合、
この指示は、つぎの制御コマンド（信号５１）を通知す
ることにより行われる。 command_transport(work1,Equipment1,Equipment2) このコマンドは、「Equipment1」から「Equipment2」へ
の「work1」の搬送を指示する制御コマンドである。

【００８２】この搬送指示コマンドの通知を受けたリア
ルタイム制御サーバ３０５は、指示された搬送にジョブ
識別子をセットして、応答（信号５２） answeer_transport(work1,Equipment1,Equipment2,job
1) を工程管理システム３０４に返信し（ステップ１２１
１）、搬送処理の開始を搬送機構３１６に指示する（ス
テップ１２１２）。なお、ここでは、例として、ジョブ
識別子を「job1」としている。

【００８３】リアルタイム制御サーバ３０５は、複数の
搬送指示を受けた場合も、各搬送の干渉が最低になるよ
うに搬送を管理する手段を有する。しかし、搬送がなん
らかの障害で失敗した場合は、その時点でのトラキング
データを取得し、工程管理システム３０４またはマンマ
シンシステム３１５に、警報として表８に示したアラー
ムを通知する。これを受け付けた工程管理システム３０
４は、警報に対してあらかじめ定められた処置を実行す
る。また、マンマシンシステム３１５がこの警報を受け
付けた場合、マンマシンシステム３１５は、警報内容を
表示し、処置の指示を受け付ける。なお、図５および図
１２では、このようなエラー処理についての図示は省略
した。

【００８４】搬送の実行により、設備３１１のローダに
ロットが搭載されると、設備３１１からインテリジェン
トＩ／Ｆ−ａ３０７に対して、その旨が通知（信号５
３）される。この通知を受けたインテリジェントＩ／Ｆ
−ａ３０７は（ステップ１２２１）、設備ローダ状態を
示すイベント（信号５４） event_loader_status('94:09:12:24:17,load1,on,work
1) を、回線３１６を介して、リアルタイム制御サーバ３０
５、工程管理システム３０４、および進度管理システム
３０１に通知する（ステップ１２２２）。このイベント
は、タイムスタンプ「'94:09:12:24:17」により表され
る時刻において、識別子「load1」で表される設備が作
動中であり、識別子「work1」で表されるロットの処理
中であることを意味する。

【００８５】このイベントの通知を受けたリアルタイム
制御サーバ３０５は、ワークの搬送処理を完了を搬送機
構３０６に通知し（ステップ１２１３）、工程管理シス
テム３０４へ、搬送完了を示すイベント（信号５５） event_transport_complete('94:09:12:24:20,job1) を、回線３１６を介して通知する（ステップ１２１
４）。なお、このイベントは、ステップ５２において識
別符号「job1」の付された搬送処理が、タイムスタンプ
「'94:09:12:24:20」により表される時刻に完了したこ
とを意味する。

【００８６】（３）設備でのワークの処理つぎに、設備でのワーク（作業対象）の処理方法につい
て、図６および図１６を用いて説明する。なお、ここで
は、ウエーハ処理設備ｃ３１３における枚葉処理を例に
とって説明する。

【００８７】枚葉処理における工程管理システム３０４
の処理およびインテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９の処理
を、図１６に示す。図１６においては、応答にエラーコ
ードが含まれていた場合に行われる工程管理システム３
０４のエラー処理の図示は省略した。

【００８８】なお、図１６において、実線は処理の流れ
を表し、点線の矢印は信号の流れを表す。

【００８９】まず、工程管理システム３０４は、回線３
１６を介して、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９へコ
マンド（信号６１） command_WorkFile_create(work1,type1,n) を発行する発行する（ステップ１６１０）。このコマン
ドは、ワークに関するデータの登録を要求する制御コマ
ンドであり、「type1」で示されるタイプ（本実施例で
は枚葉処理設備のファイルタイプ）のファイルに、ウエ
ーハ枚数「n」のワーク「work1」を登録することを指示
する制御コマンドである。

【００９０】この登録要求を受け付けたインテリジェン
トＩ／Ｆ−ｃ３０９は、図７に示す「type1」のタイプ
のワークファイル７０１を主記憶装置１００１内に作成
し、さらに、ウエーハ枚数「n」の数だけ、ウエーハフ
ァイル７０２を主記憶装置１００１内に作成する（ステ
ップ１６２０）。また、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３
０９は、ウエーハファイル７０２のファイル名を、ウエ
ーハにあらかじめ付されているウエーハ番号に応じて一
意になるように付す。さらに、インテリジェントＩ／Ｆ
−ｃ３０９は、ウエーハファイル名格納領域７０１１
に、作成したウエーハファイルに付したファイル名を格
納する。

【００９１】このようにしてワークの登録に必要なファ
イルを作成したインテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９は、
回線３１６を介して、応答（信号６２） answer_WorkFile_create(work1,file_W1) により、工程管理システム３０４に、作成したワークフ
ァイルのファイル番号を返信する（ステップ１６２
１）。このコマンドは、枚葉処理設備のファイルタイプ
のファイルが作成され、そのファイル名（ファイル番
号）は、「file_W1」であることを意味する。

【００９２】このファイル作成通知を受けた工程管理シ
ステム３０４は、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に
対し、つぎのコマンド（信号６３）により、詳細データ
の転送を要求する（ステップ１６１１）。 command_FileData_set(file_W1,sendFile_W1) …（コマンド１） command_FileData_set(file_w1,sendFile_w1) …（コマンド２） command_FileData_set(file_w2,sendFile_w2) …（コマンド３）・・・ command_FileData_set(file_wn,sendFile_wn) …（コマンド４）ここで、「sendFile_W1」は、ワークの詳細データを保
持する進度管理システム３０１内のファイルのファイル
名である。コマンド１は、この進度管理システム３０１
の備えるファイル「sendFile_W1」の内容を読み込み、
ワークファイル「file_W1」（ステップ１６２１により
取得したファイル名）に、格納することを指示するコマ
ンドである。

【００９３】また、「sendFile_w1」〜「sendFile_wn」
は、ウエーハの詳細データを保持する進度管理システム
３０１内のファイルのファイル名である。コマンド２〜
４は、進度管理システム３０１の備えるウエーハの詳細
データを読み込み、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９
の作成したウエーハファイルに、格納することを指示す
るコマンドであり、ウエーハ枚数「n」の分だけ発行さ
れる。

【００９４】具体的には、コマンド２は、進度管理シス
テム３０１の備えるファイル「sendFile_w1」の内容を
読み込みし、ウエーハファイル「file_w1」に、格納す
ることを指示するコマンドである。コマンド３は、進度
管理システム３０１の備えるファイル「sendFile_w2」
の内容を読み込みし、ウエーハファイル「file_w2」
に、格納することを指示するコマンドである。コマンド
４は、進度管理システム３０１の備えるファイル「send
File_wn」の内容を転送し、ウエーハファイル「file_w
n」に、格納することを指示するコマンドである。

【００９５】この転送指示を受け付けたインテリジェン
トＩ／Ｆ−ｃ３０９は、必要なデータをfile1にセット
し、転送指示に対する応答（信号６４）として、工程管
理システム３０４へ、例えば、 answer_FileData_set(file_W1,OK) answer_FileData_set(file_w1,OK) answer_FileData_set(file_w2,OK) ・・・ answer_FileData_set(file_wn,OK) を返信する（ステップ１６２２）。これらは、「file_W
1」および「file_w1」〜「file_wn」のファイル転送が
正常に行われたことを通知する応答である。なお、転送
が異常終了した場合は、「OK」の代わりにエラーコード
が通知される。

【００９６】この応答を受け付けた工程管理システム３
０４は、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に対し、ウ
エーハの処理順序とレシピを通知（信号６５）して、プ
ロセスファイルおよびレシピファイル７０５の作成およ
び連結と、ワークファイル７０１およびウエーハファイ
ル７０２の連結とを指示する（ステップ１６１２）。

【００９７】これを受けたインテリジェントＩ／Ｆ−ｃ
３０９は、外部記憶装置１００４からマスタレシピファ
イル（図示せず）を読み込み、レシピファイル７０５を
作成し、その実行ファイルとなるプロセスファイル７０
３を、主記憶装置１００１に作成する（ステップ１６２
３）。

【００９８】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０
９は、ステップ１６２０におい作成したファイル名「fi
le_W1」のワークファイル７０１のウエーハファイル名
格納領域７０１１に、図７に示すように「file_w1」〜
「file_wn」を格納し、ステップ１６２０におい作成し
たファイル名「file_w1」〜「file_wn」のウエーハファ
イル７０２のワークファイル名格納領域７０２１に、そ
れぞれ、「file_W1」を格納する（ステップ１６２
４）。これにより、ステップ１６２０において新たに作
成されたワークファイル７０１とウエーハファイル７０
２とが連結される。

【００９９】なお、ステップ１６１２における工程管理
システム３０４によるプロセスファイル７０３およびレ
シピファイル７０５の生成と、該ファイルおよびワーク
ファイル７０１の連結との指示、およびそれに対するに
インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９の処理（ステップ１
６２３〜１６２５）には、つぎの（ａ）〜（ｄ）の４つ
のタイプがある。ここで、「workW1」，「workW2」，…
「workWm」はワークの識別子であり、「workw1」，「wo
rkw2」，…，「workwi」はウエーハの識別子である。ワ
ーク「workW1」，「workW2」，…「workWm」の登録され
たワークファイル７０１、および、ウエーハ「workw
1」，「workw2」，…，「workwi」の登録されたウエー
ハファイル７０２は、すでに主記憶装置１００１に備え
られている。また、「resipe1」，「resipe2」，…，
「resipe5」はレシピの識別子であり、「process1」，
「process1」，…，「processn」はプロセスの識別子で
ある。

【０１００】（ａ）ワーク単位の処理の場合ここで例にとっているウエーハ処理設備ｃ３１３は、枚
葉処理の設備であり、ワーク単位の処理は行われない。
しかし、ウエーハ処理設備ａ３１１では、ワーク単位に
処理が行われる場合がある。そこで、ここでは、インテ
リジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９の代わりに、インテリジェ
ントＩ／Ｆ−ａ３０７によるワーク単位の処理について
説明する。

【０１０１】ワーク単位の処理のためのファイル構成の
場合、ウエーハごとに登録されるウエーハファイル７０
２は存在せず、ワークファイル７０１とプロセスファイ
ル７０３とが直接連結される。そこで、工程管理システ
ム３０４は、ワーク単位にプロセスファイル７０３およ
びレシピファイル７０５を生成し、それらを連結するよ
うに、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workW1) を用いて、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に指示す
る。これは、ワーク「workW1」にレシピ「resipe1」を
設定することを指示する制御コマンドである。

【０１０２】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ａ３０７は、外部記憶装置１００４に保持されたマスタ
レシピファイル（図示せず）から、レシピ「resipe1」
に関する情報を読み込んでレシピ「resipe1」に関する
レシピファイル７０５を作成する。

【０１０３】レシピデータ格納領域７０５２に保持され
たレシピには、実行されるべきプロセスに関する情報も
含まれている。そこで、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３
０７は、レシピファイル７０３に登録されているプロセ
ス（ここでは、例としてプロセス名「process1」のプロ
セスが一つだけ登録されていたものとする）に関する情
報を、外部記憶装置１００４に保持されたマスタプロセ
スファイル（図示せず）から読み込み、該情報を用い
て、プロセスファイル７０３（すなわち、この例では、
プロセス名「process1」のプロセスに関する情報を保持
するためのプロセスファイル７０３）を作成する。

【０１０４】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０
７は、ワーク「workW1」のワークファイル７０１のプロ
セスファイル名格納領域（図示せず）に「process1」の
プロセスファイル７０３のファイル名を格納し、該ファ
イル７０３のワークファイル名格納領域（図示せず）に
ワーク「workW1」のワークファイル７０１のファイル名
を格納する。さらに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０
７は、プロセス「process1」のプロセスファイル７０３
のレシピファイル名格納領域７０３２にレシピ「resipe
1」のレシピファイル７０５のファイル名を格納し、該
ファイル７０５のプロセスファイル名格納領域７０５１
にプロセス「process1」のプロセスファイル７０３のフ
ァイル名を格納する。

【０１０５】これにより、ワーク「workW1」にレシピ
「resipe1」が設定されたことになるので、インテリジ
ェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、工程管理システム３０４に
対して応答（信号７０） answer_Process_select(recipe1,workW1,process1) を通知する（ステップ１６２５）。これは、ワーク「wo
rkW1」の処理として、レシピ「resipe1」のプロセス「p
rocess1」が登録されたことを意味する。

【０１０６】（ｂ）バッチ処理の場合上述の場合と同様に、ウエーハ処理設備ｃ３１３ではバ
ッチ処理は行われない。しかし、ウエーハ処理設備ａ３
１１は、バッチ処理の設備である。そこで、ここでは、
インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９の代わりに、インテ
リジェントＩ／Ｆ−ａ３０７によるワーク単位の処理に
ついて説明する。

【０１０７】バッチ処理は、複数のワークをまとめて処
理する処理形態である。そこで、複数のワークに対して
同一のレシピが登録される。なお、このバッチ処理のた
めのデータ構成においても、ウエーハごとに登録される
ウエーハファイル７０２は存在せず、ワークファイル７
０１とプロセスファイル７０３とが直接連結される。

【０１０８】この場合、工程管理システム３０４は、プ
ロセスファイル７０３およびレシピファイル７０５の生
成および連結の指示として、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workW1,workW2,…ｗ
ｏｒｋＷｍ）を、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に通知する。こ
れは、ワーク「ｗｏｒｋＷ１」〜「workWm」にレシピ
「resipe1」を設定することを指示する制御コマンドで
ある。

【０１０９】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ａ３０７は、上述の場合と同様に、外部記憶装置１００
４に保持されたマスタレシピファイルから、レシピ「re
sipe1」に関する情報を読み込んでレシピ「resipe1」に
関するレシピファイル７０５を作成し、該ファイル７０
５に登録されたプロセス（この例では、プロセス名「pr
ocess1」）に関するプロセスファイル７０３を、外部記
憶装置１００４に保持されたマスタプロセスファイル
（図示せず）から読み込んだ情報を用いて作成する。こ
こで、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、プロセス
ファイル７０３に、ワーク「workW1」〜「workWm」のた
めの「m」個のワークファイル名格納領域（図示せず）
を設ける。

【０１１０】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０
７は、ワーク「workW1」〜「workWm」のすべてのワーク
ファイル７０１のプロセスファイル名格納領域（図示せ
ず）に「process1」のプロセスファイル７０３のファイ
ル名を格納し、該ファイル７０３のワークファイル名格
納領域（図示せず）にワーク「workW1」〜「workWm」の
ワークファイル７０１のファイル名を格納する。さら
に、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、プロセス
「process1」のプロセスファイル７０３のレシピファイ
ル名格納領域７０３２にレシピ「resipe1」のレシピフ
ァイル７０５のファイル名を格納し、該ファイル７０５
のプロセスファイル名格納領域７０５１にプロセス「pr
ocess1」のプロセスファイル７０３のファイル名を格納
する。

【０１１１】これにより、ワーク「workW1」〜「workW
m」にレシピ「resipe1」が設定されたことになるので、
インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、工程管理システ
ム３０４に対して応答（信号７０） answer_Process_select(resipe1,workW1,workW2,…ｗｏ
ｒｋＷｍ，ｐｒｏｃｅｓｓ１）を通知する（ステップ１６２５）。これは、ワーク「ｗ
ｏｒｋＷ１」〜「workWm」の処理として、レシピ「resi
pe1」のプロセス「process1」が登録されたことを意味
する。

【０１１２】（ｃ）分割バッチ処理の場合上述の場合と同様に、ウエーハ処理設備ｃ３１３では分
割バッチ処理は行われない。しかし、ウエーハ処理設備
ａ３１１では、分割バッチ処理が行われることがある。
そこで、ここでは、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９
の代わりに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７による
ワーク単位の処理について説明する。

【０１１３】分割バッチ処理は、ワークに対する処理を
複数のウエーハごとに分割して行う処理形態である。す
なわち、この処理のためのデータ構成では、処理対象の
ワークのワークファイル７０１に、同一プロセスファイ
ル７０３に連結された複数のウエーハファイル７０２の
組が複数登録されることになる。ここでは、登録対象の
ワークに含まれるウエーハの総数を「n」とし、この
「n」個のウエーハのうち、「i」個がプロセス「proces
s1」により処理され、残りの「n-i」個がプロセス「pro
cess2」により処理されるとして、説明を進める。ただ
し、ｉは１以上ｎ未満の整数である。

【０１１４】この場合、まず、工程管理システム３０４
は、プロセスファイル７０３およびレシピファイル７０
５の生成および連結の指示として、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workw1,workw2,…,wo
rkwi) を、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に通知する。こ
れは、ウエーハ「workw1」〜「workwi」の「i」個のウ
エーハにレシピ「resipe1」を設定することを指示する
制御コマンドである。

【０１１５】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ａ３０７は、上述の場合と同様に、マスタレシピファイ
ルから読み込んだ情報をもとにレシピ「resipe1」のレ
シピファイル７０５を作成し、該ファイル７０５に登録
された１番目のプロセス（この例では、プロセス名「pr
ocess1」）に関するプロセスファイル７０３を、マスタ
プロセスファイルから読み込んだ情報を用いて作成す
る。ここで、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、プ
ロセスファイル７０３に、ウエーハ「workw1」〜「work
wi」のための「i」個のウエーハファイル名格納領域７
０３１を設ける。

【０１１６】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０
７は、ウエーハ「workw1」〜「workwi」のすべてのウエ
ーハファイル７０２のプロセスファイル名格納領域７０
２２に「process1」のプロセスファイル７０３のファイ
ル名を格納し、該ファイル７０３のウエーハファイル名
格納領域７０３１にウエーハ「workw1」〜「workwi」の
ウエーハファイル７０２のファイル名を格納する。さら
に、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、プロセス
「process1」のプロセスファイル７０３のレシピファイ
ル名格納領域７０３２にレシピ「resipe1」のレシピフ
ァイル７０５のファイル名を格納し、該ファイル７０５
のプロセスファイル名格納領域７０５１にプロセス「pr
ocess1」のプロセスファイル７０３のファイル名を格納
する。

【０１１７】これにより、ウエーハ「workw1」〜「work
wi」にレシピ「resipe1」のプロセス「process1」が設
定されたことになるので、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ
３０７は、工程管理システム３０４に対して応答（信号
７０） answer_Process_select(resipi1,work1w1,work1w2,…,w
orkwi,process1) を通知する（ステップ１６２５）。これは、ウエーハ
「workw1」〜「workwi」の処理として、レシピ「resipe
1」のプロセス「process1」が登録されたことを意味す
る。

【０１１８】これを受けて、工程管理システム３０４
は、残りの「n-i」個のウエーハについてのプロセスフ
ァイル７０３およびレシピファイル７０５の生成および
連結の指示として、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workwi+1,workwi+2,
…workwn) を、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に通知する。こ
れは、ウエーハ「workwi+1」〜「workwn」の「n-i」個
のウエーハにレシピ「resipe1」を設定することを指示
する制御コマンドである。

【０１１９】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ａ３０７は、すでに存在しているレシピ「resipe1」の
レシピファイル７０５に登録されている２番目のプロセ
ス（この例では、プロセス名「process2」）に関するプ
ロセスファイル７０３を、マスタプロセスファイルから
読み込んだ情報を用いて作成する。ここで、インテリジ
ェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、「process2」のプロセスフ
ァイル７０３に、ウエーハ「workwi+1」〜「workwn」の
ための「n-i」個のウエーハファイル名格納領域７０３
１を設ける。

【０１２０】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０
７は、ウエーハ「workwi+1」〜「workwn」のすべてのウ
エーハファイル７０２のプロセスファイル名格納領域７
０２２に「process2」のプロセスファイル７０３のファ
イル名を格納し、該ファイル７０３のウエーハファイル
名格納領域７０３１にウエーハ「workwi+1」〜「workw
n」のウエーハファイル７０２のファイル名を格納す
る。さらに、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、プ
ロセス「process2」のプロセスファイル７０３のレシピ
ファイル名格納領域７０３２にレシピ「resipe1」のレ
シピファイル７０５のファイル名を格納し、該ファイル
７０５のプロセスファイル名格納領域７０５１にプロセ
ス「process2」のプロセスファイル７０３のファイル名
を追加する。

【０１２１】これにより、ウエーハ「workwi+1」〜「wo
rkwn」にレシピ「resipe1」のプロセス「process2」が
設定されたことになるので、インテリジェントＩ／Ｆ−
ａ３０７は、工程管理システム３０４に対して応答（信
号７０） answer_Process_select(resipe1,workwi+1,workwi+2,…
workwn,process2) を通知する（ステップ１６２５）。これは、ウエーハ
「workwi+1」〜「workwn」の処理として、レシピ「resi
pe1」のプロセス「process2」が登録されたことを意味
する。

【０１２２】（ｄ）枚葉処理の場合枚葉処理は、ウエーハを構成する各ウエーハごとに行わ
れる処理である。すなわち、この処理のためのデータ構
成では、各ウエーハのウエーハファイル７０２が、それ
ぞれ指定されたプロセスのプロセスファイル７０３に連
結されることになる。そこで、工程管理システム３０４
は、プロセスファイル７０３の生成および連結の指示と
して、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workw1) を、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に通知する。こ
れは、ウエーハ「workw1」にレシピ「resipe1」を設定
することを指示する制御コマンドである。

【０１２３】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ｃ３０９は、マスタレシピファイルから読み込んだ情報
をもとにレシピ「resipe1」のレシピファイル７０５を
作成し、該ファイル７０５に登録された１番目のプロセ
ス（この例では、プロセス名「process1」）に関するプ
ロセスファイル７０３を、マスタプロセスファイルから
読み込んだ情報を用いて作成する。

【０１２４】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０
９は、ウエーハ「workw1」のウエーハファイル７０２の
プロセスファイル名格納領域７０２２に「process1」の
プロセスファイル７０３のファイル名を格納し、該ファ
イル７０３のウエーハファイル名格納領域７０３１にウ
エーハ「workw1」のウエーハファイル７０２のファイル
名を格納する。さらに、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３
０９は、プロセス「process1」のプロセスファイル７０
３のレシピファイル名格納領域７０３２にレシピ「resi
pe1」のレシピファイル７０５のファイル名を格納し、
該ファイル７０５のプロセスファイル名格納領域７０５
１にプロセス「process1」のプロセスファイル７０３の
ファイル名を格納する。

【０１２５】これにより、ウエーハ「workw1」にレシピ
「resipe1」のプロセス「process1」が設定されたこと
になるので、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９は、工
程管理システム３０４に対して応答 answer_Process_select(resipe1,workw1,process1) を通知する。これは、ウエーハ「workw1」〜「workwn」
の処理として、レシピ「resipe1」のプロセス「process
1」が登録されたことを意味する。これを受けて、工程
管理システム３０４は、制御コマンド command_Process_select(resipe1,workw2) を、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に通知する。こ
れは、「workw2」のウエーハにレシピ「resipe1」を設
定することを指示する制御コマンドである。

【０１２６】これを受けて、インテリジェントＩ／Ｆ−
ｃ３０９は、レシピ「resipe1」のレシピファイル７０
５に登録されている２番目のプロセス「process2」に関
するプロセスファイル７０３を作成し、上述の場合と同
様にして「workw2」のウエーハファイル７０２、「proc
ess2」のプロセスファイル７０３、および「resipe1」
のレシピファイル７０５を連結して、工程管理システム
３０４に対して応答 answer_Process_select(resipe1,woekw2,process2) を通知する。これを受けて工程管理システム３０４は、
インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に対して制御コマン
ド command_Process_select(resipe2,workw3) により「workw3」のウエーハにレシピ「resipe2」を設
定することを指示する。これを受けたインテリジェント
Ｉ／Ｆ−ｃ３０９は、レシピ「resipe2」のレシピファ
イル７０５をマスタレシピファイルをもとに作成し、該
ファイル７０５に登録されている１番目のプロセス「pr
ocess3」に関するプロセスファイル７０３を作成し、上
述の場合と同様にして「workw3」のウエーハファイル７
０２、「process3」のプロセスファイル７０３、および
「resipe2」のレシピファイル７０５を連結して、工程
管理システム３０４に対して応答（信号７０）ａｎｓｗｅｒ＿Ｐｒｏｃｅｓｓ＿ｓｅｌｅｃｔ（ｒｅｓ
ｉｐｅ２，ｗｏｒｋｗ３，ｐｒｏｃｅｓｓ３）を通知する（ステップ１６２５）。このような処理が繰
り返され、最後の「ｎ」番目のウエーハworkwnに関する
コマンドおよび応答 command_Process_select(resipe5,workwn) answer_Process_select(resipe5,workwn,processn) が通信されれば、「workw1」〜「workwn」の「n」個の
すべてのウエーハに関するプロセスの登録が完了したこ
とになる。

【０１２７】ステップ１６２３〜１６２４等におけるこ
れら複雑なファイル管理は、インテリジェントＩ／Ｆ３
０７〜３１０により自動的に行われる。またログファイ
ル７０４およびセンサ等の設備付属測定機器のデータフ
ァイル７０７と、これらプロセスファイル７０３との関
連付けも、インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０によ
り自動的に行われる。

【０１２８】このようにしてプロセスファイル７０３の
生成および連結が完了すると、インテリジェントＩ／Ｆ
−ｃ３０９は、ワークデータのセット完了を、進度管理
システム等の上位システム３０１〜３０４，３１５へ、
イベント（信号６６） event_WorkData_ready(TimrStamp,workID、processID) を用いて通知する（ステップ１６２６）。このイベント
６６は、タイムスタンプ「TimrStamp」により示される
時刻に、識別子「workID」により示されるワークまたは
ウエーハの、識別子「processID」により示されるプロ
セスに関するワークデータの準備か完了したことを意味
する。

【０１２９】この完了通知を受けた工程管理システム３
０４は、処理対象のワークまたはウエーハの最適な着工
順序を決定し、着工条件がそろった時点で（ステップ１
６１３）、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に対し、
着工を、つぎのコマンド（信号６７）により指示する
（ステップ１６１４）。 command_Process_start(process1) これは、プロセス「process1」の開始を指示する制御コ
マンドである。

【０１３０】この指示を受けたインテリジェントＩ／Ｆ
−ｃ３０９は、プロセス「process1」の開始をウエーハ
処理装置ｃ３１３に指示し、応答（信号７１） answer_Process_start(process1,OK) を工程管理システム３０４に返す（ステップ１６２
７）。これは、プロセス「process1」の開始が成功した
ことを意味する応答である。なお、プロセス「process
1」の開始が失敗した場合には、「OK」の代わりにエラ
ーコードが返される。

【０１３１】つぎに、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０
９は、ステップ６５で指定されたレシピのレシピ詳細デ
ータと、あらかじめ定められている設備の制御仕様とに
従って、処理の着工を設備３１３に指示する（ステップ
１６２８）。

【０１３２】インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９は、設
備での着工の状況をモニタする必要のある上位システム
３０１〜３０４，３１５に対し、つぎの（ａ）〜（ｄ）
のイベントまたはアラーム（信号６８）を、状況に応じ
て発行する（ステップ１６２９）。

【０１３３】（ａ）処理準備完了通知 event_Process_ready('94:09:13:21:01,process1) このイベントは、時刻「'94:09:13:21:01」にプロセス
「process1」の処理準備が完了したことを意味する。

【０１３４】（ｂ）処理開始通知 event_Process_start('94:09:13:21:05,process1) このイベントは、時刻「'94:09:13:21:05」にプロセス
「process1」の処理が開始されたことを意味する。

【０１３５】（ｃ）処理完了通知ｅｖｅｎｔ＿Ｐｒｏｃｅｓｓ＿ｃｏｍｐｌｅｔｅ（’９
４：０９：１３：２１：３５，ｐｒｏｃｅｓｓ１）このイベントは、時刻「’９４：０９：１３：２１：３
５」にプロセス「process1」の処理が完了したことを意
味する。

【０１３６】（ｄ）アラーム通知 alarm(alarm1,file_alarm1) このアラームは、識別子「alarm1」の付された警報が発
行され、その詳細は、ファイル名「file_alarm1」のフ
ァイルに記録されていることを意味する。

【０１３７】また、上位システム３０１〜３０４，３１
５からコマンド command_Process_stop(process1) が通知されると（ステップ１６３０）、インテリジェン
トＩ／Ｆ−ｃ３０９は、設備３１３でのプロセス「proc
ess1」を緊急停止して、応答 answer_Process_stop(process1,OK) を停止コマンドの発行元に返す（ステップ１６３１）。
この応答は、プロセス「process1」の緊急停止が正常に
行われたことを意味する。なお、プロセス「process1」
の停止が失敗するか、異常な状態で停止した場合には、
「OK」の代わりにエラーコードが返される。

【０１３８】ワークの処理実績は、設備３１３からイン
テリジェントＩ／Ｆ−ｃ３０９に通知され、インテリジ
ェントＩ／Ｆ−ｃ３０９のプロセスファイル７０３に記
録される。また、プロセスデータは、インテリジェント
Ｉ／Ｆ−ｃ３０９により、上位システム３０１〜３０
４，３１５の要求に応じて非同期に転送される（信号６
９）。

【０１３９】ここでは、インテリジェントＩ／Ｆ−ｃ３
０９による設備３１３におけるワークの処理を例にとっ
て説明したが、他のインテリジェントＩ／Ｆ３０７，３
０８，３１０によるワークまたはウエーハの処理も、同
様に行われる。

【０１４０】（４）レシピの設定、評価、変更つぎに、レシピファイル７０５の設定、評価、および変
更について、図９および図１３〜１５を用いて説明す
る。インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜３１０におけるマ
スタレシピファイル（図示せず）の登録、評価、および
更新は、プロセス管理システム３０２の指示に基づいて
実行される。なお、図１３〜１５においては、応答にエ
ラーコードが含まれていた場合に行われるエラー処理に
ついての図示は省略した。

【０１４１】なお、ここでは、インテリジェントＩ／Ｆ
３０７〜３１０のうち、バッチ処理設備であるウエーハ
処理設備ａ３１１を管理するためのインテリジェントＩ
／Ｆ−ａ３０７における、マスタレシピの処理を例にと
って説明し、図９にもこの場合のみを図示しているが、
他のインテリジェントＩ／Ｆ３０８〜３１０においても
同様である。

【０１４２】（ａ）新しいレシピファイルの登録レシピファイル７０５の新規登録は、マスタレシピファ
イルの作成により行われる。このプロセス管理システム
３０２による登録処理の流れを図１３に示す。

【０１４３】まず、プロセス管理システム３０２は、マ
スタレシピファイルの生成を、コマンド（図９では信号
８１として図示） command_MasterRecipeFile_create(resipe1) によりインテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に指示する
（ステップ１３０１）。これは、「resipe1」という名
称のマスタレシピファイルを生成することを指示する制
御コマンドである。これに対して、インテリジェントＩ
／Ｆ−ａ３０７は、 answer_MasterRecipeFile_create(resipe1,file_r1) という応答により、レシピ「resipe1」のマスタレシピ
ファイルをファイル名「file_r1」のファイルとして作
成したことを、プロセス管理システム３０２に通知する
（ステップ１３０２）。

【０１４４】つぎに、プロセス管理システム３０２は、
コマンド（図９では信号８２として図示） command_FileData_set(filer_r1,sendFile_r1) により、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７に、マスタ
レシピファイルの内容の転送を指示する（ステップ１３
０３）。このコマンドは、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ
３０７の有するファイル「filer_r1」の内容を、プロセ
ス管理システム３０２の有する「sendFile_r1」の内容
で置き換えることを指示する制御コマンドである。なお
「sendFile_r1」は、レシピに関する詳細データを保持
するプロセス管理システム３０２内の作業用ファイルで
ある。

【０１４５】これを受けたインテリジェントＩ／Ｆ−ａ
３０７は、プロセス管理システム３０２の有する「send
File_r1」の内容を回線３１６を介して読み込み、それ
を用いてファイル「filer_r1」の内容を更新して、プロ
セス管理システム３０２に応答 answer_FileData_set(file_r1,sendFile_r1,OK) を返す（ステップ１３０４）。この応答は、ファイル
「file_r1」の転送元ファイル「sendFile_r1」の内容に
よる更新が成功したことを意味している。なお、ファイ
ル転送またはファイルの更新が失敗した場合には、「O
K」の代わりにエラーコードが返される。

【０１４６】（ｂ）レシピファイルの評価つぎに、レシピファイルの評価の一例について説明す
る。この例におけるプロセス管理システム３０２のレシ
ピファイル評価処理の流れを図１４に示す。

【０１４７】まず、プロセス管理システム３０２は、コ
マンド（図９では信号８１として図示） command_FileData_get(file_r1,getFile_r1) により、評価対象のレシピファイル７０５をインテリジ
ェントＩ／Ｆ−ａ３０７より取得し、該ファイル７０５
に記録されている実行プロセスファイルのＩ／Ｄを取得
する（ステップ１４０１）。なお、「getFile_r1」は、
レシピファイル７０５を取得するためのプロセス管理シ
ステム３０２内の作業用ファイルであり、このコマンド
は、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７の有するレシピ
ファイル「file_r1」の内容をプロセス管理システム３
０２の有するファイル「getFile_r1」に転送することを
指示する制御コマンドである。

【０１４８】これを受けたインテリジェントＩ／Ｆ−ａ
３０７は、プロセス管理システム３０２の有する「getF
ile_r1」に、回線３１６を介してファイル「filer_r1」
の内容を転送し、プロセス管理システム３０２に応答 answer_FileData_get(file_r1,getFile_r1,OK) を返す。この応答は、ファイル「file_r1」の転送先フ
ァイル「sendFile_r1」への転送が成功したことを意味
している。なお、ファイル転送が失敗した場合には、
「OK」の代わりにエラーコードが返される。

【０１４９】つぎに、プロセス管理システム３０２は、
得られたレシピファイル７０５のプロセスファイル名格
納領域７０５１に保持されているプロセスファイル名
（ここでは、プロセスファイル名として、「file_proce
ss1」のみが登録されているものとする）を参照し（ス
テップ１４０２）、コマンド（図９では信号８２として
図示） command_FileData_get(file_process1,getFile_p1) により、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７から、該レ
シピに登録されているプロセスのプロセスファイル７０
３を取得する（ステップ１４０３）。なお、「getFile_
ｐ1」は、プロセスファイル７０３を取得するためのプ
ロセス管理システム３０２内の作業用ファイルの名称で
あり、このコマンドは、インテリジェントＩ／Ｆ−ａ３
０７の有するプロセスファイル「file_process1」の内
容をプロセス管理システム３０２の有するファイル「ge
tFile_p1」に転送することを指示する制御コマンドであ
る。

【０１５０】これを受けたインテリジェントＩ／Ｆ−ａ
３０７は、プロセス管理システム３０２の有する「getF
ile_p1」に、回線３１６を介してファイル「ｆｉｌｅ＿
ｐｒｏｃｅｓｓ１」の内容を転送し、プロセス管理シス
テム３０２に応答ａｎｓｗｅｒ＿ＦｉｌｅＤａｔａ＿ｇｅｔ（ｆｉｌｅ＿
ｐｒｏｃｅｓｓ１，ｇｅｔＦｉｌｅ＿ｐ１，ＯＫ）を返す。この応答は、ファイル「file_process1」の転
送先ファイル「sendFile_p1」への転送およびデータ更
新が成功したことを意味している。なお、ファイル転送
が失敗した場合には、「OK」の代わりにエラーコードが
返される。

【０１５１】最後に、プロセス管理システム３０２は、
得られたプロセスファイル７０３に保持されている情報
を用いてレシピの評価をする（ステップ１４０４）。

【０１５２】（ｃ）既存のレシピファイルの更新すでに存在しているレシピファイル７０５の更新は、フ
ァイルデータの更新コマンドにより行われる。すなわ
ち、プロセス管理システム３０２はインテリジェントＩ
／Ｆ−ａ３０７に対して、ファイルの更新を指示コマン
ド（図９では信号８１として図示） command_FileData_set(file_1,sendFile_r1) を発行する（ステップ１５０１）。このコマンドは、イ
ンテリジェントＩ／Ｆ−ａ３０７の有するレシピファイ
ル「file_1」の内容を、プロセス管理システム３０２の
有するファイル「sendFile_r1」に置き換えることを指
示する制御コマンドである。この指示を受けたインテリ
ジェントＩ／Ｆ−ａ３０７は、指示された更新を行い、
応答 answer_FileData_set(file_1,sendFile_r1,OK) をプロセス管理システム３０２に返す（ステップ１５０
２）。これは、指示されたファイルのデータ更新が成功
したことを意味する。なお、ファイル転送またはデータ
更新が失敗した場合には、「OK」の代わりにエラーコー
ドが返される。

【０１５３】（５）適切な設備メンテナンス時期の判断設備管理システム３０３は、インテリジェントＩ／Ｆ３
０７〜３１０より収集された情報をもとに、設備の健康
状態を診断、管理するための設備メンテナンス情報を作
成し、管理している。インテリジェントＩ／Ｆ３０７〜
３１０は、設備の健康状態を管理するための情報とし
て、ログファイル７０４を、プロセスファイル７０３と
関連付けて備えている。工程管理システム３０４は、設
備管理システム３０４と連動して、適切なメンテナンス
スケジュールを立案し、実行する。

【０１５４】

【発明の効果】生産ラインの能力向上のために、生産支
援システムに施される、機能の変更や拡張に短期間、低
工数で対応可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産支援システムの構成を示す説明
図である。

【図２】従来の生産支援システムの構成を示す説明図
である。

【図３】実施例における生産支援システムおよび生産
ラインのシステム構成を示すハードウエア構成図であ
る。

【図４】全設備のトラッキングデータの把握のための
データ通信の概要を示す説明図である。

【図５】ワークの搬送制御に際して行われるデータ通
信の概要を示す説明図である。

【図６】設備でのワークの処理に際して行われるデー
タ通信の概要を示す説明図である。

【図７】枚葉処理用ファイル構成の一部分を示す模式
図である。

【図８】枚葉処理用のファイル構成の一部分を示す模
式図である。

【図９】レシピファイルの設定、評価、変更処理に際
して行われるデータ通信の概要を示す説明図である。

【図１０】情報処理装置のハードウエア構成図であ
る。

【図１１】全設備のトラッキングデータの把握処理の
概要を示す流れ図である。

【図１２】ワークの搬送制御処理の概要を示す流れ図
である。

【図１３】レシピファイルの設定処理の概要を示す流
れ図である。

【図１４】レシピファイルの評価処理の概要を示す流
れ図である。

【図１５】レシピファイルの変更処理の概要を示す流
れ図である。

【図１６】生産設備におけるワーク処理の制御の概要
を示す流れ図である。

【符号の説明】

１０１…進度管理システム、１０２…品質管理システ
ム、１０３…製造条件管理システム、１０４〜１０５…
工程管理システム、１０６…リアルタイム設備サ−バ、
１０７〜１１４…インテリジェントＩ／Ｆ、１１５〜１
２２…生産設備。２０１…進度管理システム、２０２…
品質管理システム、２０３…設備診断システム、２０４
〜２０５…工程管理システム、２０６〜２１３…生産設
備。３０１…進度管理システム、３０２…品質管理シス
テム、３０３…設備管理システム、３０４…工程管理シ
ステム、３０５…リアルタイム制御サ−バ、３０６…搬
送機構、３０７〜３１０…インテリジェントＩ／Ｆ、３
１１…ウエ−ハ処理設備ａ、３１２…ウエ−ハ処理設備
ｂ、３１３…ウエ−ハ処理設備ｃ、３１４…検査装置、
３１５…マンマシンシステム、３１６…高速通信回線。
１０００…情報処理装置、１００１…主記憶装置、１０
０２…中央演算処理装置（ＣＰＵ）、１００３…入出力
措置、１００４…外部記憶装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所 // Ｇ０６Ｆ 13/00 ３５５Ｇ０６Ｆ 15/21 Ｒ (72)発明者坂田正雄神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の生産設備を備える生産ラインによる
製品の生産を、上記各生産設備を制御することにより支
援する制御機構を備える生産支援システムにおいて、少なくとも一部の上記生産設備ごとに、それぞれ、該生
産設備に対応するインテリジェントインタフェースを備
え、上記インテリジェントインタフェースは、上記対応する生産設備に関する情報を保持する記憶手段
と、上記記憶手段に保持する情報を管理する演算手段とを備
え、上記演算手段は、上記対応する生産設備における設備状況を検出し、該状
況を示す情報を上記記憶手段に格納する格納手段と、上記制御機構からの要求を受け付け、該記憶手段に保持
している上記情報を該要求元に通知する通知手段とを備
えることを特徴とする生産支援システム。
【請求項２】請求項１において、上記インテリジェントインタフェースの演算手段の通知
手段は、上記対応する生産設備における設備状況に変化が生じる
と、該変化を上記制御機構に通知する手段を備えること
を特徴とする生産支援システム。
【請求項３】請求項１において、上記生産ラインは、上記生産設備間における処理対象の
搬送を行う搬送機構を備え、上記制御機構は、上記各生産設備のスケジューリングを行い、該各生産設
備の運用を制御する工程管理システムと、上記搬送機構の制御を行う搬送機構制御サーバとを備
え、上記インテリジェントインタフェースの演算手段は、上
記対応する生産設備への処理対象の搭載を検出し、該処
理対象の搭載を上記搬送機構制御サーバへ通知する手段
をさらに備え、上記工程管理システムは、上記生産設備のうち、いずれの設備からいずれの設備へ
どの処理対象を搬送するか指示する搬送指示を、上記搬
送機構制御サーバに通知する手段を備え、上記搬送機構制御サーバは、上記工程管理システムからの搬送指示を受け付けて、指
示された搬送元の上記生産設備から指示された搬送先の
上記生産設備へ、指示された処理対象を搬送するよう、
搬送機構を起動する手段と、上記搬送先の生産設備に対応する上記インテリジェント
インタフェースの演算手段から、処理対象の搭載の通知
を受け付けると、上記搬送機構を停止する手段とを備え
ることを特徴とする生産支援システム。
【請求項４】請求項１において、上記制御機構は、上記各生産設備のスケジューリングを行い、該各生産設
備の運用を制御する工程管理システムと、上記各生産設備の稼働状況を把握するための設備状況把
握サーバとを備え、上記インテリジェントインタフェースの演算手段は、上
記対応する生産設備の稼働状況を検出し、該稼働状況を
上記設備状況把握サーバへ通知する手段をさらに備え、上記工程管理システムは、上記生産設備の少なくともいずれかを指定し、該生産設
備の稼働状況を上記設備状況把握サーバへ問い合わせる
手段と、上記稼働状況を用いて上記スケジューリングを行う手段
とを備え、上記設備状況把握サーバは、上記工程管理システムからの問い合わせを受け付けて、
上記指定された生産設備に対応する上記インテリジェン
トインタフェースへ、該生産設備の稼働状況を問い合わ
せる手段と、上記インテリジェントインタフェースからの、上記生産
設備の稼働状況の通知を受け付け、該稼働状況を上記工
程管理システムに通知する手段とを備えることを特徴と
する生産支援システム。
【請求項５】請求項１において、上記制御機構は、上記各生産設備のスケジューリングを行い、該各生産設
備の運用を制御する工程管理システムを備え、上記インテリジェントインタフェースの記憶手段は、一以上の処理対象を含むロットに関する情報を保持する
ためのロット記憶領域と、上記処理対象に関する情報
を保持するための処理対象記憶領域と、上記処理対象の処理手順に関する情報を保持するための
プロセス記憶領域と、処理方法に関する情報を保持するためのレシピ記憶領域
とを備え、上記工程管理システムは、上記インテリジェントインタフェースへ、該インテリジ
ェントインタフェースの対応する生産設備により処理す
べき処理対象および／またはロットを通知する手段と、上記インテリジェントインタフェースへ、該インテリジ
ェントインタフェースの対応する生産設備により処理す
る処理対象の処理順を示す情報と処理方法を示す情報と
を通知する手段と、上記スケジューリングに基づいて、上記インテリジェン
トインタフェースへ、処理の開始の指示を通知する手段
とを備え、上記インテリジェントインタフェースの演算手段は、上記工程管理システムからの上記処理対象の通知を受け
付けると、該処理対象に関する処理対象記憶領域が上記
記憶手段に保持されていなければ、該処理対象に関する
処理対象記憶領域を、上記記憶手段に作成する手段と、上記工程管理システムからの上記ロットの通知を受け付
けると、該ロットに関するロット記憶領域が上記記憶手
段に保持されていなければ、該ロットに関するロット記
憶領域を、上記記憶手段に作成する手段と、上記工程管理システムからの上記処理方法を示す情報の
通知を受け付けると、該処理方法に関するレシピ記憶領
域が上記記憶手段に保持されていなければ、該処理方法
を示す情報に対応してあらかじめ定められた内容を保持
するレシピ記憶領域を、上記記憶手段に作成する手段
と、上記工程管理システムからの上記処理順を示す情報の通
知を受け付けると、該処理順と上記レシピ記憶領域に保
持された情報をもとに、上記プロセス記憶領域を、上記
記憶手段に作成する手段と、上記通知された処理対象に関して作成した処理対象記憶
領域と、該処理対象の含まれる上記ロットに関する情報
を保持する上記ロット記憶領域と、該処理対象の処理手
順に関する情報を保持する上記プロセス記憶領域と、該
処理対象の処理方法に関する情報を保持する上記レシピ
記憶領域とを連結する手段と、上記工程管理システムからの処理開始指示を受け付け
て、上記対応する生産設備を起動させる手段とを備える
ことを特徴とする生産支援システム。
【請求項６】請求項１において、上記制御機構は、上記生産設備における生産工程の進捗を管理する進度管
理システムと、上記製品の製造条件および品質データを管理するプロセ
ス管理システムと、上記各生産設備の健康状態に関する情報を管理する設備
診断システムと、上記各生産設備のスケジューリングを行い、該生産設備
を運用する工程管理システムと、上記各生産設備の稼働状況を把握するための設備状況把
握サーバとを備えることを特徴とする生産支援システ
ム。
【請求項７】請求項１において、上記制御機構は、設備の健康状態を管理する設備診断システムを備え、上記インテリジェントインタフェースの記憶手段に保持
される上記生産設備に関する情報は、設備の稼働状況お
よび製品不良の発生状況に関する情報を含むことを特徴
とする生産支援システム。
【請求項８】請求項１において、上記インテリジェントインタフェースの記憶手段に保持
される上記生産設備に関する情報は、該生産設備の稼働
状況と、上記処理対象とに関する情報であることを特徴
とする生産支援システム。
【請求項９】請求項１において、上記インテリジェントインタフェースの演算手段は、上記インテリジェントインタフェースの記憶手段に保持
する情報を、上記制御機構の処理により定められるフォ
ーマットで管理することを特徴とする生産支援システ
ム。
【請求項１０】生産ラインを構成する生産設備の情報を
管理管理するためのインテリジェントインタフェースで
あって、記憶手段および演算手段を備え、上記記憶手段は、一以上の処理対象を含むロットに関する情報を保持する
ためのロット記憶領域と、上記処理対象に関する情報を保持するための処理対象記
憶領域と、上記処理対象の処理手順に関する情報を保持するための
プロセス記憶領域と、処理方法に関する情報を保持するためのレシピ記憶領域
とを備え、上記演算手段は、上記生産設備により処理すべき処理対象および／または
ロットの通知を受け付ける手段と、上記処理対象の通知を受け付けると、該処理対象に関す
る処理対象記憶領域が上記記憶手段に保持されていなけ
れば、該処理対象に関する処理対象記憶領域を、上記記
憶手段に作成する手段と、上記ロットの通知を受け付けると、該ロットに関するロ
ット記憶領域が上記記憶手段に保持されていなければ、
該ロットに関するロット記憶領域を、上記記憶手段に作
成する手段と、上記生産設備により処理する処理対象の処理順を示す情
報と処理方法を示す情報との通知を受け付ける手段と、上記処理方法を示す情報の通知を受け付けると、該処理
方法に関するレシピ記憶領域が上記記憶手段に保持され
ていなければ、該処理方法を示す情報に対応してあらか
じめ定められた内容を保持するレシピ記憶領域を、上記
記憶手段に作成する手段と、上記処理順を示す情報の通知を受け付けると、該処理順
と上記レシピ記憶領域に保持された情報をもとに、上記
プロセス記憶領域を、上記記憶手段に作成する手段と、上記通知された処理対象に関して作成した処理対象記憶
領域と、該処理対象の含まれる上記ロットに関する情報
を保持する上記ロット記憶領域と、該処理対象の処理手
順に関する情報を保持する上記プロセス記憶領域と、該
処理対象の処理方法に関する情報を保持する上記レシピ
記憶領域とを連結する手段と、上記処理対象の処理の開始指示を受け付ける手段と、上記処理開始指示を受け付けると、上記対応する生産設
備を起動させる手段とを備えることを特徴とする生産支
援システム。