JPH0720930A - 製造管理装置とこれを用いた製造管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小規模で確実なバックアップが行える製造管
理装置と復旧作業が容易となる製造管理方法を提供する
こと。 【構成】 ロット毎の情報を管理するためのホストコン
ピュータ１と、モデム５等を介してホストコンピュータ
１と接続される端末器２と、一つのロットの情報を記憶
する記憶手段４と、記憶手段４との間で情報入出力を行
う入出力部２３とを備えた製造管理装置であり、記憶手
段４内の製造工程情報を端末器２で読み込んで処理を施
した後、その処理結果を記憶手段４とホストコンピュー
タ１とに記憶させる。また、ホストコンピュータ１の停
止の際には記憶手段４のみに処理結果を記憶し、復旧後
にホストコンピュータ１へ転送する製造管理方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体等の製造装置に
おける製造工程や製造履歴をホストコンピュータにて統
括管理する製造管理装置とこれを用いた製造管理方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＶＬＳＩ等の製造工場においては、工場
内の多数のロットの工程進捗や所在管理、さらには各ロ
ットに対する製造工程を誤り無く製造装置や作業者へ指
示したり、製造装置による処理結果や各ロットの製造履
歴等を保存しておく必要がある。このため、それぞれの
ロットに認識番号（ロット番号）を付随し、中央処理装
置を用いて各ロット番号毎に製造工程を記憶したり、製
造装置へその製造工程を指示したり、また、製造履歴を
保存したりする製造管理装置を用いて統括的な管理を行
っている。

【０００３】このような製造管理装置は、主として、情
報の統括管理を行う中央処理装置を備えたホストコンピ
ュータと、各製造装置側に備えられホストコンピュータ
にモデム等の通信手段を介して接続される端末器とから
構成されるものである。この製造管理装置を用いて製造
管理を行うには、先ず、端末器からの指示により通信手
段を介してホストコンピュータへ問い合わせを行い、処
理を施すロットの製造工程を呼び出す。そして、この製
造工程を端末器側で読み込んで製造装置に処理条件を入
力する。製造装置は、この処理条件に基づいて所定の処
理を施した後、その処理結果を端末器に送る。処理が終
了した時点で端末器から通信手段を介してホストコンピ
ュータへ処理結果を送り、それをホストコンピュータ内
の製造履歴情報に記憶する。ホストコンピュータは、全
てのロットに対する製造工程情報ファイルと全ての製造
装置における処理結果から成る製造履歴情報ファイルと
を記憶しており、これらの情報の統括的な管理を行って
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな製造管理装置とそれを用いた製造管理方法には次の
ような問題がある。すなわち、この製造管理装置におい
て、何らかの原因でホストコンピュータに障害が発生し
てその機能が停止してしまった場合、工場全体の製造工
程が停止してしまうという問題がある。そこで、製造管
理装置にバックアップ用のコンピュータを設けるいわゆ
る二重化を図り、機能の停止を防ぐ対処を行っている。
しかし、このような二重化を行うことにより製造管理装
置全体の規模が大きくなるとともに、保守作業の煩雑化
を招くことになる。また、この製造管理方法において
は、ホストコンピュータが停止した際の処理結果の保存
の問題や、復旧までの間に何らかの方法により蓄積した
処理結果をホストコンピュータへ転送する手間がかか
り、復旧作業に多大な時間を要することになる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された製造管理装置とそれを用い
た製造管理方法である。すなわち、この製造管理装置
は、被製造物の製造をロット単位で管理するものであ
り、ロット毎の製造工程情報と製造履歴情報とを統括管
理するためのホストコンピュータと、製造装置側に備え
られ通信手段を介してホストコンピュータと接続される
端末器と、端末器との間で情報の入出力が行われ一つの
ロットにおける製造工程情報と製造履歴情報とを記憶す
る記憶手段と、端末器に備えられその端末器と記憶手段
との間で情報の入出力を行うための入出力手段とを備え
ており、記憶手段に記憶された製造工程情報を入出力手
段を介して製造装置へ伝達するとともに、製造装置での
処理結果を記憶手段の製造履歴情報とホストコンピュー
タの製造履歴情報とにそれぞれ書き込むものである。

【０００６】また、この製造管理装置を用いた製造管理
方法は、予め、ホストコンピュータの製造工程情報を記
憶手段に記憶しておき、この記憶手段に記憶された製造
工程情報を入出力手段を介して端末器で読み込む。次い
で、読み込んだ製造工程情報に基づいて製造装置による
処理を施した後、その処理結果を記憶手段の製造履歴情
報とホストコンピュータの製造履歴情報とにそれぞれ記
憶させる。また、製造装置による処理を施している間に
ホストコンピュータが停止した場合には記憶手段の製造
履歴情報にのみ処理結果を記憶させ、その後、ホストコ
ンピュータが復旧した場合にその処理結果を記憶手段か
らホストコンピュータへ転送する。

【０００７】また、ホストコンピュータが復旧した場
合、記憶手段に記憶されている製造履歴情報の内容と停
止した際にホストコンピュータに記憶されている製造履
歴情報の内容とを比較し、その比較の結果ホストコンピ
ュータに記憶されている製造履歴情報が不足している場
合には、その不足分の処理結果を記憶手段からホストコ
ンピュータへ転送する製造管理方法でもある。

【０００８】

【作用】本発明の製造管理装置は、ロット毎の製造工程
情報と製造履歴情報とを統括管理するホストコンピュー
タと、一つのロットにおける製造工程情報と製造履歴情
報とを記憶する記憶手段とを備えており、所定のロット
を製造する場合には入出力手段を介して記憶手段からそ
のロットに対する製造工程情報を端末器へ読み込んで所
定の処理を行う。また、製造装置による処理結果を記憶
手段の製造履歴情報とホストコンピュータの製造履歴情
報とにそれぞれ記憶する。すなわち、全てのロットに対
する情報管理をホストコンピュータで行うとともにロッ
ト単位の情報管理を記憶手段で行う。

【０００９】製造装置による処理を施している間にホス
トコンピュータが停止した場合には、製造装置による処
理結果を記憶手段の製造履歴情報のみに記憶するように
すれば、工程進捗に影響を与えることなく処理を進める
ことができる。また、ホストコンピュータが復旧した後
には、記憶手段に記憶されている製造履歴情報と停止時
におけるホストコンピュータの製造履歴情報とを比較
し、その結果ホストコンピュータの製造履歴情報が不足
している場合には、ホストコンピュータが停止している
間に処理結果が記憶手段に蓄積されていたものと判断
し、その不足分の処理結果を記憶手段からホストコンピ
ュータへ転送する。これにより、ホストコンピュータの
製造履歴情報を記憶手段の製造履歴情報と一致させるこ
とができ、再びホストコンピュータによる統括的な情報
管理と記憶手段によるロット単位の情報管理とを行うこ
とができるようになる。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明の製造管理装置とこれを用い
た製造管理方法の実施例を図に基づいて説明する。先
ず、本発明の製造管理装置を図１のブロック図に基づい
て説明する。すなわち、この製造管理装置１は、例えば
ＶＬＳＩの製造におけるロット単位の情報管理を行うも
のであり、ロット毎の製造工程や製造履歴等の各種の情
報を統括管理するためのホストコンピュータ１と、所定
の処理を施すための製造装置３側に設けられた端末器２
と、一つのロットにおける製造工程情報や製造履歴情報
を記憶するための記憶手段４と、この記憶手段４との間
で情報の入出力を行うために端末器２に設けられた入出
力部２３とから構成されるものである。

【００１１】ホストコンピュータ１は中央処理装置１０
を備えており、製造工程情報ファイル１１とロット属性
情報１２と製造履歴情報ファイル１３と工程変更情報１
４とを統括的に管理している。

【００１２】この製造工程情報ファイル１１は、図２に
示すように、一の品種の工程順や工程名、処理可能装置
やその処理条件が記憶された製造工程情報１１ａを品種
の数に応じてファイル状に記憶したものである。また、
ロット属性情報１２は、図３に示すように、工場内を流
通する全てのロットに対するロット番号とその品種、工
程変更フラグと現工程順（ポインタ）が記憶されたもの
である。製造履歴情報ファイル１３は、図４に示すよう
に、一のロットに対する製造履歴情報１３ａをロットの
数に応じてファイル状に記憶したものであり、製造履歴
情報１３ａには、そのロットのロット番号と、投入時か
ら現在に至るまでにそのロットが通過した工程名、処理
開始時刻、処理終了時刻、処理を行った装置名、処理結
果データが時系列的に並べて記憶されている。また、工
程変更情報１４は、図５に示すように、工程の追加や変
更、削除があった場合、その変更内容に変更番号を付し
たものが記憶されている。

【００１３】これらの各種情報を統括管理するホストコ
ンピュータ１には、通信制御部１５とモデム１６とが設
けられており、他のモデム５とターミナルサーバ６とを
介して複数の端末器２と接続されている。端末器２は各
製造装置３にそれぞれ備えられたものであり、中央処理
装置２０により制御されている。また、ロットに対する
処理条件を表示する表示部２１とキー入力部２２、記憶
手段４との間で情報の入出力を行うための入出力部２
３、およびメモリ２４を備えており、端末器２側からホ
ストコンピュータ１や記憶手段４に対して種々の操作を
行えるようになっている。

【００１４】本発明の製造管理装置では、全ロットに対
する製造工程情報ファイル１１および製造履歴情報ファ
イル１３をホストコンピュータ１内に記憶しているとと
もに、一つのロットにおける製造工程情報１１ａと製造
履歴情報１３ａとを一つの記憶手段４にも記憶してい
る。すなわち、一つの記憶手段４には一つのロットにお
ける情報が記憶されており、ロットの数に応じて記憶手
段４が用意されている。

【００１５】図６に示すように、記憶手段４内には一つ
のロットに対するロット情報４１が記憶されており、そ
のロット情報４１は処理条件記憶部４２と処理実績（履
歴）記憶部４３とから構成されている。この処理条件記
憶部４２には、ホストコンピュータ１の製造工程情報フ
ァイル１１内に記憶されたそのロットに対する製造工程
情報１１ａの内容が記憶されている。また、処理実績
（履歴）記憶部４３には、そのロットに対する処理結果
データが記憶されている。なお、処理が施されていない
工程における処理実績（履歴）記憶部４３は空欄４４と
なっている。

【００１６】このような記憶手段４は、例えば、半導体
メモリから成る記憶媒体を備えたものから成り、ホスト
コンピュータ１とは独立した電源により駆動できるよう
になっている。これにより、ホストコンピュータ１が何
らかの原因で停止してしまった場合でも、記憶手段４に
記憶された処理条件記憶部４２の情報に基づいてロット
に対する処理を施せるとともに、その処理に対する処理
結果を処理実績（履歴）記憶部４３に記憶しておくこと
が可能となる。

【００１７】次に、この製造管理装置を用いた製造管理
方法について順に説明する。先ず、被製造物のロットに
対する処理を開始する前に、予め記憶手段４の初期登録
を行う。初期登録を行うには、記憶手段４を端末器２側
にセットしキー入力部２２を用いて「初期登録」を行う
旨とロット番号とを入力する。これを端末器２からホス
トコンピュータ１へ伝え、ホストコンピュータ１ではこ
のロット番号が投入予定になっていることを確認し、製
造工程情報ファイル１１から入力されたロット番号に対
応する製造工程情報１１ａを読み出してその情報を端末
器２側へ送り返す。端末器２は、この製造工程情報１１
ａを入出力部２３を介して記憶手段４へ転送し、記憶手
段４内の処理条件記憶部４２へ記憶して記憶手段４の初
期登録を完了する。

【００１８】また、記録手段４内のデータが破損した場
合には、端末器２からホストコンピュータ１に向けて
「リカバリ登録」する旨とそのロット番号を送る。ホス
トコンピュータ１では、この旨とロット番号とを受け
て、該当するロットの品種名をロット属性情報１２から
読み出し、これに対応する製造工程情報１１ａを端末器
２へ送り返す。これを端末器２から記憶手段４へ転送
し、ロット情報４１へ製造工程情報１１ａを記憶してデ
ータのリカバリを完了する。

【００１９】このように、予め登録された記憶手段４を
用いてロットの処理を行う。あるロットの処理を行うに
は、作業者または自動化機器により被製造物のロットを
仕掛け、この際、端末器２の入出力部２３を介して記憶
手段４の処理条件記憶部４２に記憶された処理条件を読
み出す。なお、端末器２は、ロットの処理開始の旨をホ
ストコンピュータ１へ伝える際、そのロットの製造工程
に変更があるかどうかの確認を行い、変更がある場合に
はロット属性情報１２に基づいて変更内容を工程変更情
報１４から読み出し、記憶手段４の処理条件記憶部４２
の変更を行う。そして、記憶手段４から読み出した処理
条件を端末器２から製造装置３へ伝えて所定の処理を実
行する。

【００２０】製造装置３による処理の実行の開始ととも
に、その開始時刻が記憶手段４に送られて処理実績（履
歴）記憶部４３に記憶される。さらに、この開始時刻は
ホストコンピュータ１にも伝えられ、ホストコンピュー
タ１の製造履歴情報ファイル１３に記憶される。次に、
製造装置３による処理が終了した場合には、作業者また
は自動化機器がロットに対する処理の終了を端末器２に
伝え、記憶手段４の処理実績（履歴）記憶部４３にその
終了時刻と処理結果のデータを記憶する。これととも
に、ホストコンピュータ１にも処理終了の旨と終了時刻
および処理結果を伝え、製造履歴情報ファイル１３に記
憶する。このような、情報の伝達を各処理装置３で繰り
返すことにより、データの蓄積と管理を行う。

【００２１】次に、ホストコンピュータ１が停止した場
合の製造管理方法について説明する。すなわち、ホスト
コンピュータ１に何らかの原因による障害が発生しその
機能が停止してしまった場合、端末器２は、ホストコン
ピュータ１への問い合わせに対する無応答または作業者
の明示によりホストコンピュータ１の停止を知ることに
なる。この状態で、あるロットに対する処理開始や処理
終了を行うには、端末器２はホストコンピュータ１との
間のデータ伝送を行わず、記憶手段４との間のデータ伝
送のみを行う。つまり、記憶手段４に記憶された処理条
件記憶部４２の内容に基づいて処理を行い、その開始時
刻や終了時刻、処理結果等のデータを記憶手段４の処理
実績（履歴）記憶部４３に記憶する。

【００２２】端末器２は、一定間隔でホストコンピュー
タ１に対してオンライン状態の問い合わせ信号を発信
し、ホストコンピュータ１の復旧状態の確認を行う。ホ
ストコンピュータ１が復旧した場合には、端末器２から
発信した信号に対する応答があり、これを受信して端末
器２はホストコンピュータ１が復旧したことを知ること
になる。

【００２３】次に、ホストコンピュータ１の復旧後の処
理を図７の流れ図に基づいて説明する。先ず、端末器２
側からホストコンピュータ１に向けてロットに対する
「処理開始時刻」または「処理終了時刻」を送り、ホス
トコンピュータ１ではその電文からロットの開始または
終了工程を読み出す。この工程と、ホストコンピュータ
１のロット属性情報１２に記憶された現工程順（ポイン
タ）とを比較して、不一致（端末器２から受けた工程に
対するデータの方がホストコンピュータ１の製造履歴情
報ファイル１３よりも進んでいる）場合には、記憶手段
４に記憶された処理実績（履歴）記憶部４３の内容をホ
ストコンピュータ１へ送信するように要求する。

【００２４】端末器２は、その要求を受信すると電文の
中のポインタを取り出して、記憶手段４の処理実績（履
歴）記憶部４３からそのポインタの示す処理結果を読み
出す。そして、この処理結果を逐次ホストコンピュータ
１へ転送する。ホストコンピュータ１は、転送された処
理結果を製造履歴情報ファイル１３に記憶する。このよ
うな流れをポインタの比較結果が一致するまで繰り返す
ことによりホストコンピュータ１のデータ復旧を確実に
行うことが可能となる。

【００２５】つまり、ホストコンピュータ１が停止して
いる間は、記憶手段４に記憶された処理条件記憶部４２
の内容に基づいてロットに対する処理を行い、さらにそ
の処理結果を記憶手段４の処理実績（履歴）記憶部４３
に記憶しておく。また、ホストコンピュータ１が復旧し
た後には、停止している間に蓄積した処理結果のみを記
憶手段４から端末器２を介してホストコンピュータ１へ
転送することでホストコンピュータ１の製造履歴情報フ
ァイル１３の復旧を容易に行うことができるようにな
る。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造管理
装置とこれを用いた製造管理方法によれば次のような効
果がある。すなわち、本発明の製造管理装置によれば、
ホストコンピュータが停止してしまっても、個々のロッ
トに対する処理条件や処理結果を記憶手段に記憶してい
るために、これに基づいてロットに対する処理を続行す
ることが可能となる。また、ロット単位で処理条件や処
理結果を記憶する記憶手段を用いるために、バックアッ
プに対応できる製造管理装置の規模の縮小化と省スペー
ス化を図ることが可能となる。また、本発明の製造管理
方法によれば、ホストコンピュータが停止している間の
処理結果を記憶手段に記憶しておき、復旧後にホストコ
ンピュータへ転送することでデータの確実な保存を手間
をかけることなく容易に行うことができ、復旧作業の大
幅は時間短縮を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を説明するブロック図である。

【図２】製造工程情報ファイルを説明する図である。

【図３】ロット属性情報を説明する図である。

【図４】製造履歴情報ファイルを説明する図である。

【図５】工程変更情報を説明する図である。

【図６】記憶手段内のロット情報を説明する図である。

【図７】ホストコンピュータ復旧後の流れ図である。

【符号の説明】

１ ホストコンピュータ ２ 端末器 ３ 製造装置 ４ 記憶手段 ５ モデム ６ ターミナルサーバ １０ 中央処理装置 １１ 製造工程情報ファイル １２ ロット属性情報 １３ 製造履歴情報ファイル １４ 工程変更情報 ２３ 入出力部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被製造物の製造をロット単位で管理する
   製造管理装置であって、 前記ロット毎の製造工程情報と製造履歴情報とを統括管
   理するためのホストコンピュータと、 製造装置側に備えられ通信手段を介して前記ホストコン
   ピュータと接続される端末器と、 前記端末器との間で情報の入出力が行われ一つのロット
   における前記製造工程情報と前記製造履歴情報とを記憶
   する記憶手段と、 前記端末器に備えられ該端末器と前記記憶手段との間で
   情報の入出力を行うための入出力手段とから構成され、 前記記憶手段に記憶された前記製造工程情報を前記入出
   力手段を介して前記製造装置へ伝達するとともに、該製
   造装置での処理結果を該記憶手段の製造履歴情報と前記
   ホストコンピュータの製造履歴情報とにそれぞれ書き込
   むことを特徴とする製造管理装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の製造管理装置を用いた製
   造管理方法において、 予め、前記ホストコンピュータの製造工程情報を前記記
   憶手段に記憶しておき、該記憶手段に記憶された製造工
   程情報を前記入出力手段を介して前記端末器で読み込む
   工程と、 読み込んだ前記製造工程情報に基づいて前記製造装置に
   よる処理を施した後、その処理結果を前記記憶手段の製
   造履歴情報と前記ホストコンピュータの製造履歴情報と
   にそれぞれ記憶させる工程と、 前記製造装置による処理を施している間に前記ホストコ
   ンピュータが停止した場合には前記記憶手段の製造履歴
   情報にのみ前記処理結果を記憶し、該ホストコンピュー
   タが復旧した後に該処理結果を該記憶手段から該ホスト
   コンピュータへ転送する工程とから成ることを特徴とす
   る製造管理方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載の製造管理方法において、
   前記ホストコンピュータが復旧した後に、前記記憶手段
   に記憶されている製造履歴情報の内容と停止した際に該
   ホストコンピュータに記憶されている製造履歴情報の内
   容とを比較し、その比較の結果、該ホストコンピュータ
   に記憶されている製造履歴情報が不足している場合に
   は、その不足分の処理結果を該記憶手段から該ホストコ
   ンピュータへ転送することを特徴とする製造管理方法。