JPS63244730A - 製造工程管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、製造工程管理システムに関するものであり、
更に詳述するならば、集積回路の製造工程を監視し、正
しい製造条件のもとで正しい工程手順で処理させるため
の工程管理システムに関するものである。

従来の技術 高性能、大規模集積回路を実現するために製造プロセス
は年々改良が加えられ又新しいプロセスが生み出され使
用されるに至っている。このような製造プロセスにそっ
た工程数は３００から５００もあり、しかも工程の順番
の錯誤は集積回路の製造を不可能にするため、多数の工
程の順番の管理は製造過程上重要な要素となる。また、
各工程で行なう設備に対する製造条件、例えば温度や時
間等のパラメータの設定の錯誤は所望する集積回路の性
能の取得を不可能にする。従って、このような製造設備
条件の管理も製造過程上で重要な要素となる。

特に、ウェーハを数千枚多いものでは数万枚同時に流す
集積回路の製造ラインでは、製造ライン全体における管
理は極めて複雑なものになる。その中でも、近年多いカ
スタム製品である多品種少量品を製造する場合は管理単
位が多い典型的な一例である。製造ラインの管理は従来
人手で行なうような場合もあったが、前述の煩雑な管理
は人手では側底不可能であり、コンピュータを利用した
管理体系が採用されることが多い。

発明が解決しようとする問題点 コンピュータの管理体系として通常製造ライン全体を統
括するホストコンピュータ、設備を駆動させる制御コン
ピュータといった階層ネットワーク体系が採用されるこ
とが多い。

しかしながら、このような体系には同時にホストコンビ
二二夕に障害が起きると製造ライン全体が停止し、生産
に支障をきたすリスクが伴う。特に２４時間フル稼動し
ている製造ラインにおいては前記障害の修復の遅延は遅
延間の製造ラインのストップによる膨大な被害を意味す
る。ホストコンビ二一夕を２重化して一方のホストコン
ピュータに障害が発生した場合に備えるという代案も考
えられるが、コスト高となったり管理ソフトウェアが煩
雑になるという欠点を有している。

そこで、本発明は、ホストコンピュータに障害が発生し
た場合にも支障なく製造工程管理を実施できる簡単な構
成の製造工程管理システムを提供せんとするものである
。

問題点を解決するための手段 本発明によるならば、主制御プロセッサにより複数の製
造設備を管理する製造工程管理システムにおいて、前記
主制御プロセッサと前記製造設備の各々との間に補助制
御プロセッサが設けられ、該補助制御プロセッサは、前
記主制御プロセッサからデータを取り込んで、その付属
の製造設備が実施する少なくともｍ工程分の情報を付属
記憶手段に記憶し、前記補助制御プロセッサは、その付
属記憶手段から、ポインタが指示するデータを読み出し
てその付属の製造設備を制御すると共に、前記主制御プ
ロセッサからデータを取り込んで次に実施すべき工程か
らｍ工程分の情報に付属記憶手段のデータを更新し、前
記補助制御プロセッサは、前記主制御プロセッサの障害
時には、付属記憶手段のデータを更新することなく、ポ
インタの内容を変更して付属記憶手段のデータのみでそ
の付属の製造設備を制御することを特徴とする製造工程
管理システムが提供される。

上８己本発明による製造工程管理システムの１つの実施
例では、補助制御プロセッサは、その付属記憶手段とし
て磁気カードを有する磁気カード制御プロセッサである
。

作用 以上の構成から明らかなように、本発明による製造工程
管理システムでは、主制御コンピュータ磁気カード制御
プロセッサのような補助制御プロセッサを有し、磁気カ
ードのようなその付属記憶手段を媒体として工程を管理
する。従って、磁気カードのような付属記憶手段の記憶
部にポインタ、製造工程名、製造設備条件に関する情報
を有し、主制御プロセッサの障害発生時には補助制御プ
ロセッサが付属記憶手段に含むポインタの内容を書き変
え、付属記憶手段の内容だけで工程の進捗が管理できる
。

以上かられかるように、本発明による製造工程管理シス
テムにおいては、磁気カードのメモリのような補助記憶
手段ををホストコンピュータ障害時のバックアップに利
用している。その補助記憶手段は、数工程分の製造工程
名、製造設備条件を記憶できる容量を有し、また、ポイ
ンタ部を有し、該ポインタを移動させることによって処
理工程を実施すべき工程及び条件を読み出し、付属の製
造設備を制御する。

実施例 次に、本発明による製造工程管理システムの一実施例を
添付図面を参照して説明する。

第１図は、本発明による製造工程管理システムを示した
ブロック図である。主制御プロセッサ１はｎ個（ｎは正
の整数）の磁気カード制御プロセッサ２と情報管理ファ
イル３に接続されている。

また、ｎ個の磁気カード制御プロセッサ２はそれぞれが
１つの磁気カード５を有し、また、１つの製造設備４に
接続されている。磁気カード制御プロセッサ２は、少な
くとも主制御プロセッサ及び製造設備の入出力を制御す
るコントロール部７と、磁気カード５との入出力部であ
る磁気カード入出力部６とを具備する。

以下、上記構成を有する製造工程管理システムを具体的
に説明する。情報管理ファイル３は製造設備５が必要と
するすべての工程に関する情報を格納する部分で、主制
御プロセッサ１は情報管理ファイル３から一定量の情報
を読出し、磁気カード制御プロセッサ２に対し出力する
。

磁気カード制御プロセッサ２は、主制御プロセッサ１よ
り入力した一定量情報を磁気カード入出力部６を介して
磁気カード５に書込む。このとき、磁気カード５は、８
０文字から１００文字程度記憶できるメモリ領域を有し
、常にｍ工程分（ｍは正の整数）の情報を記憶するよう
磁気カード制御プロセッサ２により設定されている。

こうして、製造設備４が実行に必要とする最初のｍ工程
分の情報が磁気カード５に保持されると、磁気カード制
御プロセッサ２は、磁気カード５より製造設備４が次に
実行せんとする、すなわち磁気カードの内部メモリにお
いてポインタが指し示し且つ最初に記憶されている一工
程に関する情報だけを磁気カード制御プロセッサ内部の
コントロール部７を介して製造設備４に送出する。

製造設備４は、入力された特定の一工程に関する作業を
完了すると、完了の情報を磁気カード制御プロセッサ内
部のコントロール部７に出力する。

このとき、コントロール部７は、主制御プロセッサ１よ
り製造設備４が実行を完了した一工程に引き続くｍ工程
分の情報を入力し、磁気カード入出力部６を介し該ｍ工
程分の情報に磁気カード５のデータを更新する。こうし
て、製造設備４が次に実行するのに必要となる一工程に
関する情報を最初に含んだｍ工程分の情報が磁気カード
５に保持されると、磁気カード制御プロセッサ２は磁気
カード５より製造設備４が次に実行せんとする、磁気カ
ードの内部メモリにおいて最初に記憶されている一工程
に関する情報だけを磁気カード制御プロセッサ内部のコ
ントロール部７を介して製造設備４に送出する。

上記のように、製造設備４は、主制御プロセッサ１より
次に実行すべき一工程に関する情報を直接入力するので
はなく、一旦磁気カード５に記憶されたｍ工程の情報か
ら磁気カード制御プロセッサ２が読出す一工程の情報を
次に実行すべき一工程に関する情報として人力する。

次に、磁気カード５にｍ工程分の情報が次々と一工程分
ずつ更新されていく様子を第２図の管理工程図を参照し
て説明する。説明の都合上、現在磁気カード５には最初
から数えてｈ番目（ｈは正の整数）の工程からそれに引
き続くｍ工程分の情報が書込まれているとする。尚、ｈ
番目の一工程に関する情報は製造工程名Ｐｈと製造設備
条件Ｃｈとで構成されているものとする。

ここで、Ｐｈ及びＣｈの情報が磁気カード制御プロセッ
サ２により製造設備４に出力される。さらに製造設備４
がｈ番目の一工程を完了した場合には、磁気カード制御
プロセッサ２は主制御プロセッサ１よりｈ＋１番目の一
工程に引き続くｍ工程分の情報を磁気カードに書込む。

こうして、磁気カードのメモリは、ｈ千１番目の一工程
に関する情報Ｐｈ１１及びＣｈ。１から書込まれること
になる。

次に磁気カード５のメモリ内部構成に関し説明する。磁
気カード５のメモリは、ポインタとｍ工程分の情報を格
納する部分とに大別される。例えば、上述のようにｈ番
目の工程に引き続くｍ工程分の情報が格納されていると
想定すると、ポインタは第３図においてＩ　ｈ２１とな
る。ポインタは、磁気カード制御プロセッサ２が次に製
造設備４に送出すべきｍ工程に関する情報が磁気カード
のメモリにおいて占める相対的位置を意味する。例えば
、一工程に関する情報が格納されている磁気カードにお
けるアドレス（ポインタ自身を含んでもよいし、含まな
くともよい）、あるいは格納されているｍ工程分の情報
のうち第何番目に該当するのかということをポインタは
記憶する。従って、主制御プロセッサ１→磁気カード制
御プロセツサ２→磁気カードという工程に関する情報の
フローが随時確保される主制御プロセッサ１が正常動作
をする場合は、第３図（ａ）、ら）において示されるよ
うにポインタＩｈまたはポインタＩｈ＋１、は常にポイ
ンタに連続するＰｈ、ＣｈまたはＰｈ＋１％　Ｃｈ。１
を指し示す。

最後に、本発明の目的でありしかも独自の特徴を有する
主制御プロセッサに障害が発生した場合における本発明
の動作に関し説明する。この場合主制御プロセッサから
の工程に関する情報のフローは途絶えるので、磁気カー
ド５に障害発生時点において保持されているｍ工程分の
情報は書き換えられることはない。従って、磁気カード
制御プロセッサ２は製造設備４が次に実行せんとするｍ
工程に関する情報を磁気カード５に保持されたｍ工程分
の情報から適格に選択する必要を有する。

この場合において磁気カード制御プロセッサが工程を適
格に選択することを可能にする手段がポインタである。

即ち、磁気カード制御プロセッサ２は磁気カード５のメ
モリの最初に格納されているポインタを参照してそれに
対応する一工程分の情報を磁気カード５より読込み、さ
らに製造設備４に出力する。従って、第３図（Ｃ）のよ
うにｈ番目のｍ工程が完了した時点においては、ポイン
タはｈ＋１番目のｍ工程を指し示すＩい、となる。

なお、上記した実施例では、ｍ工程のデータを記憶する
手段として磁気カードを使用する磁気カード制御プロセ
ッサを使用している。しかし、本発明による製造工程管
理システムは、主制御プロセッサと各製造設備との間に
設ける補助制御プロセッサは、磁気カード制御プロセッ
サに限定されることはなく、他の記憶手段を有するもの
でもよい。

発明の効果 上記構成、作用により、本発明は主制御プロセッサに障
害が発生した場合においても、磁気カードに接続されて
いる工程に関する情報とポインタの値とにより、製造設
備に対し次に実行すべきｍ工程に関する情報を適格に与
えることを可能とし、従ってホストコンピュータを二重
化して一方のホストコンピュータにおける障害発生に対
処する方法と比べて、優れたコストバーフォマンスを有
する。

また、本発明は集積回路製造ラインの工程管理に大きな
効果を発揮するが、集積回路に限定されず、プリント基
板の製造ライン管理あるいは他の業種の工程管理にも利
用できることは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による製造工程管理システムの実施例
を構成を示すブロック図、 第２図は、本発明の詳細な説明するために、情報管理フ
ァイルと磁気カードの内容との関係を示した図、 第３図は、本発明の機能の特徴を示すために磁気カード
の内容の推移を示した図である。 （主な参照番号） １・・主制御プロセッサ、 ２・・磁気カード制御プロセッサ、 ３・・情報管理ファイノペ ４・・製造設備、　　５・・磁気カード、６・・磁気カ
ード入出力部、 ７・−コントロール部、 ９・・管理工程図、 １０・・工程Ｐ、からの磁気カードの内容、１１・・工
程Ｐｈや、からの磁気カードの内容、２１・・ポインタ
部、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 主制御プロセッサにより複数の製造設備を管理する製造
   工程管理システムにおいて、前記主制御プロセッサと前
   記製造設備の各々との間に補助制御プロセッサが設けら
   れ、該補助制御プロセッサは、前記主制御プロセッサか
   らデータを取り込んで、その付属の製造設備が実施する
   少なくともｍ工程分の情報を付属記憶手段に記憶し、前
   記補助制御プロセッサは、その付属記憶手段から、ポイ
   ンタが指示するデータを読み出してその付属の製造設備
   を制御すると共に、前記主制御プロセッサからデータを
   取り込んで次に実施すべき工程からｍ工程分の情報に付
   属記憶手段のデータを更新し、前記補助制御プロセッサ
   は、前記主制御プロセッサの障害時には、付属記憶手段
   のデータを更新することなく、ポインタの内容を変更し
   て付属記憶手段のデータのみでその付属の製造設備を制
   御することを特徴とする製造工程管理システム。