CN1319003C - 多批晶圆修改属性编号的方法 - Google Patents

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Abstract

一种多批晶圆修改属性编号的方法，每一批晶圆具有一批号及第一属性编号，该方法是先写入需修改属性编号的该批号、第一属性编号及一第二属性编号成为文字数据，以分批读取该批号、第一及第二属性编号方式，修改该第一属性编号成该第二属性编号，系统依照传回讯息判断属性是否修改成功，若失败则将该笔数据写入一暂存盘，当文字数据处理完毕后系统可将暂存盘当作文字数据再次重新处理所有失败的数据，如此重复执行直到暂存盘内没有数据为止。

Description

多批晶圆修改属性编号的方法
技术领域
本发明是有关一种晶圆修改属性编号的方法，特别是关于一种可连续多批晶圆修改属性编号的方法。
背景技术
随着电子科技的进步，集成电路(IC)的应用已经愈来愈广泛，因此提高晶圆厂的晶圆制造产量。由于晶圆制造产量的提高，且IC的应用不同导致晶圆制造的不同难以管理，因此，采用批(lot)的管理方式，批为单一型态货品的群组，一起制造、接受相同的品质控制和处理。批具有一批属性编号数据(lot’s order data)，该批属性编号数据包括一产品、一交货期限日期(commit due date)、一交货期限时间(commit duetime)、批所有人(lot owner)及所有人部门(owner department)等属性编号，以方便管理晶圆的制造、控制和处理。由于晶圆制造流程及交货期限的变动，因此，晶圆的批属性编号数据需要随之变动。
一般而言，晶圆厂采用自动化系统以批的方式管理晶圆，其中，IBM公司的Poseidon系统即属于自动化系统的一种，IBM公司的Poseidon系统是一套计算机整合制造系统(CIM)，是一套工厂的自动化系统，而Poseidon系统之下有一计划表(Scheduling)的子系统，计划表的其中一个功能是修改属性编号(order change)以符合晶圆制造流程及交货期限等属性编号的变动。
图1是习知计划表修改属性编号10的方块图，客户修改属性编号12在批顺序数据需要更改时，将需要更改的批及属性编号写入第一数据库14，客户修改属性编号12透过TCP/IP去执行远程程序的接口(Socket)呼叫服务器端sc262chg的程序16以转换第一数据库14的数据成一临时文字文件18，服务器端sc262chg的程序16透过分布式应用环境(DistributedApplication Environment；DAE)呼叫子区域控制中心(Sub-AreaController，SAC)端的tx604程序20，分布式应用环境是IBM为Poseidon所发明的一个数据传送环境，SAC端的tx604程序20将临时文字文件18的数据更新到第二数据库22，借第二数据库22的数据更改批的属性编号，且执行结果由SAC端的tx604程序20传给服务器端sc262chg的程序16，再由服务器端sc262chg的程序16将执行结果写入第三数据库24，客户修改属性编号12透过第三数据库24得知执行结果，如果得知执行结果没有成功，则需要重新输入需要更改的批及属性编号以重复Poseidon修改属性编号的流程。习知的自动化系统，由于修改属性编号无法在更改失败后重新执行修改属性编号直到更改成功，且修改属性编号一次只能写入一笔需要更改的批及属性编号，增加了可观的时间。
发明内容
本发明的主要目的，在于提出一种多批晶圆修改属性编号的方法，在多批晶圆需修改属性编号时，以解决只能单批晶圆修改属性编号的方法。
本发明的另一目的，在于提出一种多批晶圆修改属性编号的方法，侦测并自动修改属性编号，以减少人工除错的时间。
根据本发明的一个实施例，一种多批晶圆修改属性编号的方法，每一批晶圆具有一批号及属性编号，该方法是先写入需修改属性编号的该批号、修改前的属性编号及一修改后的属性编号成为文字数据，依照分批读取该文字数据，以修改该修改前属性编号成该修改后属性编号，并在一参考时间后侦测该批号是否完成修改属性编号的动作，若未完成修改则储存该未完成修改属性编号的批号的修改属性编号至一暂存盘，到所有文字数据完成修改后，自动重新写入该暂存盘内的数据以进行修改；若完成修改，则进行读取下一批晶圆修改属性编号的步骤。
由此，本发明的有益效果是：利用本方法能改善现有的自动化系统在修改属性编号方法时，一次只能写入一笔数据更改，无法事先将多批晶圆及修改属性编号一次输入。再者，本发明的方法，在修改属性编号失败时，可重复修改属性编号直到成功，是现有的技艺所无法达成的。又本发明的方法，在第一次输入数据后，不需要额外的时间作下一次的输入动作，节省人工操作的时间。
附图说明
图1是习知计划表修改属性编号的方块图；
图2是本发明的修改属性编号的流程图。
符号说明：
10-计划表修改属性编号
12-客户修改属性编号
14-第一数据库
16-服务器端的sc262chg程序
18-临时文字文件
20-子区域控制中心(SAC)端的tx604程序
22-第二数据库
24-第三数据库
具体实施方式
图2是本发明的修改属性编号的流程图，首先步骤S10输入多批修改属性编号数据的文字文件，接着步骤S11分批传送修改属性编号数据，步骤S12执行计划表修改属性编号，接着步骤S13判定修改属性编号是否成功，若为是，则进行步骤S14，否则进行步骤S15。步骤S14即结束，并在一参考时间后再由步骤S11分批传送修改属性编号数据，直到没有修改属性编号数据。步骤S15，是由系统自动重新写入修改属性编号失败的文字文件，接着执行步骤S11分批传送修改属性编号数据。利用本方法能改善习知的自动化系统在修改属性编号方法时，一次只能写入一笔数据更改，无法事先将多批晶圆及修改属性编号一次输入。再者，本发明的方法，在修改属性编号失败时，可重复修改属性编号直到成功，是习知的技艺所无法达成的。又本发明的方法，在第一次输入数据后，不需要额外的时间作下一次的输入动作，节省人工操作的时间。

Claims (3)

1.一种多批晶圆修改属性编号的方法，每一批晶圆具有一批号及第一属性编号，该方法包括下列步骤：
A.写入需修改属性编号的该批号、第一属性编号及一第二属性编号成为文字数据；
B.分批读取该文字数据内的一个该批号、第一及第二属性编号；
C.修改该第一属性编号成该第二属性编号；
D.在一参考时间后侦测该批号是否完成修改属性编号；
E.若未完成修改，则写入该批号、第一及第二属性编号成修改文字数据，重复B到D步骤；
F.若完成修改，则重复B到E步骤以修改该多批晶圆属性编号。
2.根据权利要求1所述的多批晶圆修改属性编号的方法，其中该E步骤的方法包括：
将该未完成修改的该批号、第一及第二属性编号写入一暂存盘；
当该文字数据处理完毕后，将该暂存盘当作文字数据重复B到F步骤，
直到暂存盘内没有数据为止。
3.一种多批晶圆修改属性编号的方法，包括下列步骤：
在一档案中记录要修改属性编号的批号、第一属性编号和将被修改第一属性编号的第二属性编号；
根据该档案逐批修改该属性编号；
重复前述二步骤，直到该档案不再具有要修改属性编号的批号。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09326337A (ja) * 1996-06-07 1997-12-16 Hitachi Ltd 半導体ウェハの製造方法および工程管理システム
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