KR20090043511A

KR20090043511A - 서버 장치 및 프로그램

Info

Publication number: KR20090043511A
Application number: KR1020097002848A
Authority: KR
Inventors: 마사시 타카하시; 미노루 오바타; 노리아키 코야마
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2006-08-01
Filing date: 2007-07-09
Publication date: 2009-05-06
Also published as: TWI356998B; CN101501658A; US7974729B2; WO2008015881A1; JP5273697B2; US20090276076A1; CN101501658B; JP2008033856A; KR101078664B1; TW200821854A

Abstract

종래의 서버 장치는 서브 레시피에 대응한 선택 정보를 선택적으로 출력할 수 없다고 하는 과제가 있었다. 제조 장치(11)에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부(1201)와, 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부(1205)와, 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득부와, 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부(1206)와, 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부(1207)를 구비하고, 출력 지시는, 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회(回)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고, 측정 정보 취득부(1203)가, 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하도록 했다.

Description

서버 장치 및 프로그램{SERVER DEVICE AND PROGRAM}

본 발명은, 예를 들면, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되는 서버 장치를 구비하는 군(群) 관리 시스템의 서버 장치 등에 관한 것이다.

종래에 측정기로부터 송신되어 오는 데이터를 자동적으로 정확하게 가공할 수 있는 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서의 측정 데이터 가공 방법이 알려져 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 본 측정 데이터 가공 방법에 있어서는, 군 관리 시스템의 군 관리부의 측정기 통신부에 측정기가 송신하는 다양한 측정 데이터를 수신한다. 그리고, 상기 측정 데이터를 가공하는 계산식을 사전에 등록하여 두고, 상기 측정 데이터를 수신한 때, 상기 측정 데이터를 측정 데이터 수신 버퍼에 저장하고, 또한, 상기 측정 데이터가 갖는 레시피 명칭에 기초하여 상기 등록된 계산식 중에서 상기 측정 데이터를 가공하기에 적합한 적어도 하나의 동일한 레시피 명칭을 갖는 계산식을 선택하여 계산식 저장 버퍼에 저장하고, 저장된 상기 측정 데이터를 상기 선택된 계산식에 적용하여 계산하고, 계산 결과를 가공 완료 데이터 저장 버퍼에 기억시키고 있었다.

또한, 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템은, 반도체 제조 장치에서 측정된 시 계열의 정보(이하, 차트로 기재)를 표시하는 기능을 가지고 있었다.

또한, 군 관리 시스템을 구성하는 제조 장치로서, 이른바 뱃치식 종형 열처리 장치가 있다(특허 문헌 2, 특허 문헌 3 참조).

통상적으로, 반도체 제조 장치에 있어서는, 레시피라고 불리우는 제조 파라미터 등을 포함하는 처리 순서 또는 처리 조건을 나타내는 정보에 따라 제조 프로세스가 실행된다. 레시피의 시퀀스를 구성하는 각 순서는 단계 또는 레시피 단계라고 불리운다. 반도체 제조 장치의 이상 등은, 단계가 변경된 때에, 그 단계의 파라미터에 따른 제어가 행해지는지의 여부로 판단할 수 있다. 이 때문에, 단계가 실행되고 있는 기간 내에, 측정기에 의하여 취득된 측정 데이터를 모두 취득하여 감시함으로써, 반도체 제조 장치의 이상 등을 알 수 있다.

이와 같은 반도체 제조 장치에서는, 상술한 레시피를 구성하는 하나 이상 의 단계로서, 레시피와 동일한 복수의 단계를 구비한 처리 순서를 나타내는 정보가 이용되는 경우가 많고, 이 정보는 서브 레시피라고 불리운다. 즉, 레시피는 서브 레시피를 이용함으로써, 레시피 내에 레시피를 포함하는 내포 구조로 되어 있다. 이러한 서브 레시피를, 레시피를 구성하는 둘 이상의 단계에서 이용함으로써, 서브 레시피 내의 복수의 단계에 의해 구성되는 처리를, 하나의 레시피 내에서 반복 실행시킬 수 있게 된다. 이러한 서브 레시피를 사용함으로써, 서브 레시피의 파라미터 등을 변경함으로써, 이 서브 레시피를 갖는 단계의 파라미터가 결과적으로 모두 변경될 수 있으므로, 레시피의 설정 등이 용이해진다.

특허 문헌 1：일본특허공개공보 평11-354395호(제 1 페이지, 도 1 등)

특허 문헌 2：일본특허공보 제3543996호(제 1 페이지, 도 1 등)

특허 문헌 3：일본특허공개공보 제2002-25997호(제 1 페이지, 도 1 등)

발명이 해결하고자 하는 과제

그러나, 종래의 서버 장치에 있어서는, 서브 레시피를 제조 장치에서 실행시켰을 때에 측정된 측정치를 적절히 취득할 수 없다고 하는 과제가 있었다.

즉, 종래의 서버 장치에서는, 레시피가 동일한 서브 레시피를 복수 포함하는 경우에, 그 서브 레시피의 측정치를 포함하는 정보를 취득하여 출력하고자 한 경우, 서브 레시피가 최초로 실행된 때에 얻어진 측정치밖에 취득할 수 없었다. 이 때문에, 동일한 서브 레시피를 실행시킨 결과 얻어진 측정치 중, 예를 들면, 2 회째의 서브 레시피에 대한 측정치를 취득할 수 없었다. 이 결과, 원하는 서브 레시피의 측정치를 자유롭게 취득할 수 없으므로, 측정치를 이용한 제조 장치의 감시 등을 적절히 실행할 수 없었다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명의 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하여 이상 검지를 행하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 상기 서버 장치로서, 상기 하나 이상의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열(時系列)의 정보이며, 상기 제조 장치에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와, 상기 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부와, 상기 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를, 상기 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득부와, 상기 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부와, 상기 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부를 구비하고, 상기 레시피는, 하나 이상의 서브 레시피를 포함하며, 상기 지시 접수부가 받아들이는 출력 지시는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회(回)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고, 상기 측정 정보 취득부는, 상기 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 원하는 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 서브 레시피와 그 서브 레시피의 처리 회(실행 횟수)를 지정함으로써, 선택적으로 출력할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 감시 등에 필요한 정보를 선택적으로 출력시켜, 감시 구간을 한정할 수 있으므로, 감시 등을 효율적으로 행할 수 있다. 구체적으로는, 어느 하나의 레시피에서, 루프하여 실행되는 서브 레시피가 있던 경우에, 감시해야 할 대상을, 예를 들면, 제 1 회째에 실행된 서브 레시피에 의해 얻어진 측정치 등으로 한정할 수 있다. 또한, 이상 검지를 행하는 구간을 한정함으로써, 불필요한 구간의 이상 검지가 불필요해지므로, 이상 검지를 적정하게 행할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 측정 정보 취득부는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군(群)이 새롭게 출현하는 횟수를 카운트하여, 해당 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회(回)와 일치한 회(回)의 측정 정보의 군에 포함되는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 원하는 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 선택적으로 출력할 수 있다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고, 상기 측정 정보 취득부는, 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 단계에 대응한 둘 이상의 측정 정보가 반복 출현할 때에, 해당 반복 출현하는 하나 이상의 측정 정보를, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군으로 하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 반복 실행된 서브 레시피에 대응한 측정 정보로부터, 서브 레시피의 처리 회를 적절히 카운트하여, 원하는 처리 회에서 취득된 측정 정보를 선택적으로 출력할 수 있다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 측정 정보는, 해당 측정 정보가 대응하는 서브 레시피를 식별하는 정보인 서브 레시피 식별자를 갖고, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보는, 동일한 서브 레시피 식별자를 가지며, 상기 측정 정보 취득부는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하여, 해당 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회와 일치한 회의 서브 레시피 식별자를 갖는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 서버 장치이다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고, 상기 서브 레시피에 대응하는 측정 정보는, 단계를 식별하기 위한 단계 식별자를 포함하며, 상기 측정 정보 취득부는, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 연속된 측정 정보에서, 둘 이상의 단계 식별자가 반복 출현할 때마다 카운트 업을 행하는 서버 장치이다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 지시 접수부는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 둘 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 상기 출력 지시를 받아들이고, 상기 측정 정보 취득부는, 둘 이상의 다른 회(回)의 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 취득하며, 상기 출력 정보 구성부는, 상기 측정 정보 취득부가 취득한 둘 이상의 다른 회(回)의 서브 레시피에 대응한 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대해, 소정의 연산을 행하여, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 서브 레시피의 다른 처리 회의 측정 정보를, 목적에 따라 처리하여 출력할 수 있으므로, 감시 등이 쉬워지고, 또한, 측정 정보를 다양한 목적으로 유연하게 이용할 수 있다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 출력 정보 구성부는, 상기 취득한 측정 정보를, 해당 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하고, 상기 출력부는, 상기 출력 정보 구성부가 구성한 SPC 차트를 출력하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 제조 장치의 경시 변화 또는 불균일성 감시를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 출력 정보 구성부는, 상기 취득한 측정 정보로부터, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하고, 상기 출력부는, 상기 출력 정보 구성부가 구성한 상관 차트를 출력하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 2 변량의 상관 관계를 감시할 수 있으므로, 효과적으로 이상 검지를 할 수 있다.

또한, 본 발명의 서버 장치는, 상기 서버 장치에서, 상기 출력 정보 구성부는, 상기 취득한 측정 정보로부터, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD(마할라노비스 거리) 차트를 구성하고, 상기 출력부는, 상기 출력 정보 구성부가 구성한 MD 차트를 출력하는 서버 장치이다.

이러한 구성에 의해, 다변량의 상관 관계를 감시할 수 있으므로, 더욱 효과적으로 이상 검지를 할 수 있다.

발명의 효과

본 발명에 의한 서버 장치 등에 의하면, 원하는 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 선택적으로 출력할 수 있다.

도 1은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 개념도이다.

도 2는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 반도체 제조 장치의 예를 나타낸 도면이다.

도 3은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다.

도 4는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 제조 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.

도 5는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 서버 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.

도 6은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 서버 장치의 측정 정보를 취득하는 처리에 대하여 설명하는 순서도이다.

도 7은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 레시피 관리표를 나타낸 도면이다.

도 8은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 서브 레시피 관리표를 나타낸 도면이다.

도 9는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 원정보의 예를 나타낸 도면이다.

도 10는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 원정보 관리표를 나타낸 도면이 다.

도 11는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 측정 정보 관리표를 나타낸 도면이다.

도 12는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 13은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 취득 정보 관리표를 나타낸 도면이다.

도 14는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 15는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 16은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 17은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 18은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 19는 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 클라이언트 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.

이하, 서버 장치 등의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시예에서 동일한 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 행하므로, 재설명을 생략하는 경우가 있다.

(실시예)

도 1은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 개념도이다. 군 관리 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치 또는 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 관리하는 시스템이다. 또한, 군 관리 시스템은 하나 이상의 제조 장치(11)(제조 장치(11a) ~ 제조 장치(11n)(단, n은 임의의 수를 나타냄)), 서버 장치(12) 및 클라이언트 장치(13)를 갖는다.

제조 장치(11)는 피처리 기판, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 등에 대한 소정의 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(11)는 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 제조 장치(11)는 예를 들면, 상술한 특허 문헌 2 또는 특허 문헌 3 등에 있어서의 뱃치식 종형 열처리 장치이다. 본 제조 장치(11)의 예를 도 2에 도시한다. 본 제조 장치(11)는 로딩실로서, 그 밖의 실(室)에 대하여 밀폐가 가능하게 이루어지고, 불활성 분위기로서 N₂ 가스가 공급·진공 배기 가능하게 이루어진, 이른바 로드록실 구조로 이루어진 장치이다. 제조 장치(11)는 피처리체인 웨이퍼(W)에 소정의 처리를 실시하는 처리실인 프로세스 튜브(a)와, 이 프로세스 튜브(a)에 대해 다수 매, 예를 들면 100 매의 웨이퍼(W)를 수납한 지지체로서의 웨이퍼 보트(f)를 삽탈하는 이송 기구(g)를 구비 한 로딩실로서의 로드록실(h)과, 이 로드록실(h)에 대해 웨이퍼(W)를 반출입하는 반출입실(ab)과, 이 반출입실(ab)에 형성된 카세트 수용 용기용 포트(ac)와, 이 포트(ac)에 재치된 카세트 수용 용기(ad)를 반출입실(ab) 내로 운반하는 운반 수단(ae)과, 운반한 카세트 수용 용기(ad)를 일시적으로 보관하는 용기 보관 스테이지(af)와, 카세트 수용 용기(ad) 내에 수용된 카세트(C)를 취출하는 카세트 취출 스테이지(ag)와, 반출입실(ab) 내에서 수용된 카세트 수용 용기(ad)의 전달을 행하는 용기 전달 수단(ah)과, 로드록실(h)과 반출입실(ab)과의 사이에 배치되는 웨이퍼 보트(f)를 수용하는 유지체 수용실(ai)로 주요부가 구성되어 있다. 또한, 도 2의 제조 장치(11)의 예에 있어서의 그 밖의 부위 및 동작에 대해서는 공지 기술(특허 문헌 2 참조)이므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제조 장치(11)를 구성하는 챔버로서, 특허 문헌 3의 도 1에서의 챔버가 바람직하다.

또한, 제조 장치(11)는 예를 들면, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피를 저장하고 있으며, 해당 레시피를 이용하여 제어한다.

또한, 서버 장치(12)는 이른바 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치이며, 하나 이상의 제조 장치(11)에서의 각종 측정 정보를 저장할 수 있고, 해당 측정 정보에 대해 이상 검지를 행하는 기능을 갖는다.

또한, 클라이언트 장치(13)는 서버 장치(12)에 대해 각종 요구를 내고, 서버 장치(12)에서의 처리 결과를 받아들인다.

도 3은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다.

제조 장치(11)는 입력 접수부(1101), 레시피 저장부(1102), 제조 장치 식별 자 저장부(1103), 계시부(1104), 처리부(1105), 측정부(1106), 원정보 축적부(1107), 원정보 송신부(1108)를 구비한다.

서버 장치(12)는 측정 정보 저장부(1201), 원정보 수신부(1202), 측정 정보 취득부(1203), 측정 정보 축적부(1204), 지시 접수부(1205), 출력 정보 구성부(1206), 출력부(1207), 출력 지시 축적부(1208), 조건 정보 저장부(1209), 이상 검지부(1210)를 구비한다.

클라이언트 장치(13)는 지시 입력부(1301), 지시 송부(送付)부(1302), 접수부(1303), 표시부(1304)를 구비한다.

입력 접수부(1101)는 제조 장치(11)의 유저로부터 각종 입력을 받아들인다. 각종 입력이란 예를 들면, 레시피, 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자, 또는 웨이퍼에 대한 가공 처리 등의 처리의 실행 지시 등이다. 유저로부터 각종 입력의 입력 수단은 텐 키(ten key), 키보드, 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등 무엇이든 상관없다. 입력 접수부(1101)는 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버, 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

레시피 저장부(1102)는 제조 장치(11)를 제어하기 위하여 사용되는 레시피를 저장하고 있다. 레시피란 제조 장치(11)가 실행하는 소정의 프로세스에 관한 정보이며, 예를 들면, 제조 파라미터 등을 포함하는 처리 조건을 지정하는 정보이다. 레시피는 통상적으로 프로세스를 구성하는 하나 또는 복수의 순서, 또는 그 순서에 있어서의 프로세스 파라미터 등을 설정하는 정보 등을 포함한다. 레시피를 구성하는 각 순서는 통상적으로 단계 또는 레시피 단계라고 불리운다. 단계에는 통상적으 로 프로세스의 일부 순서, 또는 그 순서에 있어서의 프로세스 파라미터 등을 설정하는 정보를 포함한다. 여기서, 레시피를 구성하는 하나 이상의 단계로서, 레시피와 유사하게 하나 이상, 통상적으로는 둘 이상의 단계를 구비한 정보가 이용되는 경우가 많고, 이 정보는 서브 레시피라고 불리운다. 즉 레시피는 서브 레시피를 이용함으로써, 레시피 내에 레시피를 포함하는 내포 구조(네스팅 구조)로 되어 있다. 프로세스 파라미터의 정보는 예를 들면, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명, 값을 포함한다. 카테고리명이란 프로세스 파라미터의 종류를 나타내는 명칭이며, 예를 들면 「온도」「가스 유량」「보트 엘리베이터의 스피드」 등이다. 아이템명은 프로세스 파라미터의 속성을 나타내는 명칭이며, 예를 들면 「상하 속도」「회전 속도」 등이다. 파라미터명은 프로세스 파라미터의 명칭이며, 예를 들면 「C」「A」 등이다. 값은 프로세스 파라미터라고 하는 변수에 부여하는 값이다. 통상적으로, 레시피는 레시피를 식별하는 레시피 식별자(예를 들면, 레시피명)와 쌍으로 저장되어 있다. 또한, 레시피는 해당 레시피를 구성하는 단계의 식별자인 단계 식별자, 서브 레시피를 식별하기 위한 서브 레시피 식별자와 함께 레시피 저장부(1102)에 저장되어 있다. 단계 식별자는 예를 들면, 단계의 명칭 또는 식별 번호 등이다. 서브 레시피 식별자는 서브 레시피의 명칭 또는 식별 번호 등이다. 서브 레시피를 구성하는 단계는 레시피를 구성하는 단계와 유사한 것이며, 레시피를 구성하는 단계와 동일한 단계 식별자를 가지고 있어도 좋지만, 여기서는 설명의 편의상 서브 레시피를 구성하는 단계를 서브 레시피 단계라고 칭하고, 그 식별자를 서브 레시피 단계 식별자라고 칭한다. 레시피 저장부(1102)는 불휘발성 기록 매체가 바람직하지 만, 휘발성 기록 매체로도 실현할 수 있다.

제조 장치 식별자 저장부(1103)는 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자를 저장하고 있다. 제조 장치 식별자는 각 제조 장치(11)를 식별할 수 있는 정보이면 좋고, 예를 들면, 장치명 또는 유형 번호, 제조 번호 또는 각 제조 장치(11)에 설정된 식별 번호 또는 명칭 등이여도 좋다. 이 제조 장치 식별자는 입력 접수부(1101)가 받아들인 정보여도 좋고, 제조 장치 출하 시에 사전에 저장한 정보여도 좋다. 제조 장치 식별자 저장부(1103)는 하드 디스크 또는 ROM 등의 불휘발성 기록 매체여도 좋고, RAM 등의 휘발성 기록 매체여도 좋다.

계시부(1104)는 시(時)를 계측한다. 계시부(1104)는 시를 계측한 결과 얻어진 시각을 나타내는 정보를 측정부(1106)로 출력한다. 여기서 말하는 시각을 나타내는 정보는 년월일 등의 정보를 포함하고 있어도 좋다. 계시부(1104)가 계시하는 시간은 절대 시간이여도 좋고, 상대 시간이여도 좋다. 계시부(1104)는 예를 들면 시계 등으로 실현된다.

처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 독출(讀出)하여, 해당 레시피에 따라 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행한다. 처리부(1105)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 처리부(1105)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

측정부(1106)는 제조 장치(11) 내의 온도, 또는 가스 유량, 또는 압력, 제조 장치(11)의 전력 등을 측정하여, 차트화 등의 대상이 되는 측정 정보의 바탕이 되 는 정보인 원정보를 취득한다. 원정보는 측정한 온도 등의 정보이다. 측정부(1106)는 예를 들면, 정기(定期) 또는 부정기(不定期)적인 소정의 시간 간격으로 측정을 행한다. 원정보는 측정에 의해 얻어진 값인 측정치를 갖는다. 또한, 원정보는 통상적으로 측정한 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는다. 이 시각 정보는 예를 들면, 계시부(1104)로부터 취득된다. 원정보는 측정부(1106)가 온도 등의 값을 측정하고 있던 때에 실행하고 있던 단계를 식별하는 단계 식별자와, 측정한 값인 측정치와, 측정한 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 측정하고 있던 때에, 실행중인 단계로서, 서브 레시피가 실행되고 있던 경우, 실행중인 서브 레시피를 식별하는 서브 레시피 식별자를 갖는다. 또한 실행중인 서브 레시피 중, 실행중인 서브 레시피 단계를 식별하는 서브 레시피 단계 식별자를 갖고 있는 것이 바람직하다. 또한, 레시피 식별자 또는 단계 식별자, 서브 레시피 식별자, 서브 레시피 단계 식별자 등은, 예를 들면, 레시피 저장부(1102)로부터 취득된다. 원정보는 실행하고 있던 레시피에 대한 레시피 식별자를 가지고 있어도 좋다. 또한, 원정보가 레시피를 실행한 제조 장치(11)의 제조 장치 식별자를 가지고 있어도 좋다. 이 제조 장치 식별자는, 예를 들면, 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 취득된다. 또한, 원정보는 측정부(1106)가 측정하는 측정 대상, 예를 들면 온도 또는 가스압 등, 또는 측정 개소, 예를 들면 프로세스 튜브 내 등을 식별하기 위한 정보, 예를 들면 측정 대상의 명칭 또는 측정 개소의 명칭, 또는 이들에 대응한 식별 정보 등을 가지고 있어도 좋다. 측정부(1106)는 복수 개소의 복수 온도, 또는 온도와 가스 유량 등의 복수의 값을 측정해도 당연히 좋다. 즉, 원정보는, 두 종류 이상의 측정 된 값을 가져도 좋다. 측정부(1106)는 하나 이상의 온도 센서 또는 하나 이상의 유량 센서 등의 센서 등으로 실현될 수 있다.

원정보 축적부(1107)는 측정부(1106)가 취득한 원정보를 도시하지 않은 기록 매체에 축적한다. 원정보 축적부(1107)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 원정보 축적부(1107)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 상기의 도시하지 않은 기록 매체는 불휘발성 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성 기록 매체로도 실현할 수 있다.

원정보 송신부(1108)는 원정보 축적부(1107)가 축적한 원정보를 서버 장치(12)로 송신한다. 원정보의 송신의 트리거는 무엇이든 상관없다. 또한, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 측정된 한 종류 이상(예를 들면, 온도와 가스 유량)의 값, 즉 측정치 및 시각 정보를 갖는다. 또한, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 서브 레시피를 실행하는 중에 측정된 측청치를 포함하는 경우, 그 측정 시에 실행되고 있던 서브 레시피의 서브 레시피 식별자를 갖는다. 또한, 이 경우, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 서브 레시피 단계 식별자를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 단계 식별자를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 측정부(1106)가 측정하는 측정 대상, 예를 들면 「온도」 또는 「가스압」 등, 또는 측정 개소, 예를 들면 「프로세스 튜브 내」 등을 식 별하기 위한 정보를 가지고 있어도 좋다. 또한, 원정보 축적부(1107)가 축적한 원정보와, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 그 구조 또는 구성이 상이해도 좋다. 또한, 원정보는 복수의 측정된 값에 대해, 하나의 제조 장치 식별자 또는 하나의 레시피 식별자, 또는 하나의 단계 식별자 중에서 적어도 하나를 갖는 구성이여도 좋다. 원정보 송신부(1108)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다. 또한, 원정보 송신부(1108)는 원정보를 서버 장치(12)로 송신하기 전에, 레시피 저장부(1102) 또는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 각각 서브 레시피 식별자 또는 서브 레시피 단계 식별자 또는 단계 식별자 또는 레시피 식별자 또는 제조 장치 식별자를 독출하여 원정보에 부가해도 좋다. 또한, 원정보 송신부(1108)는 값(예를 들면, 가스 유량)이 측정될 때마다 원정보를 송신해도 좋고, 소정의 수의 측정한 값을 모은 원정보(예를 들면, 10 개를 모은 원정보)를 한번에 송신해도 좋다. 원정보 송신부(1108)가 송신하는 데이터의 단위 또는 데이터 구조 등은 무엇이든 상관없다. 또한, 송신하는 원정보를 구성하는 처리는, 원정보 송신부(1108)가 아니라 원정보 축적부(1107)가 행하여도 좋다. 측정된 원정보 또는 제조 장치 식별자, 또는 레시피 식별자 또는 레시피 단계 식별자를 송신하는 타이밍 등도 언제라도 상관없다.

측정 정보 저장부(1201)는 복수의 측정 정보를 저장할 수 있다. 복수의 측정 정보는 하나 이상의 제조 장치(11)에서 측정된 한 종류 이상의 정보(예를 들면, 온도 또는 압력)에 대한 시 계열의 정보이며, 제조 장치에서 소정의 프로세스를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보이다. 또한, 측정 정보 는 서브 레시피를 실행하는 중에 측정된 측정치를 포함하는 경우, 서브 레시피 식별자를 갖는다. 또한, 이 경우, 원정보 송신부(1108)가 송신하는 원정보는 서브 레시피 단계 식별자를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 복수의 측정 정보는 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자 또는 단계 식별자 등을 가지고 있어도 좋다. 측정 정보는 원정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원정보에 대해, 측정 정보 취득부(1203)가 소정의 연산을 행하여 취득된 정보여도 좋고, 원정보와 동일한 정보여도 좋다. 측정 정보 저장부(1201)는 불휘발성 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성 기록 매체로도 실현할 수 있다. 또한, 측정 정보 저장부(1201)의 측정 정보는 측정 정보 축적부(1204)가 축적한 정보여도 좋고, 제조 장치(11)로부터 직접 수신한 정보여도 좋고, 도시하지 않은 기록 매체로부터 독출한 정보여도 좋다.

원정보 수신부(1202)는 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원정보를 복수의 제조 장치(11)로부터 수신한다. 원정보 수신부(1202)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.

측정 정보 축적부(1204)는 원정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원정보를 이용한 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다. 이 측정 정보는 원정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원정보에 대해, 측정 정보 취득부(1203)가 소정의 연산을 행하여 취득된 정보여도 좋고, 원정보와 동일한 정보여도 좋다. 소정의 연산이란, 예를 들면, 소정의 시간 간격마다 복수의 원정보가 갖는 복수의 값의 평균치를 산출하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 값을 표준화하거나, 표준 편차를 산출하거나, 중앙치를 취득하는 연산이다. 또한, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 배치하는 경우는, 측정 정보 축적부(1204)가 행하는 축적 처리는 NOP(No Operation)와 같은 의미가 된다. 측정 정보 축적부(1204)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 측정 정보 축적부(1204)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

지시 접수부(1205)는 지시를 받아들인다. 이 지시는 통상적으로 클라이언트 장치(13)로부터 수신하지만, 서버 장치(12)에 접속되어 있는 키보드 또는 마우스 등으로부터 받아들여도 좋다. 지시 접수부(1205)가 받아들이는 지시는, 예를 들면, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보의 출력 지시이다. 이 출력 지시는, 예를 들면, 레시피를 구성하는 단계 중, 원하는 단계에 대응한 측정 정보의 출력 지시이다. 또한, 예를 들면, 이 출력 지시는 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회(回)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖는다. 「하나 이상의 원하는 회(回)」란 특정의 하나의 회(回), 예를 들면 제 1 회여도 좋고, 특정의 복수의 회, 예를 들면, 제 2 회와 제 5 회 둘 다여도 좋고, 모든 회여도 좋다. 이 서브 레시피를 지정하는 지시는 지정하는 서브 레시피에 대응한 서브 레시피 식별자를 갖는 지시여도 좋다. 출력 지시는, 예를 들면, 원하는 레시피를 실행하는 중에 측정된 값을 포함하는 측정 정보를 출력시키기 위해, 레시피를 지정하는 정보, 예를 들면, 레시피 식별자 등을 포함해도 좋다. 출력 지 시에는 복수의 제조 장치(11) 중의 특정의 제조 장치에 대한 측정 정보를 출력시키기 위해, 복수의 제조 장치(11) 중의 적어도 어느 하나를 지정하는 정보, 예를 들면, 제조 장치 식별자 등을 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시에는 측정 정보를 어떻게 출력할지를 지정하는 정보를 포함하고 있어도 좋다. 예를 들면, 측정 정보를 원하는 형식의 데이터로서 출력하는 지시, 또는 차트화하여 출력하는 지시여도 좋고, 측정 정보를 이용하여 소정의 분석 또는 처리, 예를 들면 다변량 해석 또는 통계 처리 등을 행한 결과를 출력하는 지시여도 좋다. 또한, 측정 정보를 이용하여 이상 검지 또는 이상 분석 등을 행하는 지시여도 좋다. 또한, 출력 지시는 출력하는 차트의 종류, 예를 들면, SPC 차트, 상관 차트, 또는 MD 차트 등의 정보를 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는 차트 출력하는 측정 정보의 데이터의 타입, 예를 들면 온도 또는 가스 유량, 또는 압력 등을 지정하는 정보를 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는 차트를 구성하는 점 또는 선의 속성 정보를 포함해도 좋다. 속성 정보란 점의 색, 점의 종류(형상), 선의 색, 선의 종류 등이다. 지시 접수부(1205)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 수신 수단으로 이루어진다. 지시의 입력 수단은 텐 키 또는 키보드, 또는 마우스, 또는 메뉴 화면에 의한 것 등 무엇이든 상관없다. 지시 접수부(1205)는 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

측정 정보 취득부(1203)는 지시 접수부(1205)가 받아들인, 측정 정보의 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를, 측정 정보 저장부(1201)로부터 취득한다. 특히, 출력 지시가, 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회에 실행되 는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖는 경우, 이 지정된 회의 서브 레시피에 대응하는 측정 정보, 예를 들면, 해당 서브 레시피의 실행 시에 측정된 측정 정보, 또는 이 측정 정보에 대해 소정의 연산 등의 처리가 행하여진 측정 정보를 취득한다. 측정 정보 취득부(1203)는 하나 이상의 지정된 회(예를 들면, 1 회째만 또는 5 회째만, 또는 1 회째와 4 회째 양쪽 등)의 측정 정보를 측정 정보 취득부(1203)가 취득한다. 구체적으로는, 측정 정보 취득부(1203)는 출력 지시에 포함되는 단계 식별자 또는 서브 레시피 식별자와 일치하는 식별자와 관련된 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 취득한다. 또한, 출력 지시에 장치 식별자 또는 레시피 식별자 등도 포함되는 경우, 해당 장치 식별자 또는 레시피 식별자에 대해서도 일치하는 측정 정보를 취득한다. 측정 정보 취득부(1203)는, 출력 지시에 의해 지정된, 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군, 즉, 이 서브 레시피를 1 회 실행한 때에 측정된 하나 이상의 측정치를 이용하여 얻어진 하나 이상의 측정 정보의 집합이 새롭게 출현하는 횟수를 카운트한다. 그리고, 이 카운트 수가 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회와 동일해진 때에, 이 출현한 측정 정보의 군에 포함되는 하나 이상의 측정 정보를 취득한다. 구체적으로는, 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보가 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 것으로 하면, 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자와, 그 하나 이상의 실행되는 회를 지정하는 출력 지시를 받아들인 경우, 측정 정보 취득부(1203)는, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 출력 지시에 의해 지정된 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하여, 그 횟수가 출력 지시에 포함되는 회에 일치한 경우에, 그 일치한 회(回)의 측정 정보를 취득한다. 보다 구체적으로는, 측정 정보 취득부(1203)는, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자가 일치하는 측정 정보가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하여, 그 횟수가, 출력 지시에 포함되는 회에 일치한 경우에, 그 일치한 회(回)의, 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피 식별자를 갖는 측정 정보를 취득한다. 또한, 시간축 상에서, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 측정 정보가 연속하여 나타나거나 검출된 경우에는, 동일한 서브 레시피가 반복되고 있는 경우를 제외하고, 측정 정보의 새로운 출현 또는 새로운 검출이라고는 생각되지 않고, 이들은 하나의 측정 정보의 군이라고 생각된다. 또한, 여기서의 새로운 출현을 검출하는 처리는, 측정 정보를, 시각을 나타내는 정보를 이용하여 소팅한 경우의 처리를 전제로 하고 있다. 새롭게 출현하는 횟수, 또는 새롭게 검출된 횟수를 카운트한다는 것은, 결과적으로, 새롭게 출현하는 횟수, 또는 새롭게 검출된 횟수를 카운트할 수 있는 처리이면 좋다. 예를 들면, 이 처리는, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자와 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는 측정 정보가 검색된 경우로서, 시간축 상에서, 그 측정 정보 직전의 측정 정보가 갖는 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자가 아닌 경우에, 카운트 업하는 처리이다. 또한, 서브 레시피가 둘 이상의 서브 레시피 단계를 포함하고, 이 서브 레시피가 연속하여 반복 실행된다고 생각되는 경우에는, 단순히 서브 레시피 식별자가 새롭게 출현하는 횟수를 카운트한 것만으로는, 반복된 복수의 서브 레시피에 대응한 측정 정보가 시간축 상에서 연속하고 있으며, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖게 되므로, 상기의 방법에서는 하나의 서브 레시피로부터 얻어진 측정 정보로 판단될 우려가 있다. 이 때문에, 이러한 경우에는, 측정 정보 취득부(1203)는, 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 서브 레시피 단계에 대응한 둘 이상의 측정 정보가 반복 출현할 때에, 이 반복 출현하는 하나 이상의 측정 정보를, 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군의 하나라고 판단하여, 카운트 업을 행한다. 구체적으로는, 측정 정보 취득부(1203)는, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 연속한 복수의 측정 정보에서, 둘 이상의 서브 레시피 단계 식별자, 구체적으로는 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 서브 레시피 단계의 서브 레시피 단계 식별자가 반복 출현할 때마다 카운트 업을 행한다. 이와 같이 함으로써, 서브 레시피의 반복이 행하여진 경우에도 서브 레시피의 횟수를 정확하게 카운트할 수 있다. 이러한 서브 레시피의 반복은, 예를 들면, 서브 레시피 단계 식별자가 검출될 때의 규칙성이 유지되고 있는지의 여부로 판단 가능하고, 이러한 판단 시에 이용하는 규칙성은 무엇이든 상관없다. 측정 정보 취득부(1203)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 측정 정보 취득부(1203)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

출력 정보 구성부(1206)는 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성한다. 또한, 지시 접수부(1205)가, 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 둘 이상의 원하는 회(예를 들면, 1 회째와 5 회째 모두 등)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 출력 지시를 받아들이고, 이 출력 지시에 따 라 측정 정보 취득부(1203)가, 둘 이상의 다른 회(回)의 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 취득하는 경우에, 출력 정보 구성부(1206)는, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대해, 소정의 연산을 행하여, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성해도 좋다. 소정의 연산이란 구체적으로는 평균치의 산출 또는 최대치 또는 최소치의 산출, 표준 편차의 산출, 최대치와 최소치와의 차의 산출 등이다. 이와 같이 함으로써, 예를 들면, 둘 이상의 다른 회(回)의 서브 레시피의 실행 시에 얻어진 측정치의 평균치 등의 연산 결과의 차트 등을 출력할 수 있다. 출력 정보 구성부(1206)는, 예를 들면, 사전에 설정된 형식, 또는 지시 접수부(1205)가 받아들인 지시가 지정하는 형식, 구체적으로는 텍스트 형식 또는 XML 형식, 또는 데이터베이스 형식 등의 출력 정보를 구성한다. 또한, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 측정 정보를 이용하여 출력 정보인 차트를 구성한다. 이 때, 출력 정보 구성부(1206)는, 상이한 종류의 측정 정보 또는 상이한 제조 장치의 측정 정보를 시각적으로 구별하여 출력 정보를 구성하는 것이 바람직하다. 출력 정보 구성부(1206)는, 예를 들면, 출력 지시 축적부(1208)에 축적되어 있는 출력 지시에 따른 출력 정보를 구성하여 출력한다. 또한, 취득한 측정 정보를 이용하여 소정의 연산을 행하고, 해당 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성해도 좋다. 소정의 연산이란 예를 들면, 소정의 시간 간격마다 복수의 측정 정보가 갖는 복수의 값의 평균치를 산출하거나, 복수의 측정 정보를 시간축에 따라 적산하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 값을 표준화하거나, 표준 편차 를 산출하거나, 중앙치를 취득하는 연산이다. 또한, 이러한 소정의 연산을, 측정 정보 축적부(1204)가, 원정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원정보를 축적할 때에, 복수의 원정보에 대해 행하여도 좋다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 후술하는 이상 검지부(1210)의 판단 결과를 이용한 출력 정보를 구성해도 좋다. 예를 들면, 출력 정보 구성부(1206)는 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 복수의 측정 정보로부터 차트를 구성하지만, 이 때, 출력 정보 구성부(1206)는 이상이 있는 측정 정보와 정상의 측정 정보를 시각적으로 구별하여 출력 정보를 구성한다. 여기서의 출력 정보란, 예를 들면, 이상이 있는 측정 정보에 관한 측정부명과 시각의 리스트 정보여도 좋다. 이 측정부명은, 예를 들면, 측정 정보에 포함되어 있는 측정부(1106)가 측정하는 측정 개소를 식별하는 정보에 따라 취득된다. 또한, 출력 정보란, 예를 들면, 해당 리스트 정보 또는 측정 정보로 구성된 차트의 정보여도 좋다. 출력 정보란, 예를 들면, 정상인 내용, 이상이 있는 내용이다. 출력 정보란, 예를 들면, 정상 또는 이상 중 어느 하나를 나타내는 소리 정보(부저 등)이다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 이상의 검지를 위해, 이상치, 정상치의 범위를 나타낸 차트를 구성하는 처리를 행해도 좋다. 이러한 경우, 이상 검지부(1210)가 출력 지시에 합치되는 측정 정보를 판독하지만, 이상 검지의 처리를 행하는지의 여부는 무엇이든 상관없다. 출력 정보 구성부(1206)는 출력 지시에 둘 이상의 제조 장치 식별자가 포함되는 경우, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트를 구성하는 것은 바람직하다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 출력 지시에 둘 이상의 레시피 식별자가 포함되는 경우, 레시피 식별자 마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트를 구성하는 것은 바람직하다. 여기서, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 둘 이상의 제조 장치 식별자를 포함하는 경우, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보가 상이한 점의 종류(사각과 원의 형상, 색, 크기)로 출력되어 있는 차트 또는 제조 장치 식별자마다의 측정 정보가 상이한 선의 색으로 연결되어 있는 차트 등이다. 또한, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 하나의 제조 장치 식별자만을 포함하는 경우, 해당 하나의 제조 장치 식별자의 복수의 측정 정보로 이루어지는 차트를 말한다. 또한, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 둘 이상의 레시피 식별자를 포함하는 경우, 레시피 식별자마다의 측정 정보가 상이한 점의 종류(사각과 원의 형상, 색, 크기), 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보가 상이한 선의 종류(실선과 파선 등)로 연결되어 있는 차트 등이다. 또한, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 하나의 레시피 식별자만을 포함하는 경우, 해당 하나의 레시피 식별자의 복수의 측정 정보로 이루어지는 차트를 말한다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는, 독출된 복수의 측정 정보로부터 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 독출한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트(통계적 공정 관리 차트)를 구성해도 좋다. SPC 차트는 통계적 공정 관리에 이용되는 차트이며, 단변량을 감시하여 이상 검지를 행하기 위한 차트이다. SPC 차트에서, 감시 대상의 상하한값(관리치)을 설정해 두고, 관리치를 벗어난 값이 된 경우, 이상 검지부(1210)가 이상을 검지하며, 검지한 이상(異常)을 시각적으로 나타내는 것은 바람직하다. 이러한 상한치는, 예를 들면, 후술하는 조건 정보 저장부(1209)에 사전에 유지시켜 둔다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 출력 지시가 하나 이상의 제조 장치 식별자를 포함하는 경우, 해당 하나 이상의 제조 장치 식별자 중의 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보로부터, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성해도 좋다. 상관 차트는 2 변량의 상관 관계를 감시하는 차트이며, 2 변량으로부터 이상을 검지할 수 있는 차트이다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 출력 지시가 하나 이상의 레시피 식별자를 포함하는 경우, 해당 하나 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보로부터, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD(마할라노비스 거리) 차트를 구성해도 좋다. 차트의 구성은, 예를 들면, 시간축에 따라 복수의 측정 정보를 선으로 연결하여 차트를 얻는 처리이다. 값과 시각 정보를 갖는 측정 정보가 복수 부여된 경우에, 차트를 구성하는 처리는 공지 기술이므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 값과 시각 정보를 갖는 측정 정보가 복수 부여된 경우에, SPC 차트 또는 상관 차트, 또는 MD 차트를 구성하는 처리는 공지 기술이므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 두 종류의 측정 정보란, 하나의 측정 정보 중에 두 종류의 측정된 값(예를 들면, 온도와 가스 유량)을 포함하는 정보도 포함한다. 또한, 세 종류 이상의 측정 정보란, 하나의 측정 정보 중에 세 종류 이상의 측정된 값(예를 들면, 온도와 가스 유량과 압력)을 포함하는 정보도 포함한다. 출력 정보 구성부(1206)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 출력 정보 구성부(1206)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

출력부(1207)는 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 차트 등의 출력 정보를 출력한다. 여기서, 출력이란 통상적으로 클라이언트 장치(13)로의 송신이다. 단, 출력부(1207)는 서버 장치(12)에 접속되어 있는 디스플레이에 차트를 표시하거나, 프린터로 인쇄하거나, 외부의 장치로 송신해도 좋다. 출력부(1207)는 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현될 수 있다. 단, 출력부(1207)는 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현해도 좋다.

출력 지시 축적부(1208)는 점 또는 선 등의 속성 정보와 제조 장치 식별자, 또는 점 또는 선 등의 속성 정보와 레시피 식별자 등의 지시인 출력 지시를 축적한다. 출력 지시 축적부(1208)는, 예를 들면, 지시 접수부(1205)가 차트의 설정(색 정보를 포함)을 축적하는 지시인 축적 지시를 받아들인 경우에, 점 또는 선 등의 속성 정보와 제조 장치 식별자, 또는 점 또는 선 등의 속성 정보와 레시피 식별자를 갖는 출력 지시를 축적해도 좋다. 또한, 출력 지시 축적부(1208)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 출력 지시 축적부(1208)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

조건 정보 저장부(1209)는 이상 검지의 조건에 관한 정보인 조건 정보를 저장하고 있다. 조건 정보는, 예를 들면, 측정치의 정상 범위를 나타내는 상한치와 하한치이다. 조건 정보는, 예를 들면, 정상치와 이상치와의 사이의 경계값만이어도 좋다. 이들 값은 통상적으로 관리치라고 불리운다. 그 밖에, 조건 정보는 측정 대상의 값(온도, 압력, 가스 유량, 전력량 등)에 따라 다르다. 또한, 조건 정보의 구조는 무엇이든 상관없다. 조건 정보 저장부(1209)는 불휘발성 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성 기록 매체로도 실현 가능하다.

이상 검지부(1210)는 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 측정 정보가 갖는 값인 측정치가 이상인지 정상인지를 판단한다. 이상 검지부(1210)는 조건 정보 저장부(1209)의 조건 정보를 이용하여 측정 정보가 갖는 측정치가 이상인지 정상인지를 판단한다. 구체적으로는, 이상 검지부(1210)는 측정 정보 취득부(1203)가 측정 정보를 취득한 경우, 해당 측정 정보가 각각 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단한다. 이상 검지부(1210)는 통상적으로 MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 이상 검지부(1210)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 이상 검지부(1210)에서의 이상 검지 처리는 공지의 이상 검지의 처리여도 좋다.

지시 입력부(1301)는 각종 지시를 입력한다. 각종 지시란, 예를 들면, 상술한 바와 같은 서버 장치(12)에 축적되어 있는 측정 정보의 출력 지시이다. 또한, 기동(起動)의 지시 또는 차트의 출력 지시, 또는 차트의 속성치(선 종류 또는 선의 색, 또는 점의 종류 또는 점의 색 등)의 변경 지시 등이다. 지시의 입력 수단은 텐 키 또는 키보드, 또는 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등 무엇이든 좋다. 지시 입력부(1301)는 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단과, 그 디바이스 드라이버 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

지시 송부부(1302)는 지시 입력부(1301)로부터 입력된 지시를 서버 장치(12)로 송부한다. 여기서의 송부란 통상적으로 통신 수단을 이용한 송신이다. 지시 송부부(1302)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.

접수부(1303)는 서버 장치(12)로부터 차트 등의 출력 정보를 받아들인다. 여기서의 접수란 통상적으로 통신 수단을 이용한 수신이다. 접수부(1303)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.

표시부(1304)는 접수부(1303)가 받아들인 차트 등의 출력 정보를 디스플레이에 표시한다. 또한, 접수부(1303)가 서버 장치(12)로부터 텍스트 형식 또는 XML 형식, 또는 데이터베이스 형식 등의 출력 정보를 수신하는 경우, 표시부(1304)가 이들 출력 정보로부터 표시 데이터를 구성하기 위한 MPU 또는 메모리 등을 구비하여, 표시부(1304)가 출력 정보 구성부(1206)와 마찬가지로, 차트 등의 표시용 출력 정보를 구성하고, 이 출력 정보를 디스플레이에 표시해도 좋다. 표시부(1304)는 디스플레이를 포함한다고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 표시부(1304)는 디스플레이의 드라이버 소프트 또는 디스플레이의 드라이버 소프트와 디스플레이 등으로 실현될 수 있다.

이어서, 군 관리 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 제조 장치(11)의 동작에 대하여 도 4의 순서도를 이용하여 설명한다. 또한, 여기서는 원정보가 측정 시에 실행하고 있는 단계에 대응한 단계 식별자, 또는 그 단계가 서브 레시피를 실행하는 단계인 경우, 해당 서브 레시피에 대응한 서브 레시피 식별자와, 그 서브 레시피를 구성하는 서브 레시피 단계 중, 측정 시에 실행하고 있는 서브 레시피 단계에 대응한 서브 레시피 단계 식별자를 포함하는 경우에 대하여 설명한다.

(단계 S401) 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 독출한다.

(단계 S402) 처리부(1105)는 카운터(i)에 1을 대입한다.

(단계 S403) 처리부(1105)는 단계 S401에서 판독한 레시피 중에서 i 번째의 단계가 존재하는지의 여부를 판단한다. i 번째의 단계가 존재하면 단계 S404로 가고, i 번째의 단계가 존재하지 않으면 단계 S420로 간다.

(단계 S404) 처리부(1105)는 i 번째의 단계가, 서브 레시피를 실행하는 단계인지의 여부를 판단한다. 서브 레시피를 실행하는 단계인 경우 단계 S405로 진행하고, 서브 레시피를 실행하는 단계가 아닌 경우 단계 S413로 진행한다.

(단계 S405) 처리부(1105)는 카운터(h)에 1을 대입한다

(단계 S406) 처리부(1105)는, 단계 S404에서 실행된다고 판단된 서브 레시피의 서브 레시피 단계에, h 번째의 서브 레시피 단계가 존재하는지의 여부를 판단한다. h 번째의 서브 레시피 단계가 존재하면 단계 S407로 가고, i 번째의 단계가 존재하지 않으면 단계 S418로 간다.

(단계 S407) 처리부(1105)는 h 번째의 서브 레시피 단계의 처리를 실행한다.

(단계 S408) 측정부(1106)는 사전에 결정된 한 종류 이상의 측정(예를 들면, 온도와 압력)을 행하고, 측정치(여기서의 측정치는 통상적으로 한 종류 이상의 값만을 가짐)를 취득한다.

(단계 S409) 측정부(1106)는 계시부(1104)로부터 시각 정보를, 또한 레시피 저장부(1102)로부터, 현재 실행중인 서브 레시피 단계의 서브 레시피 단계 식별자와, 이 서브 레시피 단계를 포함하는 단계 및 서브 레시피에 대응한, 단계 식별자 및 서브 레시피 식별자를 취득하고, 측정한 정보에 시각 정보와, 단계 식별자, 서브 레시피 식별자 및 서브 레시피 단계 식별자를 부여하여 원정보를 구성한다.

(단계 S410) 원정보 축적부(1107)는 단계 S409에서 구성한 원정보를, 도시하지 않은 메모리에 일시 축적한다.

(단계 S411) 처리부(1105)는 h 번째의 서브 레시피 단계의 처리가 종료되었는지의 여부를 판단한다. 예를 들면, h 번째의 서브 레시피 단계의 처리 시간이 사전에 결정되어 있는 경우, 그 처리 시간이 경과했는지의 여부를 판단한다. 또한, h 번째의 서브 레시피 단계의 처리의 종료 조건이 결정되어 있는 경우, 예를 들면, 온도가 소정의 온도에 도달한 경우에 처리가 종료되는 것이 사전에 결정되어 있는 경우, 처리 조건을 충족시켰는지의 여부를 판단하고, 충족시킨 경우에 처리를 종료할 것을 결정한다. 처리를 종료하는 경우, 단계 S412로 진행하고, 처리를 종료하지 않는 경우, 단계 S408로 되돌아간다.

(단계 S412) 처리부(1105)는 카운터(h)를 1 인크리먼트하고, 단계 S406로 되돌아간다.

(단계 S413) 처리부(1105)는 i 번째의 단계의 처리를 실행한다.

(단계 S414) 측정부(1106)는 사전에 결정된 한 종류 이상의 측정(예를 들면, 온도와 압력)을 행하고, 측정치(여기서의 측정치는 통상적으로 한 종류 이상의 값만을 가짐)를 취득한다.

(단계 S415) 측정부(1106)는 계시부(1104)로부터 시각 정보를, 또한 레시피 저장부(1102)로부터 실행중인 단계에 대한 단계 식별자를 취득하고, 측정한 정보에 시각 정보와 단계 식별자를 부여하여 원정보를 구성한다

(단계 S416) 원정보 축적부(1107)는 단계 S406에서 구성한 원정보를, 도시하지 않은 메모리에 일시 축적한다.

(단계 S417) 처리부(1105)는 i 번째의 레시피 단계의 처리가 종료되었는지의 여부를 판단한다. 예를 들면, i 번째의 레시피 단계의 처리 시간이 사전에 결정되어 있는 경우, 그 처리 시간이 경과했는지의 여부를 판단한다. 또한, i 번째의 레시피 단계의 처리의 종료 조건이 결정되어 있는 경우, 예를 들면, 온도가 소정의 온도에 도달한 경우에 처리가 종료되는 것이 사전에 결정되어 있는 경우, 처리 조건을 충족시켰는지의 여부를 판단하고, 충족시킨 경우에 처리를 종료할 것을 결정한다. 처리를 종료하는 경우, 단계 S418로 진행하고, 처리를 종료하지 않는 경우, 단계 S414로 되돌아간다.

(단계 S418) 원정보 송신부(1108)는 단계 S410 또는 단계 S416에서 일시 축적한 원정보(여기서는 한 종류 이상의 측정치와 시각 정보와 단계 식별자와의 조(組), 또는 한 종류 이상의 측정치와 시각 정보와 단계 식별자와 서브 레시피 식별 자와 서브 레시피 단계 식별자와의 조(組))를 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 원정보 송신부(1108)는 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다.

(단계 S419) 처리부(1105)는 카운터(i)를 1 인크리먼트하고, 단계 S403로 되돌아간다.

(단계 S420) 원정보 송신부(1108)는 레시피 저장부(1102)로부터 레시피 식별자를 독출한다. 이 레시피 식별자는 단계 S401에서 판독한 레시피의 레시피 식별자이다.

(단계 S421) 원정보 송신부(1108)는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 제조 장치 식별자를 독출한다.

(단계 S422) 원정보 송신부(1108)는 단계 S410 ~ 단계 S411에서 독출한 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자를 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 원정보 송신부(1108)는 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다. 그리고 처리를 종료한다.

또한, 도 4의 순서도의 단계 S410 또는 단계 S416에서, 원정보 축적부(1107)가 단계 S409 또는 단계 S415에서 구성한 원정보를, 도시하지 않은 메모리에 일시 축적하는 대신에, 순차적으로 단계 S418과 마찬가지로 서버 장치(12)로 송신해도 좋다. 이와 같이 하면, 실시간으로 서버 장치로 데이터를 송신할 수 있다. 또한, 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자는 측정의 개시 시에 송신해도 좋고, 각 측정 정보에 포함시켜도 좋다.

또한, 단계 S409 또는 단계 S415에서 원정보에 단계 식별자를 포함시키지 않는 경우, 단계 S418의 처리 전에, 레시피 저장부(1102)로부터 단계 식별자를 독출하여, 이것을 단계 S418에서 원정보와 함께 서버 장치(12)로 송신하는 처리를 행해도 좋다.

이어서, 서버 장치(12)의 동작에 대하여 도 5의 순서도를 이용하여 설명한다. 또한, 여기서는 지시 접수부(1205)가 받아들이는 출력 지시가 차트의 출력 지시인 경우를 예로 들어 설명한다.

(단계 S501) 지시 접수부(1205)는 지시를 받아들였는지의 여부를 판단한다. 지시를 받아들였으면 단계 S502로 가고, 지시를 받아들이지 않았으면 단계 S512로 간다.

(단계 S502) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 차트의 출력 정보의 출력 지시인지의 여부를 판단한다. 차트의 출력 지시이면 단계 S503으로 가고, 차트의 출력 지시가 아니면 단계 S501로 되돌아간다.

(단계 S503) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S501에서 받아들인 차트의 출력 지시에, 서브 레시피를 지정하는 지시, 구체적으로는 서브 레시피 식별자가 포함되는지의 여부를 판단한다. 포함되는 경우, 단계 S504로 진행하고, 포함되지 않는 경우, 단계 S501로 되돌아간다. 또한 단계 S501로 되돌아가기 전에, 출력 지시에 포함되는 지시, 예를 들면, 원하는 단계 식별자를 갖는 측정 정보를 출력하는 지시에 따라, 원하는 단계 식별자를 갖는 측정 정보를 취득하여 출력하는 처리를 행하여도 좋다.

(단계 S504) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(m)에 1을 대입한다.

(단계 S505) 측정 정보 취득부(1203)는, 출력 지시에, 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, m 번째의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시가 있는지의 여부를 판단한다. 「m 번째의 원하는 회」란, 예를 들면, 원하는 서브 레시피가 5 회 실행된 경우에, 원하는 회를 2 회째와 3 회째와 5 회째의 총 3 회로 설정했다고 하면, m = 1 번째의 원하는 회는 2 회째, m = 2 번째의 원하는 회는 3 회째, m = 3 번째의 원하는 회는 5 회째가 된다. 단, m의 값이 증가한 경우에, 반드시 복수의 원하는 회를, 그 값이 작은 것부터 순서대로 선택할 필요는 없다. 예를 들면, 출력 지시가, 서브 레시피가 2 회째와 3 회째에 실행된 때에 얻어진 측정 정보를 지정하는 지시를 포함하는 경우, m이 「1」 및 「2」일 때에, 측정 정보 취득부(1203)는 출력 지시에 m 번째의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시가 있다고 판단한다. 또한, 예를 들면, 레시피의 실행 시에, 원하는 서브 레시피가 10 회 실행된 경우에, 출력 지시가, 서브 레시피가 실행된 모든 회에서 얻어진 측정 정보를 지정하는 지시를 포함하는 경우, 10 회의 서브 레시피 전체에 대한 지정이 있게 되므로, m이 「1」부터 「10」까지의 각각의 값일 때에, 측정 정보 취득부(1203)는, 출력 지시에 m 번째의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시가 있다고 판단해도 좋다. 또한, 출력 지시에 출력 대상이 되는 서브 레시피의 처리된 회를 지정하는 값이 지정되지 않은 경우, 원하는 회를 지정하는 값은 사전에 디폴트로, 예를 들면 「1」 등으로 설정하는 것이 바람직하다. m 번째의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시가 있는 경우, 단계 S506로 진행 하고, 없는 경우에는 단계 S509로 진행한다.

(단계 S506) 측정 정보 취득부(1203)는, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보 중, 출력 지시에 포함되는 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자가 일치하는 측정 정보 내로부터, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자에 대응한 서브 레시피의 m 번째의 처리 회를 실행한 때에 취득된 측정 정보를 취득한다. 예를 들면, 레시피의 실행 시에 원하는 서브 레시피가 10 회 실행된 경우에, 출력 지시가, 서브 레시피가 2 회째와 5 회째에 실행된 때에 얻어진 측정 정보를 지정하는 지시를 포함하는 경우, m = 1의 경우에는, 2 회째에 서브 레시피가 실행된 때에 측정된 측정치를 이용한 측정 정보가 취득된다. 또한, m = 2의 경우에는, 5 회째에 서브 레시피가 실행된 때에 측정된 측정치를 이용한 측정 정보가 취득된다. 이 처리의 상세에 대해서는 후술한다.

(단계 S507) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S506에서 취득한 측정 정보를 도시하지 않은 메모리 등에 일시 기억한다. 또한, 단계 S506에서, 이미 메모리 등에 측정 정보가 축적되어 있는 경우, 이 처리는 행하지 않아도 좋다.

(단계 S508) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(m)를 1 인크리먼트한다. 그리고 단계 S506로 되돌아간다.

(단계 S509) 이상 검지부(1210)는 단계 S503에서 취득한 하나 이상의 측정 정보가 갖는 각 측정치가 이상인지 정상인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 이상 검지부(1210)는 조건 정보를 이용하여, 각 측정치가 이상인지 정상인지의 여부를 판단한다.

(단계 S510) 출력 정보 구성부(1206)는 단계 S503에서 취득한 측정 정보를 이용하여, 받아들인 출력 지시에 따른 차트 등의 출력 정보를 구성한다. 이 때, 측정 정보에 대하여 소정의 연산을 행해도 좋다. 특히, 복수 회 실행된 서브 레시피 중, 다른 둘 이상의 회에 대응하여 측정된 측정 정보가, 측정 정보 취득부(1203)에 의해 취득된 경우, 출력 정보 구성부(1206)는 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응하여 얻어진 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대하여, 소정의 연산을 행하여, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성해도 좋다. 또한, 둘 이상의 측정 정보의 시간축을 맞추어, 각각의 측정 정보의 값에 대하여, 평균 또는 최대치 또는 최소치 등을 산출하여, 새로운 측정 정보를 구성하는 처리에 대해서는 공지 기술이므로, 여기서는 상세한 설명을 생략한다. 또한, 출력 정보가 차트인 경우, 차트의 선(線)의 속성치(선의 색 또는 선 종류, 또는 점의 색 또는 점의 종류 등)는, 지시된 속성치 또는 디폴트의 속성치 등이며, 출력 정보 구성부(1206)는 이러한 속성치를 이용하여 차트를 구성한다. 구성하는 차트는 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트, 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트, 또는 이 양쪽을 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이다. 또한, 구성하는 차트는 출력 지시가 갖는 차트의 종류의 정보(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)에 따른 차트이다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 단계 S505에서의 이상 검지 처리의 결과에 따른 출력 정보를 구성한다. 「이상 검지 처리의 결과에 따른 출력 정보」란 이상이 있는 측정 정보인지, 정상적인 측정 정보인지를 명시하는 태양의 출력 정보여도 좋고, 이상과 정상의 임계치를 명시한 차트 등이여도 좋다.

(단계 S511) 출력부(1207)는 단계 S510에서 구성한 출력 정보를 출력한다. 여기서의 출력이란 클라이언트 장치(13)로의 송신이다. 그리고, 단계 S501로 되돌아간다.

(단계 S512) 원정보 수신부(1202)는 하나 이상의 원정보를 제조 장치(11)로부터 수신했는지의 여부를 판단한다. 원정보를 수신하면, 일시적으로 도시하지 않은 메모리 등에 축적하여 단계 S508로 진행하고, 원정보를 수신하지 않으면 단계 S501로 되돌아간다.

(단계 S513) 측정 정보 축적부(1204)는 원정보 수신부(1202)가 수신한 원정보에 대해 소정의 연산을 행하여, 하나 이상의 측정 정보를 취득한다. 복수의 원정보에 대해 소정의 연산을 행한다고 하는 것은, 복수의 원정보가 갖는 복수의 조가 갖는 한 종류 이상의 값 각각에 대해 소정의 연산(평균치 산출, 표준 편차 산출, 최대치 취득 등)을 행하는 것이다. 단, 소정의 연산은 행하지 않아도 좋다. 또한, 소정의 연산의 대상이 되는 복수의 원정보란 소정 시간 간격(예를 들면, 10 분)마다의 각각의 복수의 원정보이며, 소정의 단계 수마다의 각각의 복수의 원정보이다. 또한, 측정 정보 축적부(1204)는, 원정보 수신부(1202)가 수신한 원정보 또는 측정 정보에 대해, 원정보 수신부(1202)가 수신한 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자 등을 적절히 부가해도 좋다.

(단계 S514) 측정 정보 축적부(1204)는 단계 S513에서 취득한 하나 이상의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다. 단계 S501로 되돌아간다.

또한, 도 5의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트에 의해 처리는 종료된다.

또한, 도 5의 순서도에서는, 차트의 출력 지시를 받아들이기 전에 측정 정보가 축적되어 있다.

또한, 도 5의 순서도에서, 측정 정보 대신에 원정보를 축적해 두고, 차트 등의 출력 정보의 출력을 행할 때에, 복수의 원정보에 대해 소정의 연산을 행하여, 하나 이상의 측정 정보를 취득하고, 해당 하나 이상의 측정 정보를 이용하여 출력 정보를 구성하여 출력해도 좋다. 즉, 측정 정보를 구성하는 타이밍은 언제라도 상관없다.

이하, 도 5의 순서도에서 단계 S506에 도시한, 서브 레시피의 m 번째의 처리 회의 측정 정보를 취득하는 처리에 대해 도 6의 순서도를 이용하여 설명한다. 여기서는, 출력 지시에, 출력 대상이 되는 측정 정보가 취득된 때에 실행되고 있던 서브 레시피 단계에 대응한 서브 레시피 식별자, 및 서브 레시피의 m 번째의 처리 회를 나타내는 정보가 포함되어 있는 것으로 한다. m 번째의 처리 회의 값이 여기서는 s(s는 양의 정수)이다. 예를 들면, 출력 지시에 의해 지시되어 있는 복수의 처리 회 중, m 번째의 처리 회가 5 회째인 경우, s = 5가 된다. 또한, 여기서는 설명을 간략화하기 위해, 출력 지시에 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자가 포함되어 있고, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보 중, 출력 지시에 포함되는 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자가 일치하는 측정 정보 내로부터, 측정 정보 가 검색되는 것으로 한다.

(단계 S601) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)에 1을 대입한다.

(단계 S602) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(k)에 0을 대입한다.

(단계 S603) 측정 정보 취득부(1203)는, 시각 정보에 따라 소팅된, 출력 지시에 포함되는 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자가 일치하는 측정 정보 중, n 번째의 측정 정보가 존재하는지의 여부를 판단한다. 존재하는 경우, 단계 S604로 진행하고, 존재하지 않는 경우에는, 상위 함수로 리턴한다. 또한, 존재하지 않는 경우, 대응하는 측정 정보가 없는 내용 등의 에러 출력을 행한 후, 상위 함수로 리턴해도 좋다.

(단계 S604) 측정 정보 취득부(1203)는, n 번째의 측정 정보가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자와 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는지의 여부를 판단한다. 여기서 말하는 일치는 완전한 일치여도 좋고, 부분적인 일치여도 좋다. 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는 경우, 단계 S605로 진행하고, 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖지 않는 경우, 단계 S614로 진행한다.

(단계 S605) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(k)를 1 인크리먼트한다.

(단계 S606) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(k)의 값이 s인지의 여부를 판단한다. s이면 단계 S607로 진행하고, s가 아니면 단계 S615로 진행한다.

(단계 S607) 측정 정보 취득부(1203)는 n 번째의 측정 정보를 취득한다. 또한, 여기서 말하는 측정 정보의 취득이란 측정 정보 내의 측정치만을 취득하는 것이여도 좋다.

(단계 S608) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S607에서 취득한 측정 정보를 도시하지 않은 메모리 등에 추기(追記)하여 축적한다. 또한, 메모리 등에 축적할 때에, 측정 정보에 m 번째의 처리 회의 값(s)을 부가하여도 좋다. 이에 의해, 이 s의 값을 출력하여, 원하는 서브 레시피가 몇 회째에 실행된 측정 정보인지를 판별할 수 있게 된다. 최종적으로, 이 메모리 등에 축적된 측정 정보가, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한, 복수 회 실행되는 원하는 서브 레시피의, m 번째의 처리 회에서 취득된 측정 정보가 된다.

(단계 S609) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트한다.

(단계 S610) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S603과 마찬가지로 n 번째의 측정 정보가 존재하지는의 여부를 판단한다. 존재하는 경우, 단계 S611로 진행하고, 존재하지 않는 경우, 상위 함수로 리턴한다. 또한, 존재하지 않는 경우, 대응하는 측정 정보가 없는 내용 등의 에러 출력을 행한 후, 상위 함수로 리턴해도 좋다.

(단계 S611) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S604와 마찬가지로, n 번째의 측정 정보가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자와 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는지의 여부를 판단한다. 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는 경우, 단계 S612로 진행하고, 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖지 않는 경우, 상위 함수로 리턴한다.

(단계 S612) 측정 정보 취득부(1203)는, n 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값이, 출력 지시에 포함되는 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자가 일치함과 동시에 n 번째의 측정 정보의 시각 정보에 대해 직전의 값의 시각 정보를 갖는, n - 1 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 일치하는 경우, 단계 S607로 진행하고, 일치하지 않는 경우, 단계 S613로 진행한다. 단, 여기서는 서브 레시피 단계 식별자는, 서브 레시피 단계의 처리 순서에 따라서, 값이 1씩 증가하는 수치를 포함하는 값으로 설정되어 있는 것으로 한다.

(단계 S613) 측정 정보 취득부(1203)는, n 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값이, n - 1 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 일치하는 경우, 단계 S607로 되돌아가고, 일치하지 않는 경우, 상위 함수로 리턴한다. 또한, 일치하지 않는다고 하는 것은, 측정 정보가 서브 레시피를 구성하는 서브 레시피 단계의 배열의 규칙성에 합치되지 않음을 의미한다. 이 처리에 의해, 서브 레시피를 구성하는 복수의 서브 레시피 단계가 반복하여 행해지고 있는지의 여부를 판단할 수 있으며, 이에 의해, 서브 레시피가 반복하여 행해졌다는 것을 판단할 수 있다. 서브 레시피가 반복되고 있던 경우, 그 시점에서 서브 레시피의 처리 회가 변경되므로, 측정치를 취득하는 처리가 종료된다.

(단계 S614) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트한다. 그리고, 단계 S603로 되돌아간다.

(단계 S615) 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트한다.

(단계 S616) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S603과 마찬가지로 n 번째의 측정 정보가 존재하는지의 여부를 판단한다. 존재하는 경우, 단계 S617로 진행하고, 존재하지 않는 경우, 상위 함수로 리턴한다. 또한, 존재하지 않는 경우, 대응하는 측정 정보가 없는 내용 등의 에러 출력을 행한 후, 상위 함수로 리턴해도 좋다.

(단계 S617) 측정 정보 취득부(1203)는, 단계 S604와 마찬가지로 n 번째의 측정 정보가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자와 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는지의 여부를 판단한다. 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖는 경우, 단계 S618로 진행하고, 일치하는 서브 레시피 식별자를 갖지 않는 경우, 단계 S620로 진행한다.

(단계 S618) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S612와 마찬가지로, n 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값이, n - 1 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 일치하는 경우, 단계 S615로 되돌아가고, 일치하지 않는 경우, 단계 S619로 진행한다.

(단계 S619) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S613과 마찬가지로, n 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값이, n - 1 번째의 측정 정보에 대응한 서브 레시피 단계 식별자의 값을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 일치하는 경우, 단계 S615로 되돌아가고, 일치하지 않는 경우, 단계 S605로 되돌아간다.

또한, 도 6의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트에 의해 처리는 종료된다.

또한, 도 6의 순서도에서, 서브 레시피가 연속하여 반복 실행되는 경우가 없다는 것을 사전에 알고 있는 경우, 서브 레시피 단계가 반복하여 행해지고 있는지 를 판단하는 처리가 불필요해지므로, 단계 S612 및 단계 S613의 처리와 단계 S618 및 단계 S619의 처리를 생략해도 좋다. 이 경우, 단계 S612의 처리에 의해, 서브 레시피 단계 식별자의 값이 일치한다고 판단된 경우, 단계 S607로 되돌아가고, 단계 S617의 처리에 의해 서브 레시피 단계 식별자의 값이 일치한다고 판단된 경우, 단계 S615로 되돌아간다.

또한, 도 5 및 도 6의 순서도에서, 유저가 출력 정보의 출력 지시를 입력함으로써, 실시간으로 이상 검지가 개시되고, 원정보를 수신할 때마다, 출력 정보(차트 등)를 갱신하면서 이상 검지 처리를 행하며, 이상이 발생하면 즉시 유저에게 알리는 것이 바람직하다. 즉, 도 5 및 도 6의 순서도에서, 이하의 처리를 행하는 것은 더욱 바람직하다. 예를 들면, 원정보 수신부(1202)는, 제조 장치(11)에서의 제조 중에, 제조 장치(11)로부터 연속하여 전송되는 원정보를 실시간으로 수신하고, 측정 정보 축적부(1204)는 측정 정보 저장부(1201)에 측정 정보를 적어도 일시적으로 순차적으로 축적한다. 그리고, 측정 정보 취득부(1203)는, 측정 정보를 축적할 때마다, 이 측정 정보에 대해, 단계 S503부터 단계 S619까지의 처리를 실시하면 좋다. 이 때, 도 6의 순서도에서는, 상술한 순차적으로 축적된 측정 정보를, n 번째의 측정 정보로서 적절히 취급하고, n의 값을 1 인크리먼트할 때에는, 다음에 축적되는 측정 정보를 적절히 취급하면 좋다. 이러한 처리에 의해, 실시간으로 제조 장치(11)의 상태를 확인할 수 있고, 또한 실시간으로 이상 검지가 행해지므로, 유저는 이상의 발생을 즉시 인식할 수 있다.

또한, 원하는 서브 레시피의 모든 처리 회의 측정치를, 처리 회마다 취득하 는 지시를 받아들인 경우에는, 도 5에 도시한 순서도에서 단계 S505의 처리를 생략하고, 또한 m 번째의 처리 회의 값을 m으로 설정, 즉 m = s로 설정하여, m의 값을 1 인크리먼트시키면서, 단계 S506의 처리, 즉 도 6의 순서도의 처리를 반복하여 처리 회마다의 측정치를 취득하고, 또한 단계 S506의 처리, 즉 도 6의 순서도의 처리에서, 에러가 출력되는 등에 의해 측정치가 취득되지 않은 경우에 단계 S509로 진행하면 좋다.

또는, 원하는 서브 레시피 식별자를 갖는 측정 정보를, 다른 단계 식별자마다 취득하여, 원하는 서브 레시피의 모든 처리 회의 측정치를, 처리 회마다 취득해도 좋다.

이어서, 클라이언트 장치(13)의 동작에 대하여 설명한다. 클라이언트 장치(13)의 지시 입력부(1301)가 유저로부터 차트의 출력 지시를 받아들인 경우, 지시 송부부(1302)는 해당 출력 지시를 서버 장치(12)로 송부하고, 서버 장치(12)에서의 처리 결과인 차트의 정보를 접수부(1303)가 받아들여, 표시부(1304)가 차트를 표시한다.

이하, 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 군 관리 시스템의 개념도는 도 1이다.

도 7은 하나 이상의 제조 장치(11)의 레시피 저장부(1102)에 저장되어 있는 레시피를 관리하는 레시피 관리표이다. 레시피 관리표는 「레시피 식별자」, 「단계 식별자」, 「처리 조건」이라고 하는 속성을 가지고 있다. 「레시피 식별자」는 레시피 식별자, 「단계 식별자」는 레시피를 구성하는 단계의 단계 식별자, 「처리 조건」은 각 단계의 처리 조건, 예를 들면, 처리 시간 또는 처리 온도 등의 설정이다. 또한, 「단계 식별자」의 속성치가 서브 레시피 식별자인 경우, 그 서브 레시피의 처리가 해당 단계에서 실행되는 것을 나타낸다.

도 8은, 하나 이상의 제조 장치(11)의 레시피 저장부(1102)에 저장되어 있는 서브 레시피를 관리하는 서브 레시피 관리표이다. 서브 레시피 관리표는 「서브 레시피 식별자」, 「서브 레시피 단계 식별자」, 「처리 조건」이라고 하는 속성을 갖고 있다. 「서브 레시피 식별자」는 서브 레시피 식별자, 「단계 식별자」는 서브 레시피를 구성하는 서브 레시피 단계의 서브 레시피 단계 식별자, 「처리 조건」은 각 서브 레시피 단계의 처리 조건, 예를 들면, 처리 시간 또는 처리 온도 등의 설정이다. 또한, 서브 레시피 및 서브 레시피 단계는 기본적으로는 레시피 및 단계와 동일하므로, 서브 레시피 대신에 레시피를 이용할 수도 있다.

본 구체예에서, 하나 이상의 제조 장치(11)의 입력 접수부(1101)가, 유저로부터의 웨이퍼에 대한 가공 처리의 개시 지시를 받아들이면, 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 독출하고, 독출한 레시피를 레시피 단계마다 실행하여, 웨이퍼의 가공 처리를 진행한다. 그리고, 측정부(1106)는, 웨이퍼의 가공 처리 중, 예를 들면 1 초마다, 사전에 결정된 로(爐) 내의 가스 유량을 측정하여, 취득한 가스 유량과, 계시부(1104)로부터 취득한 시각 정보와, 레시피 저장부(1102)로부터 취득한 단계 식별자를 조로 한 원정보를 구성한다. 이 때, 실행하는 단계가 서브 레시피를 실행하는 단계인 경우, 그 서브 레시피를 구성하는 서브 레시피 단계를 순차적으로 실행한다. 그리고, 취득한 가스 유량 등의 측정치와, 계시 부(1104)로부터 취득한 시각 정보와, 레시피 저장부(1102)가 취득한 단계 식별자에 부가하여, 실행중인 서브 레시피 식별자와, 실행중인 서브 레시피 단계 식별자를 조로 한 원정보를 추가로 구성한다. 구성한 원정보는 원정보 축적부(1107)에 의해 일시적으로 축적된다. 축적된 원정보의 예는 도 9이다. 여기서는 설명을 간단히 하기 위해 측정치가 가스 유량의 측정치인 경우에 대하여 설명하고, 이하에 대해서도 마찬가지하다. 또한, 서브 레시피 식별자와 서브 레시피 단계 식별자가 없는 원정보에 대해서는 이들 식별자를 생략하거나, 또는 이들 식별자가 저장되는 위치에, 이들 식별자가 없음을 나타내는 정보를 저장해 둔다. 원정보는 단계 식별자, 서브 레시피 식별자, 서브 레시피 단계 식별자, 가스 유량, 시각 정보를 갖는다. 또한, 시각 정보는 시각을 나타내는 정보이며, 시·분·초까지를 특정하는 정보여도 좋고, 일시(日時) 및 시(時)만의 정보여도 좋다. 또한, 이 원정보가 데이터 타입(측정 정보의 데이터의 종류이며, 예를 들면, 가스 유량 또는 온도 또는 압력 등이 있음)의 정보, 여기에서는 가스 유량임을 나타내는 정보를 포함하여도 좋다.

제조 장치(11)의 원정보 송신부(1108)는, 레시피를 구성하는 모든 단계의 실행이 완료된 단계에서, 원정보 축적부(1107)에 의해 축적된 원정보를 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 제조 장치(11)의 원정보 송신부(1108)는, 제조 장치 식별자 저장부(1103)의 제조 장치 식별자, 및 레시피 저장부(1102)의 레시피 식별자(피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행할 때에 실행한 레시피의 식별자)를 독출하여, 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 여기서는 모든 레시피 단계가 종료된 때에, 원정보를 서버 장치(12)로 송신하였으나, 예를 들면, 하나의 원정보를 취득할 때마다, 실시간으로 서버 장치(12)로 송신하여도 좋다.

이어서, 서버 장치(12)의 원정보 수신부(1202)는 단계 식별자와 가스 유량과 시각 정보와의 조(組)에 의해 구성되는 원정보를 수신한다. 또한, 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자를 수신한다. 그리고, 측정 정보 축적부(1204)는 단계 식별자와 가스 유량과 시각 정보의 복수의 조, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자를 갖는 원정보를 도시하지 않은 메모리 등에 축적한다. 이러한 원정보의 예를 도 10에 나타낸다. 도 10은 원정보 관리표이다. 원정보 관리표는 「제조 장치 식별자」, 「레시피 식별자」, 「단계 식별자」, 「단계 식별자」, 「서브 레시피 식별자」, 「값(가스 유량)」, 「시각 정보」를 갖는다. 도 10의 원정보 관리표는, 하나의 제조 장치 식별자 및 레시피 식별자에 대해, 값(여기서는 한 종류)과 단계 식별자와 시각 정보와의 복수의 조가 대응하는 데이터 구조를 갖고 있다. 또한, 도 10에서는, 하나 이상의 제조 장치(11) 및 복수의 레시피의 실행에 대응한 원정보가 관리되고 있다. 또한, 도 10의 원정보 등의 값은 설명을 위해 준비한 정보이며, 실측치는 아니다.

이어서, 측정 정보 축적부(1204)는, 도 10에 나타낸 복수의 원정보에 대해 소정의 연산을 행하여, 복수의 측정 정보를 취득한다. 여기서는, 소정의 연산은 평균치의 산출이며, 측정 정보 축적부(1204)는 10 초 간격으로 평균치를 산출한다. 측정 정보 축적부(1204)는 이 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다. 도 11은 측정 정보 축적부(1204)에 축적되어 있는 측정 정보를 관리하기 위한 측정 정보 관리표이다. 측정 정보 관리표는 「제조 장치 식별자」, 「레시피 식 별자」, 「단계 식별자」, 「서브 레시피 식별자」, 「서브 레시피 단계 식별자」, 「평균치(가스 유량)」「시각 정보」를 갖는다. 「제조 장치 식별자」, 「레시피 식별자」, 「단계 식별자」, 「서브 레시피 식별자」, 「서브 레시피 단계 식별자」, 「시각 정보」는 도 10과 동일하다. 또한, 평균치는 측정 정보 축적부(1204)가 산출한 평균치이다.

또한, 조건 정보 저장부(1209)에는 로(爐) 내의 가스 유량의 정상 / 이상을 판단하는 조건 정보 「260 ＜ = 가스 유량 ＜ = 280」을 저장한다.

이러한 상황에서, 유저는 클라이언트 장치(13)로부터 도 12에 나타낸 화면에 대해 필요한 정보를 입력하고, 「차트 출력」버튼을 누른다. 도 12는 차트의 출력 지시를 입력하여 차트를 출력하기 위한 화면이다. 여기서, 필요한 정보란, 출력하고자 하는 서브 레시피를 지정하기 위한 정보, 구체적으로는 서브 레시피 식별자와, 그 서브 레시피의 하나 이상의 처리 회를 지정하는 정보, 여기서는 1 회째, 3 회째를 지정하는 정보이며, 도 12에 나타내는 바와 같이, 필드(101)에 서브 레시피 식별자가, 또한 필드(102)에 출력 대상이 되는 처리 회를 지정하는 값이 입력되어 있다. 또한, 「전체」를 지정하는 체크 박스(103)에 체크를 입력하면, 처리 회 전체를 출력 대상으로 지정하게 된다. 이 정보 이외에는, 데이터 타입(측정 정보의 데이터의 종류이며, 예를 들면, 가스 유량 또는 온도 또는 압력 등이 있음), 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 중의 하나 이상의 정보 등의 정보가 적절하게 지정된다. 또 12에서는, 서브 레시피 식별자 「SR01」 및 처리 회 「1, 3」과, 데이터 타입 「가스 유량」과, 제조 장치 식별자 「E1」과, 레시피 식별자 「R1」이 입력되 어 있게 된다. 따라서, 이러한 상황에서, 유저가 「차트 출력」버튼을 누르면, 지시 입력부(1301)는 「가스 유량」의 측정 정보(예를 들면, 도 11에 나타내는 정보) 중, 「서브 레시피 식별자 = SR01」 및 「처리 회 = 1, 2, 3」 및 「제조 장치 식별자 = E1」 및 「레시피 식별자 = R1」의 조건에 합치되는 측정 정보를 출력하는 출력 지시를 받아들인다. 또한, 이러한 출력 지시의 예는, 예를 들면, 「차트 출력 서브 레시피 식별자 = “SR01”, 처리 회 = “1, 3”, 데이터 타입 = “가스 유량”, 제조 장치 식별자 = “E1”, 레시피 식별자 = “R1”」이다.

이어서, 지시 송부부(1302)는 출력 지시 「차트 출력 서브 레시피 식별자 = “SR01”, 처리 회 = “1, 3”, 데이터 타입 = “가스 유량”, 제조 장치 식별자 = “E1”, 레시피 식별자 = “R1”」을 서버 장치(12)로 송신한다.

그리고, 서버 장치(12)의 지시 접수부(1205)는 출력 지시 「차트 출력 서브 레시피 식별자 = “SR01”, 처리 회 = “1, 3”, 데이터 타입 = “가스 유량”, 제조 장치 식별자 = “E1”, 레시피 식별자 = “R1”」을 수신한다.

이어서, 서버 장치(12)의 측정 정보 취득부(1203)는, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보로부터, 출력 지시 「차트 출력 서브 레시피 식별자 = “SR01”, 처리 회 = “1, 3”, 데이터 타입 = “가스 유량”, 제조 장치 식별자 = “E1”, 레시피 식별자 = “R1”」에 합치되는 측정 정보를 검색하여 취득한다.

우선, 측정 정보 취득부(1203)는 첫 번째의 처리 회인 1 회째에 실행된 서브 레시피에 대한 측정 정보를 취득한다. 측정 정보 취득부(1203)는 도 11에 나타내는 측정 정보 관리표에 기초하여 처리 회(s)의 값을 「1」로 설정한다. 그리고, 측정 정보 취득부(1203)는, 카운터(n)의 값을 1로 설정하여, 이 카운터(n)의 값을 1씩 인크리먼트하면서, 제조 장치 식별자가 “E1”이고, 레시피 식별자가 “R1”인 측정 정보 중, 시간축에 따른 n 번째의 측정 정보에 대하여, 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 순차적으로 판단해 간다. 여기서는, 단계 식별자가 「S1」인 측정 정보는, 모두 서브 레시피 식별자를 가지고 있지 않으므로, 단계 식별자가 「S2」인 측정 정보 중의 최초의 측정 정보, 즉, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：20：00」인 측정 정보의 서브 레시피 식별자가 “SR01”과 일치한다고 판단된다. 그리고, 카운터(k)의 값을 「1」로 설정한다. 이 카운터(k)의 값이, 처리 회(s)의 값인 「1」과 일치하므로, 측정 정보 취득부(1203)는 이 측정 정보를 취득하여 메모리 등에 축적한다. 또한, 이 때, 「값(가스 유량)」의 속성치만을 취득하여 축적해도 좋다. 이 점은, 측정 정보 취득부(1203)가 그 밖의 측정 정보를 취득할 때에도 마찬가지이다.

이어서, 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트시켜 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：20：10」인 측정 정보의 「서브 레시피 식별자」가 출력 지시의 「SR01」과 일치한다.

이어서, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부 분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자와 일치하고 있으므로, 이 측정 정보를 취득하여 축적한다.

그리고, 마찬가지의 처리를 반복한다. 또한, 여기서는 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：20：00」부터 「2005 / 12 / 02 16：24：50」까지의 사이에, 서브 레시피의 반복은 행해지지 않고, 서브 레시피 단계 식별자 SRS004의 서브 레시피 단계와, 서브 레시피 단계 식별자 SRS005의 서브 레시피 단계가 각각 1 회씩 행해졌을 뿐이며, 이들 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자는 SRS004로부터 SRS005로 시간축을 따라 수치 부분이 단조롭게 증가하고 있다. 그리고, n 번째의 측정 정보가, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：25：00」인 측정 정보가 된 시점에서, 이 측정 정보의 서브 레시피 식별자가 「SR02」가 되지 않으므로, 1 회째의 서브 레시피의 실행에서 얻어진 측정 정보를 취득하는 처리가 종료된다. 이에 의해, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：20：00」부터 「2005 / 12 / 02 16：24：50」까지의 측정 정보가 측정 정보 취득부(1203)에 의해 취득된다. 또한, 여기서는 처리의 종료 시에 처리 회(s)의 값을 측정 정보에 부가하여 축적한다.

이어서, 측정 정보 취득부(1203)는 제 2 번째의 원하는 처리 회인 3 회째에 실행된 서브 레시피에 대한 측정 정보를 취득한다. 측정 정보 취득부(1203)는, 도 11에 나타내는 측정 정보 관리표에 기초하여, 처리 회(s)의 값을 「3」으로 설정한다. 그리고, 측정 정보 취득부(1203)는, 카운터(n)의 값을 1로 설정하고, 이 카운터(n)의 값을 1씩 인크리먼트하면서, 제조 장치 식별자가 “E1”이고, 레시피 식별 자가 “R1”인 측정 정보 중, 시간축을 따른 n 번째의 측정 정보에 대하여, 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 순차적으로 판단해 간다. 여기서는, 단계 식별자가 「S1」인 측정 정보는, 모두 서브 레시피 식별자를 가지고 있지 않으므로, 단계 식별자가 「S2」인 측정 정보 중의 최초의 측정 정보, 즉 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：20：00」인 측정 정보의 서브 레시피 식별자가 “SR01”과 일치한다고 판단된다. 그리고, 카운터(k)의 값을 초기값인 「0」으로부터, 값을 1 인크리먼트한 「1」로 설정한다. 이 카운터(k)의 값이 처리 회(s)의 값인 「3」과 일치하지 않으므로, 측정 정보 취득부(1203)는 이 측정 정보를 취득하지 않는다.

이어서, 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트시켜 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는, 일치하므로, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부가 판단된다. 여기에서는 일치하므로, 다시 n의 값을 1씩 인크리먼트시켜, 다시 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부의 판단 처리와, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부의 판단 처리가 반복된다.

그리고, n 번째의 측정 정보가, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：25：00」인 측정 정보가 된 시점에서, 이 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 「SR02」가 되지 않으므로, 1 회째에 실행된 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 취득하는 처리가 종료된다.

그리고, 측정 정보 취득부(1203)는, 다시 카운터(n)의 값을 1 인크리먼트하면서, 제조 장치 식별자가 “E1”이고, 레시피 식별자가 “R1”인 측정 정보 중, 시간축을 따른 n 번째의 측정 정보에 대하여, 서브 레시피 식별자가 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 순차적으로 판단해 간다. 여기서는, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：55：00」인 측정 정보의 「서브 레시피 식별자」가 출력 지시의 「SR01」과 일치한다. 그리고, 카운터(k)의 값을 1 인크리먼트하여 「2」로 설정한다. 이 카운터(k)의 값이 처리 회(s)의 값인 「1」과 일치하지 않으므로, 측정 정보 취득부(1203)는 이 측정 정보를 취득하지 않는다.

이어서, 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(n)를 1 인크리먼트시켜 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는 일치하므로, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부가 판단된다. 여기서는 일치하므로, 다시 n의 값을 1씩 인크리먼트시켜, 다시 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부의 판단 처리와, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부의 판단 처리가 반복된다

여기에서, n 번째의 측정 정보가 「2005 / 12 / 02 17：00：00」인 측정 정보가 된 경우, 그 서브 레시피 단계 식별자 「SR004」의 수치 부분「004」는 n - 1 번째의 측정 정보인 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：59：50」인 측정 정보의, 서브 레시피 단계 식별자 「SR005」의 수치 부분「004」보다 값이 작아지고 있다. 이 때문에, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하지 않는다고 판단된다. 그리고 카운터(k)의 값이 1 인크리먼트되어, 카운터(k)의 값이 「3」으로 설정된다. 그리고, 카운터(k)의 값이 처리 회(s)의 값과 동일한 「3」이 되므로, 이 n 번째의 측정 정보가 취득된다.

이어서, 측정 정보 취득부(1203)는 카운터(k)를 1 인크리먼트시켜 n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 식별자가, 출력 지시에 포함되는 서브 레시피 식별자인 SR01과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 17：00：10」인 측정 정보의 「서브 레시피 식별자」가 출력 지시의 「SR01」과 일치한다.

이어서, n 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가, n - 1 번째의 측 정 정보의 서브 레시피 단계 식별자, 또는 그 서브 레시피 단계 식별자의 수치 부분을 1 인크리먼트한 값과 일치하는지의 여부를 판단한다. 여기서는, n - 1 번째의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자와 일치하고 있으므로, 이 측정 정보를 취득하여 축적한다.

그리고, 동일한 처리를 반복한다. 또한, 여기서는, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 17：00：00」부터 「2005 / 12 / 02 17：04：50」까지의 동안에, 서브 레시피의 반복은 행하여지지 않고, 서브 레시피 단계 식별자 SRS004의 서브 레시피 단계와, 서브 레시피 단계 식별자 SRS005의 서브 레시피 단계가, 각각 1 회씩 실행되었을 뿐이며, 이들 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자는 SRS004로부터 SRS005로 시간축을 따라 수치 부분이 단조롭게 증가하고 있다. 그리고, n 번째의 측정 정보가, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 17：05：00」인 측정 정보가 된 시점에서, 이 측정 정보의 서브 레시피 식별자가 「SR02」로 되지 않으므로, 3 회째의 서브 레시피의 실행에서 얻어진 측정 정보를 취득하는 처리가 종료된다. 이에 의해, 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 17：00：00」부터 「2005 / 12 / 02 17：04：50」까지의 측정 정보가 측정 정보 취득부(1203)에 의해 취득된다.

도 13은 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 측정 정보를 관리하기 위한 취득 정보 관리표이다. 취득 정보 관리표는 「제조 장치 식별자」, 「레시피 식별자」, 「단계 식별자」, 「서브 레시피 식별자」, 「서브 레시피 단계 식별자」, 「평균치(가스 유량)」, 「시각 정보」를 갖는다. 「제조 장치 식별자」, 「레시피 식별자」, 「단계 식별자」, 「서브 레시피 식별자」, 「서브 레시피 단계 식별자」, 「평균치(가스 유량)」, 「시각 정보」는 도 10과 동일하다.

여기에서, 예를 들면, 상술한 처리 회로서 1 회째와 3 회째를 지정하는 대신에, 서브 레시피를 2 회째에 처리한 때의 측정 정보를 취득하는 출력 지시를 받아들인 경우, 카운터(k)의 값이 s = 2가 된 시점의 측정 정보로부터 카운터(k)의 값이 s = 3이 되기 직전까지의 측정 정보, 즉 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 17：00：00」인 측정 정보로부터 「시각 정보」가 「2005 / 12 / 02 16：59：50」까지의 측정 정보가 취득된다.

이어서, 이상 검지부(1210)는, 측정 정보 취득부(1203)로부터 도 11에 나타낸 바와 같은 측정 정보를 취득하고, 또한 조건 정보 저장부(1209)로부터 조건 정보 「260 < = 가스 유량 < = 280」을 독출하며, 해당 조건 정보를 이용하여, 서브 레시피의 각각의 처리 회에서 얻어진 측정 정보에 대해 이상을 검지한다. 예를 들면, 도 13의 측정 정보의 모든 「평균치」가 260 미만이므로, 모두 이상치라고 판단된다

이어서, 출력 정보 구성부(1206)는, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 도 13의 정보와, 이상 검지부(1210)의 판단 결과를 이용하여, 출력 정보인 차트를 구성한다. 본 차트는 가로축이 시각 정보를 나타내는 시각, 세로축이 값(가스 유량의 평균치)인 꺾은선 그래프이다. 또한, 시각은 서브 레시피의 실행 개시 시각을 0 분 0 초로 한 상대 시각으로 나타내고 있다. 또한, 처리 회마다 상이한 그래프를 구성하고 있다.

이어서, 출력부(1207)는 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 꺾은선 그래프를 클라이언트 장치(13)로 송신한다.

클라이언트 장치(13)의 접수부(1303)는 해당 꺾은선 그래프를 수신하고, 표시부(1304)는 도 14에 나타낸 바와 같이 꺾은선 그래프를 디스플레이에 표시한다. 도 14에서, 정상 범위는 사선으로 표시하고 있다. 또한 측정 정보에 포함되는 「처리 회」의 값을 이용하여, 출력 정보 구성부(1206)에서 구성한 범례가 출력되어 있다.

또한, 여기서 출력 정보 구성부(1206)가, 도 15에 나타낸 바와 같이, 처리 회가 다른 측정 정보 중, 서브 레시피의 개시 시각으로부터 동일한 시각이 경과한 때에 얻어진 측정 정보끼리의 평균치를 산출하고, 이 평균치의 그래프를 작성하여, 도 14의 그래프와 중첩하여 출력해도 좋다.

또한, 상기 구체예에서, 원하는 서브 레시피의 모든 처리 회의 측정치를, 처리 회마다 취득하는 지시를 받아들인 경우에는, 예를 들면, 카운터(k)의 값이 1 인크리먼트될 때마다의 서브 레시피에 대응한 측정 정보를, 상기 구체예와 동일하게 취득하면 된다. 이 경우, 처리 대상이 되는 측정 정보, 예를 들면, 상기 구체예에서의 n 번째의 측정 정보가 사라진 시점에서 처리를 종료하면 된다.

또한, 상기 구체예에서는, 동일한 서브 레시피 내의 서브 레시피 단계에 대한 서브 레시피 단계 식별자로서, 서브 레시피 단계가 실행되는 순서에 따라, 값 또는 그 수치 부분의 값이 1씩 증가하는 식별자를 이용하고, 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자의 값 또는 수치 부분의 값이, 직전의 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자에 대해 동일하거나 1 인크리먼트한 값이 아닌 경우에, 서브 레시피의 처리 회를 카운트 업했다. 그러나, 본 실시예에서는, 동일한 서브 레시피 내의 서브 레시피 단계에 대한 서브 레시피 단계 식별자가, 서브 레시피 단계의 배열 순서 등을 특정할 수 있는 소정의 규칙성, 예를 들면 각 서브 레시피 단계 식별자가 a, b, c라고 하는 알파벳 순으로 배열되는 문자를 하나씩 갖는 등의 규칙성, 또는 각 서브 레시피 단계 식별자가 처리 순서에 따라 1 디클리먼트된 값을 갖는 등의 규칙성을 가지고 있으며, 측정 정보의 서브 레시피 단계 식별자가 이 규칙성을 충족시키지 않는다고 판별된 경우에, 서브 레시피의 처리 회를 카운트 업해도 좋다.

이상, 본 실시예에 의하면, 반복 실행되는 서브 레시피에서 취득되어, 서버 장치(12)에 축적된 측정 정보에 대하여, 해당 서브 레시피의 처리 회를 지정하여, 해당 처리 회에서 얻어진 측정 정보를 선택적으로 출력할 수 있게 된다. 이에 의해, 필요한 정보만을, 순시(瞬時)에 제시할 수 있게되어, 제조 장치 등의 이상 검지를 포함한 감시를 효율적으로 실행할 수 있게 된다.

또한, 동일한 서브 레시피의 다른 처리 회에 얻어진 측정 정보끼리를 하나의 차트에 표시하여 이 둘을 비교하기 쉽게 하거나, 소정의 연산을 행하여, 처리 회의 상이함에 의한 측정 정보의 불균일성을 조사하거나, 또는 이상적인 측정치를 취득할 수 있으므로, 서브 레시피로부터 얻어진 측정 정보의 이용 가치를 높일 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 서버 장치(12)에서, 원하는 서브 레시피에 대응하여 얻어진 측정 정보의 군(群)의 출현 횟수를 카운트함으로써, 서브 레시피의 처리 회에 대응한 측정 정보의 군을 검출하여 취득했다. 그러나, 본 발명에서는, 이하와 같이 하여, 서브 레시피의 처리 회에 대응한 측정 정보를 검출하여 취득해도 좋다. 즉, 제조 장치(11)에서, 동일한 서브 레시피, 예를 들면, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 서브 레시피가 1 회 실행될 때마다, 그 서브 레시피가 행하여진 횟수를 카운터 등으로 카운트하고, 그 서브 레시피에서 얻어지는 모든 원정보 또는 최초의 원정보 또는 최후의 원정보 등에, 이 횟수의 카운트 결과를 나타내는 정보를 부여하여, 서버 장치(12)에 축적되는 측정 정보가, 서브 레시피가 행해진 횟수의 카운트 결과를 나타내는 정보를 포함한다. 그리고, 서버 장치(12)에서는, 이 측정 정보가 갖는, 서브 레시피가 행해진 횟수의 카운트 결과를 나타내는 정보로부터, 출력 지시에 의해 지정되는 원하는 처리 회에 대응한 측정 정보를 검출하여 취득해도 좋다.

또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 16에 나타내는 바와 같이, SPC 차트를 출력하는 지시인 출력 지시에 합치되는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 독출하고, 해당 독출한 측정 정보로부터, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보, 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보, 또는 그 모두를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 독출한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트여도 좋다. 또한, 도 16에 나타내는 SPC 차트는, 예를 들면, 하나의 제조 장치 식별자의 측정 정보로 구성되어 있는 SPC 차트이다. 또한, 도 16에 나타내는 SPC 차트에서, 관리치(상한) 및 관리치(하한)가 출력되어 있다. 이 관리치를 벗어난 값이 된 경우, 이상(異常)임을 나타내고 있다. 관리치(상한) 및 관리치(하한)는 조건 정보 저장 부(1209)가 사전에 유지하고 있다. 또한, 도 16에서 이용한 측정 정보 등은 설명을 위해 준비된 측정 정보이며, 본 실시예에서 설명한 측정 정보와는 상이한 것이다.

또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 상관 차트를 출력하는 지시인 출력 지시에 합치되는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 독출하고, 해당 독출한 측정 정보로부터, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보, 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보, 또는 그 모두를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보(예를 들면, 온도와 압력 등)의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트여도 좋다. 또한, 도 17에 나타내는 상관 차트는, 예를 들면, 하나의 제조 장치 식별자의, 두 종류의 측정 정보로 구성되어 있는 상관 차트이다. 또한, 도 17에 나타내는 상관 차트에서, 두 개의 관리치가 출력되어 있다. 이 두 개의 관리치의 범위를 벗어난 값이 된 경우, 이상임을 나타내고 있다. 또한, 도 17에서 이용한 측정 정보 등은 설명을 위해 준비된 측정 정보이며, 본 실시예에서 설명한 측정 정보와는 상이한 것이다.

또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 18에 나타내는 바와 같이, MD(마할라노비스 거리) 차트를 출력하는 지시인 출력 지시가 포함하는 하나 이상의 제조 장치 식별자 중 어느 하나, 또는 하나 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나, 또는, 하나 이상의 제조 장치 식별자 중 어느 하나 및 하나 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를, 측정 정보 저장부(1201)로부터 독출하고, 해당 독출한 측정 정보로부터, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보, 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보, 및 그 양쪽 모두의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보(예를 들면, 2 개소의 온도와 가스 유량과 압력)의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트여도 좋다. 또한, 도 18에 나타내는 MD 차트는, 예를 들면, 하나의 제조 장치 식별자의 측정 정보로 구성되어 있는 MD 차트이다. 또한, 도 18에 나타내는 MD 차트는, 마할라노비스의 거리를 이용하여, 예를 들면, 이상 판정하고 있는 차트이다. 보다 구체적으로는, 도 18에 나타내는 MD 차트는, 정상 시의 데이터를 모델화하고, 마할라노비스의 거리를 이용하여 이상 시의 정도를 수치로 나타내는 차트이다. 또한, 도 18에 나타내는 MD 차트에서, 두 개의 관리치가 출력되어 있다. 이 두 개의 관리치의 범위를 벗어난 값이 된 경우, 이상임을 나타내고 있다. 또한, 도 18에서 이용한 측정 정보 등은 설명을 위해 준비된 측정 정보이며, 본 실시예에서 설명한 측정 정보와는 상이한 것이다.

또한, 본 실시예의 구체예에서, 출력된 차트는, 하나의 제조 장치 식별자 또는 하나의 레시피의 측정 정보가 표시된 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 독출한 복수의 측정 정보를 연결한 하나의 꺾은선 그래프였다. 그러나, 출력되는 차트는, 도 19에 나타내는 바와 같이, 출력 지시가 포함하는 세 개의 제조 장치 식별자를 갖는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 독출하고, 해당 독출한 측정 정보로부터, 제조 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 독출한 복수의 측정 정보를 플로팅한 세 개의 차트여도 좋다. 이러한 경우, 출력 지시는, 예를 들면, 「장치 A」「장치 B」「장치 C」의 세 개의 제조 장치 식별자를 포함한다. 그리고, 측정 정 보 취득부(1203)는 「장치 A」「장치 B」「장치 C」를 각각 키로 하여, 세 번 측정 정보 저장부(1201)를 검색하고, 세 번 측정 정보를 취득하며, 각각의 키마다에, 출력 정보 구성부(1206)는, 상이한 점 또는 선의 속성치의 차트를 별개로 구성하여, 세 개의 차트를 얻는다. 그리고, 세 개의 차트가 출력된다. 또한, 도 19에서 이용한 측정 정보 등은 설명을 위해 준비된 측정 정보이며, 본 실시예에서 설명한 측정 정보와는 상이한 것이다.

본 실시예에서, 상기와 같이 세 개 이상의 차트(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)의 표시 형태를 자유롭게 선택할 수 있으므로, 다양한 관점에서 감시 또는 감시 결과의 분석이 가능해진다.

또한, 본 실시예의 구체예에서, 원정보 또는 측정 정보는 사전에 서버 장치(12)가 유지하고 있어도 좋다. 이러한 경우, 원정보 또는 측정 정보는, 도시하지 않은 수단에 의해 제조 장치(11)로부터 취득되어, 기록 매체 등을 경유하여 서버 장치(12)로 전달된다.

또한, 본 실시예에서, 유저는 착안하는 차트의 일부를 확대하는 지시를 입력하여, 해당 차트의 일부의 스케일을 변경하여(측정 정보의 시간 간격 또는 단계의 간격을 변경하여) 차트 출력하는 것은 바람직하다.

또한, 본 실시예에서, 원정보와 측정 정보가 동일한 구성이여도 좋다. 이러한 경우, 측정 정보 축적부는 불필요해진다.

또한, 본 실시예에서, 제조 장치와 서버 장치 간에서 원정보를 송수신하는 것은 필수적이지 않다. 원정보는, 예를 들면, 기록 매체를 경유하여, 제조 장치로 부터 서버 장치로 부여되어도 좋다.

또한, 본 실시예에서, 군 관리 시스템은 클라이언트 장치(13)을 갖지 않아도 좋다. 이러한 경우, 유저는 서버 장치(12)에 대해 출력 지시 등의 지시를 입력한다.

또한, 본 실시예의 구체예에서, 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자를 지정하여 차트를 출력하였으나, 하나 이상의 제조 장치 식별자 및 하나 이상의 레시피 식별자를 지정하여 차트를 출력해도 좋다. 유저가 하나 이상의 제조 장치 식별자 및 하나 이상의 레시피 식별자를 포함하는 출력 지정을 입력한 경우, 이상 검지부(1210)는 지정된 하나 이상의 각 제조 장치 식별자 및 하나 이상의 각 레시피 식별자를 각각 키로 하여 측정 정보(또는 원정보)를 검색하여, 이상을 검지하며, 출력 정보 구성부(1206)는 차트를 구성한다.

또한, 본 실시예에서, 제조 장치가 원정보를 취득할 때마다, 순차적으로 서버 장치(12)로 송신하는 구성인 경우, 서버 장치의 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 것을 트리거로 하여, 실시간으로 측정 정보의 취득 또는 이상 검지 처리를 행하고, 원정보를 수신할 때마다 출력 정보(차트 등)를 갱신하는 것은 매우 바람직하다. 이상이 발생했는지를 유저가 즉시 알기 때문이다. 또한, 이러한 실시간의 이상 검지는 이하의 처리와 같다. 즉, 이상 검지부는, 측정 정보 취득부가 연속하여 취득하는 측정 정보에 대해, 조건 정보에 합치되는지의 여부를 즉시 판단하고, 출력 정보 구성부는 이상 검지부의 판단 결과를 이용한 출력 정보를 연속적으로 구성하며, 출력부는 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 갱신하면서 출력한다.

또한, 상기 각 실시예에서, 각 처리(각 기능)는, 단일 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는 복수의 장치에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.

또한, 상기 각 실시예에서, 각 구성 요소는 전용의 하드웨어로 구성되어도 좋고, 또는 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는, 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어·프로그램을 CPU 등의 프로그램 실행부가 독출하여 실행함으로써, 각 구성 요소가 실현될 수 있다. 또한, 상기 각 실시예에서의 서버 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 측정 정보 저장부에 복수 저장된, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타낸 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수 단계와, 상기 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를, 상기 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득 단계와, 상기 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성 단계와, 상기 출력 정보 구성 단계에서 구성한 출력 정보를 출력하는 출력 단계를 실행시키기 위한 프로그램으로서, 상기 레시피는, 하나 이상의 서브 레시피를 포함하고, 상기 지시 접수 단계에서 받아들이는 출력 지시는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고, 상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 출력 지시에 의해 지정 된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군이 새롭게 출현하는 횟수를 카운트하고, 해당 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회와 일치한 회의 측정 정보의 군에 포함되는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고, 상기 측정 정보 취득 단계는, 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 단계에 대응한 둘 이상의 측정 정보가 반복 출현할 때에, 해당 반복 출현하는 하나 이상의 측정 정보를, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군으로 하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 상기 측정 정보는, 해당 측정 정보가 대응하는 서브 레시피를 식별하는 정보인 서브 레시피 식별자를 갖고, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보는, 동일한 서브 레시피 식별자를 가지며, 상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하고, 해당 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회(回)와 일치한 회(回)의 서브 레시피 식별자를 갖는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고, 상기 서브 레시피에 대응하는 측정 정보는, 단계를 식별하기 위한 단계 식별자를 포함하며, 상기 측정 정보 취득 단계는, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 연속된 측정 정보에서, 둘 이상의 단계 식별자가 반복 출현할 때마다 카운트 업을 행하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 상기 지시 접수 단계는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 둘 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 상기 출력 지시를 받아들이고, 상기 측정 정보 취득 단계는, 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 취득하며, 상기 출력 정보 구성 단계는, 상기 측정 정보 취득 단계에서 취득한 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대해, 소정의 연산을 행하고, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에서, 정보를 송신하는 송신 단계 또는 정보를 수신하는 수신 단계 등에서는, 하드웨어에 의해 행해지는 처리, 예를 들면, 송신 단계에서의 모뎀 또는 인터페이스 카드 등으로 행해지는 처리(하드웨어로만 행해지는 처리)는 포함되지 않는다.

또한, 이 프로그램은, 서버 등으로부터 다운로드됨으로써 실행되어도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, CD - ROM 등의 광 디스크 또는 자기(磁氣) 디스크, 반도체 메모리 등)에 기록된 프로그램이 독출됨으로써 실행되어도 좋다.

또한, 상기 프로그램을 실행하는 컴퓨터는 단수여도 좋고, 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 행하여도 좋고, 또는 분산 처리를 행하여도 좋다.

또한, 상기 각 실시예에서, 하나의 장치에 존재하는 둘 이상의 통신 수단(정보 송신부 등)은 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 당연히 좋다.

본 발명은, 이상의 실시예에 한정되지 않고, 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 당연히 포함된다.

또한, 상기 각 실시예에서는, 서버 장치가 스탠드얼론(stand-alone)인 경우에 대하여 설명하였으나, 서버 장치는, 스탠드얼론 장치이여도 좋고, 서버·클라이언트 시스템에서의 서버 장치이여도 좋다. 후자의 경우에는, 출력부 또는 접수부는 통신 회선을 통하여 입력을 받아들이거나 화면을 출력하게 된다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 서버 장치 등은, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 해당 하나 이상의 제조 장치와 접속되는 서버 장치를 구비하는 군 관리 시스템의 서버 장치 등으로서 적합하고, 특히, 서브 레시피 등에서 취득된 측정 정보 등을 선택적으로 출력할 수 있는 서버 장치 등으로서 유용하다.

Claims

피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치와, 상기 하나 이상의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하여 이상 검지를 행하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 상기 서버 장치로서,

상기 하나 이상의 제조 장치에 서 측정된 정보에 대한 시 계열(時系列)의 정보이며, 상기 제조 장치에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와,

상기 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부와,

상기 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를, 상기 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득부와,

상기 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부와,

상기 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부를 구비하고,

상기 레시피는, 하나 이상의 서브 레시피를 포함하며,

상기 지시 접수부가 받아들이는 출력 지시는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회(回)에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고,

상기 측정 정보 취득부는, 상기 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 측정 정보 취득부는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군이 새롭게 출현하는 횟수를 카운트하여, 상기 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회(回)와 일치한 회(回)의 측정 정보의 군에 포함되는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 서버 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 측정 정보 취득부는, 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 단계에 대응한 둘 이상의 측정 정보가 반복 출현할 때에, 상기 반복 출현하는 하나 이상의 측정 정보를, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군으로 하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 측정 정보는, 상기 측정 정보가 대응하는 서브 레시피를 식별하는 정보인 서브 레시피 식별자를 갖고,

상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보는, 동일한 서브 레시피 식별자를 가지며,

상기 측정 정보 취득부는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정 보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하여, 상기 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회와 일치한 회의 서브 레시피 식별자를 갖는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 서버 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고,

상기 서브 레시피에 대응하는 측정 정보는, 단계를 식별하기 위한 단계 식별자를 포함하며,

상기 측정 정보 취득부는, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 연속한 측정 정보에서, 둘 이상의 단계 식별자가 반복 출현할 때마다 카운트 업을 행하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 지시 접수부는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 둘 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 상기 출력 지시를 받아들이고,

상기 측정 정보 취득부는, 둘 이상의 다른 회(回)의 서브 레시피에 대응한 측정 정보를 취득하며,

상기 출력 정보 구성부는, 상기 측정 정보 취득부가 취득한 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대해, 소정의 연산을 행하여, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 취득한 측정 정보를, 상기 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하고,

상기 출력부는,

상기 출력 정보 구성부가 구성한 SPC 차트를 출력하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 출력 정보 구성부는,

상기 취득한 측정 정보로부터, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하고,

상기 출력부는,

상기 출력 정보 구성부가 구성한 상관 차트를 출력하는 서버 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 출력 정보 구성부는,

상기 취득한 측정 정보로부터, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD(마할라노비스 거리) 차트를 구성하고,

상기 출력부는,

상기 출력 정보 구성부가 구성한 MD 차트를 출력하는 서버 장치.
컴퓨터에,

측정 정보 저장부에 복수 저장된, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 하나 이상의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 소정의 레시피를 실행한 경우의 측정치와 시각을 나타낸 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수 단계와,

상기 출력 지시에 의해 지정된 측정 정보를, 상기 측정 정보 저장부로부터 취득하는 측정 정보 취득 단계와,

상기 취득한 측정 정보를 이용한 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성 단계와,

상기 출력 정보 구성 단계에서 구성한 출력 정보를 출력하는 출력 단계를 실행시키기 위한 프로그램으로서,

상기 레시피는, 하나 이상의 서브 레시피를 포함하고,

상기 지시 접수 단계에서 받아들이는 출력 지시는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 하나 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 지시를 갖고,

상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 출력 지시에 의해 지정된 서브 레시피에 대응하는 측정 정보를 취득하는 프로그램.
제 10 항에 있어서,

상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군이 새롭게 출현하는 횟수를 카운트하고, 상기 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회와 일치한 회의 측정 정보의 군에 포함되는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 프로그램.
제 11 항에 있어서,

상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고,

상기 측정 정보 취득 단계는, 서브 레시피를 구성하는 둘 이상의 단계에 대응한 둘 이상의 측정 정보가 반복 출현할 때에, 상기 반복 출현하는 하나 이상의 측정 정보를, 상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보의 군으로 하는 프로그램.
제 10 항에 있어서,

상기 측정 정보는, 상기 측정 정보가 대응하는 서브 레시피를 식별하는 정보인 서브 레시피 식별자를 갖고,

상기 복수 회 실행되는 서브 레시피에 대응한 측정 정보는, 동일한 서브 레 시피 식별자를 가지며,

상기 측정 정보 취득 단계는, 상기 측정 정보 저장부에 저장되어 있는 측정 정보에 대하여, 상기 출력 지시에 의해 지정된 복수 회 실행되는 서브 레시피의 서브 레시피 식별자가 새롭게 검출된 횟수를 카운트하고, 상기 카운트 수가, 상기 출력 지시에 의해 지정된 원하는 회(回)와 일치한 회(回)의 서브 레시피 식별자를 갖는 하나 이상의 측정 정보를 취득하는 프로그램.
제 13 항에 있어서,

상기 서브 레시피는 둘 이상의 단계를 포함하고,

상기 서브 레시피에 대응하는 측정 정보는, 단계를 식별하기 위한 단계 식별자를 포함하며,

상기 측정 정보 취득 단계는, 동일한 서브 레시피 식별자를 갖는 연속된 측정 정보에서, 둘 이상의 단계 식별자가 반복 출현할 때마다 카운트 업을 행하는 프로그램.
제 10 항에 있어서,

상기 지시 접수 단계는, 상기 레시피에서 복수 회 실행되는 서브 레시피 중, 둘 이상의 원하는 회에 실행되는 서브 레시피를 지정하는 상기 출력 지시를 받아들이고,

상기 측정 정보 취득 단계는, 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측 정 정보를 취득하며,

상기 출력 정보 구성 단계는, 상기 측정 정보 취득 단계에서 취득한 둘 이상의 다른 회의 서브 레시피에 대응한 측정 정보 중, 각 서브 레시피 내의 소정의 시작점으로부터의 경과 시간이 일치하는 측정 정보에 대해, 소정의 연산을 행하여, 그 연산 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 프로그램.