WO2008015881A1 - dispositif de serveur et programme - Google Patents

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WO2008015881A1
WO2008015881A1 PCT/JP2007/063666 JP2007063666W WO2008015881A1 WO 2008015881 A1 WO2008015881 A1 WO 2008015881A1 JP 2007063666 W JP2007063666 W JP 2007063666W WO 2008015881 A1 WO2008015881 A1 WO 2008015881A1
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WO
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measurement information
recipe
sub
information
output
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Application number
PCT/JP2007/063666
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English (en)
French (fr)
Inventor
Masashi Takahashi
Minoru Obata
Noriaki Koyama
Original Assignee
Tokyo Electron Limited
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Limited filed Critical Tokyo Electron Limited
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Priority to US12/375,590 priority patent/US7974729B2/en
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    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F15/00—Digital computers in general; Data processing equipment in general
    • G06F15/16—Combinations of two or more digital computers each having at least an arithmetic unit, a program unit and a register, e.g. for a simultaneous processing of several programs
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0208—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the configuration of the monitoring system
    • G05B23/0213—Modular or universal configuration of the monitoring system, e.g. monitoring system having modules that may be combined to build monitoring program; monitoring system that can be applied to legacy systems; adaptable monitoring system; using different communication protocols
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F13/00—Interconnection of, or transfer of information or other signals between, memories, input/output devices or central processing units
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput

Definitions

  • the present invention relates to a server device of a group management system including, for example, one or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed and a server device connected to the one or more manufacturing apparatuses.
  • a server device of a group management system including, for example, one or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed and a server device connected to the one or more manufacturing apparatuses.
  • a conventional group management system for semiconductor manufacturing equipment has a function of displaying time-series information (hereinafter referred to as a chart) measured by the semiconductor manufacturing equipment.
  • a manufacturing process is executed according to information indicating processing procedures and processing conditions including manufacturing parameters called recipes.
  • Each procedure that makes up a recipe sequence is called a step, or recipe step.
  • Abnormalities in the semiconductor manufacturing apparatus can be judged by whether or not control according to the parameters of the step is performed when the step is changed. For this reason, by acquiring and monitoring all the measurement data acquired by the measuring instrument within the period in which the steps are being executed, It is possible to know abnormalities in manufacturing equipment.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 11 354395 (Page 1, Fig. 1 etc.)
  • Patent Document 2 Japanese Patent No. 3543996 (1st page, Fig. 1 etc.)
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-25997 (Page 1, Fig. 1 etc.)
  • a server device of the present invention includes one or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed, and a server device that is connected to the one or more manufacturing apparatuses, and has a function of detecting an abnormality.
  • the server device constituting the group management system, the one or more A plurality of pieces of measurement information, which is time-series information about information measured by the manufacturing apparatus, and information having time information indicating a measured value and time when a predetermined recipe is executed by the manufacturing apparatus.
  • a measurement information storage unit an instruction reception unit that receives an output instruction for the measurement information, a measurement information acquisition unit that acquires measurement information specified by the output instruction from the measurement information storage unit, and the acquired measurement
  • An output information configuration unit that configures output information using information
  • an output unit that outputs output information configured by the output information configuration unit, wherein the recipe includes one or more sub-recipes, and receives the instruction
  • the output instruction received by the unit includes an instruction to specify a sub-recipe executed at one or more desired times out of the sub-recipes executed a plurality of times in the recipe
  • the measurement information acquisition unit includes:
  • Serial is a server apparatus for acquiring measurement information corresponding to the designated sub-recipe by the output instruction.
  • measurement information corresponding to a desired sub-recipe can be selectively output by designating the sub-recipe and the processing times (number of executions) of the sub-recipe.
  • information necessary for monitoring or the like can be selectively output to limit the monitoring section, and monitoring or the like can be performed efficiently.
  • the target to be monitored is limited to, for example, the measurement value obtained by the sub-recipe executed the first time. be able to.
  • the sections in which anomaly detection is performed it is not necessary to detect anomalies in unnecessary sections, and the anomaly detection can be performed appropriately.
  • the measurement information acquisition unit in the server device includes:
  • the number of times that a group of measurement information corresponding to the sub-recipe to be executed a plurality of times specified by the output instruction appears is counted.
  • This is a server device that acquires one or more pieces of measurement information included in a group of measurement information of times when the count number coincides with a desired time designated by the output instruction.
  • the sub-recipe is two or more.
  • the measurement information acquisition unit includes one or more measurement information that repeatedly appears when two or more measurement information corresponding to two or more steps constituting the sub-recipe appears repeatedly.
  • the server device is a group of measurement information corresponding to the sub-recipe executed multiple times.
  • the sub-recipe processing times are appropriately counted, and the measurement information acquired in the desired processing times is selectively output. Can do.
  • the measurement information includes a sub-recipe identifier that is information for identifying a sub-recipe to which the measurement information corresponds, and is executed a plurality of times.
  • the measurement information corresponding to the sub-recipe has the same sub-recipe identifier, and the measurement information acquisition unit executes the measurement information stored in the measurement information storage unit a plurality of times specified by the output instruction. Counts the number of times the sub-recipe identifier of the sub-recipe to be newly detected is detected, and the count number is one or more measurements having the sub-recipe identifier of the number of times that matches the desired number of times specified by the output instruction It is a server device that acquires information.
  • the sub-recipe includes two or more steps
  • the measurement information corresponding to the sub-recipe includes a step identifier for identifying the step.
  • the measurement information acquisition unit is a server device that counts up each time two or more step identifiers repeatedly appear in continuous measurement information having the same sub-recipe identifier.
  • the sub-recipe processing times are appropriately counted, and the measurement information acquired at the desired processing times is selectively output. Can do.
  • the instruction receiving unit is a sub-recipe executed at two or more desired times among the sub-recipes executed a plurality of times in the recipe.
  • the measurement information acquisition unit receives two or more output instructions that specify two or more.
  • the measurement information corresponding to the sub-recipes of different times above is acquired, and the output information configuration unit includes each of the measurement information corresponding to the two or more different times of sub-recipes acquired by the measurement information acquisition unit.
  • This is a server device that performs a predetermined calculation on measurement information whose elapsed time from a predetermined start point in a recipe matches, and configures output information according to the calculation result.
  • the output information configuration unit is a chart obtained by plotting the acquired measurement information in order of times indicated by time information included in the measurement information.
  • a chart is configured
  • the output unit is a server device that outputs an SPC chart configured by the output information configuration unit.
  • the output information configuration unit configures a correlation chart, which is a chart showing a correlation between two types of measurement information, from the acquired measurement information
  • the output unit is a server device that outputs a correlation chart configured by the output information configuration unit.
  • the output information configuration unit is an MD (Mahalanobis distance) chart that is a chart showing a correlation of three or more types of measurement information from the acquired measurement information.
  • the output unit is a server device that outputs an MD chart configured by the output information configuration unit.
  • measurement information corresponding to a desired sub-recipe can be selectively output.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of the group management system in the present embodiment.
  • the group management system is a system that controls a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
  • the group management system includes one or more manufacturing apparatuses 11 (from the manufacturing apparatus 11a to the manufacturing apparatus l ln (where n represents an arbitrary number)), a server apparatus 12, and a client apparatus 13.
  • the manufacturing apparatus 11 is an apparatus that performs a predetermined process on a substrate to be processed, such as a semiconductor wafer.
  • the manufacturing apparatus 11 performs various processes on the substrate to be processed such as a film forming process, an etching process, and a thermal oxidation process.
  • the production apparatus 11 is, for example, a batch type vertical heat treatment apparatus described in Patent Document 2 or Patent Document 3 described above. An example of the production apparatus 11 is shown in FIG.
  • This manufacturing apparatus 11 is a so-called mouth that can be sealed to other chambers as a loading chamber, and can be evacuated and supplied with N gas as an inert atmosphere.
  • the manufacturing apparatus 11 includes a process tube a that is a processing chamber that performs a predetermined process on a wafer W that is an object to be processed, and a wafer as a holding body that stores a large number of wafers W, for example, 100 wafers W in the process tube a.
  • a load lock chamber h as a loading chamber equipped with a transfer mechanism g for unloading the boat f, a load / unload chamber ab for loading / unloading wafers W into / from the load lock chamber h, and a cassette formed in the load / unload chamber ab.
  • the cassette C stored in the cassette storage container ad is taken out.
  • the cassette transfer stage ag and the container transfer means for delivering the cassette storage container ad in the loading / unloading chamber ab. h and a holding body accommodating chamber ai for accommodating the wafer boat f disposed between the load lock chamber h and the loading / unloading chamber ab constitute a main part. Since other parts and operations in the example of the manufacturing apparatus 11 in FIG. 2 are known techniques (see Patent Document 2), detailed description thereof is omitted. In addition, the chamber constituting the manufacturing apparatus 11 and Thus, the chamber 1 in FIG. 1 of Patent Document 3 is suitable.
  • the manufacturing apparatus 11 stores, for example, a recipe that is information related to a predetermined process for a wafer, and performs control using the recipe.
  • the server device 12 is a server device that constitutes a so-called group management system, and can store various types of measurement information in one or more manufacturing apparatuses 11, and performs abnormality detection on the measurement information. Has the function to perform.
  • the client device 13 issues various requests to the server device 12 and accepts processing results in the server device 12.
  • FIG. 3 is a block diagram of the group management system in the present embodiment.
  • the manufacturing apparatus 11 includes an input receiving unit 1101, a recipe storage unit 1102, and a manufacturing apparatus identifier storage unit.
  • the server device 12 includes a measurement information storage unit 1201, an original information reception unit 1202, a measurement information acquisition unit 1203, a measurement information storage unit 1204, an instruction reception unit 1205, an output information configuration unit 1206, an output unit 1207, and an output instruction storage Unit 1208, condition information storage unit 1209, and abnormality detection unit 1210.
  • the client device 13 includes an instruction input unit 1301, an instruction sending unit 1302, a receiving unit 1303, and a display unit 1304.
  • the input receiving unit 1101 also receives various inputs for the user power of the manufacturing apparatus 11.
  • the various inputs include, for example, recipes, recipe identifiers for identifying recipes, and instructions for executing processing such as processing for wafers.
  • User power Any input means such as a numeric keypad, keyboard, mouse or menu screen can be used.
  • 01 can be realized by a device driver for input means such as a numeric keypad or a keyboard, or control software for a menu screen.
  • the recipe storage unit 1102 stores a recipe that is used to control the manufacturing apparatus 11.
  • the recipe is information related to a predetermined process executed by the manufacturing apparatus 11, for example, information specifying processing conditions including manufacturing parameters and the like.
  • a recipe usually sets one or more steps that make up a process, and process parameters in those steps. Information to be determined.
  • Each procedure that makes up a recipe is usually called a step, or recipe step.
  • a step usually includes information for setting a part of a process and process parameters in the process.
  • information that includes one or more steps that are the same as the recipe, usually two or more steps, is often used as one or more steps that make up the recipe. This information is called a sub-recipe.
  • the recipe has a nested structure (nested structure) in which the recipe is included in the recipe by using the sub-recipe.
  • the process parameter information includes, for example, a category name, item name, parameter name, and value.
  • the category name is a name indicating the type of process parameter, for example, “temperature”, “gas flow rate”, “boat elevator speed”, and the like.
  • the item name is a name indicating the attribute of the process meter, such as “vertical speed” and “rotational speed”.
  • the parameter name is the name of the process parameter, such as “C” or “A”.
  • the value is the value given to a variable called a process parameter.
  • recipes are stored in pairs with recipe identifiers (eg, recipe name) that identify the recipe.
  • the recipe is stored in the recipe storage unit 1102 together with a step identifier that is an identifier of a step constituting the recipe and a sub-recipe identifier for identifying the sub-recipe.
  • the step identifier is, for example, a step name or an identification number.
  • the sub-recipe identifier is a sub-recipe name, an identification number, or the like.
  • the steps for configuring the sub-recipe are the same as the steps for configuring the recipe, and may have the same step identifier as the steps for configuring the recipe, but here, for the convenience of explanation, the sub-recipe is configured. This step is called a sub-recipe step, and its identifier is called a sub-recipe step identifier.
  • the recipe storage unit 1102 is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium.
  • the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103 stores a manufacturing apparatus identifier for identifying the manufacturing apparatus 11.
  • the manufacturing apparatus identifier may be an apparatus name, a model number, a manufacturing number, an identification number or a name set for each manufacturing apparatus 11, etc., as long as it is information that can identify each manufacturing apparatus 11.
  • the manufacturing apparatus identifier may be information received by the input receiving unit 1101 or may be information stored in advance when the manufacturing apparatus is shipped.
  • the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103 may be a non-volatile recording medium such as a hard disk or a ROM, or a volatile recording medium such as a RAM.
  • the timer unit 1104 measures time.
  • the timer unit 1104 outputs information indicating the time obtained as a result of measuring time to the measuring unit 1106.
  • the information indicating the time described here may include information such as date.
  • the time measured by the time measuring unit 1104 may be an absolute time or a relative time.
  • the timer unit 1104 is realized by a clock or the like, for example.
  • the processing unit 1105 reads the recipe in the recipe storage unit 1102 and performs a predetermined process on the substrate to be processed according to the recipe.
  • the processing unit 1105 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the processing unit 1105 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM.
  • hardware dedicated circuit
  • the measuring unit 1106 measures the temperature in the manufacturing apparatus 11, the gas flow rate, the pressure, the power of the manufacturing apparatus 11, and the like, and is the original information that is the source of the measurement information that is the target of the charty etc. To obtain.
  • the original information is information such as the measured temperature.
  • the measurement unit 1106 performs measurement at predetermined time intervals that are regular or irregular.
  • the original information has a measured value that is a value obtained by measurement.
  • the original information usually has time information indicating the measured time. This time information is acquired from, for example, the time measuring unit 1104.
  • the original information includes a step identifier for identifying a step, a measured value that is a measured value, and time information indicating the measured time.
  • a sub-recipe identifier that identifies the sub-recipe being executed.
  • the sub-recipe step has a sub-recipe step identifier for identifying a sub-recipe step being executed among the sub-recipes being executed.
  • the recipe identifier, step identifier, sub-recipe identifier, sub-recipe step identifier, and the like are obtained from the recipe storage unit 1102, for example.
  • the original information may have a recipe identifier for the recipe being executed. Further, the original information may have a manufacturing apparatus identifier of the manufacturing apparatus 11 that has executed the recipe.
  • the manufacturing apparatus identifier is acquired from the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103, for example.
  • the original information is information for identifying the measurement target, such as temperature and gas pressure, and the measurement location, for example, in the process tube, which is measured by the measurement unit 1106, such as the name of the measurement target and the measurement location. Even if it has a name or identification information corresponding to these good.
  • the measuring unit 1106 may measure a plurality of temperatures at a plurality of locations and a plurality of values such as temperature and gas flow rate. That is, the original information may have two or more types of measured values.
  • the measurement unit 1106 can be realized by a sensor such as one or more temperature sensors or one or more flow sensors.
  • the original information accumulation unit 1107 accumulates the original information acquired by the measurement unit 1106 in a recording medium (not shown).
  • the original information storage unit 1107 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the original information storage unit 1107 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the recording medium (not shown) is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium.
  • the original information transmission unit 1108 transmits the original information accumulated by the original information accumulation unit 1107 to the server device 12.
  • the trigger of transmission of original information is not ask
  • the original information transmitted by the original information transmission unit 1108 includes one or more measured values (for example, temperature and gas flow rate), that is, measured values and time information.
  • the original information transmitted by the original information transmitting unit 1108 includes a measurement value measured during execution of the sub-recipe
  • the original information includes a sub-recipe identifier of the sub-recipe that has been executed at the time of measurement.
  • the original information transmitted by the original information transmitting unit 1108 preferably has a sub-recipe step identifier.
  • the original information transmitted by the original information transmission unit 1108 has a step identifier. Furthermore, it is preferable that the original information transmitted by the original information transmission unit 1108 includes a manufacturing apparatus identifier for identifying the manufacturing apparatus 11 and a recipe identifier for identifying the recipe.
  • the measurement unit 1106 may include information for identifying a measurement target, such as “temperature” or “gas pressure”, or a measurement location, such as “in the process tube”.
  • the original information accumulated by the original information accumulation unit 1107 and the original information transmitted by the original information transmission unit 1108 may have different structures and configurations.
  • the original information may be configured to have at least one of one manufacturing device identifier, one recipe identifier, or one step identifier for a plurality of measured values.
  • the original information transmission unit 1108 can be realized by a wireless or wired communication means or the like.
  • the original information transmission unit 1108 receives the original information from the recipe storage unit 1102 and the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103 before transmitting the original information to the server device 12.
  • the sub-recipe identifier, sub-recipe step identifier, step identifier, recipe identifier, and manufacturing apparatus identifier may be read and added to the original information.
  • the original information transmission unit 1108 may transmit original information every time a value (for example, gas flow rate) is measured, or original information (for example, 10 pieces) that summarizes a predetermined number of measured values. You may send the original information).
  • the unit and data structure of data transmitted by the original information transmission unit 1108 are not limited.
  • the process of configuring the original information to be transmitted may be performed by the original information storage unit 1107 that is not included in the original information transmission unit 1108.
  • the timing of transmitting the measured original information, the manufacturing apparatus identifier, the recipe identifier, and the recipe step identifier is not limited.
  • the measurement information storage unit 1201 can store a plurality of measurement information.
  • the plurality of pieces of measurement information is time-series information about one or more types of information (for example, temperature and pressure) measured by the plurality of manufacturing apparatuses 11, and the measurement values obtained when a predetermined process is executed by the manufacturing apparatus.
  • This information includes time information indicating the time.
  • the measurement information includes a measurement value measured during execution of the sub-recipe
  • the measurement information includes a sub-recipe identifier.
  • the original information transmitted by the original information transmission unit 1108 has a sub-recipe step identifier.
  • the plurality of pieces of measurement information may include a manufacturing apparatus identifier that identifies the manufacturing apparatus 11, a recipe identifier, a step identifier, and the like.
  • the measurement information may be information obtained by the measurement information acquisition unit 1203 performing a predetermined calculation on a plurality of pieces of original information received by the original information reception unit 1202, or the same information as the original information.
  • the measurement information storage unit 1201 is preferably a non-volatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium. Note that the measurement information stored in the measurement information storage unit 1201 may be information stored in the measurement information storage unit 1204, information received directly from the manufacturing apparatus 11, or information read out from a recording medium force (not shown). .
  • the original information receiving unit 1202 receives original information, which is information that is the basis of a plurality of pieces of measurement information, from the plurality of manufacturing apparatuses 11.
  • the original information receiving unit 1202 can be realized by wireless or wired communication means.
  • the measurement information storage unit 1204 stores measurement information using the plurality of pieces of original information received by the original information reception unit 1202 in the measurement information storage unit 1201. For this measurement information, the measurement information acquisition unit 1203 performs a predetermined calculation on the plurality of pieces of original information received by the original information reception unit 1202, The acquired information may be the same information as the original information. Predetermined operations are, for example, calculating the average value of multiple values of multiple original information, obtaining the maximum value, obtaining the minimum value, and standardizing the values at predetermined time intervals. Calculation, standard deviation, and median.
  • the storage process performed by the measurement information storage unit 1204 has the same meaning as NOP (No Operation).
  • the measurement information storage unit 1204 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the measurement information storage unit 1204 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the instruction receiving unit 1205 receives an instruction. This instruction may also be received by a force such as a keyboard or mouse connected to the force server device 12 that is normally received from the client device 13.
  • the instruction received by the instruction receiving unit 1205 is, for example, an instruction to output measurement information stored in the measurement information storage unit 1201.
  • This output instruction is, for example, an instruction to output measurement information corresponding to a desired step among steps constituting a recipe. Further, for example, this output instruction has an instruction for designating a sub-recipe executed at one or more desired times out of sub-recipes executed a plurality of times in the recipe.
  • “One or more desired times” may be one specific time, for example, the first time, or a plurality of specific times, for example, both the second time and the fifth time, It may be, or all times.
  • the instruction for designating the sub-recipe may be an instruction having a sub-recipe identifier corresponding to the designated sub-recipe.
  • the output instruction may include information specifying a recipe, for example, a recipe identifier, for example, in order to output measurement information including values measured during execution of a desired recipe.
  • information for designating at least one of the plurality of manufacturing apparatuses 11 in order to output measurement information about a specific manufacturing apparatus among the plurality of manufacturing apparatuses 11, for example, manufacturing A device identifier or the like may be included.
  • the output instruction may include information specifying how to output the measurement information. For example, it may be an instruction to output measurement information as data in a desired format or an instruction to output it in a chart, or a predetermined analysis or process using the measurement information, such as multivariate analysis or statistical processing. It may be an instruction to output the result of performing. Also, measure An instruction to perform abnormality detection or the like using the constant information may be used.
  • the output instruction may include information on the type of chart to be output, for example, an SPC chart, a correlation chart, or an MD chart.
  • the output instruction may include information specifying the type of measurement information data to be output on the chart, such as temperature, gas flow rate, pressure, and the like.
  • the output instruction may include attribute information of points and lines constituting the chart.
  • the attribute information includes point color, point type (shape), line color, line type, and the like.
  • the instruction receiving unit 1205 also has, for example, wireless or wired reception means.
  • the instruction input means may be anything such as a numeric keypad, keyboard, mouse or menu screen.
  • the instruction receiving unit 1205 can be realized by a device driver for input means such as a numeric keypad or a keyboard, or control software for a menu screen.
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires the measurement information specified by the measurement information output instruction received by the instruction reception unit 1205 from the measurement information storage unit 1201. In particular, when there is an instruction to specify a sub-recipe to be executed at one or more desired times out of a plurality of sub-recipes executed multiple times, measurement information corresponding to the designated sub-recipe For example, measurement information measured at the time of execution of the sub-recipe, or measurement information obtained by performing a process such as a predetermined calculation on the measurement information is acquired.
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires the measurement information of one or more specified times (for example, only the first time, only the fifth time, or both the first time and the fourth time). .
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires measurement information associated with an identifier that matches the step identifier or sub-recipe identifier included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201. Furthermore, when the output instruction includes a device identifier, a recipe identifier, etc., measurement information that also matches the device identifier and the recipe identifier is acquired.
  • the measurement information acquisition unit 1203 measures the measurement information group corresponding to the sub-recipe to be executed a plurality of times specified by the output instruction, that is, when this sub-recipe is executed once. Count the number of times a new collection of one or more pieces of measurement information obtained using one or more specified measurement values.
  • the measurement information acquisition unit 1203 stores the measurement information. For the measurement information stored in the section 1201, the number of times that a sub-recipe identifier of a sub-recipe to be executed a plurality of times specified by the output instruction is newly detected is counted, and the number of times is included in the output instruction.
  • the measurement information acquisition unit 1203 counts the number of times the measurement information stored in the measurement information storage unit 1201 is newly detected for the measurement information that matches the sub-recipe identifier included in the output instruction. If the number of times coincides with the number of times included in the output instruction, the measurement information having the sub-recipe identifier specified by the output instruction is acquired for that number of times. Note that if measurement information having the same sub-recipe identifier appears or is detected continuously on the time axis, the measurement information is not displayed unless the same sub-recipe is repeated. Instead of thinking of new appearances or new detections, they are considered a group of measurement information.
  • the process for detecting new occurrences is premised on the process when the measurement information is sorted using information indicating the time.
  • Counting the number of new appearances or the number of new detections may be any process that can count the number of new appearances or the number of newly detected results. For example, this process is performed when the measurement information having the sub-recipe identifier that matches the sub-recipe identifier included in the output instruction is retrieved, and the sub-recipe possessed by the measurement information immediately before the measurement information on the time axis. This is a process for counting up when the identifier is not a sub-recipe identifier included in the output instruction.
  • a sub-recipe includes two or more sub-recipe steps and this sub-recipe is considered to be executed repeatedly in succession, simply counting the number of new occurrences of the sub-recipe identifier Since measurement information corresponding to a plurality of repeated sub-recipes is continuous on the time axis and has the same sub-recipe identifier, in the above method, measurement information obtained from one sub-recipe is used. There is a risk of being judged as information. For this reason, in such a case, the measurement information acquisition unit 1203 repeatedly appears when two or more pieces of measurement information corresponding to two or more subrecipe steps constituting the subrecipe appear.
  • the measurement information acquisition unit 1203 has two or more sub-recipe step identifiers, more specifically, two or more sub-recipe steps that constitute a sub-recipe, in a plurality of continuous measurement information having the same sub-recipe identifier. Every time the sub-recipe step identifier appears repeatedly, the count is incremented. In this way, the number of sub-recipes can be accurately counted even when the sub-recipe is repeated.
  • the measurement information acquisition unit 1203 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the measurement information acquisition unit 1203 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the output information configuration unit 1206 configures output information using the measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203.
  • the instruction receiving unit 1205 outputs an output instruction for designating a sub-recipe to be executed at two or more desired times (for example, both the first time and the fifth time) among the sub-recipes to be executed a plurality of times in the recipe.
  • the output information configuration unit 1206 Of the measurement information corresponding to two or more acquired times of sub-recipes, a predetermined calculation is performed on the measurement information that matches the elapsed time from the predetermined start point in each sub-recipe. You may make it comprise the output information according to.
  • the predetermined calculation includes calculation of an average value, calculation of a maximum value, minimum value, calculation of standard deviation, calculation of a difference between the maximum value and the minimum value, and the like.
  • a chart of calculation results such as an average value of measured values obtained when two or more different times of sub-recipes are executed.
  • the output information configuration unit 1206 includes, for example, a preset format or a format specified by an instruction received by the instruction receiving unit 1205, specifically a text format, an XML format, a database format, or the like. Configure output information. Further, the measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203 is used to construct a chart that is output information.
  • the output information configuration unit 1206 It is preferable to configure the output information by visually distinguishing different types of measurement information and measurement information of different manufacturing apparatuses.
  • the output information configuration unit 1206 configures and outputs output information corresponding to the output instruction stored in the output instruction storage unit 1208, for example.
  • a predetermined calculation may be performed using the obtained measurement information, and output information corresponding to the calculation result may be configured.
  • the predetermined calculation is, for example, calculating an average value of a plurality of values included in a plurality of measurement information at a predetermined time interval, integrating a plurality of measurement information along a time axis, or calculating a maximum value.
  • the output information configuration unit 1206 may configure output information according to a determination result of an abnormality detection unit 1210 described later. For example, the output information configuration unit 1206 forms a chart from a plurality of measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203. At this time, the output information configuration unit 1206 displays abnormal measurement information and normal measurement. The output information is configured by visually distinguishing the information.
  • the output information here may be, for example, list information of measurement unit names and times related to abnormal measurement information.
  • This measurement unit name is acquired, for example, according to information for identifying a measurement location measured by the measurement unit 1106 included in the measurement information.
  • the output information may be, for example, chart information in which the list information and measurement information power are also configured.
  • the output information is, for example, normal or abnormal.
  • the output information is, for example, sound information (buzzer or the like) indicating either normal or abnormal.
  • the output information configuration unit 1206 may perform processing for configuring a chart showing the range of abnormal values and normal values in order to detect abnormalities. In such a case, the abnormality detection unit 1210 reads the measurement information that matches the output instruction, but it does not matter whether the abnormality detection process is performed.
  • the output information configuration unit 1206 configures a chart that can visually distinguish measurement information for each manufacturing device identifier. Further, when the output instruction includes two or more recipe identifiers, it is preferable that the output information configuration unit 1206 configures a chart in an aspect in which measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished.
  • the chart in which the measurement information for each manufacturing device identifier can be visually distinguished is that the output instruction is 2 or more.
  • the chart in which the measurement information for each manufacturing device identifier can be visually distinguished is a chart including a plurality of measurement information of the one manufacturing device identifier when the output instruction includes only one manufacturing device identifier. .
  • the chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished is the type of point where the measurement information for each recipe identifier is different (square and round shape) when the output instruction includes two or more recipe identifiers. , Color, size) and charts in which measurement information for each recipe identifier is connected by different line types (solid line, broken line, etc.).
  • the chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished is a chart composed of a plurality of measurement information of the one recipe identifier when the output instruction includes only one recipe identifier.
  • the output information configuration unit 1206 is a chart in a manner in which measurement information for each manufacturing apparatus identifier can be visually distinguished from a plurality of read measurement information, and time information included in one type of measurement information is included.
  • An SPC chart (statistical process management chart) that is a chart in which a plurality of read measurement information is plotted in the order of the times shown may be configured.
  • the SPC chart is a chart used for statistical process management, and is a chart for monitoring anomalies and detecting anomalies.
  • the abnormality detection unit 1210 detects the abnormality and visually indicates the detected abnormality. Is preferred. Such an upper limit value is stored in advance in a condition information storage unit 1209 described later, for example.
  • the output information configuration unit 1206 measures measurement information for each manufacturing apparatus identifier from a plurality of pieces of measurement information having any one of the one or more manufacturing apparatus identifiers. It is also possible to construct a correlation chart that is a chart that can be visually distinguished, and that is a chart showing the correlation between two types of measurement information.
  • the correlation chart is a chart for monitoring a bivariate correlation, and is a chart capable of detecting a bivariate force abnormality.
  • the output information configuration unit 1206 visually displays the measurement information for each recipe identifier from a plurality of measurement information having one of the one or more recipe identifiers. It is a chart of distinguishable aspects, and three or more types An MD (Mahalanobis distance) chart, which is a chart showing the correlation of the above measurement information, may be constructed.
  • the configuration of the chart is, for example, a process for obtaining a chart by connecting a plurality of pieces of measurement information with lines along a time axis.
  • the process of configuring the chart is a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the processing for constructing the SPC chart, the correlation chart, and the MD chart is a known technique, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the two types of measurement information include information including two types of measured values (for example, temperature and gas flow rate) in one measurement information.
  • the three or more types of measurement information include information including three or more types of measured values (for example, temperature, gas flow rate, and pressure) in one measurement information.
  • the output information configuration unit 1206 can be usually realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the output information configuration unit 1206 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the output unit 1207 outputs output information such as a chart configured by the output information configuration unit 1206.
  • the output is usually transmission to the client device 13.
  • the output unit 1207 may display a chart on a display connected to the server device 12, print it on a printer, or send it to an external device.
  • the output unit 1207 can be realized by wireless or wired communication means.
  • the output unit 1207 may be realized by output device driver software or output device driver software and output device.
  • the output instruction accumulation unit 1208 accumulates output instructions that are instructions such as attribute information such as points and lines and manufacturing apparatus identifiers, or attribute information such as points and lines and recipe identifiers.
  • the output instruction storage unit 1208 can usually be realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the output instruction storage unit 1208 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the condition information storage unit 1209 stores condition information that is information related to the condition for abnormality detection. ing.
  • the condition information is, for example, an upper limit value and a lower limit value that indicate a normal range of measurement values.
  • the condition information may be only a boundary value between a normal value and an abnormal value, for example. These values are usually called control values.
  • the condition information varies depending on the value to be measured (temperature, pressure, gas flow rate, power consumption, etc.).
  • the structure of condition information is not ask
  • the condition information storage unit 1209 is preferably a nonvolatile recording medium, but can also be realized by a volatile recording medium.
  • the abnormality detection unit 1210 determines whether or not the measurement value that is the value of the measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203 is abnormal.
  • the abnormality detection unit 1210 uses the condition information in the condition information storage unit 1209 to determine whether the measurement value included in the measurement information is abnormal or normal. Specifically, when the measurement information acquisition unit 1203 acquires the measurement information, the abnormality detection unit 1210 determines whether the measurement information matches the condition information.
  • the anomaly detection unit 1210 can be usually realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the anomaly detection unit 1210 is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM. However, it may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • the abnormality detection process in the abnormality detection unit 1210 may be a known abnormality detection process.
  • the instruction input unit 1301 inputs various instructions.
  • the various instructions are, for example, instructions for outputting measurement information stored in the server device 12 as described above. There are also instructions for starting, chart output instructions, and instructions for changing chart attribute values (line type, line color, point type, point color, etc.).
  • the instruction input means may be anything such as a numeric keypad, a keyboard, or a mouse menu screen.
  • the instruction input unit 1301 can be realized by an input means such as a numeric keypad or a keyboard, its device driver, menu screen control software, and the like.
  • the instruction sending unit 1302 sends the instruction input from the instruction input unit 1301 to the server device 12.
  • the sending here is usually sending using communication means.
  • the instruction sending unit 1302 can be realized by a wireless or wired communication means.
  • the accepting unit 1303 accepts output information such as a chart from the server device 12.
  • the acceptance here is usually reception using communication means.
  • the accepting unit 1303 can be realized by a wireless or wired communication means.
  • Display unit 1304 displays output information such as a chart received by receiving unit 1303 on a display.
  • the receiving unit 1303 receives output information in the text format, XML format, database format, or the like from the server device 12, the display unit 1304 is used to configure display data from these output information.
  • An MPU, a memory, and the like may be provided so that the display unit 1304 configures output information for display such as a chart in the same manner as the output information configuration unit 1206, and this output information may be displayed on the display.
  • the display unit 1304 may or may not include a display.
  • the display unit 1304 can be realized by display driver software or display driver software and a display.
  • the operation of the manufacturing apparatus 11 will be described using the flowchart of FIG. It should be noted that here, when the original information is a step identifier corresponding to the step being executed at the time of measurement, or the step is a step for executing a sub-recipe, the sub-recipe identifier corresponding to the sub-recipe and the sub-recipe A description will be given of a case where a sub-recipe step identifier corresponding to the sub-recipe step executed at the time of measurement is included among the sub-recipe steps constituting the recipe.
  • Step S 401 The processing unit 1105 reads the recipe in the recipe storage unit 1102.
  • Step S402 The processing unit 1105 substitutes 1 for the counter i.
  • Step S 403 The processing unit 1105 determines whether or not the i-th step exists in the recipe read in step S 401. If the i-th step exists, go to step S404, and if the i-th step does not exist, go to step S420.
  • Step S404 The processing unit 1105 determines whether or not the i-th step is a step for executing the sub-recipe. If it is a step for executing a sub-recipe, the process proceeds to step S405, and if it is not a step for executing a sub-recipe, the process proceeds to step S413.
  • Step S405 The processing unit 1105 substitutes 1 for the counter h.
  • Step S406 The processing unit 1105 determines whether or not the h-th sub-recipe step is present in the sub-recipe step of the sub-recipe determined to be executed in step S404. If the h-th sub-recipe step exists, go to step S407, and if the i-th step does not exist, go to step S418.
  • Step S407 The processing unit 1105 executes the h-th sub-recipe step.
  • Step S408 The measurement unit 1106 performs one or more kinds of predetermined measurements (for example, temperature and pressure), and the measured value (the measured value here usually has only one or more kinds of values). ).
  • the measuring unit 1106 receives time information from the time measuring unit 1104, and from the recipe storage unit 1102, the sub-recipe step identifier of the currently executing sub-recipe step, and the steps including this sub-recipe step and Step identifiers and sub-recipe identifiers corresponding to the sub-recipe are acquired, and time information, step identifiers, sub-recipe identifiers, and sub-recipe step identifiers are added to the measured information, and the original information is changed.
  • Step S410 The original information storage unit 1107 temporarily stores the original information configured in step S409 in a memory (not shown).
  • Step S411 The processing unit 1105 determines whether or not the processing of the h-th sub-recipe step has ended. For example, if the processing time of the h-th sub-recipe step is determined in advance, it is determined whether or not the processing time has passed. In addition, when the termination condition for the h-th sub-reception step is determined, for example, when the temperature reaches a predetermined temperature, it is determined in advance that the processing is terminated. If it is judged and satisfied, it is decided to end the process. If the process is to end, the process proceeds to step S412; otherwise, the process returns to step S408.
  • Step S 412 The processing unit 1105 increments the counter h by 1, and returns to step S 406.
  • Step S413 The processing unit 1105 executes the process of the i-th step.
  • the measurement unit 1106 performs one or more types of predetermined measurements (for example, temperature and pressure), and the measured value (the measured value here usually has only one or more types of values). ).
  • Step S415) The measuring unit 1106 obtains time information from the time measuring unit 1104 and a step identifier for the step being executed from the recipe storage unit 1102, and adds the time information and the step identifier to the measured information. To provide original information.
  • Step S416) The original information accumulation unit 1107 displays the original information configured in step S406. However, it temporarily accumulates in memory.
  • Step S417) The processing unit 1105 determines whether or not the processing of the i-th recipe step is completed. For example, if the processing time of the i-th recipe step is predetermined, it is determined whether or not the processing time has passed. In addition, when the process completion condition of the i-th recipe step is determined, for example, when it is determined in advance that the process will be terminated when the temperature reaches a predetermined temperature, whether the power that satisfies the process condition is satisfied. If it is satisfied, it is decided to end the process. If the process ends, the process proceeds to step S418. If the process does not end, the process returns to step S414.
  • Step S418) The original information transmission unit 1108 stores the original information temporarily accumulated in Step S410 or Step S416 (here, one or more sets of measurement values, time information, and step identifiers, or one or more types). Measurement value, time information, step identifier, sub-recipe identifier, and sub-recipe step identifier)) are transmitted to the server device 12. It is assumed that the original information transmission unit 1108 holds information for communicating with the server device 12 (for example, the IP address of the server device 12).
  • Step S419) The processing unit 1105 increments the counter i by 1, and returns to step S403.
  • Step S 420 The original information transmission unit 1108 reads the recipe identifier from the recipe storage unit 1102. This recipe identifier is the recipe identifier of the recipe read in step S401.
  • Step S421) The original information transmission unit 1108 reads the manufacturing apparatus identifier from the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103.
  • Step S 422 The original information transmission unit 1108 transmits the recipe identifier and the manufacturing apparatus identifier read in steps S 410 to S 411 to the server apparatus 12. It is assumed that the original information transmission unit 1108 holds information for communicating with the server device 12 (for example, the IP address of the server device 12). Then, the process ends.
  • step S410 and step S416 in the flowchart of Fig. 4 the original information storage unit 1107 sequentially stores the original information configured in step S409 and step S415 instead of temporarily storing the original information in a memory (not shown). Transmit to server device 12 in the same manner as in step S418 You may do it. In this way, data can be transmitted to the server device in real time. Further, the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier may be transmitted at the start of measurement, or may be included in each measurement information.
  • step information is not included in the original information in step S409 or step S415, the step identifier is read from the recipe storage unit 1102 before processing in step S418, In step S418, a process of transmitting the original information together with the server apparatus 12 may be performed.
  • the operation of the server device 12 will be described using the flowchart of FIG.
  • the case where the output instruction received by the instruction receiving unit 1205 is a chart output instruction will be described as an example.
  • Step S501 The instruction receiving unit 1205 determines whether or not the instruction has been received. If an instruction is accepted, go to step S502; otherwise, go to step S512.
  • Step S502 The measurement information acquisition unit 1203 determines whether or not the instruction received in step S501 is an output instruction for the output information of the chart. If it is a chart output instruction, the process proceeds to step S503, and if it is not a chart output instruction, the process returns to step S501.
  • Step S503 The measurement information acquisition unit 1203 determines whether the chart output instruction received in step S501 includes an instruction to specify a sub-recipe, specifically, a sub-recipe identifier. To do. If included, the process proceeds to step S504. If not included, the process returns to step S501. Before returning to step S501, in accordance with the instruction included in the output instruction, for example, the instruction to output the measurement information having the desired step identifier, the measurement information having the desired step identifier is acquired and output. May be.
  • Step S504 The measurement information acquisition unit 1203 substitutes 1 for the counter m.
  • the measurement information acquisition unit 1203 determines that there is an instruction to specify a sub-recipe executed at the m-th desired time in the output instruction. Also, for example, when a desired sub-recipe is executed 10 times during execution of the recipe, the output instruction includes an instruction for specifying measurement information obtained at all times when the sub-recipe is executed. Since there are designations for all 10 sub-recipes, when m is a value from “1” to “10”, the measurement information acquisition unit 1203 outputs the mth desired number of times to the output instruction.
  • step S506 If there is an instruction to specify a sub-recipe executed at the m-th desired time, the process proceeds to step S506, and if not, the process proceeds to step S509.
  • Step S506 The measurement information acquisition unit 1203 is stored in the measurement information storage unit 1201! Among the measurement information, the mth processing time of the sub-recipe corresponding to the sub-recipe identifier included in the output instruction was executed from the measurement information that matches the manufacturing device identifier and recipe identifier included in the output instruction.
  • Step S507 The measurement information acquisition unit 1203 temporarily stores the measurement information acquired in step S506 in a memory or the like (not shown). In step S506, if the measurement information is already stored in the memory or the like, this process need not be performed.
  • Step S508 The measurement information acquisition unit 1203 increments the counter m by 1. And Return to step S506.
  • Step S509 The abnormality detection unit 1210 determines whether each measurement value included in the one or more pieces of measurement information acquired in Step S506 is abnormal or normal. Specifically, the abnormality detection unit 1210 determines whether or not each measurement value is normal using the condition information.
  • the output information configuration unit 1206 configures output information such as a chart according to the received output instruction, using the measurement information acquired in step S503. At this time, a predetermined calculation may be performed on the measurement information. In particular, when measurement information measured in response to two or more different sub-recipes executed multiple times is acquired by the measurement information acquisition unit 1203, the output information configuration unit 1206 Of the measurement information obtained corresponding to two or more different times of sub-recipes acquired by the acquisition unit 1203, the measurement information having the same elapsed time of the predetermined starting point force in each sub-recipe can be used. An operation may be performed and output information corresponding to the operation result may be configured. Note that the process of composing new measurement information by calculating the average, maximum value, minimum value, etc.
  • the chart line attribute values are the specified attribute value, default attribute value, etc.
  • the output information configuration unit 1206 configures a chart using such attribute values.
  • the configured chart is a chart in which the measurement information for each manufacturing apparatus identifier can be visually distinguished, a chart in which the measurement information for each recipe identifier can be visually distinguished, or an aspect in which both can be visually distinguished. This is a chart.
  • the charts to be configured are charts according to chart type information (SP C chart, correlation chart, MD chart, etc.) included in the output instruction.
  • the output information configuration unit 1206 configures output information corresponding to the result of the abnormality detection process in step S505.
  • the “output information according to the result of the abnormality detection process” may be abnormal measurement information, output information in a mode that clearly indicates normal measurement information power, or a chart that clearly indicates a threshold between abnormality and normality.
  • Step S511 The output unit 1207 outputs the output information configured in step S510.
  • the output here is transmission to the client device 13. And it returns to step S501
  • Step S512 The original information receiving unit 1202 determines whether or not the one or more pieces of original information are received from the manufacturing apparatus 11. If the original information is received, the original information is temporarily stored in a memory or the like (not shown), and the process proceeds to step S508. If the original information is not received, the process returns to step S501.
  • the measurement information accumulation unit 1204 performs a predetermined calculation on the original information received by the original information reception unit 1202, and acquires one or more pieces of measurement information.
  • Performing a predetermined operation on multiple pieces of original information means performing a predetermined operation (average value calculation, standard deviation calculation, Acquisition of the maximum value). However, the predetermined calculation may not be performed.
  • the plurality of pieces of original information to be subjected to a predetermined calculation are each of a plurality of pieces of original information at a predetermined time interval (for example, 10 minutes), and each of a plurality of pieces of original information at a predetermined number of steps. is there.
  • the measurement information storage unit 1204 appropriately adds the manufacturing apparatus identifier, the recipe identifier, and the like received by the original information receiving unit 1202 to the original information received by the original information receiving unit 1202 or the measurement information. good.
  • Step S514 The measurement information storage unit 1204 stores one or more pieces of measurement information acquired in step S513 in the measurement information storage unit 1201. Return to step S501.
  • step S506 the process of acquiring measurement information of the m-th processing time of the sub-recipe shown in step S506 in the flowchart of FIG. 5 will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • the sub-recipe identifier corresponding to the sub-recipe step and information indicating the m-th processing time of the sub-recipe are included.
  • the output instruction includes the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier, and is included in the output instruction of the measurement information stored in the measurement information storage unit 1201.
  • the measurement information shall be retrieved from the measurement information that matches the manufacturing equipment identifier and the recipe identifier.
  • Step S601 The measurement information acquisition unit 1203 substitutes 1 for a counter n.
  • Step S 602 Measurement information acquisition section 1203 substitutes 0 for counter k.
  • the measurement information acquisition unit 1203 includes the n-th measurement information in the measurement information that is sorted according to the time information and that has the same manufacturing apparatus identifier and recipe identifier included in the output instruction. Judge whether it is power or not. If there is, proceed to step S604, otherwise return to the upper function. If there is not, an error output indicating that there is no corresponding measurement information may be output, and then the process may return to the upper function.
  • Step S604 The measurement information acquisition unit 1203 determines whether or not the nth measurement information has a sub-recipe identifier that matches the sub-recipe identifier included in the output instruction.
  • the match described here may be a complete match or a partial match. If yes, go to Step S605; otherwise, go to Step S614.
  • Step S605 The measurement information acquisition unit 1203 increments the counter k by 1.
  • Step S606 The measurement information acquisition unit 1203 determines whether or not the value of the counter k is ⁇ . If s, go to step S607; if not, go to step S615.
  • Step S607 The measurement information acquisition unit 1203 acquires the nth measurement information.
  • the acquisition of measurement information described here means that only the measurement values in the measurement information are acquired.
  • Step S608 The measurement information acquisition unit 1203 adds and stores the measurement information acquired in step S607 in a memory or the like (not shown). Further, when accumulating in the memory or the like, the value s of the m-th processing time may be added to the measurement information. This outputs the value of s Thus, it is possible to determine how many times the desired sub-recipe is the measurement information executed. Finally, the measurement information stored in this memory or the like becomes the measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203 and acquired in the m-th processing time of the desired sub-recipe executed multiple times.
  • Step S609 The measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1.
  • Step S610 Measurement information acquisition section 1203 determines whether or not there is n-th measurement information, as in step S603. If yes, go to step S611, otherwise return to the upper function. If there is not, an error output indicating that there is no corresponding measurement information may be output, and then returned to the upper function.
  • Step S611 As in step S604, the measurement information acquisition unit 1203 determines whether or not the nth measurement information has a sub-recipe identifier that matches the sub-recipe identifier included in the output instruction. to decide. If yes, go to step S612; otherwise, return to upper function.
  • Step S612 The measurement information acquisition unit 1203 matches the value of the sub-recipe step identifier corresponding to the nth measurement information with the manufacturing apparatus identifier and the recipe identifier included in the output instruction, and the nth measurement It is determined whether or not it matches the value of the sub-recipe step identifier corresponding to the n-1st measurement information that has the time information of the previous value with respect to the time information. If they match, the process proceeds to step S607, and if they do not match, the process proceeds to step S613.
  • the sub-recipe step identifier is set to a value including a numerical value whose value increases by 1 in accordance with the processing order of the sub-recipe steps.
  • Step S613 The measurement information acquisition unit 1203 increments the value of the sub-recipe step identifier corresponding to the n-1st measurement information by 1, by incrementing the value of the sub-recipe step identifier corresponding to the n-th measurement information. Whether or not the value matches. If they match, return to step S607; otherwise, return to the upper function. Note that the fact that they do not match means that the measurement information does not match the regularity of the arrangement of the sub-recipe steps that make up the sub-recipe. With this process, it is possible to determine whether or not a plurality of sub-recipe steps constituting the sub-recipe are repeatedly performed, and thereby it is possible to determine that the sub-recipe has been repeatedly performed. If the sub-recipe was repeated, then In this respect, since the processing times of the sub-recipe are changed, the process for acquiring the measurement value is ended.
  • Step S 614 The measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1. Then, the process returns to step S603.
  • Step S615 The measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1.
  • Step S616 Measurement information acquisition section 1203 determines whether or not there is n-th measurement information, as in step S603. If yes, go to step S617, otherwise return to upper function. If there is not, an error output indicating that there is no corresponding measurement information may be output, and then returned to the upper function.
  • Step S617 The measurement information acquisition unit 1203 determines whether or not the n-th measurement information has a sub-recipe identifier that matches the sub-recipe identifier included in the output instruction, as in step S604. to decide. If yes, go to Step S618; otherwise, go to Step S618
  • Step S618 As in step S612, the measurement information acquisition unit 1203 has a sub-recipe step identifier corresponding to the n-1st measurement information whose sub-recipe step identifier value corresponds to the n-th measurement information. It is determined whether the value matches the value of. If they match, the process returns to step S615. If they do not match, the process proceeds to step S619.
  • Step S619 As in step S613, the measurement information acquisition unit 1203 has a sub-recipe step identifier corresponding to the n-1st measurement information whose sub-recipe step identifier value corresponds to the n-th measurement information. If the values match, the process returns to step S615. If they do not match, the process returns to step S605.
  • step S612 determines whether or not the sub-recipe step is repeatedly performed. Since it becomes unnecessary, the processing of step S612 and step S613 and the processing of step S618 and step S619 may be omitted. In this case, if it is determined in step S612 that the values of the sub-recipe step identifiers match, the process returns to step S607 and the sub-recipe step identifier is returned from step S617. If it is determined that the values match, return to step S615!
  • abnormality detection is started in real time, and output information (such as a chart) is received each time the original information is received. It is preferable to perform an abnormality detection process while updating and to notify the user as soon as an abnormality occurs. In other words, it is more preferable to perform the following processing in the flowcharts of FIGS.
  • the original information receiving unit 1202 receives in real time the original information sent from the manufacturing apparatus 11 one after another during the manufacturing in the manufacturing apparatus 11, and the measurement information storage unit 1204 is stored in the measurement information storage unit 1201. Accumulate measurement information at least temporarily.
  • the measurement information acquisition unit 1203 may perform the processes from step S503 to step S619 on the measurement information.
  • the above sequentially stored measurement information is appropriately handled as the nth measurement information, and when the value of n is incremented by 1, It should be handled appropriately.
  • the state of the manufacturing apparatus 11 can be confirmed in real time, and the abnormality can be detected in real time, so that the user can immediately recognize the occurrence of the abnormality.
  • measurement information having a desired sub-recipe identifier is acquired for each different step identifier, and measurement values for all processing times of the desired sub-recipe are acquired for each processing time.
  • the instruction input unit 1301 of the client device 13 receives an instruction to output the chart with the user power
  • the instruction sending unit 1302 sends the output instruction to the server device 12 and the processing result in the server device 12 is obtained.
  • the reception unit 1303 receives information on the YART, and the display unit 1304 displays the chart.
  • Figure 1 shows a conceptual diagram of the group management system.
  • FIG. 7 is a recipe management table for managing recipes stored in the recipe storage unit 1102 of one or more manufacturing apparatuses 11.
  • the recipe management table has attributes of “recipe identifier”, “step identifier”, and “processing condition”.
  • “Recipe identifier” is a recipe identifier
  • “step identifier” is a step identifier of a step constituting the recipe
  • “processing condition” is a processing condition of each step, for example, setting of processing time, processing temperature, and the like.
  • attribute value of “step identifier” is a sub-recipe identifier, it indicates that the processing of the sub-recipe is executed in the step.
  • FIG. 8 is a sub-recipe management table for managing sub-recipes stored in the recipe storage unit 1102 of one or more manufacturing apparatuses 11.
  • the sub-recipe management table has attributes of “sub-recipe identifier”, “sub-recipe step identifier”, and “processing condition”. “Sub-recipe identifier” is the sub-recipe identifier, “Step identifier” is the sub-recipe step identifier of the sub-recipe step that constitutes the sub-recipe, and “Processing condition” is the processing condition of each sub-recipe step, for example, processing time, Setting of processing temperature and the like. Since the sub-recipe and sub-recipe steps are basically the same as the recipe and step, it is also possible to use a recipe instead of the sub-recipe.
  • the processing unit 1105 displays the recipe stored in the recipe storage unit 1102. Read and execute the read recipe for each step to proceed with wafer processing. Then, the measuring unit 1106 measures the gas flow rate in the furnace determined in advance, for example, every second during the wafer processing, and acquires the obtained gas flow rate and the time information acquired from the time measuring unit 1104. The original information is paired with the step identifier acquired from the recipe storage unit 1102. At this time, if the step to be executed is a step for executing a sub-recipe, the sub-recipe steps constituting the sub-recipe are sequentially executed.
  • the measured value such as the gas flow rate obtained, the time information acquired from the time measuring unit 1104, and the step identifier acquired from the recipe storage unit 1102, and the sub-recipe identifier being executed and the actual
  • the original information is paired with the sub-recipe step identifier in the line.
  • the configured original information is temporarily stored by the original information storage unit 1107.
  • Figure 9 shows an example of accumulated source information.
  • the measured value force is the measured value of the gas flow rate is described, and the same applies to the following.
  • the original information includes a step identifier, a sub-recipe identifier, a sub-recipe step identifier, a gas flow rate, and time information.
  • the time information is information indicating the time, and may be information specifying hours, minutes, and seconds, or information only about date and time. Note that this original information includes information on the data type (the data type of measurement information, for example, gas flow rate, temperature, pressure, etc.), in this case information indicating gas flow rate. Also good.
  • the original information transmission unit 1108 of the manufacturing apparatus 11 transmits the original information accumulated by the original information accumulation unit 1107 to the server apparatus 12 when the execution of all the steps constituting the recipe is completed.
  • the original information transmission unit 1108 of the manufacturing apparatus 11 includes the manufacturing apparatus identifier of the manufacturing apparatus identifier storage unit 1103 and the recipe identifier of the recipe storage unit 1102 (the recipe executed when the predetermined process is performed on the substrate to be processed). Identifier) is read and transmitted to the server device 12. It should be noted that here, when all the steps are completed, the original information is transmitted to the server device 12. For example, every time one original information is acquired, the original information is transmitted to the server device 12 in real time. Also good.
  • the original information receiving unit 1202 of the server device 12 receives original information composed of a set of a step identifier, a gas flow rate, and time information. Also receives the manufacturing equipment identifier and the recipe identifier.
  • the measurement information accumulating unit 1204 accumulates original information including a plurality of sets of step identifiers, gas flow rates, and time information, recipe identifiers, and manufacturing apparatus identifiers in a memory (not shown) or the like.
  • Figure 10 shows an example of the original information.
  • Figure 10 shows the original information management table.
  • the original information management table has “manufacturing device identifier”, “recipe identifier”, “step identifier”, “step identifier”, “sub-recipe identifier”, “value (gas flow rate)”, and “time information”.
  • the original information management table in FIG. 10 has one manufacturing equipment identifier and recipe identifier. It has a data structure in which multiple sets of values (here, one type), step identifiers, and time information correspond. In FIG. 10, it is assumed that one or more manufacturing apparatuses 11 and original information corresponding to execution of a plurality of recipes are managed. Note that the values such as the original information in FIG. 10 are information prepared for explanation, not actual measurement values.
  • the measurement information storage unit 1204 performs a predetermined calculation on the plurality of pieces of original information shown in FIG. 10, and acquires a plurality of pieces of measurement information.
  • the predetermined calculation is calculation of an average value
  • the measurement information storage unit 1204 calculates the average value every 10 seconds.
  • the measurement information storage unit 1204 stores the plurality of measurement information in the measurement information storage unit 1201.
  • FIG. 11 is a measurement information management table for managing measurement information stored in the measurement information storage unit 1204.
  • the measurement information management table includes “manufacturing equipment identifier”, “recipe identifier”, “step identifier”, “sub-recipe identifier”, “sub-recipe step identifier”, “average value (gas flow rate)”, and “time information”. .
  • the average value is an average value calculated by the measurement information storage unit 1204.
  • the necessary information is information for specifying a sub-recipe to be output, specifically, a sub-recipe identifier and information for specifying one or more processing times of the sub-recipe, in this case, the first time, As shown in FIG. 12, the sub-recipe identifier power is input to the field 101, and the value specifying the processing time to be output is input to the field 102, as shown in FIG. If the check box 103 for designating “all” is checked, all processing times are designated as output targets.
  • information such as one or more of the data type (the type of measurement information data, for example, gas flow rate, temperature, pressure, etc.), manufacturing equipment identifier, recipe identifier, etc. It is specified.
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires measurement information about the sub-receipt executed for the first time which is the first processing time.
  • the measurement information acquisition unit 1203 sets the value of the processing time s to “1” based on the measurement information management table shown in FIG.
  • the measurement information acquisition unit 1203 sets the value of the counter n to 1 and increments the value of the counter n by 1 while the manufacturing apparatus identifier is ⁇ E1 ⁇ and the recipe identifier is ⁇ R1 ⁇ .
  • the measurement information for the nth measurement information along the time axis, it is sequentially determined whether or not the power of the sub-recipe identifier matches SR01, which is the sub-recipe identifier included in the output instruction.
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires this measurement information and stores it in a memory or the like. At this time, only the attribute value of “value (gas flow rate)” may be acquired and stored. The same applies to the measurement information acquisition unit 1203 when acquiring other measurement information.
  • the measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1, and determines whether the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01, which is the sub-recipe identifier included in the output instruction. .
  • the “sub-recipe identifier” of the measurement information whose “time information” is “2005Z12Z02 16:20:10” matches the output instruction “SR01”.
  • Sub-recipe step identifier SRS004 sub-recipe step and sub-recipe step identifier SRS005 sub-recipe step force are each performed only once. It is assumed that the numerical part increases monotonically. And when the ⁇ -th measurement information becomes the measurement information whose “time information” is “2005 ⁇ 12 ⁇ 02 16: 25: 00: 00”, the sub-recipe identifier of this measurement information is not “SR02”. The process for obtaining the measurement information obtained in the first sub-recipe execution is completed.
  • the measurement information acquisition unit 1203 acquires measurement information about the sub-recipe executed for the third time, which is the second processing time.
  • the measurement information acquisition unit 1203 sets the value of the processing time s to “3” based on the measurement information management table shown in FIG.
  • the measurement information acquisition unit 1203 sets the value of counter n to 1, and increments the value of counter n by 1.
  • the sub-recipe identifier is included in the output instruction for the n-th measurement information along the time axis of the measurement information with the manufacturing equipment identifier “El” and the recipe identifier “R1”. Sequentially determine whether or not it matches the recipe identifier SR01.
  • the measurement information acquisition unit 1203 since all the measurement information with the step identifier “S1” does not have the sub-recipe identifier, the first measurement information of the measurement information with the step identifier “S2”, that is, “time” It is determined that the sub-recipe identifier of the measurement information whose “information” is “2005Z12Z02 16:20:00” matches “SR01”. Then, the value of the counter k is set to “1” obtained by incrementing the value by “1” from the initial value “0”. Since the value of the counter k does not coincide with “3”, which is the value of the processing time s, the measurement information acquisition unit 1203 does not acquire this measurement information.
  • the measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1, and determines whether or not the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01 that is the sub-recipe identifier included in the output instruction. .
  • the sub-recipe step identifier of the n-th measurement information match the sub-recipe step identifier of the (n-1) -th measurement information or a value obtained by incrementing the numerical part of the sub-recipe step identifier by 1? Judgment is made.
  • n is incremented by 1 again, and whether or not the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01 that is the sub-recipe identifier included in the output instruction again.
  • the decision process and the power of the sub-recipe step identifier of the n-th measurement information match the sub-recipe step identifier of the n-first measurement information or the value obtained by incrementing the numerical part of the sub-recipe step identifier by 1. This determination process is repeated.
  • the measurement information acquisition unit 1203 again increments the value of the counter n by 1, and on the time axis of the measurement information with the manufacturing apparatus identifier "E1" and the recipe identifier "R1".
  • the sub-recipe identifier is included in the output instruction It is sequentially judged whether the power matches the SR01 which is the sub-recipe identifier.
  • the “sub-recipe identifier” of the measurement information whose “time information” is “2005Z12Z02 16:55:00” matches the output instruction “SR01”.
  • the counter k is incremented by 1 and set to “2”. Since the value power processing time s of the counter k does not coincide with “1” which is the value of the processing time s, the measurement information acquisition unit 1203 does not acquire this measurement information.
  • the measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1, and determines whether or not the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01 that is the sub-recipe identifier included in the output instruction. .
  • the sub-recipe step identifier of the n-th measurement information match the sub-recipe step identifier of the (n-1) -th measurement information or a value obtained by incrementing the numerical part of the sub-recipe step identifier by 1? Judgment is made.
  • n is incremented by 1 again, and whether or not the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01 that is the sub-recipe identifier included in the output instruction again.
  • the decision process and the power of the sub-recipe step identifier of the n-th measurement information match the sub-recipe step identifier of the n-first measurement information or the value obtained by incrementing the numerical part of the sub-recipe step identifier by 1. This determination process is repeated.
  • the n-th measurement information is the measurement information whose "time information” is "2005Z12Z02 17:00:00"
  • the numerical part "004" of the sub-recipe step identifier "SR004" is , N—
  • the first measurement information “Time information” is smaller than the numerical value “004” of the sub recipe step identifier “SR005” of the measurement information “2005Z12Z02 16:59:50” .
  • the sub-recipe step identifier power of the n-th measurement information does not match the sub-recipe step identifier of the n-th measurement information or a value obtained by incrementing the numerical part of the sub-recipe step identifier by 1. .
  • the value of counter k is incremented by 1, and the value of counter k is set to “3”. Since the value of the counter k is “3”, which is the same as the value of the processing time s, the n-th measurement information is acquired.
  • the measurement information acquisition unit 1203 increments the counter n by 1, and determines whether or not the power of the sub-recipe identifier of the n-th measurement information matches SR01, which is the sub-recipe identifier included in the output instruction.
  • “Time information” is “2005/12/02 17: 00: 10 "Sub-recipe identifier" of the measurement information that is "" matches the output instruction "SR01".
  • Sub-recipe step identifier SRS004 sub-recipe step and sub-recipe step identifier SRS005 sub-recipe step force are each performed only once. It is assumed that the numerical part increases monotonically. And when the ⁇ th measurement information becomes the measurement information whose “time information” is “2005 ⁇ 12 ⁇ 02 17: 05: 00: 00”, the sub-recipe identifier of this measurement information is not “SR02”. The process of obtaining the measurement information obtained in the third sub-recipe execution ends. As a result, the measurement information up to “2005/12/02 17:04:50”, “2005/12/02 17:04:50”, and so on, are measured information acquisition unit 1203 Obtained by
  • FIG. 13 is an acquisition information management table for managing measurement information acquired by the measurement information acquisition unit 1203.
  • the acquisition information management table includes “Manufacturing equipment identifier”, “Recipe identifier”, “Step identifier”, “Sub-recipe identifier”, “Sub-recipe step identifier”, “Average value (gas flow rate)”, “Time information”.
  • “Manufacturing equipment identifier”, “Recipe identifier”, “Step identifier”, “Sub-recipe identifier”, “Sub-recipe step identifier”, “Average value (gas flow rate)”, “Time information” are the same as in FIG. .
  • the output information configuration unit 1206 configures a chart that is output information using the information of FIG. 13 acquired by the measurement information acquisition unit 1203 and the determination result of the abnormality detection unit 1210.
  • This chart is a line graph with the horizontal axis representing the time indicated by the time information and the vertical axis representing the value (average value of the gas flow rate). Note that the time is expressed as a relative time with the execution start time of the sub-recipe being 0 minutes and 0 seconds. In addition, a different graph is formed for each processing time.
  • the output unit 1207 transmits the line graph configured by the output information configuration unit 1206 to the client device 13.
  • the receiving unit 1303 of the client device 13 receives the line graph, and the display unit 1304 displays the line graph on the display as shown in FIG. In FIG. 14, the normal range is indicated by diagonal lines.
  • the legend configured by the output information configuration unit 1206 is output using the value of “processing times” included in the measurement information.
  • the output information configuration unit 1206 obtains measurement information obtained when the same time has elapsed from the start time of the sub-recipe, among the measurement information with different processing times. It is also possible to calculate the average value of each report, create a graph of this average value, and output it superimposed on the graph of FIG.
  • the value of the counter k is 1 increment.
  • the measurement information corresponding to each sub-recipe may be acquired in the same manner as in the above specific example. In this case, the process may be terminated when there is no measurement information to be processed, for example, the nth measurement information in the above specific example.
  • the sub-recipe step identifier for a sub-recipe step in the same sub-recipe according to the order in which the sub-recipe steps are executed, the value or the value of its numerical part, or an identifier that increases by power ⁇ Use and measure information
  • the value of the sub recipe step identifier or the value of the numerical part of the sub recipe step identifier of the previous measurement information is incremented if the same power is not incremented by one.
  • the sub-recipe step identifier power for sub-recipe steps in the same sub-recipe has a predetermined regularity that can specify the sequence order of the sub-recipe steps, for example, each sub-recipe step identifier power.
  • Regularity such as having one letter arranged in alphabetical order such as a, b, c, etc., and regularity such as having a value decremented by 1 in accordance with the processing order of each sub-recipe step identifier.
  • the processing times of the sub-recipe may be counted up.
  • the measurement information acquired in the repeatedly executed sub-recipe and stored in the server apparatus 12 is obtained by designating the processing time of the sub-recipe. It is possible to selectively output the measured information. As a result, only necessary information can be presented instantaneously, and it is possible to efficiently perform monitoring including abnormality detection of manufacturing equipment.
  • measurement information obtained in different processing times of the same sub-recipe is displayed on a single chart so that they can be easily compared, or a predetermined calculation is performed to make a measurement based on the difference in processing times. It is possible to examine the dispersion of information and obtain ideal measurement values, and to increase the utility value of measurement information obtained by sub-recipe force.
  • the server apparatus 12 supports the processing times of the sub-recipe by counting the number of appearances of the group of measurement information obtained corresponding to the desired sub-recipe. A group of measured information was detected and acquired.
  • the measurement information corresponding to the processing time of the sub-recipe may be detected and acquired as follows. That is, every time a sub-recipe having the same sub-recipe identifier, for example, the same sub-recipe identifier is executed once in the manufacturing apparatus 11, the number of times that the sub-recipe is performed is counted by the first counter.
  • Measurement information stored in the server device 12 by adding information indicating the count result of this number of times to all the original information obtained in the recipe, the first original information, the last original information, etc. But Information indicating the count result of the number of times the recipe was performed is included. Then, the server device 12 detects the measurement information corresponding to the desired processing times specified by the output instruction from the information indicating the count result of the number of times the sub-recipe has been performed. Or may be acquired.
  • the output chart reads a plurality of measurement information that matches the output instruction, which is an instruction to output the SPC chart, from the measurement information storage unit 1201.
  • the time information of one type of measurement information is a chart in which the measurement information for each manufacturing device identifier, the measurement information for each recipe identifier, or both can be visually distinguished from the read measurement information.
  • the SPC chart shown in FIG. 16 is an SPC chart configured from, for example, measurement information of one manufacturing apparatus identifier.
  • a management value (upper limit) and a management value (lower limit) are output.
  • a value outside this control value indicates an abnormality.
  • the management value (upper limit) and the management value (lower limit) are stored in advance in the condition information storage unit 1209. Note that the measurement information and the like used in FIG. 16 are measurement information prepared for explanation, and are different from the measurement information described in the present embodiment.
  • the chart to be output includes a plurality of pieces of measurement information that match an output instruction that is an instruction to output a correlation chart from measurement information storage section 1201.
  • This is a chart of a mode in which the measurement information for each manufacturing device identifier, the measurement information for each recipe identifier, or both can be visually distinguished from the read measurement information, and two types of measurement information (for example, It may be a correlation chart that is a chart showing the correlation between temperature and pressure.
  • the correlation chart shown in FIG. 17 is, for example, a correlation chart composed of two types of measurement information power for one manufacturing apparatus identifier.
  • two management values are output. An out-of-range value between the two control values indicates an abnormality.
  • the output chart includes one or more manufacturing apparatus identifiers included in an output instruction that is an instruction to output an MD (Mano, Ranobis distance) chart.
  • MD Mano, Ranobis distance
  • One or more recipe identifiers, or one or more manufacturing device identifiers and one or more recipe identifiers! This is a chart of a mode in which measurement information for each manufacturing apparatus identifier, measurement information for each recipe identifier, and both measurement information can be visually distinguished from the read measurement information. It may be an MD chart which is a chart showing the correlation of the above measurement information (for example, temperature, gas flow rate and pressure at two locations).
  • the MD chart shown in FIG. 18 is, for example, an MD chart configured with the measurement information power of one manufacturing apparatus identifier.
  • the MD chart shown in FIG. 18 is a chart in which, for example, an abnormality is determined using Mahalanobis distance. More specifically, the MD chart shown in FIG. 18 is a chart that models normal data and numerically indicates the degree of abnormality using Mahalanobis distance.
  • two management values are output. An out-of-range value between the two control values indicates an abnormality.
  • the measurement information and the like used in FIG. 18 are measurement information prepared for explanation, and are different from the measurement information described in the present embodiment.
  • the output chart is a chart on which measurement information of one manufacturing apparatus identifier or one recipe is displayed, and the time possessed by one type of measurement information It was a line graph in which a plurality of read measurement information was connected in the order of the time indicated by the information.
  • the chart to be output reads a plurality of measurement information having three manufacturing apparatus identifiers included in the output instruction from the measurement information storage unit 1201, and the manufacturing apparatus identifier is read from the read measurement information.
  • the measurement information may be visually distinguishable, and may be three charts in which a plurality of read measurement information is plotted in the order of the time indicated by the time information of one type of measurement information.
  • the output instruction includes, for example, three manufacturing device identifiers of “device A”, “device B”, and “device C”. Then, the measurement information acquisition unit 1203 searches the measurement information storage unit 1201 three times using “device A”, “device B”, and “device C” as keys, and acquires the measurement information three times. For each key, the output information configuration unit 1206 separately configures charts of attribute values of different points and lines to obtain three charts. Three charts are output. Figure
  • the measurement information and the like used in 19 are measurement information prepared for explanation, and are different from the measurement information described in the present embodiment.
  • the display form of three or more charts can be freely selected, and monitoring and monitoring can be performed from various viewpoints. Results can be analyzed.
  • the original information and the measurement information are stored in advance in the server device 1
  • the original information or the measurement information is acquired from the manufacturing apparatus 11 by means not shown and passed to the server apparatus 12 via a recording medium or the like.
  • the user inputs an instruction to enlarge a part of the chart of interest, and changes the scale of a part of the chart (by changing the measurement information time interval or step interval). It is preferable to output the chart.
  • the original information and the measurement information may have the same configuration. In such cases
  • the measurement information storage unit is not necessary.
  • the present embodiment it is not essential to transmit / receive original information between the manufacturing apparatus and the server apparatus.
  • the original information may be given from the manufacturing apparatus to the server apparatus via a recording medium, for example.
  • the group management system does not have to include the client device 13.
  • the user inputs an instruction such as an output instruction to the server device 12.
  • the chart is output by specifying the manufacturing apparatus identifier or the recipe identifier, but the chart is output by specifying one or more manufacturing apparatus identifiers and one or more recipe identifiers. You may do it.
  • the abnormality detection unit 1210 displays each of the specified one or more manufacturing device identifiers and one or more recipe identifiers.
  • the measurement information (or original information) is searched as a key, and an abnormality is detected.
  • the output information configuration unit 1206 configures a chart.
  • the instruction receiving unit of the server apparatus has received the output instruction. It is very suitable to acquire measurement information in real time or perform anomaly detection processing using the trigger as a trigger and update the output information (chart, etc.) every time the original information is received.
  • the anomaly detection unit immediately determines the force / force that matches the condition information for the measurement information acquired one after another by the measurement information acquisition unit, and the output information component uses the determination result of the anomaly detection unit.
  • the output information is configured one after another, and the output unit outputs the output information configured by the output information configuration unit while updating it.
  • each process may be realized by centralized processing by a single device (system), or may be distributedly processed by a plurality of devices. It will be realized by.
  • each constituent element may be configured by dedicated hardware, or a constituent element that can be realized by software may be realized by executing a program.
  • each component can be realized by a program execution unit such as a CPU reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.
  • the software that implements the server device in each of the above embodiments is the following program.
  • this program is time-series information about information measured by one or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on a substrate to be processed and that are stored in the measurement information storage unit in the computer.
  • An instruction reception step for receiving an instruction to output measurement information, which is information having time information indicating a measurement value and time when a predetermined recipe is executed by the apparatus, and the measurement information specified by the output instruction is the measurement information.
  • a measurement information acquisition step acquired from the storage unit, an output information configuration step that configures output information using the acquired measurement information, and an output step that outputs the output information configured in the output information configuration step are executed.
  • the recipe includes one or more sub-recipes, and the output instruction received in the instruction receiving step is A sub-recipe that is executed a plurality of times in the recipe, and that is executed at one or more desired times.
  • An instruction for specifying a recipe is included, and the measurement information acquisition step is a program for acquiring measurement information corresponding to a sub-recipe specified by the output instruction.
  • the measurement information acquisition step may be configured to apply the measurement information stored in the measurement information storage unit to the sub-recipe to be executed a plurality of times specified by the output instruction. Count the number of times the corresponding measurement information group newly appears, and at least one measurement information included in the measurement information group at the time when the count number matches the desired time specified by the output instruction. It is a program to acquire.
  • the sub-recipe includes two or more steps, and the measurement information acquisition step repeats two or more measurement information corresponding to two or more steps constituting the sub-recipe.
  • This is a program in which one or more pieces of measurement information that appear repeatedly when it appears are a group of measurement information corresponding to the sub-recipe executed multiple times.
  • the measurement information includes a sub-recipe identifier that is information for identifying a sub-recipe to which the measurement information corresponds, and the measurement information corresponding to the sub-recipe executed a plurality of times is
  • the measurement information acquisition step has the same sub-recipe identifier and the measurement information stored in the measurement information storage unit includes a sub-recipe identifier of a sub-recipe that is executed a plurality of times specified by the output instruction.
  • This is a program that counts the number of newly detected times and acquires one or more pieces of measurement information having the sub-recipe identifier of the number of times that matches the desired number of times designated by the output instruction.
  • the sub-recipe includes two or more steps
  • the measurement information corresponding to the sub-recipe includes a step identifier for identifying a step
  • the measurement information acquisition step includes This is a program that counts up each time two or more step identifiers repeatedly appear in continuous measurement information having the same sub-recipe identifier.
  • the instruction receiving step specifies a sub-recipe to be executed at two or more desired times out of sub-recipes to be executed a plurality of times in the recipe.
  • the measurement information acquisition step acquires measurement information corresponding to two or more different times of sub-recipes
  • the output information configuration step acquires two or more acquired in the measurement information acquisition step. Measurement information corresponding to sub-recipes of different times Of these programs, a predetermined calculation is performed on measurement information having the same elapsed time from a predetermined start point in each sub-recipe, and output information corresponding to the calculation result is configured.
  • the transmission step for transmitting information and the reception step for receiving information are performed by hardware, for example, a modem or an interface card in the transmission step. Does not include processing (processing that can only be done with software)! /.
  • This program is recorded on a predetermined recording medium (for example, an optical disk such as a CD-ROM, a magnetic disk, a semiconductor memory, etc.) that can be executed by being downloaded by force such as a server.
  • the program may be executed by being read.
  • the computer that executes this program may be singular or plural. That is, centralized processing or distributed processing may be performed.
  • two or more communication means such as an information transmission unit
  • two or more communication means existing in one apparatus may be physically realized by one medium.
  • the server device may be a stand-alone device or a server device in a server client system. Good.
  • the output unit and the reception unit accept input or output a screen via a communication line.
  • the server device or the like includes one or more manufacturing apparatuses that perform a predetermined process on the substrate to be processed, and the one or more manufacturing apparatuses. It is suitable as a server device etc. for a group management system comprising connected server devices, and is particularly useful as a server device etc. that can selectively output measurement information obtained in sub-recipes etc. is there.
  • FIG. 1 Conceptual diagram of the group management system in the embodiment
  • ⁇ 2 Diagram showing an example of semiconductor manufacturing equipment of the same group management system
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the manufacturing apparatus of the group management system.
  • FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the server device of the group management system.
  • FIG. 6 is a flowchart for explaining processing for acquiring measurement information of the server device of the group management system.
  • FIG. 8 A diagram showing the sub-recipe management table of the group management system
  • FIG. 15 A diagram showing a display example of a client device of the group management system
  • FIG. 19 is a diagram showing a display example of a client device of the group management system

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Description

サーバ装置およびプログラム
技術分野
[0001] 本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の製造装置と 、当該 1以上の製造装置と接続されるサーバ装置とを具備する群管理システムの、サ ーバ装置等に関するものである。 背景技術
[0002] 従来、測定器力も送られてくるデータを自動的にかつ正確に加工できる、半導体製 造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法が知られて 、た (例えば、特 許文献 1参照)。本測定データ加工方法においては、群管理システムの群管理部の 測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信する。そして、前記 測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、 前記測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、前記測定データが 有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加 ェするのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格 納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用し て計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するようにして 、た。
[0003] また、従来の半導体製造装置の群管理システムは、半導体製造装置で測定された 時系列の情報 (以下チャートと記載)を表示する機能を有して!/、た。
[0004] さらに、群管理システムを構成する製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理 装置がある (特許文献 2、特許文献 3参照)。
[0005] 通常、半導体製造装置においては、レシピと呼ばれる製造パラメータ等を含む処理 手順や処理条件を示す情報に従って、製造プロセスが実行される。レシピのシーク エンスを構成する各手順はステップ、あるいはレシピステップと呼ばれる。半導体製 造装置の異常等は、ステップが変更された際に、そのステップのパラメータに応じた 制御が行われるか否かで判断することができる。このため、ステップが実行されている 期間内に、測定器により取得された測定データを全て取得し監視することで、半導体 製造装置の異常等を知ることができる。
[0006] このような半導体製造装置においては、上述したレシピを構成する 1以上のステツ プとして、レシピと同様の複数のステップを備えた処理手順を示す情報が用いられる ことが多ぐこの情報は、サブレシピと呼ばれる。すなわちレシピは、サブレシピを用い ることにより、レシピ内にレシピを含むような入れ子構造となっている。このようなサブ レシピを、レシピを構成する 2以上のステップにおいて用いることで、サブレシピ内の 複数のステップにより構成される処理を、一つのレシピ内で、繰り返し実行させること が可能となる。このようなサブレシピを使用することで、サブレシピのパラメータ等を変 更することで、このサブレシピを有するステップのパラメータ力 結果的に全て変更さ れることができ、レシピの設定等が容易になる。
特許文献 1 :特開平 11 354395号公報 (第 1頁、第 1図等）
特許文献 2 :特許 3543996号公報 (第 1頁、第 1図等）
特許文献 3：特開 2002— 25997号公報 (第 1頁、第 1図等）
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0007] し力しながら、従来のサーバ装置においては、サブレシピを製造装置に実行させた 際に測定された測定値を、適切に取得することができないという課題があった。
[0008] すなわち、従来のサーバ装置においては、レシピが、同じサブレシピを複数含む場 合において、そのサブレシピの測定値を含む情報を取得して、出力しょうとした場合 、サブレシピが最初に実行された際に得られた測定値しか取得することができなかつ た。このため、同じサブレシピを実行させた結果得られた測定値のうちの、例えば、 2 回目のサブレシピについての測定値を取得することができな力つた。この結果、所望 のサブレシピの測定値を自由に取得することができず、測定値を用いた製造装置の 監視等が適切に行うことができな力つた。
課題を解決するための手段
[0009] 本発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の製造 装置と、当該 1以上の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を 行う機能を有する群管理システムを構成する前記サーバ装置であって、前記 1以上 の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で所 定のレシピを実行した場合の測定値と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定 情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、前記測定情報の出力指示を受け付ける 指示受付部と、前記出力指示により指定された測定情報を、前記測定情報格納部か ら取得する測定情報取得部と、前記取得した測定情報を用いた出力情報を構成す る出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部 を具備し、前記レシピは、 1以上のサブレシピを含み、前記指示受付部の受け付ける 出力指示は、前記レシピにおいて複数回実行されるサブレシピのうちの、 1以上の所 望の回に実行されるサブレシピを指定する指示を有し、前記測定情報取得部は、前 記出力指示により指定されたサブレシピに対応する測定情報を取得するサーバ装置 である。
[0010] 力かる構成により、所望のサブレシピに対応した測定情報を、サブレシピとそのサブ レシピの処理回（実行回数)を指定することにより、選択的に出力することができる。こ れにより、例えば、監視等に必要な情報を選択的に出力させて、監視区間を限定す ることができ、監視等を効率的に行うようにすることができる。具体的には、あるレシピ において、ループして実行されるサブレシピがあった場合に、監視すべき対象を、例 えば第 1回目に実行されたサブレシピにより得られた測定値等に限定することができ る。また、異常検知を行う区間を限定することにより、不必要な区間の異常検知が不 要となり、異常検知を適正に行うことが可能となる。
[0011] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記測定情報取得部は
、前記測定情報格納部に格納されている測定情報について、前記出力指示により指 定された、前記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群が新たに出現 する回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示により指定された所望の回と 一致した回の測定情報の群に含まれる 1以上の測定情報を取得するサーバ装置で ある。
[0012] 力かる構成により、所望のサブレシピに対応した測定情報を選択的に出力すること ができる。
[0013] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記サブレシピは 2以 上のステップを含み、前記測定情報取得部は、サブレシピを構成する 2以上のステツ プに対応した 2以上の測定情報が繰り返し出現する際に、当該繰り返し出現する 1以 上の測定情報を、前記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群とする サーバ装置である。
[0014] 力かる構成により、繰り返し実行されたサブレシピに対応した測定情報から、サブレ シピの処理回を適切にカウントして、所望の処理回において取得された測定情報を 選択的に出力することができる。
[0015] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記測定情報は、当該 測定情報が対応するサブレシピを識別する情報であるサブレシピ識別子を有し、前 記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報は、同じサブレシピ識別子を有 し、前記測定情報取得部は、前記測定情報格納部に格納されている測定情報につ いて、前記出力指示により指定された複数回実行されるサブレシピのサブレシピ識 別子が新たに検出された回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示により 指定された所望の回と一致した回のサブレシピ識別子を有する 1以上の測定情報を 取得するサーバ装置である。
[0016] 力かる構成により、所望のサブレシピに対応した測定情報を選択的に出力すること ができる。
[0017] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記サブレシピは 2以 上のステップを含み、前記サブレシピに対応する測定情報は、ステップを識別するた めのステップ識別子を含み、前記測定情報取得部は、同じサブレシピ識別子を有す る連続した測定情報において、 2以上のステップ識別子が繰り返し出現するごとに、 カウントアップを行うサーバ装置である。
[0018] 力かる構成により、繰り返し実行されたサブレシピに対応した測定情報から、サブレ シピの処理回を適切にカウントして、所望の処理回において取得された測定情報を 選択的に出力することができる。
[0019] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記指示受付部は、前 記レシピにおいて複数回実行されるサブレシピのうちの、 2以上の所望の回に実行さ れるサブレシピを指定する前記出力指示を受け付け、前記測定情報取得部は、 2以 上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報を取得し、前記出力情報構成部は、 前記測定情報取得部が取得した 2以上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報 のうちの、各サブレシピ内の所定の始点からの経過時間が一致する測定情報に対し て、所定の演算を行い、その演算結果に応じた出力情報を構成するサーバ装置であ る。
[0020] 力かる構成により、サブレシピの異なる処理回の測定情報を、目的に応じて処理し て出力することができ、監視等がしゃすくなるとともに、測定情報を様々な目的に柔 軟に利用することができる。
[0021] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記出力情報構成部は 、前記取得した測定情報を、当該測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順にプ ロットしたチャートである SPCチャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成 部が構成した SPCチャートを出力するサーバ装置である。
[0022] 力かる構成により、製造装置の経時変化やバラツキ監視を容易に行える。
[0023] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記出力情報構成部は 、前記取得した測定情報から、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関 チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が構成した相関チャートを 出力するサーバ装置である。
[0024] 力かる構成により、二変量の相関関係を監視でき、効果的に異常検知ができる。
[0025] また、本発明のサーバ装置は、前記サーバ装置において、前記出力情報構成部は 、前記取得した測定情報から、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである MD (マハラノビス距離)チャートを構成し、前記出力部は、前記出力情報構成部が 構成した MDチャートを出力するサーバ装置である。
[0026] 力かる構成により、多変量の相関関係を監視でき、さらに効果的に異常検知ができ る。
発明の効果
[0027] 本発明によるサーバ装置等によれば、所望のサブレシピに対応した測定情報を選 択的に出力することができる。
発明を実施するための最良の形態 [0028] 以下、サーバ装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の 形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省 略する場合がある。
[0029] (実施の形態）
図 1は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは 、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシス テムである。また、群管理システムは、 1以上の製造装置 11 (製造装置 11aから製造 装置 l ln (ただし nは任意数を示す)）、サーバ装置 12、およびクライアント装置 13を 有する。
[0030] 製造装置 11は、被処理基板、例えば、半導体ウェハ等、に対する所定のプロセス を行う装置である。製造装置 11は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理 等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置 11は、例えば、上述の特許文 献 2、または特許文献 3等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。本製造装置 11 の例を図 2に示す。本製造装置 11は、ローデイング室として、他の室に対して密閉可 能になされ、不活性雰囲気として Nガスが供給 ·真空引き可能になされたいわゆる口
2
ードロック室構造になされた装置である。製造装置 11は、被処理体であるウェハ Wに 所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブ aと、このプロセスチューブ aに対し て多数枚例えば 100枚のウェハ Wを収納した保持体としてのウェハボート fを揷脱す る移送機構 gを備えたローデイング室としてのロードロック室 hと、このロードロック室 h に対してウェハ Wを搬出入する搬出入室 abと、この搬出入室 abに形成されたカセッ ト収容容器用ポート acと、このポート acに載置されたカセット収容容器 adを搬出入室 ab内に取り込む取り込み手段 aeと、取り込んだカセット収容容器 adを一時的に保管 する容器保管ステージ afと、カセット収容容器 ad内に収容されたカセット Cを取り出す カセット取り出しステージ agと、搬出入室 ab内にてカセット収容容器 adの受け渡しを 行う容器移載手段 ahと、ロードロック室 hと搬出入室 abとの間に配置されるウェハボ ート fを収容する保持体収容室 aiとで主要部が構成されている。なお、図 2の製造装 置 11の例における、その他の部位、および動作については、公知技術 (特許文献 2 参照)であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置 11を構成するチャンバ一と して、特許文献 3の図 1におけるチャンバ一が好適である。
[0031] また、製造装置 11は、例えば、ウェハに対する所定のプロセスに関する情報である レシピを格納しており、当該レシピを用いて制御する。
[0032] また、サーバ装置 12は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、 1 以上の製造装置 11における各種の測定情報を格納可能であり、当該測定情報に対 して、異常検知を行う機能を有する。
[0033] また、クライアント装置 13は、サーバ装置 12に対して各種の要求を出し、サーバ装 置 12における処理結果を受け付ける。
[0034] 図 3は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。
[0035] 製造装置 11は、入力受付部 1101、レシピ格納部 1102、製造装置識別子格納部
1103、計時部 1104、処理部 1105、測定部 1106、元情報蓄積部 1107、元情報送 信部 1108を具備する。
[0036] サーバ装置 12は、測定情報格納部 1201、元情報受信部 1202、測定情報取得部 1203、測定情報蓄積部 1204、指示受付部 1205、出力情報構成部 1206、出力部 1207、出力指示蓄積部 1208、条件情報格納部 1209、異常検知部 1210を具備す る。
[0037] クライアント装置 13は、指示入力部 1301、指示送付部 1302、受付部 1303、表示 部 1304を具備する。
[0038] 入力受付部 1101は、製造装置 11のユーザ力も各種の入力を受け付ける。各種の 入力とは、例えば、レシピゃ、レシピを識別するレシピ識別子や、ウェハに対する加 ェ処理等の処理の実行指示などである。ユーザ力 各種の入力の入力手段は、テン キーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部 11
01は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の 制御ソフトウェア等で実現され得る。
[0039] レシピ格納部 1102は、製造装置 11を制御するために使用されるレシピを格納して いる。レシピとは、製造装置 11が実行する所定のプロセスに関する情報であり、例え ば、製造パラメータ等を含む処理条件を指定する情報である。レシピは、通常、プロ セスを構成する 1または複数の手順や、その手順におけるプロセスパラメータ等を設 定する情報等を含む。レシピを構成する各手順は、通常、ステップ、あるいはレシビス テツプと呼ばれる。ステップには、通常、プロセスの一部の手順や、その手順における プロセスパラメータ等を設定する情報を含む。ここで、レシピを構成する 1以上のステ ップとして、レシピと同様の 1以上、通常は 2以上、のステップを備えた情報が用いら れることが多ぐこの情報は、サブレシピと呼ばれる。すなわちレシピは、サブレシピを 用いることにより、レシピ内にレシピを含むような入れ子構造 (ネスト構造）となっている 。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリ一名、アイテム名、パラメータ名、値 を含む。カテゴリ一名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温 度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセス ノ メータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パ ラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「C」「A」などである。値は、 プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレ シピ識別子 (例えば、レシピ名）と対に格納されている。また、レシピは、当該レシピを 構成するステップの識別子であるステップ識別子、サブレシピを識別するためのサブ レシピ識別子とともにレシピ格納部 1102に格納されている。ステップ識別子は、例え ば、ステップの名称や、識別番号等である。サブレシピ識別子は、サブレシピの名称 や、識別番号等である。サブレシピを構成するステップは、レシピを構成するステップ と同様のものであり、レシピを構成するステップと同じステップ識別子を有して ヽても 良いが、ここでは、説明の便宜上、サブレシピを構成するステップを、サブレシピステ ップと呼び、その識別子をサブレシピステップ識別子と呼ぶ。レシピ格納部 1102は、 不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。 製造装置識別子格納部 1103は、製造装置 11を識別する製造装置識別子を格納 している。製造装置識別子は、各製造装置 11を識別できる情報であればよぐ例え ば、装置名や、型番、製造番号や、各製造装置 11に設定された識別番号や名称等 であってもよい。この製造装置識別子は、入力受付部 1101が受け付けた情報でも良 いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部 1103 は、ハードディスクや ROM等の不揮発性の記録媒体でも、 RAM等の揮発性の記録 媒体でも良い。 [0041] 計時部 1104は、時を計測する。計時部 1104は、時を計測した結果得られた時刻 を示す情報を、測定部 1106に出力する。ここで述べる時刻を示す情報は、年月日 等の情報を含んでいていてもよい。計時部 1104が計時する時間は、絶対時間であ つても良ぐ相対時間であっても良い。計時部 1104は、例えば時計等で実現される。
[0042] 処理部 1105は、レシピ格納部 1102のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって 、被処理基板に対する所定のプロセスを行う。処理部 1105は、通常、 MPUやメモリ 等から実現され得る。処理部 1105の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当 該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回 路)で実現しても良い。
[0043] 測定部 1106は、製造装置 11内の温度や、ガス流量や、圧力、製造装置 11の電力 などを測定し、チャートィ匕等の対象となる測定情報の元になる情報である元情報を取 得する。元情報は、測定した温度などの情報である。測定部 1106は、例えば、定期 、あるいは不定期の所定の時間間隔で測定を行う。元情報は、測定により得られた値 である測定値を有する。また、元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有 する。この時刻情報は、例えば計時部 1104から取得される。元情報は、測定部 110 6が温度等の値を測定して 、た際に実行して 、たステップを識別するステップ識別子 と、測定した値である測定値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することが好適で ある。また、測定していた際に、実行中のステップとして、サブレシピが実行されてい た場合、実行中のサブレシピを識別するサブレシピ識別子を有する。さら〖こは、実行 中のサブレシピのうちの、実行中のサブレシピステップを識別するサブレシピステップ 識別子を有していることが好適である。なお、レシピ識別子や、ステップ識別子、サブ レシピ識別子、サブレシピステップ識別子等は、例えば、レシピ格納部 1102から取 得される。元情報は、実行していたレシピについてのレシピ識別子を有していても良 い。また、元情報がレシピを実行した製造装置 11の製造装置識別子を有していても 良い。この製造装置識別子は、例えば製造装置識別子格納部 1103から取得される 。また、元情報は、測定部 1106が測定する、測定対象、例えば温度やガス圧等や、 測定箇所、例えばプロセスチューブ内等、を識別するための情報、例えば測定対象 の名称や、測定箇所の名称、あるいはこれらに対応した識別情報等を有していても 良い。測定部 1106は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の 値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の測定され た値を有しても良い。測定部 1106は、 1以上の温度センサや 1以上の流量センサな どのセンサ等で実現され得る。
[0044] 元情報蓄積部 1107は、測定部 1106が取得した元情報を、図示しな 、記録媒体 に蓄積する。元情報蓄積部 1107は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。元情 報蓄積部 1107の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは RO M等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア（専用回路)で実現しても良い 。また、上記の図示しない記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発 性の記録媒体でも実現可能である。
[0045] 元情報送信部 1108は、元情報蓄積部 1107が蓄積した元情報を、サーバ装置 12 に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部 1108が送信 する元情報は、測定された一種以上 (例えば、温度とガス流量)の値、すなわち測定 値、および時刻情報を有する。また、元情報送信部 1108が送信する元情報は、サブ レシピを実行中に測定された測定値を含む場合、その測定時に実行されて ヽたサブ レシピのサブレシピ識別子を有する。また、この場合、元情報送信部 1108が送信す る元情報は、サブレシピステップ識別子を有することが好適である。また、元情報送 信部 1108が送信する元情報は、ステップ識別子を有することが好適である。さらに カロえて、元情報送信部 1108が送信する元情報は、製造装置 11を識別する製造装 置識別子や、レシピを識別するレシピ識別子を有することが好適である。また、測定 部 1106が測定する、測定対象、例えば「温度」や「ガス圧」等や、測定箇所、例えば「 プロセスチューブ内」等、を識別するための情報を有していても良い。なお、元情報 蓄積部 1107が蓄積した元情報と、元情報送信部 1108が送信する元情報は、その 構造や構成が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、 一つの製造装置識別子または一つのレシピ識別子あるいは一つのステップ識別子 の少なくとも一つを有する構成でも良い。元情報送信部 1108は、無線または有線の 通信手段等で実現され得る。また、元情報送信部 1108は、元情報をサーバ装置 12 に送信する前に、レシピ格納部 1102や製造装置識別子格納部 1103から、それぞ れサブレシピ識別子や、サブレシピステップ識別子や、ステップ識別子や、レシピ識 別子や、製造装置識別子を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信 部 1108は、値 (例えば、ガス流量）が測定される毎に、元情報を送信しても良いし、 所定数の測定した値をまとめた元情報 (例えば、 10個をまとめた元情報)を一度に送 信しても良い。元情報送信部 1108が送信するデータの単位やデータ構造等は問わ ない。また、送信する元情報を構成する処理は、元情報送信部 1108ではなぐ元情 報蓄積部 1107が行っても良い。測定された元情報や、製造装置識別子やレシピ識 別子やレシピステップ識別子を送信するタイミングなども問わない。
[0046] 測定情報格納部 1201は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複 数の製造装置 11で測定された一種以上の情報 (例えば、温度や圧力）についての 時系列の情報であり、製造装置で所定のプロセスを実行した場合の測定値と時刻を 示す時刻情報を有する情報である。また、測定情報は、サブレシピを実行中に測定 された測定値を含む場合、サブレシピ識別子を有する。また、この場合、元情報送信 部 1108が送信する元情報は、サブレシピステップ識別子を有することが好適である 。また、複数の測定情報は、製造装置 11を識別する製造装置識別子や、レシピ識別 子や、ステップ識別子等を有していても良い。測定情報は、元情報受信部 1202が受 信した複数の元情報に対して、測定情報取得部 1203が所定の演算を行い、取得さ れた情報でも良いし、元情報と同じ情報でも良い。測定情報格納部 1201は、不揮発 性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定 情報格納部 1201の測定情報は、測定情報蓄積部 1204が蓄積した情報でも良 、し 、製造装置 11から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体力 読み出 した情報でも良い。
[0047] 元情報受信部 1202は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製 造装置 11から受信する。元情報受信部 1202は、無線または有線の通信手段等で 実現され得る。
[0048] 測定情報蓄積部 1204は、元情報受信部 1202が受信した複数の元情報を用いた 測定情報を測定情報格納部 1201に蓄積する。この測定情報は、元情報受信部 120 2が受信した複数の元情報に対して、測定情報取得部 1203が所定の演算を行い、 取得された情報でも良いし、元情報と同じ情報でも良い。所定の演算とは、例えば、 所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最 大値を取得したり、最小値を取得したり、値を標準化したり、標準偏差を算出したり、 中央値を取得したりする演算である。なお、測定情報取得部 1203が取得した複数の 測定情報を、測定情報格納部 1201に配置する場合は、測定情報蓄積部 1204が行 う蓄積処理は NOP (No Operation)と同意義となる。測定情報蓄積部 1204は、通 常、 MPUやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部 1204の処理手順は、通常 、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウエアは ROM等の記録媒体に記録されている。 但し、ハードウェア（専用回路)で実現しても良い。
指示受付部 1205は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置 13か ら受信する力 サーバ装置 12に接続されているキーボードやマウス等力も受け付け ても良い。指示受付部 1205が受け付ける指示は、例えば、測定情報格納部 1201に 格納されている測定情報の出力指示である。この出力指示は、例えば、レシピを構成 するステップのうちの、所望のステップに対応した測定情報の出力指示である。また、 例えば、この出力指示は、レシピにおいて複数回実行されるサブレシピのうちの、 1 以上の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示を有するものである。「 1以 上の所望の回」とは、特定の一つの回、例えば第 1回、であっても良いし、特定の複 数の回、例えば第 2回と、第 5回との両方、であっても良いし、全ての回、であってもよ い。このサブレシピを指定する指示は、指定するサブレシピに対応したサブレシピ識 別子を有する指示であっても良い。出力指示は、例えば、所望のレシピを実行中に 測定された値を含む測定情報を出力させるために、レシピを指定する情報、例えば、 レシピ識別子等を含んでも良い。出力指示には、複数の製造装置 11のうちの特定の 製造装置についての測定情報を出力させるために、複数の製造装置 11のうちの少 なくともいずれか一つを指定する情報、例えば、製造装置識別子等を含んでも良い。 また、出力指示には、測定情報をどのように出力する力を指定する情報を含んでいて も良い。例えば、測定情報を、所望の形式のデータとして出力する指示や、チャート 化して出力する指示であっても良いし、測定情報を用いて所定の分析や処理、例え ば多変量解析や統計処理等を行った結果を出力する指示であっても良い。また、測 定情報を用いて異常検知ゃ異常分析等を行う指示であってもよい。また、出力指示 は、出力するチャートの種類、例えば、 SPCチャート、相関チャート、または MDチヤ ートなど、の情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する測定情報の データのタイプ、例えば温度や、ガス流量や、圧力など、を指定する情報を含んでも 良い。また、出力指示は、チャートを構成する点や線の属性情報を含んでも良い。属 性情報とは、点の色、点の種類 (形状)、線の色、線種などである。指示受付部 1205 は、例えば、無線または有線の受信手段力もなる。指示の入力手段は、テンキーや キーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受付部 1205は、 テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソ フトウェア等で実現され得る。
測定情報取得部 1203は、指示受付部 1205が受け付けた、測定情報の出力指示 により指定された測定情報を、測定情報格納部 1201から取得する。特に、出力指示 力 複数回実行されるサブレシピのうちの、 1以上の所望の回に実行されるサブレシ ピを指定する指示を有する場合、この指定された回のサブレシピに対応する測定情 報、例えば、当該サブレシピの実行時に測定された測定情報や、この測定情報に対 して所定の演算等の処理が行われた測定情報を取得する。測定情報取得部 1203 は、 1以上の指定された回（例えば、 1回目のみや、 5回目のみ、あるいは 1回目と 4回 目の両方等)の測定情報を、測定情報取得部 1203が取得する。具体的には、測定 情報取得部 1203は、出力指示に含まれるステップ識別子やサブレシピ識別子と一 致する識別子と関連づけられた測定情報を、測定情報格納部 1201から取得する。 さらに、出力指示に、装置識別子や、レシピ識別子等も含まれる場合、当該装置識 別子や、レシピ識別子についても一致する測定情報を取得する。測定情報取得部 1 203は、測定情報取得部 1203は、出力指示により指定された、複数回実行されるサ ブレシピに対応した測定情報の群、すなわち、このサブレシピを一回実行した際に測 定された 1以上の測定値を用いて得られた 1以上の測定情報の集まり、が新たに出 現する回数をカウントする。そして、このカウント数が、出力指示により指定された所望 の回と同じになった際に、この出現した測定情報の群に含まれる 1以上の測定情報 を取得する。具体的には、複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報が同じ サブレシピ識別子を有するものとすると、複数回実行されるサブレシピのサブレシピ 識別子と、その 1以上の実行される回を指定する出力指示を受け付けた場合、測定 情報取得部 1203は、測定情報格納部 1201に格納されている測定情報について、 出力指示により指定された複数回実行されるサブレシピのサブレシピ識別子が新た に検出された回数をカウントし、その回数が、出力指示に含まれる回に一致した場合 に、その一致した回の測定情報を取得する。より具体的には、測定情報取得部 1203 は、測定情報格納部 1201に格納されている測定情報について、出力指示に含まれ るサブレシピ識別子が一致する測定情報が新たに検出された回数をカウントし、その 回数が、出力指示に含まれる回に一致した場合に、その一致した回の、出力指示に より指定されたサブレシピ識別子を有する測定情報を取得する。なお、時間軸上に おいて、同じサブレシピ識別子を有する測定情報が、連続して現れたり、検出された りした場合には、同じサブレシピが繰り返されている場合を除いて、測定情報の新た な出現や、新たな検出とは考えず、それらは、一つの測定情報の群と考えられる。な お、ここでの新たな出現を検出する処理は、測定情報を、時刻を示す情報を用いて ソートした場合の処理を前提としている。新たに出現する回数、もしくは新たに検出さ れた回数をカウントとは、結果的に、新たに出現する回数、もしくは新たに検出された 回数をカウントできる処理であれば良い。例えば、この処理は、出力指示に含まれる サブレシピ識別子と一致するサブレシピ識別子を有する測定情報が検索された場合 であって、時間軸上において、その測定情報の直前の測定情報の有するサブレシピ 識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子ではない場合に、カウントアップす る処理である。さらに、サブレシピが 2以上のサブレシピステップを含み、このサブレシ ピが連続して繰り返し実行されることが考えられる場合においては、単に、サブレシピ 識別子が新たに出現する回数をカウントしただけでは、繰り返された複数のサブレシ ピに対応した測定情報が、時間軸上において連続しており、同じサブレシピ識別子 を有するものとなることから、上記の方法では、一つのサブレシピから得られた測定情 報と判断される恐れがある。このため、このような場合においては、測定情報取得部 1 203は、サブレシピを構成する 2以上のサブレシピステップに対応した 2以上の測定 情報が繰り返し出現する際に、この繰り返し出現する 1以上の測定情報を、複数回実 行されるサブレシピに対応した測定情報の群の一つであると判断して、カウントアップ を行う。具体的には、測定情報取得部 1203は、同じサブレシピ識別子を有する連続 した複数の測定情報において、 2以上のサブレシピステップ識別子、具体的には、サ ブレシピを構成する 2以上のサブレシピステップのサブレシピステップ識別子、が繰り 返し出現するごとに、カウントアップを行う。このようにすることで、サブレシピの繰り返 しが行われた場合においても、サブレシピの回数を正確にカウントすることができる。 このようなサブレシピの繰り返しは、例えば、サブレシピステップ識別子が検出される 際の規則性が保たれているか否かで判断可能であり、このような判断の際に利用す る規則性は問わない。測定情報取得部 1203は、通常、 MPUやメモリ等から実現さ れ得る。測定情報取得部 1203の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソ フトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路)で 実現しても良い。
出力情報構成部 1206は、測定情報取得部 1203が取得した測定情報を用いた出 力情報を構成する。また、指示受付部 1205が、レシピにおいて複数回実行されるサ ブレシピのうちの、 2以上の所望の回（例えば、 1回目と 5回目の両方等）に実行され るサブレシピを指定する出力指示を受け付け、この出力指示に応じて測定情報取得 部 1203が、 2以上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報を取得する場合に おいて、出力情報構成部 1206は、測定情報取得部 1203が取得した 2以上の異な る回のサブレシピに対応した測定情報のうちの、各サブレシピ内の所定の始点から の経過時間が一致する測定情報に対して、所定の演算を行い、その演算結果に応 じた出力情報を構成するようにしてもよい。所定の演算とは、具体的には、平均値の 算出や、最大値や、最小値の算出、標準偏差の算出、最大値と最小値との差の算出 等である。このようにすることで、例えば、 2以上の異なる回のサブレシピの実行時に 得られた測定値の平均値等の演算結果のチャート等を出力することができる。出力 情報構成部 1206は、例えば、予め設定された形式、もしくは指示受付部 1205が受 け付けた指示が指定する形式、具体的にはテキスト形式や、 XML形式や、データべ ース形式等の出力情報を構成する。また、測定情報取得部 1203が取得した測定情 報を用いて出力情報であるチャートを構成する。その際、出力情報構成部 1206は、 異なる種類の測定情報や、異なる製造装置の測定情報を視覚的に区別して出力情 報を構成することが好適である。出力情報構成部 1206は、例えば、出力指示蓄積 部 1208に蓄積されている出力指示に応じた出力情報を構成し、出力する。また、取 得した測定情報を用いて所定の演算を行い、当該演算結果に応じた出力情報を構 成してもよい。所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の測定情報が 有する複数の値の平均値を算出したり、複数の測定情報を、時間軸に沿って積算し たり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、値を標準化したり、標準偏差を算出 したり、中央値を取得したりする演算である。なお、このような所定の演算を、測定情 報蓄積部 1204が、元情報受信部 1202が受信した複数の元情報を蓄積する際に、 複数の元情報に対して行うようにしても良い。また、出力情報構成部 1206は、後述 する異常検知部 1210の判断結果に応じた出力情報を構成してもよい。例えば、出 力情報構成部 1206は、測定情報取得部 1203が取得した複数の測定情報から、チ ヤートを構成するが、その際、出力情報構成部 1206は、異常な測定情報と正常な測 定情報とを視覚的に区別して出力情報を構成する。ここでの出力情報とは、例えば、 異常である測定情報に関する測定部名と時刻のリスト情報であってもよ 、。この測定 部名は、例えば、測定情報に含まれている測定部 1106が測定する測定箇所を識別 する情報に応じて取得される。また、出力情報とは、例えば、当該リスト情報や測定情 報力も構成されたチャートの情報であってもよい。出力情報とは、例えば、正常である 旨、異常である旨である。出力情報とは、例えば、正常または異常のどちらかを示す 音情報 (ブザーなど)である。また、出力情報構成部 1206は、異常の検知のために、 異常値、正常値の範囲を示したチャートを構成する処理を行っても良い。かかる場合 、異常検知部 1210が、出力指示に合致する測定情報を読み込むが、異常検知の処 理を行うか否かは問わない。出力情報構成部 1206は、出力指示に二以上の製造装 置識別子が含まれる場合、製造装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートを構成することは好適である。また、出力情報構成部 1206は、出力 指示に二以上のレシピ識別子が含まれる場合、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚 的に区別できる態様のチャートを構成することは好適である。ここで、製造装置識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 2以上の 製造装置識別子を含む場合、製造装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類 ( 四角と丸の形状、色、大きさ)で出力されているチャートや、製造装置識別子ごとの測 定情報が異なる線の色で連結されているチャートなどである。また、製造装置識別子 ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つの製造 装置識別子のみを含む場合、当該一の製造装置識別子の複数の測定情報からなる チャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチ ヤートとは、出力指示が 2以上のレシピ識別子を含む場合、レシピ識別子ごとの測定 情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ)や、レシピ識別子ごとの測定情 報が異なる線の種類 (実線と破線など）で連結されているチャートなどである。また、レ シピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該一のレシピ識別子の複数の測定情報か らなるチャートをいう。また、出力情報構成部 1206は、読み出された複数の測定情 報から、製造装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであ り、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測 定情報をプロットしたチャートである SPCチャート (統計的工程管理チャート)を構成 しても良い。 SPCチャートは、統計的工程管理に用いられるチャートであり、単変量を 監視して異常検知を行うためのチャートである。 SPCチャートにおいて、監視対象の 上下限値 (管理値)を設定しておき、管理値外の値となった場合、異常検知部 1210 が異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好適である。このような上限値 は、例えば、後述する条件情報格納部 1209に予め保持させておくようにする。また、 出力情報構成部 1206は、出力指示が一以上の製造装置識別子を含む場合、当該 一以上の製造装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、製造装 置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測 定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成しても良 、。相関チャートは 、 2変量の相関関係を監視するチャートであり、 2変量力 異常を検知可能なチャート である。また、出力情報構成部 1206は、出力指示が一以上のレシピ識別子を含む 場合、当該一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、 レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以 上の測定情報の相関を示すチャートである MD (マハラノビス距離)チャートを構成し ても良い。チャートの構成は、例えば、時間軸にしたがって、複数の測定情報を線で 連結し、チャートを得る処理である。値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられ た場合に、チャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する 。また、値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、 SPCチャートや、 相関チャートや、 MDチャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は 省略する。また、二種類の測定情報とは、一の測定情報の中に、二種類の測定され た値 (例えば、温度とガス流量)を含む情報も含む。また、三種類以上の測定情報と は、一の測定情報の中に、三種類以上の測定された値 (例えば、温度とガス流量と圧 力）を含む情報も含む。出力情報構成部 1206は、通常、 MPUやメモリ等から実現さ れ得る。出力情報構成部 1206の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソ フトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路)で 実現しても良い。
[0052] 出力部 1207は、出力情報構成部 1206が構成したチャート等の出力情報を出力 する。ここで、出力とは、通常、クライアント装置 13への送信である。ただし、出力部 1 207は、サーバ装置 12に接続されているディスプレイにチャートを表示したり、プリン タへ印字したり、外部の装置へ送信したりしても良い。出力部は 1207、無線または有 線の通信手段で実現され得る。ただし、出力部は 1207、出力デバイスのドライバー ソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。
[0053] 出力指示蓄積部 1208は、点や線等の属性情報と製造装置識別子、または点や線 等の属性情報とレシピ識別子等の指示である出力指示を蓄積する。出力指示蓄積 部 1208は、例えば、指示受付部 1205がチャートの設定 (色情報を含む)を蓄積する 指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点や線等の属性情報と製造装置識別子 、または点や線等の属性情報とレシピ識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。 また、出力指示蓄積部 1208は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。出力指示 蓄積部 1208の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM 等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア（専用回路)で実現しても良い。
[0054] 条件情報格納部 1209は、異常検知の条件に関する情報である条件情報を格納し ている。条件情報は、例えば、測定値の正常範囲を示す上限値と下限値である。条 件情報は、例えば、正常値と異常値との間の境界値のみでも良い。これらの値は、通 常、管理値と呼ばれる。その他、条件情報は、測定の対象の値 (温度、圧力、ガス流 量、電力量など）によって、異なる。また、条件情報の構造は問わない。条件情報格 納部 1209は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可 能である。
[0055] 異常検知部 1210は、測定情報取得部 1203が取得した測定情報が有する値であ る測定値が異常である力 正常であるかを判断する。異常検知部 1210は、条件情報 格納部 1209の条件情報を用いて、測定情報が有する測定値が異常であるか、正常 であるかを判断する。具体的には、異常検知部 1210は、測定情報取得部 1203が 測定情報を取得した場合、当該測定情報が、それぞれ条件情報に合致するか否か を判断する。異常検知部 1210は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。異常検 知部 1210の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等 の記録媒体に記録されている。但し、ハードウ ア（専用回路)で実現しても良い。な お、異常検知部 1210における異常検知処理は、公知の異常検知の処理でも良い。
[0056] 指示入力部 1301は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、例えば、上述した ようなサーバ装置 12に蓄積されている測定情報の出力指示である。また、起動の指 示や、チャートの出力指示や、チャートの属性値 (線種や線の色や点の種類や点の 色など）の変更の指示などである。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウ スゃメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部 1301は、テンキーやキー ボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア 等で実現され得る。
[0057] 指示送付部 1302は、指示入力部 1301から入力された指示をサーバ装置 12に送 付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部 1302 は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
[0058] 受付部 1303は、サーバ装置 12からチャート等の出力情報を受け付ける。ここでの 受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。受付部 1303は、無線または有 線の通信手段等で実現され得る。 [0059] 表示部 1304は、受付部 1303が受け付けたチャート等の出力情報をディスプレイ に表示する。なお、受付部 1303が、サーバ装置 12から、テキスト形式や、 XML形式 や、データベース形式等の出力情報を受信する場合、表示部 1304が、これらの出 力情報から、表示データを構成するための MPUやメモリ等を備えるようにして、表示 部 1304が出力情報構成部 1206と同様に、チャート等の表示用の出力情報を構成 し、この出力情報をディスプレイに表示するようにしても良い。表示部 1304は、デイス プレイを含むと考えても含まないと考えても良い。表示部 1304は、ディスプレイのドラ ィバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
[0060] 次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置 11の動作につい て図 4のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、元情報が、測定時に実行 しているステップに対応したステップ識別子、また、そのステップがサブレシピを実行 するステップである場合、当該サブレシピに対応したサブレシピ識別子と、そのサブ レシピを構成するサブレシピステップのうちの、測定時に実行して 、るサブレシピステ ップに対応したサブレシピステップ識別子と、を含む場合にっ ヽて説明する。
[0061] (ステップ S401)処理部 1105は、レシピ格納部 1102のレシピを読み出す。
[0062] (ステップ S402)処理部 1105は、カウンタ iに 1を代入する。
[0063] (ステップ S403)処理部 1105は、ステップ S401で読み込んだレシピ中に、 i番目の ステップが存在するか否かを判断する。 i番目のステップが存在すればステップ S404 に行き、 i番目のステップが存在しなければステップ S420に行く。
[0064] (ステップ S404)処理部 1105は、 i番目のステップが、サブレシピを実行するステツ プであるカゝ否かを判断する。サブレシピを実行するステップである場合、ステップ S40 5に進みサブレシピを実行するステップでな 、場合、ステップ S413に進む。
[0065] (ステップ S405)処理部 1105は、カウンタ hに 1を代入する。
[0066] (ステップ S406)処理部 1105は、ステップ S404で実行されると判断されたサブレ シピのサブレシピステップに、 h番目のサブレシピステップが存在するか否かを判断 する。 h番目のサブレシピステップが存在すればステップ S407に行き、 i番目のステツ プが存在しなければステップ S418に行く。
[0067] (ステップ S407)処理部 1105は、 h番目のサブレシピステップの処理を実行する。 [0068] (ステップ S408)測定部 1106は、予め決められた 1種以上の測定 (例えば、温度と 圧力）を行い、測定値 (ここでの測定値は、通常、 1種以上の値のみ有する）を取得す る。
[0069] (ステップ S409)測定部 1106は、計時部 1104から時刻情報を、また、レシピ格納 部 1102から、現在実行中のサブレシピステップのサブレシピステップ識別子と、この サブレシピステップを含むステップおよびサブレシピに対応した、ステップ識別子およ びサブレシピ識別子と、を取得し、測定した情報に、時刻情報と、ステップ識別子、サ ブレシピ識別子、およびサブレシピステップ識別子とを付与して、元情報を構成する
[0070] (ステップ S410)元情報蓄積部 1107は、ステップ S409で構成した元情報を、図示 しな 、メモリに一時蓄積する。
[0071] (ステップ S411)処理部 1105は、 h番目のサブレシピステップの処理が終了したか 否かを判断する。例えば、 h番目のサブレシピステップの処理時間が予め決められて いる場合、その処理時間が経過した力否かを判断する。また、 h番目のサブレシビス テツプの処理の終了条件が決まっている場合、例えば、温度が所定の温度に達した 場合に処理が終了することが予め決まって 、る場合、処理条件を満たしたか否かを 判断し、満たした場合に、処理を終了することを決定する。処理を終了する場合、ス テツプ S412に進み、処理を終了しない場合、ステップ S408に戻る。
[0072] (ステップ S412)処理部 1105は、カウンタ hを 1、インクリメントし、ステップ S406に 戻る。
[0073] (ステップ S413)処理部 1105は、 i番目のステップの処理を実行する。
[0074] (ステップ S414)測定部 1106は、予め決められた 1種以上の測定 (例えば、温度と 圧力）を行い、測定値 (ここでの測定値は、通常、 1種以上の値のみ有する）を取得す る。
[0075] (ステップ S415)測定部 1106は、計時部 1104から時刻情報を、また、レシピ格納 部 1102から実行中のステップについてのステップ識別子を取得し、測定した情報に 時刻情報とステップ識別子とを付与して、元情報を構成する。
[0076] (ステップ S416)元情報蓄積部 1107は、ステップ S406で構成した元情報を、図示 しな 、メモリに一時蓄積する。
[0077] (ステップ S417)処理部 1105は、 i番目のレシピステップの処理が終了したか否か を判断する。例えば、 i番目のレシピステップの処理時間が予め決められている場合、 その処理時間が経過したカゝ否かを判断する。また、 i番目のレシピステップの処理の 終了条件が決まっている場合、例えば、温度が所定の温度に達した場合に処理が終 了することが予め決まっている場合、処理条件を満たした力否かを判断し、満たした 場合に、処理を終了することを決定する。処理を終了する場合、ステップ S418に進 み、処理を終了しない場合、ステップ S414に戻る。
[0078] (ステップ S418)元情報送信部 1108は、ステップ S410またはステップ S416で一 時蓄積した元情報 (ここでは、 1種以上の測定値と時刻情報とステップ識別子との組、 または 1種以上の測定値と時刻情報とステップ識別子とサブレシピ識別子とサブレシ ピステップ識別子との組、）をサーバ装置 12に送信する。なお、元情報送信部 1108 は、サーバ装置 12と通信するための情報 (例えば、サーバ装置 12の IPアドレス等）を 保持している、とする。
[0079] (ステップ S419)処理部 1105は、カウンタ iを 1、インクリメントし、ステップ S403に戻 る。
[0080] (ステップ S420)元情報送信部 1108は、レシピ格納部 1102から、レシピ識別子を 読み出す。このレシピ識別子は、ステップ S401で読み込んだレシピのレシピ識別子 である。
[0081] (ステップ S421)元情報送信部 1108は、製造装置識別子格納部 1103から、製造 装置識別子を読み出す。
[0082] (ステップ S422)元情報送信部 1108は、ステップ S410からステップ S411で読み 出したレシピ識別子、および製造装置識別子をサーバ装置 12に送信する。なお、元 情報送信部 1108は、サーバ装置 12と通信するための情報 (例えば、サーバ装置 12 の IPアドレス等）を保持している、とする。そして、処理を終了する。
[0083] なお、図 4のフローチャートのステップ S410やステップ S416において、元情報蓄 積部 1107が、ステップ S409やステップ S415で構成した元情報を、図示しないメモ リに一時蓄積する代わりに、逐次、ステップ S418と同様にサーバ装置 12に送信する ようにしても良い。このようにすれば、リアルタイムに、サーバ装置にデータを送信する ことができる。また、製造装置識別子や、レシピ識別子は、測定の開始時に送信する ようにしても良 、し、各測定情報に含ませるようにしても良 、。
[0084] なお、ステップ S409やステップ S415にお!/、て、元情報にステップ識別子を含ませ ない場合、ステップ S418の処理前に、レシピ格納部 1102から、ステップ識別子を読 み出して、これをステップ S418において、元情報とともに、サーバ装置 12に送信す る処理を行うようにしても良 、。
[0085] 次に、サーバ装置 12の動作について図 5のフローチャートを用いて説明する。なお 、ここでは、指示受付部 1205が受け付ける出力指示がチャートの出力指示である場 合を例に挙げて説明する。
[0086] (ステップ S501)指示受付部 1205は、指示を受け付けた力否かを判断する。指示 を受け付ければステップ S502に行き、指示を受け付けなければステップ S512に行
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[0087] (ステップ S502)測定情報取得部 1203は、ステップ S501で受け付けた指示がチ ヤートの出力情報の出力指示である力否かを判断する。チャートの出力指示であれ ばステップ S503に行き、チャートの出力指示でなければステップ S501に戻る。
[0088] (ステップ S503)測定情報取得部 1203は、ステップ S501で受け付けたチャートの 出力指示に、サブレシピを指定する指示、具体的にはサブレシピ識別子、が含まれ るカゝ否かを判断する。含まれる場合、ステップ S504に進み、含まれない場合、ステツ プ S501に戻る。なお、ステップ S501に戻る前に、出力指示に含まれる指示、例えば 所望のステップ識別子を有する測定情報を出力する指示に従って、所望のステップ 識別子を有する測定情報を取得し、出力する処理を行うようにしても良い。
[0089] (ステップ S504)測定情報取得部 1203は、カウンター mに 1を代入する。
[0090] (ステップ S505)測定情報取得部 1203は、出力指示に、複数回実行されるサブレ シピのうちの、 m番目の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示がある力否 かを判断する。「m番目の所望の回」とは、例えば、所望のサブレシピが 5回実行され た場合において、所望の回を 2回目と、 3回目と、 5回目との計 3回に設定したとすると 、 m= 1番目の所望の回は 2回目、 m= 2番目の所望の回は 3回目、 m= 3番目の所 望の回は、 5回目となる。ただし、 mの値が増加した場合に、必ずしも複数の所望の 回を、その値の小さいもの力も順に選択する必要はない。例えば、出力指示が、サブ レシピが 2回目と 3回目とに実行された際に得られた測定情報を指定する指示を含む 場合、 mが「1」および「2」の時に、測定情報取得部 1203は、出力指示に m番目の 所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示がある、と判断する。また、例えば、 レシピの実行時に、所望のサブレシピが 10回実行された場合において、出力指示が 、サブレシピが実行された全ての回において得られた測定情報を指定する指示を含 む場合、 10回のサブレシピ全てについての指定があることとなるため、 mが「1」から「 10」までのそれぞれの値である時に、測定情報取得部 1203は、出力指示に m番目 の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示がある、と判断してもよい。なお、 出力指示に、出力対象となるサブレシピの処理された回を指定する値が指定されて いない場合、所望の回を指定する値は、予めデフォルトで、例えば「1」等に設定する ようにすることが好ましい。 m番目の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指 示がある場合、ステップ S506に進み、ない場合、ステップ S509に進む。
[0091] (ステップ S506)測定情報取得部 1203は、測定情報格納部 1201に格納されて！、 る測定情報のうちの、出力指示に含まれる製造装置識別子およびレシピ識別子が一 致する測定情報内から、出力指示に含まれるサブレシピ識別子に対応したサブレシ ピの m番目の処理回を実行した際に取得された測定情報を取得する。例えば、レシ ピの実行時に、所望のサブレシピが 10回実行された場合において、出力指示が、サ ブレシピが 2回目と 5回目とに実行された際に得られた測定情報を指定する指示を含 む場合、 m= 1の場合には、 2回目にサブレシピが実行された際に測定された測定値 を用いた測定情報が取得される。また、 m= 2の場合には、 5回目にサブレシピが実 行された際に測定された測定値を用いた測定情報が取得される。この処理の詳細に ついては、後述する。
[0092] (ステップ S507)測定情報取得部 1203は、ステップ S506にお!/、て取得した測定 情報を、図示しないメモリ等に一時記憶する。なお、ステップ S506において、すでに メモリ等に測定情報が蓄積されている場合、この処理は行わなくても良い。
[0093] (ステップ S508)測定情報取得部 1203は、カウンター mを 1インクリメントする。そし て、ステップ S506に戻る。
[0094] (ステップ S509)異常検知部 1210は、ステップ S506で取得した 1以上の測定情報 が有する各測定値が異常であるか、正常である力否かを判断する。具体的には、異 常検知部 1210は、条件情報を用いて、各測定値が異常である力 正常であるか否 かを判断する。
[0095] (ステップ S510)出力情報構成部 1206は、ステップ S503で取得した測定情報を 用いて、受け付けた出力指示に従ったチャートなどの出力情報を構成する。この際、 測定情報に対して所定の演算を行っても良い。特に、複数回実行されたサブレシピ のうちの、異なる 2以上の回に対応して測定された測定情報が、測定情報取得部 12 03により取得された場合、出力情報構成部 1206は、測定情報取得部 1203が取得 した 2以上の異なる回のサブレシピに対応して得られた測定情報のうちの、各サブレ シピ内の所定の始点力 の経過時間が一致する測定情報に対して、所定の演算を 行い、その演算結果に応じた出力情報を構成するようにしてもよい。なお、 2以上の 測定情報の時間軸を合わせて、それぞれの測定情報の値について、平均や、最大 値や、最小値等を算出して、新たな測定情報を構成する処理については、公知技術 であるので、ここでは詳細な説明は省略する。なお、出力情報がチャートである場合 、チャートの線の属性値 (線の色や線種や点の色や点の種類など）は、指示された属 性値や、デフォルトの属性値等であり、出力情報構成部 1206は、かかる属性値を用 いて、チャートを構成する。構成するチャートは、製造装置識別子ごとの測定情報が 視覚的に区別できる態様のチャート、またはレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的 に区別できる態様のチャート、あるいは、この両方を視覚的に区別できる態様のチヤ ートである。また、構成するチャートは、出力指示が有するチャートの種類の情報 (SP Cチャート、相関チャート、 MDチャートなど）に従ったチャートである。また、出力情報 構成部 1206は、ステップ S505における異常検知処理の結果に応じた出力情報を 構成する。「異常検知処理の結果に応じた出力情報」とは、異常な測定情報か、正常 な測定情報力を明示する態様の出力情報でも良いし、異常と正常の閾値を明示した チャート等でも良い。
[0096] (ステップ S511)出力部 1207は、ステップ S510で構成した出力情報を出力する。 ここでの出力とは、クライアント装置 13への送信である。そして、ステップ S501に戻る
[0097] (ステップ S512)元情報受信部 1202は、 1以上の元情報を、製造装置 11から受信 した力否かを判断する。元情報を受信すれば、一時的に図示しないメモリ等に蓄積し てステップ S508に進み、元情報を受信しなければステップ S501に戻る。
[0098] (ステップ S513)測定情報蓄積部 1204は、元情報受信部 1202が受信した元情報 に対して所定の演算を行い、 1以上の測定情報を取得する。複数の元情報に対して 所定の演算を行うとは、複数の元情報が有する複数の組が有する 1種類以上の値そ れぞれに対して所定の演算 (平均値算出、標準偏差算出、最大値取得など)を行うこ とである。ただし、所定の演算は行わなくても良い。また、所定の演算の対象となる複 数の元情報とは、所定時間間隔 (例えば、 10分)ごとの複数の元情報ごとであってり 、所定のステップ数ごとの複数の元情報ごとである。なお、測定情報蓄積部 1204は 、元情報受信部 1202が受信した元情報、あるいは測定情報に対して、元情報受信 部 1202が受信した製造装置識別子やレシピ識別子等を適宜付加するようにしても 良い。
[0099] (ステップ S514)測定情報蓄積部 1204は、ステップ S513で取得した 1以上の測定 情報を測定情報格納部 1201に蓄積する。ステップ S501に戻る。
[0100] なお、図 5のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は 終了する。
[0101] また、図 5のフローチャートにおいては、チャートの出力指示を受け付ける前に、測 定情報が蓄積されている、とする。
[0102] また、図 5のフローチャートにおいて、測定情報の代わりに元情報を蓄積しておいて 、チャートなどの出力情報の出力を行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を 行い、 1以上の測定情報を取得し、当該 1以上の測定情報を用いて出力情報を構成 し、出力しても良い。つまり、測定情報を構成するタイミングは問わない。
[0103] 以下、図 5のフローチャートにおいてステップ S506に示した、サブレシピの m番目 の処理回の測定情報を取得する処理について図 6のフローチャートを用いて説明す る。ここでは、出力指示に、出力対象となる測定情報が取得された際に実行されてい たサブレシピステップに対応したサブレシピ識別子、およびサブレシピの m番目の処 理回を示す情報が、含まれているものとする。 m番目の処理回の値力 ここでは s (s は正の整数)であるとする。例えば出力指示により指定されている複数の処理回のう ちの、 m番目の処理回が 5回目である場合、 s = 5となる。また、ここでは、説明を簡略 化するために、出力指示に製造装置識別子およびレシピ識別子が含まれており、測 定情報格納部 1201に格納されている測定情報のうちの、出力指示に含まれる製造 装置識別子およびレシピ識別子が一致する測定情報内から、測定情報が検索される ものとする。
[0104] (ステップ S601)測定情報取得部 1203は、カウンター nに 1を代入する。
[0105] (ステップ S602)測定情報取得部 1203は、カウンター kを 0を代入する。
[0106] (ステップ S603)測定情報取得部 1203は、時刻情報に応じてソートされた、出力 指示に含まれる製造装置識別子およびレシピ識別子が一致する測定情報の中に、 n 番目の測定情報がある力否かを判断する。ある場合、ステップ S604に進み、ない場 合、上位関数にリターンする。なお、ない場合、対応する測定情報がない旨等のエラ 一出力を行った後、上位関数にリターンしても良い。
[0107] (ステップ S604)測定情報取得部 1203は、 n番目の測定情報が、出力指示に含ま れるサブレシピ識別子と一致するサブレシピ識別子を有するカゝ否かを判断する。ここ で述べる一致は、完全一致であっても部分一致であっても良い。有する場合、ステツ プ S605に進み、有さない場合、ステップ S614に進む。
[0108] (ステップ S605)測定情報取得部 1203は、カウンター kを 1インクリメントする。
[0109] (ステップ S606)測定情報取得部 1203は、カウンター kの値力^であるか否かを判 断する。 sであれば、ステップ S607〖こ進み、 sでなければ、ステップ S615〖こ進む。
[0110] (ステップ S607)測定情報取得部 1203は、 n番目の測定情報を取得する。なお、こ こで述べる測定情報の取得とは、測定情報内の測定値だけを取得することであって ちょい。
[0111] (ステップ S608)測定情報取得部 1203は、ステップ S607で取得した測定情報を 図示しないメモリ等に追記して蓄積する。また、メモリ等に蓄積する際に、測定情報に 、 m番目の処理回の値 sを付加するようにしても良い。これにより、この sの値を出力し て、所望のサブレシピが何回目に実行された測定情報であるかを、判別することが可 能となる。最終的に、このメモリ等に蓄積された測定情報が、測定情報取得部 1203 が取得した、複数回実行される所望のサブレシピの、 m番目の処理回において取得 された測定情報となる。
[0112] (ステップ S609)測定情報取得部 1203は、カウンター nを 1インクリメントする。
[0113] (ステップ S610)測定情報取得部 1203は、ステップ S603と同様に、 n番目の測定 情報があるカゝ否かを判断する。ある場合、ステップ S611に進み、ない場合、上位関 数にリターンする。なお、ない場合、対応する測定情報がない旨等のエラー出力を行 つた後、上位関数にリターンしても良い。
[0114] (ステップ S611)測定情報取得部 1203は、ステップ S604と同様に、 n番目の測定 情報が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子と一致するサブレシピ識別子を有す るカゝ否かを判断する。有する場合、ステップ S612に進み、有さない場合、上位関数 にリターンする。
[0115] (ステップ S612)測定情報取得部 1203は、 n番目の測定情報に対応したサブレシ ピステップ識別子の値が、出力指示に含まれる製造装置識別子およびレシピ識別子 がー致するとともに、 n番目の測定情報の時刻情報に対して直前の値の時刻情報を もつ、 n— 1番目の測定情報に対応したサブレシピステップ識別子の値と一致するか 否かを判断する。一致する場合、ステップ S607に進み、一致しない場合、ステップ S 613に進む。ただし、ここでは、サブレシピステップ識別子は、サブレシピステップの 処理順番に従って、値が 1ずつ増加する数値を含む値に設定されているものとする。
[0116] (ステップ S613)測定情報取得部 1203は、 n番目の測定情報に対応したサブレシ ピステップ識別子の値が、 n- 1番目の測定情報に対応したサブレシピステップ識別 子の値を 1インクリメントした値、と一致するか否かを判断する。一致する場合、ステツ プ S607に戻り、一致しない場合、上位関数にリターンする。なお、一致しないというこ とは、測定情報が、サブレシピを構成するサブレシピステップの配列の規則性に合致 していないことを意味する。この処理により、サブレシピを構成する複数のサブレシピ ステップが繰り返し行われている力否かを判断でき、これにより、サブレシピが繰り返 し行われたことを判断することができる。サブレシピが繰り返されていた場合、その時 点で、サブレシピの処理回が変更されるため、測定値を取得する処理が終了される。
[0117] (ステップ S614)測定情報取得部 1203は、カウンター nを 1インクリメントする。そし て、ステップ S603に戻る。
[0118] (ステップ S615)測定情報取得部 1203は、カウンター nを 1インクリメントする。
[0119] (ステップ S616)測定情報取得部 1203は、ステップ S603と同様に、 n番目の測定 情報があるカゝ否かを判断する。ある場合、ステップ S617に進み、ない場合、上位関 数にリターンする。なお、ない場合、対応する測定情報がない旨等のエラー出力を行 つた後、上位関数にリターンしても良い。
[0120] (ステップ S617)測定情報取得部 1203は、ステップ S604と同様に、 n番目の測定 情報が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子と一致するサブレシピ識別子を有す るカゝ否かを判断する。有する場合、ステップ S618に進み、有さない場合、ステップ S
620に進む。
[0121] (ステップ S618)測定情報取得部 1203は、ステップ S612と同様に、 n番目の測定 情報に対応したサブレシピステップ識別子の値が、 n- 1番目の測定情報に対応した サブレシピステップ識別子の値と一致するカゝ否かを判断する。一致する場合、ステツ プ S615に戻り、一致しない場合、ステップ S619に進む。
[0122] (ステップ S619)測定情報取得部 1203は、ステップ S613と同様に、 n番目の測定 情報に対応したサブレシピステップ識別子の値が、 n- 1番目の測定情報に対応した サブレシピステップ識別子の値を 1インクリメントした値、と一致するカゝ否かを判断する o一致する場合、ステップ S615に戻り、一致しない場合、ステップ S605に戻る。
[0123] なお、図 6のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は 終了する。
[0124] なお、図 6のフローチャートにおいて、サブレシピが、連続して繰り返し実行されるこ とがないこと力 予め分力つている場合、サブレシピステップが繰り返し行われている かを判断する処理が不要となるため、ステップ S612およびステップ S613の処理と、 ステップ S618およびステップ S619の処理とを省略してもよい。この場合、ステップ S 612の処理により、サブレシピステップ識別子の値が一致すると判断された場合、ス テツプ S607〖こ戻るよう〖こし、ステップ S617の処理〖こより、サブレシピステップ識別子 の値が一致すると判断された場合、ステップ S615に戻るようにすればよ!、。
[0125] さらに、図 5および図 6のフローチャートにおいて、ユーザが、出力情報の出力指示 を入力することにより、リアルタイムに異常検知が開始され、元情報を受信する度に、 出力情報 (チャートなど)を更新しながら異常検知処理を行 、、異常が起こればすぐ にユーザに知らせるようにすることは好適である。つまり、図 5および図 6のフローチヤ ートにおいて、以下の処理を行うことはさらに好適である。例えば、元情報受信部 12 02は、製造装置 11での製造中等において、製造装置 11から次々と送られてくる元 情報をリアルタイムに受信し、測定情報蓄積部 1204は、測定情報格納部 1201に測 定情報を少なくとも一時的に順次蓄積する。そして、測定情報取得部 1203は、測定 情報を蓄積する毎に、この測定情報に対して、ステップ S503からステップ S619まで の処理を実施していくようにすればよい。このとき、図 6のフローチャートにおいては、 上記の順次蓄積された測定情報を、 n番目の測定情報として適宜取り扱うようにし、 n の値を 1インクリメントする際には、次に蓄積される測定情報を適宜取り扱いようにす ればよい。力かる処理により、リアルタイムに製造装置 11の状態を確認できるとともに 、リアルタイムに異常検知がなされ、ユーザは異常の発生を直ちに認識できる。
[0126] また、所望のサブレシピの全ての処理回の測定値を、処理回毎に取得する指示を 受け付けた場合には、図 5に示したフローチャートにおいて、ステップ S505の処理を 省略するとともに、 m番目の処理回の値を mに設定、すなわち m=sに設定するように して、 mの値を 1インクリメントさせながら、ステップ S506の処理、すなわち図 6のフロ 一チャートの処理を繰り返して、処理回ごとの測定値を取得するとともに、ステップ S5 06の処理、すなわち図 6のフローチャートの処理において、エラーが出力される等に より、測定値が取得されな力つた場合に、ステップ S509に進むようにすればよい。
[0127] あるいは、所望のサブレシピ識別子を有する測定情報を、異なるステップ識別子毎 に取得するようにして、所望のサブレシピの全ての処理回の測定値を、処理回毎に 取得するようにしてもよ ヽ。
[0128] 次に、クライアント装置 13の動作について説明する。クライアント装置 13の指示入 力部 1301がユーザ力もチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部 1302 は、当該出力指示をサーバ装置 12に送付し、サーバ装置 12での処理結果であるチ ヤートの情報を受付部 1303が受け付け、表示部 1304がチャートを表示する。
[0129] 以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。
群管理システムの概念図は図 1である。
[0130] 図 7は、 1以上の製造装置 11のレシピ格納部 1102に格納されているレシピを管理 するレシピ管理表である。レシピ管理表は、「レシピ識別子」、「ステップ識別子」、「処 理条件」という属性を有している。「レシピ識別子」はレシピ識別子、「ステップ識別子」 はレシピを構成するステップのステップ識別子、「処理条件」は、各ステップの処理条 件、例えば、処理時間や、処理温度等の設定、である。なお、「ステップ識別子」の属 性値が、サブレシピ識別子である場合、そのサブレシピの処理が、当該ステップにお いて実行されることを示す。
[0131] 図 8は、 1以上の製造装置 11のレシピ格納部 1102に格納されているサブレシピを 管理するサブレシピ管理表である。サブレシピ管理表は、「サブレシピ識別子」、「サ ブレシピステップ識別子」、「処理条件」という属性を有している。「サブレシピ識別子」 はサブレシピ識別子、「ステップ識別子」はサブレシピを構成するサブレシピステップ のサブレシピステップ識別子、「処理条件」は、各サブレシピステップの処理条件、例 えば、処理時間や、処理温度等の設定、である。なお、サブレシピおよびサブレシピ ステップは、基本的には、レシピぉよびステップと同様であるので、サブレシピの代わ りにレシピを用いることも可能である。
[0132] 本具体例において、 1以上の製造装置 11の入力受付部 1101が、ユーザからのゥ ェハに対する加工処理の開始指示を受け付けると、処理部 1105は、レシピ格納部 1 102のレシピを読み出し、読み出したレシピをステップ毎に実行し、ウェハの加工処 理を進める。そして、測定部 1106は、ウェハの加工処理中、例えば、 1秒ごとに、予 め決められた炉内のガス流量を測定し、取得したガス流量と、計時部 1104から取得 した時刻情報と、レシピ格納部 1102から取得したステップ識別子とを対にした元情 報を構成する。このとき、実行するステップが、サブレシピを実行するステップである 場合、そのサブレシピを構成するサブレシピステップを、順次実行する。そして、取得 したガス流量等の測定値と、計時部 1104から取得した時刻情報と、レシピ格納部 11 02から取得したステップ識別子とにカ卩えて、さらに実行中のサブレシピ識別子と、実 行中のサブレシピステップ識別子とを対にした元情報を構成する。構成した元情報 は、元情報蓄積部 1107により一時的に蓄積される。蓄積された元情報の例は、図 9 である。ここでは、説明を簡単にするために測定値力 ガス流量の測定値である場合 について説明しており、以下についても同様とする。なお、サブレシピ識別子とサブ レシピステップ識別子がない元情報については、これらの識別子を省略する力、もし くは、これらの識別子が格納される位置に、これらの識別子がないことを示す情報を 格納しておく。元情報は、ステップ識別子、サブレシピ識別子、サブレシピステップ識 別子、ガス流量、時刻情報を有する。なお、時刻情報は、時刻を示す情報であり、時 •分'秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。なお、 この元情報が、データタイプ (測定情報のデータの種類であり、例えば、ガス流量や 温度や圧力などがある）の情報、ここではガス流量であることを示す情報、を含んでい てもよい。
[0133] 製造装置 11の元情報送信部 1108は、レシピを構成するすべてのステップの実行 が完了した段階で、元情報蓄積部 1107により蓄積された元情報を、サーバ装置 12 に送信する。また、製造装置 11の元情報送信部 1108は、製造装置識別子格納部 1 103の製造装置識別子、およびレシピ格納部 1102のレシピ識別子 (被処理基板に 対する所定のプロセスを行う際に実行したレシピの識別子)を読み出し、サーバ装置 12に送信する。なお、ここでは、すべてのステップが終了した際に、元情報をサーバ 装置 12に送信するようにした力 例えば、 1つの元情報を取得する毎に、リアルタイム にサーバ装置 12に送信するようにしても良い。
[0134] 次に、サーバ装置 12の元情報受信部 1202は、ステップ識別子と、ガス流量と時刻 情報との組により構成される元情報を受信する。また、製造装置識別子、およびレシ ピ識別子を受信する。そして、測定情報蓄積部 1204は、ステップ識別子とガス流量 と時刻情報との複数の組、レシピ識別子、および製造装置識別子を有する元情報を 図示しないメモリ等に蓄積する。力かる元情報の例を図 10に示す。図 10は、元情報 管理表である。元情報管理表は、「製造装置識別子」、「レシピ識別子」、「ステップ識 別子」、「ステップ識別子」、「サブレシピ識別子」、「値 (ガス流量)」「時刻情報」を有 する。図 10の元情報管理表は、一の製造装置識別子およびレシピ識別子に対して、 値 (ここでは、 1種類)と、ステップ識別子と、時刻情報との複数の組が対応するデー タ構造を有している。また、図 10においては、 1以上の製造装置 11、および複数のレ シピの実行に対応した元情報が管理されているものとする。なお、図 10の元情報等 の値は、説明のために用意された情報であり、実測値ではない。
[0135] 次に、測定情報蓄積部 1204は、図 10に示した複数の元情報に対して所定の演算 を行い、複数の測定情報を取得する。ここでは、所定の演算は、平均値の算出であり 、測定情報蓄積部 1204は、 10秒おきに平均値を算出する、とする。測定情報蓄積 部 1204はこの複数の測定情報を、測定情報格納部 1201に蓄積する。図 11は、測 定情報蓄積部 1204に蓄積されている測定情報を管理するための、測定情報管理表 である。測定情報管理表は、「製造装置識別子」、「レシピ識別子」、「ステップ識別子 」、「サブレシピ識別子」、「サブレシピステップ識別子」、「平均値 (ガス流量)」、「時刻 情報」を有する。製造装置識別子」、「レシピ識別子」、「ステップ識別子」、「サブレシ ピ識別子」、「サブレシピステップ識別子」、「時刻情報」は、図 10と同様である。また、 平均値は、測定情報蓄積部 1204が算出した平均値である。
[0136] また、条件情報格納部 1209には、炉内のガス流量の正常 Z異常を判断する条件 情報「260く =ガス流量く = 280」を格納している、とする。
[0137] 力かる状況において、ユーザは、クライアント装置 13から、図 12に示す画面に対し て、必要な情報を入力し、「チャート出力」ボタンを押下する、とする。図 12は、チヤ一 トの出力指示を入力し、チャートを出力するための画面である。ここで、必要な情報と は、出力したいサブレシピを指定するための情報、具体的にはサブレシピ識別子と、 そのサブレシピの 1以上の処理回を指定する情報、ここでは、 1回目と、 3回目とを指 定する情報であり、図 12に示すように、フィールド 101にサブレシピ識別子力 また、 フィールド 102に出力対象となる処理回を指定する値が入力されている。なお、「全 て」を指定するチェックボックス 103にチェックをいれると、処理回の全てを出力対象 に指定することとなる。この情報の他には、データタイプ (測定情報のデータの種類で あり、例えば、ガス流量や温度や圧力などがある）、製造装置識別子、レシピ識別子 のうちの 1以上の情報等の情報が適宜指定される。図 12においては、サブレシピ識 別子「SR01」および処理回「1, 3」と、データタイプ「ガス流量」と、製造装置識別子「 El」と、レシピ識別子「R1」とが入力されていることとなる。したがって、かかる状況で 、ユーザが「チャート出力」ボタンを押下すれば、指示入力部 1301は、「ガス流量」の 測定情報 (例えば、図 11に示す情報)のうち、「サブレシピ識別子 = SR01」かつ「処 理回 = 1, 2, 3」かつ「製造装置識別子 =E1」かつ「レシピ識別子 =R1」の条件に合 致する測定情報を出力する出力指示を受け付ける。なお、かかる出力指示の例は、 例えば、「チャート出力 サブレシピ識別子 = "SR01",処理回 = "1, 3",データタイ プ=〃ガス流量〃，製造装置識別子 =〃E1〃， レシピ識別子 =〃R1〃」である。
[0138] 次に、指示送付部 1302は、出力指示「チャート出力 サブレシピ識別子 = "SR01" ,処理回 = "1, 3",データタイプ = "ガス流量"，製造装置識別子 = "E1",レシピ識 別子 = "R 1 "」をサーバ装置 12に送信する。
[0139] そして、サーバ装置 12の指示受付部 1205は、出力指示「チャート出力 サブレシ ピ識別子 = "SR01",処理回 = "1, 3",データタイプ = "ガス流量"，製造装置識別 子 = "E1",レシピ識別子 = "R1"」を受信する。
[0140] 次に、サーバ装置 12の測定情報取得部 1203は、測定情報格納部 1201に格納さ れている測定情報から、出力指示「チャート出力 サブレシピ識別子 = "SR01",処 理回 = "1, 3",データタイプ =〃ガス流量"，製造装置識別子 = "E1", レシピ識別子 = "R1"Jに合致する測定情報を検索し、取得する。
[0141] まず、測定情報取得部 1203は、 1番目の処理回である 1回目に実行されたサブレ シピについての測定情報を取得する。測定情報取得部 1203は、図 11に示す測定 情報管理表に基づいて、処理回 sの値を「1」に設定する。そして、測定情報取得部 1 203は、カウンター nの値を 1に設定して、このカウンター nの値を 1ずつインクリメント しながら、製造装置識別子が〃 E1〃で、レシピ識別子が〃 R1〃である測定情報のうちの 、時間軸に沿った n番目の測定情報について、サブレシピ識別子が、出力指示に含 まれるサブレシピ識別子である SR01と一致する力否かを順次判断して 、く。ここでは 、ステップ識別子が「S1」である測定情報は、すべてサブレシピ識別子を有していな いため、ステップ識別子が「S2」である測定情報のうちの最初の測定情報、すなわち 「時刻情報」が Γ2005Ζ12Ζ02 16: 20: 00」である測定情報のサブレシピ識別子 が" SR01"—致すると判断される。そして、カウンター kの値を「1」に設定する。この力 ゥンター kの値力 処理回 sの値である「1」と一致するため、測定情報取得部 1203は 、この測定情報を取得して、メモリ等に蓄積する。なお、このとき「値 (ガス流量)」の属 性値だけを取得して蓄積するようにしてもよい。かかることは、測定情報取得部 1203 力 他の測定情報を取得する際においても同様である。
[0142] つぎに、測定情報取得部 1203はカウンター nを 1インクリメントさせて n番目の測定 情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子である SR01と 一致するか否かを判断する。ここでは、「時刻情報」が「2005Z12Z02 16 : 20 : 10 」である測定情報の「サブレシピ識別子」が出力指示の「SR01」と一致する。
[0143] つぎに、 n番目の測定情報のサブレシピステップ識別子が、 n— 1番目の測定情報 のサブレシピステップ識別子、もしくはそのサブレシピステップ識別子の数値部分を 1 インクリメントした値と一致する力否力判断する。ここでは、 n—1番目の測定情報のサ ブレシピステップ識別子と一致しているため、この測定情報を取得し、蓄積する。
[0144] そして、同様の処理を繰り返す。なお、ここでは、「時刻情報」が「2005/12/02 16 : 20 : 00」から、「2005Z12Z02 16 : 24 : 50」までの間に、サブレシピの繰り返 しは行われておらず。サブレシピステップ識別子 SRS004のサブレシピステップと、 サブレシピステップ識別子 SRS005のサブレシピステップ力 それぞれ 1回ずつ行わ れたのみとし、これらの測定情報のサブレシピステップ識別子は SRS004から SRS0 05に時間軸に沿って数値部分が単調に増加しているものとする。そして、 η番目の測 定情報が、「時刻情報」が「2005Ζ12Ζ02 16 : 25 : 00」である測定情報となった時 点で、この測定情報のサブレシピ識別子が、「SR02」ではなくなるため、 1回目のサ ブレシピの実行において得られた測定情報を取得する処理が終了する。これにより、 「時亥 IJ†青報」力 S「2005/12/02 16 : 20 : 00」力ら、「2005/12/02 16 : 24 : 50 」までの測定情報が測定情報取得部 1203により取得される。なお、ここでは、処理の 終了時に、処理回 sの値を測定情報に付加して蓄積するものとする。
[0145] つぎに、測定情報取得部 1203は、第 2番目の処理回である 3回目に実行されたサ ブレシピについての測定情報を取得する。測定情報取得部 1203は、図 11に示す測 定情報管理表に基づいて、処理回 sの値を「3」に設定する。そして、測定情報取得 部 1203は、カウンター nの値を 1に設定して、このカウンター nの値を 1ずつインクリメ ントしながら、製造装置識別子が" El"で、レシピ識別子が" R1"である測定情報のう ちの、時間軸に沿った n番目の測定情報について、サブレシピ識別子が、出力指示 に含まれるサブレシピ識別子である SR01と一致するか否かを順次判断して 、く。こ こでは、ステップ識別子が「S1」である測定情報は、すべてサブレシピ識別子を有し ていないため、ステップ識別子が「S2」である測定情報のうちの最初の測定情報、す なわち「時刻情報」が「2005Z12Z02 16 : 20 : 00」である測定情報のサブレシピ 識別子が" SR01"—致すると判断される。そして、カウンター kの値を初期値である「0 」から、値を 1インクリメントした「1」に設定する。このカウンター kの値力 処理回 sの値 である「3」と一致しないため、測定情報取得部 1203は、この測定情報を取得しない
[0146] つぎに、測定情報取得部 1203はカウンター nを 1インクリメントさせて n番目の測定 情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子である SR01と 一致するか否かを判断する。ここでは、一致するため、 n番目の測定情報のサブレシ ピステップ識別子が、 n- 1番目の測定情報のサブレシピステップ識別子、もしくはそ のサブレシピステップ識別子の数値部分を 1インクリメントした値と一致するか否力判 断される。ここでは一致するため、再度、 nの値を 1ずつインクリメントさせて、再度、 n 番目の測定情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子であ る SR01と一致するか否かの判断処理と、 n番目の測定情報のサブレシピステップ識 別子が、 n— 1番目の測定情報のサブレシピステップ識別子、もしくはそのサブレシピ ステップ識別子の数値部分を 1インクリメントした値と一致する力否かの判断処理とが 繰り返される。
[0147] そして、 n番目の測定情報が、「時刻情報」が「2005Z12Z02 16 : 25 : 00」であ る測定情報となった時点で、この測定情報のサブレシピ識別子が、「SR02」ではなく なるため、 1回目に実行されたサブレシピに対応した測定情報を取得する処理が終 了する。
[0148] そして、測定情報取得部 1203は、再び、カウンター nの値を 1インクリメントしながら 、製造装置識別子が" E1"で、レシピ識別子が" R1"である測定情報のうちの、時間 軸に沿った n番目の測定情報について、サブレシピ識別子が、出力指示に含まれる サブレシピ識別子である SR01と一致する力否かを順次判断していく。ここでは、「時 刻情報」が「2005Z12Z02 16 : 55 : 00」である測定情報の「サブレシピ識別子」が 出力指示の「SR01」と一致する。そして、カウンター kの値を 1インクリメントして「2」に 設定する。このカウンター kの値力 処理回 sの値である「1」と一致しないため、測定 情報取得部 1203は、この測定情報を取得しない。
[0149] つぎに、測定情報取得部 1203はカウンター nを 1インクリメントさせて n番目の測定 情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子である SR01と 一致するか否かを判断する。ここでは、一致するため、 n番目の測定情報のサブレシ ピステップ識別子が、 n- 1番目の測定情報のサブレシピステップ識別子、もしくはそ のサブレシピステップ識別子の数値部分を 1インクリメントした値と一致するか否力判 断される。ここでは一致するため、再度、 nの値を 1ずつインクリメントさせて、再度、 n 番目の測定情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子であ る SR01と一致するか否かの判断処理と、 n番目の測定情報のサブレシピステップ識 別子が、 n— 1番目の測定情報のサブレシピステップ識別子、もしくはそのサブレシピ ステップ識別子の数値部分を 1インクリメントした値と一致する力否かの判断処理とが 繰り返される。
[0150] ここで、 n番目の測定情報が、「時刻情報」が「2005Z12Z02 17 : 00 : 00」である 測定情報となった場合、そのサブレシピステップ識別子「SR004」の数値部分「004」 は、 n— 1番目の測定情報である「時刻情報」が「2005Z12Z02 16 : 59 : 50」の測 定情報の、サブレシピステップ識別子「SR005」の数値部分「004」よりも値が小さく なっている。このため、 n番目の測定情報のサブレシピステップ識別子力 n- 1番目 の測定情報のサブレシピステップ識別子、もしくはそのサブレシピステップ識別子の 数値部分を 1インクリメントした値と一致しな 、と判断される。そしてカウンター kの値が 1インクリメントされ、カウンター kの値が「3」に設定される。そして、カウンター kの値が 、処理回 sの値と同じ「3」となるため、この n番目の測定情報が取得される。
[0151] つぎに、測定情報取得部 1203はカウンター nを 1インクリメントさせて n番目の測定 情報のサブレシピ識別子が、出力指示に含まれるサブレシピ識別子である SR01と 一致する力否かを判断する。ここでは、「時刻情報」が「2005/12/02 17 : 00 : 10 」である測定情報の「サブレシピ識別子」が出力指示の「SR01」と一致する。
[0152] つぎに、 n番目の測定情報のサブレシピステップ識別子が、 n— 1番目の測定情報 のサブレシピステップ識別子、もしくはそのサブレシピステップ識別子の数値部分を 1 インクリメントした値と一致する力否力判断する。ここでは、 n—1番目の測定情報のサ ブレシピステップ識別子と一致しているため、この測定情報を取得し、蓄積する。
[0153] そして、同様の処理を繰り返す。なお、ここでは、「時刻情報」が「2005Z12Z02 17 : 00 : 00」力ら、「2005/12/02 17 : 04 : 50」までの に、サブレシピの繰り返 しは行われておらず。サブレシピステップ識別子 SRS004のサブレシピステップと、 サブレシピステップ識別子 SRS005のサブレシピステップ力 それぞれ 1回ずつ行わ れたのみとし、これらの測定情報のサブレシピステップ識別子は SRS004から SRS0 05に時間軸に沿って数値部分が単調に増加しているものとする。そして、 η番目の測 定情報が、「時刻情報」が「2005Ζ12Ζ02 17 : 05 : 00」である測定情報となった時 点で、この測定情報のサブレシピ識別子が、「SR02」ではなくなるため、 3回目のサ ブレシピの実行において得られた測定情報を取得する処理が終了する。これにより、 「時亥 IJ†青報」力 S「2005/12/02 17 : 00 : 00」力ら、「2005/12/02 17 : 04 : 50 」までの測定情報が測定情報取得部 1203により取得される。
[0154] 図 13は測定情報取得部 1203が取得した測定情報を管理するための取得情報管 理表である。取得情報管理表は「製造装置識別子」、「レシピ識別子」、「ステップ識 別子」、「サブレシピ識別子」、「サブレシピステップ識別子」、「平均値 (ガス流量)」、「 時刻情報」を有する。「製造装置識別子」、「レシピ識別子」、「ステップ識別子」、「サ ブレシピ識別子」、「サブレシピステップ識別子」、「平均値 (ガス流量)」、「時刻情報」 は、図 10と同様である。
[0155] ここで、例えば、上述した処理回として 1回目と 3回目とを指定する代わりに、サブレ シピを 2回目に処理した際の測定情報を取得する出力指示を受け付けた場合、カウ ンター kの値力 = 2となった時点の測定情報から、カウンター kの値力 = 3となる直 前までの測定情報、すなわち「時刻情報」が「2005Z12Z02 17 : 00 : 00」である 測定情報から「時刻情報」が「2005Ζ12Ζ02 16 : 59 : 50]までの測定情報が取得 される。 [0156] つぎに、異常検知部 1210は、測定情報取得部 1203から図 13に示すような測定 情報を取得するとともに、条件情報格納部 1209から、条件情報「260< =ガス流量 く = 280」を読み出し、当該条件情報を用いて、サブレシピのそれぞれの処理回に おいて得られた測定情報について、異常を検知する。例えば図 13の測定情報の全 ての「平均値」が 260未満であるので、全て異常値である、と判断される。
[0157] 次に、出力情報構成部 1206は、測定情報取得部 1203が取得した図 13の情報と 、異常検知部 1210の判断結果を用いて、出力情報であるチャートを構成する。本チ ヤートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値 (ガス流量の平均値)である折れ線 グラフである。なお、時刻は、サブレシピの実行開始時刻を 0分 0秒とした相対時刻で 表している。また、処理回毎に異なるグラフを構成している。
[0158] 次に、出力部 1207は、出力情報構成部 1206が構成した折れ線グラフをクライアン ト装置 13に送信する。
[0159] クライアント装置 13の受付部 1303は当該折れ線グラフを受信し、表示部 1304は、 図 14に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。図 14において、正常範 囲は、斜線で示している。また、測定情報に含まれる「処理回」の値を用いて、出力情 報構成部 1206で構成した凡例が出力されて 、る。
[0160] なお、ここで、出力情報構成部 1206が、図 15に示すように、処理回の異なる測定 情報のうちの、サブレシピの開始時刻から同じ時刻が経過した際に得られた測定情 報同士の平均値を算出し、この平均値のグラフを作成し、図 14のグラフと重ね合わ せて出力しても良い。
[0161] また、上記具体例にぉ 、て、所望のサブレシピの全ての処理回の測定値を、処理 回毎に取得する指示を受け付けた場合には、例えば、カウンター kの値が 1インクリメ ントされる毎のサブレシピに対応した測定情報を、上記具体例と同様に取得するよう にすればよい。この場合、処理対象となる測定情報、例えば、上記具体例における n 番目の測定情報、がなくなった時点で、処理を終了すればよい。
なお、上記具体例においては、同じサブレシピ内のサブレシピステップについての サブレシピステップ識別子として、サブレシピステップが実行される順番に従って、値 、もしくはその数値部分の値、力^ずつ増加する識別子を用いるようにし、測定情報 のサブレシピステップ識別子の値もしくは数値部分の値力 直前の測定情報のサブ レシピステップ識別子に対して、同じ力 1インクリメントした値でない場合に、サブレシ ピの処理回をカウントアップするようにした。しかしながら、本実施の形態においては 、同じサブレシピ内のサブレシピステップについてのサブレシピステップ識別子力 サ ブレシピステップの配列順等が特定可能な所定の規則性、例えば各サブレシピステ ップ識別子力 a, b, cといったアルファベット順に配列される文字を一つずつ持つ等 の規則性や、各サブレシピステップ識別子力 処理順に沿って 1デクリメントされた値 を有する等の規則性、を有しており、測定情報のサブレシピステップ識別子がこの規 則性を満たさな 、と判別された場合に、サブレシピの処理回をカウントアップするよう にしてもよい。
[0162] 以上、本実施の形態によれば、繰り返し実行されるサブレシピにおいて取得され、 サーバ装置 12に蓄積された測定情報について、当該サブレシピの処理回を指定し て、当該処理回において得られた測定情報を選択的に出力することが可能となる。こ れにより、必要な情報だけを、瞬時に提示することが可能となり、製造装置等の異常 検知を含めた監視を効率的に行うことが可能となる。
[0163] また、同じサブレシピの異なる処理回に得られた測定情報同士を、一つのチャート に表示して両者を比較しやすくしたり、所定の演算を行って、処理回の違いによる測 定情報のばらつきを調べたり、理想的な測定値を取得したりすることができ、サブレシ ピ力 得られた測定情報の利用価値を高めることができる。
[0164] また、上記実施の形態においては、サーバ装置 12において、所望のサブレシピに 対応して得られた測定情報の群の、出現回数をカウントすることで、サブレシピの処 理回に対応した測定情報の群を検出し、取得するようにした。し力しながら、本発明 においては、以下のようにして、サブレシピの処理回に対応した測定情報を検出し、 取得するようにしても良い。すなわち、製造装置 11において、同じサブレシピ、例え ば同じサブレシピ識別子を有するサブレシピが 1回実行されるごとに、そのサブレシ ピが行われた回数をカウンタ一等でカウントするようにし、そのサブレシピにお ヽて得 られる全ての元情報や、最初の元情報や、最後の元情報等に、この回数のカウント 結果を示す情報を付与するようにして、サーバ装置 12に蓄積される測定情報が、サ ブレシピが行われた回数のカウント結果を示す情報を含むようにする。そして、サー バ装置 12においては、この測定情報の有する、サブレシピが行われた回数のカウン ト結果を示す情報から、出力指示により指定される所望の処理回に対応した測定情 報を検出して、取得するようにしても良い。
[0165] なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 16に示すように、 SPCチ ヤートを出力する指示である出力指示に合致する複数の測定情報を測定情報格納 部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、製造装置識別子ごとの測定 情報、またはレシピ識別子ごとの測定情報、もしくはその両方、が視覚的に区別でき る態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、 読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートであっても良い 。なお、図 16に示す SPCチャートは、例えば、一つの製造装置識別子の測定情報か ら構成されている SPCチャートである。また、図 16に示す SPCチャートにおいて、管 理値 (上限)、および管理値 (下限)が出力されている。この管理値の外の値となった 場合、異常であることを示している。管理値 (上限)、および管理値 (下限)は、条件情 報格納部 1209が予め保持している。なお、図 16において用いた測定情報等は、説 明にために用意された測定情報であり、本実施の形態にぉ 、て説明した測定情報と は異なるものである。
[0166] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 17に示すように、相関チヤ ートを出力する指示である出力指示に合致する複数の測定情報を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、製造装置識別子ごとの測定情 報、またはレシピ識別子ごとの測定情報、もしくはその両方、が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、二種類の測定情報 (例えば、温度と圧力など)の相関を示す チャートである相関チャートであっても良い。なお、図 17に示す相関チャートは、例え ば、一つの製造装置識別子の、二種類の測定情報力 構成されている相関チャート である。また、図 17に示す相関チャートにおいて、 2つの管理値が出力されている。 この 2つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。なお、図 17において用いた測定情報等は、説明にために用意された測定情報であり、本実 施の形態において説明した測定情報とは異なるものである。 [0167] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 18に示すように、 MD (マ ノ、ラノビス距離)チャートを出力する指示である出力指示が含む一以上の製造装置 識別子のいずれか、または一以上のレシピ識別子のいずれか、もしくは、一以上の 製造装置識別子の 、ずれかおよび一以上のレシピ識別子の!/、ずれか、を有する複 数の測定情報を、測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報か ら、製造装置識別子ごとの測定情報、またはレシピ識別子ごとの測定情報、およびそ の両方の測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定 情報 (例えば、 2箇所の温度とガス流量と圧力）の相関を示すチャートである MDチヤ ートであっても良い。なお、図 18に示す MDチャートは、例えば、一つの製造装置識 別子の測定情報力 構成されている MDチャートである。また、図 18に示す MDチヤ ートは、マハラノビスの距離を用いて、例えば異常判定しているチャートである。さら に具体的には、図 18に示す MDチャートは、正常時のデータをモデル化し、マハラノ ビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、図 18に示 す MDチャートにおいて、 2つの管理値が出力されている。この 2つの管理値の範囲 外の値となった場合、異常であることを示している。なお、図 18において用いた測定 情報等は、説明にために用意された測定情報であり、本実施の形態において説明し た測定情報とは異なるものである。
[0168] また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の製造装置識 別子または一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報 が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の 折れ線グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図 19に示すように、出力指示 が含む 3つの製造装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部 1201か ら読み出し、当該読み出した測定情報から、製造装置識別子ごとの測定情報が視覚 的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す 時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットした 3つのチャートであっても良 い。かかる場合、出力指示は、例えば、「装置 A」「装置 B」「装置 C」の 3つの製造装置 識別子を含む。そして、測定情報取得部 1203は、「装置 A」「装置 B」「装置 C」をそれ ぞれキーとして、 3度、測定情報格納部 1201を検索し、 3度、測定情報を取得し、そ れぞれのキーごとに、出力情報構成部 1206は、異なる点や線の属性値のチャートを 別個に構成し、 3つのチャートを得る。そして、 3つのチャートが出力される。なお、図
19において用いた測定情報等は、説明にために用意された測定情報であり、本実 施の形態において説明した測定情報とは異なるものである。
[0169] 本実施の形態において、上記のように 3つ以上のチャート（SPCチャート、相関チヤ ート、 MDチャートなど)の表示形態を自由に選択でき、様々な観点から、監視や、監 視結果の分析が可能となる。
[0170] また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置 1
2が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段に より製造装置 11から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置 12に渡される。
[0171] また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を 入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて（測定情報の時間間隔やステップの 間隔を変えて)チャート出力することは好適である。
[0172] また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合
、測定情報蓄積部は不要となる。
[0173] また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信するこ とは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ 装置に与えられても良い。
[0174] また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置 13を有さなくて も良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置 12に対して、出力指示などの指示を入 力する。
[0175] また、本実施の形態の具体例において、製造装置識別子またはレシピ識別子を指 定してチャートを出力したが、 1以上の製造装置識別子および 1以上のレシピ識別子 を指定してチャートを出力しても良い。ユーザが、 1以上の製造装置識別子および 1 以上のレシピ識別子を含む出力指定を入力した場合、異常検知部 1210は、指定さ れた 1以上の各製造装置識別子および 1以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとし て測定情報 (または元情報)を検索し、異常を検知し、出力情報構成部 1206は、チ ヤートを構成する。 [0176] また、本実施の形態において、製造装置が、元情報を取得する毎に、逐次、サーバ 装置 12に送信する構成である場合、サーバ装置の指示受付部が出力指示を受け付 けたことをトリガーとして、リアルタイムに測定情報の取得や、異常検知処理を行い、 元情報を受信する毎に出力情報 (チャートなど)を更新することは、極めて好適である
。異常の発生がユーザに直ちに分力る力もである。なお、力かるリアルタイムの異常 検知は、以下の処理である。つまり、異常検知部は、測定情報取得部が次々に取得 する測定情報に対して、条件情報に合致する力否力を直ちに判断し、出力情報構成 部は、異常検知部の判断結果を用いた出力情報を次々に構成し、出力部は、出力 情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する。
[0177] なお、上記各実施の形態において、各処理 (各機能）は、単一の装置 (システム）に よって集中処理されることによって実現されてもよぐあるいは、複数の装置によって 分散処理されることによって実現されてもょ 、。
[0178] また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成さ れてもよぐあるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラム を実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等 の記録媒体に記録されたソフトウェア 'プログラムを CPU等のプログラム実行部が読 み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記各実施の形 態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つ まり、このプログラムは、コンピュータに、測定情報格納部に複数格納された、被処理 基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の製造装置で測定された情報についての 時系列の情報であり、前記製造装置で所定のレシピを実行した場合の測定値と時刻 を示す時刻情報を有する情報である測定情報の出力指示を受け付ける指示受付ス テツプと、前記出力指示により指定された測定情報を、前記測定情報格納部から取 得する測定情報取得ステップと、前記取得した測定情報を用いた出力情報を構成す る出力情報構成ステップと、前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力 する出力ステップと、を実行させるためのプログラムであって、前記レシピは、 1以上 のサブレシピを含み、前記指示受付ステップで受け付ける出力指示は、前記レシピ において複数回実行されるサブレシピのうちの、 1以上の所望の回に実行されるサブ レシピを指定する指示を有し、前記測定情報取得ステップは、前記出力指示により指 定されたサブレシピに対応する測定情報を取得するプログラムである。
[0179] また、前記プログラムにお 、て、前記測定情報取得ステップは、前記測定情報格納 部に格納されている測定情報について、前記出力指示により指定された、前記複数 回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群が新たに出現する回数をカウントし 、当該カウント数が、前記出力指示により指定された所望の回と一致した回の測定情 報の群に含まれる 1以上の測定情報を取得するプログラムである。
[0180] また、前記プログラムにお 、て、前記サブレシピは 2以上のステップを含み、前記測 定情報取得ステップは、サブレシピを構成する 2以上のステップに対応した 2以上の 測定情報が繰り返し出現する際に、当該繰り返し出現する 1以上の測定情報を、前 記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群とするプログラムである。
[0181] また、前記プログラムにおいて、前記測定情報は、当該測定情報が対応するサブレ シピを識別する情報であるサブレシピ識別子を有し、前記複数回実行されるサブレシ ピに対応した測定情報は、同じサブレシピ識別子を有し、前記測定情報取得ステツ プは、前記測定情報格納部に格納されている測定情報について、前記出力指示に より指定された複数回実行されるサブレシピのサブレシピ識別子が新たに検出された 回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示により指定された所望の回と一致 した回のサブレシピ識別子を有する 1以上の測定情報を取得するプログラムである。
[0182] また、前記プログラムにお 、て、前記サブレシピは 2以上のステップを含み、前記サ ブレシピに対応する測定情報は、ステップを識別するためのステップ識別子を含み、 前記測定情報取得ステップは、同じサブレシピ識別子を有する連続した測定情報に おいて、 2以上のステップ識別子が繰り返し出現するごとに、カウントアップを行うプロ グラムである。
[0183] また、前記プログラムにお 、て、前記指示受付ステップは、前記レシピにお 、て複 数回実行されるサブレシピのうちの、 2以上の所望の回に実行されるサブレシピを指 定する前記出力指示を受け付け、前記測定情報取得ステップは、 2以上の異なる回 のサブレシピに対応した測定情報を取得し、前記出力情報構成ステップは、前記測 定情報取得ステップで取得した 2以上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報 のうちの、各サブレシピ内の所定の始点からの経過時間が一致する測定情報に対し て、所定の演算を行い、その演算結果に応じた出力情報を構成するプログラムであ る。
[0184] なお、上記プログラムにお 、て、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する 受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップに おけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理 (ノヽ一ドウエアでしか行わ れな 、処理）は含まれな!/、。
[0185] また、このプログラムは、サーバなど力 ダウンロードされることによって実行されても よぐ所定の記録媒体 (例えば、 CD— ROMなどの光ディスクや磁気ディスク、半導 体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。
[0186] また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよぐ複数であって もよい。すなわち、集中処理を行ってもよぐあるいは分散処理を行ってもよい。
[0187] また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する 2以上の通信手段 (情報 送信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
[0188] 本発明は、以上の実施の形態に限定されることなぐ種々の変更が可能であり、そ れらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
[0189] また、上記各実施の形態では、サーバ装置がスタンドアロンである場合について説 明したが、サーバ装置は、スタンドアロンの装置であってもよぐサーバ'クライアントシ ステムにおけるサーバ装置であってもよい。後者の場合には、出力部や受付部は、 通信回線を介して入力を受け付けたり、画面を出力したりすることになる。
産業上の利用可能性
[0190] 以上のように、本発明に力かるサーバ装置等は、本発明にかかるサーバ装置等は 、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の製造装置と、当該 1以上の製造 装置と接続されるサーバ装置とを具備する群管理システムの、サーバ装置等として適 しており、特に、サブレシピ等において取得された測定情報等を、選択的に出力可 能なサーバ装置等として有用である。
図面の簡単な説明
[0191] [図 1]実施の形態における群管理システムの概念図 圆 2]同群管理システムの半導体製造装置の例を示す図
[図 3]同群管理システムのブロック図
[図 4]同群管理システムの製造装置の動作について説明するフローチャート
[図 5]同群管理システムのサーバ装置の動作にっ 、て説明するフローチャート
[図 6]同群管理システムのサーバ装置の測定情報を取得する処理について説明する フローチャート
[図 7]同群管理システムのレシピ管理表を示す図
[図 8]同群管理システムのサブレシピ管理表を示す図
圆 9]同群管理システムの元情報の例を示す図
圆 10]同群管理システムの元情報管理表を示す図
[図 11]同群管理システムの測定情報管理表を示す図
圆 12]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
圆 13]同群管理システムの取得情報管理表を示す図
圆 14]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
圆 15]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
圆 16]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
圆 17]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
圆 18]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図
[図 19]同群管理システムのクライアント装置の表示例を示す図

Claims

請求の範囲
[1] 被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以上の製造装置と、当該 1以上の製造 装置と接続されて ヽるサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理シ ステムを構成する前記サーバ装置であって、
前記 1以上の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製 造装置で所定のレシピを実行した場合の測定値と時刻を示す時刻情報を有する情 報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
前記測定情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、
前記出力指示により指定された測定情報を、前記測定情報格納部から取得する測 定情報取得部と、
前記取得した測定情報を用いた出力情報を構成する出力情報構成部と、 前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備し、
前記レシピは、 1以上のサブレシピを含み、
前記指示受付部の受け付ける出力指示は、前記レシピにおいて複数回実行される サブレシピのうちの、 1以上の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示を有 し、
前記測定情報取得部は、前記出力指示により指定されたサブレシピに対応する測定 情報を取得するサーバ装置。
[2] 前記測定情報取得部は、前記測定情報格納部に格納されている測定情報について 、前記出力指示により指定された、前記複数回実行されるサブレシピに対応した測 定情報の群が新たに出現する回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示に より指定された所望の回と一致した回の測定情報の群に含まれる 1以上の測定情報 を取得する請求項 1記載のサーバ装置。
[3] 前記サブレシピは 2以上のステップを含み、
前記測定情報取得部は、サブレシピを構成する 2以上のステップに対応した 2以上の 測定情報が繰り返し出現する際に、当該繰り返し出現する 1以上の測定情報を、前 記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群とする請求項 2記載のサー バ装置。
[4] 前記測定情報は、当該測定情報が対応するサブレシピを識別する情報であるサブレ シピ識別子を有し、
前記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報は、同じサブレシピ識別子を 有し、
前記測定情報取得部は、前記測定情報格納部に格納されている測定情報について 、前記出力指示により指定された複数回実行されるサブレシピのサブレシピ識別子 が新たに検出された回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示により指定さ れた所望の回と一致した回のサブレシピ識別子を有する 1以上の測定情報を取得す る請求項 1記載のサーバ装置。
[5] 前記サブレシピは 2以上のステップを含み、
前記サブレシピに対応する測定情報は、ステップを識別するためのステップ識別子を 含み、
前記測定情報取得部は、同じサブレシピ識別子を有する連続した測定情報にぉ 、 て、 2以上のステップ識別子が繰り返し出現するごとに、カウントアップを行う請求項 4 記載のサーバ装置。
[6] 前記指示受付部は、前記レシピにおいて複数回実行されるサブレシピのうちの、 2以 上の所望の回に実行されるサブレシピを指定する前記出力指示を受け付け、 前記測定情報取得部は、 2以上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報を取得 し、
前記出力情報構成部は、前記測定情報取得部が取得した 2以上の異なる回のサブ レシピに対応した測定情報のうちの、各サブレシピ内の所定の始点力 の経過時間 がー致する測定情報に対して、所定の演算を行い、その演算結果に応じた出力情報 を構成する請求項 1記載のサーバ装置。
[7] 前記出力情報構成部は、
前記取得した測定情報を、当該測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順にプロ ットしたチャートである SPCチャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した SPCチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。
[8] 前記出力情報構成部は、
前記取得した測定情報から、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チ ヤートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。
[9] 前記出力情報構成部は、
前記取得した測定情報から、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである M D (マハラノビス距離)チャートを構成し、
前記出力部は、
前記出力情報構成部が構成した MDチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装置
[10] コンピュータに、
測定情報格納部に複数格納された、被処理基板に対する所定のプロセスを行う 1以 上の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で 所定のレシピを実行した場合の測定値と時刻を示す時刻情報を有する情報である測 定情報の出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記出力指示により指定された測定情報を、前記測定情報格納部から取得する測 定情報取得ステップと、
前記取得した測定情報を用いた出力情報を構成する出力情報構成ステップと、 前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップと、を実行 させるためのプログラムであって、
前記レシピは、 1以上のサブレシピを含み、
前記指示受付ステップで受け付ける出力指示は、前記レシピにおいて複数回実行さ れるサブレシピのうちの、 1以上の所望の回に実行されるサブレシピを指定する指示 を有し、
前記測定情報取得ステップは、前記出力指示により指定されたサブレシピに対応す る測定情報を取得するプログラム。
[11] 前記測定情報取得ステップは、前記測定情報格納部に格納されている測定情報に ついて、前記出力指示により指定された、前記複数回実行されるサブレシピに対応し た測定情報の群が新たに出現する回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指 示により指定された所望の回と一致した回の測定情報の群に含まれる 1以上の測定 情報を取得する請求項 10記載のプログラム。
[12] 前記サブレシピは 2以上のステップを含み、
前記測定情報取得ステップは、サブレシピを構成する 2以上のステップに対応した 2 以上の測定情報が繰り返し出現する際に、当該繰り返し出現する 1以上の測定情報 を、前記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報の群とする請求項 11記載 のプログラム。
[13] 前記測定情報は、当該測定情報が対応するサブレシピを識別する情報であるサブレ シピ識別子を有し、
前記複数回実行されるサブレシピに対応した測定情報は、同じサブレシピ識別子を 有し、
前記測定情報取得ステップは、前記測定情報格納部に格納されている測定情報に ついて、前記出力指示により指定された複数回実行されるサブレシピのサブレシピ 識別子が新たに検出された回数をカウントし、当該カウント数が、前記出力指示によ り指定された所望の回と一致した回のサブレシピ識別子を有する 1以上の測定情報 を取得する請求項 10記載のプログラム。
[14] 前記サブレシピは 2以上のステップを含み、
前記サブレシピに対応する測定情報は、ステップを識別するためのステップ識別子を 含み、
前記測定情報取得ステップは、同じサブレシピ識別子を有する連続した測定情報に おいて、 2以上のステップ識別子が繰り返し出現するごとに、カウントアップを行う請 求項 13記載のプログラム。
[15] 前記指示受付ステップは、前記レシピにおいて複数回実行されるサブレシピのうちの 、 2以上の所望の回に実行されるサブレシピを指定する前記出力指示を受け付け、 前記測定情報取得ステップは、 2以上の異なる回のサブレシピに対応した測定情報 を取得し、
前記出力情報構成ステップは、前記測定情報取得ステップで取得した 2以上の異な る回のサブレシピに対応した測定情報のうちの、各サブレシピ内の所定の始点から の経過時間が一致する測定情報に対して、所定の演算を行い、その演算結果に応 じた出力情報を構成する請求項 10記載のプログラム。
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