CN101188184B

CN101188184B - 放电灯

Info

Publication number: CN101188184B
Application number: CN2007101693341A
Authority: CN
Inventors: 沟尻贵文; 松泽聪司; 森本幸裕
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2006-11-24
Filing date: 2007-11-22
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2027-11-22
Also published as: KR20080047259A; JP2008153187A; CN101188184A; JP4900011B2; TWI364056B; KR101195690B1; TW200823958A

Abstract

本发明提供一种放电灯，在由纯度高的材料或晶体构成的放电容器的表面，也形成含有紫外线反射率高的粒子的紫外线散射反射膜，进而紫外线散射反射膜不会脆弱地剥离。该放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜，在上述放电容器的至少一部分上形成有未设置上述紫外线散射反射膜而成的光射出窗，从而照射紫外线，其特征在于：上述紫外线散射反射膜在从上述放电容器的表面开始距离上述二氧化硅粒子的半径长度的范围内，上述二氧化硅粒子相对于上述紫外线散射粒子的存在比例为10以上。

Description

放电灯

技术领域

本发明涉及一种放电灯，尤其是涉及放射紫外线的、在放电容器的表面形成有紫外线散射反射膜的放电灯。

背景技术

近年来，开发并实用了通过在由金属、玻璃、及其他材料构成的被处理体上照射波长200nm以下的真空紫外光，从而通过该真空紫外光及由此生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体表面的有机污染物质的清洁处理技术，或在被处理体的表面形成氧化膜的氧化膜形成处理技术。

放射紫外线的放电灯为了有效放射更高强度的紫外线进行了大量尝试。图9是表示专利文献1的放电灯的说明用剖面图。记载着如下放电灯1：具有由透过紫外线的石英玻璃构成的放电容器2，在该放电容器2的内侧与外侧分别构成有内侧电极3与外侧电极4，在放电容器2的表面具有紫外线散射反射膜8。在放电空间内存在的紫外线不会入射到形成有该紫外线散射反射膜8的放电容器2中。此外，为了放射在放电容器内产生的紫外线，在放电容器2的一部分形成有未形成紫外线散射反射膜8的光射出窗23。

紫外线散射反射膜8被设置在放电容器2的内部，因此紫外线通过紫外线散射反射膜8反射时，不能透过石英玻璃，仅在紫外线被放射到外部时，透过石英玻璃，从光射出窗23放射，因此可抑制由于透过石英玻璃引起的衰减。此外，通过防止放电空间内的紫外线入射到构成放电容器2的石英玻璃中，可减小紫外线歪曲引起的损害，防止产生裂纹。

专利文献1：日本专利公开2002-93377号公报

紫外线散射反射膜优选由紫外线反射率高的粒子、例如由氧化铝粒子等紫外线反射率高的材料构成，可得到高反射效率。然而，若将以氧化铝粒子作为主体的紫外线散射反射膜形成在二氧化硅纯度高的石英玻璃的放电容器表面，则有紫外线散射反射膜容易脆弱地剥离的问题。一般，在放电容器的表面，很难形成由膨胀系数与放电容器不同的粒子构成的紫外线散射反射膜，紫外线散射反射膜容易脆弱地剥离。

发明内容

本发明考虑到上述问题点，其目的是在于提供一种放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，也形成含有紫外线反射率高的粒子的紫外线散射反射膜，进而紫外线散射反射膜不会脆弱地剥离。

本发明的一种放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜，在上述放电容器的至少一部分上形成有未设置上述紫外线散射反射膜而成的光射出窗，照射紫外线，其特征在于：上述紫外线散射反射膜在粘接部分中，主要存在上述二氧化硅粒子。

此外，本申请的第2发明的放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜，在上述放电容器的至少一部分上形成有未设置上述紫外线散射反射膜而成的光射出窗，照射紫外线，其特征在于：上述紫外线散射反射膜在粘接部分仅存在上述二氧化硅粒子。

此外，本申请的第3发明的放电灯的特征为：在第一发明中，上述二氧化硅粒子的粒径比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外线散射粒子的粒径小。

此外，本申请的第4发明的放电灯的特征为：在第3发明中，在上述放电容器的表面，形成有宽度比上述二氧化硅粒子的粒径大、比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外线散射粒子的粒径小的槽。

此外，本申请的第5发明的放电灯的特征为：在第1发明中，在上述紫外线散射反射膜的表面，形成有由反射率比二氧化硅粒子高的紫外线散射粒子构成的反射膜表面层。

此外，本申请的第6发明的放电灯的特征为：在第1发明中，上述紫外线散射反射膜设置在暴露于放电空间中的放电容器的表面。

此外，本申请的第7发明的放电灯的特征为：在第1发明中，上述紫外线散射粒子含有氧化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氧化镁的中的任意一种以上的物质。

根据本发明的放电灯，通过在从放电容器的表面开始距离二氧化硅粒子的半径的长度的范围内形成有仅存在二氧化硅粒子的紫外线散射反射膜，紫外线散射反射膜不会脆弱地剥离。进而，可提供一种放电灯，将含有大量紫外线反射率高的紫外线散射粒子的紫外线散射反射膜形成在放电容器的表面，从而提高反射效率，有效地照射紫外线。

附图说明

图1是表示放电灯的说明用剖面图。

图2是放电容器与紫外线散射反射膜的接合部分的放大图。

图3是表示在放电容器2的内表面设有紫外线散射反射膜8的状态的透视图。

图4是形成有紫外线散射反射膜的放电容器的表面附近的放大投影图像。

图5是放电容器与紫外线散射反射膜的接合部分的放大图。

图6是放电灯的剖面图。

图7是放电灯的剖面图。

图8是表示放电灯的说明用剖面图。

图9是表示放电灯的说明用剖面图。

标号说明

1 放电灯

2 放电容器

3 内侧电极

4 外侧电极

8 紫外线散射反射膜

80 紫外线散射粒子

81 二氧化硅粒子

82 二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子

83 粘接部分

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。图1是表示本发明的放电灯的说明剖面图。

放电灯1由整体为管状的放电容器2构成，并且形成有填充有放电用气体的直管部21、和在其两端密封直管部21的密封部22。放电容器2由作为良好地透过真空紫外光的电介质材料的合成石英玻璃构成。

在放电容器2的内部，内侧电极3在放电容器2的大致中心延伸配置，在放电容器2外表面紧贴着配置有外侧电极4。内侧电极3例如由钨线材构成，具有线圈状形成的线圈部、和在该线圈部的两端连接的直线部。内侧电极3在密封部22中，分别接合到金属箔5，进而在金属箔5上接合有外部引线6。

在内侧电极3的周围，设有由电介质材料构成的内侧管7，以覆盖该内侧电极3，内侧电极3插入到该内侧管7中。即，隔着电介质材料配置有一对电极。内侧管7由合成石英玻璃构成，覆盖内侧电极3的至少在与外侧电极4之间进行放电的部位的外侧，其端部超过外侧电极4的端部而延伸，内侧管7在放电空间内开放两端，不存在于线圈部3 1的两端部。因此，内侧电极3在线圈部的两端部与直线部的一部分不被内侧管7覆盖，直接露出在放电用气体中。

外侧电极4是将金属线构成为网状的网眼构造体形成为筒状的电极，配置成覆盖放电容器2的外表面。所以，来自放电容器2的真空紫外光透过外侧电极4的网眼而放射。另外，关于外侧电极4，若是将一根金属线编织成无缝的构造，则会增加与放电容器2的紧贴性，较为有利。

在直管部21的内部形成的放电空间，通过存在电介质材料的放电，形成准分子，并且作为由该准分子放射真空紫外光的放电用气体，例如封入有氙气，或将氩和氯混合的气体等。在内侧电极3及外侧电极4供给点灯电力，使作为电介质材料的放电容器2及内侧管7存在于其间，在两电极间产生放电，放电用气体产生准分子发光。将氙气作为放电用气体使用时，放射出在波长172nm处具有峰值的真空紫外线，将氩和氯混合的气体作为放电用气体使用时，放射出在波长175nm处具有峰值的真空紫外线。

在放电容器2的表面设有例如厚度为30～300μm的紫外线散射反射膜8。尤其是，若在暴露于产生准分子发光的放电空间中的放电容器2的表面、具体来说若在直管部21的内表面与内侧管7的外表面形成紫外线散射反射膜8，则通过防止放电空间内的紫外线入射至构成放电容器2的石英玻璃，可以减小紫外线歪曲(紫外線歪)引起的损伤，防止发生裂纹。另外，即使为放电容器2的表面，但是存在物理上难以形成紫外线散射反射膜8等问题时，也不能形成紫外线散射反射膜8。例如为密封部22的、暴露于产生准分子发光的放电空间中的内表面。在表面形成有该紫外线散射反射膜8的放电容器2中，存在于放电空间内的紫外线被反射散射。此外，为了放射在放电容器内产生的紫外线，未形成有紫外线散射反射膜8的光射出窗23形成于放电容器2的一部分。

这种紫外线散射反射膜8使用例如被称为生片(green sheet)的薄膜状成形体，可以通过煅烧该生片来形成。

即，首先，将含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子、例如丙烯类树脂等增塑剂及分散剂等混合到溶剂中成浆糊状。在表面实施了脱模处理的薄膜状的聚对苯二甲酸乙酯(PET)等有机薄膜构造体的表面，以一定厚度流延浆糊，使溶剂干燥，形成薄膜状成形体的生片。接下来，从有机薄膜构造体剥离该生片，粘接于放电容器2的表面之后，通过烧固形成紫外线散射反射膜8。

此外，使用被称为浸渍的方法也可形成紫外线散射反射膜8。此时，将含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子混合在溶剂中形成溶液，将该溶液吸上来，以充满放电容器2的内部，并使溶液退回，从而使溶液附着于放电容器2的表面。之后，进行干燥、烧固，从而形成紫外线散射反射膜8。

此外，使用被称为溶胶凝胶法的方法也可形成紫外线散射反射膜8。此时，在含有纳米量级尺寸的二氧化硅粒子的溶胶凝胶液中投入氧化铝，形成悬浮液，将该溶液流过放电容器2的内表面，形成紫外线反射膜8。

图2是放电容器2与紫外线散射反射膜8的接合部分的放大图，图2(b)是图2(a)所示的粘接部分83的放大图。另外，紫外线散射反射膜8大致描绘了存在于最表面附近的紫外线散射粒子80。

由于无法将金属放入放电容器2的放电空间，因此紫外线散射反射膜8由不排出杂质气体、耐放电的陶瓷形成。紫外线散射反射膜8由含有二氧化硅粒子81的紫外线散射粒子80构成。一般，线膨胀系数的值相等或接近时，具有容易粘接的性质。为了与放电容器2的线膨胀系数的值相等，提高与放电容器2的粘接力，二氧化硅粒子81由与放电容器2的相同材质的二氧化硅粒子构成。此外，二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82由紫外线反射率比二氧化硅粒子高的陶瓷材料构成，例如由氧化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氟化钠、氟化钡、氟化镧、氟化铈、氧化铈、氧化锆、氧化钇、氧化钛、氧化镁、氧化钙中的任意一种以上的粒子构成。紫外线散射反射膜8优选二氧化硅粒子81在紫外线散射粒子82中含有30重量％以上。

在表面上形成有排列陶瓷性的紫外线散射粒子80的紫外线散射反射膜8的放电容器2上，若照射例如波长172nm的真空紫外光，则真空紫外光折射，一部分反射，另一部分透过微小粒子的内部。透过微小粒子的内部的光，虽然一部分被吸收，但大多透过，再次从微小粒子的内部射出时进行折射。通过重复进行这种折射，真空紫外光向与入射的方向相反的方向散射，成为反射光。

如图2所示，二氧化硅粒子81的粒径小于二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒子。在此，使用图2(b)来定义粒径84。粒径84是指，在使用电子显微镜拍摄的放大投影图像中，以两根平行线夹住任意紫外线散射粒子80的粒子时，平行线的间隔最大的粒子的宽度。此外，在对二氧化硅粒子81的粒径84、与二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒径84的大小时，使用中心径。中心径是指，测量多个粒径84，将该粒径84的值表示为频数分布时，该频数最大的分区的粒径84的值。例如，将多次测量的粒径84，根据其值分类成为具有0.2～0.29μm、0.3～0.39μm、0.4～0.49μm等的一定范围的分区，对属于各分区的粒径84的个数进行计数。该数为该分区的频数。求出所有分区的频数，比较其结果，选择频数最大的分区。该分区的粒径84的值的中值为中心径。

此外，紫外线散射反射膜8与放电容器2的粘接力成为问题的部分是紫外线散射反射膜8与放电容器2的粘接部分83。在此，将粘接部分83定义为，从放电容器2的表面开始仅距离二氧化硅粒子81的半径长度的范围。相对于紫外线散射反射膜8的膜厚为30～300μm，二氧化硅粒子81的粒径为0.1～10μm，因此粘接部分83是紫外线散射反射膜8的宽度的大约100分之1左右的部分。和紫外线散射反射膜8与放电容器2的粘接力有关的是二氧化硅粒子81，因此以二氧化硅粒子81作为基准来决定粘接部分83。即，在放电容器2的表面附近的剖面的放大投影图像中，沿着放电容器2表面的任意每单位长度上，仅离开二氧化硅粒子81的半径长度的范围作为粘接部分83。另外，二氧化硅粒子81的半径是指，二氧化硅粒子81的中心径的一半的值。

观察紫外线散射反射膜8与放电容器2的粘接部分83时，优选观察以紫外线散射粒子82中最大粒径的3倍左右的长度作为一边的正方形的范围。这是因为，观察该范围，可立即判断粘接部分83中是否存在二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82。

此外，二氧化硅粒子81在粘接部分83处的析出，是通过粒子自然移动得到的效果，因此优选不仅观察1点而是在多个位置观察粘接部分83进行确定。图3是表示在放电容器2的内表面设有紫外线散射反射膜8的状态的透视图。沿着设有紫外线散射反射膜8的领域的长边表面，在图3中是沿着放电容器2的轴方向，设定测量线85。在测量线85上等间隔地对10个点，优选对20个点以上拍摄放大投影图像来观察粘接部分83。若在观察的所有放大投影图像中的90％以上的放大投影图像中，在粘接部分83仅存在二氧化硅，则认为是“在粘接部分中，主要存在二氧化硅粒子”。

图4是形成有紫外线散射反射膜8的放电容器2的表面附近的放大投影图像。

该构成如下所示：

(放电容器)材质：石英玻璃

(紫外线散射反射膜)反射率：约75％

(二氧化硅粒子)材质：二氧化硅，粒径：0.1μm～0.5μm，中心径：0.3μm，含量比：60重量％

(二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子)材质：氧化铝，粒径：0.5μm～5.0μm，中心径：3μm，含量比：40重量％

沿着放电容器2的表面，在仅离开二氧化硅粒子81的半径长度0.15μm的范围的粘接部分83中，仅存在二氧化硅粒子81。

紫外线散射反射膜8中的二氧化硅粒子81与二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的含量比是6比4，与此相对，在粘接部分83中只有二氧化硅粒子81与放电容器2接触。在烧固紫外线散射反射膜8时，溶剂等会烧掉，因此在粘接部分83中仅存在二氧化硅粒子81。这样，优选使二氧化硅粒子81的粒径在二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒径10分之1以下，由此，二氧化硅粒子81进入二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82之间，无论紫外线散射反射膜8的含量比多少，在粘接部分83中仅存在二氧化硅粒子81。通过这样构成，粘接部分83的二氧化硅粒子81牢固地粘结在放电容器2的石英玻璃，因此二氧化硅粒子81的粒径比二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒径小为好，可防止紫外线散射反射膜8从放电容器2脆弱地剥离。进而，可将含有大量紫外线反射率高的二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的紫外线散射反射膜8形成在放电容器2的表面，因此可以提高在暴露于产生准分子发光的放电空间中的紫外线散射反射膜8表面的反射效率，有效利用紫外线。

若在所观察的所有放大投影图像中的90％以上的放大投影图像中，在粘接部分83中仅存在二氧化硅，即，若紫外线散射反射膜8构成为“在粘接部分83中，主要存在二氧化硅粒子”，则即使在粘接部分83中有存在二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的部分，也可以确定紫外线散射反射膜8与放电容器2的粘结不存在问题。这是因为，虽然二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82本身与放电容器2的粘结力较弱，但是由于周围的二氧化硅粒子81牢固地粘结在放电容器2的石英玻璃，因此整体上看紫外线散射反射膜8不会剥离。

另外，在溶剂中混合紫外线散射粒子82并作为悬浮液涂布在放电容器2上时，若混合多个材料的紫外线散射粒子82，则比重比二氧化硅粒子81重的紫外线散射粒子82在涂布工序中因重力而下降，有大量存在于与放电容器2的接着部分83中的可能性。若这样形成紫外线散射反射膜8，则会有从放电容器2剥离的情况。因此，优选紫外线散射反射膜8所含的紫外线散射粒子82的主要成分是二氧化硅粒子81。

图5是放电容器2的表面形成有槽时放电容器2与紫外线散射反射膜8的接合部分的放大图。另外，紫外线散射反射膜8大致描绘了最表面附近存在的紫外线散射粒子80。

在设有紫外线散射反射膜8的放电容器2的表面，形成有宽度比二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒径小、比二氧化硅粒子81的粒径大的槽24。槽24的宽度比二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的粒径小，因此在槽24中仅可进入二氧化硅粒子81，在形成槽24的放电容器2的表面上仅接触有二氧化硅粒子81。通过设置这样的槽24，也可提高粘接部分83中的二氧化硅粒子81的存在率。通过这样构成，可防止紫外线散射反射膜8从放电容器2脆弱地剥离。进而，可将含有大量反射率高的二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子82的紫外线散射反射膜8形成在放电容器2的表面，因此可提高在暴露于产生准分子发光的放电空间中的紫外线散射反射膜8表面的反射效率，有效利用紫外线。

图6是在放电容器2的表面形成两层紫外线散射反射膜8时的放电灯的剖面图。

通过分两层形成紫外线散射反射膜8，也可提高粘接部分83中的二氧化硅粒子81的存在比例。例如，通过生片形成含有60重量％以上二氧化硅粒子81的第一紫外线散射反射膜8a，在其上通过浸渍形成含有60重量％以上的紫外线散射粒子82的第二紫外线散射反射膜8b。第二紫外线散射反射膜8b的紫外线散射粒子82进入第一紫外线散射反射膜8a的二氧化硅粒子81的膜表面的间隙，第一紫外线散射反射膜8a与第二紫外线散射反射膜8b被接合。通过这样构成，含有大量二氧化硅粒子81的第一紫外线散射反射膜8a提高粘接部分83中的二氧化硅粒子81的存在比例，防止紫外线散射反射膜8从放电容器2脆弱地剥离。进而，含有大量反射率高的紫外线散射粒子82的第二紫外线散射反射膜8b形成在暴露于产生准分子发光的放电空间中的表面，因此可提高紫外线散射反射膜8的反射率，有效利用紫外线。

图7是在放电容器2的表面形成两层的紫外线散射反射膜8，并在其表面上形成反射膜表面层9时的放电灯的剖面图。

在由第一紫外线散射反射膜8a与第二紫外线散射反射膜8b这两层构成的紫外线散射反射膜8的表面上，形成由反射率比二氧化硅粒子81高的紫外线散射粒子82构成的反射膜表面层9，也可进一步提高紫外线的反射率。形成如下多重构造：在与放电容器2的表面接触的粘接部分83，形成以二氧化硅粒子81作为主要成分的第一紫外线散射反射膜8a，随着接近放电空间侧，形成二氧化硅粒子81以外的紫外线散射粒子82的含量比多的第二紫外线散射反射膜8b，在暴露于产生准分子发光的放电空间中的表面，形成由反射率比二氧化硅粒子81高的紫外线散射粒子82构成的反射膜表面层9。通过形成二氧化硅粒子81的含量比为阶层状的多重构造，防止第一紫外线散射反射膜8a从放电容器2的表面脆弱地剥离，防止在与第二紫外线散射反射膜8b或反射膜表面层9的接合面剥离，并且提高暴露于产生准分子发光的放电空间中的表面的反射效率，可有效利用紫外线。此外，即使紫外线散射反射膜8仅形成一层，在其表面上不会剥离地形成反射膜表面层9时，紫外线散射反射膜8也可以不形成为阶层状，形成反射膜表面层9，成为两层构造。

另外，以上对线圈状的内侧电极3配置成在放电容器2的大致中心延伸的放电灯1进行了说明，但是即使将本发明的紫外线散射反射膜8适用于图9所示的双重管构造的准分子灯、或图8所示的方形构造的准分子灯、短弧高压放电灯等放射紫外线的其他放电灯，也可防止紫外线散射反射膜8脆弱地剥离。

接下来，对实施例进行说明。

实施例1

图8所示的放电灯1具有由合成石英玻璃构成的剖面长方形的放电容器2，在该放电容器2的彼此相对的外表面上，向放电容器2的管轴方向延伸设有由金属构成的一对外侧电极4。在放电容器内填充有作为放电用气体的氙气，例如配置有由钡构成的吸气器11。此外，在放电容器外，构成有排气管10。在放电容器2的表面，设有紫外线散射反射膜8。此外，在放电容器2的外表面未形成有外侧电极4的任意的一面，形成有未形成紫外线散射反射膜8而成的光射出窗23。

该放电灯1的构成如下所示。

(放电容器)材质：石英玻璃，全长：150mm，纵方向尺寸：34mm，横方向尺寸：14mm，厚度：2mm。

(紫外线散射反射膜)形成方法：生片，厚度：100μm

(二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子)材质：氧化铝，粒径：0.5μm～5.0μm，中心径：3.0μm，含量比：40重量％

观察该紫外线散射反射膜8的粘接部分，仅存在二氧化硅粒子。所以，紫外线散射反射膜8不会剥离地形成在放电容器2上。在放电空间的每1cm³体积的输入电压为大约1W的条件下点亮该放电灯1。此时的亮度与未设置紫外线散射反射膜8的放电灯相比为约两倍。

此外，通过浸渍形成膜厚30μm的紫外线散射反射膜时，确认了具有同样的效果。

实施例2

在图9所示的放电灯1的放电容器2的外侧管内表面，形成有紫外线散射反射膜8。此外，作为放电用气体将氩气封入放电空间，进行波长126nm的氩准分子光的发光。该放电灯的构成如下所示。

(紫外线散射反射膜)形成方法：生片，厚度：100μm，煅烧：900℃

(二氧化硅粒子)材质：二氧化硅，粒径：0.1μm～0.5μm，中心径：0.3μm，含量比：68重量％

(二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子)材质：氟化镁，粒径：10μm～50μm，中心径：30μm，含量比：32重量％

观测该紫外线散射反射膜8的粘接部分，仅存在二氧化硅粒子。所以，紫外线散射反射膜8不会剥离地粘结在放电容器2上。在放电空间的每1cm³体积的输入电压为大约1W的条件下点亮该放电灯1。此时的亮度与未设置紫外线散射反射膜8的放电灯相比为约1.1倍。

实施例3

在与实施例1相同的放电灯1上，形成两层构造的紫外线散射反射膜。该放电灯的构成如下所示。

(第一紫外线散射反射膜)形成方法：生片，厚度：50μm

(二氧化硅粒子)材质：二氧化硅，粒径：0.1μm～0.5μm，中心径：0.3μm，含量比：80重量％

(二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子)材质：氧化铝，粒径：0.2μm～0.8μm，中心径：0.5μm，含量比：20重量％

(第二紫外线散射反射膜)形成方法：生片，厚度：50μm

(二氧化硅粒子)材质：二氧化硅，粒径：0.1μm～0.5μm，中心径：0.3μm，含量比：20重量％

(二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子)材质：氧化铝，粒径：0.2μm～0.8μm，中心径：0.5μm，含量比：80重量％

在放电容器2的表面形成第一紫外线散射反射膜8a，在第一紫外线散射反射膜8a上形成第二紫外线散射反射膜8b，通过在115℃下烧固该两层构造的生片，形成紫外线散射反射膜8。

由于是两层构造，因此在粘接部分存在大量二氧化硅粒子，因此紫外线散射反射膜不会剥离地粘着在放电容器上。此外，在第一紫外线散射反射膜与第二紫外线散射反射膜的边界，形成有由第一紫外线散射反射膜的二氧化硅粒子构成的凹凸，在该间隙进入有第二紫外线散射反射膜的紫外线散射粒子，从而两层不会剥离地形成。

实施例4

在实施例3的紫外线散射反射膜形成两层构造的放电灯1上，形成反射膜表面层。该放电灯的构成如下所示。

(反射膜表面层)形成方法：生片，厚度：50μm，反射率83％

(紫外线散射粒子)材质：氧化铝，粒径：0.2μm～0.8μm，中心径：0.5μm

与实施例2同样地，紫外线散射反射膜不会剥离地粘着在放电容器上，第二紫外线散射反射膜含有大量二氧化硅粒子以外的紫外线散射粒子，因此不会在与反射膜表面层的接合面剥离。此外，反射膜表面层由反射率比二氧化硅粒子高的紫外线散射粒子构成，因此可提高暴露于产生准分子发光的放电空间中的表面的反射效率，有效利用紫外线。

此外，在上述实施例1～4中，使用了粒径0.1μm～0.5μm的二氧化硅粒子，可作为紫外线反射膜的紫外线散射粒子而使用的二氧化硅粒子不受粒径的限定，也可将粒径1μm以上的二氧化硅粒子作为紫外线散射粒子来使用。

Claims

1.一种放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜，其特征在于：

上述紫外线散射反射膜设置在暴露于放电空间中的放电容器的表面，

上述二氧化硅粒子的粒径为0.1μm～10μm，

上述紫外线散射反射膜在粘接部分中，主要存在上述二氧化硅粒子。

2.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于：

上述二氧化硅粒子的粒径比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外线散射粒子的粒径小。

3.根据权利要求2所述的放电灯，其特征在于：

在上述放电容器的表面，形成有宽度比上述二氧化硅粒子的粒径大、比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外线散射粒子的粒径小的槽。

4.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于：

在上述紫外线散射反射膜的表面，形成有由反射率比二氧化硅粒子高的紫外线散射粒子构成的反射膜表面层。

5.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于：

上述紫外线散射粒子含有氧化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氧化镁的中的任意一种以上的物质。

6.一种放电灯，在由石英玻璃构成的放电容器的表面，设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜，在上述放电容器的至少一部分上形成有未设置上述紫外线散射反射膜而成的光射出窗，照射紫外线，其特征在于：

上述二氧化硅粒子的粒径为0.1μm～10μm，

上述紫外线散射反射膜在粘接部分仅存在上述二氧化硅粒子。