CN101182627A - 蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置 - Google Patents
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Claims (7)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006309798 | 2006-11-16 | ||
JP2006-309798 | 2006-11-16 | ||
JP2006309798A JP4768584B2 (ja) | 2006-11-16 | 2006-11-16 | 蒸発源およびこれを用いた真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101182627A true CN101182627A (zh) | 2008-05-21 |
CN101182627B CN101182627B (zh) | 2011-06-22 |
Family
ID=39110375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2007101694645A Active CN101182627B (zh) | 2006-11-16 | 2007-11-16 | 蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8177912B2 (zh) |
EP (1) | EP1927674B1 (zh) |
JP (1) | JP4768584B2 (zh) |
KR (1) | KR101450339B1 (zh) |
CN (1) | CN101182627B (zh) |
TW (1) | TWI386498B (zh) |
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---|---|
US8177912B2 (en) | 2012-05-15 |
US20080115729A1 (en) | 2008-05-22 |
JP2008121098A (ja) | 2008-05-29 |
EP1927674B1 (en) | 2012-07-18 |
KR101450339B1 (ko) | 2014-10-14 |
CN101182627B (zh) | 2011-06-22 |
TW200825192A (en) | 2008-06-16 |
TWI386498B (zh) | 2013-02-21 |
EP1927674A3 (en) | 2010-08-25 |
KR20080044775A (ko) | 2008-05-21 |
JP4768584B2 (ja) | 2011-09-07 |
EP1927674A2 (en) | 2008-06-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20090717 Address after: Yamagata, Yamagata Prefecture, Japan Applicant after: Industrial Technology revitalization institution of Yamagata County Co-applicant after: Mit-subishi Heavy Industries Ltd. Address before: Yamagata, Yamagata Prefecture, Japan Applicant before: Industrial Technology revitalization institution of Yamagata County Co-applicant before: Mit-subishi Heavy Industries Ltd. Co-applicant before: Mitsubishi Hitachi Steel, Ltd. |
|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Free format text: FORMER OWNER: MITSUBISHI JUKOGIO KK Owner name: MITSUBISHI JUKOGIO KK Free format text: FORMER OWNER: YAMAGATA PROMOTIONAL ORGANIZATION FOR INDUSTRIAL TECHNOLOGY Effective date: 20110422 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |